KR101205737B1 - 휠 홀더 및 그 제조 방법 및 휠 홀더를 이용한 커터 휠 보지 기구 - Google Patents

Abstract

(과제) 제조 공정을 간소화하여 비용의 저감화를 도모할 수 있는 것이면서, 커터 휠의 높은 회전 정밀도를 보지(holding)하여 사용 수명을 연장할 수 있는 휠 홀더 그리고 그 제조 방법을 제공한다.
(해결 수단) 하부에 커터 휠(A)을 넣기 위한 하향으로 개구한 홈(1)을 구비하고, 홈(1)을 사이에 두고 상대하는 좌우의 지지부(2)를 구비한 홀더 부재(3)에, 초경 재료로 이루어지는 원주체(4)를 좌우의 지지부(2)에 관통하여 부착하는 원주체 부착 공정과, 와이어 방전 가공에 의해, 원주체(4)의 하면측으로부터 축심을 향하여 슬릿을 가공하고, 슬릿에 이어서 원주체(4)의 축심부를 관통하는 핀 삽입구멍(9)을 가공하는 와이어 방전 가공 공정과, 홈(1)의 사이에서, 홈(1)을 횡단하는 원주체(4)의 중간 부위를 절제하여 커터 휠(A)을 넣기 위한 극간을 가공하는 극간 형성 공정으로 이루어진다.

Description

휠 홀더 및 그 제조 방법 및 휠 홀더를 이용한 커터 휠 보지 기구{WHEEL HOLDER, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND CUTTER WHEEL HOLDER MECHANISM USING THE SAME}

본 발명은, 취성 재료 기판(brittle material substrate)에 커터 휠을 전동(rolling)시켜 스크라이브 가공을 행할 때에 커터 휠을 보지(保持;holding)하는 휠 홀더(팁 홀더라고도 함)에 관한 것이다.

일반적으로, 유리 기판이나 세라믹 기판, 반도체 웨이퍼 등을 분단(dividing)할 때에는, 스크라이브 장치의 스크라이브 헤드에 휠 홀더를 부착하고, 이 휠 홀더에 보지시킨 커터 휠을 취성 재료 기판에 압접하면서 스크라이브 예정 라인을 따라 주행시킴으로써, 스크라이브 라인(scribing line)을 형성하고 있다. 그리고, 형성된 스크라이브 라인을 따라 브레이크 바 등으로 휘게함으로써 기판을 분단하고 있다.

커터 휠을 보지하기 위한 휠 홀더는, 예를 들면 특허문헌 1에 기재되어 있다. 이 문헌에 나타내는 사용예에서는, 홀더의 하부에 형성한 축받이부(핀 삽입구멍)에 지지시킨 축(커터 핀)이, 커터 휠의 축구멍(軸孔)으로 끼워져 통하게 되어 있다. 이 커터 휠은, 높은 가공 정밀도와 긴 사용 수명이 요구되기 때문에, 내(耐)마모성이 우수한 소결 다이아몬드나 초경합금 등의 초경 재료가 이용되어, 정밀한 가공이 이루어지고 있다. 또한, 축(커터 핀)에도 내마모성이 우수한 초경 재료가 이용되는 경우가 많다.

한편, 홀더 하부의 축받이부에는 공구강(工具鋼)이 이용되고 있어, 초경 재료제의 부품에 비하면 마모는 피할 수 없다. 커터 휠의 회전 지지 부분, 즉, 축의 외주면, 또는 커터 휠의 축구멍의 내면 부분도, 반복의 사용에 의한 회전 마찰로 마모되게 되어, 설령 초경 재료로 커터 휠 및 축을 형성했다고 해도, 결국에는 허용 공차(tolerance)를 초과해 버린다. 마모에 의해, 홀더 하부의 축받이부나, 커터 휠의 축구멍과 축과의 사이에 극간(gap)이 발생하면, 커터 휠의 수직도가 손상되어 고정밀도의 스크라이브 라인을 형성할 수 없게 된다.

일본공개특허공보 평9-188534호(도 15 등)

그래서, 이러한 마모에 의한 문제의 발생을 저감하기 위해, 도 8에 나타내는 바와 같은 휠 홀더를 이용한 커터 휠 보지 기구가 제품에 사용되고 있다.

이 휠 홀더는, 연결 볼트(20)에 의해 합체된 좌우 한 쌍의 홀더 부재(21)로 구성된다. 홀더 부재(21)의 하부에는 커터 휠(A)을 배치하기 위한 공간이 형성되고, 이 공간을 사이에 두고 좌우의 지지부(22)가 설치되어 있다. 좌우의 지지부(22)에는 서로의 중심축이 일치하도록 일직선 상에 배치된 커터 핀 삽입구멍(23)이 형성되어 있다. 또한, 지지부(22)의 상대하는 내측면에서 핀 삽입구멍(23)의 개구부에는, (핀 삽입구멍(23)보다 근소하게 지름이 큰)핀구멍(24)을 구비한 초경 재료(소결 다이아몬드 혹은 초경합금)의 링체(25)가 납땜으로 접합되어 있다. 이들 좌우의 링체(25)의 사이에, 초경 재료로 만들어진 커터 휠(A)이 사이에 끼워져 가볍게 접촉한 상태로 배치되어 커터 핀(26)으로 지지되도록 하고 있다.

커터 핀(26)도 또한 초경 재료로 제작되어, 좌우의 지지부(22)의 핀 삽입구멍(23)에 삽입됨과 함께 링체(25)의 핀구멍(24)을 관통하도록 하여 지지되어 있고, 그 일단(一端)은 한쪽의 핀 삽입구멍(23)을 가늘게 한 부분(세경공)(27)에서 저지되고, 타단(他端)은 다른 한쪽의 핀 삽입구멍(23)의 외측면에 비스(vis;28)에 의해 지지된 와셔(커버)(29)로 막혀 빠짐이 저지되어 있다.

이와 같이, 커터 휠(A)의 좌우측면에 초경 재료제의 링체(25)를 접촉시킴으로써, 커터 휠(A)의 수직도를 높임과 함께 회전 지지 부분의 마모를 억제하여 회전 정밀도의 유지를 도모하고 있다. 또한, 커터 휠(A)의 축구멍 내면과 커터 핀(26)의 외주면과의 사이에 마모에 의한 극간이 발생해도, 커터 휠(A)의 수직도를 유지할 수 있고, 이에 따라, 한번 세팅한 커터 휠의 교환 사이클을 연장하는 것이 가능해지고, 또한, 홀더 자체의 교환 사이클을 연장하는 것도 가능해진다.

또한, 커터 휠(A)을 교환할 때는, 와셔(29)를 떼어 내어, 한쪽의 핀 삽입구멍(23)의 끝에 형성한 세경공(27)의 외부 노출면으로부터 세경의 봉재(棒材)를 압입하여 커터 핀(26)을 압출함으로써 커터 휠(A)을 뽑아낼 수 있다.

그러나, 전술한 휠 홀더의 구조는 커터 휠의 회전 정밀도를 길게 유지하는 데에는 매우 유효하지만, 그 구성상, 제조 공정이 매우 번잡하고 가공 비용이 비싸게 먹힌다는 큰 문제점이 있다.

도 7(a)～(e)는 그 제조 공정을 나타내는 것이다. 휠 홀더의 조립을 할 때게 있어서, 우선 도 7(a), (b)에 나타내는 바와 같이, 좌우로 분할된 홀더 부재(21)의 지지부(22)의 상대하는 내측면에서 핀 삽입구멍(23)의 개구부에, 핀구멍(24)이 형성된 초경 재료제의 링체(25)를, 핀 삽입구멍(23)의 축심과 핀구멍(24)의 축심을 일치시킨 상태로 납땜에 의해 접합한다. 이 작업은, 링체(25)의 외경(약 3㎜)이나 핀 삽입구멍(23)의 지름(약 0.8㎜)이 매우 작고 그리고 정밀도를 요하기 때문에, 납땜면(핀 삽입구멍(23)의 개구면)을 외부로 노출시킬 필요가 있고, 그 때문에, 휠 홀더를 2개의 홀더 부재(21)로 분할하고 있다.

이어서, 도 7(c)에 나타내는 바와 같이, 좌우의 홀더 부재(21)를 합체시켜 볼트(20)로 결합한다. 이때, 좌우의 링체(25)의 간격(L)을, 부착하는 커터 휠(A)의 폭에 맞춰 허용 공차 내에 들어가는 조정을 행한다. 즉, 간격(L)이 허용 공차로부터 벗어나 있을 때는, 일단 체결한 볼트(20)를 떼어내어 좌우의 홀더 부재(21)별로 분할하고, 체결시에 홀더 부재(21)끼리가 맞닿는 내측면(좌우 홀더 부재(21)의 마주침 면)을 연마하여 조정한 후에, 재차 볼트(20)로 결합하여, 간격(L)의 조정이 제대로 이루어졌는지를 확인한다. 통상, 간격(L)이 허용 공차 내에 들어갈 때까지 이 일련의 작업을 수회 반복한다.

이어서, 도 7(d)에 나타내는 바와 같이, 핀 게이지(30)를 좌우의 핀 삽입구멍(23) 그리고 링체(25)의 핀구멍(24)으로 끼워져 통하게 하여 직진도를 확인하고, 도 7(e)의 휠 홀더를 완성한다.

이와 같이, 휠 홀더의 제작에는 가공 공정, 조정 공정이 많고, 게다가 번잡하고 귀찮은 작업이 필요로 되기 때문에, 수고가 들고, 제조 비용이 비싸게 된다는 문제가 있었다.

또한, 상기 종래 기술에서는 다음과 같은 문제점도 있었다. 즉, 링체(25)가 핀 삽입구멍(23)을 일부라도 막는 바와 같은 상황이 되면, 커터 핀(26)의 회전, 마모, 수명에 큰 악영향이 있기 때문에, 도 8에서 나타내는 바와 같이, 링체(25)의 핀구멍(24)의 지름은, 핀 삽입구멍(23)보다도 조금 크게 형성하도록 하고 있다. 그 결과, 커터 핀(26)이 지지되는 핀 삽입구멍(23)의 개구단에서, 커터 핀(26)이 커터 휠(A)을 지지하는 점까지의 거리(구체적으로는 링체(25)의 두께에 상당하는 거리)가 발생하고, 이 부분에서는 커터 핀(26)과 링체(25)가 비접촉이 되는 점에서, 압접시에 커터 휠(A)에 상향의 힘이 가해졌을 때에, 이 거리에 따라서 커터 핀(26)에 가해지는 모멘트가 커져, 커터 핀(26)의 마모를 가속시켜 버리는 요인이 되고 있었다.

그래서 본 발명은, 첫번째로, 제조 공정을 간소화하여 비용의 저감화를 도모할 수 있는 것이면서, 커터 휠로서의 높은 회전 정밀도를 보지하여 사용 수명을 연장할 수 있는 휠 홀더 그리고 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은, 두번째로, 링체(25)의 두께에 따라서 발생하는 모멘트의 영향으로 가속하는 커터 핀의 마모를 작게 억제할 수 있는 휠 홀더 그리고 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명의 휠 홀더의 제조 방법은, 하부에 커터 휠을 넣기 위한 하향으로 개구한 홈과, 상기 홈을 사이에 두고 상대하는 좌우의 지지부가 형성된 홀더 부재를 준비하고, 상기 좌우의 지지부를 관통하는 원주체(圓柱體) 부착구멍을 형성하고, 상기 원주체 부착구멍에 초경 재료로 이루어지는 원주체를, 상기 홈을 횡단함과 함께 좌우의 지지부를 관통하도록 부착하는 원주체 부착 공정과, 와이어 방전 가공에 의해, 상기 원주체의 하면측으로부터 축심을 향하는 슬릿을 가공하고, 상기 슬릿에 이어서 원주체의 축심부를 관통하는 핀 삽입구멍을 가공하는 와이어 방전 가공 공정과, 상기 홈의 사이에서, 홈을 횡단하는 원주체의 중간 부위를 절제하여 커터 휠을 넣기 위한 극간을 가공하는 극간 형성 공정으로 이루어지는 구성으로 했다.

여기에서, 와이어 방전 가공이란, 가는 와이어를 공구 전극으로 하고, 이 와이어를 2차원의 윤곽 형상을 그리도록 이동시킴으로써, 방전열로 재료를 용융하여 실톱 기계와 같이 윤곽을 도려내어 가공하는 방법을 말한다. 와이어 방전 가공은 피(被)가공물이 도전성의 재료라면 가공할 수 있기 때문에, 공구강 등의 금속제 홀더 보디의 정밀 가공에 적용할 수 있다.

초경 재료란, 구체적으로는 소결 다이아몬드 또는 초경합금을 말한다. 이들은 내마모성이 우수한 재료이다.

본 발명의 휠 홀더의 제조 방법에 있어서는, 원주체의 중간 부위(홈에 노출되는 부분)를 절제한 후에 형성되어 있는 좌우의 원주체의 핀 삽입구멍이, 와이어 방전 가공기의 1개의 와이어에 의해 동시에 가공된 것이기 때문에, 곧장 일직선 상에 형성할 수 있어, 좌우의 핀 삽입구멍의 직진도 등의 가공 정밀도를 높일 수 있고, 이 핀 삽입구멍에 삽입된 커터 핀으로 축지지시키는 커터 휠의 회전 정밀도가 향상되어, 회전 지지 부분의 마모를 억제할 수 있다.

또한, 커터 핀을 받는 핀 삽입구멍이 초경 재료제의 원주체 전체 길이에 걸쳐 길게 형성되기 때문에, 원주체 전체에서 거의 균일하게 하중을 받게 되고, 삽입되는 커터 핀을 안정성 좋게 보지하여, 내하중성을 한층 향상시킬 수 있다.

또한, 링체에 상당하는 부품이 없어져, 커터 핀이 원주체에 지지되는 점에서 커터 핀이 커터 휠을 지지하는 점까지의 거리는 무시할 수 있을 만큼 작아지기 때문에, 마모를 가속시키는 바와 같은 모멘트는 거의 발생하지 않는다.

상기 발명에 있어서, 와이어 방전 가공 공정은, 홀더 부재 하부의 외형 윤곽의 가공과 동시에 연속한 일련의 동작으로 행해지도록 해도 좋다.

이와 같이 하면, 와이어 방전 가공에 의해, 홀더 부재 하부의 외형 윤곽을 가공함과 동시에 원주체의 하면에서, 원주체의 축심부를 관통하는 핀 삽입구멍의 가공까지를, 연속한 일련의 작업으로 행하기 때문에, 제조 공정을 적게 할 수 있어 비용의 저감화를 도모할 수 있다.

(그 외의 과제를 해결하기 위한 수단 및 효과)

또 다른 관점에서 이루어진 본 발명의 휠 홀더는, 전술한 제조 방법에 의해 형성됨으로써, 하부에 커터 휠을 넣기 위한 하향으로 개구한 홈과, 상기 홈을 사이에 두고 상대하는 좌우의 지지부가 형성된 홀더 부재에, 상기 좌우의 지지부를 관통하는 원주체 부착구멍이 형성되고, 초경 재료제의 원주체가 상기 홈을 횡단함과 함께 좌우의 지지부를 관통하도록 상기 원주체 부착구멍에 부착되고, 상기 원주체의 하면측으로부터 축심을 향하는 슬릿과, 슬릿에 이어서 원주체의 축심을 관통하는 핀 삽입구멍이 와이어 방전 가공에 의해 형성되고, 또한, 상기 홈의 사이에서, 홈을 횡단하는 원주체의 중간 부위가 절제되어 커터 휠을 넣기 위한 극간이 형성되어 있는 구성으로 하고 있다.

이 휠 홀더에 의하면, 좌우의 지지부가 일체 구조이기 때문에 부품수를 적게할 수 있음과 함께, 원주체의 중간 부위를 절제한 후의 좌우의 원주체의 핀 삽입구멍이, 와이어 방전 가공에 의해 좌우 동시에 가공된 것이기 때문에, 일직선 상에 정확하게 형성할 수 있어 직진도 등의 가공 정밀도를 높일 수 있다. 또한, 커터 핀을 받는 핀 삽입구멍이 초경 재료로 이루어지는 원주체 전체 길이에 걸쳐 길게 형성되기 때문에, 삽입되는 커터 핀을 확실히 보지하여 내하중성을 한층 향상시킬 수 있다.

또한, 링체에 상당하는 부품이 없어져, 커터 핀이 원주체에 지지되는 점에서 커터 핀이 커터 휠을 지지하는 점까지의 거리는 무시할 수 있을 만큼 작아지기 때문에, 마모를 가속시키는 바와 같은 모멘트는 거의 발생하지 않는다.

또한, 다른 관점에서 이루어진 본 발명의 커터 휠 보지 기구는, 커터 휠과 상기 커터 휠을 보지하기 위한 휠 홀더로 이루어지는 커터 휠 보지 기구로서, 상기 휠 홀더는, 하부에 커터 휠을 넣기 위한 하향으로 개구한 홈과, 상기 홈을 사이에 두고 상대하는 좌우의 지지부가 형성된 홀더 부재에, 상기 좌우의 지지부를 관통하는 원주체 부착구멍이 형성되고, 초경 재료제의 원주체가 상기 홈을 횡단함과 함께 좌우의 지지부를 관통하도록 상기 원주체 부착구멍에 부착되고, 상기 원주체의 하면측으로부터 축심을 향하는 슬릿과, 슬릿에 이어서 원주체의 축심을 관통하는 핀 삽입구멍이 와이어 방전 가공에 의해 형성되고, 또한, 상기 홈의 사이에서, 홈을 횡단하는 원주체의 중간 부위가 절제되어 커터 휠을 넣기 위한 극간이 형성되어 있고, 상기 커터 휠은 상기 휠 홀더의 극간에 배치되고, 상기 원주체의 핀 삽입구멍에 초경 재료제의 커터 핀이 끼워져 통하고, 상기 홈 내에서 커터 휠이 좌우의 원주체의 단면(端面)에 접촉한 상태로 커터 핀에 의해 지지되고, 또한, 좌우의 지지 부의 외측면에 커버 부착구멍이 형성되고, 상기 커버 부착구멍에 지지된 커버에 의해, 커터 핀의 양단부가 막혀 커터 핀의 빠짐이 저지되도록 되어 있다.

본 발명의 커터 휠 보지 기구에 의하면, 전술한 휠 홀더에 의한 특징에 덧붙여, 좌우의 지지부의 외측면에 상기 커버 부착구멍에 지지된 커버에 의해, 커터 핀의 양단부가 막혀 커터 핀의 빠짐이 저지된다. 또한, 커터 휠을 교환하고 싶을 때에는, 커버를 떼어 내어 커터 핀을 뽑아냄으로써 용이하게 행할 수 있다.

도 1은 본 발명에 있어서의 휠 홀더의 일 실시 형태를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 있어서의 휠 홀더의 제조 공정의 제1 단계를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명에 있어서의 휠 홀더의 제조 공정의 제2 단계를 나타내는 사시도이다.
도 4는 와이어 방전 가공의 와이어 궤적을 나타내는 확대 평면도이다.
도 5는 본 발명에 있어서의 휠 홀더의 제조 공정을 단계적으로 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 휠 홀더에 커터 휠을 부착한 커터 휠 보지 기구를 나타내는 사시도이다.
도 7은 종래의 휠 홀더의 제조 공정을 단계적으로 나타내는 단면도이다.
도 8은 커터 휠을 부착한 종래의 휠 홀더를 나타내는 단면도이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하에 있어서, 본 발명의 상세를 그 실시 형태를 나타내는 도면에 기초하여 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명 방법에 의해 제조되는 휠 홀더(W)의 사시도로, 후술하는 도 5(d)에서 그 단면도를 나타낸다. 이 휠 홀더(W)는, 하부에 커터 휠(A)을 넣기 위한 하향으로 개구한 홈(1)을 갖고, 홈(1)을 사이에 두고 상대하는 좌우의 지지부(2)가 설치된 홀더 부재(3)를 구비하고 있다. 지지부(2)에는, 초경 재료(소결 다이아몬드 또는 초경합금)로 이루어지는 원주체(4)(일부가 절결(cut-away)되어 있음)가 지지부(2)를 관통하도록 매입되어 있다. 그리고, 원주체(4)의 축심부에는 와이어 방전 가공에 의해 핀 삽입구멍(9)이 가공되어 있다.

이하, 도 2～도 5에 기초하여, 본 발명에 따른 제조 방법의 공정을 설명한다.

우선, 도 2 그리고 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 하부에 커터 휠(A)을 넣기 위한 하향으로 개구한 홈(1)을 형성하고, 홈(1)을 사이에 두고 상대하는 좌우의 지지부(2)를 구비한 공구강 등의 금속제의 홀더 부재(3)를 제작한다. 이 홀더 부재(3)에는, 좌우의 지지부(2)를 관통하는 원주체 부착구멍(5)과, 후술하는 커터 핀 빠짐 방지용의 커버로서 기능하는 워셔를 부착하는 비스구멍(vis hole;6)(커버 부착구멍) 그리고 휠 홀더(W)를 스크라이브 장치의 스크라이브 헤드(도시하지 않음)에 부착하기 위한 부착구멍(7)이 미리 가공되어 있다.

이어서, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 홀더 부재(3)의 원주체 부착구멍(5)에 초경 재료로 이루어지는 원주체(4)를 꽂은 후, 납땜으로 고정한다.

이후, 홀더 부재(3)를 도 3에 나타내는 바와 같이 테이블 상에 눕혀 올려놓고, 와이어 방전 가공기(8)의 와이어(8a)를 도 3 그리고 도 4의 화살표로 나타내는 궤적(R)을 따라 주행시킴으로써, 홀더 부재(3)의 하부의 외형 윤곽을 소망하는 형상으로 가공한다. 이때, 원주체(4)의 하면으로부터 원주체(4)의 축심을 향하여 슬릿(S)을 가공하고, 이어서 원주체(4)의 축심을 주회(周回)하도록 이동하여 축심을 관통하는 핀 삽입구멍(9)을 일련의 작업으로 가공하도록 하면 효율적인 가공을 할 수 있기 때문에 바람직하다(도 1 그리고 도 5(c) 참조).

또한, 사용하는 커터 휠(A)의 지름에 맞춰 핀 삽입구멍(9)과 홀더 부재(3)의 최하단(最下端)과의 거리를 조정하기 위해, 필요에 따라서 홀더 부재(3)의 하부 및 원주체(4)의 하방 주면(周面) 부분을 절제하여, 홀더 부재(3)의 외형 윤곽을 소망하는 형상으로 한다. 홀더 부재(3)의 외형 윤곽 형상은 특별히 한정되지 않지만, 날끝이 보이기 쉽고, 콤팩트하게 하기 위해, 도 4에 나타내는 바와 같이 원주체(4)의 하방 부분은 수평면으로 하고, 홀더 부재(3)의 좌우단에 가까운 영역은 경사면으로 하는 것이 바람직하다.

이어서, 홈(1)의 사이에서, 홈(1)을 횡단하는 원주체(4)의 중간 부위를, 커터 휠(A)의 폭에 맞춘 두께의 다이아몬드 커터 등으로 절제하여 커터 휠을 넣기 위한 극간(10)을 가공함으로써, 도 5(d) 그리고 도 1에 나타내는 바와 같은, 휠 홀더(W)를 제작한다. 이 가공에서는, 극간(10)의 폭을, 커터 휠(A)의 폭에 따른 허용 공차 내에 들어가는 것이 필요해지지만, 원주체(4)를 가공하는 것이고, 게다가 직접 극간 게이지 등으로 극간의 간격을 측정하면서 가공하면 좋기 때문에, 조정 작업은 간단하게 행할 수 있다.

이와 같이 하여 얻어진 휠 홀더(W)의 좌우의 핀 삽입구멍(9)은, 와이어 방전 가공기(8)의 1개의 와이어(8a)에 의해 좌우 동시에 가공된 것이기 때문에, 일직선 상에 정확하게 형성할 수 있어 좌우의 핀 삽입구멍(9)의 직진도 등의 가공 정밀도를 높일 수 있다. 또한, 커터 핀(12)을 받는 핀 삽입구멍(9)이 초경 재료제의 원주체(4)의 전체 길이에 걸쳐 길게 형성되기 때문에, 삽입되는 커터 핀(12)과의 내마모성이나 내하중성을 한층 향상시킬 수 있다.

제작된 휠 홀더(W)에는, 도 5(e)에 나타내는 바와 같이, 좌우의 원주체(4)의 극간(10)에 초경 재료로 만들어진 커터 휠(A)이 배치되고, 원주체(4)의 핀 삽입구멍(9) 그리고 커터 휠(A)의 핀구멍(11)에 초경 재료제의 커터 핀(12)을 끼워 통하게 함으로써 커터 휠(A)이 축지지된다. 이때, 분단된 좌우의 원주체(4)의 단면이, 커터 휠(A)의 좌우측면에 가볍게 접촉하도록 극간(10)의 치수가 설정되어 있다.

그리고, 도 6에 나타내는 바와 같이, 좌우의 지지 부재(2)의 외측면에서 비스(13)에 의해 와셔(14)(커버)를 부착하여, 커터 휠 보지 기구(C)를 완성시킨다. 이에 따라, 커터 핀(12)의 양단부가 막혀 커터 핀(12)의 빠짐이 저지된다. 또한, 커터 휠(A)을 교환하고 싶을 때에는, 와셔(14)를 떼어 내어 커터 핀(12)을 뽑아냄으로써 간단하게 교환할 수 있다.

또한, 커터 휠(A)의 측면이, 좌우의 원주체(4)의 단면에 접촉하여 지지되어 있기 때문에, 커터 휠(A)의 수직도가 높여져 회전 지지 부분의 마모를 억제할 수 있다. 또한, 커터 휠(A)의 내주면과 커터 핀(12)의 외주면과의 사이에 마모에 의한 극간이 발생해도, 커터 휠(A)의 수직도를 유지할 수 있어, 커터 휠(A)의 사용 수명을 연장할 수 있다.

이상, 본 발명의 대표적인 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기의 실시예 구조에만 특정되는 것은 아니며, 본 발명의 목적을 달성하고, 특허 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.

본 발명은, 유리 기판이나 세라믹 기판, 반도체 웨이퍼 등의 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 것에 이용되는 커터 휠을 보지하는 휠 홀더, 그리고 그 제조 방법에 적용할 수 있다.

A : 커터 휠
C : 커터 휠 보지 기구
R : 와이어 이동 궤적
W : 휠 홀더
1 : 홈
2 : 지지부
3 : 홀더 부재
4 : 원주체
6 : 비스구멍(커버 부착구멍)
9 : 핀 삽입구멍
10 : 극간
12 : 커터 핀
14 : 와셔(커버)

Claims (4)

1. 하부에 커터 휠을 넣기 위한 하향으로 개구한 홈과, 상기 홈을 사이에 두고 상대하는 좌우의 지지부가 형성된 홀더 부재를 준비하고, 상기 좌우의 지지부를 관통하는 원주체 부착구멍을 형성하고, 상기 원주체 부착구멍에 초경 재료로 이루어지는 원주체를, 상기 홈을 횡단함과 함께 좌우의 지지부를 관통하도록 부착하는 원주체 부착 공정과,
   와이어 방전 가공에 의해, 상기 원주체의 하면측으로부터 축심을 향하는 슬릿을 가공하고, 상기 슬릿에 이어서 원주체의 축심부를 관통하는 핀 삽입구멍을 가공하는 와이어 방전 가공 공정과,
   상기 홈의 사이에서, 홈을 횡단하는 원주체의 중간 부위를 절제하여 커터 휠을 넣기 위한 극간을 가공하는 극간(gap) 형성 공정으로 이루어지는 휠 홀더의 제조 방법.
2. 제1항에 있어서,
   상기 와이어 방전 가공 공정은, 홀더 부재 하부의 외형 윤곽의 가공과 동시에 연속한 일련의 동작으로 행해지는 휠 홀더의 제조 방법.
3. 하부에 커터 휠을 넣기 위한 하향으로 개구한 홈과, 상기 홈을 사이에 두고 상대하는 좌우의 지지부가 형성된 홀더 부재에, 상기 좌우의 지지부를 관통하는 원주체 부착구멍이 형성되고, 초경 재료제의 원주체가 상기 홈을 횡단함과 함께 좌우의 지지부를 관통하도록 상기 원주체 부착구멍에 부착되고,
   상기 원주체의 하면측으로부터 축심을 향하는 슬릿과, 슬릿에 이어서 원주체의 축심을 관통하는 핀 삽입구멍이 와이어 방전 가공에 의해 형성되고, 또한, 상기 홈의 사이에서, 홈을 횡단하는 원주체의 중간 부위가 절제되어 커터 휠을 넣기 위한 극간이 형성되어 있는 휠 홀더.
4. 커터 휠과 상기 커터 휠을 보지(holding)하기 위한 휠 홀더로 이루어지는 커터 휠 보지 기구로서,
   상기 휠 홀더는, 하부에 커터 휠을 넣기 위한 하향으로 개구한 홈과, 상기 홈을 사이에 두고 상대하는 좌우의 지지부가 형성된 홀더 부재에, 상기 좌우의 지지부를 관통하는 원주체 부착구멍이 형성되고, 초경 재료제의 원주체가 상기 홈을 횡단함과 함께 좌우의 지지부를 관통하도록 상기 원주체 부착구멍에 부착되고,
   상기 원주체의 하면측으로부터 축심을 향하는 슬릿과, 슬릿에 이어서 원주체의 축심을 관통하는 핀 삽입구멍이 와이어 방전 가공에 의해 형성되고, 또한, 상기 홈의 사이에서, 홈을 횡단하는 원주체의 중간 부위가 절제되어 커터 휠을 넣기 위한 극간이 형성되어 있고,
   상기 커터 휠은 상기 휠 홀더의 극간에 배치되고,
   상기 원주체의 핀 삽입구멍에 초경 재료제의 커터 핀이 끼워져 통하게 되고, 상기 홈 내에서 커터 휠이 좌우의 원주체의 단면(端面)에 접촉한 상태로 커터 핀에 의해 지지되고,
   또한, 좌우의 지지부의 외측면에 커버 부착구멍이 형성되고,
   상기 커버 부착구멍에 지지된 커버에 의해, 커터 핀의 양단부가 막혀 커터 핀의 빠짐이 저지되도록 한 커터 휠 보지 기구.

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