KR101203620B1 - 초정밀설비 셋업용 슬라이딩식 위치조절장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 수평으로 위치된 베이스판이 구비되어 있고 상기 베이스판의 상면부 외곽부분 전후좌우에는 각각 수직판이 수직으로 고정부착되어 있으며 상기 각 수직판의 좌우양측에는 암나사공이 천공되어 있고 상기 암나사공에는 수평방향으로 위치조절볼트가 나사체결식으로 관통개재되어 있으며 상기 베이스판의 상면부 가운데부분에는 일정두께를 지닌 금속재질의 하부고정판이 수평으로 눕혀진 상태로 고정부착되어 있는 베이스본체부와, 상기 베이스본체부의 하부고정판 상부에 수평으로 위치된 상태로 올려지는 일정두께를 지닌 금속재질의 판형상으로 하면부에는 하부고정판과의 마찰감소를 위한 윤활재가 개재되어 있어 미끄럼이동되도록 되어 있으며 상면부가 수직판의 상면부보다 상방으로 돌출되게 위치되도록 되어 그 상부에 각종 설비가 올려지면서 받침지지하도록 되어 있고 상기 위치조절볼트의 끝단이 전후좌우 각 측면의 양측끝부분에 맞닿은 상태로 각각의 위치조절볼트를 풀거나 조임에 따라 하부고정판위에서 미끄럼이동되면서 미세위치조절되는 상부조절판으로 구성된 것을 특징으로 하는 초정밀설비 셋업용 슬라이딩식 위치조절장치에 관한 것이다.

Description

초정밀설비 셋업용 슬라이딩식 위치조절장치{Sliding position control device for a setting up high precision equipments}
본 발명은 수톤정도의 크기로 분해되어 크린룸(clean room) 등으로 반입된 반도체, LCD, PDP, LED, 태양전지 등의 각종 생산설비를 완성품으로 조립설치하는 셋업(setup)작업시 하나 또는 복수개가 하부에서 받침지지하면서 미세한 전후좌우 위치조절을 통한 정교하고 안정적인 셋업작업이 이루어지도록 하는 미세위치조절장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 수평으로 위치된 베이스판이 구비되어 있고 상기 베이스판의 상면부 외곽부분 전후좌우에는 각각 수직판이 수직으로 고정부착되어 있으며 상기 각 수직판의 좌우양측에는 암나사공이 천공되어 있고 상기 암나사공에는 수평방향으로 위치조절볼트가 나사체결식으로 관통개재되어 있으며 상기 베이스판의 상면부 가운데부분에는 일정두께를 지닌 금속재질의 하부고정판이 수평으로 눕혀진 상태로 고정부착되어 있는 베이스본체부와, 상기 베이스본체부의 하부고정판 상부에 수평으로 위치된 상태로 올려지는 일정두께를 지닌 금속재질의 판형상으로 하면부에는 하부고정판과의 마찰감소를 위한 윤활재가 개재되어 있어 미끄럼이동되도록 되어 있으며 상면부가 수직판의 상면부보다 상방으로 돌출되게 위치되도록 되어 그 상부에 각종 설비가 올려지면서 받침지지하도록 되어 있고 상기 위치조절볼트의 끝단이 전후좌우 각 측면의 양측끝부분에 맞닿은 상태로 각각의 위치조절볼트를 풀거나 조임에 따라 하부고정판위에서 미끄럼이동되면서 미세위치조절되는 상부조절판으로 구성된 것을 특징으로 하는 초정밀설비 셋업용 슬라이딩식 위치조절장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체, LCD, PDP, LED, 태양전지, 2차전지 생산설비 등은 엄격한 청결조건을 요하는 크린룸(clean room)에 설치되어 사용되고 있으며 상기 크린룸에는 통상의 지게차나 크레인 장비 등이 투입될 수 없어 무게가 대략 수십톤정도로 대형이면서 무거운 하중을 지닌 각종 생산설비를 크린룸에 반입 또는 반출하기 위해서는 작업자가 운반가능하도록 수톤정도의 소형크기로 각종 생산설비를 분해 및 해체하고 운반용 트롤리에 이를 적재하여 수동식으로 원하는 위치로 이송한 후 다시 원상태로 그 조립위치 및 각도 등을 미세하게 맞추는 셋업(set up)작업을 통해 조립설치하였다.
상기와 같은 운반작업에 사용되는 운반용 트롤리(trolley)는 각종 물품을 적재한 상태에서 수동식으로 이송하는 통상의 손수레나 운반차로서, 종래의 운반트롤리는 소정의 판형상으로 상부에 각종 물품이 적재되는 상판부재가 구비되어 있고 상기 상판부재의 하면부에는 수직하방으로 복수개의 롤러설치판이 일정간격으로 고정부착되어 있으며 상기 복수개의 롤러설치판 사이에는 복수개의 롤러가 설치되어 있어 작업자가 상판부재에 적재된 물품을 수동식으로 밀어 원하는 위치로 이동시키도록 되어 있다.
이러한 수동식 운반트롤리에 관한 종래기술로서 본 출원인에 의해 등록된 대한민국 등록실용신안공보 등록번호 제 20-0457512호에서는 상부에 물품이 적재된 상태로 하부에 구비된 복수개의 롤러에 의해 구름이동되는 적재부와 상기 적재부의 전방에 착탈식으로 연결 장착되면서 적재부를 수동식으로 견인하는 핸들부로 구성된 운반트롤리에 있어서, 상기 적재부는 전방 가운데부분에 외측으로 돌출되게 고정부착된 한쌍의 전방브라켓이 구비되고 상기 한쌍의 전방브라켓 사이에는 좌우 수평방향으로 중심축이 일체로 고정부착되어 있으며, 상기 핸들부는 상부에 손잡이부가 설치된 막대형상의 핸들몸체가 구비되고 상기 핸들몸체의 하부 가운데부분에는 중심축삽입공이 좌우 수평방향으로 천공되어 있으며 상기 핸들몸체의 전면 하부에는 상기 중심축삽입공과 연통되는 개구부가 형성되어 있어 상기 핸들몸체의 개구부를 통해 중심축이 중심축삽입공 내측으로 삽입되도록 되어 있고 상기 핸들몸체에서 개구부가 형성된 부분의 내주면 하부에는 하나 또는 복수개의 걸림볼이 구비되어 있되 상기 걸림볼은 핸들몸체의 내측 하부에 내장설치된 상태로 탄성스프링에 의해 탄성지지되면서 상부가 개구부의 내주면 외측으로 돌출되게 설치되어 중심축삽입공에 삽입된 중심축이 걸림지지되도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 착탈식 핸들부가 구비된 운반트롤리가 개시되었다.
그러나, 상기와 같은 종래기술은 단순히 상부에 운반물을 적재하여 수동식으로 이송하기 위한 목적으로만 사용될 뿐 수톤정도의 소형크기로 분해된 반도체, LCD, PDP, LED, 태양전지 등의 각종 설비를 크린룸 등에서 조립설치하는 셋업작업시에는 적재된 운반물의 미세한 전후좌우 위치조절이 어려워 조립되는 설비끼리 서로 부딪치면서 손상됨으로써 정교한 작업을 요하는 셋업작업시에는 부적합한 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위한 것으로 베이스본체부의 전후좌우에 수직으로 세워진 각 수직판의 좌우양측에 위치조절볼트를 각각 설치하고 상기 베이스본체부의 가운데부분에 고정설치된 하부고정판과 그 상부에 올려지는 상부조절판 사이에는 마찰력 감소를 위한 윤활재(潤滑材)를 개재(介在)하여 반도체, LCD, PDP, LED, 태양전지 등의 각종 생산설비를 조립설치하는 셋업작업시 수톤정도의 크기로 분해된 설비를 하부에서 받침지지하면서 상기 위치조절볼트를 풀거나 조임에 따라 상부조절판이 하부고정판위에서 자연스럽게 미끄럼이동되면서 수동식으로 미세한 전후좌우 위치조절이 이루어지도록 하여 정교하고 안정적인 셋업작업이 이루어지도록 하는 것에 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위하여 수평으로 위치된 베이스판이 구비되어 있고 상기 베이스판의 상면부 외곽부분 전후좌우에는 각각 수직판이 수직으로 고정부착되어 있으며 상기 각 수직판의 좌우양측에는 암나사공이 천공되어 있고 상기 암나사공에는 수평방향으로 위치조절볼트가 나사체결식으로 관통개재되어 있으며 상기 베이스판의 상면부 가운데부분에는 일정두께를 지닌 금속재질의 하부고정판이 수평으로 눕혀진 상태로 고정부착되어 있는 베이스본체부와, 상기 베이스본체부의 하부고정판 상부에 수평으로 위치된 상태로 올려지는 일정두께를 지닌 금속재질의 판형상으로 하면부에는 하부고정판과의 마찰감소를 위한 윤활재가 개재되어 있어 미끄럼이동되도록 되어 있으며 상면부가 수직판의 상면부보다 상방으로 돌출되게 위치되도록 되어 그 상부에 각종 설비가 올려지면서 받침지지하도록 되어 있고 상기 위치조절볼트의 끝단이 전후좌우 각 측면의 양측끝부분에 맞닿은 상태로 각각의 위치조절볼트를 풀거나 조임에 따라 하부고정판위에서 미끄럼이동되면서 미세위치조절되는 상부조절판으로 구성된 것에 본 발명의 특징이 있다.
상기와 같이 본 발명에 의하면 베이스본체부의 전후좌우에 구비된 각 수직판의 좌우양측에 위치조절볼트가 설치되어 있고 상기 베이스본체부의 가운데부분에 고정설치된 하부고정판과 그 상부에 올려지는 상부조절판 사이에는 마찰력감소를 위한 윤활재(潤滑材)가 개재(介在)되어 있어 반도체, LCD, PDP, LED, 태양전지 등의 각종 생산설비를 조립설치하는 셋업작업시 수톤정도의 크기로 분해된 설비를 하부에서 안정적으로 받침지지하면서 상기 위치조절볼트를 풀거나 조임에 따라 상부조절판이 하부고정판위에서 미끄럼이동되면서 수동식으로 미세한 전후좌우 위치조절이 이루어질 수 있어 각종 설비의 손상없이 정교하고 안정적인 셋업작업이 이루어질 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 슬라이딩식 위치조절장치의 분해상태를 도시한 사시개략도
도 2는 본 발명에 따른 슬라이딩식 위치조절장치의 조립상태를 도시한 사시개략도
도 3은 본 발명에 따른 슬라이딩식 위치조절장치의 단면개략도
도 4는 본 발명에 따른 슬라이딩식 위치조절장치에 의해 각종 설비가 미세위치조절되는 상태의 단면개략도
도 5은 본 발명에 따른 슬라이딩식 위치조절장치의 다른 실시예를 나타낸 분해상태의 사시개략도
도 6은 본 발명에 따른 슬라이딩식 위치조절장치의 다른 실시예를 나타낸 단면개략도
이하 본 발명에 따른 바람직한 구성을 도면에 의해 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 초정밀설비 셋업용 슬라이딩식 위치조절장치(1)는 도 1 내지 6에 도시된 바와 같이 수톤정도의 크기로 분해되어 크린룸(clean room) 등으로 반입된 반도체, LCD, PDP, LED, 태양전지 등의 각종 생산설비를 완성품으로 조립설치하는 셋업(setup)작업시 하나 또는 복수개가 하부에서 받침지지하면서 미세한 전후좌우 위치조절을 통한 정교하고 안정적인 셋업작업이 이루어지도록 하는 셋업용 장치로서, 수평으로 위치된 베이스판(3)이 구비되어 있고 상기 베이스판(3)의 상면부 외곽부분 전후좌우에는 각각 수직판(4)이 수직으로 고정부착되어 있으며 상기 각 수직판(4)의 좌우양측에는 암나사공(5)이 천공되어 있고 상기 암나사공(5)에는 각각 수평방향으로 위치조절볼트(6)가 나사체결식으로 관통개재되어 있으며 상기 베이스판(3)의 상면부 가운데부분에는 일정두께를 지닌 금속재질의 하부고정판(8)이 수평으로 눕혀진 상태로 일체로 고정부착되어 있는 베이스본체부(2)와, 상기 베이스본체부(2)의 하부고정판(8) 상부에 수평으로 위치된 상태로 올려지는 일정두께를 지닌 금속재질의 판형상으로 하면부에는 하부고정판(8)과의 마찰감소를 위한 윤활재(10)가 개재되어 있어 미끄럼이동되도록 되어 있으며 상면부가 수직판(4)의 상면부보다 상방으로 돌출되게 위치되도록 되어 있어 그 상부에 각종 설비가 올려지면서 받침지지하도록 되어 있고 상기 위치조절볼트(6)의 끝단이 전후좌우 각 측면의 양측끝부분에 맞닿은 상태로 각각의 위치조절볼트(6)를 풀거나 조임에 따라 하부고정판(8) 위에서 전후좌우로 미끄럼이동되면서 미세위치조절되는 상부조절판(9)으로 구성된다.
상기 베이스본체부(2)는 도 1 내지 4에 도시된 바와 같이 각종 설비가 조립설치되는 위치의 지면위에 올려진 상태로 복수개의 위치조절볼트(6)를 통해 상부조절판(9)을 전후좌우로 미세하게 위치조절하는 부분으로, 금속재질로 수평으로 위치되는 사각판형상으로 된 베이스판(3)이 구비되어 있고 상기 베이스판(3)의 상면부 외곽부분 전후좌우에는 각각 수직판(4)이 수직으로 세워져 둘러싼 상태로 일체로 고정부착되어 있으며 상기 각 수직판(4)의 좌우양측에는 암나사공(5)이 각각 천공되어 있고 상기 각 암나사공(5)에는 도 1 및 2에 도시된 바와 같이 각각 수평방향으로 위치조절볼트(6)가 나사체결식으로 관통 개재(介在)되어 있되, 상기 위치조절볼트(6)는 외주면에 숫나사부가 형성된 긴 볼트로서 일측에 형성된 헤드부(7)는 베이스본체부(2)의 외측으로 위치되고 타측 끝단은 베이스본체부(2)의 내측에 위치되면서 상기 상부조절판(9)의 각 측면 양측끝부분에 각각 맞닿도록 되어 있어 도 4에 도시된 바와 같이 상기 위치조절볼트(6)의 헤드부(7)를 조작하여 전후좌우에 위치된 위치조절볼트(6)를 풀거나 조임에 따라 베이스본체부(2)의 내측에 위치되는 위치조절볼트(6)의 타측끝단이 상부조절판(9)의 각 측면 양측끝부분을 전후좌우에서 밀어 수동식으로 상부조절판(9)의 위치를 조절하도록 되어 있으며, 상기 베이스판(3)의 상면부 가운데부분에는 일정두께를 지닌 금속재질의 하부고정판(8)이 수평으로 눕혀진 상태로 일체로 고정부착되어 있어 상기 하부고정판(8)의 상면부에 상부조절판(9)이 올려지도록 되어 있다.
또한, 상기 하부고정판(8)은 전체적인 재질이 높은 강도를 지닌 특수강이나 합금강 등으로 되어 있으며 도 1 내지 4에 도시된 바와 같이 베이스판(3)보다 작은 크기를 지닌 사각판형상으로 외측면이 전후좌우를 둘러싼 수직판(4)과 일정간격 이격되도록 되어 있고 상면부가 매끄러운 평면형으로 가공되어 있어 상부에 올려지는 상부조절판(9)과의 마찰력을 최소화시키도록 되어 있다.
상기 상부조절판(9)은 도 1 내지 4에 도시된 바와 같이 상부에 각종 설치가 올려진 상태로 하부고정판(8)의 상면부에서 미끄럼이동되면서 전후좌우 미세위치조절되는 부분으로, 상기 하부고정판(8)의 상부에 수평으로 위치된 상태로 올려지는 일정두께를 지닌 금속재질의 판형상으로 하부고정판(8)에 부합되는 크기 및 형상으로 되어 있어 외측면이 베이스본체부(2)의 수직판(4)과 일정간격 이격되게 설치되면서 위치조절볼트(6)의 조작에 따라 베이스본체부(2)의 내측에서 전후좌우 이동가능하도록 되어 있고 전체적인 재질이 높은 강도를 지닌 특수강이나 합금강 등으로 되어 있으며 하면부가 매끄러운 평면형으로 가공되어 있고 하부고정판(8)과의 마찰감소를 위한 윤활재(10)가 개재(介在)되어 있어 하부고정판(8)의 상면부에서 자유롭게 미끄럼이동되도록 되어 있으며, 상기 상부조절판(9)의 상면부는 수직판(4)의 상면부보다 상방으로 돌출되게 위치되도록 되어 있어 그 상부에 각종 설비가 올려지면서 받침지지하도록 되어 있고 상기 위치조절볼트(6)의 타측 끝단이 도 2에 도시된 바와 같이 상부조절판(9)의 전후좌우 각 측면부분의 양측끝부분에 맞닿은 상태로 각각의 위치조절볼트(6)를 풀거나 조임에 따라 하부고정판(8) 위에서 전후좌우로 미끄럼이동되면서 미세위치조절되도록 되어 있다.
상기 윤활재(10)는 상부조절판(9)과 하부고정판(8) 사이의 마찰력을 최소화시켜 상부조절판(9)의 이동이 용이하게 이루어지도록 하는 액체상태 또는 고체상태의 윤활재(潤滑材)로서, 도 3 및 4에 도시된 바와 같이 윤활유와 같은 액체상태의 오일형태로 되어 있거나, 또는 본 발명의 다른 실시예인 도 5 및 6에 도시된 바와 같이 합성수지나 석면재질 등을 이용하여 평면형으로 제조된 패드형태로 되어 있다.
또한, 상기 상부조절판(9)은 가운데부분에 수직으로 오일주입공(11)이 천공되어 있어 상부조절판(9)과 하부고정판(8) 사이에 윤활유 등의 오일을 주입하도록 되어 있으며, 상기 상부조절판(9)의 하면부에는 도 1 및 3, 4에 도시된 바와 같이 오일주입공(11)이 천공된 부분을 중심으로 방사상으로 오일주입로(12)가 오일주입공(11)과 연통되게 형성되어 있어 상기 오일주입공(11)을 통해 유입되는 오일이 상부조절판(9)의 하면부에 전체적으로 고르게 공급되도록 되어 있다.
또한, 상기 상부조절판(9)은 도 3 및 4에 도시된 바와 같이 하면부 외곽둘레에 스펀지 등의 재질로 된 오일누출방지재(13)가 내측에 삽입설치되어 있어 윤활유 등으로 된 윤활재(10)가 외측으로 흘러내리는 것으로 방지하면서 외부로부터 먼지 등의 오염물이 상기 상부조절판(9)과 하부고정판(8) 사이로 유입되는 것을 방지하도록 되어 있다.
이하 본 발명의 작용은 다음과 같다.
본 발명에 따른 설비셋업용 위치조절장치(1)를 사용하여 수톤정도의 크기로 분해되어 크린룸(clean room) 등으로 반입된 반도체, LCD, PDP, LED, 태양전지 등의 각종 생산설비를 완성품으로 조립설치하는 경우에는, 먼저 도 1에 도시된 바와 같이 베이스본체부(2)의 전후좌우에 수직으로 세워진 수직판(4)의 좌우양측에 천공된 암나사공(5)에 각각 위치조절볼트(6)를 나사체결식으로 관통 개재하고 상기 베이스본체부(2)의 하부고정판(8)의 상면부에는 이에 부합되는 크기 및 형상으로 된 상부조절판(9)을 올려놓되 상기 상부조절판(9)과 하부고정판(8) 사이에는 도 3에 도시된 바와 같이 윤활유 등의 오일형태나 또는 도 5, 6에 도시된 바와 같이 합성수지나 석면 등을 이용하여 평면형으로 제조된 패드형태의 윤활재(10)를 개재(介在)하여 상부조절판(9)과 하부고정판(8) 사이의 마찰력이 최소화도록 하여 슬라이딩식 위치조절장치(1)의 조립을 완료하게 된다.
다음으로, 도 4에 도시된 바와 같이 일정크기로 분해된 상태로 이송된 각종 생산설비의 하면부에 하나 또는 복수개의 슬라이딩식 위치조절장치(1)를 설치하여 하부에서 받침지지하면서 상기 슬라이딩식 위치조절장치(1)의 미세한 전후좌우 위치조절에 따라 생산설비의 안정적이고 정교한 셋업작업이 이루어지도록 하되, 상기 베이스본체부(2)의 각 수직판(4) 좌우양측에 관통 개재된 위치조절볼트(6)의 헤드부(7)를 풀거나 조임에 따라 상기 위치조절볼트(6)의 타측 끝단이 베이스본체부(2)의 내측에 위치된 상부조절판(9)의 각 측면 양측끝부분을 전후좌우에서 밀어 수동식으로 상부조절판(9)의 위치를 조절하게 되며, 이에 따라 상부조절판(9)의 상부에 올려진 각종 설비도 전후좌우로 위치조절되면서 안정적이고 정교한 셋업작업이 이루어지게 된다.
상기와 같이 조립설치가 완료된 후에는 통상의 유압잭 등으로 설비를 일정높이로 들어올린 상태에서 슬라이딩식 위치조절장치(1)를 빼내 제거하고 각 설비의 하면부에 다수개의 받침다리(도시하지 않음)를 설치하여 셋업작업을 마무리하게 된다.
1. 슬라이딩식 위치조절장치 2. 베이스본체부
3. 베이스판 4. 수직판
5. 암나사공 6. 위치조절볼트
7. 헤드부 8. 하부고정판
9. 상부조절판 10. 윤활재
11. 오일주입공 12. 오일주입로
13. 오일누출방지재

Claims (5)

  1. 수평으로 위치된 베이스판(3)이 구비되어 있고 상기 베이스판(3)의 상면부 외곽부분 전후좌우에는 각각 수직판(4)이 수직으로 고정부착되어 있으며 상기 각 수직판(4)의 좌우양측에는 암나사공(5)이 천공되어 있고 상기 암나사공(5)에는 각각 수평방향으로 위치조절볼트(6)가 나사체결식으로 관통개재되어 있으며 상기 베이스판(3)의 상면부 가운데부분에는 일정두께를 지닌 금속재질의 하부고정판(8)이 수평으로 눕혀진 상태로 일체로 고정부착되어 있는 베이스본체부(2)와, 상기 베이스본체부(2)의 하부고정판(8) 상부에 수평으로 위치된 상태로 올려지는 일정두께를 지닌 금속재질의 판형상으로 하면부에는 하부고정판(8)과의 마찰감소를 위한 윤활재(10)가 개재되어 있어 미끄럼이동되도록 되어 있으며 상면부가 수직판(4)의 상면부보다 상방으로 돌출되게 위치되도록 되어 있어 그 상부에 각종 설비가 올려지면서 받침지지하도록 되어 있고 상기 위치조절볼트(6)의 끝단이 전후좌우 각 측면부분의 양측끝부분에 맞닿은 상태로 각각의 위치조절볼트(6)를 풀거나 조임에 따라 하부고정판(8) 위에서 미끄럼이동되면서 미세위치조절되는 상부조절판(9)으로 구성된 것을 특징으로 하는 초정밀설비 셋업용 슬라이딩식 위치조절장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 윤활재(10)는 액체상태의 오일형태로 되어 있는 것을 특징으로 하는 초정밀설비 셋업용 슬라이딩식 위치조절장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 윤활재(10)는 합성수지나 석면재질을 이용하여 평면형으로 제조된 패드형태로 되어 있는 것을 특징으로 하는 초정밀설비 셋업용 슬라이딩식 위치조절장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 상부조절판(9)은 가운데부분에 수직으로 오일주입공(11)이 천공되어 있어 상부조절판(9)과 하부고정판(8) 사이에 액체상태의 오일을 주입하도록 되어 있으며 상기 상부조절판(9)의 하면부에는 오일주입공(11)이 천공된 부분을 중심으로 방사상으로 오일주입로(12)가 오일주입공(11)과 연통되게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 초정밀설비 셋업용 슬라이딩식 위치조절장치.
  5. 제 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 하부고정판(8)은 베이스판(3)보다 작은 크기를 지닌 판형상으로 외측면이 전후좌우를 둘러싼 수직판(4)과 일정간격 이격되도록 되어 있고, 상기 상부조절판(9)은 하부고정판(8)에 부합되는 크기 및 형상으로 되어 있어 외측면이 베이스본체부(2)의 수직판(4)과 일정간격 이격되게 설치되면서 위치조절볼트(6)의 조작에 따라 베이스본체부(2)의 내측에서 전후좌우 이동가능하도록 되어 있으며, 상기 상부조절판(9)의 하면부 외곽둘레에는 오일누출방지재(13)가 내측에 삽입설치되어 있는 것을 특징으로 하는 초정밀설비 셋업용 슬라이딩식 위치조절장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110142481A (zh) * 2019-05-22 2019-08-20 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种植柱工装
KR102024362B1 (ko) * 2019-03-26 2019-09-23 주식회사 포스라인 미세이동 가능한 축정렬장치 및 이를 구비하는 축정렬 시스템
US20210261376A1 (en) * 2020-02-22 2021-08-26 M.J. Lathern Co., Inc. Metal squaring table

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11130219A (ja) 1997-10-27 1999-05-18 Takasago Thermal Eng Co Ltd 重量物搬送器及び重量物位置決め装置
JP2002338019A (ja) 2001-05-14 2002-11-27 Nissin Electric Co Ltd 重量物移動器具
JP2004042923A (ja) 2002-07-09 2004-02-12 Mutsuura Kogyo Kk 輸送コンテナ用コーナモジュールの製造方法
KR200380738Y1 (ko) 2004-12-29 2005-04-07 이경구 미세 반도체 부품용 점착테이프 첩부장치의 지그 구조

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11130219A (ja) 1997-10-27 1999-05-18 Takasago Thermal Eng Co Ltd 重量物搬送器及び重量物位置決め装置
JP2002338019A (ja) 2001-05-14 2002-11-27 Nissin Electric Co Ltd 重量物移動器具
JP2004042923A (ja) 2002-07-09 2004-02-12 Mutsuura Kogyo Kk 輸送コンテナ用コーナモジュールの製造方法
KR200380738Y1 (ko) 2004-12-29 2005-04-07 이경구 미세 반도체 부품용 점착테이프 첩부장치의 지그 구조

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102024362B1 (ko) * 2019-03-26 2019-09-23 주식회사 포스라인 미세이동 가능한 축정렬장치 및 이를 구비하는 축정렬 시스템
CN110142481A (zh) * 2019-05-22 2019-08-20 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种植柱工装
CN110142481B (zh) * 2019-05-22 2021-07-06 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种植柱工装
US20210261376A1 (en) * 2020-02-22 2021-08-26 M.J. Lathern Co., Inc. Metal squaring table
US11623838B2 (en) * 2020-02-22 2023-04-11 M.J. Lathern Co., Inc. Metal squaring table

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