KR101195540B1 - 레이저장치 - Google Patents

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KR101195540B1
KR101195540B1 KR1020120018382A KR20120018382A KR101195540B1 KR 101195540 B1 KR101195540 B1 KR 101195540B1 KR 1020120018382 A KR1020120018382 A KR 1020120018382A KR 20120018382 A KR20120018382 A KR 20120018382A KR 101195540 B1 KR101195540 B1 KR 101195540B1
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laser
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excitation light
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KR1020120018382A
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정재성
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엘브이아이테크놀러지 (주)
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Abstract

본 발명은 레이저장치에 관한 것으로서, 상호 나란하게 배치된 미디엄전면 및 미디엄배면과 상기 미디엄전면과 상기 미디엄배면 사이를 연결하는 폐루프형태의 미디엄둘레면을 가지고 내부에는 외부로부터 여기에너지가 입력될 때 레이저발진동작이 일어나는 활성영역이 형성되어 있는 디스크 형태의 레이저미디엄과, 반사면이 상기 레이저미디엄의 내부를 향하도록 상기 미디엄배면에 설치된 전반사거울과 상기 전반사거울과 나란하도록 상기 레이저미디엄의 전방에 설치되어 상기 미디엄전면을 통해 방출되는 레이저 중 일부를 상기 레이저미디엄을 향해 반사시키고 나머지 레이저를 통과시키는 출력커플러를 갖는 공진부와, 상기 여기에너지를 갖는 여기광을 출력하는 여기광출력소자와 상기 여기광출력소자와 상기 레이저미디엄 사이에 설치되어 상기 여기광출력소자로부터 출력되는 여기광을 상기 레이저미디엄의 내부로 안내하는 여기광파이버를 구비한 여기에너지공급부를 갖는 레이저장치에 있어서, 전반사면을 가지고, 상기 전반사면이 상기 레이저미디엄의 내부를 향하도록 상기 미디엄둘레면에 설치된 전반사층부를 포함하고; 상기 여기광파이버는 종단이 상기 전반사면을 통과하도록 설치되고 출력되는 여기광이 상기 전반사거울과 상기 미디엄전면 중 어느 일방을 향해 진행하도록 설치되는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 설치작업이 용이해 지고 강도를 증가시킬 수 있다.

Description

레이저장치{Laser Apparatus}
본 발명은 반도체 레이저에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 레이저발진매질로서 디스크형태의 레이저미디엄을 갖는 레이저장치에 관한 것이다.
레이저란 단일 파장의 강력한 빛으로서, 재료의 절단, 구멍뚫기, 용접 등의 가공작업, 외과 수술 등에 널리 사용되고 있다.
레이저를 생성하기 위해서는 레이저발진작용이 일어나는 매질이 필요하며, 이러한 레이저발진매질의 하나로 디스크형태의 레이저미디엄을 갖는 레이저장치가 안출되어 사용되고 있다.
도7은 종래 레이저장치의 전체구성도이다.
종래의 레이저장치는, 도7에 도시된 바와 같이, 디스크형태의 레이저미디엄(110)과, 레이저미디엄(110)에 설치된 전반사거울(131)을 갖는 공진부(130)와, 레이저미디엄(110)에 여기에너지를 공급하는 여기에너지공급부(140)와, 레이저미디엄(110)에 결합된 히터싱크(122)를 갖고 있다.
레이저미디엄(110)은 상호 나란하게 배치된 미디엄전면(111) 및 미디엄배면(112)과, 미디엄전면(111)과 미디엄배면(112) 사이를 연결하는 폐루프형태의 미디엄둘레면(113)을 갖고 있다.
미디엄둘레면(113)은 원형띠 형태로 형성되어 있다.
이러한 구조를 갖는 레이저미디엄(110)은 YAG를 모체 결정으로 하여 Yb3 +을 활성물질로 첨가하는 등의 방법으로 제작할 수 있다. YAG 결정은 분자식이 Y3A15O12로, 가시광에서 적외광 영역까지 투명하고 광학적으로 손실이 대단히 작은 것이 특징이다. 또한 YAG는 굴절률이 1.817이고, 비중이 4.55에 경도도 높으며 융점이 1,950℃인 결정으로 기계적으로 강하고 화학적으로도 안정한 매질이다. 여기에 Yb3 +을 첨가하면 YAG결정의 Y3 +일부와 Yb3 +이 자리 바꿈하여 굴절율 1.823의 안정한 Yb:YAG 매질이 된다.
공진부(130)는 전반사거울(131)에 더하여 전반사거울(131)과 나란하도록 레이저미디엄(110)의 전방에 설치된 출력커플러(132, Output Coupler)를 갖고 있다.
전반사거울(131)은 반사면이 레이저미디엄(110)의 내부를 향하도록 미디엄배면(112)에 설치된다.
출력커플러(132)는 미디엄전면(111)을 통해 방출되는 레이저 중 일부를 레이저미디엄(110)을 향해 반사시키고 나머지 레이저를 통과시킨다.
여기에너지공급부(140)는 여기에너지를 갖는 여기광을 출력하는 여기광출력소자(도시되지않음)와, 레이저미디엄(110)와 출력커플러(132) 사이에 배치된 포물면거울(144, Parabolic Mirror)과, 레이저미디엄(110)의 하측에 배치된 볼록렌즈(145)와, 레이저미디엄(110)의 상측에 배치된 고반사거울(146)과, 여기광출력소자(도시되지않음)를 통해 출력되는 여기광을 볼록렌즈(145)로 안내하는 여기광파이버(143)를 갖고 있다.
여기광출력소자(도시되지않음)는 레이저다이오드 등의 레이저출력소자를 사용하여 구현할 수 있다.
포물면거울(144)은 레이저미디엄(110)에 대향하는 영역에 레이저통과공(144a)이 형성되어 있다.
그리고 포물면거울(144)은 레이저미디엄(110)을 향하는 면에는 포물선형태의 반사면이 형성되어 있다.
고반사거울(146)은 90%이상의 반사율을 갖도록 형성되어 있다.
여기광파이버(143)는 여기광출력소자(도시되지않음)에 광학적으로 연결되도록 설치된다.
히터싱크(122)에는 입수구(도시되지않음) 및 출수구(도시되지않음)와, 입수구(도시되지않음)와 출수구(도시되지않음)를 연결하는 냉각수유로(도시되지 않음)가 형성되어 있다.
이러한 구성을 갖는 종래 레이저장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저 여기광출력소자(도시되지않음)로부터 출력된 여기광은 여기광파이버(143)를 통해 볼록렌즈(145)로 안내된다.
볼록렌즈(145)로 안내된 여기광은 평행광으로 전환된 후 포물면거울(144)에 반사되어 미디엄전면(111)에 도달한다.
미디엄전면(111)에 도달한 여기광은 70% 정도 레이저미디엄(110)의 내부로 진입하고 나머지는 포물면거울(144)에 반사되어 고반사거울(146)에서 반사된다.
고반사거울(146)에서 반사된 여기광은 다시 역경로를 통해 포물면거울(144)에 반사되어 미디엄전면(111)에 도달한다.
역경로를 통해 미디엄전면(111)에 도달한 여기광은 70% 정도 레이저미디엄(110)의 내부로 진입한다.
한편 레이저미디엄(110)의 내부로 진입한 여기광에 의해 레이저미디엄(110)의 내부에서 레이저발진동작이 일어나면서 레이저가 발생한다.
레이저미디엄(110)에서 발생한 레이저는 전반사거울(131)과 출력커플러(132) 사이를 반복 이동하면서 점점 이득이 증가하고 이에 따라 레이저강도가 커지게 된다.
레이저강도가 특정값을 넘어가면 레이저는 출력커플러(132)를 통과할 수 있게 된다.
그런데 종래의 레이저장치에 따르면, 여기광파이버(143)로부터 출력된 여기광이 레이저미디엄(110)의 미디엄전면(111)으로 정확하게 안내되도록 여기광파이버(143)와 레이저미디엄(110) 사이에 광학적 요소 즉, 볼록렌즈(145), 포물면거울(144), 고반사거울(146)을 잘 정렬하여야 하기 때문에 설치작업이 어렵다는 문제점이 있었다.
그리고 레이저미디엄(110)의 미디엄전면(111)으로 안내된 여기광의 일부(10%정도)는 레이저발진동작에 기여하지 못하기 때문에 강도(여기광 대비)가 저하된다는 문제점이 있었다.
따라서 본 발명의 목적은, 설치작업이 용이해 지고 강도를 증가시킬 수 있도록 한 레이저장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 상호 나란하게 배치된 미디엄전면 및 미디엄배면과 상기 미디엄전면과 상기 미디엄배면 사이를 연결하는 폐루프형태의 미디엄둘레면을 가지고 내부에는 외부로부터 여기에너지가 입력될 때 레이저발진동작이 일어나는 활성영역이 형성되어 있는 디스크 형태의 레이저미디엄과, 반사면이 상기 레이저미디엄의 내부를 향하도록 상기 미디엄배면에 설치된 전반사거울과 상기 전반사거울과 나란하도록 상기 레이저미디엄의 전방에 설치되어 상기 미디엄전면을 통해 방출되는 레이저 중 일부를 상기 레이저미디엄을 향해 반사시키고 나머지 레이저를 통과시키는 출력커플러를 갖는 공진부와, 상기 여기에너지를 갖는 여기광을 출력하는 여기광출력소자와 상기 여기광출력소자와 상기 레이저미디엄 사이에 설치되어 상기 여기광출력소자로부터 출력되는 여기광을 상기 레이저미디엄의 내부로 안내하는 여기광파이버를 구비한 여기에너지공급부를 갖는 레이저장치에 있어서, 전반사면을 가지고, 상기 전반사면이 상기 레이저미디엄의 내부를 향하도록 상기 미디엄둘레면에 설치된 전반사층부를 포함하고; 상기 여기광파이버는 종단이 상기 전반사면을 통과하도록 설치되고 출력되는 여기광이 상기 전반사거울과 상기 미디엄전면 중 어느 일방을 향해 진행하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 레이저장치에 의해 달성된다.
여기서 레이저미디엄의 내부공간 중 레이저발진동작이 일어나는 활성영역을 증가시킬 수 있도록, 상기 미디엄둘레면은 3개 이상의 하위둘레면을 갖는 다면체형태로 형성되고; 상기 전반사층부는 상기 각 하위둘레면에 하나씩 설치되고; 상기 여기광파이버는 상기 하위둘레면에 하나씩 설치되는 것이 바람직하다.
그리고 레이저미디엄의 내부공간 중 레이저발진동작이 일어나는 활성영역을 증가시킬 수 있도록,, 상기 하위둘레면은 홀수개인 것이 바람직하다.
또한 레이저미디엄의 내부공간 중 레이저발진동작이 일어나는 활성영역을 증가시킬 수 있도록, 상기 각 여기광파이버는 상기 레이저미디엄의 중심과 상기 여기광파이버가 상기 전반사면을 통과하는 점을 기준선이라고 할 때 상기 여기광파이버로부터 출력되는 여기광의 진행방향이 상기 기준선에 대하여 상기 미디엄전면의 판면방향을 따라 경사를 이루도록 설치되는 것이 바람직하다.
또한 여기광파이버를 용이하게 설치할 수 있도록, 상기 미디엄전면과 상기 미디엄배면은 상호 크기가 다르게 형성되어 있고; 상기 하위둘레면은 각각 등변사다리꼴 형태인 것이 바람직하다.
또한 레이저미디엄의 내부공간 중 레이저발진동작이 일어나는 활성영역을 증가시킬 수 있도록, 상기 전반사면은 확산반사가 일어나도록 형성되는 것이 바람직하다.
따라서 본 발명에 따르면, 전반사면이 레이저미디엄의 내부를 향하도록 전반사층부를 미디엄둘레면에 설치하고, 종단이 전반사면을 통과하고 출력되는 여기광이 전반사거울과 미디엄전면 중 어느 일방을 향해 진행하도록 여기광파이버를 설치함으로써, 설치작업이 용이해지고(광학적 요소를 정렬할 필요가 없음) 레이저의 강도를 증가시킬 수 있다(여기광이 미디엄내부로 진입하는 과정에서의 손실이 감소됨).
도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저장치의 전체구성도,
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저장치의 부분 분해사시도,
도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저장치의 레이저미디엄을 도시한 사시도,
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저장치의 레이저미디엄과 히터싱크영역의 단면도,
도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저장치의 여기광이 레이저미디엄의 내부를 통과하는 경로를 도시한 도면,
도6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저장치의 레이저미디엄과 히터싱크영역의 단면도,
도7은 종래 레이저장치의 전체구성도이다.
이하에서, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.
도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저장치의 전체구성도이고, 도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저장치의 부분 분해사시도이고, 도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저장치의 레이저미디엄을 도시한 사시도이고, 도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저장치의 레이저미디엄과 히터싱크영역의 단면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 레이저장치는, 이들 도면에 도시된 바와 같이, 디스크형태의 레이저미디엄(10)과, 레이저미디엄(10)에 설치된 전반사층부(21)와, 레이저미디엄(10)에 설치된 전반사거울(31)을 갖는 공진부(30)와, 레이저미디엄(10)에 여기에너지를 공급하는 여기에너지공급부(40)와, 전반사거울(31)의 배면에 결합된 히터싱크(22)를 갖고 있다.
레이저미디엄(10)은 상호 나란하게 배치된 미디엄전면(11) 및 미디엄배면(12)과, 미디엄전면(11)과 미디엄배면(12) 사이를 연결하는 폐루프형태의 미디엄둘레면(13)을 갖고 있다.
미디엄전면(11)은 미디엄배면(12) 보다 작은 면적을 갖도록 형성되어 있다.
미디엄둘레면(13)은 9개의 하위둘레면(13a)을 갖는 다면체형태로 형성되어 있다.
하위둘레면(13a)은 각각 등변사다리꼴 형태로 형성되어 있다.
이러한 구조를 갖는 레이저미디엄(10)은 YAG를 모체 결정으로 하여 Yb3 +을 활성물질로 첨가하는 등의 방법으로 제작할 수 있다. YAG 결정은 분자식이 Y3A15O12로, 가시광에서 적외광 영역까지 투명하고 광학적으로 손실이 대단히 작은 것이 특징이다. 또한 YAG는 굴절률이 1.817이고, 비중이 4.55에 경도도 높으며 융점이 1,950℃인 결정으로 기계적으로 강하고 화학적으로도 안정한 매질이다. 여기에 Yb3 +을 첨가하면 YAG결정의 Y3 +일부와 Yb3 +이 자리 바꿈하여 굴절율 1.823의 안정한 Yb:YAG 매질이 된다.
전반사층부(21)는 전반사면(21a)을 갖고 있다.
전반사면(21a)은 확산반사가 일어나도록 형성되어 있다. 확산반사는 전반사면(21a)을 스크래치하는 방법 등으로 구현할 수 있다.
이러한 구성을 갖는 전반사층부(21)는 전반사면(21a)이 레이저미디엄(10)의 내부를 향한 상태에서 후술하는 페룰(42)의 안착홈(42c)에 설치된다.
전반사층부(21)는 안착홈(42c)에 설치된 상태에서 하위둘레면(13a)에 접촉하게 된다.
공진부(30)는 전반사거울(31)에 더하여 전반사거울(31)과 나란하도록 레이저미디엄(10)의 전방에 설치된 출력커플러(32, Output Coupler)를 갖고 있다.
전반사거울(31)은 반사면이 레이저미디엄(10)의 내부를 향하도록 미디엄배면(12)에 설치된다.
출력커플러(32)는 미디엄전면(11)을 통해 방출되는 레이저 중 일부를 레이저미디엄(10)을 향해 반사시키고 나머지 레이저를 통과시킨다.
여기에너지공급부(40)는 여기에너지를 갖는 여기광을 출력하는 여기광출력소자(41)와, 히터싱크(22)에 결합된 페룰(42)과, 각 페룰(42)에 하나씩 지지되도록 설치된 여기광파이버(43)를 갖고 있다.
여기광출력소자(41)는 하위둘레면(13a)에 일 대 일로 대응하도록 9개가 설치된다.
이러한 구성을 갖는 여기광출력소자(41)는 레이저다이오드 등의 레이저출력소자를 사용하여 구현할 수 있다.
페룰(42)은 하위둘레면(13a)에 일 대 일로 대응하도록 9개가 설치된다.
각 페룰(42)은 일면이 절취된 직육면체 형태로 형성되어 있고, 절취면(42a)에는 파이버안내공(42b)이 관통하도록 형성되어 있다.
그리고 절취면(42a)에는 안착홈(42c)이 형성되어 있다.
이러한 구성을 갖는 페룰(42)은 절취면(42a)이 하위둘레면(13a)에 면접촉하도록 히터싱크(22)에 결합된다.
여기광파이버(43)는 여기광출력소자(41)에 광학적으로 연결되고 파이버안내공(42b)을 통과하도록 설치된다.
각 여기광파이버(43)는 레이저미디엄(10)의 중심과 여기광파이버(43)가 전반사면(21a)을 통과하는 점을 기준선(201)이라고 할 때 여기광파이버(43)로부터 출력되는 여기광의 진행방향이 기준선(201)에 대하여 미디엄전면(11)의 판면방향(레이저미디엄의 두께에 대하여 수직을 이루는 방향)을 따라 경사를 이루도록 페룰(42)에 설치되어 있다. 즉, 기준선(201)의 방향을 시계의 12방향이라고 가정하면 미디엄전면(11)의 판면방향을 따라 경사를 이룬다는 것은 오전 9시와 12시 사이의 방향 또는 12시와 오후 3시 사이의 방향을 의미한다(도5 참조).
히터싱크(22)에는 입수구(22a) 및 출수구(22b)와, 입수구(22a)와 출수구(22b)를 연결하는 냉각수유로(도시되지 않음)가 형성되어 있다.
냉각수유로를 통해 냉각수를 순환시키게 된다.
이러한 구성을 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저장치의 동작을 도4 및 도5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저 여기광출력소자(41)로부터 출력된 여기광은 여기광파이버(43)를 통해 레이저미디엄(10)의 내부로 안내된다.
레이저미디엄(10)의 내부로 안내된 여기광은 각 전반사층부(21)의 전반사면(21a), 미디엄전면(11) 및 미디엄배면(12)에 반사되면서 레이저미디엄(10)의 내부에서 진행하게 된다.
한편 레이저미디엄(10)의 내부에서 진행하는 여기광에 의해 레이저미디엄(10) 내부에서 레이저발진동작이 일어나면서 레이저가 발생한다.
레이저미디엄(10)에서 발생한 레이저는 전반사거울(31)과 출력커플러(32) 사이를 반복 이동하면서 점점 이득이 증가하고 이에 따라 레이저강도가 커지게 된다.
레이저강도가 특정값을 넘어가면 레이저는 출력커플러(32)를 통과할 수 있게 된다.
한편 전술한 실시예에서는 미디엄배면(12)이 미디엄전면(11) 보다 큰 면적을 갖도록 구성하고 있으나, 도6에 도시된 바와 같이, 미디엄전면(11)이 미디엄배면(12) 보다 큰 면적을 갖도록 본 발명을 실시할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따르면, 전반사면(21a)이 레이저미디엄(10)의 내부를 향하도록 전반사층부(21)를 미디엄둘레면(13)에 설치하고, 종단이 전반사면(21a)을 통과하고 출력되는 여기광이 전반사거울(31)과 미디엄전면(11) 중 어느 일방을 향해 진행하도록 여기광파이버(43)를 설치함으로써, 설치작업이 용이해지고(광학적 요소를 정렬할 필요가 없음) 레이저의 강도를 증가시킬 수 있게 된다(여기광이 미디엄내부로 진입하는 과정에서의 손실이 감소됨).
그리고 미디엄둘레면(13)을 3개 이상의 하위둘레면(13a)을 갖는 다면체형태로 형성하고, 전반사층부(21)와 여기광파이버(43)를 하위둘레면(13a)에 하나씩 설치함으로써, 레이저미디엄(10)의 내부공간 중 레이저발진동작이 일어나는 활성영역이 증가되고(레이저미디엄의 내부에 진입한 여기광이 통과하는 영역이 증가함) 이에 따라 레이저의 강도를 더욱더 증가시킬 수 있게 된다.
그리고 하위둘레면(13a)을 홀수개로 형성함으로써, 레이저미디엄(10)의 내부공간 중 레이저발진동작이 일어나는 활성영역이 증가되고(레이저미디엄의 내부에 진입한 여기광이 통과하는 영역이 증가함) 이에 따라 레이저의 강도를 더욱더 증가시킬 수 있게 된다.
또한 여기광파이버(43)로부터 출력되는 여기광의 진행방향이 기준선(201)에 대하여 미디엄전면(11)의 판면방향을 따라 경사를 이루도록 여기광파이버(43)를 설치함으로써, 레이저미디엄(10)의 내부공간 중 레이저발진동작이 일어나는 활성영역이 증가되고(레이저미디엄의 내부에 진입한 여기광이 통과하는 영역이 증가함) 이에 따라 레이저의 강도를 더욱더 증가시킬 수 있게 된다.
또한 미디엄전면(11)과 미디엄배면(12)의 크기를 다르게 형성하고 하위둘레면(13a)을 등변사다리꼴 형태로 형성함으로써, 여기광파이버(43)를 용이하게 설치할 수 있게 된다( 여기광파이버를 하위둘레면에 수직인 방향을 따라 배치하는 것에 의해 출력되는 여기광이 전반사거울과 미디엄전면 중 어느 일방을 향해 진행하게 됨).
또한 전반사면(21a)을 확산반사가 일어나도록 형성함으로써, 레이저미디엄(10)의 내부공간 중 레이저발진동작이 일어나는 활성영역이 증가되고(레이저미디엄의 내부에 진입한 여기광이 통과하는 영역이 증가함) 이에 따라 레이저의 강도를 더욱더 증가시킬 수 있게 된다.
10, 110 : 레이저미디엄 11, 111 : 미디엄전면
12, 112 : 미디엄배면 13, 113 : 미디엄둘레면
21 : 전반사층부 22, 122 : 히터싱크
30, 130 : 공진부 31 : 전반사거울
32 : 출력커플러 40, 140 : 여기에너지공급부
41 : 여기광출력소자 42 : 페룰
43, 143 : 여기광파이버 144 : 포물면거울
145 : 볼록렌즈 146 : 고반사거울

Claims (6)

  1. 상호 나란하게 배치된 미디엄전면 및 미디엄배면과 상기 미디엄전면과 상기 미디엄배면 사이를 연결하는 폐루프형태의 미디엄둘레면을 가지고 내부에는 외부로부터 여기에너지가 입력될 때 레이저발진동작이 일어나는 활성영역이 형성되어 있는 디스크 형태의 레이저미디엄과, 반사면이 상기 레이저미디엄의 내부를 향하도록 상기 미디엄배면에 설치된 전반사거울과 상기 전반사거울과 나란하도록 상기 레이저미디엄의 전방에 설치되어 상기 미디엄전면을 통해 방출되는 레이저 중 일부를 상기 레이저미디엄을 향해 반사시키고 나머지 레이저를 통과시키는 출력커플러를 갖는 공진부와, 상기 여기에너지를 갖는 여기광을 출력하는 여기광출력소자와 상기 여기광출력소자와 상기 레이저미디엄 사이에 설치되어 상기 여기광출력소자로부터 출력되는 여기광을 상기 레이저미디엄의 내부로 안내하는 여기광파이버를 구비한 여기에너지공급부를 갖는 레이저장치에 있어서,
    전반사면을 가지고, 상기 전반사면이 상기 레이저미디엄의 내부를 향하도록 상기 미디엄둘레면에 설치된 전반사층부를 포함하고;
    상기 여기광파이버는 종단이 상기 전반사면을 통과하도록 설치되고 출력되는 여기광이 상기 전반사거울과 상기 미디엄전면 중 어느 일방을 향해 진행하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 레이저장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 미디엄둘레면은 3개 이상의 하위둘레면을 갖는 다면체형태로 형성되고;
    상기 전반사층부는 상기 각 하위둘레면에 하나씩 설치되고;
    상기 여기광파이버는 상기 하위둘레면에 하나씩 설치되는 것을 특징으로 하는 레이저장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 하위둘레면은 홀수개인 것을 특징으로 하는 레이저장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 각 여기광파이버는 상기 레이저미디엄의 중심과 상기 여기광파이버가 상기 전반사면을 통과하는 점을 기준선이라고 할 때 상기 여기광파이버로부터 출력되는 여기광의 진행방향이 상기 기준선에 대하여 상기 미디엄전면의 판면방향을 따라 경사를 이루도록 설치되는 것을 특징으로 하는 레이저장치.
  5. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 미디엄전면과 상기 미디엄배면은 상호 크기가 다르게 형성되어 있고;
    상기 하위둘레면은 각각 등변사다리꼴 형태인 것을 특징으로 하는 레이저장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 전반사면은 확산반사가 일어나도록 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2001217489A (ja) 2000-01-06 2001-08-10 Cie Ind Lase レーザ源のための活性素子およびそのような活性素子を有するレーザ源
US6282217B1 (en) 1998-09-04 2001-08-28 Kabushiki Kaisha Toshiba Solid-state laser device
US20050111510A1 (en) 2003-11-21 2005-05-26 Tsinghua University Corner-pumping method and gain module for solid state slab laser

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