KR101164175B1 - Apparatus for moving substrate - Google Patents

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Abstract

기판 이송 장치가 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판의 하면과 접촉하여 회전을 하며 기판을 이송시키는 다수의 롤러, 기판의 측면과 접촉하여 회전을 하며 기판을 정렬시키는 다수의 사이드 롤러 및 기판을 감지하는 센서를 포함하는 기판 이송 장치에 있어서, 센서는 사이드 롤러에 형성된다. A substrate transfer device is provided. The substrate transfer apparatus according to the embodiment of the present invention detects a plurality of rollers that rotate in contact with the lower surface of the substrate and transfers the substrate, a plurality of side rollers that rotate in contact with the side of the substrate and align the substrate. In the substrate transfer apparatus including the sensor, the sensor is formed on the side roller.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for moving substrate}Substrate transfer device {Apparatus for moving substrate}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판의 제조 공정에 있어서 기판을 이송할 때 기판의 위치를 감지하는 센서가 장착된 기판 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus equipped with a sensor for detecting the position of the substrate when transferring the substrate in the substrate manufacturing process.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작으며 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display)가 널리 사용되고 있다.Recently, information processing devices have been rapidly developed to have various types of functions and faster information processing speeds. This information processing apparatus has a display device for displaying the operated information. Until now, a cathode ray tube monitor has been mainly used as a display device, but in recent years, with the rapid development of semiconductor technology, the use of a flat display device that is light and occupies a small space is rapidly increasing. There are various types of flat panel displays. Among them, liquid crystal displays, which are small in power consumption and small in volume, and low voltage driven, are widely used.

이러한 액정 디스플레이를 제조하기 위해 기판 상에는 패턴의 형성을 위해 예컨대, 식각, 세정, 또는 건조와 같은 다양한 공정이 실행되어야 한다. 이와 같은 공정들은 대부분 해당 공정을 수행하기 위한 공정 챔버에서 이루어지며, 각각의 공정 챔버로 기판을 이동시키기 위한 기판 이송 장치가 설치되어 있다.In order to produce such a liquid crystal display, various processes such as etching, cleaning or drying must be performed on the substrate for formation of a pattern. Most of these processes are performed in a process chamber for performing a corresponding process, and a substrate transfer device for moving a substrate to each process chamber is installed.

도 1은 종래의 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 1 is a plan view for explaining a conventional substrate transfer apparatus.

도 1에 도시된 기판 이송 장치는 기판(S)의 하면과 접촉하며 회전하는 다수의 롤러(115)와 기판(S)의 이탈을 방지하며 기판(S)을 정렬시키도록 기판(S)의 측면과 접촉하여 회전하는 다수의 사이드 롤러(200)를 포함하여 구성될 수가 있다. 또한, 기판(S)의 위치를 감지하는 센서(300)가 롤러(115)를 장착하는 샤프트(110) 사이의 이격된 공간에 형성되는데, 센서(300)로 플리커(Flicker) 센서가 사용되었다. The substrate transport apparatus illustrated in FIG. 1 prevents the plurality of rollers 115 and the substrate S from being rotated in contact with the lower surface of the substrate S, and prevents the substrate S from being separated and aligns the substrate S. It can be configured to include a plurality of side rollers 200 that rotate in contact with. In addition, a sensor 300 for detecting a position of the substrate S is formed in a spaced space between the shafts 110 on which the rollers 115 are mounted, and a flicker sensor is used as the sensor 300.

종래의 경우 센서(300)가 기판(S)의 하부 중앙에 위치하였기 때문에 기판 이송 장치 하부에 있는 약액 분배 배관(미도시) 및 다른 장비(미도시)와의 간섭이 발생하여 설치 공간을 확보하는 것이 용이하지 않았다. 또한, 센서(300)가 기판(S)의 하부 중앙에 위치하였기 때문에 센서(300)에 이상이 발생한 경우 유지 보수를 위한 작업이 어렵다는 문제점도 있었다.In the conventional case, since the sensor 300 is positioned at the lower center of the substrate S, it is difficult to secure an installation space by causing interference with the chemical liquid distribution pipe (not shown) and other equipment (not shown) under the substrate transfer device. It was not easy. In addition, since the sensor 300 is located at the lower center of the substrate S, there is a problem in that it is difficult to perform maintenance for abnormality in the sensor 300.

본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 고안된 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 목적은 사이드 롤러에 기판의 위치를 감지하는 센서를 장착하여 센서를 장착하기 위한 공간을 용이하게 확보하고 센서의 유지 보수를 용이하게 하는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.The present invention is designed to improve the above problems, an object of the present invention is to mount a sensor for detecting the position of the substrate on the side roller to easily secure a space for mounting the sensor and easy maintenance of the sensor It is to provide a substrate transfer device to make.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판의 하면과 접촉하여 회전을 하며 상기 기판을 이송시키는 다수의 롤러; 상기 기판의 측면과 접촉하여 회전을 하며 상기 기판을 정렬시키는 다수의 사이드 롤러; 및 상기 기판을 감지하는 센서를 포함하는 기판 이송 장치에 있어서, 상기 센서는 상기 사이드 롤러에 형성된다.In order to achieve the above object, a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention comprises a plurality of rollers for rotating the contact with the lower surface of the substrate to transfer the substrate; A plurality of side rollers which rotate in contact with the side of the substrate and align the substrate; And a sensor for sensing the substrate, wherein the sensor is formed on the side roller.

상기한 바와 같은 본 발명의 기판 이송 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다. According to the substrate transfer apparatus of the present invention as described above has one or more of the following effects.

첫째, 기판의 위치를 감지하는 센서를 사이드 롤러에 형성하여 기판의 하부 중앙에 센서를 장착할 경우 다른 설비와의 간섭으로 설치 공간을 확보하기 어려운 문제점을 해결할 수 있다는 장점이 있다. First, there is an advantage in that it is difficult to secure an installation space due to interference with other facilities when the sensor is mounted on the lower side of the substrate by forming a sensor for detecting the position of the substrate on the side roller.

둘째, 기판의 위치를 감지하는 센서가 사이드 롤러에 형성되므로 센서에 고장 발생시 유지 및 보수가 용이하다는 장점도 있다. Second, since the sensor for detecting the position of the substrate is formed on the side rollers, there is an advantage that it is easy to maintain and repair when a failure occurs in the sensor.

도 1은 종래의 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 있어서 기판의 하면과 접촉하는 롤러와 기판의 측면과 접촉하는 사이드 롤러 및 사이드 롤러에 형성되어 기판을 감지하는 센서가 형성된 부분을 확대하여 도시한 도면이다. 1 is a plan view for explaining a conventional substrate transfer apparatus.
2 is a plan view illustrating a substrate transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is an enlarged view of a roller in contact with a lower surface of a substrate, a side roller in contact with a side surface of the substrate, and a side roller formed in a side roller in the substrate transport apparatus according to an embodiment of the present invention in which a sensor for sensing a substrate is formed; One drawing.

실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Details of the embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다 Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 기판 이송 장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings for describing a substrate transfer apparatus according to embodiments of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적 설명하기 위한 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 있어서 기판의 하면과 접촉하는 롤러와 기판의 측면과 접촉하는 사이드 롤러 및 사이드 롤러에 형성되어 기판을 감지하는 센서가 형성된 부분을 확대하여 도시한 도면이다. 2 is a plan view illustrating a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a side surface of the substrate and the roller in contact with the lower surface of the substrate in the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG. 2 is an enlarged view illustrating a portion of the side roller and the side roller which are in contact with each other, and a sensor formed on the side roller to detect the substrate.

도 2를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 샤프트(110), 롤러(115), 사이드 롤러(200), 및 센서(310)를 포함하여 구성될 수가 있다.Referring to FIG. 2, the substrate transport apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention may include a shaft 110, a roller 115, a side roller 200, and a sensor 310.

다수의 샤프트(110)는 일정 간격으로 배치되고, 다수의 롤러(115)는 샤프트(110)의 길이 방향으로 소정의 간격으로 설치된다. 다수의 롤러(115)는 기판(S)의 하면과 접촉하며 회전하여 기판(S)을 특정 방향(x)으로 이송시킨다.The plurality of shafts 110 are disposed at regular intervals, and the plurality of rollers 115 are installed at predetermined intervals in the longitudinal direction of the shaft 110. The plurality of rollers 115 rotate in contact with the bottom surface of the substrate S to transfer the substrate S in a specific direction x.

샤프트(110)가 회전하면서 다수의 롤러(115)가 회전하게 되고, 그에 따라 기판(S)은 특정 방향(x)으로 이송된다. 도 2에서는 설명의 편의를 위해서 샤프트(110)의 회전 방식에 대해서는 명확하게 도시하지 않았다. As the shaft 110 rotates, the plurality of rollers 115 rotate, and thus the substrate S is transferred in a specific direction x. In FIG. 2, the rotation method of the shaft 110 is not clearly illustrated for convenience of description.

예를 들어, 다수의 샤프트(110)의 양 단부에는 각각 풀리(미도시)가 구비되고, 다수의 풀리(미도시)는 체인(미도시) 또는 벨트(미도시)에 의해 상호 연결되어 있을 수 있다. 다수의 풀리(미도시) 중 적어도 하나의 풀리(미도시)는 구동 부재(예를 들어, 모터)로부터 회전력을 전달받아 복수의 샤프트(115)를 구동시킬 수가 있다. For example, both ends of the plurality of shafts 110 may be provided with pulleys (not shown), and the plurality of pulleys (not shown) may be interconnected by a chain (not shown) or a belt (not shown). have. At least one pulley (not shown) of the plurality of pulleys (not shown) may receive a rotational force from a driving member (eg, a motor) to drive the plurality of shafts 115.

또 다른 예로, 다수의 샤프트(110)의 양단부에는 각각 마그네틱 폴리(미도시)가 구비되고, 다수의 마그네틱 폴리(미도시)는 자력에 의해 상호 연결되어 다수의 풀리(미도시) 중 적어도 하나의 풀리(미도시)가 동력을 제공 받아 회전을 하면 나머지 풀리(미도시)도 자력에 의해 상호 회전을 함으로써 복수의 샤프트(110)가 회전을 하는 구조일 수도 이다. As another example, magnetic polys (not shown) are provided at both ends of the plurality of shafts 110, and the plurality of magnetic polys (not shown) are interconnected by magnetic force so that at least one of the plurality of pulleys (not shown) is provided. When the pulley (not shown) is rotated by being supplied with power, the remaining pulleys (not shown) may also be rotated by magnetic force, thereby allowing the plurality of shafts 110 to rotate.

복수의 샤프트(110)를 회전 구동시키는 구성은 공지된 기술로 다양하게 변형이 가능하여 이하 자세한 설명은 생략하기로 한다. The configuration for driving the plurality of shafts 110 to rotate is known in the art it can be variously modified to be omitted in the following detailed description.

다수의 사이드 롤러(200)는 기판(S)이 특정 방향(x)에서 이탈하지 않도록 한며 이송 중 기판(S)을 정렬시키는 역할을 한다. 다수의 사이드 롤러(200)는 기판(S)의 측면과 접촉하며 회전한다. 여기서, 다수의 사이드 롤러(200)는 별도의 구동 부재에 의해 회전하는 것이 아니고, 기판(S)의 움직임에 따라 자연적으로 회전하는 것일 수 있다.The plurality of side rollers 200 serves to align the substrate S during transportation and prevent the substrate S from being separated from the specific direction x. The plurality of side rollers 200 are rotated in contact with the side surface of the substrate (S). Here, the plurality of side rollers 200 may be rotated naturally according to the movement of the substrate S, rather than being rotated by a separate driving member.

센서(310)는 기판(S)을 감지하는 센서로, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 센서(310)는 사이드 롤러(200)에 형성될 수가 있다. The sensor 310 is a sensor that detects the substrate S. In the substrate transport apparatus according to an exemplary embodiment, the sensor 310 may be formed on the side roller 200.

본 발명의 일 실시예에 따른 센서(310)의 자세한 구성에 대해서는 도 3을 참조하여 설명하기로 한다.Detailed configuration of the sensor 310 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 3.

도 3에 도시되어 있는 것과 같이 사이드 롤러(200)의 측면에는 둘레를 따라 홈(205)이 형성될 수가 있다. 따라서, 도시되어 있는 것과 같이 기판(S)의 측면은 사이드 롤러(200)의 측면에 형성된 홈(205)의 내측면과 접촉을 할 수가 있다. 이때, 기판(S)을 감지하는 센서(310)는 사이드 롤러(200)의 홈(205) 내부에 형성될 수가 있다. As shown in FIG. 3, grooves 205 may be formed along the circumference of the side roller 200. Therefore, as shown in the drawing, the side surface of the substrate S may be in contact with the inner surface of the groove 205 formed in the side surface of the side roller 200. In this case, the sensor 310 for detecting the substrate S may be formed in the groove 205 of the side roller 200.

기판(S)을 감지하는 센서(310)의 일 예로 발광부(312) 및 수광부(314)로 구성되는 적외선 센서(310)를 들 수가 있다. 사이드 롤러(200)에 형성된 홈(205)의 내측 상부면 및 하부면 소정의 위치에 각각 발광부(312)와 수광부(314)를 형성하고, 발광부(312)와 수광부(314) 사이에 기판(S)이 이동을 할 때 발광부(312)와 수광부(314) 사이의 센서값 변화를 감지하여 기판(S)을 감지할 수가 있다. An example of the sensor 310 that detects the substrate S may be an infrared sensor 310 including the light emitter 312 and the light receiver 314. The light emitting part 312 and the light receiving part 314 are formed at predetermined positions on the inner upper and lower surfaces of the groove 205 formed in the side roller 200, respectively, and the substrate is disposed between the light emitting part 312 and the light receiving part 314. When S moves, the substrate S may be detected by detecting a change in a sensor value between the light emitter 312 and the light receiver 314.

기판(S)을 감지하는 센서의 또 다른 예로 기판(S)의 하부 또는 상부에 자석(미도시)을 형성하고, 기판(S)에 형성된 자석(미도시)을 감지하는 자기 센서(미도시)를 사이드 롤러(200)의 측면에 형성된 홈(205)의 내측 상부면 또는 하부면에 형성하여 기판(S)이 지나갈 때 기판(S)에 형성된 자석(미도시)을 자기 센서(미도시)가 감지함으로써 기판(S)의 위치를 감지할 수가 있다. As another example of a sensor that detects the substrate S, a magnet (not shown) is formed below or above the substrate S, and a magnetic sensor (not shown) that senses a magnet (not shown) formed on the substrate S. Is formed on the inner upper surface or the lower surface of the groove 205 formed on the side of the side roller 200 so that the magnetic sensor (not shown) forms a magnet (not shown) formed on the substrate S when the substrate S passes. By sensing, the position of the substrate S can be detected.

전술한 실시예 외에도 다른 공지된 센서를 홈 내부에 형성하여 기판(S)을 감지하도록 할 수 있음은 물론이다. In addition to the above-described embodiment, other well-known sensors may be formed inside the grooves to detect the substrate S.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and the equivalent concept are included in the scope of the present invention. Should be interpreted.

110: 샤프트
115: 롤러
200: 사이드 롤러
310: 센서
S: 기판110: shaft
115: roller
200: side roller
310: sensor
S: substrate

Claims (4)

기판의 하면과 접촉하여 회전을 하며 상기 기판을 이송시키는 다수의 롤러;
상기 기판의 측면과 접촉하여 회전을 하며 상기 기판을 정렬시키는 다수의 사이드 롤러; 및
상기 기판을 감지하는 센서를 포함하는 기판 이송 장치에 있어서,
상기 다수의 사이드 롤러 각각은 측면을 둘러싸도록 형성된 홈을 구비하고, 상기 사이드 롤러는 상기 홈의 내측면이 상기 기판의 측면과 접촉하여 회전하되,
상기 센서는 상기 홈의 내측 상부면 또는 내측 하부면에 형성되어 상기 기판을 감지하는 기판 이송 장치. A plurality of rollers which rotate in contact with the lower surface of the substrate and transfer the substrate;
A plurality of side rollers which rotate in contact with the side of the substrate and align the substrate; And
In the substrate transfer apparatus comprising a sensor for sensing the substrate,
Each of the plurality of side rollers has a groove formed to surround a side, the side roller is rotated by the inner surface of the groove in contact with the side of the substrate,
And the sensor is formed on the inner upper surface or the inner lower surface of the groove to detect the substrate. 제 1 항에 있어서,
상기 센서는 상기 기판을 직접 감지하는 기판 이송 장치. The method of claim 1,
And the sensor directly detects the substrate. 제 1 항에 있어서,
상기 센서는 발광부와 수광부로 이루어지는 적외선 센서로 각각은 상기 홈의 내측 상부면 또는 내측 하부면에 형성되는 기판 이송 장치. The method of claim 1,
The sensor is an infrared sensor consisting of a light emitting portion and a light receiving portion, each substrate transport apparatus is formed on the inner upper surface or the inner lower surface of the groove. 제 1 항에 있어서,
상기 기판의 가장 자리의 상면 또는 하면에 자석이 형성되고,
상기 홈의 내측 상부면 또는 내측 하부면에 자기 센서가 형성되어 상기 기판을 감지하는 기판 이송 장치. The method of claim 1,
Magnets are formed on the upper or lower surface of the edge of the substrate,
And a magnetic sensor formed on an inner upper surface or an inner lower surface of the groove to detect the substrate.
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