KR101154482B1 - 그라펜을 이용한 투명 대전방지 코팅의 제조방법 및 이에 의해 제조된 투명 대전방지 코팅 - Google Patents

그라펜을 이용한 투명 대전방지 코팅의 제조방법 및 이에 의해 제조된 투명 대전방지 코팅 Download PDF

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Abstract

본 발명은 그라펜을 이용한 대전방지 투명 코팅, 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상기 코팅은 단일층 또는 다층의 그라펜을 포함하는 도전성 입자, 및 바인더를 포함한다. 상기 코팅은 그라펜을 용매에 분산시켜 그라펜 분산액을 제조하는 단계; 경화성 바인더를 용매에 용해시켜 바인더 용액을 제조하는 단계; 상기 그라펜 분산액, 바인더 용액 및 임의로 첨가제를 혼합하여 코팅액을 제조하는 단계; 상기 코팅액을 기재에 도포, 건조하여 코팅막을 형성하는 단계, 및 코팅막을 경화시키는 단계를 포함하는 방법에 의해 제조된다. 이에 따라, 투과도, 내마모성, 내스크래치성, 화학적 안정성, 코팅막의 치수안정성이 우수한 투명 내지 반투명 대전 방지 코팅막을 제조할 수 있으며 기재 접착성 및 적용성이 우수하여 경질의 기재나 유연성 기재 등에 사용할 수 있는 이점이 있다.

Description

그라펜을 이용한 투명 대전방지 코팅의 제조방법 및 이에 의해 제조된 투명 대전방지 코팅{Fabrication method of transparent antistatic films using graphene and the transparent antistatic films using the same}
본 발명은 투명 대전방지 코팅막에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 단일층 또는 2층 이상의 그라펜 층이 적층된 나노 그라파이트 쉬트형 전도성 필러와 실리콘계 바인더, 유기계 바인더 등의 열경화 또는 광경화가 가능한 바인더를 포함하는 투명 또는 반투명 대전방지 코팅막의 제조 방법 및 이 방법을 통해 제조된 투명 또는 반투명 대전방지 코팅막에 관한 것이다.
사무 자동화(OA) 기기 및 전자 기기에 있어서, 소형화, 집적화 및 정밀화를 위한 기술에 대한 진보에 따라서, 전기/전자 부품에 먼지의 접착을 최소로 감소시키기 위한 시장의 요구가 해마다 더욱 더 증가하고 있다. 예컨대, 이와 같은 요구는 반도체 소자, 웨이퍼, 컴퓨터 하드 디스크에 쓰이는 내부 부품 등에 사용되는 IC칩의 분야에서 더욱 더 현저해지고 있고, 상기 부품에 대전 방지성을 부여함으로써, 이들 부품에 먼지의 접착을 완전하게 방지해야 한다.
특히, 초고정밀도가 필요한 반도체 공정에서는 먼지 및 그로 인한 정전기에 의한 불량 발생이 현저하므로, 반도체 칩의 제조 운반시 정전기에 의한 칩의 손상을 막기 위해서 대전방지 처리된 쉬핑 트레이(shipping tray)라고 불리는 운반용기를 사용하거나 대전방지 처리된 캐리어 테이프를 이용하여 롤(roll)형태로 운반하고 있다. 또한, 반도체소자의 초미세 패턴을 형성하기위한 클린룸에서 미세 먼지의 수가 공정 수율에 큰 영향을 주는데 클린룸을 대전방지코팅을 하여 미세 먼지의 수를 줄일 수 있다. 또한, 액정 디스플레이(LCD) 소자에서는 편광판의 보호필름에 대전방지코팅을 하여 정전기에 의한 액정셀 등의 민감한 부품의 손상을 방지하고 있다. 또한, 이외에도 다양한 전자기기, 자동차, 건축자재, 화장품, 목재 등에서 정전기에 의한 오염특성 및 이차 손상 등을 막기 위해 다양한 형태의 대전방지코팅에 대한 수요가 크게 증가하고 있다.
투명성을 요하지 않는 응용분야에서는 일본특허공개공보 2000-015753, 일본특허공개공보 특개소 58-91777호에 개시된 바와 같이 금속분말, 카본블랙 등의 도전성 분말을 합성수지에 혼합하여 코팅액을 만들고 이를 기재에 코팅함으로써 대전방지코팅이 가능하다. 그러나, 투명성을 요구하는 디스플레이 소자 또는 광학소자 등에 응용하기 위해서는 사용될 수 있는 전도성 소재가 제한되게 된다.
일본공개특허공보 특개평 5-109132호에는 광디스크에 적용되는 대전방지 하드코팅에서 리튬(Li)염을 이용해 대전방지기능을 부여한 기술이 개발되었으나 이는 리튬 또는 이를 함유한 무기물 등이 방출될 우려가 있고 염화에 의해 내구성이 저하될 우려가 있으며 대전방지 코팅층의 저항도 1013Ω/□정도로 높은 문제점이 있었다. 또한, 일본공개특허공보 특개 2002-060736호에는 폴리티오펜계 전도성고분자와 분자 내에 아미드 결합 또는 수산기를 가지는 수용성 화합물과 자기 유화형 폴리에스테르 수지 수분산체 화합물을 혼합하여 분산액을 제조한 후 이를 기재에 코팅하는 대전방지코팅막을 개시하고 있으며, 한국공개특허공보 10-2007-0087852호 및 한국공개특허공보 10-2007-0093936호에서도 폴리티오펜계 전도성고분자에 광경화성 아크릴계 바인더 또는 저분자량의 유기산 화합물등을 혼합한 코팅액을 이용한 대전방지코팅막이 개발되었다. 최근에는 한국공개특허공보 10-2009-0032604호에서 단일벽 카본나노튜브 도전성 입자를 실란계 화합물과 혼합하여 분산액을 만들고 이를 코팅하여 대전방지코팅막을 제조하는 기술을 개시하였다. 하지만, 사용되는 폴리티오펜계 전도성고분자 분산액 또는 단일벽 카본나노튜브는 매우 고가의 특성을 가지는 소재로서 저비용 소재를 사용하여 대전방지 코팅막을 제조하는 것이 절실히 요구되고 있는 실정이다.
일본특허공개공보 2000-015753호 일본특허공개공보 특개소 58-91777호 일본공개특허공보 특개평 5-109132호 일본공개특허공보 특개 2002-060736호 한국공개특허공보 10-2007-0087852호 한국공개특허공보 10-2007-0093936호 한국공개특허공보 10-2009-0032604호
본 발명은 매우 저비용이 소요되면서도 우수한 내마모성, 내스크래치성, 화학적 안정성, 코팅막의 치수안정성, 기재 접착성, 유연성, 경도 등을 가지는 투명 내지 반투명 대전 방지 코팅막의 제조 방법 및 이 제조방법에 의해 제조된 투명 내지 반투명 대전 방지 코팅막을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명자들이 예의검토한 결과, 저렴한 비용의 그래파이트(graphite)로부터 물리적 또는 화학적 분리법에 의해 제조된 단일층 또는 다층의 그라펜이 적층된 시트형 도전성 입자과 고분자 바인더를 사용하는 경우 상기 목적을 달성할 수 있다는 것을 발견하여 본 발명에 이르게 되었다.
따라서, 본 발명은 단일층 또는 다층, 바람직하게는 30층 이하의 그라펜을 포함하는 도전성 입자, 및 바인더를 포함하는 투명 또는 반투명 대전방지코팅에 관한 것으로서, 바람직하게는 상기 도전성 입자가 시트형인 나노미터 크기의 그래파이트 입자를 포함한다.
상기 그라펜은 임의의 제조방법으로 제조된 것을 사용할 수 있으나, 그래파이트에서 초임계공정 [Pu, N.W. et al, Materials Letters, 63, 1987 (2009)] 또는 초음파 공정 또는 물리적인 방법으로 분리된 그라펜 또는 Hummers 방법[Hummers, W.S., Offeman, R. E., J. Am. Chem. Soc. 80, 1339 (1958)]과 같은 화학적으로 강한 산화조건에서 산화과정을 거친 후 다시 하이드라진과 같은 강한 환원력을 가지는 환원제로 처리하여 제조된 그라펜 [Stankovich, S. et al, Nature, 442, 282 (2006)]을 사용하는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로는, 그라펜 분자 중 산소원자가 차지하는 비율은 20%이하, 바람직하게는 5% 이하, 가장 바람직하게는 2% 이하이다. 산소 원자가 20%를 초과하면, 전기전도도의 저하로 인하여 대전방지기능을 발휘하지 못하게 된다.
본 발명의 대전 방지 코팅은 그 면저항이 102 내지 1013Ω/□, 바람직하게는 104 내지 108 Ω/□이다. 면저항이 1013Ω/□초과인 경우에는 전기전도도의 저하로 인하여 대전방지기능을 발휘하지 못하게 된다. 또한, 대전방지 코팅의 두께는 통상적으로 0.003㎛~1000㎛, 바람직하게는 0.01 내지 10㎛, 가장 바람직하게는 0.05 내지 1㎛이며, 그 투명도는 550nm 파장에서 측정하였을 때 30% 내지 99.9%, 바람직하게는 70%이상이 바람직하다. 대전방지 코팅의 두께가 너무 얇으면 코팅층의 코팅안정성이 떨어지는 단점이 있으며 너무 두꺼우면 불필요한 코팅액의 손실이 큰 단점이 있다. 또한 투명도가 30% 미만일 경우에는 투명성 또는 반투명성 응용에 사용되지 못하는 단점이 있다.
본 발명은 또한 대전방지코팅의 제조방법에 관한 것으로서, 상기 제조방법은 다음 단계를 포함한다.
그라펜을 용매에 분산시켜 그라펜 분산액을 제조하는 단계,
경화성 바인더를 용매에 용해시켜 바인더 용액을 제조하는 단계,
상기 그라펜 분산액, 바인더 용액 및 임의로 첨가제를 혼합하여 코팅액을 제조하는 단계,
상기 코팅액을 기재에 도포, 건조하여 코팅막을 형성하는 단계, 및
코팅막을 경화시키는 단계.
본 발명의 특정 실시태양에서, 기재는 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹, 플라스틱, 및 금속으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상이며, 상기 코팅은 스프레이코팅, 스핀코팅, 딥코팅, 스크린코팅, 잉크젯코팅, 그라비아코팅, 나이프코팅, 키스코팅, 스템핑, 임프린트 등의 방법에 의해 이루어지고, 상기 경화시키는 단계에서의 경화는 열 또는 자외선 경화 방법을 이용하여 이루어 지는 것이 바람직하다.
상기 용매분산단계에서 사용되는 용매는, 이에 제한되지는 않으나, 메틸알콜, 에틸알콜, 이소프로필알콜, 부틸알콜, 아세톤, 메틸에틸케톤, 에틸렌글리콜, 테트라하이드로푸란, 디메틸포름아미드, 디메틸아세트아미드, N-메틸-2-피롤리돈, 헥산, 사이클로헥산, 사이클로헥사논, 톨루엔, 자일렌, 크레졸, 클로로포름, 증류수, 디클로로벤젠, 디메틸벤젠, 트리메틸벤젠, 피리딘, 메틸나프탈렌, 니트로메탄, 아크로니트릴, 메틸렌클로라이드, 옥타데실아민, 아닐린, 디메틸설폭사이드, 벤질알콜로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 것을 사용하는 것이 바람직하다.
본 발명의 바람직한 실시태양에서 상기 경화성 바인더는 열경화성 또는 광경화성 바인더이며, 보다 구체적으로는 실리콘계 또는 유기계 바인더이다.
상기 실리콘계 바인더로는 바람직하게는 화학식 1, 화학식 2 또는 화학식 3으로 표시되는 측쇄 관능기형의 알콕시 실란 단량체, 또는 상기 실란 단량체를 산 또는 알카리 촉매를 이용하여 제조한 수평균분자량 300-3,000,000g/mol을 가지는 실리콘계 바인더를 들 수 있으나, 기타 당업계에서 통상 사용되는 실리콘계 바인더도 사용할 수 있다.
Figure 112010027257907-pat00001
Figure 112010027257907-pat00002
Figure 112010027257907-pat00003
상기 화학식 1 내지 3에서 R1은 알콕시기를 나타내며, R2는 탄소수가 1 내지 12인 알킬기로 치환 또는 비치환된 지방족 관능기, 알킬기, 아릴기, 비닐기, 아민기, 아크릴기, 및 할로겐기로 이루어진 군에서 선택된다.
상기 유기계 바인더로는 알킬기, 지방족 관능기, 알데히드기, 케톤기, 카르복실산기 및 아민기로 이루어진 군에서 선택된 관능기로 치환 또는 비치환된 비닐계, 아크릴계, 알콜계, 또는 에스테르계 단량체이거나, 또는 수평균 분자량이 100 내지 10,000,000g/mol이고, 알킬기, 지방족 관능기, 알데히드기, 케톤기, 카르복실산기, 아민기로 이루어진 군에서 선택된 관능기로 치환 또는 비치환된 비닐계, 아크릴계, 알콜계, 또는 에스테르계 고분자를 들 수 있으며, 보다 바람직하게는 2관능기 이상의 아크릴 단량체를 1종 이상 함유한 아크릴계 단량체, 및 임의로 4관능기인 아크릴계 단량체 1종 이상을 포함하는 유기계 바인더이다.
본 발명의 특정 실시태양에서는 경화성 바인더를 경화시키기 위해 경화촉진제를 첨가할 수 있으며, 이는 당 업계에서 사용되는 경화촉진제 중 적절한 것을 선택하여 사용할 수 있다. 이때 광경화 촉진재의 경우, 수소 분리형(inter molecular hydrogen abstraction)과 분자 간 광분열 형(intra molecular photo cleavage)개시제 등 모든 광경화 메커니즘의 적용이 가능하다. 특히, 수소 분리형으로 benzophenone계 thioxantone계 등의 경화 촉진제를 적용할 수 있으며, 분자간 광분열형 개시제로서는 분자 자체가 UV 에너지를 흡수하여 라디칼을 형성하는 알파하이드록시케톤계 (a-hydroxy ketone)계 알파아미노케톤(a-amino ketone)계, 페닐글리옥실레이트 (phenyl glyoxylate)계, 알아크릴포스파인 옥사이드(acyl phosphine oxide)계, 벤질디메틸케달(Benzyl dimethyl Ketal) 등이 상용성의 문제없이 적용 될 수 있다. 또, 다소 낮은 온도에서 열에 의한 경화가 발생될 수 있도록 해주는 열경화 촉진제로는 에폭시계 수지, 열경화형 아크릴레이트계수지, 이소시아네이트계 수지, 페놀계 수지등을 이용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 또 두 가지의 다른 경화촉진제를 함께 사용하여도 무방하다. 따라서 위와 같은 경화촉진제의 사용에 따라 경화 단계에서 열, 자외선 또는 양쪽 모두가 사용될 수 있다.
본 발명의 또다른 실시태양에서는 코팅액 중에 그라펜이, 경화성 바인더 100중량부에 대해 0.005 내지 99.999 중량부, 바람직하게는 10 내지 80 중량부, 가장 바람직하게는 20 내지 60 중량부의 양으로 존재한다.
본 발명은 그래파이트로부터 물리적 또는 화학적 분리법에 의해 제조된 단일층 그라펜 또는 다층의 그라펜이 적층된 나노 그래파이트 쉬트인 도전성 물질과 실리콘계 또는 유기계 바인더를 사용하여 매우 저비용이 소요되면서도 우수한 내마모성, 내스크래치성, 화학적 안정성, 코팅막의 치수안정성, 기재 접착성, 유연성, 경도 등을 가지는 투명 내지 반투명 대전 방지 코팅막을 제조하는 방법을 제공한다.
도 1은 그라펜과 실리콘계 바인더 혼합물을 함유한 코팅액의 사진이다.
도 2는 실리콘웨이퍼위에 코팅된 그라펜의 AFM 사진 결과이다.
도 3는 폴리카보네이트(PC) 필름위에 코팅된 그라펜을 이용한 대전방지 코팅막의 주사전자현미경(SEM) 사진이다.
도 4는 그라펜 포함 대전방지 코팅된 폴리카보네이트(PC) 필름을 전원이 꺼져있는 휴대폰과 전원이 켜져있는 휴대폰 위에 각각 올려놓은 모습을 촬영한 사진이다.
도 5은 휴대폰 위에 올려 놓여진 그라펜을 이용한 대전방지 코팅막의 표면전도도 측정방법을 나타내는 사진이다.
[실시예 1]
그래파이트로부터 화학적인 방법에 의해 제조된 그라펜을 고분자 바인더와 혼합한 코팅액을 제조하였다. 그래파이트를 강력한 산화제인 H2SO4와 KMnO4로 산화시키는 Hummers 방법에 의해 그라펜 옥사이드(graphene oxide)를 제조하고 제조된 그라펜 옥사이드를 환원제인 N2H4를 이용하여 환원하여 그라펜을 제조하였다. 제조된 그라펜은 도 1와 도2와 같이 매우안정적인 분산상을 형성하는 단일층 그라펜 또는 수층이내의 적층형태를 가지는 그라펜구조를 가졌다. 또, 실리콘계 바인더의 준비를 위하여, 메틸트리에톡시실란 12.24g(0.069mol)을 테트라하이드로퓨란(THF) 13g과 증류수 12g이 혼합된 용액에 적가하여, 0.365mol% 증류수에 희석된 염산 6.6g을 촉매로 첨가하여 25℃에서 24시간 반응 후 모든 용매를 감압증류하여 제조하였고 이렇게 제조된 실리콘계 바인더의 분자량은 7,000g/mol이었다. 위와 같이 제조된 그라펜 100중량부에 실리콘계 바인더 30중량부를 혼합한 분산액을 제조하고 제조된 분산액을 스핀코팅을 통하여 70nm두께의 코팅막을 제조하였다. 제조된 코팅막은 120℃ 온도에서 1시간동안 열경화하여 최종적인 경화된 코팅막을 제조하였다. 제조된 코팅은 투과도 92%, 표면저항 8.0 ×106Ω/□인 코팅막이었다.
[실시예 2]
그래파이트를 100℃ 100bar의 CO2 초임계공정에서 3시간동안 초음파(ultrasolication)를 가하면서 교반한 후 초음파 처리 중인 용매에 RESS(rapid expension supercritical solid)공정을 사용하여 분사시켜 그라펜 용액을 제조하였다. 제조된 그라펜은 단일층 그라펜 또는 수층이내의 적층형태를 가지는 그라펜구조를 가졌다. 메타크릴로일옥시프로필트리메톡시실란 17.12g(0.069mol)을 테트라하이드로퓨란(THF) 13g과 증류수 12g이 혼합된 함수용액에 적가한 후, 0.365mol%로 증류수에 희석된 염산 6.6g을 촉매로 첨가하여 25℃에서 24시간 반응 후 모든 용매를 감압증류하여 제조하였고, 이렇게 제조된 아크릴계 바인더의 분자량은 8,000g/mol이었다. 이렇게 각각 제조된 그라펜과 바인더를 그라펜 100중량부에 바인더고분자 40중량부로 섞어 혼합 분산용액으로 제조하여 사용하였다. 제조된 분산액은 스프레이코팅법을 이용하여 110nm두께의 코팅막을 형성시키고 총 중량부에 5%에 해당하는 양의 이르가큐어(Iragcure)-184를 광개시제로 혼합하고, 전파장대의 자외선량 400mW/cm2에서 10초간 노광하여 광경화가 완료된 경화 코팅막을 제조하였다. 제조된 코팅막은 투과도 82%, 표면저항 5.0 ×104Ω/□인 코팅막이었다.
[실시예 3]
실시예 1과 같은 방법으로 제조된 그라펜 100중량부에 2관능기 비스페놀A-에틸렌글리콜 디아크릴레이트 (R-551, 일본화학) 와 4관능기 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트 (DPHA)를 50중량부, 광개시제로 이르가큐어-184를 2중량부를 사용하여 분산액을 제조하였다. 제조된 분산액은 스핀코팅을 사용하여 150nm두께의 코팅막을 형성시키고 전파장대의 자외선량 400mW/cm2에서 10초간 노광하여 광경화가 완료된 경화 코팅막을 제조하였다. 제조된 코팅막은 투과도 75%, 표면저항 1.0 ×104Ω/□인 코팅막이었다.
Table 1. 대전방지코팅막의 투명도 및 표면저항
두께 (nm) 투과도 (%) (550nm 파장) 표면 저항 (Ω/□)
실시예 1 70 92 8.0 ×106
실시예 2 110 82 5.0 ×104
실시예 3 150 75 1.0 ×104
본 발명을 통해 투과도, 내마모성, 내스크래치성, 화학적 안정성, 코팅막의 치수안정성이 우수한 투명 내지 반투명 대전 방지 코팅을 제조할 수 있으며 이러한 코팅은 기재 접착성 및 적용성이 우수하여 경질의 기재나 유연성 기재 등에 사용할 수 있는 이점이 있다.

Claims (19)

  1. 단일층 또는 다층의 그라펜을 포함하는 도전성 입자, 및 바인더를 포함하는 대전방지 코팅에 있어서,
    상기 바인더는 실리콘계 바인더이며,
    상기 실리콘계 바인더는 화학식 1, 화학식 2 또는 화학식 3으로 표시되는 측쇄 관능기형의 알콕시 실란 단량체, 또는 상기 실란 단량체를 산 또는 알카리 촉매를 이용하여 제조한 수평균분자량 300-3,000,000g/mol을 가지는 실리콘계 바인더인 대전방지 코팅.
    <화학식 1>
    Figure 112012003316639-pat00012

    <화학식 2>
    Figure 112012003316639-pat00013

    <화학식 3>
    Figure 112012003316639-pat00014

    화학식 1 내지 3에서 R1은 알콕시기를 나타내며, R2는 탄소수가 1 내지 12인 알킬기로 치환 또는 비치환된 지방족 관능기, 알킬기, 아릴기, 비닐기, 아민기, 아크릴기, 및 할로겐기로 이루어진 군에서 선택된다.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 그라펜 분자 중 산소원자가 차지하는 비율이 20중량%이하인 대전방지 코팅.
  4. 제1항에 있어서, 상기 도전성 입자가 단일층의 또는 30층 이하의 그라펜을 포함하는 대전방지 코팅.
  5. 제1항에 있어서, 대전방지 코팅의 면저항이 102 내지 1013Ω/□인 대전방지 코팅.
  6. 제1항에 있어서, 두께가 0.003㎛~1000㎛인 대전방지 코팅.
  7. 제1항에 있어서, 투명도가 550nm 파장에서 30% 내지 99.9%인 대전방지 코팅.
  8. 대전방지 코팅의 제조방법에 있어서,
    그라펜을 용매에 분산시켜 그라펜 분산액을 제조하는 단계;
    경화성 바인더를 용매에 용해시켜 바인더 용액을 제조하는 단계;
    상기 그라펜 분산액 및 바인더 용액을 혼합하여 코팅액을 제조하는 단계;
    상기 코팅액을 기재에 도포, 건조하여 코팅막을 형성하는 단계, 및
    코팅막을 경화시키는 단계를 포함하되,
    상기 경화성 바인더는 실리콘계 바인더이며,
    상기 실리콘계 바인더는 화학식 1, 화학식 2 또는 화학식 3으로 표시되는 측쇄 관능기형의 알콕시 실란 단량체, 또는 상기 실란 단량체를 산 또는 알카리 촉매를 이용하여 제조한 수평균분자량 300-3,000,000g/mol을 가지는 실리콘계 바인더인, 제조방법.
    <화학식 1>
    Figure 112012003316639-pat00015

    <화학식 2>
    Figure 112012003316639-pat00016

    <화학식 3>
    Figure 112012003316639-pat00017

    화학식 1 내지 3에서 R1은 알콕시기를 나타내며, R2는 탄소수가 1 내지 12인 알킬기로 치환 또는 비치환된 지방족 관능기, 알킬기, 아릴기, 비닐기, 아민기, 아크릴기, 및 할로겐기로 이루어진 군에서 선택된다.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 제8항에 있어서, 경화성 바인더 100중량부에 대해 그라펜의 함량이 0.005 내지 99.999 중량부인 제조방법.
  16. 제8항에 있어서, 상기 용매는 메틸알콜, 에틸알콜, 이소프로필알콜, 부틸알콜, 아세톤, 메틸에틸케톤, 에틸렌글리콜, 테트라하이드로푸란, 디메틸포름아미드, 디메틸아세트아미드, N-메틸-2-피롤리돈, 헥산, 사이클로헥사논, 사이클로헥산, 톨루엔, 자일렌, 클로로포름, 메틸이소 부틸케톤, 메틸렌클로라이드, 증류수, 디클로로벤젠, 디메틸벤젠, 트리메틸벤젠, 피리딘, 트리에틸아민, 메틸나프탈렌, 니트로메탄, 아크로니트릴, 옥타데실아민, 아닐린, 디메틸설폭사이드, 벤질알콜, 아세토나이트릴, 다이옥산으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상인 제조방법.
  17. 제8항에 있어서, 상기 기재는 유리, 실리콘 웨이퍼, 세라믹, 플라스틱, 및 금속으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상인 제조방법.
  18. 제8항에 있어서, 코팅액의 도포방법이 스프레이코팅, 스핀코팅, 딥코팅, 스크린코팅, 잉크젯코팅, 그라비아코팅, 나이프코팅, 키스코팅, 스템핑, 및 임프린트로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상인 제조방법.
  19. 삭제
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