KR101151797B1 - 액정표시장치용 기판 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 게이트 신호선 상부에 공통전압과의 커플링을 방지하기 위한 접지층을 포함하는 액정표시장치용 기판에 관한 것이다.
본 발명은 종래 구동회로를 기판에 실장하는 방식의 액정표시장치에서 게이트 신호선과 공통전극 사이에 형성된 기생 캡에 의해 공통전압과의 커플링이 발생하여 구동신호가 왜곡되고, 이러한 왜곡은 원하지 않는 출력(오동작)을 유발하여 화질이 불량해지는 문제점 개선을 목적으로 한다.
이를 위해서, 게이트 신호선 상부에 접지되어 있는 접지층을 오버랩 함으로써, 종래 공통전압의 극성 반전에 따라서 게이트 신호선에 발생하는 커플링을 접지층을 통해 분산하여 공통전압과 게이트 신호선 사이의 커플링을 제거하며, 이로 인해서 공통전극과 게이트 신호선 사이의 커플링에 의한 게이트 드라이버의 오동작을 방지하여 화질 불량을 개선한다.

Description

액정표시장치용 기판 및 그 제조방법{A Substrate for LCD and method of fabrication thereof}
도 1은 구동회로를 기판 상에 실장하는 방식의 액정표시장치용 기판을 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 자른 게이트 신호선의 단면도.
도 3은 종래 액정표시장치의 게이트 드라이버와 제어회로 사이의 등가 회로도.
도 4은 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판을 개략적으로 도시한 도면.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 자른 게이트 신호선 및 접지층의 단면도.
도 6a는 본 발명에 따른 액정표시장치의 게이트 드라이버와 제어회로 사이의 등가 회로도.
도 6b는 도 6a를 다르게 표현한 등가 회로도.
도 7a 내지 7d 및 도 8a 내지 도 8d은 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판의 공정 단면도로써, 각각 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선 및 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 자른 게이트 신호선부 및 화소부의 공정 단면도.
〈도면의 주요부분에 대한 부호설명〉
400: 기판 450: 인쇄회로기판
452: 제어회로 410: 표시영역
420: 비표시 영역 422: 게이트 드라이버
424: 데이터 드라이버 412: 화소전극
P: 화소영역 GL: 게이트 라인
DL: 데이터 라인 GS: 게이트 신호선
DS: 비디오 신호선 GND: 접지선
T: 박막트랜지스터
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 게이트 신호선 상부에 공통전압과의 커플링을 방지하기 위한 접지층을 포함하는 액정표시장치용 기판에 관한 것이다.
액정표시장치(Liquid Crystal Display Device: LCD)는 브라운관 방식에 비해 소비전력이 낮고, 경량 박형이 가능하며 유해 전자파를 방출하지 않는 장점으로 점차 그 수요가 증가하는 추세이다.
이러한 액정표시장치는 화소마다 스위칭 소자로 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)를 이용한 액티브 매트릭스 액정표시장치(Active matrix LCD: AM-LCD)가 해상도 및 동영상 구현능력이 우수하여 일반적으로 사용되고 있다.
일반적으로 액정표시장치는 화소전극 및 공통전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 마주 대하도록 배치하고, 두 기판 사이에 액정을 주입하여 액정층이 개재된 형태로 제작되며, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전계로 액정의 광 투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표현하게 된다.
이러한 액정표시장치는 액정패널과 액정패널을 구동하기 위한 구동회로와, 구동회로에 제어신호 및 비디오 신호를 공급하기 위한 제어회로를 구비하며, 일반적으로 제어회로는 인쇄회로기판 상에 형성된다.
구동회로는 게이트 배선을 구동하기 위한 게이트 드라이버와, 데이터 배선을 구동하기 위한 데이터 드라이버를 구비하며, 구동회로를 형성하는 방식은 칩(Chip) 형태로 집적화 하여 TAB 방식으로 TCP(Tape Carrier Package) 상에 실장하는 방식과, 액정패널, 좀 더 정확하게는 기판 상에 실장하는 방식으로 나눌 수 있다.
이 중, 구동회로를 기판 상에 실장하는 방식은 구조가 간단하고, 액정표시장치에서 액정패널이 차지하는 비율을 높일 수 있다는 장점으로 인해 중소형 패널에 널리 적용되고 있는 추세이다.
도 1은 구동회로를 기판 상에 실장하는 방식의 액정표시장치용 기판을 개략적으로 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 종래 구동회로를 기판 상에 실장하는 방식의 액정표시장치용 기판(제1 기판)은 표시영역(110)과 비표시 영역(120)으로 구분되며, 표시영역 (110)에는 교차하는 방향으로 형성되어 화소영역(P)을 정의하는 다수의 게이트 및 데이터 배선(GL, DL)이 형성되어 있고, 화소마다 스위칭 소자인 박막트랜지스터(T)와 전계생성전극인 화소전극(112)이 형성되어 있다.
비표시 영역(120)에는 구동회로, 즉, 게이트 드라이버(122) 및 데이터 드라이버(124)가 형성되어 있고, 게이트 및 데이터 드라이버(122, 124)는 외부의 인쇄회로기판(150)에 형성되어 있는 제어회로(152)로부터 제어신호 및 비디오 신호를 입력받아 구동하며, 게이트 및 데이터 드라이버(122, 124)는 기판(100)에 형성되어 있는 신호선(GS, DS, GND)을 통해 외부의 제어회로(152)와 전기적으로 연결된다.
상세하게는 게이트 드라이버(122)는 게이트 신호선(GS)을 통해 제어신호을 입력받아 게이트 배선(GL)에 순차적으로 구동신호를 인가하고, 데이트 드라이버(124)는 비디오 신호선(DS)을 통해 제어신호 및 비디오 신호를 입력받아 게이트 배선(GL)의 구동신호에 따라서 데이터 배선(DL)에 1수평라인분의 데이터 신호를 인가한다. 또한, 제어회로와 데이터 드라이버(124) 사이에는 접지선(GND)이 형성되어 있다.
한편, 도시하지는 않았지만 액정을 사이에 두고 상술한 기판(100)과 대면하여 제2 기판이 구성되고, 액정 및 두 기판에 의해 액정패널이 정의되고, 제2 기판 전면에는 공통전극이 형성되어 있어 제1 기판(100)에 형성된 신호선(GS, DS, GND)과 오버랩 된다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 자른 게이트 신호선의 단면도로써, 제1 및 제2 기판을 합착한 경우를 도시하였다.
도시한 바와 같이, 제1 기판(100)의 상부에 게이트 신호선 및 접지선(GS, GND)이 소정간격 이격하여 형성되어 있고, 게이트 신호선 및 접지선(GS, GND) 상부에는 기판 전면에 걸쳐 보호층(102)이 형성되어 있다.
액정(140)을 사이에 두고 제1 기판(100)과 소정간격 이격하여 제2 기판(130)이 구성되고, 제2 기판(130)에는 제1 기판(100)과 대향하는 면의 전면에 걸쳐 공통전극(132)이 형성되어 있으며, 공통전극(132)은 게이트 신호선(GS)과 오버랩 된다.
이러한 게이트 신호선(GS)과 공통전극(132)의 오버랩 영역에 의해 도 3에 도시한 제어회로와 게이트 드라이버 사이의 등가회로도에서와 같이, 게이트 신호선(GS)과 공통전극 사이에는 기생 캡(Cap)이 형성된다.
이러한 기생 캡으로 인해 공통전압이 극성 반전하는 방식(라인, 프레임 극성반전법 등)에서는 공통전압과의 커플링이 발생하며, 커플링에 의해 게이트 드라이버(도 1의 122)로 인가되는 게이트 구동신호(전압)가 왜곡되어 원하지 않는 출력이 발생한다.
이와 같이, 종래 구동회로를 기판에 실장하는 방식의 액정표시장치는 게이트 신호선(GS)과 공통전극(132) 사이의 기생 캡에 의해 구동신호가 왜곡되고, 이러한 왜곡은 원하지 않는 출력(오동작)을 유발하여 화질이 불량해지는 문제점이 있다.
따라서 본 발명은 게이트 신호선과 공통전극 사이의 기생 캡으로 인해 공통전압의 극성 반전에 따라 커플링이 나타나고, 이러한 커플링으로 인해 발생하는 화 질불량 개선을 목적으로 하며, 이를 위해 게이트 신호선 상부에 접지층을 오버랩 하여 게이트 신호선과 공통전극 사이의 커플링을 방지함으로써, 화질 불량을 개선한다.
상기와 같은 목적을 위하여 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판은 표시영역과 비표시 영역으로 구분되는 절연기판과; 상기 표시영역에 교차되는 방향으로 형성되어 화소영역을 정의하는 다수의 게이트 및 데이터 배선과; 상기 화소마다 형성된 박막트랜지스터 및 화소전극과; 상기 비표시 영역에 형성되며, 상기 표시영역의 인접한 두 측면에 각각 형성된 게이트 및 데이터 드라이버와; 상기 게이트 드라이버와 상기 외부의 제어회로를 전기적으로 연결하는 게이트 신호선과; 상기 데이터 드라이버와 상기 외부의 제어회로를 전기적으로 연결하는 비디오 신호선 및 접지선과; 상기 게이트 신호선 상부에 오버랩 되어 형성되며, 접지되어 있는 접지층을 포함한다.
이 때, 상기 게이트 드라이버의 회로내 노드 상부에 오버랩 되어 형성되며, 접지되어 있는 접지층을 더 포함한다.
상기 접지층은 상기 접지선과 전기적으로 연결됨으로써 접지된다.
상기 접지층은 상기 화소전극과 함께 인듐 틴 옥사이드(ITO)와 인듐 징크 옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나로 형성된다.
상기 박막트랜지스터는 액티브층(다결정 실리콘층), 게이트 전극, 소스 및 드레인 전극으로 구성되는 다결정 박막트랜지스터이다.
상기와 같은 목적을 위하여 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판 제조방법은 절연기판를 준비하는 단계와; 상기 절연기판의 상부에 버퍼층을 형성하는 단계와; 상기 버퍼층 상부에 채널 영역과 상기 채널 영역 양측의 오믹 콘택영역으로 구분되는 액티브층을 형성하는 단계와; 상기 액티브층의 상부에 게이트 절연막을 형성하고, 상기 게이트 절연막 상부에 게이트 배선 및 상기 게이트 배선과 연결된 게이트 전극을 형성하는 단계와; 상기 게이트 전극 상부에 층간 절연막을 형성하고, 상기 오믹 콘택영역이 노출되는 제1 및 제2 콘택홀을 형성하는 단계와; 상기 제1 및 제2 콘택홀을 통해 상기 오믹 콘택영역과 각각 접촉하면서 서로 일정간격 이격된 소스 및 드레인 전극과, 상기 소스 전극과 연결된 데이터 배선을 형성하고, 동일층에 게이트 신호선 및 접지선을 형성하는 단계와; 상기 소스 및 드레인 전극의 상부에 보호층을 형성하고, 상기 보호층에 상기 드레인 전극의 일부 및 접지선의 일부가 노출 되도록 드레인 콘택홀 및 접지 콘택홀을 형성하는 단계와; 상기 드레인 콘택홀을 통해 드레인 전극와 접촉하는 화소전극과, 상기 접지 콘택홀을 통해 접지선과 접촉하면서 상기 게이트 신호선과 오버랩되는 접지층을 형성하는 단계를 포함한다.
이 때, 상기 접지층과 화소전극은 인듐 틴 옥사이드(ITO)와 인듐 징크 옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나로 형성된다.
상기 접지층은 기판에 형성된 상기 게이트 신호선의 모든 영역과 오버랩 되도록 형성한다.
상기 게이트 신호선은 경우에 따라서 게이트 배선과 동일층에 형성한다.
상기 게이트 신호선 및 접지선은 외부의 인쇄회로기판에 형성된 제어회로에 전기적으로 연결된다.
상기 게이트 신호선 및 접지선은 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr) 등의 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나로 형성한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판을 개략적으로 도시한 도면이다.
도면에서와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판(400)은 표시영역(410)과 비표시 영역(420)으로 구분되며, 표시영역(410)에는 화소영역(P)을 정의하는 다수의 게이트 배선(GL) 및 데이터 배선(DL)이 서로 교차되는 방향으로 형성되어 있고, 화소마다 스위칭 소자로써 박막트랜지스터(T)가 형성되어 있으며, 박막트랜지스터(T)의 스위칭에 따라서 비디오 신호가 인가되는 화소전극(412)이 형성되어 있다.
이 때, 도시하지는 않았지만 박막트랜지스터(T)는 게이트 배선(GL)에 연결된 게이트 전극과, 반도체층과, 데이터 배선(DL)에서 돌출 형성된 소스 전극 및 소스전극과 소정간격 이격되어 형성된 드레인 전극으로 구성되며, 화소전극(412)은 드레인 전극과 전기적으로 연결되어 있다.
비표시 영역(420)에는 게이트 및 데이터 드라이버(422, 424)를 포함하는 구동회로가 형성되어 있으며, 좀 더 상세하게는 표시영역(410)의 일측면에 게이트 배선(GL)에 순차적으로 구동신호를 인가하기 위한 게이트 드라이버(422)가 형성되어 있고, 이와 인접한 일측면에 게이트 배선(GL)의 구동신호에 따라서 1수평라인분의 비디오 신호를 데이터 배선(DL)에 인가하기 위한 데이터 드라이버(424)가 형성되어 있다.
또한, 게이트 드라이버(422)와 연결되어 게이트 신호선(GS)이 형성되어 있고, 데이터 드라이버(424)와 연결되어 다수개의 비디오 신호선(DS) 및 접지선(GND)이 형성되어 있으며, 이러한 게이트 신호선(GS), 비디오 신호선(DS), 접지선(GND)은 외부의 인쇄회로기판(450), 정확하게는 액정표시장치용 기판(400)의 일측면에 구성되는 인쇄회로기판(450) 상에 형성되어 있는 제어회로(452)와 전기적으로 연결된다.
다시 말해서, 비표시 영역(420)에는 제어회로(452)와 게이트 드라이버(422) 사이에 제어신호를 인가하기 위한 게이트 신호선(GS)이 형성되어 있고, 제어회로(452)와 데이터 드라이버(424) 사이에 제어신호 및 비디오 신호를 인가하기 위한 비디오 신호선(DS) 및 접지선(GND)이 형성되어 있다.
이와 같이, 게이트 및 데이터 드라이버(422, 424)는 게이트 신호선(GS), 비디오 신호선(DS)을 통해 제어회로(452)에서 생성되는 제어신호 및 비디오 신호를 입력받아 구동한다.
상술한 게이트 신호선(GS)의 상부, 좀 더 상세하게는 기판에 형성된 게이트 신호선(GS)의 모든 영역 상부에는 접지되어 있는 접지층(426)이 오버랩 되어 있으며, 접지층(426)은 게이트 신호선(GS)과 소정간격 이격되어 형성되는 접지선(GND)과 전기적으로 연결됨으로써 접지된다.
한편, 도시하지는 않았지만 상술한 바와 같은 액정표시장치용 기판(제1 기 판)은 대향하여 구성되는 제2 기판과, 두 기판 사이에 개재된 액정에 의해 액정패널로 정의되며, 제2 기판에는 제1 기판과 대향하는 면의 전면에 공통전극이 형성되어 있다.
이하, 도면을 참조하여 게이트 신호선 및 접지층에 대해서 상세히 설명한다.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 자른 게이트 신호선 및 접지층의 단면도로써, 설명의 편의를 위하여 제1 및 제2 기판을 합착한 경우를 도시하였다.
도시한 바와 같이, 제1 기판(400)의 상부에 게이트 신호선(GS) 및 접지선(GND)이 소정간격 이격하여 형성되어 있고, 게이트 신호선 및 접지선(GS, GND)은 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr) 등의 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나로 형성된다.
게이트 신호선 및 접지선(GS, GND)의 상부에는 기판 전면에 걸쳐 보호층(402)이 형성되어 있고, 이러한 보호층(402)에는 접지선(GND)이 노출되는 콘택홀이 형성되어 있으며, 보호층(402) 상부에 콘택홀을 통해 접지선(GND)과 전기적으로 연결되는 접지층(426)이 게이트 신호선(GS)에 오버랩 되도록 형성되어 있다.
한편, 제1 기판(400)과 액정(440)을 사이에 두고 소정간격 이격하여 제2 기판(430)이 구성되고, 제2 기판(430)에는 제1 기판(400)과 대향하는 면의 전면에 걸쳐 공통전극(432)이 형성되어 있다. 따라서 공통전극(432)은 접지층(426)과 오버랩 된다.
즉, 접지층(426)은 게이트 신호선(GS)과 오버랩 되고, 공통전극(432)은 접지층(426)과 오버랩 되며, 이로 인한 전기적 특성은 다음과 같다.
도 6a는 본 발명에 따른 액정표시장치의 게이트 드라이버와 제어회로 사이의 등가 회로도이고, 도 6b는 도 6a를 다르게 표현한 등가 회로도이다.
도 6a에 도시한 등가 회로도에서와 같이 게이트 신호선(GS)과 접지층(426) 사이에 오버랩으로 인한 기생 캡이 형성되며, 접지층(426)과 공통전극(432) 사이에도 오버랩으로 인한 기생 캡이 형성된다.
이 때, 접지층(426)이 접지선(GND)과 전기적으로 연결되어 접지되므로, 도 6b의 등가 회로도에서와 같이 공통전극 및 게이트 신호선(432, GS)이 각각 접지와의 사이에 기생 캡을 형성하는 것으로 보아도 무방하다.
이와 같이, 게이트 신호선(GS) 상부에 접지되어 있는 접지층(426)을 오버랩 함으로써, 종래 게이트 신호선(GS)과 공통전극(432) 사이에 형성되는 기생 캡에 의해서 공통전압의 극성반전에 따라 게이트 신호선(GS)에 발생하는 커플링을 방지한다.
따라서 공통전극(432)과 게이트 신호선(GS) 사이의 커플링에 의한 게이트 드라이버의 오동작을 방지하여 화질 불량을 개선한다.
한편, 도시하지는 않았지만 게이트 신호선(GS) 하부에는 기판의 전면에 형성된 버퍼층, 게이트 절연막, 층간 절연막을 더 포함하며, 경우에 따라서 층간 절연막은 게이트 신호선(GS) 상부, 즉 게이트 신호선(GS)과 보호층(402) 사이에 형성되기도 한다.
또한, 게이트 신호선(GS) 상부에 접지층(426)이 형성되어 있는 경우만을 설명하였으나, 게이트 드라이버 회로내 노드(미도시)에서도 게이트 신호선(GS)의 경 우와 마찬가지로 공통전극(432)의 오버랩에 형성되는 기생 캡으로 인한 커플링이 발생하며, 이를 개선하기 위해 게이트 신호선(GS)의 경우와 마찬가지로 회로내 노드(미도시)의 상부에 접지되어 있는 접지층(426)을 오버랩 되도록 형성한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판의 형성 방법을 상세히 설명한다.
도 7a 내지 7d 및 도 8a 내지 도 8d은 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판의 공정 단면도로써, 각각 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선 및 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 자른 게이트 신호선부 및 화소부의 공정 단면도이다.
도 7a 및 도 8a는 액티브층을 형성하는 단계를 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 표시영역(도 4의 410)과 비표시 영역(도 4의 420)으로 구분되는 절연기판(400)의 전면에 실리콘 산화물(SiO2) 또는 실리콘 질화물(SiNx)을 증착하여 버퍼층(502)을 형성하고, 버퍼층(502)의 상부에 다결정 실리콘층을 형성하기 위한 비정질 선행막을 증착한 후, 탈수소화 공정을 거친다.
탈수소화 공정을 거친 비정질 선행막을 고온 또는 저온 다결정 실리콘 공정으로 결정화한 후, 패턴하여 표시영역(도 4의 410)에 액티브층(510)을 형성한다.
이 때, 액티브층(510)은 중앙의 채널 영역(511)과, 채널 영역(511) 양측으로 소스 및 드레인 전극이 접촉하는 오믹 콘택영역(512)으로 나누어진다.
도 7b 및 도 8b는 게이트 전극 및 층간 절연막을 형성하는 단계를 도시한 도면이다.
액티브층(510)이 형성된 기판(400)의 전면에 무기 절연물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여 게이트 절연막(504)을 형성한다.
게이트 절연막(504)이 형성된 기판의 전면에 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr) 등의 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패터닝 하여, 게이트 배선(미도시) 및 게이트 배선(미도시)에서 돌출 형성되는 게이트 전극(508)을 형성하며, 게이트 전극(508)은 액티브층(510)의 채널 영역(511)에 대응하여 형성한다.
다음으로 게이트 전극(508)이 형성된 기판(400)의 전면에 실리콘 산화물(SiO2)과 실리콘 질화물(SiNx)등의 무기 절연물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여 층간 절연막(506)을 형성하고, 층간 절연막(506)과 하부의 게이트 절연막(504)을 함께 식각하여 오믹 콘택영역(512)을 노출하기 위한 제1 및 제2 콘택홀(514, 516)을 형성한다.
한편, 액티브층(510), 정확하게는 오믹 콘택영역(512)에는 이후 형성되는 소스 및 드레인 전극과의 접촉저항을 낮추는 오믹 콘택(Ohmic Contact)의 기능을 수행하도록 n+ 불순물 또는 p+ 불순물을 도핑 하며, 도핑된 불순물에 따라서 NMOS 또는 PMOS로 특성화 된다.
이러한 도핑 공정은 일반적으로 게이트 전극 형성 후에 이루어지며, 경우에 따라서는 층간 절연막을 형성한 후에 이루어진다.
도 7c 및 도 8c는 소스 및 드레인 전극과 게이트 신호선을 형성하는 단계를 도시한 도면이다.
제1 및 제2 콘택홀(514, 516)이 형성된 기판의 전면에 상술한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패터닝하여, 게이트 배선(미도시)과 교차하는 방향으로 데이터 배선(미도시)을 형성하고, 오믹 콘택영역(512)과 각각 접촉하면서 서로 일정간격 이격된 소스 및 드레인 전극(521, 522)을 형성하며, 소스 전극(521)은 데이터 배선(미도시)에서 돌출 형성된다.
동시에 게이트 드라이버(도 4의 422)와 외부의 제어회로(오 4의 452)를 전기적으로 연결하는 게이트 신호선(GS)과 접지선(GND)을 소정간격 이격하여 형성하며, 접지선(GND)은 외부의 제어회로(도 4의 452)를 통해 접지 되어진다.
도 7d 및 도 8d는 화소전극 및 접지층을 형성하는 단계를 도시한 도면이다.
소스 및 드레인 전극(521, 522)과 게이트 신호선(GS)이 형성된 기판의 전면에 상술한 바 있는 무기 절연물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여 보호층(402)을 형성하고, 이를 패터닝하여 상기 드레인 전극(522)의 일부를 노출하는 드레인 콘택홀(미도시)과, 접지선(GND)의 일부를 노출하는 접지 콘택홀(미도시)을 형성한다.
다음으로, 보호층(402)이 형성된 기판의 전면에 인듐 틴 옥사이드(ITO)와 인듐 징크 옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 드레인 전극(522)과 접촉하는 화소전극(412)을 형성한다.
동시에 접지선(GND)과 접촉하며, 게이트 신호선(GS)과 오버랩 되는 접지층(426)을 형성한다.
이와 같은 방법에 의해 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판을 제작할 수 있으며, 게이트 신호선(GS)을 층간 절연막(506) 형성공정 이후에 형성하는 방법을 설명하였으나, 층간 절연막(506)을 형성하기 전 공정, 즉 게이트 전극(508)을 형성하 는 공정과 동일 공정에서 형성할 수 있다.
또한, 화소부 및 게이트 신호선부는 각각 표시영역(도 4의 410) 및 비표시 영역(도 4의 420)에 형성하며, 도시하지는 않았지만 표시영역(도 4의 410)과 인접하여 표시영역(도 4의 410)의 일측면에 게이트 배선(GL)을 구동하기 위한 게이트 드라이버(도 4의 422)와, 이와 평행하지 않은 표시영역(도 4의 410)의 일측면에 데이터 배선(DL)을 구동하기 위한 데이터 드라이버(도 4의 424)가 형성되어 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 구동회로를 기판에 형성하는 방식의 액정표시장치용 기판은 게이트 신호선(GS) 상부에 접지되어 있는 접지층(426)을 오버랩 함으로써, 종래 게이트 신호선(426)과 공통전극(432) 사이에 형성되는 기생 캡에 의해서 공통전압의 극성반전에 따라 게이트 신호선(GS)에 발생하는 커플링을 방지한다.
즉, 게이트 신호선(GS)과 접지층(426) 사이, 접지층(426)과 공통전극(432) 사이에 각각 기생 캡이 형성되어, 공통전압의 극성 반전에 따라 발생하는 커플링은 접지층(426)을 통해 분산되어 게이트 신호선(GS)에 영향을 미치지 않는다.
따라서 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판은 공통전극(도 5의 432)과 게이트 신호선(GS) 사이의 커플링에 의한 게이트 드라이버(도 4의 422)의 오동작을 방지하여 화질 불량을 개선한다.
본 발명은 상술한 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변경하여 실시 할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판은 게이트 드라이버와 기판 외부의 제어회로를 전기적으로 연결하는 게이트 신호선 상부에 접지되어 있는 접지층을 오버랩 함으로써, 종래 공통전압의 극성 반전에 따라서 게이트 신호선에 발생하는 커플링을 접지층을 통해 분산하여 공통전압과 게이트 신호선 사이의 커플링을 제거하며, 이로 인해서 공통전극과 게이트 신호선 사이의 커플링에 의한 게이트 드라이버의 오동작을 방지하여 화질 불량을 개선하는 효과가 있다.

Claims (11)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 절연기판를 준비하는 단계와;
    상기 절연기판의 상부에 버퍼층을 형성하는 단계와;
    상기 버퍼층 상부에 채널 영역과 상기 채널 영역 양측의 오믹 콘택영역으로 구분되는 액티브층을 형성하는 단계와;
    상기 액티브층의 상부에 게이트 절연막을 형성하고, 상기 게이트 절연막 상부에 게이트 배선 및 상기 게이트 배선과 연결된 게이트 전극을 형성하는 단계와;
    상기 게이트 전극 상부에 층간 절연막을 형성하고, 상기 오믹 콘택영역이 노출되는 제1 및 제2 콘택홀을 형성하는 단계와;
    상기 제1 및 제2 콘택홀을 통해 상기 오믹 콘택영역과 각각 접촉하면서 서로 일정간격 이격된 소스 및 드레인 전극과, 상기 소스 전극과 연결된 데이터 배선을 형성하고, 동일층에 게이트 신호선 및 접지선을 형성하는 단계와;
    상기 소스 및 드레인 전극의 상부에 보호층을 형성하고, 상기 보호층에 상기 드레인 전극의 일부 및 접지선의 일부가 노출 되도록 드레인 콘택홀 및 접지 콘택홀을 형성하는 단계와;
    상기 드레인 콘택홀을 통해 드레인 전극와 접촉하는 화소전극과, 상기 접지 콘택홀을 통해 접지선과 접촉하면서 상기 게이트 신호선과 오버랩되는 접지층을 형성하는 단계
    를 포함하는 액정표시장치용 기판 제조방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 접지층과 화소전극은 인듐 틴 옥사이드(ITO)와 인듐 징크 옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나로 형성된 액정표시장치용 기판 제조방법.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 접지층은 기판에 형성된 상기 게이트 신호선의 모든 영역과 오버랩 되도록 형성하는 액정표시장치용 기판 제조방법.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 게이트 신호선은 경우에 따라서 게이트 배선과 동일층에 형성하는 액정표시장치용 기판 제조방법.
  10. 제 6항에 있어서,
    상기 게이트 신호선 및 접지선은 외부의 인쇄회로기판에 형성된 제어회로에 전기적으로 연결되는 액정표시장치용 기판 제조방법.
  11. 제 6항에 있어서,
    상기 게이트 신호선 및 접지선은 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr) 등의 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나로 형성하는 액정표시장치용 기판 제조방법.
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