KR101145530B1 - Squeegee and squeegee assembly - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스퀴지에 있어서, 마스크와의 마찰에 의한 정전기의 발생 및 절삭 칩의 발생을 억제하는 동시에, 도전성 미립자에 대응할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
전기 주조에 의해 제작하여, 복수의 침상 돌기(12)를 기부의 단부 테두리를 따라서 소정의 간극을 갖고 배열한다. 스퀴지(10)를 금속제로 함으로써, 기판(44) 상에 마스크(50)를 배치하여, 상기 마스크(50) 상에 땜납 볼 등의 도전성 미립자(40)를 적재하고, 스퀴지(10)의 침상 돌기(12)로 상기 도전성 미립자(40)를 이동시켜, 상기 마스크(50)에 형성된 개구 패턴(52) 내에 도전성 미립자(40)를 배치할 때에, 상기 침상 돌기(12)와 마스크(50) 사이에 마찰이 발생해도, 정전기 및 절삭 칩의 발생을 억제할 수 있다.
In the squeegee, an object of the present invention is to suppress generation of static electricity and generation of cutting chips by friction with a mask and to cope with conductive fine particles.
Produced by electroforming, the plurality of needle-like protrusions 12 are arranged with a predetermined gap along the end edge of the base. When the squeegee 10 is made of metal, the mask 50 is disposed on the substrate 44, the conductive fine particles 40 such as solder balls are placed on the mask 50, and the needle protrusions of the squeegee 10 are placed. When the conductive fine particles 40 are moved to (12) to arrange the conductive fine particles 40 in the opening pattern 52 formed in the mask 50, between the needle protrusion 12 and the mask 50. Even if friction occurs, generation of static electricity and cutting chips can be suppressed.

Description

스퀴지 및 스퀴지 조립체{SQUEEGEE AND SQUEEGEE ASSEMBLY}Squeegee and Squeegee Assembly {SQUEEGEE AND SQUEEGEE ASSEMBLY}

본 발명은 스퀴지 및 스퀴지 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a squeegee and a squeegee assembly.

마스크 상의 도전성 미립자를 스퀴지에 의해 이동시켜, 세라믹 다공판의 개공부에 흡인 삽입하는 미소 입자 배열 장치가 개시되어 있다(특허 문헌 1 참조). 이 스퀴지에는 연한 도전 섬유가 식모(植毛)되어 있다.A microparticle aligning device is disclosed in which conductive fine particles on a mask are moved by a squeegee and suction-inserted into the openings of a ceramic porous plate (see Patent Document 1). In this squeegee, soft conductive fibers are planted.

[특허문헌1]일본특허출원공개평9-148332호공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-148332

종래부터, 반도체 기판이나 프린트 배선 기판 등의 전극 패드의 위치에 대응한 개구 패턴이 형성된 마스크를, 상기 반도체 기판 등의 위에 포개어, 상기 마스크 상에 도전성 미립자(땜납 볼)를 적재하고, 스크린 인쇄의 방법에 의해 상기 도전성 미립자 등을 스퀴지로 이동시킴으로써, 마스크의 개구 패턴 내에 도전성 미립자 등을 배치하는 것이 행해지고 있다.Conventionally, a mask in which an opening pattern corresponding to a position of an electrode pad such as a semiconductor substrate or a printed wiring board is formed is superimposed on the semiconductor substrate or the like to load conductive fine particles (solder balls) on the mask, and screen-printed. By moving the said electroconductive fine particles etc. with a squeegee by the method, arrange | positioning electroconductive fine particles etc. in the opening pattern of a mask is performed.

이것에 사용되는 스퀴지로서, 고무나, 폴리우레탄재(폴리머)에 의해 제작되어 있는 것이 있지만, 이와 같은 재료로 스퀴지를 제작하면, 마스크 등과의 마찰에 의해, 정전기나 절삭 칩이 발생하므로 바람직하지 않다. 또한, 상기한 종래예와 같이, 연한 도전 섬유가 식모된 스퀴지에서는, 정전기의 발생은 억제할 수 있었다고 해도, 절삭 칩의 발생은 억제할 수 없고, 또한 입자가 점점 작아지는 경향에 있는 현재, 좁은 피치로 식모하는데 한계가 있어, 문제가 되고 있다.Although some squeegee used for this is manufactured by rubber | gum and a polyurethane material (polymer), since squeegee is produced with such a material, since static electricity and a cutting chip generate | occur | produce by friction with a mask etc., it is not preferable. . In addition, in the squeegee in which the soft conductive fibers are planted, as in the above-described conventional example, even if the generation of static electricity can be suppressed, the generation of cutting chips cannot be suppressed, and the current tends to become smaller and smaller. There is a limit to planting at pitch and becomes problem.

본 발명은 상기 사실을 고려하여, 스퀴지에 있어서, 마스크와의 마찰에 의한 정전기의 발생 및 절삭 칩의 발생을 억제하는 동시에, 도전성 미립자에 대응할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.In view of the above fact, an object of the present invention is to make it possible to cope with conductive fine particles while suppressing generation of static electricity and cutting chips due to friction with a mask.

제1 형태(스퀴지)는, 전기 주조에 의해 제작되어, 복수의 침상 돌기가 기부의 단부 테두리를 따라서 소정의 간극을 갖고 배열되어 있다.The first aspect (squeegee) is produced by electroforming, and a plurality of needle-like protrusions are arranged with a predetermined gap along the end edge of the base.

제2 형태는, 제1 형태에 관한 스퀴지에 있어서, 상기 침상 돌기의 두께 방향의 한쪽의 면은 단면 볼록 형상의 만곡면으로 형성되어 있다.2nd aspect is a squeegee which concerns on a 1st aspect WHEREIN: One surface of the said needle-shaped protrusion in the thickness direction is formed in the curved surface of cross-sectional convex shape.

제3 형태는, 제1 형태에 관한 스퀴지에 있어서, 상기 침상 돌기의 폭과 상기 간극의 폭이 5 내지 400㎛이다.According to a third aspect, in the squeegee according to the first aspect, the width of the needle protrusion and the width of the gap are 5 to 400 μm.

제4 형태는, 제1 형태에 관한 스퀴지에 있어서, 상기 침상 돌기의 길이가 0.05 내지 4㎜이다.In a 4th aspect, in the squeegee according to the first aspect, the length of the needle protrusion is 0.05 to 4 mm.

제5 형태는, 제1 형태에 관한 스퀴지에 있어서, 두께가 1 내지 100㎛이다.5th aspect is 1-100 micrometers in thickness in the squeegee which concerns on a 1st aspect.

제6 형태는, 제1 형태에 관한 스퀴지에 있어서, 전기 주조 재료로서, 니켈, 구리, 팔라듐, 백금, 금, 은 또는 이들의 합금을 사용하고 있다.In the squeegee according to the first aspect, the sixth aspect uses nickel, copper, palladium, platinum, gold, silver, or an alloy thereof as the electroforming material.

제7 형태(스퀴지 조립체)는, 제1 형태 내지 제6 형태 중 어느 하나의 형태에 관한 스퀴지를, 적어도 1매 사용하여, 상기 기부를 끼움 지지 부재에 의해 두께 방향의 양측으로부터 끼움 지지 고정하여 이루어진다.A 7th form (squeegee assembly) uses at least one squeegee which concerns on the form in any one of the 1st form-6th form, and is made to clamp and fix the said base from both sides of the thickness direction by the fitting support member. .

제1 형태에 관한 스퀴지는, 미세한 형상을 형성 가능한 전기 주조에 의해 제작되어 있으므로, 도전성 미립자에 대응할 수 있다. 또한, 스퀴지가 금속제이므로, 기판 상에 마스크를 배치하여, 상기 마스크 상에 땜납 볼 등의 도전성 미립자를 적재하고, 스퀴지의 침상 돌기로 상기 도전성 미립자를 이동시켜, 상기 마스크에 형성된 개구 패턴 내에 도전성 미립자를 배치할 때에, 상기 침상 돌기와 마스크 사이에 마찰이 발생해도, 정전기 및 절삭 칩의 발생을 억제할 수 있다.Since the squeegee which concerns on a 1st aspect is produced by the electroforming which can form a minute shape, it can respond to electroconductive fine particles. In addition, since the squeegee is made of metal, a mask is placed on the substrate, and conductive fine particles such as solder balls are placed on the mask, the conductive fine particles are moved by the needle protrusion of the squeegee, and the conductive fine particles are formed in the opening pattern formed in the mask. When arranging, even if friction occurs between the needle protrusion and the mask, generation of static electricity and cutting chips can be suppressed.

제2 형태에 관한 스퀴지에서는, 침상 돌기로 도전성 미립자를 밀어 이동시킬 때에, 상기 침상 돌기의 만곡면측을 사용함으로써, 상기 도전성 미립자의 표면에 흠집이 생기는 것을 억제할 수 있다.In the squeegee according to the second aspect, when the electroconductive fine particles are pushed and moved by the needle protrusion, the occurrence of scratches on the surface of the electroconductive fine particles can be suppressed by using the curved surface side of the needle protrusion.

제3 형태에 관한 스퀴지에서는, 스퀴지에 있어서의 침상 돌기의 폭과 간극의 폭을, 도전성 미립자의 입자 직경에 적합하게 할 수 있다. 또한, 간극의 폭을 변경함으로써, 침상 돌기의 밀도를 부분적으로 변화시키는 것도 가능하다.In the squeegee according to the third aspect, the width of the needle-like protrusion in the squeegee and the width of the gap can be made to be suitable for the particle diameter of the conductive fine particles. In addition, it is also possible to partially change the density of the needle protrusions by changing the width of the gap.

제4 형태에 관한 스퀴지에서는, 침상 돌기의 길이를 적절하게 설정함으로써, 상기 스퀴지를 소형화할 수 있다.In the squeegee according to the fourth aspect, the squeegee can be miniaturized by appropriately setting the length of the needle-like protrusion.

제5 형태에 관한 스퀴지에서는, 두께를 적절하게 설정함으로써, 침상 돌기의 강도를 컨트롤할 수 있다.In the squeegee according to the fifth aspect, the strength of the needle-shaped protrusion can be controlled by setting the thickness appropriately.

제6 형태에 관한 스퀴지에서는, 전기 주조 재료를 적절하게 선택함으로써, 경도, 변형 강도, 유연성, 내마모성 등, 필요한 기계적 특성이나 내구성을 확보할 수 있다.In the squeegee according to the sixth aspect, by appropriately selecting an electroforming material, necessary mechanical properties and durability such as hardness, deformation strength, flexibility, and wear resistance can be ensured.

제7 형태에 관한 스퀴지 조립체에서는, 스퀴지가 끼움 지지 부재에 끼움 지지되어 있으므로, 스퀴지의 취급이 용이하고, 도전성 미립자를 마스크의 개구 패턴 내에 배치하는 장치로의 착탈도 용이하다. 복수매의 스퀴지를 포갬으로써, 스퀴지 전체의 강도를 컨트롤할 수 있다.In the squeegee assembly according to the seventh aspect, since the squeegee is fitted to the fitting support member, handling of the squeegee is easy, and the attachment and detachment of the conductive fine particles into the device for disposing the conductive fine particles in the opening pattern of the mask is also easy. By foaming a plurality of squeegee, the strength of the entire squeegee can be controlled.

이상 설명한 바와 같이, 제1 형태에 관한 스퀴지에 따르면, 스퀴지에 있어서, 마스크와의 마찰에 의한 정전기의 발생 및 절삭 칩의 발생을 억제하는 동시에, 도전성 미립자에 대응할 수 있다고 하는 우수한 효과가 얻어진다.As described above, according to the squeegee according to the first aspect, an excellent effect that the squeegee can suppress the generation of static electricity and the generation of cutting chips due to friction with the mask, and can cope with the conductive fine particles.

제2 형태에 관한 스퀴지에 따르면, 도전성 미립자의 표면에 흠집이 생기는 것을 억제할 수 있다고 하는 우수한 효과가 얻어진다.According to the squeegee according to the second aspect, an excellent effect of being able to suppress the occurrence of scratches on the surface of the conductive fine particles is obtained.

제3 형태에 관한 스퀴지에 따르면, 도전성 미립자의 입자 직경에 적합하게 할 수 있다고 하는 우수한 효과가 얻어진다.According to the squeegee which concerns on 3rd aspect, the outstanding effect which can be adapted to the particle diameter of electroconductive fine particles is acquired.

제4 형태에 관한 스퀴지에 따르면, 스퀴지를 소형화할 수 있다고 하는 우수한 효과가 얻어진다.According to the squeegee according to the fourth aspect, an excellent effect of miniaturizing the squeegee can be obtained.

제5 형태에 관한 스퀴지에 따르면, 침상 돌기의 강도를 컨트롤할 수 있다고 하는 우수한 효과가 얻어진다.According to the squeegee according to the fifth aspect, an excellent effect of being able to control the strength of the needle protrusion is obtained.

제6 형태에 관한 스퀴지에 따르면, 경도, 변형 강도, 유연성, 내마모성 등, 필요한 기계적 특성이나 내구성을 확보할 수 있다고 하는 우수한 효과가 얻어진다.According to the squeegee according to the sixth aspect, an excellent effect that the required mechanical properties and durability such as hardness, deformation strength, flexibility, and wear resistance can be ensured can be obtained.

제7 형태에 관한 스퀴지 조립체에 따르면, 스퀴지의 취급이 용이해지고, 도전성 미립자를 마스크의 개구 패턴 내에 배치하는 장치로의 착탈도 용이해진다고 하는 우수한 효과가 얻어진다.According to the squeegee assembly which concerns on 7th aspect, the outstanding effect that handling of a squeegee becomes easy and attachment / detachment to the apparatus which arrange | positions electroconductive fine particles in the opening pattern of a mask also becomes easy is acquired.

도 1은 스퀴지를 도시하는 평면도.
도 2는 침상 돌기의 선단측이 근원측보다도 가는 스퀴지를 도시하는 사시도.
도 3은 스퀴지 조립체를 도시하는 분해 사시도.
도 4는 스퀴지 조립체를 도시하는 사시도.
도 5는 1매의 스퀴지가 끼움 지지 부재 사이에 끼워 넣어진 스퀴지 조립체를 도시하는 측면도.
도 6은 3매의 스퀴지가 스페이서를 통해 끼움 지지 부재 사이에 끼워 넣어진 스퀴지 조립체를 도시하는 측면도.
도 7은 1매의 스퀴지를 갖는 스퀴지 조립체에 의해, 마스크 상의 도전성 미립자를 이동시켜, 개구 패턴 내에 배치하고 있는 상태를 도시하는 일부 단면 측면도.
도 8은 3매의 스퀴지를 갖는 스퀴지 조립체에 의해, 마스크 상의 도전성 미립자를 이동시켜, 개구 패턴 내에 배치하고 있는 상태를 도시하는 일부 단면 측면도.
도 9는 스퀴지에 있어서의 침상 돌기의 두께 방향의 한쪽의 면이 단면 볼록 형상의 만곡면에 형성되어 있고, 상기 만곡면측을 사용하여, 마스크 상의 도전성 미립자를 이동시켜, 개구 패턴 내에 배치하고 있는 상태를 도시하는 일부 단면 사시도.
도 10은 도전성을 갖는 기판 상에 포토레지스트를 도포해 두고, 상기 포토레지스트 상에 마스크를 배치하여, 이 상태에서 마스크측으로부터 자외선을 조사하고 있는 상태를 도시하는 측면도.
도 11은 포토레지스트의 현상을 행함으로써, 자외선이 조사되지 않았던 영역이 볼록부로서 기판 상에 남은 상태를 도시하는 일부 단면 측면도.
도 12는 전기 주조 공정의 원리를 도시하는 모식도.
도 13은 전기 주조에 의해, 기판 상에 전기 주조 재료가 전착한 상태를 도시하는 일부 단면 측면도.
도 14는 도 13에 있어서, 포토레지스트를 제거한 상태를 도시하는 일부 단면 측면도.
도 15는 전기 주조 재료를 기판으로부터 박리시키고 있는 상태를 도시하는 일부 단면 측면도.
1 is a plan view showing a squeegee.
2 is a perspective view showing a squeegee in which the tip side of the needle-shaped protrusion is thinner than the base side;
3 is an exploded perspective view illustrating the squeegee assembly.
4 is a perspective view showing a squeegee assembly.
Fig. 5 is a side view showing a squeegee assembly sandwiched between one squeegee fitting member.
Fig. 6 is a side view showing a squeegee assembly in which three squeegees are sandwiched between the fitting support members through spacers.
7 is a partial cross-sectional side view showing a state in which conductive fine particles on a mask are moved and disposed in an opening pattern by a squeegee assembly having one squeegee.
8 is a partial cross-sectional side view showing a state in which conductive fine particles on a mask are moved and disposed in an opening pattern by a squeegee assembly having three squeegees.
9 is a state in which one surface in the thickness direction of the needle-like protrusion in the squeegee is formed on a curved surface having a convex cross section, and the conductive fine particles on the mask are moved and disposed in the opening pattern using the curved surface side. Some cross-sectional perspective view showing the.
Fig. 10 is a side view showing a state in which photoresist is applied on a conductive substrate, a mask is disposed on the photoresist, and ultraviolet rays are irradiated from the mask side in this state.
FIG. 11 is a partial cross-sectional side view showing a state in which a region to which ultraviolet light is not irradiated remains on the substrate as a convex portion by developing a photoresist. FIG.
It is a schematic diagram which shows the principle of an electroforming process.
13 is a partial cross-sectional side view showing a state in which electroforming material is electrodeposited on a substrate by electroforming.
FIG. 14 is a partial cross-sectional side view showing a state in which the photoresist is removed in FIG. 13. FIG.
15 is a partial cross-sectional side view showing a state in which the electroforming material is peeled off from the substrate.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태를 도면에 기초하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the form for implementing this invention is demonstrated based on drawing.

(스퀴지)(Squeegee)

도 1에 있어서, 본 실시 형태에 관한 스퀴지(10)는 전기 주조에 의해 제작되어, 복수의 침상 돌기(12)가 기부(14)의 단부 테두리를 따라서 소정의 간극(16)을 갖고 배열되어 있다. 전기 주조 재료로서는, 니켈, 구리, 팔라듐, 백금, 금, 은 또는 이들의 합금이 사용된다.In FIG. 1, the squeegee 10 which concerns on this embodiment is produced by electroforming, and the some needle-like protrusion 12 is arrange | positioned with the predetermined clearance 16 along the edge of the edge of the base 14. In FIG. . As the electroforming material, nickel, copper, palladium, platinum, gold, silver or alloys thereof are used.

기부(14)에는, 예를 들어 위치 결정용 핀 등(도시하지 않음)을 통과시키기 위한 관통 구멍(18)과, 후술하는 볼트(20)를 통과시키기 위한 관통 구멍(22)이, 각각 복수 형성되어 있다.The base 14 has a plurality of through holes 18 for passing through positioning pins (not shown) and a plurality of through holes 22 for passing through bolts 20 to be described later, for example. It is.

침상 돌기(12)의 폭과 간극(16)의 폭은 5 내지 400㎛이다. 여기서, 하한치를 5㎛로 한 것은, 이것을 하회하면 포토리소그래피에 사용하는 자외선의 회절 현상에 의해, 해상할 수 없는 치수로 되기 때문이다. 또한, 상한치를 400㎛로 한 것은, 이것을 상회하면 실장 회로를 상회하는 크기로 되므로, 무의미해지기 때문이다. 또한, 간극(16)의 폭을 변경함으로써, 침상 돌기(12)의 밀도를 부분적으로 변화시켜, 소밀 구조로 하는 것도 가능하다.The width of the needle protrusion 12 and the width of the gap 16 are 5 to 400 μm. Here, the lower limit is set to 5 µm because the lower limit value becomes a dimension that cannot be resolved due to the diffraction phenomenon of ultraviolet rays used for photolithography. The upper limit is set to 400 µm because the upper limit value becomes larger than the mounting circuit, and therefore becomes meaningless. In addition, by changing the width of the gap 16, it is also possible to partially change the density of the needle-like protrusion 12 to have a compact structure.

도 1에 도시되는 예에서는, 침상 돌기(12)가 곧은 형상으로 형성되어 있다. 또한, 침상 돌기(12)와 간극(16)은 각각의 폭의 비율이 예를 들어 1 : 1인 라인 앤드 스페이스 구조로 되어 있다. 또한, 침상 돌기(12)의 형상은 이것으로 한정되는 것은 아니고, 도 2에 도시된 바와 같이, 선단측을 근원측보다도 가늘게 해도 좋다. 침상 돌기(12)의 강도를 확보하면서, 유연성을 높일 수 있기 때문이다.In the example shown in FIG. 1, the needle-shaped protrusion 12 is formed in a straight shape. In addition, the needle-like protrusion 12 and the gap 16 have a line-and-space structure in which the ratio of the respective widths is 1: 1. In addition, the shape of the needle-shaped protrusion 12 is not limited to this, and as shown in FIG. 2, the tip side may be thinner than the base side. This is because the flexibility can be increased while securing the strength of the needle-shaped protrusion 12.

침상 돌기(12)의 길이는 0.05 내지 4㎜이다. 여기서, 하한치를 0.05㎜로 한 것은, 이것을 하회하면 유연성이 없어지기 때문이다. 또한, 상한치를 4㎜로 한 것은, 이것을 상회하면 굴곡이 커져, 도전성 미립자(40)(도 7 내지 도 9)를 운반하는 강도가 부족하기 때문이다. 침상 돌기(12)의 길이를 적절하게 설정함으로써, 상기 스퀴지(10)를 소형화할 수 있다.The needle-shaped protrusion 12 has a length of 0.05 to 4 mm. Here, the lower limit is set to 0.05 mm because the flexibility is lost when it is lower than this. In addition, the upper limit is 4 mm because the bending becomes large when it exceeds this, and the strength which carries electroconductive fine particles 40 (FIGS. 7-9) is lacking. By appropriately setting the length of the needle protrusion 12, the squeegee 10 can be downsized.

1매의 스퀴지(10)의 두께는 1 내지 100㎛이다. 여기서, 하한치를 1㎛로 한 것은, 이것을 하회하면 기계적 강도가 떨어져 실용적이지 않기 때문이다. 또한, 상한치를 100㎛로 한 것은, 이것을 상회하면 유연성이 부족해, 도전성 미립자(40)(도 7 내지 도 9)를 운반할 때에 원활한 작업이 불가능하기 때문이다. 스퀴지(10)의 두께를 적절하게 설정함으로써, 침상 돌기(12)의 강도를 컨트롤할 수 있다.The thickness of one squeegee 10 is 1-100 micrometers. Here, the lower limit is 1 µm because the mechanical strength is lowered below this value, which is not practical. The upper limit is set to 100 µm because the flexibility is insufficient when the upper limit is exceeded, and smooth operation is impossible when the conductive fine particles 40 (FIGS. 7 to 9) are transported. By setting the thickness of the squeegee 10 appropriately, the strength of the needle-shaped protrusion 12 can be controlled.

도 2, 도 3에 있어서, 침상 돌기(12)는 양면이 평면 형상으로 형성되어 있지만, 이것으로 한정되지 않고, 도 9, 도 13 내지 도 15에 도시된 바와 같이, 침상 돌기(12)의 두께 방향의 한쪽의 면을, 단면 볼록 형상의 만곡면(24)으로 형성해도 좋다. 침상 돌기(12)로 도전성 미립자(40)를 밀어 이동시킬 때에, 만곡면(24)측을 사용함으로써, 상기 도전성 미립자(40)의 표면에 흠집이 생기는 것을 억제할 수 있기 때문이다. 이 만곡면(24)은 후술하는 스퀴지의 제조 방법에 의해 형성할 수 있다.In FIGS. 2 and 3, the needle-like protrusions 12 are formed on both sides in a planar shape, but are not limited thereto, and the thickness of the needle-shaped protrusions 12 is shown in FIGS. 9 and 13 to 15. One surface in the direction may be formed as a curved surface 24 having a convex cross section. This is because, by using the curved surface 24 side when the conductive fine particles 40 are pushed and moved by the needle-shaped protrusions 12, scratches can be suppressed from occurring on the surface of the conductive fine particles 40. This curved surface 24 can be formed by the manufacturing method of a squeegee mentioned later.

도전성 미립자(40)라 함은, 예를 들어 땜납 볼이지만, 재질은 특별히 상관없다. 따라서, 도전성 미립자(40)는 금, 은, 구리 등의 미립자라도 좋다.The conductive fine particles 40 are, for example, solder balls, but the material is not particularly limited. Therefore, the conductive fine particles 40 may be fine particles such as gold, silver, and copper.

(스퀴지 조립체)(Squeegee assembly)

도 3 내지 도 6에 있어서, 스퀴지(10)를 적어도 1매 사용하여, 기부(14)를 끼움 지지 부재(26)에 의해 두께 방향의 양측으로부터 끼움 지지 고정함으로써, 스퀴지 조립체(30)가 구성된다. 도 3에 도시되는 예에서는, 3매의 스퀴지(10)를 포개고, 2매의 끼움 지지 부재(26, 28)에 의해 상기 3매의 스퀴지(10)를 두께 방향의 양측으로부터 끼움 지지하고, 볼트(20)를 관통 구멍(22)에 삽입 관통하여 체결 고정하고 있다.3 to 6, the squeegee assembly 30 is constituted by using the at least one squeegee 10 to sandwich and fix the base 14 from both sides in the thickness direction by the fitting support member 26. . In the example shown in FIG. 3, three squeegees 10 are stacked, and the two squeegees 10 are sandwiched and supported by two fitting members 26 and 28 from both sides in the thickness direction. 20 is inserted into the through-hole 22 and fastened and fixed.

구체적으로는, 한쪽의 끼움 지지 부재(26)에는 위치 결정용 핀 등(도시하지 않음)을 통과시키기 위한 관통 구멍(36)과, 볼트(20)를 통과시키기 위한 관통 구멍(32)이, 스퀴지(10)의 관통 구멍(18, 22)에 대응하여 복수 형성되어 있다. 다른 쪽의 끼움 지지 부재(28)에는 끼움 지지 부재(26)와 마찬가지로 위치 결정용 관통 구멍(36)이 형성되는 동시에, 상기 끼움 지지 부재(26)의 관통 구멍(32)에 대응하여 볼트(20)가 체결되는 나사 구멍(34)이 형성되어 있다. 또한, 끼움 지지 부재(26, 28)에는 도전성 미립자(40)를 마스크(50)의 개구 패턴(52)(도 7 내지 도 9 참조) 내에 배치하는 장치(도시하지 않음)에, 스퀴지 조립체(30)를 설치할 때에 사용하는 관통 구멍(38) 및 절결부(42)가 형성되어 있다. 이 절결부(42)는, 예를 들어 침상 돌기(12)의 돌출 방향과 반대측으로 개방되도록 형성되어 있다.Specifically, in one of the fitting supporting members 26, a through hole 36 for passing a positioning pin or the like (not shown) and a through hole 32 for passing the bolt 20 are squeegee. A plurality of the through holes 18 and 22 is formed in the number 10. Positioning through-hole 36 is formed in the other fitting support member 28 similarly to the fitting support member 26, and the bolt 20 corresponds to the through-hole 32 of the said fitting support member 26. ) Is formed with a screw hole 34. In addition, the squeegee assembly 30 is provided in the fitting support members 26 and 28 in an apparatus (not shown) which arrange | positions the electroconductive fine particle 40 in the opening pattern 52 (refer FIG. 7-9) of the mask 50. FIG. ), A through hole 38 and a cutout portion 42 for use in the case of installing a) are formed. This notch part 42 is formed so that it may open to the opposite side to the protrusion direction of the needle-like protrusion 12, for example.

스퀴지 조립체(30)를 조립할 때에는, 각각 대응하는 끼움 지지 부재(26)의 관통 구멍(36), 스퀴지(10)의 관통 구멍(18) 및 끼움 지지 부재(28)의 관통 구멍(36)에, 위치 결정용 핀 등(도시하지 않음)을 통과시켜 위치 결정을 한 상태로, 볼트(20)를 끼움 지지 부재(26)의 관통 구멍(32) 및 스퀴지(10)의 관통 구멍(22)에 통과시켜, 끼움 지지 부재(28)의 나사 구멍(34)에 체결한다. 스퀴지(10)의 두께 방향에 있어서의 각 침상 돌기(12) 사이의 간격을 넓히는 경우에는, 도 3, 도 4에 도시된 바와 같이 스퀴지(10) 사이에 스페이서(48)를 끼워 넣는다. 침상 돌기(12) 사이의 간격을 넓힘으로써, 상기 침상 돌기(12)의 휨 영역을 보다 많이 확보할 수 있다. 또한, 나사 구멍(34)을 관통 구멍으로 하여, 도시하지 않은 너트에 볼트(20)를 체결하도록 해도 좋다.When assembling the squeegee assembly 30, the through hole 36 of the corresponding fitting support member 26, the through hole 18 of the squeegee 10, and the through hole 36 of the fitting support member 28, respectively, Passing through the through hole 32 of the support member 26 and the through hole 22 of the squeegee 10 in the state which carried out the positioning by passing through the positioning pin etc. (not shown). To the screw hole 34 of the fitting support member 28. When widening the space | interval between each needle protrusion 12 in the thickness direction of the squeegee 10, the spacer 48 is sandwiched between the squeegee 10 as shown in FIG. By widening the space | interval between the needle-like protrusions 12, more bending area | regions of the said needle-shaped protrusion 12 can be ensured. In addition, the screw hole 34 may be a through hole, and the bolt 20 may be fastened to the nut which is not shown in figure.

또한, 끼움 지지 부재(26, 28)는 도 3에 도시되는 평판 형상의 것으로는 한정되지 않는다. 도 4에 도시되는 예에서는, 끼움 지지 부재(26, 28)의 길이 방향의 양단부(26A, 28A)가, 그 두께 방향의 한쪽으로 약간 절곡되어 만곡되어 있고, 스퀴지(10)의 길이 방향의 양단부도, 끼움 지지 부재(26, 28)의 형상에 따라서, 그 두께 방향의 한쪽으로 만곡되어 있다. 이와 같이 구성함으로써, 스퀴지(10)의 길이 방향의 양단부에서 도전성 미립자(40)를 둘러쌀 수 있고, 스퀴지(10)로 도전성 미립자(40)를 밀어 이동시킬 때에, 도전성 미립자(40)가 스퀴지(10)의 측방으로 밀려나는 것을 억제할 수 있다. 또한 이것에 의해, 도전성 미립자(40)를, 보다 효율적으로 마스크(50)의 개구 패턴(52) 내에 배치할 수 있다.In addition, the fitting support members 26 and 28 are not limited to the flat plate shape shown in FIG. In the example shown in FIG. 4, the both ends 26A, 28A of the longitudinal direction of the fitting support members 26 and 28 are slightly bent and curved in one side of the thickness direction, and the both ends of the longitudinal direction of the squeegee 10 are curved. Moreover, according to the shape of the fitting support members 26 and 28, it curves to one side of the thickness direction. By such a configuration, the conductive fine particles 40 can be enclosed at both ends in the longitudinal direction of the squeegee 10, and when the conductive fine particles 40 are pushed and moved by the squeegee 10, the conductive fine particles 40 are squeeged ( It can be suppressed to push out to the side of 10). Moreover, the electroconductive fine particles 40 can be arrange | positioned more efficiently in the opening pattern 52 of the mask 50 by this.

또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 끼움 지지 부재(26, 28) 사이에 끼워 넣는 스퀴지(10)를 1매로 해도 좋다. 또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 복수매의 스퀴지(10)를 포개어 사용하는 경우에, 침상 돌기(12)의 선단이 계단 형상으로 되도록, 각 스퀴지(10)를 침상 돌기(12)의 돌출 방향으로 오프셋해도 좋다. 도 8에 도시된 바와 같이, 스퀴지(10)를 마스크(50)의 법선 방향에 대해 경사지게 하여 접촉하는 경우에, 스퀴지(10)로부터 개구 패턴(52)에 가해지는 압력을 보다 균일화할 수 있기 때문이다.In addition, as shown in FIG. 5, one squeegee 10 to be sandwiched between the fitting supporting members 26 and 28 may be provided. In addition, as shown in FIG. 6, when the plurality of squeegees 10 are stacked and used, each squeegee 10 protrudes from the needle protrusions 12 so that the tip of the needle protrusion 12 is stepped. You may offset in the direction. As shown in FIG. 8, when the squeegee 10 is inclined to be in contact with the normal direction of the mask 50, the pressure applied to the opening pattern 52 from the squeegee 10 can be made more uniform. to be.

또한, 복수매의 스퀴지(10)를 포개어 사용하는 경우에, 각 스퀴지(10)를 침상 돌기(12)의 폭 방향으로 오프셋하고, 예를 들어 스퀴지(10)의 두께 방향에 있어서, 침상 돌기(12)가 지그재그 배치로 되도록 해도 좋다. 스퀴지 조립체(30)에 있어서의 침상 돌기(12)의 밀도를 높임으로써, 침상 돌기(12) 사이의 간극(16)이 비교적 크게 설정된 스퀴지(10)를 사용하면서, 상기 간극(16)보다 소경의 도전성 미립자(40)에 대응할 수 있기 때문이다.In the case where a plurality of squeegees 10 are stacked and used, each squeegee 10 is offset in the width direction of the needle-like protrusions 12, for example, in the thickness direction of the squeegee 10, the needle-shaped protrusions ( 12) may be arranged in a zigzag arrangement. By increasing the density of the needle-like protrusions 12 in the squeegee assembly 30, while using the squeegee 10 in which the gap 16 between the needle-like protrusions 12 is set relatively large, This is because the conductive fine particles 40 can be supported.

(작용)(Action)

본 실시 형태는 상기와 같이 구성되어 있고, 이하 그 작용에 대해 설명한다. 도 7에 있어서, 반도체 기판이나 프린트 배선 기판 등의 기판(44) 상에 마스크(50)를 배치하고, 상기 마스크(50) 상에 도전성 미립자(40)를 배치해 두고, 스퀴지(10)의 침상 돌기(12)로 상기 도전성 미립자(40)를 연속적으로 이동시킴으로써, 상기 마스크(50)에 형성된 개구 패턴(52) 내에, 도전성 미립자(40)를 차례로 배치해 갈 수 있다. 여기서, 기판(44) 상에는 전극으로서의 패드(46)가 설치되어 있고, 그 상부에는 플럭스 등의 점착물이 코트되어 있는 경우가 많다. 마스크(50)의 개구 패턴(52)은 패드(46)에 대응하여 형성되어 있으므로, 도전성 미립자(40)는 상기 패드(46) 상에 배치된 상태로 된다.This embodiment is comprised as mentioned above, and the action is demonstrated below. In FIG. 7, the mask 50 is arrange | positioned on the board | substrate 44, such as a semiconductor substrate and a printed wiring board, the electroconductive fine particle 40 is arrange | positioned on the said mask 50, and the needle shape of the squeegee 10 is shown. By continuously moving the conductive fine particles 40 by the projections 12, the conductive fine particles 40 can be sequentially arranged in the opening pattern 52 formed in the mask 50. Here, the pad 46 as an electrode is provided on the board | substrate 44, and adhesives, such as a flux, are coat | covered in the upper part in many cases. Since the opening pattern 52 of the mask 50 is formed corresponding to the pad 46, the conductive fine particles 40 are placed on the pad 46.

이때, 본 실시 형태에 관한 스퀴지(10)는 전기 주조에 의해 제작되어 있고, 금속제이며, 또한 침상 돌기(12)가 스프링성을 갖고 있으므로, 침상 돌기(12)가 마스크(50)와 접촉하면서 이동해도, 그 사이에 있어서의 정전기 및 절삭 칩의 발생을 억제할 수 있다. 특히, 마스크(50)로서 메탈 마스크를 사용하면, 절삭 칩은 보다 발생하기 어려워진다. 스퀴지(10)에 사용하는 전기 주조 재료를 적절하게 선택함으로써, 경도, 변형 강도, 유연성, 내마모성 등, 필요한 기계적 특성이나 내구성을 확보할 수 있다.At this time, since the squeegee 10 which concerns on this embodiment is produced by electroforming, is made of metal, and the needle-like protrusion 12 has spring property, the needle-like protrusion 12 moves while contacting the mask 50. Even if it is, generation | occurrence | production of the static electricity and a cutting chip in between can be suppressed. In particular, when a metal mask is used as the mask 50, cutting chips are more difficult to generate. By selecting the electroforming material used for the squeegee 10 appropriately, necessary mechanical characteristics and durability, such as hardness, deformation strength, flexibility, and wear resistance, can be ensured.

스퀴지(10)를 1매 사용하는 경우, 침상 돌기(12) 사이의 간극(16)은 대상이 되는 도전성 미립자(40)의 직경보다도 작게 설정된다. 침상 돌기(12)의 폭과 간극(16)의 폭은 10 내지 300㎛로부터 적절하게 선택할 수 있고, 스퀴지(10)에 있어서의 침상 돌기(12)의 폭과 간극(16)의 폭을, 도전성 미립자(40)의 입자 직경에 적합하게 할 수 있다. 스퀴지(10)의 일부에 있어서, 침상 돌기(12)의 배치를 소밀하게 하는 것도 가능하다. 이에 의해, 마스크(50)의 개구 패턴(52) 중, 도전성 미립자(40)가 들어가기 어려운 부위가 있는 경우에, 상기 부위에 대응하는 영역의 침상 돌기(12)를 밀하게 배치하는 등의 대응이 가능해진다.When using one squeegee 10, the clearance gap 16 between the needle protrusions 12 is set smaller than the diameter of the electroconductive fine particle 40 made into the object. The width of the needle protrusion 12 and the width of the gap 16 can be appropriately selected from 10 to 300 µm, and the width of the needle protrusion 12 and the width of the gap 16 in the squeegee 10 are conductive. The particle diameter of the fine particles 40 can be adapted. In a part of the squeegee 10, it is also possible to make the arrangement of the needle protrusions 12 dense. Thereby, when there exists a site | part in which the electroconductive fine particle 40 is hard to enter in the opening pattern 52 of the mask 50, correspondence, such as arrange | positioning the needle-like protrusions 12 of the area | region corresponding to the said site closely, etc. It becomes possible.

도 2에 도시된 바와 같이, 스퀴지(10)에 있어서의 침상 돌기(12)의 선단측을 근원측보다 가늘게 설정하는 등, 상기 침상 돌기(12)의 형상을 고안함으로써, 상기 침상 돌기(12)의 강도나 탄성을 컨트롤할 수 있다.As illustrated in FIG. 2, the needle protrusion 12 is devised by devising the shape of the needle protrusion 12 such as setting the tip side of the needle protrusion 12 in the squeegee 10 to be thinner than the base side. You can control the strength and elasticity of

도 5, 도 6에 있어서, 본 실시 형태에 관한 스퀴지 조립체(30)에서는, 스퀴지(10)가 끼움 지지 부재(26, 28)에 끼움 지지되어 있으므로, 스퀴지(10)의 취급이 용이하고, 도전성 미립자(40)를 마스크(50)의 개구 패턴 내에 배치하는 장치(도시하지 않음)로의 착탈도 용이하다. 도 4, 도 6에 도시된 바와 같이, 복수매의 스퀴지(10)를 포갬으로써, 스퀴지(10) 전체의 강도를 컨트롤하는 것이 가능하다.5 and 6, in the squeegee assembly 30 according to the present embodiment, since the squeegee 10 is fitted to the fitting support members 26 and 28, the handling of the squeegee 10 is easy and conductive. Desorption to and from an apparatus (not shown) which arrange | positions the microparticle 40 in the opening pattern of the mask 50 is also easy. As shown in FIG. 4, FIG. 6, by wrapping a plurality of squeegee 10, it is possible to control the intensity of the whole squeegee 10. As shown in FIG.

또한 도 8에 도시된 바와 같이, 스퀴지 조립체(30)에 있어서, 복수매의 스퀴지(10)를 포개어 사용하는 경우에, 침상 돌기(12)의 선단이 계단 형상으로 되도록, 각 스퀴지(10)를 침상 돌기(12)의 돌출 방향으로 오프셋함으로써, 스퀴지(10)를 마스크(50)의 법선 방향에 대해 경사지게 하여 접촉하는 경우에, 스퀴지(10)로부터 개구 패턴(52)에 가해지는 압력을 보다 균일화할 수 있다. 이때, 스퀴지 조립체(30)를, 침상 돌기(12)의 돌출량이 짧은 측으로 경사지게 할 필요가 있다. 이에 의해, 마스크(50)의 개구 패턴(52) 내에 일단 배치된 도전성 미립자(40)가, 침상 돌기(12)에 의해 박리되어 비산하거나, 상기 도전성 미립자(40)가 손상되는 일은 없다.In addition, as illustrated in FIG. 8, in the squeegee assembly 30, when the plurality of squeegees 10 are stacked and used, the respective squeegees 10 are formed such that the tip of the needle protrusion 12 is stepped. By offsetting in the protruding direction of the needle protrusion 12, the pressure applied from the squeegee 10 to the opening pattern 52 in the case of contacting the squeegee 10 inclined with respect to the normal direction of the mask 50 is more uniform. can do. At this time, it is necessary to incline the squeegee assembly 30 to the short side of the protrusion amount of the needle-like protrusion 12. Thereby, the electroconductive fine particle 40 once arrange | positioned in the opening pattern 52 of the mask 50 is peeled off and scattered by the needle protrusion 12, or the said electroconductive fine particle 40 is not damaged.

또한 도 9에 도시된 바와 같이, 침상 돌기(12)의 두께 방향의 한쪽의 면을, 단면 볼록 형상의 만곡면(24)으로 하고, 상기 침상 돌기(12)로 마스크(50) 상의 도전성 미립자(40)를 밀어 이동시킬 때에, 상기 만곡면(24)측을 사용함으로써, 상기 도전성 미립자(40)의 표면에 흠집이 생기는 것을 억제할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 9, one surface in the thickness direction of the needle protrusion 12 is used as the curved surface 24 having a convex cross-sectional shape, and the fine particles on the mask 50 are formed by the needle protrusion 12. When the 40 is pushed and moved, the curved surface 24 side can be used to suppress the occurrence of scratches on the surface of the conductive fine particles 40.

(스퀴지의 제조 방법)(Method for producing squeegee)

여기서, 스퀴지의 제조 방법에 대해 설명한다. 우선, 포토리소그래피의 방법에 의해, 스퀴지(10)의 형상에 대응한 전기 주조형(62)을 제작한다. 구체적으로는, 도 10에 도시된 바와 같이 스퀴지(10)(도 1, 도 2 등)의 형상에 대응한 개구 패턴(58)을 갖는 자외선 마스크(60)를 준비하여, 도전성을 갖는, 예를 들어 스테인리스제의 기판(54) 상에, 예를 들어 포지티브형의 포토레지스트(56)를 도포해 두고, 상기 포토레지스트(56) 상에 자외선 마스크(60)를 배치한다.Here, the manufacturing method of a squeegee is demonstrated. First, the electroforming die 62 corresponding to the shape of the squeegee 10 is produced by the photolithography method. Specifically, as shown in Fig. 10, an ultraviolet mask 60 having an opening pattern 58 corresponding to the shape of the squeegee 10 (Fig. 1, Fig. 2, etc.) is prepared to have an example of having conductivity. For example, the positive photoresist 56 is apply | coated on the stainless steel substrate 54, and the ultraviolet mask 60 is arrange | positioned on the said photoresist 56. As shown in FIG.

이 상태에서, 자외선 마스크(60)측으로부터 자외선을 조사한다. 그러면, 자외선은 포토레지스트(56) 중, 자외선 마스크(60)의 개구 패턴(58)의 부분에만 조사된다. 그리고 포토레지스트(56)의 현상을 행하면, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 포토레지스트(56) 중, 자외선이 조사된 영역이 제거되고, 자외선이 조사되지 않은 영역이 볼록부(56A)로서 남는다.In this state, ultraviolet rays are irradiated from the ultraviolet mask 60 side. Then, the ultraviolet rays are irradiated only to the portion of the opening pattern 58 of the ultraviolet mask 60 in the photoresist 56. When the photoresist 56 is developed, as shown in FIG. 11, the region irradiated with ultraviolet rays is removed from the photoresist 56, and the region not irradiated with ultraviolet rays remains as the convex portion 56A. .

포토레지스트(56)가 제거된 부분에서는 기판(54)의 표면이 노출된다. 이에 의해, 스퀴지(10)(도 1, 도 2 등)에 대응한 전기 주조형(62)이 완성된다. 또한, 전기 주조형(62)을 제작할 때에, 자외선을 사용하는 포토리소그래피 대신에, X선을 사용하는 X선 리소그래피의 방법을 사용해도 좋다. 그때에는, 자외선 마스크(60) 대신에, X선을 차단 가능한 X선 마스크(도시하지 않음)를 사용한다.In the portion where the photoresist 56 is removed, the surface of the substrate 54 is exposed. Thereby, the electroforming die 62 corresponding to the squeegee 10 (FIG. 1, FIG. 2, etc.) is completed. In addition, when manufacturing the electroforming die 62, instead of photolithography using ultraviolet rays, an X-ray lithography method using X-rays may be used. In that case, instead of the ultraviolet mask 60, the X-ray mask (not shown) which can block an X-ray is used.

다음에, 도 12에 도시된 바와 같이, 용기(64) 내에 전기 주조 재료가 용해된 전해액(66)을 넣고, 상기 전해액(66) 내에 양극(68)과, 기판(54)이 음극으로 되는 전기 주조형(62)을, 서로 이격한 상태로 삽입한다. 그리고, 양극(68) 및 기판(54) 사이에 전압을 인가하여, 전해액(66)의 전기 분해를 행한다. 그러면, 전기 주조형(62) 중, 포토레지스트(56)가 제거되어 있는 부분에, 전기 주조 재료(70)가 전착하여 성장한다.Next, as shown in FIG. 12, the electrolytic solution 66 in which the electroforming material is dissolved is placed in the container 64, and the positive electrode 68 and the substrate 54 become the negative electrode in the electrolytic solution 66. The casting die 62 is inserted in a state spaced apart from each other. Then, a voltage is applied between the anode 68 and the substrate 54 to perform electrolysis of the electrolyte 66. Then, the electroforming material 70 is electrodeposited and grows in the part where the photoresist 56 is removed among the electroforming dies 62.

이 전기 주조 재료(70)는, 포토레지스트(56)의 볼록부(56A)의 높이까지는, 상기 볼록부(56A)의 측벽(56B)을 따라서 종방향[기판(54)의 두께 방향]으로만 성장한다. 따라서, 볼록부(56A)의 높이의 범위 내에서 전압의 인가를 종료하면, 스퀴지(10)의 침상 돌기(12)를, 도 1, 도 2 등에 도시되는 양면이 평탄한 형상으로 성형할 수 있다.This electroforming material 70 is only in the longitudinal direction (thickness direction of the substrate 54) along the side wall 56B of the convex portion 56A, up to the height of the convex portion 56A of the photoresist 56. To grow. Therefore, when the application of the voltage is finished within the height of the convex portion 56A, the needle projection 12 of the squeegee 10 can be formed into a flat shape on both sides shown in Figs.

한편, 전기 주조 재료(70)가 볼록부(56A)의 높이를 넘을 때까지 전압의 인가를 계속하면, 상기 전기 주조 재료(70)는 기판(54)의 두께 방향뿐만 아니라, 볼록부(56A)의 상면을 따라서 횡방향[기판(54)의 면 방향]으로도 성장한다. 이에 의해, 도 13에 도시된 바와 같이, 전기 주조 재료(70)에 있어서의 기판(54)과 반대측의 면을, 단면 볼록 형상의 만곡면(24)으로 형성할 수 있다.On the other hand, if the application of voltage is continued until the electroforming material 70 exceeds the height of the convex portion 56A, the electroforming material 70 is not only in the thickness direction of the substrate 54 but also the convex portion 56A. It also grows in the transverse direction (plane direction of the substrate 54) along the upper surface of the substrate. Thereby, as shown in FIG. 13, the surface on the opposite side to the board | substrate 54 in the electroforming material 70 can be formed by the curved surface 24 of convex cross section.

다음에, 도 14에 도시된 바와 같이, 알칼리 용액이나 용제 등을 사용하여 포토레지스트(56)를 제거하면, 기판(54)에 전착된 전기 주조 재료(70)만이 남은 상태로 된다. 그리고, 도 15에 도시된 바와 같이, 전기 주조 재료(70)를 기판(54)으로부터 화살표 A 방향으로 박리시킴으로써, 스퀴지(10)를 얻을 수 있다. 또한, 이 박리 작업을 고려하여, 기판(54)에는 미리 이형제를 도포해 둔다.Next, as shown in FIG. 14, when the photoresist 56 is removed using an alkaline solution, a solvent, or the like, only the electroforming material 70 electrodeposited on the substrate 54 is left. And as shown in FIG. 15, the squeegee 10 can be obtained by peeling the electroforming material 70 from the board | substrate 54 in the arrow A direction. In addition, in consideration of this peeling operation | work, the release agent is apply | coated to the board | substrate 54 previously.

이와 같이 하여 제조된 스퀴지(10)의 침상 돌기(12)에 있어서는, 두께 방향의 한쪽의 면이, 단면 볼록 형상의 만곡면(24)으로 된다. 다른 쪽의 면(25)은 기판(54)에 전착되어 있던 면이기 때문에 평탄해진다. 다른 쪽의 면(25)에 연결되는 측벽(27)은 포토레지스트(56)의 볼록부(56A)의 측벽(56B)(도 12, 도 13)에 의해 형성된 부분이다. 그리고 만곡면(24)은 상기 측벽(27)보다도 침상 돌기(12)의 폭 방향으로 돌출되어 있고, 이에 의해 상기 침상 돌기(12)의 단면 형상은 버섯형으로 되어 있다. 또한, 침상 돌기(12)의 측벽(27)에 대해서는, 포토레지스트(56)의 볼록부(56A)의 측벽(56B)을 경사지게 해 둠으로써, 경사면으로 하는 것도 가능하다.In the needle protrusion 12 of the squeegee 10 manufactured in this way, one surface in the thickness direction is a curved surface 24 having a convex cross section. The other surface 25 is flat because it is a surface electrodeposited to the substrate 54. The side wall 27 connected to the other surface 25 is a portion formed by the side wall 56B (FIGS. 12 and 13) of the convex portion 56A of the photoresist 56. The curved surface 24 protrudes from the side wall 27 in the width direction of the needle-shaped protrusion 12, whereby the cross-sectional shape of the needle-shaped protrusion 12 is mushroom-shaped. The side wall 27 of the needle protrusion 12 can be inclined by making the side wall 56B of the convex portion 56A of the photoresist 56 inclined.

포토리소그래피 또는 X선 리소그래피 및 전기 주조를 사용함으로써, 미세한 침상 돌기(12)나 간극(16)을 갖는 스퀴지(10)를 용이하게 제작할 수 있고, 또한 침상 돌기(12)에 있어서, 한쪽의 면을 단면 볼록 형상의 만곡면(24)으로 형성하는 것도 용이하다.By using photolithography or X-ray lithography and electroforming, the squeegee 10 having the fine needle protrusions 12 and the gaps 16 can be easily manufactured, and one side of the needle protrusions 12 can be produced. It is also easy to form the curved surface 24 of convex cross section.

또한, 도 12는 전기 주조 공정에 있어서의 원리를 도시하는 모식도로, 각 부재의 척도나 전기 주조 재료(70)의 전착 위치 등은 도시한 것으로는 한정되지 않는다.12 is a schematic diagram showing the principle in the electroforming step, and the scale of each member, the electrodeposition position of the electroforming material 70, and the like are not limited to those shown.

10 : 스퀴지
12 : 침상 돌기
14 : 기부
16 : 간극 만곡면
24 : 끼움 지지 부재
26 : 끼움 지지 부재
28 : 스퀴지
30 : 조립체
10: squeegee
12: couch projection
14: Donate
16: gap curved surface
24: fitting support member
26: fitting support member
28: squeegee
30: assembly

Claims (7)

전기 주조에 의해 제작되어, 복수의 침상 돌기가 기부의 단부 테두리를 따라서 소정의 간극을 갖고 배열되고, 두께가 1 내지 100㎛이고, 마스크 상의 도전성 미립자를 이동시키기 위한, 스퀴지.A squeegee manufactured by electroforming, wherein a plurality of needle-like protrusions are arranged with a predetermined gap along the end edge of the base, and have a thickness of 1 to 100 µm, for moving the conductive fine particles on the mask. 제1항에 있어서, 상기 침상 돌기의 두께 방향의 한쪽의 면은 단면 볼록 형상의 만곡면으로 형성되어 있는, 스퀴지.The squeegee according to claim 1, wherein one surface of the needle-like protrusion in the thickness direction is formed by a curved surface having a convex cross section. 제1항에 있어서, 상기 침상 돌기의 폭과 상기 간극의 폭은 5 내지 400㎛인, 스퀴지.The squeegee according to claim 1, wherein the width of the needle protrusion and the width of the gap are 5 to 400 µm. 제1항에 있어서, 상기 침상 돌기의 길이는 0.05 내지 4㎜인, 스퀴지.The squeegee according to claim 1, wherein the needle-like protrusion is 0.05 to 4 mm in length. 삭제delete 제1항에 있어서, 전기 주조 재료로서, 니켈, 구리, 팔라듐, 백금, 금, 은 또는 이들의 합금을 사용한, 스퀴지.The squeegee according to claim 1, wherein nickel, copper, palladium, platinum, gold, silver, or an alloy thereof is used as the electroforming material. 제1항 내지 제4항 또는 제6항 중 어느 한 항에 기재된 스퀴지를, 적어도 1매 사용하여, 상기 기부를 끼움 지지 부재에 의해 두께 방향의 양측으로부터 끼움 지지 고정하여 이루어지는, 스퀴지 조립체.A squeegee assembly comprising at least one squeegee according to any one of claims 1 to 4 or 6, wherein the base is fitted and fixed from both sides in the thickness direction by a fitting support member.
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