KR101144618B1

KR101144618B1 - 미끄럼방지 기구

Info

Publication number: KR101144618B1
Application number: KR1020050064016A
Authority: KR
Inventors: 카즈마사 니시다
Original assignee: 미츠비시 덴센 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2004-07-28
Filing date: 2005-07-15
Publication date: 2012-05-11
Also published as: US20090237591A1; CN1727264A; US8079581B2; KR20060050194A; CN1727264B; US7654510B2; US20060023140A1; JP2006036290A; TW200604076A; TWI275547B; JP4455950B2

Abstract

재치한 액정패널의 착탈시 등에 작용하는 외력으로, 고무 탄성체가 지지판으로부터 벗겨지지 않고, 또한, 에칭처리 공정에서 사용해도 잘 열화되지 않는 반송용 트레이의 미끄럼방지 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이면(4)에 타 부재로의 부착고정부(6)를 돌출 설치한 금속제 또는 수지제의 지지판(1)과, 지지판(1)에 일체 형상으로 설치되는 고무 탄성체(2)를 구비한 것이다. 또한, 지지판(1)의 표면(3)으로부터 이면(4)에 복수의 연결구멍(9)을 뚫어 설치한다. 또한, 고무 탄성체(2)는 표면(3)의 대략 전체에 피착되는 받이편부(7)와, 이면(4)으로부터 둘레 가장자리부(5)와 연결구멍(9)을 경유해서 받이편부(7)에 연결되는 이탈방지부(8C)로 이루어지는 것이다.

미끄럼방지기구, 액정패널, 반송용 트레이, 고무 탄성체, 지지판, 받이편부, 이탈방지부, 안티-슬립 디바이스

Description

미끄럼방지 기구{ANTI-SLIP DEVICE}

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태를 도시하는 평면도이다.

도 2는 단면 측면도이다.

도 3은 저면도이다.

도 4는 제 2 실시형태를 도시하는 평면도이다.

도 5는 단면 측면도이다.

도 6은 저면도이다.

도 7은 제 3 실시형태를 도시하는 평면도이다.

도 8은 단면 측면도이다.

도 9는 저면도이다.

도 10은 단면 사시도이다.

도 11은 사용상태를 도시하는 사시도이다.

도 12는 부착고정부의 다른 실시형태를 도시하는 설명도이다.

도 13은 종래의 미끄럼방지 기구를 도시하는 단면 측면도이다.

(부호의 설명)

1 지지판 2 고무 탄성체

3 표면 4 이면

5 둘레 가장자리부 6 부착고정부

7 받이편부 8A,8B,8C 이탈방지부

9 연결구멍 10 환상 오목홈

본 발명은, 액정패널 반송장치나 플라즈마 텔레비전용 유리판 반송장치 등에서 사용하는, 반도체, 액정패널이나 대형 유리판 등의 반송용 트레이의 미끄럼방지 기구에 관한 것이다.

액정패널 등의 제조라인에서는, 액정패널을, 반송용 트레이에 재치(載置)하거나 액자 형상의 프레임에 고정하거나 하여, 컨베이어 위를 반송하고 있었지만, 반송용 트레이가 반송 상태로부터 정지했을 때에, 액정패널이 트레이 위를 미끄러져서 위치가 벗어나거나, 액정패널의 대형화에 따라, 액정패널이 자중에 의해 프레임의 중앙에서 휘어서 변형이 생기거나 하고 있었다. 이 것은, 표면 처리를 고도한 치수정밀도로 행하는 액정패널의 제조공정에 있어서, 일어나서는 안되는 사항으로 되어 있다.

상기 문제를 해결하기 위해서, 종래는, 수지판으로 이루어지는 지지체에 접착재와 점착재층을 순차 적층한 지그를 만들고, 그 점착재층 위에 액정표시소자의 기판(액정패널)을 착탈 자유롭게 부착 반송하고 있었다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

(특허문헌 1) 일본 특개평 8-86993호 공보

그러나, 종래의 반송용의 지그는, 지지체와 접착재와 점착재층을 각각 기포가 혼입하지 않도록 서로 붙이지 않으면 안되어, 그 제조공정이 번잡하여 수고가 드는 것이었다. 또한, 반송용의 지그가 반도체 등의 에칭처리 공정에서 사용되어, 플라즈마 상태에 있는 부식성의 가스 분위기하에 노출되는 경우에는, 열화하여 벗겨져 떨어져서 제품에 불순물이 부착(혼입)되는 원인이 되고 있었다.

또, 종래의 반송용의 지그의 제조공정의 수고를 해소하기 위해서, 도 13에 도시하는 바와 같이, 이면(4)에 타 부재로의 부착고정부(6)를 갖는 금속제 또는 수지제의 지지판(1)의 표면(3)에 환상의 더브테일 홈(39)을 형성하고, 그 표면(3)에 고무 탄성체(2)를 일체 형상으로 부착 설치한 미끄럼방지 기구(시트부착 비스)를, 반송용 트레이의 코너부에 부착하고, 그 위에 액정패널 등을 재치하고 있었다.

그러나, 지지판(1)과 고무 탄성체(2)의 접합은 강고한 것이 아니라, 재치한 액정패널을 뗄 때에, 고무 탄성체(2)도 함께 뜯어지는 문제가 있었다.

그래서, 본 발명은, 재치한 액정패널의 착탈시 등에 작용하는 외력으로, 고무 탄성체가 지지판으로부터 벗겨지지 않고, 또한, 에칭처리 공정에서 사용해도 열화하기 어려운 반송용 트레이의 미끄럼방지 기구(시트부착 비스)를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 미끄럼방지 기구는, 이면에 타 부재로의 부착고정부를 돌출 설치한 금속제 또는 수지제의 지지판과, 이 지지판에 일체 형상으로 설치되는 고무 탄성체를 구비하고, 또한, 고무 탄성체는, 상기 지지판의 표면의 대략 전체에 피착되는 받이편부와, 상기 이면에서 둘레 가장자리부를 경유해서 상기 받이편부에 말려들어가는 형상으로 연결하는 이탈방지부로 이루어지는 것이다.

또, 이면에 타 부재로의 부착고정부를 돌출 설치한 금속제 또는 수지제의 지지판과, 이 지지판에 일체 형상으로 설치되는 고무 탄성체를 구비하고, 또한, 상기 지지판의 이면측에 얕은 환상 오목홈이 형성되고, 지지판의 표면으로부터 상기 환상 오목홈에 복수의 연결구멍을 뚫어 설치하고, 상기 고무 탄성체는, 상기 표면의 대략 전체에 피착되는 받이편부와, 상기 환상 오목홈과 연결구멍에 충전되어 상기 받이편부에 연결되는 이탈방지부로 이루어지는 것이다.

또, 이면에 타 부재로의 부착고정부를 돌출 설치한 금속제 또는 수지제의 지지판과, 이 지지판에 일체 형상으로 설치되는 고무 탄성체를 구비하고, 상기 지지판의 표면으로부터 이면으로 복수의 연결구멍을 뚫어 설치하고, 상기 고무 탄성체는, 상기 표면의 대략 전체에 피착되는 받이편부와, 상기 이면으로부터 둘레 가장자리부와 상기 연결구멍을 경유해서 상기 받이편부에 연결되는 이탈방지부로 이루어지는 것이다.

또, 액정패널 반송장치 또는 플라즈마 텔레비전용 유리판 반송장치 등에 사용되는 것이다.

또, 고무 탄성체가 불소 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 고무, 니 트릴 고무중에서 선택되는 적어도 1종이다.

또, 고무 탄성체는 퍼플루오로 일래스토머로 이루어지는 것이다.

(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)

이하, 실시형태에 도시하는 도면에 기초하여 본 발명을 상세히 설명한다.

도 1, 도 2 및 도 3에 도시하는 제 1 실시형태에 있어서, 1은 금속제 또는 수지제의 지지판이며, 평면도로 원형이다. 그 지지판(1)에는 고무 탄성체(2)가 일체 형상으로 부착 설치되어 있다. 지지판(1)의 이면(4)의 중심에는,(반송용 트레이 등의) 타 부재에 착탈가능한 부착고정부(6)가 이면(4)에 직교하여 돌출 설치되어 있어, 지지판(1)과 부착고정부(6)는 일체로 성형되어 있다. 이 경우, 부착고정부(6)는 수나사로 형성되어 있다. 또, 지지판(1)의 표면(3)의 중심에는, 죄기용 오목부(11)가 형성되어 있다. 이 죄기용 오목부(11)는, 마이너스 드라이버의 선단을 끼워 넣도록 직선형의 홈으로 형성되어 있지만, 십자형이나 육각형 또는 그 이외의 형상이어도 좋다. 또한, 지지판(1)의 이면(4)에는, 둘레 가장자리부(5)로부터 소정 폭치수(W)로 자른 환상의 절결부(12)가 형성되어 있고, 즉, 지지판(1)은 대직경 원반의 이면측에 소직경 원반을 동심원 형상으로 일체로 부착 설치한 것과 같이 형성되어 있다.

고무 탄성체(2)는 지지판(1)의 표면(3)의 대략 전체?본 발명에서는 90% 이상을 말하는 것으로 정의함?에 피착되는 받이편부(7)와, 지지판(1)의 절결부(12)로부터 둘레 가장자리부(5)를 경유해서 받이편부(7)에 말려들어가는 형상으로 일체로 연결하는 이탈방지부(8A)로 이루어져 있다. 받이편부(7)는, 평면도로 원형의 균일 두께의 시트 형상이며, 그 외주 가장자리부는 지지판(1)의 둘레 가장자리부(5)보다 대직경의 동심원을 형성하도록 배치되어 있다(도 1 참조). 또한, 받이편부(7)의 상기 죄기용 오목부(11)와 대응하는 위치에는 원형의 관통구멍부(13)가 형성되어 있다. 이탈방지부(8A)는, 바닥면으로 보아 동일 폭의 원형의 링 형상이며, 그 하면(15)은 지지판(1)의 이면(4)의 최하면과 동일면 형상으로 배치되어 있다. 또, 이탈방지부(8A)의 외주 가장자리부와 받이편부(7)의 외주 가장자리부는 동일 원주 형상으로 배치되어 있다.

고무 탄성체(2)는, 퍼플루오로 일래스토머, 불소 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 고무(EPDM) 또는 니트릴 고무(NBR) 등으로 이루어져 있지만, 에칭처리 환경하에서 사용하는 경우에는, 내열성?내플라즈마 에칭성을 갖는 퍼플루오로 일래스토머제인 것이 바람직하다.

지지판(1)은, 에칭처리 환경하에서 사용하는 경우에는, 내부식성을 갖는 점, 가공성의 점에서, SUS304 등의 스테인리스강제인 것이 바람직하다. 또, 지지판(1)이 수지제인 경우에는, 공지의 것이 적용되지만, 내열성의 점에서, 폴리페닐렌 설파이드(PPS), 폴리에틸에테르케톤(PEEK), 폴리이미드(PI), 퍼플루오로알콕실알칸(PFA)이 바람직하다.

또한, 상기 지지판(1)에 고무 탄성체(2)를 일체 형상으로 부착 설치하는 방법으로서는, 다음 제법을 들 수 있다. 하나는, 금형내에 지지판(1)을 설치하고, 용융 고무를 사출하고, 그 후에 가황공정에 의해 용융 고무를 경화시켜, 지지판(1)과 일체화 한다. 다른 방법으로서는, 압축성형의 금형내에 지지판(1)을 설치하고, 생고무를 압축성형으로 지지판(1)에 부착하고, 그 후에 가황공정에 의해 경화 일체화시키는 방법이다. 다른 방법으로서는, 가황성형한 고무 탄성체(2)를 지지판(1)에 접착제로 일체화시키는 방법이다.

다음에 도 4, 도 5 및 도 6에 도시하는 제 2 실시형태에 있어서, 지지판(1)과, 그 지지판(1)의 일체 형상으로 설치되는 고무 탄성체(2)를 구비하고 있ㄱ고, 지지판(1)의 이면(4)측에는 얕은 환상 오목홈(10)이 형성되고, 표면(3)으로부터 환상 오목홈(10)의 바닥벽에 관통하는 횡단면 원형의 복수의 연결구멍(9)을 형성하고 있다.

고무 탄성체(2)가 지지판(1)으로부터 잘 빠지지 않게 하기 위해서, 환상 오목홈(10)은 각홈으로 이루어지져 있고, 복수의 연결구멍(9)은 둘레 방향을 따라 소정 피치로 배치되고, 또한, 연결구멍(9)의 횡단면의 직경치수는, 환상 오목홈(10)의 폭치수보다 작게 설정되어 있다.

또, 환상 오목홈(10)의 내외측벽은, 바닥면으로 보아, 지지판(1)의 둘레 가장자리부(5)와 동심원 형상으로 배치되어 있다(도 6참조).

고무 탄성체(2)는, 표면(3)의 대략 전체에 피착되는 받이편부(7)와, 환상 오목홈(10)과 연결구멍(9)에 충전되어 받이편부(7)에 일체로 연결하는 이탈방지부(8B)로 이루어져 있다. 받이편부(7)는, 평면도로, 그 외주 가장자리부는 지지판(1)의 둘레 가장자리부(5)와 동일 원주 형상으로 배치되어 있다. 또, 이탈방지부(8B)의 하면(15)은 지지판(1)의 이면(4)의 최하면과 동일면 형상으로 배치되어 있다.

또한, 도 4～도 6에 있어서, 도 1～도 3과 동일한 부호는 도 1～도 3과 동일한 구성이므로 설명을 생략한다.

또, 도 7～도 10에 도시하는 제 3 실시형태에 있어서, 지지판(1)과, 그 지지판(1)의 일체 형상으로 설치되는 고무 탄성체(2)를 구비하고 있고, 지지판(1)의 이면(4)에는, 둘레 가장자리부(5)로부터 소정 폭치수(W)로 자른 환상의 절결부(12)가 형성되어 있다. 또한, 지지판(1)의 표면(3)으로부터 이면(4)으로, 복수의 횡단면 원형의 연결구멍(9)을 뚫어 설치하고, 그 연결구멍(9)의 이면(4)측의 개구부는, 절결부(12)보다 지지판(1)의 중심근처에 형성되어 있다. 도 9에 도시하는 바와 같이, 바닥면으로 보아, 복수의 연결구멍(9)은, 각각 소정 피치로 또한 지지판(1)의 중심과 동심의 원주상에 나열되어 배치되어 있다. 또, 지지판(1)의 이면(4)에는, 각각의 연결구멍(9)과 절결부(12)를 연결하는 결합 오목홈(16)을 형성하고, 그들 결합 오목홈(16)은 지지판(1)의 직경방향으로 배치되어 있다.

고무 탄성체(2)는 표면(3)의 대략 전체에 피착되는 받이편부(7)와, 받이편부(7)에 일체로 연결하는 이탈방지부(8C)로 이루어져 있다. 이탈방지부(8C)는, 절결부(12)내로부터 둘레 가장자리부(5)를 경유해서 받이편부(7)에 연결하는 동시에, 절결부(12)내로부터 결합 오목홈(16)과 연결구멍(9)에 충전되어 받이편부(7)에 연결되어 있다. 이와 같이, 본 발명의 제 3 실시형태는, 상기 제 1 실시형태 또는 제 2 실시형태와 비교하여, 받이편부(7)와 이탈방지부(8C)는 한층더 견고하게 연결되어 있으므로, 고무 탄성체(2)가 지지판(1)으로부터 박리되는 것을 방지하기 위해서는, 제 3 실시형태가 바람직하다.

또, 받이편부(7)의 외주 가장자리부는 지지판(1)의 둘레 가장자리부(5)보다 대직경의 동심원을 형성하도록 배치되어 있다(도 7 참조). 이탈방지부(8C)의 외주 가장자리부와 받이편부(7)의 외주 가장자리부는, 동일 원주 형상으로 배치되어 있다. 또, 이탈방지부(8C)의 하면(15)은 지지판(1)의 이면(4)의 최하면과 동일면 형상으로 배치되어 있다.

또, 도 7～도 10에 도시한 미끄럼방지 기구는 설계변경 자유이며, 절결부(12)의 폭치수(W)를 크게 설정하여, 연결구멍(9)을 표면(3)으로부터 절결부(12)내에 뚫어 설치하도록 해도 좋다. 즉 결합 오목홈(16)을 설치하지 않아도 좋다.

또, 도 7～도 10에 있어서, 도 1～도 3과 동일한 부호는 도 1～도 3과 동일한 구성이므로, 설명을 생략한다.

또, 부착고정부(6)는 설계변경 자유이며, 도 12(a)에 도시하는 바와 같이, 부착고정부(6)를(타 부재의 둥근 구멍에 삽입됨) 둥근 봉 형상으로 형성해도 좋다. 또한, 도 12(b)에 도시하는 바와 같이, 부착고정부(6)의 외주의 일부를 대직경으로 하고, 타 부재의 둥근 구멍의 내면에 탄성 반발적으로 압접하도록 해도 좋다. 또, 도 12(c)에 도시하는 바와 같이, 부착고정부(6)를 봉 형상 부재의 주위에 돌기부를 설치한 열쇠형으로 하고, 도 12(d)에 도시하는 바와 같이, 열쇠구멍부(18)를 형성하고, 부착고정부(6)를 그 열쇠구멍부(18)에 꽂아 넣은 후 회전시켜서 걸도록 해도 좋다. 또, 부착고정부(6)를 내주면에 암나사부를 형성한 통 형상 부재로 하고, 타 부재에 수나사부를 형성하여 나사결합 하도록 해도 좋다(도시 생략).

또한, 도 12의(b)와(c) 및 도 1～도 10에 도시하는 부착고정부(6)는, 도 12(a)에서 도시하는 부착고정부(6)에 비해 상하 방향(축심 방향)의 진동에 대해 견고하게 타 부재에 고정할 수 있지만, 액정패널 등의 반송은 주로 전후 좌우의 방향의 이동이므로, 도 12(a)에서 도시하는 부착고정부(6)이어도 진동에 의해 타 부재로부터 부착고정부(6)가 빠지는 일은 없다.

상기한 본 발명인 미끄럼방지 기구(시트부착 비스)의 사용방법(작용)에 대해 설명한다.

도 11에 있어서, 30은 컨베이어 위를 흐르는 직사각형 편평 형상의 반송용 트레이이며, 반송용 트레이(30)의 네 구석(코너부)에는 암나사 구멍이 형성되어 있다(도시생략). 각각의 암나사 구멍에, 본 발명의 미끄럼방지 기구의 부착고정부(6)를 회전하여 나사결합 시키고, 표면(3)의 죄기용 오목부(11)에 드라이버 등의 선단을 끼워 넣어 더 회전시켜서, 미끄럼방지 기구를 반송용 트레이(30)에 체결한다. 그리고, 고무 탄성체(2)의 받이편부(7)의 위에, 액정패널이나 유리판 등의 재치물(40)을 재치하고, 반송한다.

상기의 반송용 트레이(30)에 재치한 재치물(40)이 처리공정을 끝내는 등 한 경우에는, 재치물(40)을 고무 탄성체(2)의 받이편부(7)위에서 떼어내고, 또, 다른 처리전의 재치물(40)을 재치하여 반송한다.

본 발명의 미끄럼방지 기구는, 반송용 트레이(30)의 네 구석(코너부) 이외에도 암나사 구멍을 형성하면 부착 가능하고, 부착 개소?부착 개수 등은, 재치물(40)의 종류나 반송 속도 등에 따라 적당하게 설정 변경하는 것이 바람직하다.

이상과 같이, 본 발명인 미끄럼방지 기구는, 이면(4)에 타 부재로의 부착고 정부(6)를 돌출설치한 금속제 또는 수지제의 지지판(1)과, 지지판(1)에 일체 형상으로 설치되는 고무 탄성체(2)를 구비하고, 또한, 고무 탄성체(2)는, 지지판(1)의 표면(3)의 대략 전체에 피착되는 받이편부(7)와, 이면(4)으로부터 둘레 가장자리부(5)를 경유해서 받이편부(7)에 말려들어가는 형상으로 연결하는 이탈방지부(8A)로 이루어지므로, 고무 탄성체(2)의 받이편부(7)와 이탈방지부(8A)는 견고하게 접합되어, 재치한 재치물(40)의 착탈시 등에 작용하는 외력으로, 고무 탄성체(2)의 받이편부(7)가 지지판(1)으로부터 박리되지 않는다.

또, 본 발명의 미끄럼방지 기구를, 기설의 반송용 트레이(30)에 부착할 수 있어, 재치물(40)의 종류나 반송 속도 등에 따라, 트레이(30)에 간단하게 부착?떼어내기를 할 수 있다.

또, 이면(4)에 타 부재로의 부착고정부(6)를 돌출 설치한 금속제 또는 수지제의 지지판(1)과, 지지판(1)에 일체 형상으로 설치되는 고무 탄성체(2)를 구비하고, 또한, 지지판(1)의 이면(4)측에 얕은 환상 오목홈(10)이 형성되고, 지지판(1)의 표면(3)으로부터 환상 오목홈(10)에 복수의 연결구멍(9)을 뚫어 설치하고, 고무 탄성체(2)는 표면(3)의 대략 전체에 피착되는 받이편부(7)와, 환상 오목홈(10)과 연결구멍(9)에 충전되어 받이편부(7)에 연결되는 이탈방지부(8B)로 이루어지므로, 고무 탄성체(2)의 받이편부(7)와 이탈방지부(8B)는 견고하게 접합하여, 재치한 재치물(40)의 착탈시 등에 작용하는 외력으로, 고무 탄성체(2)의 받이편부(7)가 지지판(1)로부터 박리되지 않는다.

또, 본 발명의 미끄럼방지 기구를 기설의 반송용 트레이(30)에 부착할 수 있 어, 재치물(40)의 종류나 반송 속도 등에 따라, 트레이(30)에 간단하게 부착?떼어내기를 할 수 있다.

또, 이면(4)에 타 부재로의 부착고정부(6)를 돌출 설치한 금속제 또는 수지제의 지지판(1)과, 지지판(1)에 일체 형상으로 설치되는 고무 탄성체(2)를 구비하고, 지지판(1)의 표면(3)으로부터 이면(4)으로 복수의 연결구멍(9)을 뚫어 설치하고, 고무 탄성체(2)는 표면(3)의 대략 전체에 피착되는 받이편부(7)와, 이면(4)으로부터 둘레 가장자리부(5)와 연결구멍(9)을 경유해서 받이편부(7)에 연결되는 이탈방지부(8C)로 이루어지므로, 고무 탄성체(2)의 받이편부(7)와 이탈방지부(8C)는 견고하게 접합하여, 재치한 재치물(40)의 착탈시 등에 작용하는 외력으로, 고무 탄성체(2)의 받이편부(7)가 지지판(1)으로부터 박리되지 않는다.

또, 액정패널 반송장치 또는 플라즈마 텔레비전용 유리판 반송장치 등에 사용할 수 있으므로, 재치물(40)이 반송용 트레이(30) 위를 미끄러져서 벗어나지 않아, 재치물(40)을 소정 위치에 고정하여 안정하게 반송할 수 있어, 고도한 치수 정밀도로 재치물(40)의 여러 처리를 행할 수 있다. 또, 대형의 액정패널이나 대형 유리판도 위치 벗어나지 않아 안정하게 반송할 수 있어, 고도한 치수 정밀도로 여러 처리를 행할 수 있다.

또, 고무 탄성체(2)가 불소 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 고무, 니트릴 고무중에서 선택되는 적어도 1종 이므로, 여러 처리공정에서 사용해도 잘 열화되지 않는다.

또, 고무 탄성체(2)는 퍼플루오로 일래스토머로 이루어지므로, 에칭처리 공정에서 사용해도 잘 열화되지 않는다. 특히, 플라즈마화 한 가스 등의 부식가스 분위기 하에서 사용해도, 잘 열화되지 않는다. 이것에 의해, 에칭처리 공정에서 열화(부식)되어 먼지를 일으킨 고무 탄성체(2)(불순물)가, 제품에 부착(혼입)되지 않게 되어, 품질이 높은 제품을 제공할 수 있다. 또, 제조라인중에서 에칭처리 공정이 존재해도, 한장의 반송용 트레이(30)로 반송하여 모든 공정을 행할 수 있다.

본 발명은, 다음과 같은 현저하게 큰 효과를 이룬다.

본 발명에 따른 미끄럼방지 기구에 의하면, 재치한 재치물의 착탈시 등에 작용하는 외력으로, 고무 탄성체의 받이편부가 지지판으로부터 박리되는 것과 같은 일이 없다.

또, 에칭처리 공정에서 사용해도, 고무 탄성체는 잘 열화되지 않으므로, 제품에 불순물(열화되어 먼지를 일으킨 고무 탄성분말)이 부착되는 일이 없어져, 품질이 높은 액정패널이나 플라즈마 텔레비전용 유리판 등의 제품을 제공할 수 있다. 또, 제조라인중에서 에칭처리 공정이 존재해도, 한장의 반송용 트레이로 반송하여 모든 공정을 행할 수 있다.

Claims

이면(4)에 타 부재로의 부착고정부(6)를 돌출 설치한 금속제 또는 수지제의 지지판(1)과, 이 지지판(1)에 일체 형상으로 설치되는 고무 탄성체(2)를 구비하고, 또한, 고무 탄성체(2)는 상기 지지판(1)의 표면(3)의 전체의 90% 이상에 피착되는 받이편부(7)와, 상기 이면(4)으로부터 둘레 가장자리부(5)를 경유해서 상기 받이편부(7)에 말려들어가는 형상으로 연결하는 이탈방지부(8A)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미끄럼방지 기구.
이면(4)에 타 부재로의 부착고정부(6)를 돌출 설치한 금속제 또는 수지제의 지지판(1)과, 이 지지판(1)에 일체 형상으로 설치되는 고무 탄성체(2)를 구비하고, 또한, 상기 지지판(1)의 이면(4)측에 얕은 환상 오목홈(10)이 형성되고, 지지판(1)의 표면(3)으로부터 상기 환상 오목홈(10)에 복수의 연결구멍(9)을 뚫어 설치하고, 상기 고무 탄성체(2)는 상기 표면(3)의 전체의 90% 이상에 피착되는 받이편부(7)와, 상기 환상 오목홈(10)과 연결구멍(9)에 충전되어 상기 받이편부(7)에 연결되는 이탈방지부(8B)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미끄럼방지 기구.
이면(4)에 타 부재로의 부착고정부(6)를 돌출 설치한 금속제 또는 수지제의 지지판(1)과, 이 지지판(1)에 일체 형상으로 설치되는 고무 탄성체(2)를 구비하고, 상기 지지판(1)의 표면(3)으로부터 이면(4)에 복수의 연결구멍(9)을 뚫어 설치하고, 상기 고무 탄성체(2)는, 상기 표면(3)의 전체의 90% 이상에 피착되는 받이편부(7)와, 상기 이면(4)으로부터 둘레 가장자리부(5)와 상기 연결구멍(9)을 경유해서 상기 받이편부(7)에 연결되는 이탈방지부(8C)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미끄럼방지 기구.
제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 액정패널 반송장치 또는 플라즈마 텔레비전용 유리판 반송장치 등에 사용되는 것을 특징으로 하는 미끄럼방지 기구.
제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 고무 탄성체(2)가 불소 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 고무, 니트릴 고무로부터 선택되는 적어도 1종인 것을 특징으로 하는 미끄럼방지 기구.
제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 고무 탄성체(2)는 퍼플루오로 일래스토머로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미끄럼방지 기구.