CN1727264B - 防滑装置 - Google Patents
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Abstract
一种防滑装置，其设有金属或树脂的支承板(1)，该支承板(1)具有位于反面(4)上的用于另一部件的连接部分(6)，以及整体式地安装在支承板(1)上的橡胶弹性体(2)。从支承板(1)的正面(3)至反面(4)形成了多个连接孔(9)。另外，橡胶弹性体(2)包括覆盖了基本上全部正面(3)的承受片部分(7)，以及将反面(4)经周边部分(5)和连接孔(9)而连接在承受片部分(7)上的防掉落部分(8C)。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于半导体、液晶面板和大玻璃板的运载托架的防滑装置，其可用于等离子电视的液晶面板和大玻璃板的运载装置中。
背景技术
在液晶面板的生产线中，液晶面板放在运载托架上或者固定在可在输送机上运动的框架如框缘上。当处于运载状态下的运载托架停止时，液晶面板会在托架上滑动并偏离正确的位置，当板的尺寸较大时，因板的自身重量所引起的下垂而在中心部分上产生了变形。在其中以较高尺寸精度来进行表面处理的液晶面板的生产工艺中，这些情况是不应发生的。
为了解决以上问题，传统上这样来制作夹具，按顺序地将胶水和粘合层层叠在由树脂板构成的支承体上，并且将液晶显示元件(液晶面板)的底部可拆卸地连接在将被运载的粘合层上(参见日本专利临时出版物No.8-86993)。
然而，用于运载的传统夹具的生产过程比较复杂且比较费人工，这是因为支承体、胶水和粘合层必须以不会夹杂气泡的方式来层叠。另外，当运载用夹具用在半导体的刻蚀处理工艺中并且暴露在等离子态下的腐蚀性气体中时，粘合层会劣化和脱落，并且会有异物粘附(混合)在产品上。
为了减少传统运载用夹具的生产工艺中的人工，在其上将放置液晶面板的运载托架的拐角部分上连接了防滑装置(带支座螺钉)，其中在树脂或金属的支承板1的正面3上形成有圆形的燕尾槽39，在其反面4上设有连接部分6，并且在正面3上整体式地连接了橡胶弹性体2，如图13所示。
然而，支承板1与橡胶弹性体2的连接并不牢固，当移动所放置的液晶面板1时橡胶弹性体2会脱落。
发明内容
因此，本发明的一个目的是提供一种用于运载托架的防滑装置(带支座螺钉)，通过这种防滑装置，橡胶弹性体不会因在所放置的液晶面板连接和分离时起作用的外力而脱落，并且在用于刻蚀处理工艺中时几乎不会劣化。
根据本发明，该目的通过下述防滑装置来实现。在一种防滑装置中，其设有金属或树脂的支承板，其中用来与另一部件相连的连接部分从其反面上伸出来，还设有整体式地安装在支承板上的橡胶弹性体，该防滑装置包括这样的构造，其中橡胶弹性体包括覆盖了支承板的基本上全部正面的承受片部分，以及将反面连接在承受片部分上以便包围周边部分的防掉落部分。在另一种防滑装置中，其设有金属或树脂的支承板，其中用来与另一部件相连的连接部分从其反面上伸出来，还设有整体式地安装在支承板上的橡胶弹性体，该防滑装置包括这样的构造，其中在支承板的反面一侧上形成有圆形浅凹槽；从支承板的正面至圆形浅凹槽形成了多个连接孔；以及橡胶弹性体包括覆盖了支承板的基本上全部正面的承受片部分，以及填充在圆形凹槽和连接孔中并与承受片部分相连的防掉落部分。在另一种防滑装置中，其设有金属或树脂的支承板，其中用来与另一部件相连的连接部分从其反面上伸出来，还设有整体式地安装在支承板上的橡胶弹性体，该防滑装置包括这样的构造，其中从支承板的正面至反面形成了多个连接孔；橡胶弹性体包括覆盖了基本上全部正面的承受片部分，以及将反面经周边部分和连接孔而连接在承受片部分上的防掉落部分。
在本发明的优选实施例中，该装置可用于等离子电视的液晶面板和大玻璃板所用的运载装置中。或者，橡胶弹性体由选自氟橡胶、硅酮橡胶、乙烯-丙烯-二烯橡胶和丁腈橡胶的至少一种材料构成。或者，橡胶弹性体由全氟化弹性体构成。
附图说明
下面将参考附图来介绍本发明，在附图中：
图1是显示了本发明的第一实施例的顶视图；
图2是侧剖视图；
图3是底视图；
图4是显示了本发明的第二实施例的顶视图；
图5是侧剖视图；
图6是底视图；
图7显示了本发明的第三实施例的顶视图；
图8是侧剖视图；
图9是底视图；
图10是剖面透视图；
图11是显示了已使用状态的透视图；
图12A是显示了连接部分的另一实施例的说明性视图；
图12B是显示了连接部分的另外一个实施例的说明性视图；
图12C是显示了连接部分的另一实施例的说明性视图；
图12D是显示了连接部分的另一实施例的说明性视图；和
图13是显示了传统防滑装置的侧剖视图。
具体实施方式
现在将参考附图来介绍本发明的优选实施例。
在图1、2和3所示的第一实施例中，标号1代表在顶视图中呈平面的和圆形的由金属或树脂制成的支承板。橡胶弹性体2整体式地连接在支承板1上。可与另一部件(例如运载托架)相连和分开的连接部分6从支承板1的反面4的中心伸出来，并且与反面4形成直角，支承板1和连接部分6形成为一体。在这种情况下，连接部分6形成为外螺纹件。在支承板1的正面3的中心形成了固定用凹部11。成形为直槽以便与小螺丝刀配合使用的固定用凹部11可以为十字形、六角形或其它的构造。另外，在支承板1的反面4上形成了环形的切口部分12，其在周边部分5中切开了预定的宽度尺寸W，也就是说，支承板1形成于大圆盘中，在大圆盘的反面一侧上同轴地和整体式地连接了小圆盘。
橡胶弹性体2包括承受片部分7，其覆盖了支承板1的基本上全部的正面3，“基本上全部”在本发明中定义为等于或大于90％，还包括防掉落部分8A，其将承受片部分7整体式地连接在支承板1上，从而包围了切开部分12和周边部分5。承受片部分7是具有均匀厚度且在顶视图中呈圆形的片材，其外周边缘部分设置成形成了比支承板1的周边部分5更大的同轴圆(参见图1)。另外，在承受片部分7中的与固定用凹部11相对应的位置处形成了圆形通孔部分13。防掉落部分8A是圆环，其在底视图中具有均匀的宽度，其底面15设在与支承板1的反面4的最下表面相同的平面上。防掉落部分8A的外周边缘部分和承受片部分7的外周边缘部分处于同一个圆上。
橡胶弹性体2可由全氟化弹性体、氟橡胶、硅酮橡胶、乙烯-丙烯-二烯橡胶(EPDM)或丁腈橡胶(NBR)构成，然而它优选由可耐热并在刻蚀工艺条件下使用时可耐受等离子刻蚀的全氟化弹性体制成。
支承板1优选由不锈钢如SUS304制成，其可在用于刻蚀工艺条件下时耐蚀并具有可加工性。当支承板1由树脂制成时，尽管可采用各种已知的树脂，但在耐热性方面优选聚苯硫醚(PPS)、聚醚醚酮(PEEK)、聚酰亚胺(PI)和全氟烷氧基烷烃(PFA)。
以下方法可用作将橡胶弹性体2整体式地连接在支承板1上的方法。在一种方法中，将支承板1设于模具中，注入熔融橡胶，然后通过硫化工艺来使熔融橡胶硬化，以便与支承板1形成为一体。在另一方法中，将支承板1设于压塑模具中，通过压塑将生橡胶连接在支承板1上，然后通过硫化工艺来使橡胶硬化，以便与支承板1形成为一体。在另一种方法中，利用粘合剂来将经硫化模制的橡胶弹性体2与支承板1形成为一体。
接下来，在图4、5和6所示的第二实施例中，提供了支承板1以及整体式地安装在支承板1上的橡胶弹性体2。在支承板1的反面4一侧上形成了圆形浅凹槽10，并且形成了横截面为圆形的多个连接孔9，其穿过正面3和圆形凹槽10的底壁。
圆形凹槽10为正方形槽，以便将橡胶弹性体2保持在支承板1上，多个连接孔9以预定的间距沿周向设置，连接孔9的横截面的直径尺寸设定成小于圆形凹槽10的宽度尺寸。
圆形凹槽10的内、外侧壁设在与处于顶视图中的支承板1的周边部分5同轴的圆上(参见图6)。
橡胶弹性体2包括覆盖了基本上全部正面3的承受片部分7以及防掉落部分8B，该防掉落部分8B填充在圆形凹槽10和连接孔9中，并且与承受片部分7整体式地相连。其外周边缘部分设置在与支承板1的周边部分5相同的周边上。防掉落部分8B的底面15与支承板1的反面4的最下表面设于同一平面上。
在图4至图6中，省略了对与图1至图3中的部件具有相同标号的部件的说明，因为它们与图1至图3中的部件具有类似的构造。
在图7至图10中所示的第三实施例中，提供了支承板1和整体式地安装在支承板1上的橡胶弹性体2，在支承板1的反面4上形成了环形的切口部分12，其在周边部分5中切开了预定的宽度尺寸W。另外，从支承板1的正面3至反面4形成了具有圆形截面的多个连接孔9，反面4一侧上的连接孔9的开口部分设在切口部分12中的支承板1中心的附近。如图9所示，在底视图中，多个连接孔9处于与支承板1的中心同轴的圆上并具有预定的间距。在支承板1的反面4上形成有连接凹槽16，以便将连接孔9和切开部分12相连，连接凹槽16设在支承板1的直径方向上。
橡胶弹性体2包括覆盖了基本上全部的正面3的承受片部分7，以及整体式地连接在承受片部分7上的防掉落部分8C。防掉落部分8C从切开部分12经过周边部分5而与承受片部分7相连，填充了连接凹槽16和连接孔9且与承受片部分7相连。如上所述，第三实施例在防止橡胶弹性体2从支承板1上脱落的方面是优选的，这是因为与第一和第二实施例相比，本发明的第三实施例中的承受片部分7和防掉落部分8C连接得更牢。
承受片部分7的外周边缘部分设置成形成了大于支承板1的周边部分5的同轴圆(参见图7)。防掉落部分8C的外周边缘部分和承受片部分7的外周边缘部分设于同一周边上。防掉落部分8C的底面15与支承板1的反面4的最下表面设于同一平面上。
在图7至图10所示的防滑装置中，切口部分12的宽度尺寸W以在设计上可自由地改变的方式而可以更大，以便使连接孔9可从正面3进入切口部分12中。也就是说，可以不形成连接凹槽16。
在图7至图10中省略了对与图1至图3中的部件具有相同标号的部件的说明，因为它们与图1至图3中的部件具有类似的构造。
在设计上可自由地改变的连接部分6可形成为如图12A所示的圆形棒(插入到另一部件上的圆孔中)。如图12B所示，连接部分6的一部分周边可制成为较大，以便弹性地压配到另一部件上的圆孔的内表面中。连接部分6可制成为如图12C所示的具有位于棒周围的突起的键形，并可插入到如图12D所示的键孔部分18中，然后旋转至固定住。连接部分6可为在内周面上形成了内螺纹部分的圆柱形件，并旋拧在形成于另一部件(图中未示出)上的外螺纹部分上。
尽管与图12A所示的连接部分6相比，图12B、12C以及图1至图10中所示出的连接部分6能够克服垂直方向(轴向)上的振动而更牢固地装配在其它部件上，但图12A所示的连接部分6并不会因振动而脱离其它部件，这是因为液晶面板主要在前后方向上移动。
现在介绍本发明的上述防滑装置(带支座螺钉)的操作方法(功能)。
在图11中，标号30表示在输送机上运动的平面的矩形运载托架，在运载托架30的四个拐角(拐角部分)的每一个上(图中未示出)上形成有内螺纹孔。本发明防滑装置的连接部分6转动并旋拧到该内螺纹孔中，并通过其前端可配合于正面3上的紧固用凹部11中的螺丝刀而被进一步旋拧，从而被紧固在运载托架30上。然后将待放置物体40如液晶面板和玻璃板放在橡胶弹性体2的承受片部分7上，以便进行运载。
在放在运载托架30上的所放置物体40的处理工艺之后，将所放置物体40从橡胶弹性体2的承受片部分7上取下来，放置并运载另一未经处理而放置的物体40。
当形成了内螺纹孔时，本发明的防滑装置可连接在运载托架30的除了4个转角(转角部分)以外的其它部分上，连接的数量和位置优选与所放置物体40的类型和运载速度相对应地变化。
如上所述，承受片部分7和防掉落部分8A牢固地相连，橡胶弹性体2的承受片部分7不会因在放置和取下所放置物体40时起作用的外力而从支承板1上脱落，这是因为本发明的防滑装置设有金属或树脂的支承板1，其中用于与另一部件相连的连接部分6从其反面4上伸出来，它还设有整体式地安装在支承板1上的橡胶弹性体2。另外，橡胶弹性体2包括覆盖了支承板1的基本上全部正面3的承受片部分7，以及将反面4连接在承受片部分7上从而包围了周边部分5的防掉落部分8A。
本发明的防滑装置可连接在现有运载托架30上，并且可与所放置物体40的类型和运载速度相对应地与托架30容易地相连和分离。
承受片部分7和防掉落部分8B牢固地相连，橡胶弹性体2的承受片部分7不会因在放置和取下所放置物体4时起作用的外力而从支承板1上脱落，这是因为本发明的防滑装置设有金属或树脂的支承板1，其中用来与另一部件相连的连接部分6从其反面4上伸出来，它还设有整体式地安装在支承板1上的橡胶弹性体2。另外，在支承板1的反面4一侧上形成有圆形浅凹槽10，从支承板1的正面3至圆形凹槽10形成了多个连接孔9，橡胶弹性体2包括覆盖了支承板1的基本上全部正面3的承受片部分7，以及填充在圆形凹槽10和连接孔9中并与承受片部分7相连的防掉落部分8B。
承受片部分7和防掉落部分8C牢固地相连，橡胶弹性体2的承受片部分7不会因在放置和取下所放置物体4时起作用的外力而从支承板1上脱落，这是因为本发明的防滑装置设有金属或树脂的支承板1，其中用来与另一部件相连的连接部分6从其反面4上伸出来，它还设有整体式地安装在支承板1上的橡胶弹性体2，从支承板1的正面3至反面4形成了多个连接孔9，橡胶弹性体2包括覆盖了基本上全部正面3的承受片部分7，以及将反面4经周边部分5和连接孔9而连接在承受片部分7上的防掉落部分8C。
所放置的物体40不会滑动和脱离运载托架30，所放置物体40固定在预定的位置并被稳定地运载，可以很高的尺寸精度来对所放置的物体40进行各种处理，这是因为该防滑装置可用于等离子电视的液晶面板和大玻璃板所用的运载装置中。甚至更大的液晶面板和大玻璃板也可被无偏差地稳定运载，并且可以较高的尺寸精度来进行各种处理。
由选自氟橡胶、硅酮橡胶、乙烯-丙烯-二烯橡胶和丁腈橡胶的至少一种材料构成的橡胶弹性体2在用于各种处理工艺时几乎不会劣化。
由氟化弹性体构成的橡胶弹性体2在用于刻蚀工艺时几乎不会劣化。尤其是，橡胶弹性体2在用于腐蚀性气体气氛如等离子态气体中时几乎不会劣化。因此，在刻蚀工艺中因橡胶弹性体2的劣化(腐蚀)而产生的尘粒(异物)不会粘附(混合)在产品上，从而可提供高质量的产品。即使在生产线上存在刻蚀工艺的情况下，也可通过一个运载托架30进行运载来执行所有的工艺。
Claims (6)
1.一种防滑装置，其设有金属的支承板(1)，其中用来与另一部件相连的连接部分(6)从其反面(4)上伸出来，还设有整体式地安装在所述支承板(1)上的橡胶弹性体(2)，所述防滑装置包括这样的构造，其中所述橡胶弹性体(2)包括覆盖了所述支承板(1)的基本上全部正面(3)的承受片部分(7)，以及将所述反面(4)连接在所述承受片部分(7)上以便包围所述支承板(1)的周边部分(5)的防掉落部分(8A)；
其中，所述橡胶弹性体(2)的底面(15)设在与所述反面(4)的最下表面相同的平面上；并且
所述连接部分(6)与所述支承板(1)形成为一体。
2.一种防滑装置，其设有金属或树脂的支承板(1)，其中用来与另一部件相连的连接部分(6)从其反面(4)上伸出来，还设有整体式地安装在所述支承板(1)上的橡胶弹性体(2)，所述防滑装置包括这样的构造，其中：
在所述支承板(1)的反面(4)一侧上形成有圆形浅凹槽(10)；
从所述支承板(1)的正面(3)至所述圆形浅凹槽(10)形成了多个连接孔(9)；和
所述橡胶弹性体(2)包括覆盖了所述支承板(1)的基本上全部正面(3)的承受片部分(7)，以及填充在所述圆形浅凹槽(10)和连接孔(9)中并与所述承受片部分(7)相连的防掉落部分(8B)。
3.一种防滑装置，其设有金属或树脂的支承板(1)，其中用来与另一部件相连的连接部分(6)从其反面(4)上伸出来，还设有整体式地安装在所述支承板(1)上的橡胶弹性体(2)，所述防滑装置包括这样的构造，其中：
从所述支承板(1)的正面(3)至所述反面(4)形成了多个连接孔(9)；和
所述橡胶弹性体(2)包括覆盖了基本上全部正面(3)的承受片部分(7)，以及将所述反面(4)经所述支承板(1)的周边部分(5)和所述连接孔(9)而连接在所述承受片部分(7)上的防掉落部分(8C)。
4.根据权利要求1、2或3所述的防滑装置，其特征在于，所述装置可用于等离子电视的液晶面板和大玻璃板所用的运载装置中。
5.根据权利要求1、2或3所述的防滑装置，其特征在于，所述橡胶弹性体(2)由选自氟橡胶、硅酮橡胶、乙烯-丙烯-二烯橡胶和丁腈橡胶的至少一种材料构成。
6.根据权利要求1、2或3所述的防滑装置，其特征在于，所述橡胶弹性体(2)由全氟化弹性体构成。
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