KR101139737B1 - 유기 ｅｌ 장치의 제조 방법 - Google Patents

유기 ｅｌ 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

수명이 긴 유기 EL 장치를 제조한다. 본 발명의 제조 장치 (1 ～ 3) 는, 유기 재료층의 형성, 봉지 재료층의 형성, 및 기판 (7a, 7b) 의 부착 등을 실시하는 작업실 (11a ～ 11c) 에는, 가열 장치 (12a ～ 12c) 가 장착되어 있다. 작업을 실시하기 전에, 미리 가열 장치 (12a ～ 12c) 로 작업실 (11a ～ 11c) 의 벽을 가열하여, 내벽면에 부착된 물 등의 불순물 가스를 제거하고, 제거된 불순물 가스를 작업실 (11) 을 배기하여 배출해 둔다. 작업은 불순물 가스가 배출된 분위기에서 실시되므로, 유기 EL 장치에 불순물 가스가 혼입되지 않는다.
유기 EL 장치, 잉크젯 프린터, 가열 장치, 유기 EL 장치의 제조 장치

Description

유기 ＥＬ 장치의 제조 장치{APPARATUS FOR MANUFACTURING ORGANIC EL DEVICE}
기술분야
본 발명은 유기 EL 디스플레이 등의 유기 EL 장치의 제조 장치에 관한 것이다.
배경기술
유기 EL 재료는 물이나 산소에 의해 화학적으로 열화되기 쉬우므로, 잉크젯 프린터에 의한 유기 EL 재료의 도포 공정, 토출 장치에 의한 봉지 (封止) 재료의 도포 공정, 또한 기판의 부착 공정 등의 각 공정을 외부 분위기로부터 차단된 작업실 내부에서 실시하는 방법이 제안되어 있다.
각 공정을 실시하기 전에는, 작업실의 내부를 배기하고/하거나, 작업실의 내부에 건조 가스를 도입하여 작업실의 내부 공간을 건조 가스로 치환하여서, 물이나 산소 등의 불순물 가스를 제거한다.
그러나, 작업실 내부의 배기나 건조 가스의 도입을 실시해도, 불순물 가스는 작업실의 내벽면에 부착되어 남기 때문에, 완전히 제거할 수는 없다.
제거되지 않고 남은 불순물 가스는 작업 중에 증발하여 내부 공간으로 방출되고, 유기 재료층에 혼입된다.
따라서, 종래의 제조 장치에서는, 불순물 가스를 혼입시키지 않고 유기 EL 장치를 제조하기 곤란하였다.
특허문헌 1: 일본공개특허공보 제2004-174659호
발명의 개시
발명이 해결하고자 하는 과제
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 그 목적은 불순물 가스를 혼입시키지 않고 유기 EL 장치를 제조할 수 있는 제조 장치를 제공하는 것이다.
과제를 해결하기 위한 수단
유기 EL 장치의 수명을 길게 하기 위해서는, 노점 (露点) -76℃ (수분 농도 1ppm) 이하의 분위기에서 작업을 실시할 필요가 있다.
실온의 조건에서, 작업실 내부에 잔류하는 물을, 작업실 내부의 배기와 건조 질소 가스의 공급을 동시에 실시함으로써 배출하고자 한 결과 (작업실 내부는 대기압으로 유지), 60 시간 후에 노점 -75℃ 까지 도달했지만, 그 후에는 노점이 내려가지 않아, 300 시간이 경과해도 노점 -75℃ 인 상태로, 노점 -76℃ 에는 도달하지 못했다.
본 발명자들이 작업실의 외벽에 히터를 감아, 히터로 벽을 가열하고 나서, 작업실 내부의 배기와 건조 질소 가스의 공급을 실시한 결과, 낮 8 시간의 가열, 야간 냉각 (및 배기와 건조 가스의 공급) 함으로써, 48 시간 후에 노점 -76.6℃, 72 시간 후에는 노점 -77.5℃ 에 도달하였다.
이와 같이, 작업실을 가열하지 않은 경우에 비해, 작업실을 가열한 경우에는 단시간에 노점을 낮출 수 있다.
이러한 지견에 기초하여 이루어진 본 발명은, 작업실과, 상기 작업실의 내부에 배치된 기판의 표면에 액체를 토출하는 잉크젯 프린터를 갖고, 상기 작업실의 내부 공간을 외부 분위기와 차단할 수 있도록 구성된 유기 EL 장치의 제조 장치로서, 상기 작업실을 사용하기 전에 상기 작업실을 가열하는 가열 장치를 갖는 유기 EL 장치의 제조 장치이다.
본 발명은 유기 EL 장치의 제조 장치로서, 상기 가열 장치는, 상기 작업실의 벽에 장착된 작업실 가열 수단과, 상기 작업실 내에 가열 가스를 공급하는 가열 가스 공급 장치 중 어느 일방 또는 양방을 갖는 유기 EL 장치의 제조 장치이다.
본 발명은 유기 EL 장치의 제조 장치로서, 상기 가열 가스 공급 장치는, 상기 작업실에 접속된 가스 공급계를 갖고, 상기 가열 가스로서 건조 가스를 공급하는 유기 EL 장치의 제조 장치이다.
본 발명은 유기 EL 장치의 제조 장치로서, 반송실과, 상기 반송실 내부에 배치된 반송 로봇을 갖고, 상기 반송실은 상기 작업실에 기밀하게 접속된 유기 EL 장치의 제조 장치이다.
본 발명은, 작업실과, 상기 작업실 내에 배치된 기판에 봉지 재료를 배치하는 봉지 재료 공급 장치를 갖고, 상기 작업실의 내부 공간을 외부 분위기로부터 차단할 수 있도록 구성된 유기 EL 장치의 제조 장치로서, 상기 작업실을 사용하기 전에 상기 작업실을 가열하는 가열 장치를 갖는 유기 EL 장치의 제조 장치이다.
본 발명은 유기 EL 장치의 제조 장치로서, 상기 가열 장치는, 상기 작업실의 벽에 장착된 작업실 가열 수단과, 상기 작업실 내에 가열 가스를 공급하는 가열 가 스 공급 장치 중 어느 일방 또는 양방을 갖는 유기 EL 장치의 제조 장치이다.
본 발명은 유기 EL 장치의 제조 장치로서, 상기 가열 가스 공급 장치는, 상기 작업실에 접속된 가스 공급계를 갖고, 상기 가열 가스로서 건조 가스를 공급하는 유기 EL 장치의 제조 장치이다.
본 발명은, 반송실과, 상기 반송실 내부에 배치된 반송 로봇을 갖고, 상기 반송실은 상기 작업실에 기밀하게 접속된 유기 EL 장치의 제조 장치이다.
본 발명은, 작업실과, 부착 장치를 갖고, 상기 부착 장치는, 제 1 기판을 유지하는 제 1 유지 수단과, 제 2 기판을 유지하는 제 2 유지 수단과, 상기 제 1, 제 2 유지 수단을 상대적으로 이동시켜, 상기 제 1, 제 2 기판을 부착시키는 이동 수단을 갖고, 상기 작업실의 내부 공간을 외부 분위기로부터 차단할 수 있도록 구성된 유기 EL 장치의 제조 장치로서, 상기 작업실을 사용하기 전에 상기 작업실을 가열하는 가열 장치를 갖는 유기 EL 장치의 제조 장치이다.
본 발명은 유기 EL 장치의 제조 장치로서, 상기 제 1, 제 2 기판의 상대적인 위치 정보를 검출하는 위치 맞춤 수단을 갖고, 상기 이동 수단은, 상기 위치 맞춤 수단이 검출한 위치 정보에 기초하여, 상기 제 1, 제 2 유지 수단을 수평면 내에서 상대적으로 이동시키는 유기 EL 장치의 제조 장치이다.
본 발명은 유기 EL 장치의 제조 장치로서, 상기 가열 장치는, 상기 작업실의 벽에 장착된 작업실 가열 수단과, 상기 작업실 내에 가열 가스를 공급하는 가열 가스 공급 장치 중 어느 일방 또는 양방을 갖는 유기 EL 장치의 제조 장치이다.
본 발명은 유기 EL 장치의 제조 장치로서, 상기 가열 가스 공급 장치는, 상기 작업실에 접속된 가스 공급계를 갖고, 상기 가열 가스로서 건조 가스를 공급하는 유기 EL 장치의 제조 장치이다.
본 발명은 유기 EL 장치의 제조 장치로서, 반송실과, 상기 반송실 내부에 배치된 반송 로봇을 갖고, 상기 반송실은 상기 작업실에 기밀하게 접속된 유기 EL 장치의 제조 장치이다.
또한, 본 발명에서, 작업실 가열 수단을 설치하는 작업실의 벽이란, 작업실의 천장, 저면 및 측벽을 모두 포함한다. 작업실 가열 수단은 작업실의 외벽면에 설치해도 되고, 내벽면에 설치해도 된다.
또한, 작업실 가열 수단을 작업실의 벽에 매설해도 되지만, 작업실 가열 수단의 메인터넌스의 간편성을 고려하면, 내벽면 또는 외벽면에 장착하는 것이 바람직하다. 또, 불순물 가스의 제거 효율을 고려하면, 작업실 가열 수단을 작업실의 내벽면에 장착하는 것이 바람직하다.
발명의 효과
본 발명에 의하면, 작업실의 벽면에 부착된 불순물 가스는 가열에 의해 제거되기 때문에, 작업실에 불순물 가스가 잔류하지 않는다. 제조 공정에서 불순물 가스가 혼입되지 않기 때문에, 유기 EL 장치의 수명이 길어진다.
도면의 간단한 설명
도 1 은 제 1 제조 장치를 설명하는 모식적인 단면도.
도 2 는 제 2 제조 장치를 설명하는 모식적인 단면도.
도 3 은 제 3 제조 장치를 설명하는 모식적인 단면도.
부호의 설명
1 ～ 3 … 제조 장치 (제 1 ～ 제 3 제조 장치)
7a, 7b … 기판
12a ～ 12c … 가열 장치
15a ～ 15c … 작업실 가열 수단
16a ～ 16c … 가열 가스 공급 장치
17a ～ 17c … 가스 공급계
20 … 잉크젯 프린터
40 … 봉지 재료 공급 장치
50 … 부착 장치
51 … 제 1 유지 수단
52 … 제 2 유지 수단
55 … 이동 수단
56 … 위치 맞춤 수단
발명을 실시하기 위한 최선의 형태
도 1 ～ 도 3 의 부호 1 ～ 3 은 본 발명의 제 1 ～ 제 3 의 유기 EL 장치의 제조 장치를 각각 나타내고 있다. 제 1 ～ 제 3 제조 장치 (1 ～ 3) 의 동일 부재에는, 동일 부호에 첨자 a ～ c 를 붙여 구별한다.
제 1 ～ 제 3 제조 장치 (1 ～ 3) 는 각각 반송실 (31a ～ 31c) 과, 작업실 (11a ～ 11c) 과, 카세트실 (36a ～ 36c) 을 갖고 있다.
작업실 (11a ～ 11c) 과 카세트실 (36a ～ 36c) 은 문 (8a ～ 8c, 9a ～ 9c) 을 통하여 반송실 (31a ～ 31c) 에 접속되고, 문 (8a ～ 8c, 9a ～ 9c) 을 열면, 내부 공간이 반송실 (31a ～ 31c) 의 내부 공간에 각각 접속된다.
카세트실 (36a ～ 36c) 에는 도시되지 않은 반출 입구가 형성되어 있고, 반출 입구를 열면, 기판이 수용된 카세트를 반출입할 수 있도록 되어 있고, 반출 입구를 닫으면, 카세트실 (36a ～ 36c) 의 내부 공간이 외부로부터 차단된다.
반송실 (31a ～ 31c) 의 내부에는 기판을 반송하는 반송 로봇 (35a ～ 35c) 이 배치되어 있고, 문 (8a ～ 8c, 9a ～ 9c) 을 열면, 반송 로봇 (35a ～ 35c) 에 의해 작업실 (11a ～ 11c) 과 카세트실 (36a ～ 36c) 사이에서 기판을 반송할 수 있도록 구성되어 있다. 따라서, 기판은 외부 분위기에 노출되지 않고, 반송실 (31a ～ 31c) 을 통과하여 작업실 (11a ～ 11c) 과 카세트실 (36a ～ 36c) 사이에서 반송된다.
작업실 (11a ～ 11c) 에는 가열 장치 (12a ～ 12c) 가 장착되고, 작업실 (11a ～ 11c) 은 가열 장치 (12a ～ 12c) 에 의해 가열된다.
가열 장치 (12a ～ 12c) 는, 작업실 (11a ～ 11c) 의 벽을 가열하는 작업실 가열 수단 (15a ～ 15c) 과, 작업실 (11a ～ 11c) 의 내부에 가열 가스를 공급하는 가열 가스 공급 장치 (16a ～ 16c) 중 어느 일방 또는 양방을 갖는다.
작업실 가열 수단 (15a ～ 15c) 은 작업실 (11a ～ 11c) 벽에 밀착되어 장착되어 있다.
여기에서는, 작업실 가열 수단 (15a ～ 15c) 은 작업실 (11a ～ 11c) 의 내 측에서 작업실 (11a ～ 11c) 의 측벽과 천장에 장착되어 있지만, 작업실 가열 수단 (15a ～ 15c) 의 장착 장소는 특별히 한정되지 않는다.
작업실 가열 수단 (15a ～ 15c) 은 작업실 (11a ～ 11c) 의 천장, 저벽, 측벽 중 1 개소 이상에 형성되어 있으면 된다. 또, 작업실 가열 수단 (15a ～ 15c) 은 작업실 (11a ～ 11c) 의 내측 (내벽면) 과 외측 (외벽면) 의 어느 하나 또는 양방에 형성할 수도 있다.
작업실 가열 수단 (15a ～ 15c) 은 히터 (예를 들어, 시스 히터) 또는 온수 순환 파이프를 갖고 있어, 히터에 통전하거나, 온수 순환 파이프 내에 온수를 통과시키면, 작업실 (11a ～ 11c) 의 벽의 작업실 가열 수단 (15a ～ 15c) 이 장착된 부분이 가열된다.
작업실 (11a ～ 11c) 의 벽은 금속과 같은 열 전도 물질 (예를 들어, 스테인리스) 로 구성되어 있다. 작업실 (11a ～ 11c) 의 작업실 가열 수단 (15a ～ 15c) 이 장착된 부분이 가열되면, 작업실 (11a ～ 11c) 의 벽 전체가 열 전도로 승온된다.
작업실 (11a ～ 11c) 의 벽이 승온되면, 작업실 (11a ～ 11c) 의 내벽면에 부착된 물이나 산소가 가스 (증기를 포함한다) 가 되어 작업실 (11a ～ 11c) 의 내부 공간으로 방출된다. 작업실 (11a ～ 11c) 에는 배기계 (19a ～ 19c) 가 접속되어 있고, 작업실 (11a ～ 11c) 내부 공간으로부터 가스를 배출할 수 있도록 되어 있다.
가열 가스 공급 장치 (16a ～ 16c) 는 가스 공급계 (17a ～ 17c) 와 가스 가 열 수단 (14a ～ 14c) 을 갖고 있다.
가스 공급계 (17a ～ 17c) 는, 건조 가스 (예를 들어, 건조 질소) 가 배치된 탱크 (41a ～ 41c) 와, 일단이 탱크 (41a ～ 41c) 에 접속되고, 타단이 작업실 (11a ～ 11c) 내에 기밀하게 삽입 통과된 배관 (42a ～ 42c) 을 갖고 있다.
가스 가열 수단 (14a ～ 14c) 은 탱크 (41a ～ 41c) 와 배관 (42a ～ 42c) 중 어느 일방 또는 양방에 장착되어 있다.
가스 가열 수단 (14a ～ 14c) 은 예를 들어 히터로서, 가스 가열 수단 (14a ～ 14c) 에 통전하면, 탱크 (41a ～ 41c) 에 배치된 건조 가스는 탱크 (41a ～ 41c) 로부터 작업실 (11a ～ 11c) 내로 이동하는 사이에 가열된다. 따라서, 작업실 (11a ～ 11c) 의 내부에는 가열된 건조 가스 (가열 가스) 가 공급된다.
작업실 (11a ～ 11c) 의 내벽면은 가열된 건조 가스에 접촉하여 가열되고, 작업실 (11a ～ 11c) 의 내벽면에 부착된 물이나 산소가 가스가 되어 방출된다. 방출된 가스는 가열된 건조 가스에 의해 밀려나오기 때문에, 배기계 (19a ～ 19c) 에 의해 작업실 (11a ～ 11c) 의 외부로 효율적으로 배출된다.
작업실 가열 수단 (15a ～ 15c) 과 가열 가스 공급 장치 (16a ～ 16c) 는 어느 일방만을 사용해도 되지만, 작업실 (11a ～ 11c) 의 내벽면에 부착된 물이나 산소의 배출 효율이 높다.
또한, 여기에서는, 배관 (42a ～ 42c) 중 탱크 (41a ～ 41c) 와 작업실 (11a ～ 11c) 사이의 부분에 인라인 필터 (18a ～ 18c) 가 형성되어, 탱크 (41a ～ 41c) 에 미립자나 불순물 가스가 혼입되었다고 해도, 인라인 필터 (18a ～ 18c) 로 제거 된다.
다음으로, 제 1 ～ 제 3 제조 장치 (1 ～ 3) 를 사용하여 유기 EL 장치를 제조하는 공정에 대해 설명한다.
유기 EL 장치의 제조를 개시하기 전에, 제 1 ～ 제 3 제조 장치 (1 ～ 3) 의 작업실 (11a ～ 11c) 을 외부 분위기로부터 차단하고, 작업실 (11a ～ 11c) 의 벽을 가열하여, 물이나 산소를 방출시킨다.
작업실 (11a ～ 11c) 의 벽을 가열하면서, 가열 가스 공급 장치 (16a ～ 16c) 로부터 가열된 건조 가스를 공급하고, 동시에 배기계 (19a ～ 19c) 에 의한 배기를 실시하여, 작업실 (11a ～ 11c) 의 내부의 가스를 치환한다.
이 때, 작업실 (11a ～ 11c) 의 내부 압력이 대기압보다 약간 양압 (陽壓) 이 되도록, 배기계 (19a ～ 19c) 의 배기 속도와 건조 가스의 공급량을 설정하면, 외부로부터의 수분?산소의 혼입이 방지된다.
그러나, 작업실 (11a ～ 11c) 내에서 유독 물질을 취급하는 경우에는, 작업실 (11a ～ 11c) 의 내부 압력이 대기압보다 약간 부압 (負壓) 이 되도록, 배기계 (19a ～ 19c) 의 배기 속도와 건조 가스의 공급량을 설정하면, 작업실 (11a ～ 11c) 로부터 외부로의 유독 물질의 누설이 방지된다.
어쨌든, 작업실 (11a ～ 11c) 내부를 대기압 부근의 압력으로 유지해 둠으로써, 작업실 (11a ～ 11c) 내의 가스 (가열된 건조 가스) 에 의한 열전도로 작업실 (11a ～ 11c) 내부의 구석구석까지 따뜻하게 하여, 수분 등의 불순물의 이탈을 촉진할 수 있어, 작업실 (11a ～ 11c) 내부의 분위기를 재빠르게 건조시킬 수 있다.
또한, 작업실 (11a ～ 11c) 내부가 진공이 되도록 배기하면, 작업실 가열 수단 (15a ～ 15c) 으로부터의 열 방사로밖에 따뜻해지지 않기 때문에, 그늘이 되는 부분이 따뜻해지지 않고, 그들의 부분으로부터 불순물이 이탈되지 않아, 작업실 (11a ～ 11c) 의 내부를 건조시킬 수 없다.
작업실 (11a ～ 11c) 의 벽을 가열하는 가열 시간은 얼마 만큼이어도 되지만, 1 사이클의 가열은 8 시간 이상인 것이 바람직하다. 가열 시간이 적으면, 작업실 (11a ～ 11c) 내의 구석구석까지 따뜻하게 하지 못하여, 불순물을 충분히 이탈시킬 수 없다.
작업실 (11a ～ 11c) 을 충분히 가열한 후, 작업실 가열 수단 (15a ～ 15c) 과 가스 가열 수단 (14a ～ 14c) 을 정지시켜, 작업실 (11a ～ 11c) 의 벽의 가열과 건조 가스의 가열을 종료한다.
건조 가스를 가열하지 않고 작업실 (11a ～ 11c) 에 공급하면서, 작업실 (11a ～ 11c) 의 배기를 계속하여, 작업실 (11a ～ 11c) 의 벽의 온도가 내려감으로써, 작업실 (11a ～ 11c) 내부의 분위기를 건조시킬 수 있다 (가스 치환 공정).
작업실 (11a ～ 11c) 내부의 분위기가 노점 -76℃ (수분 농도 1ppm) 혹은 작업자가 소망하는 레벨까지 도달하지 못하는 경우에는, 가열 공정과 가스 치환 공정을 2 회 이상 반복하여 분위기를 건조시킨다.
표면에 전극이나 트랜지스터 등이 형성된 기판을 카세트에 수용하고, 그 카세트를 제 1 제조 장치 (1) 의 카세트실 (36a) 의 내부에 배치한다.
제 1 제조 장치 (1) 의 작업실 (11a) 내부에는 스테이지 (21) 와 잉크젯 프 린터 (20) 가 배치되어 있다.
잉크젯 프린터 (20) 는 인쇄 헤드 (25) 를 갖고 있고, 인쇄 헤드 (25) 는 유지 수단 (26) 에 의해 스테이지 (21) 의 상방에서 스테이지 (21) 로부터 이간되어 배치되어 있다.
작업실 (11a) 내를 배기하면서, 건조 가스를 가열하지 않고 공급하여, 건조한 작업 분위기를 유지한다. 그 작업 분위기를 유지하면서, 기판을 카세트실 (36a) 로부터 작업실 (11a) 내부로 반입하여, 그 기판을 스테이지 (21) 상에 배치하고, 문 (9a) 을 닫아 작업실 (11a) 의 내부 공간을 반송실 (31a) 로부터 차단한다.
도 1 은 스테이지 (21) 상에 기판 (7a) 이 배치된 상태를 나타내고 있다.
인쇄 헤드 (25) 는 유기 재료 공급계 (28) 에 접속되어 있고, 유기 재료 공급계 (28) 로부터 유기 재료 (발광 재료, 전하 수송 재료, 전자 수송 재료, 색소 등) 를 포함하는 원료액을 인쇄 헤드 (25) 에 공급한다.
인쇄 헤드 (25) 와 스테이지 (21) 중 어느 일방 또는 양방은 도시되지 않은 이동 수단에 장착되어 있다.
인쇄 헤드 (25) 와 스테이지 (21) 중 어느 일방 또는 양방을 이동시켜, 스테이지 (21) 상의 기판 (7a) 과 인쇄 헤드 (25) 를 상대적으로 이동시킨다. 인쇄 헤드 (25) 의 노즐 구멍이 기판 (7a) 표면의 소정 위치 위에 위치한 상황에서 노즐 구멍으로부터 원료액을 토출하고, 기판 (7a) 표면에 착탄 (着彈) 시켜, 유기 재료층을 형성한다.
유기 재료층이 형성되는 사이, 작업실 (11a ～ 11c) 의 내부에 상기 서술한 작업 분위기를 유지해 두면, 유기 재료층에는 수분이나 산소 등이 혼입되지 않아 막질이 열화되지 않는다.
이동과 토출을 반복하여, 기판 (7a) 의 소정 위치에 유기 재료층을 형성 완료하고 나서, 기판 (7a) 을 작업실 (11a) 로부터 카세트실 (36a) 로 되돌려 카세트에 수용하고, 새로운 기판 (7a) 을 카세트실 (36a) 로부터 작업실 (11a) 로 반입하여 기판 (7a) 을 교환한다.
유기 재료층의 형성과 기판 (7a) 의 교환을 반복하여, 소정 장 수의 기판 (7a) 에 유기 재료층을 형성한 후, 카세트실 (36a) 로부터 카세트를 꺼낸다.
그 카세트를 직접 제 1 제조 장치 (1) 로부터 제 2 제조 장치 (2) 의 카세트실 (36b) 로 반입한다. 또는, 제 1 제조 장치 (1) 로부터 다른 장치로 반입하여 각 기판 (7a) 에 처리를 실시하고 나서, 제 2 제조 장치 (2) 의 카세트실 (36b) 로 반입한다. 카세트를 카세트실 (36b) 로 반입 후에는, 그 카세트실 (36b) 을 외부 분위기로부터 차단한다.
제 2 제조 장치 (2) 의 작업실 (11b) 내부에는 스테이지 (38) 와 봉지 재료 공급 장치 (40) 가 배치되어 있다.
작업실 (11b) 을 배기하면서, 건조 가스를 가열하지 않고 공급하여, 건조한 작업 분위기를 형성한다. 그 작업 분위기를 유지한 채로, 유기 재료층이 형성된 기판 (7a) 을 카세트실 (36b) 로부터 작업실 (11b) 로 반입하고, 스테이지 (38) 상에 배치한다.
봉지 재료는 페이스트상이나 고체상이다. 여기에서는, 봉지 재료는 페이스트상으로서, 봉지 재료 공급 장치 (40) 는 디스펜서 (45) 를 갖고 있고, 디스펜서 (45) 는 봉지 재료 공급계 (41) 에 접속되어, 페이스트상의 봉지 재료가 공급된다.
디스펜서 (45) 와 스테이지 (38) 중 어느 일방 또는 양방은 도시되지 않은 이동 수단에 접속되어 있다.
디스펜서 (45) 와 스테이지 (38) 중 어느 일방 또는 양방을 이동시켜, 스테이지 (38) 상의 기판 (7a) 과 디스펜서 (45) 를 상대적으로 이동시키면서, 디스펜서 (45) 의 노즐 구멍으로부터 봉지 재료를 압출하여 기판 (7a) 표면에 도포하고, 기판 (7a) 표면의 각 유기 재료층이 형성된 영역 (발광 영역) 을 둘러싸도록, 링 형상의 봉지 재료층을 형성한다.
봉지 재료층을 형성하는 사이, 상기 서술한 작업 분위기를 유지해 두면, 기판 (7a) 표면에 형성된 유기 재료층이 열화되지 않는다.
또한, 봉지 재료가 고체인 경우 (예를 들어, 봉 형상), 봉지 재료 공급 장치 (40) 는 발광 영역보다 외측에서 발광 영역의 가장자리를 따라 기판 (7a) 표면에 봉지 재료를 배치하여, 발광 영역을 둘러싸는 봉지 재료층을 형성한다.
봉지 재료층이 형성된 상태의 기판 (7a) 을 새로운 기판 (7a) 과 교환하고, 봉지 재료층의 형성과 기판 (7a) 의 교환을 반복하여, 소정 장 수의 기판 (7a) 에 봉지 재료층이 형성된 상태에서 카세트를 꺼낸다.
제 3 제조 장치 (3) 의 카세트실 (36c) 의 내부에, 봉지 재료층이 형성된 기 판 (7a) 이 수용된 카세트와, 부착 대상의 기판이 수용된 카세트를 배치하고 나서, 카세트실 (36c) 을 외부 분위기로부터 차단한다.
작업실 (11c) 내를 배기하면서, 건조 가스를 가열하지 않고 공급하여, 건조한 작업 분위기를 형성한다. 그 작업 분위기를 유지한 채로, 봉지 재료층이 형성된 기판 (7a) 과 부착 대상의 기판을 카세트실 (36c) 로부터 작업실 (11c) 내부로 반입한다.
제 3 제조 장치 (3) 의 작업실 (11c) 내부에는 부착 장치 (50) 가 배치되어 있고, 부착 장치 (50) 는, 제 1, 제 2 유지 수단 (51, 52) 과, 위치 맞춤 수단 (56) 과, 이동 수단 (55) 을 갖고 있다.
봉지 재료층이 형성된 기판 (7a) 과 부착 대상의 기판을, 봉지 재료층이 형성된 측의 면과, 부착되는 측의 면이 대향하도록 향하게 한 상태에서, 제 1, 제 2 유지 수단 (51, 52) 에 유지시킨다.
도 3 은 기판 (7a, 7b) 이 제 1, 제 2 유지 수단 (51, 52) 에 유지된 상태를 나타내고 있다.
이 상태의 기판 (7a, 7b) 의 방향이나 배치는 특별히 한정되지 않지만, 봉지 재료층과 기판 (7a) 의 접착성이 낮은 경우에는, 봉지 재료층이 배치된 측의 면을 상측을 향하게 하여 기판 (7a) 을 대략 수평 배치하고, 그 기판 (7a) 위에, 부착 대상의 기판 (7b) 을 부착되는 측의 면을 하측을 향하게 하여 배치한다.
위치 맞춤 수단 (56) 은 예를 들어 CCD 카메라 등으로서, 제 1, 제 2 유지 수단 (51, 52) 에 유지된 기판 (7a, 7b) 을 관찰하여, 그 위치 정보를 검출한다.
이동 수단 (55) 과 위치 맞춤 수단 (56) 은 제어 장치 (59) 에 접속되어 있고, 위치 맞춤 수단 (56) 이 검출한 위치 정보는 제어 장치 (59) 에 전달된다.
이동 수단 (55) 은, 제 1, 제 2 유지 수단 (51, 52) 중 어느 일방 또는 양방을 수평면 내에서 이동 및 회전할 수 있도록 구성되어 있다. 제 1, 제 2 유지 수단 (51, 52) 에 유지된 기판 (7a, 7b) 은 제 1, 제 2 유지 수단 (51, 52) 과 함께 이동하기 때문에, 기판 (7a, 7b) 은 수평면 내에서 상대적으로 이동 또는 회전한다.
제어 장치 (59) 는 전달된 위치 정보에 기초하여 이동 수단 (55) 을 동작시켜, 기판 (7a, 7b) 을 수평면 내에서 회전 및/또는 이동시켜서, 기판 (7a, 7b) 을 위치 맞춤한다.
이동 수단 (55) 은, 수평 방향의 이동과 회전에 추가하여, 제 1, 제 2 유지 수단 (51, 52) 중 어느 일방 또는 양방을 상하 방향으로도 상대적으로 이동할 수 있도록 구성되어 있다.
제어 장치 (59) 는, 기판 (7a, 7b) 을 위치 맞춤한 상태에서, 제 1, 제 2 유지 수단 (51, 52) 을 상하로 상대적으로 이동시켜 기판 (7a, 7b) 을 접근시키고, 봉지 재료층을 부착 대상의 기판 (7b) 에 밀착시켜, 기판 (7a, 7b) 을 봉지 재료층을 사이에 두고 부착시킨다.
제 3 제조 장치 (3) 의 작업실 (11c) 내부에는 도시되지 않은 경화 수단이 배치되어 있다.
경화 수단은, 봉지 재료층이 자외선 경화형 수지를 함유하는 경우에는 봉지 재료층에 자외선을 조사하고, 열 경화성 수지를 함유하는 경우에는 봉지 재료층을 가열하여, 봉지 재료층 중의 수지를 중합시켜 경화시킨다.
또, 봉지 재료층이 유리나 열가소성 수지 등의 용융 재료를 함유하는 경우, 경화 수단은 봉지 재료층을 가열 용융시켜 기판 (7a, 7b) 과의 밀착성을 높인 후, 봉지 재료층을 냉각 (자연 냉각을 포함한다) 하여 고화시킨다.
따라서, 기판 (7a, 7b) 은 경화 또는 고화한 봉지 재료층에 의해 서로 고정된다.
기판 (7a, 7b) 이 고정된 상태의 유기 EL 장치를 작업실 (11c) 로부터 카세트실 (36c) 로 반출하고, 새로운 기판 (7a, 7b) 을 작업실 (11c) 로 반입한다.
기판 (7a, 7b) 을 부착시켜 고정하는 공정과, 유기 EL 장치의 반출과, 새로운 기판 (7a, 7b) 의 반입을 반복하여, 소정 장 수의 기판 (7a, 7b) 을 부착시켜 유기 EL 장치를 제조한 후, 카세트실 (36c) 로부터 카세트를 꺼내면, 유기 EL 장치가 외부로 꺼내진다.
기판 (7a, 7b) 을 부착시켜 고정시키는 공정과 유기 EL 장치의 반출과 새로운 기판 (7a, 7b) 의 반입 등의 모든 공정에서, 상기 서술한 작업 분위기를 유지해 두면, 기판 (7a) 에 형성된 유기 재료층이 열화되지 않는다.
상기 서술한 바와 같이, 봉지 재료층은 유기 재료층이 형성된 발광 영역을 둘러싸는 링 형상으로 형성되어 있으므로, 유기 재료층은 기판 (7a, 7b) 과 경화 또는 고화된 봉지 재료층으로 둘러싸여 있다. 따라서, 유기 재료층은 외부 분위기로부터 차단되어 수분이나 산소가 진입하지 않는다.
또한, 상기 서술한 바와 같이, 유기 재료층을 형성하는 공정과, 봉지 재료층을 형성하는 공정과, 기판 (7a, 7b) 을 부착시켜 고정하는 공정은, 미리 물 등의 불순물 가스가 제거된 작업실 (11a ～ 11c) 내부에서 실시되기 때문에, 제조 공정에서 유기 재료층에 불순물 가스가 혼입되지 않는다.
따라서, 불순물 가스에 의한 유기 재료층의 열화가 일어나지 않아, 유기 EL 장치의 수명이 길어진다.
유기 EL 장치의 제조를 계속하면, 예를 들어 인쇄 헤드 (25) 나 디스펜서 (45) 의 세정이나 교환, 유기 재료 공급계 (28) 에 대한 원료액의 충전 등, 작업실 (11a ～ 11c) 내부의 메인터넌스가 필요하게 된다. 작업실 (11a ～ 11c) 내부의 메인터넌스를 실시할 때에는, 기판 (7a, 7b) 을 반출하여, 일단 유기 EL 장치의 제조를 정지한다.
메인터넌스 작업을 실시할 때에는, 통상적으로 작업실 (11a ～ 11c) 의 내부 공간을 외부 분위기에 접속시키기 때문에, 작업실 (11a ～ 11c) 의 내부에 대기가 들어와, 대기 중의 물이나 산소 등의 불순물이 작업실 (11a ～ 11c) 의 내벽면에 부착된다.
메인터넌스 종료 후, 적어도 기판 (7a, 7b) 을 작업실 (11a ～ 11c) 로 반입하기 전에, 상기 서술한 바와 같이 작업실 (11) 내부의 분위기가 노점 -76℃ (수분 농도 1ppm) 혹은 작업자가 소망하는 레벨에 도달할 때까지, 작업실 (11a ～ 11c) 을 가열하면서 가스를 치환하여, 작업 분위기를 형성한다.
또한, 메인터넌스 종료부터 작업실 (11a ～ 11c) 의 벽의 가열을 개시할 때 까지, 혹은 작업실 (11a ～ 11c) 의 벽의 가열을 개시하고 나서 소정 시간, 건조 가스를 공급하지 않고 작업실 (11a ～ 11c) 내부를 배기해도 된다.
이 경우, 최초 1 회의 가스 치환으로 작업실 (11a ～ 11c) 내부에 들어간 대기의 대부분을 치환할 수 있어, 효율이 양호하다. 그러나, 그 후에는, 상기 서술한 바와 같이, 작업실 (11a ～ 11c) 의 벽을 가열하면서, 배기와 건조 가스의 공급을 실시하여, 작업실 (11a ～ 11c) 내부의 가스를 건조 가스로 치환하는 것이 바람직하다.
작업실 (11a ～ 11c) 의 벽을 작업실 가열 수단 (15a ～ 15c) 으로 가열하면서, 건조 가스를 가열하지 않고 공급해도 된다. 또한, 작업실 가열 수단 (15a ～ 15c) 으로 가열하지 않고, 가열된 건조 가스를 공급함으로써, 작업실 (11) 을 가열해도 된다.
어느 경우에도, 작업실 (11a ～ 11c) 가열 종료 후, 작업실 (11a ～ 11c) 을 배기하면서, 건조 가스를 가열하지 않고 공급하여, 작업 분위기를 형성한다.
그 작업 분위기가 형성되고 나서, 기판 (7a, 7b) 을 반입하여, 유기 재료층의 형성, 봉지 재료층의 형성, 및 기판 (7a, 7b) 의 부착을 재개한다.
또한, 인쇄 헤드 (25) 와 유기 재료 공급계 (28), 및 디스펜서 (45) 와 봉지 재료 공급계 (41) 사이에는 밸브 (29, 49) 가 각각 형성되어 있다.
작업실 (11a ～ 11c) 을 대기압보다 낮은 감압 분위기 (진공 분위기를 포함한다) 가 되도록 배기하는 경우에는, 밸브 (29, 49) 를 닫아 두고, 건조 가스를 공급하여, 작업실 (11a ～ 11c) 의 내부 공간이 소정 압력 이상으로 상승하고 나서, 밸브 (29, 49) 를 열어, 인쇄 헤드 (25) 나 디스펜서 (45) 에 원료액이나 봉지 재료를 공급하면, 배기 중에 원료액이나 봉지 재료가 작업실 (11a ～ 11c) 의 내부 공간으로 분출되지 않는다.
건조 가스는 건조 질소 가스에 한정되지 않고, 유기 재료를 화학적으로 열화 시키지 않는 가스이면 Ar 가스 등 여러가지 가스를 사용할 수 있다. 예를 들어, 산소의 존재가 문제가 되지 않는 경우에는, 산소를 함유하는 건조 가스 (예를 들어, 건조 공기) 를 사용할 수도 있다. 이들 건조 가스는 1 종만을 작업실 (11a ～ 11c) 에 공급해도 되고, 2 종 이상을 작업실 (11a ～ 11c) 에 공급해도 된다.
또, 작업실 (11a ～ 11c) 을 가열할 때에 공급하는 가열 가스와, 가열 종료 후 작업 분위기를 형성할 때에 공급하는 작업용 가스로, 건조 가스의 종류를 바꾸어도 되고, 동일하게 해도 된다.
작업실 (11a ～ 11c) 의 벽은 열 전도성이 높은 물질로 구성하는 것이 바람직하지만, 적어도 일부에 유리 등의 투명판을 끼워 넣어, 관찰창을 만들어도 된다.
작업실 (11a ～ 11c) 의 가열은, 벽 온도가 60℃ 이상 80℃ 이하가 되도록 가열하는 것이 바람직하다. 60℃ 미만에서는 수분 제거가 충분히 실시되지 않고, 80℃ 를 초과하면 안전성에 문제가 발생한다.
작업실 (11a ～ 11c) 의 가열은, 기판 (7a, 7b) 을 작업실 (11a ～ 11c) 로 반입하기 전뿐만 아니라, 기판을 작업실 (11a ～ 11c) 에 배치한 상태에서 실시해도 된다. 그러나, 기판 (7a, 7b) 에 유기 EL 층 등 내열성이 낮은 막이 형성되 어 있는 경우에는, 기판 (7a, 7b) 을 반입하기 전에 가열을 종료시켜, 작업실 (11a ～ 11c) 의 내부 온도를 소정 온도 (예를 들어, 유기 EL 층을 구성하는 유기 재료가 분해되지 않는 온도) 이하까지 저하시켜 둘 필요가 있다.
또한, 제 1 ～ 제 3 제조 장치 (1 ～ 3) 를 도시되지 않은 반송실에 접속시켜, 그 반송실을 통하여, 기판 (7a, 7b) 을 대기에 노출시키지 않고 제 1 ～ 제 3 제조 장치 (1 ～ 3) 사이에서 반송할 수 있도록 해도 된다.
이상은, 유기 재료층을 형성하고 나서 기판 (7a) 에 봉지 재료층을 형성하는 경우에 대해 설명했는데, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 제 2 제조 장치 (2) 에서 봉지 재료층을 형성하고 나서 제 1 제조 장치 (1) 에서 유기 재료층을 형성해도 된다.
또, 유기 재료층을 형성하는 기판 (7a) 에 봉지 재료층을 형성하지 않고, 부착 대상의 기판 (7b) 에 봉지 재료층을 배치하여, 기판 (7a, 7b) 끼리를 부착시켜도 되고, 유기 재료층을 형성하는 기판 (7a) 과 부착 대상의 기판 (7b) 의 양방에 봉지 재료층을 배치하고 나서, 기판 (7a, 7b) 끼리를 부착시켜도 된다.
기판 (7a, 7b) 의 재질도 특별히 한정되지 않고, 유리 기판, 플라스틱 기판, 세라믹 기판 등을 사용할 수 있다.
작업실 (11a ～ 11c) 내부에서 기판 (7a ～ 7c) 을 처리할 때의 압력은 특별히 한정되지 않지만, 유기 재료층을 형성할 때에는, 인쇄 헤드 (25) 노즐의 메니스커스가 흐트러지지 않도록 대기압으로 하는 것이 바람직하고, 기판 (7a, 7c) 을 부착시킬 때에는, 대기압보다 낮은 압력의 작업 분위기에서 실시하는 것이 바람직하 다.
이상은, 유기 재료층의 형성과, 봉지 재료층의 형성과, 기판 (7a, 7b) 의 부착 및 고정을 다른 작업실 (11a ～ 11c) 내부에서 실시하는 경우에 대해 설명했는데, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.
잉크젯 프린터 (20) 와 봉지 재료 공급 장치 (40) 와 부착 장치 (50) 중 적어도 2 개 이상의 장치를 동일한 작업실 내부에 배치하고, 유기 재료층의 형성과 봉지 재료층의 형성과 기판 (7a, 7b) 의 부착 및 고정 중 2 개 이상의 공정을 동일한 작업실 내부에서 실시해도 된다.
특히, 봉지 재료 공급 장치 (40) 와 부착 장치 (50) 와 같이, 연속하여 실시하는 공정에 사용하는 장치를 동일한 작업실 내부에 배치하면, 기판 (7a, 7b) 의 반출입에 필요로 하는 시간이 단축될 뿐만 아니라, 기판 (7a, 7b) 이 외부 분위기에 노출될 위험성이 낮아지기 때문에 보다 바람직하다.
이 경우, 작업실 내부에 기판 (7a, 7b) 을 반출하는 반출 로봇을 형성하여, 작업실 내부에서 기판을 반송하도록 해도 된다.
또한, 작업실 (11a ～ 11c) 의 벽을 가열하면서, 작업실 (11a ～ 11c) 의 내부를 연속 배기하고, 건조 가스를 공급하지 않고 작업실 (11a ～ 11b) 을 가열해도 된다. 그러나, 전술한 바와 같이, 이 경우에는 불순물의 제거 효율은 저하된다.
또, 건조 가스를 공급하는 가스 공급계와 배기계를 반송실 (31a ～ 31c) 과 카세트실 (36a ～ 36c) 중 어느 일방 또는 양방에 접속시켜도 된다.
기판 (7a, 7b) 을 작업실 (11a ～ 11c) 로 반입하기 전에, 반송실 (31a ～ 31c) 과 카세트실 (36a ～ 36c) 의 내부를 배기하면서 건조 가스를 공급해 두면, 기판 (7a, 7b) 을 작업실 (11) 로 반입할 때에, 반송실 (31a ～ 31) 이나 카세트실 (36a ～ 36c) 로부터 들어가는 불순물 가스의 양이 적어진다.

Claims (13)

  1. 작업실과,
    상기 작업실의 내부에 배치된 기판의 표면에, 액체를 토출하는 잉크젯 프린터를 갖고,
    상기 작업실의 내부 공간을 외부 분위기와 차단할 수 있도록 구성된 유기 EL 장치의 제조 장치를 사용하여,
    상기 작업실의 내부에 기판을 반입하는 기판 반입 공정과,
    상기 잉크젯 프린터로부터 원료액을 토출하고, 상기 기판의 표면에 착탄시켜 유기 재료층을 형성하는 유기 재료층 형성 공정을 갖는 유기 EL 장치의 제조 방법으로서,
    상기 기판 반입 공정 전에,
    상기 작업실의 벽을 가열하여, 상기 벽으로부터 불순물 가스를 방출시키는 가열 공정과,
    상기 벽을 가열하면서, 상기 작업실 내에 건조 가스를 공급하고, 상기 작업실 내를 배기하여, 상기 작업실 내의 상기 불순물 가스를 상기 건조 가스로 치환하는 제 1 가스 치환 공정과,
    상기 벽의 가열을 종료시키고, 상기 건조 가스를 상기 작업실 내에 공급하면서, 상기 작업실 내의 배기를 계속하여, 상기 벽의 온도를 낮추고, 상기 작업실 내에 건조시킨 작업 분위기를 형성하는 제 2 가스 치환 공정을 갖는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 가스 치환 공정에서는, 상기 작업실 내에 가열된 상기 건조 가스를 공급하고,
    상기 제 2 가스 치환 공정에서는, 상기 건조 가스의 가열을 종료시키고, 상기 건조 가스를 가열하지 않고 상기 작업실 내에 공급하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 기판 반입 공정에서는, 상기 작업 분위기를 유지하면서, 상기 작업실에 기밀하게 접속된 반송실로부터 상기 작업실 내로 상기 기판을 반입하고,
    상기 유기 재료층 형성 공정에서는, 상기 작업실의 내부에 상기 작업 분위기를 유지하고,
    상기 유기 재료층 형성 공정 후에, 상기 기판을 상기 작업실로부터 상기 반송실로 반출하는 기판 반출 공정을 갖는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  5. 작업실과,
    상기 작업실 내에 배치된 기판에 봉지 재료를 배치하는 봉지 재료 공급 장치를 갖고,
    상기 작업실의 내부 공간을 외부 분위기로부터 차단할 수 있도록 구성된 유기 EL 장치의 제조 장치를 사용하여,
    상기 작업실의 내부에 기판을 반입하는 기판 반입 공정과,
    상기 봉지 재료 공급 장치로부터 상기 봉지 재료를 압출하여, 상기 기판 표면에 도포하고, 봉지 재료층을 형성하는 봉지 재료층 형성 공정을 갖는 유기 EL 장치의 제조 방법으로서,
    상기 기판 반입 공정 전에,
    상기 작업실의 벽을 가열하여, 상기 벽으로부터 불순물 가스를 방출시키는 가열 공정과,
    상기 벽을 가열하면서, 상기 작업실 내에 건조 가스를 공급하고, 상기 작업실 내를 배기하여, 상기 작업실 내의 상기 불순물 가스를 상기 건조 가스로 치환하는 제 1 가스 치환 공정과,
    상기 벽의 가열을 종료시키고, 상기 건조 가스를 상기 작업실 내에 공급하면서, 상기 작업실 내의 배기를 계속하여, 상기 벽의 온도를 낮추고, 상기 작업실 내에 건조시킨 작업 분위기를 형성하는 제 2 가스 치환 공정을 갖는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  6. 삭제
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 가스 치환 공정에서는, 상기 작업실 내에 가열된 상기 건조 가스를 공급하고,
    상기 제 2 가스 치환 공정에서는, 상기 건조 가스의 가열을 종료시키고, 상기 건조 가스를 가열하지 않고 상기 작업실 내에 공급하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  8. 제 5 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 기판 반입 공정에서는, 상기 작업 분위기를 유지하면서, 상기 작업실에 기밀하게 접속된 반송실로부터 상기 작업실 내로 상기 기판을 반입하고,
    상기 봉지 재료층 형성 공정에서는, 상기 작업실의 내부에 상기 작업 분위기를 유지하고,
    상기 봉지 재료층 형성 공정 후에, 상기 기판을 상기 작업실로부터 상기 반송실로 반출하는 기판 반출 공정을 갖는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  9. 작업실과, 부착 장치를 갖고,
    상기 부착 장치는, 제 1 기판을 유지하는 제 1 유지 수단과,
    제 2 기판을 유지하는 제 2 유지 수단과,
    상기 제 1, 제 2 유지 수단을 상대적으로 이동시켜, 상기 제 1, 제 2 기판을 부착시키는 이동 수단을 갖고,
    상기 작업실의 내부 공간을 외부 분위기로부터 차단할 수 있도록 구성된 유기 EL 장치의 제조 장치를 사용하여,
    상기 작업실의 내부에 상기 제 1, 제 2 기판을 반입하고, 서로의 표면이 대향하도록 향해진 상태에서, 상기 제 1, 제 2 유지 수단으로 유지시키는 기판 반입 공정과,
    상기 이동 수단에 의해, 상기 제 1 , 제 2 유지 수단을 상대적으로 이동시키고, 상기 제 1 , 제 2 기판을 가까이하여, 부착시키는 부착 공정을 갖는 유기 EL 장치의 제조 방법으로서,
    상기 기판 반입 공정 전에,
    상기 작업실의 벽을 가열하여, 상기 벽으로부터 불순물 가스를 방출시키는 가열 공정과,
    상기 벽을 가열하면서, 상기 작업실 내에 건조 가스를 공급하고, 상기 작업실 내를 배기하여, 상기 작업실 내의 상기 불순물 가스를 상기 건조 가스로 치환하는 제 1 가스 치환 공정과,
    상기 벽의 가열을 종료시키고, 상기 건조 가스를 상기 작업실 내에 공급하면서, 상기 작업실 내의 배기를 계속하여, 상기 벽의 온도를 낮추고, 상기 작업실 내에 건조시킨 작업 분위기를 형성하는 제 2 가스 치환 공정을 갖는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 기판 반입 공정 후, 상기 부착 공정 전에 상기 제 1, 제 2 기판의 상대적인 위치 정보를 검출하고, 상기 검출한 위치 정보에 기초하여, 상기 제 1, 제 2 유지 수단을 상대적으로 이동시키고, 상기 제 1, 제 2 기판을 위치 맞춤하는 위치 맞춤 공정을 갖는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  11. 삭제
  12. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 가스 치환 공정에서는, 상기 작업실 내에 가열된 상기 건조 가스를 공급하고,
    상기 제 2 가스 치환 공정에서는, 상기 건조 가스의 가열을 종료시키고, 상기 건조 가스를 가열하지 않고 상기 작업실 내에 공급하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  13. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
    상기 기판 반입 공정에서는, 상기 작업 분위기를 유지하면서, 상기 작업실에 기밀하게 접속된 반송실로부터 상기 작업실 내로 상기 제 1, 제 2 기판을 반입하고,
    상기 부착 공정에서는, 상기 작업실의 내부에 상기 작업 분위기를 유지하고,
    상기 부착 공정 후에, 부착된 상기 제 1, 제 2 기판을 상기 작업실로부터 상기 반송실로 반출하는 기판 반출 공정을 갖는 유기 EL 장치의 제조 방법.
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