CN101682954A - 有机el装置的制造装置 - Google Patents
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Abstract
制造寿命较长的有机EL装置。本发明的制造装置(1～3)在进行有机材料层的形成、封固材料层的形成、基板(7a、7b)的贴合等的作业室(11a～11c)中安装有加热装置(12a～12b)。在进行作业之前，预先通过加热装置(12a～12c)将作业室(11a～11c)的壁加热，将附着在内壁面上的水等杂质气体去除，将作业室(11)排气而将去除的杂质气体排出。作业在排出了杂质气体的气体环境下进行，所以杂质气体不会混入到有机EL装置中。
Description
技术领域
本发明涉及有机EL显示器等有机EL装置的制造装置。
背景技术
有机EL材料容易在水或氧的作用下化学劣化，所以提出了在从外部气体环境隔断的作业室内部进行通过喷墨打印机的有机EL材料的涂敷工序、通过吐出装置的封固材料的涂敷工序、还有基板的贴合工序等各工序的方法。
在进行各工序之前，将作业室的内部排气、以及/或将干燥气体导入到作业室的内部而将作业室的内部空间用干燥气体置换，将水或氧等杂质气体除去。
但是，即使作业室内部或进行了干燥气体的导入，杂质气体也会附着残留在作业室的内壁面上，所以不能完全地除去。
没有被除去而残留的杂质气体在作业中蒸发而被释放到内部空间中，混入到有机材料层中。
因而，在以往的制造装置中，难以不混入杂质气体而制造有机EL装置。
专利文献1：特开2004-174659号公报
发明内容
本发明是为了解决上述课题而做出的，其目的是提供一种能够不混入杂质气体而制造有机EL装置的制造装置。
为了使有机EL装置的寿命变长，需要在露点-76℃(水分浓度1ppm)以下的气体环境中进行作业。
在室温的条件下，在想要通过同时进行作业室内部的排气和干燥氮气的供给将残留在作业室内部的水排出时(作业室内部维持为大气压)，在60小时后达到露点-75℃，然后露点不下降，即使经过300小时也是露点-75℃的状态，达不到露点-76℃。
本发明者等将加热器卷绕到作业室的外壁上，用加热器将壁加热后，进行作业室内部的排气和干燥氮气的供给时，通过进行白天8小时的加热、夜间冷却(以及排气和干燥气体的供给)，在48小时后达到露点-76.6℃，在72小时后达到了露点-77.5℃。
这样，与不将作业室加热的情况相比，在将作业室加热的情况下，能够在短时间内降低露点。
基于有关的认识而做出的本发明是一种有机EL装置的制造装置，是具有作业室、和对配置在上述作业室的内部的基板的表面吐出液体的喷墨打印机、能够将上述作业室的内部空间与外部气体环境隔断而构成的有机EL装置的制造装置，具有将上述作业室加热的加热装置。
本发明是一种有机EL装置的制造装置，上述加热装置具有安装在上述作业室的壁上的作业室加热机构、和对上述作业室内供给加热气体的加热气体供给装置的任意其一或两者。
本发明是一种有机EL装置的制造装置，上述加热气体供给装置具有连接在上述供给室上的气体供给系统；作为上述加热气体而供给干燥气体。
本发明是一种有机EL装置的制造装置，具有输送室、和配置在上述输送室内部的输送机械手；上述输送室气密地连接到上述作业室。
本发明是一种有机EL装置的制造装置，是具有作业室、和在配置在上述作业室内的基板上配置封固材料的封固材料供给装置、能够将上述作业室的内部空间与外部气体环境隔断而构成的有机EL装置的制造装置，具有将上述作业室加热的加热装置。
本发明是一种有机EL装置的制造装置，上述加热装置具有安装在上述作业室的壁上的作业室加热机构、和对上述作业室内供给加热气体的加热气体供给装置的任意其一或两者。
本发明是一种有机EL装置的制造装置，上述加热气体供给装置具有连接在上述供给室上的气体供给系统；作为上述加热气体而供给干燥气体。
本发明是一种有机EL装置的制造装置，具有输送室、和配置在上述输送室内部的输送机械手；上述输送室气密地连接到上述作业室。
本发明是一种有机EL装置的制造装置，是具有作业室和贴合装置、上述贴合装置具有保持第一基板的第一保持机构、保持第二基板的第二保持机构、和使上述第一、第二保持机构相对地移动、使上述第一、第二基板贴合的移动机构、能够将上述作业室的内部空间与外部气体环境隔断而构成的有机EL装置的制造装置，具有将上述作业室加热的加热装置。
本发明是一种有机EL装置的制造装置，具有检测上述第一、第二基板的相对的位置信息的对位机构；上述移动机构基于上述对位机构检测到的位置信息，使上述第一、第二保持机构在水平面内相对地移动。
本发明是一种有机EL装置的制造装置，上述加热装置具有安装在上述作业室的壁上的作业室加热机构、和对上述作业室内供给加热气体的加热气体供给装置的任意其一或两者。
本发明是一种有机EL装置的制造装置，上述加热气体供给装置具有连接在上述供给室上的气体供给系统；作为上述加热气体而供给干燥气体。
本发明是一种有机EL装置的制造装置，具有输送室、和配置在上述输送室内部的输送机械手；上述输送室气密地连接到上述作业室。
另外，在本发明中，所谓的设置作业室加热机构的作业室的壁，包括作业室的顶板、底面及侧壁的全部。作业室加热机构也可以设置在作业室的外壁面上，也可以设置在内壁面上。
进而，也可以将作业室加热机构埋设在作业室的壁中，但如果考虑到作业室加热机构的维护的简便性，则优选地安装在内壁面或外壁面上。此外，如果考虑到杂质气体的除去效率，则优选地将作业室加热机构安装在作业室的内壁面上。
根据本发明，由于附着在作业室的壁面上的杂质气体被加热除去，所以在作业室中不会残留杂质气体。由于在制造工序中没有混入杂质气体，所以有机EL装置的寿命变长。
附图说明
图1是说明第一制造装置的示意性的剖视图。
图2是说明第二制造装置的示意性的剖视图。
图3是说明第三制造装置的示意性的剖视图。
附图标记说明
1～3 制造装置(第一～第三制造装置) 7a、7b 基板
加热装置 12a～12c 15a～15c 作业室加热机构
16a～16c 加热气体供给装置 17a～17c 气体供给系统
20 喷墨打印机 40 封固材料供给装置 50 贴合装置
51 第一保持机构 52 第二保持机构
55 移动机构 56 对位机构
具体实施方式
图1～图3的附图标记1～3分别表示本发明的第一～第三有机EL装置的制造装置。对于第一～第三制造装置1～3的相同的部件，对相同的附图标记附加添加字a～c而区别。
第一～第三制造装置1～3分别具有输送室31a～31c、作业室11a～11c、和盒室36a～36c。
作业室11a～11c和盒室36a～36c经由门8a～8c、9a～9c连接在输送室31a～31c上，如果将门8a～8c、9a～9c打开，则内部空间分别连接到输送室31a～31c的内部空间。
在盒室36a～36c上设有未图示的送入送出口，如果将送入送出口打开，则能够将收容有基板的盒送入送出，如果将送入送出口关闭，则将盒室36a～36c的内部空间从外部隔断。
在输送室31a～31c的内部配置有输送基板的输送机械手35a～35c，构成为，如果将门8a～8c、9a～9c打开，则能够通过输送机械手35a～35c在作业室11a～11c与盒室36a～36c之间输送基板。因而，基板不暴露在外部气体环境中而通过输送室31a～31c在作业室11a～11c与盒室36a～36c之间被输送。
在作业室11a～11c上安装有加热装置12a～12c，通过加热装置12a～12c将作业室11a～11c加热。
加热装置12a～12c具有将作业室11a～11c的壁加热的作业室加热机构15a～15c、和对作业室11a～11c的内部供给加热气体的加热气体供给装置16a～16c的任意其一或两者。
作业室加热机构15a～15c紧贴安装在作业室11a～11c的壁上。
这里，作业室加热机构15a～15c在作业室11a～11c的内侧安装在作业室11a～11c的侧壁和顶板上，但作业室加热机构15a～15c的安装场所并没有特别限定。
作业室加热机构15a～15c设置在作业室11a～11c的顶板、底壁、侧壁中的一个部位以上即可。此外，作业室加热机构15a～15c也可设置在作业室11a～11c的内侧(内壁面)和外侧(外壁面)的任一个或两者上。
作业室加热机构15a～15c具有加热器(例如护套式加热器)、或者温水循环管，如果对加热器通电、或者使温水通过温水循环管内，则作业室11a～11c的壁的安装有作业室加热机构15a～15c的部分被加热。
作业室11a～11c的壁由金属那样的热传导物质(例如不锈钢)构成。如果作业室11a～11c的安装有作业室加热机构15a～15c的部分被加热，则作业室11a～11c的整个壁通过热传导而升温。
如果作业室11a～11c的壁升温，则附着在作业室11a～11c的内壁面上的水或氧成为气体(包括蒸气)而被释放到作业室11a～11c的内部空间中。在作业室11a～11c上连接着排气系统19a～19c，能够将气体从作业室11a～11c内部空间排出。
加热气体供给装置16a～16c具有气体供给系统17a～17c、和气体加热机构14a～14c。
气体供给系统17a～17c具有配置有干燥气体(例如干燥氮)的箱41a～41c、和一端连接在箱41a～41c上、另一端气密地插通在作业室11a～11c内的配管42a～42c。
气体加热机构14a～14c安装在箱41a～41c和配管42a～42c的任意其一或两者上。
气体加热机构14a～14c例如是加热器，如果对气体加热机构14a～14c通电，则配置在箱41a～41c中的干燥气体在从箱41a～41c向作业室11a～11c内移动的期间中被加热。因而，对于作业室11a～11c的内部供给被加热的干燥气体(加热气体)。
作业室11a～11c的内壁面接触到被加热的干燥气体而被加热，附着在作业室11a～11c的内壁面上的水或氧成为气体而被释放。被释放出的气体被加热后的干燥气体推压而流动，所以被排气系统19a～19c高效率地排出到作业室11a～11c的外部。
作业室加热机构15a～15c、加热气体供给装置16a～16c也可以仅使用任意其一，但附着在作业室11a～11c的内壁面上的水或氧的排出效率较高。
另外，这里，在配管42a～42c中的、箱41a～41c与作业室11a～11c之间的部分设有直通式过滤器18a～18c，即使在箱41a～41c中混入了微粒子或杂质气体，也被直通式过滤器18a～18c除去。
接着，对使用第一例～第三制造装置1～3制造有机EL装置的工序进行说明。
在开始有机EL装置的制造之前，将第一例～第三制造装置1～3的作业室11a～11c从外部气体环境隔断，将作业室11a～11c的壁加热，释放出水或氧。
一边将作业室11a～11c的壁加热，一边从加热气体供给装置16a～16c供给被加热的干燥气体，同时进行通过排气系统19a～19c的排气，将作业室11a～11c的内部的气体置换。
此时，如果设定排气系统19a～19c的排气速度、和干燥气体的供给量，以使作业室11a～11c的内部压力比大气压稍稍正压，则能够防止来自外部的水分、氧的混入。
但是，在作业室11a～11c内处理有毒物质的情况下，如果设定排气系统19a～19c的排气速度、和干燥气体的供给量，以使作业室11a～11c的内部压力比大气压稍稍负压，则能够防止从作业室11a～11c向外部的有毒物质的泄漏。
无论如何，通过将作业室11a～11c内部保持为大气压附近的压力，由作业室11a～11c内的气体(被加热后的干燥气体)的热传导连作业室11a～11c内部的角落都加温到，能够促进水分等杂质的脱离，能够使作业室11a～11c内部的气体环境迅速地变干燥。
另外，如果进行排气以使作业室11a～11c内部成为真空，则仅被来自作业室加热机构15a～15c的热放射加温，所以遮挡的部分不加温，杂质不从这些部分脱离，不能使作业室11a～11c的内部变干燥。
将作业室11a～11c的壁加热的加热时间是多少都可以，但1个周期的加热优选的是8小时以上。如果加热时间较少，则不能加温到作业室11a～11c内的角落，不能充分地使杂质脱离。
在将作业室11a～11c充分加热后，使作业室加热机构15a～15c和气体加热机构14a～14c停止，结束作业室11a～11c的壁的加热和干燥气体的加热。
一边将干燥气体不加热而供给到作业室11a～11c中、一边继续作业室11a～11c的排气，通过作业室11a～11c的壁的温度下降，能够使作业室11a～11c内部的气体环境变干燥(气体置换工序)。
在作业室11a～11c内部的气体环境没有到达露点-76℃(水分浓度1ppm)、或者作业者希望的水平的情况下，将加热工序和气体置换工序重复2次以上，使气体环境变干燥。
将在表面上形成有电极或晶体管等的基板收容在盒中，将该盒配置在第一制造装置1的盒室36a的内部。
在第一制造装置1的作业室11a的内部，配置有载物台21和喷墨打印机20。
喷墨打印机20具有印刷头25，印刷头25由保持机构26在载物台21的上方从载物台21离开而配置。
一边将作业室11a内排气，一边将干燥气体不加热而供给，维持干燥的作业气体环境。一边维持该作业气体环境，一边将基板从盒室36a送入到作业室11a内部，将该基板配置在载物台21上，将门9a关闭而将作业室11a的内部空间从输送室31a隔断。
图1表示在载物台21上配置有基板7a的状态。
印刷头25连接在有机材料供给系统28上，从有机材料供给系统28将含有有机材料(发光材料、电荷输送材料、电子输送材料、色素等)的原料液供给到印刷头25。
印刷头25和载物台21的任意其一或两者安装在未图示的移动机构上。
使印刷头25和载物台21的任意其一或两者移动，使载物台21上的基板7a与印刷头25相对地移动。在印刷头25的喷嘴孔位于基板7a的表面的规定位置上时从喷嘴孔吐出原料液，弹着在基板7a表面上，形成有机材料层。
在形成有机材料层的期间中，如果在作业室11a～11c的内部维持上述作业气体环境，则在有机材料层中不会混入水分或氧等，膜室不会劣化。
反复进行移动和吐出，在基板7a的规定位置上形成完有机材料层之后，使基板7a从作业室11a送回到盒室36a中，收容在盒中，将新的基板7a从盒室36a送入到作业室11a中而更换基板7a。
反复进行有机材料层的形成和基板7a的更换，在规定片数的基板7a上形成有机材料层之后，将盒从盒室36a取出。
将该盒直接从第一制造装置1送入到第二制造装置2的盒室36b中。或者在从第一制造装置1向其他装置送入而对各基板7a进行处理后，向第二制造装置2的盒室36b送入。在将盒送入到盒室36b中之后，将该盒室36b从外部气体环境隔断。
在第二制造装置2的作业室11b内部，配置有载物台38和封固材料供给装置40。
一边将作业室11b排气，一边将干燥气体不加热而供给，形成干燥的作业气体环境。维持着该作业气体环境，将形成了有机材料层的基板7a从盒室36b送入到作业室11b中，配置到载物台38上。
封固材料是糊状或固体状。这里，封固材料是糊状，封固材料供给装置40具有分配器45，分配器45连接在封固材料供给系统41上，被供给糊状的封固材料。
分配器45、载物台38的任意其一或两者连接在未图示的移动机构上。
一边使分配器45和载物台38的任意其一或两者移动、使载物台38上的基板7a与分配器45相对地移动，一边从分配器45的喷嘴孔将封固材料推压出而涂敷到基板7a表面上，以包围基板7a表面的形成有各有机材料层的区域(发光区域)的方式形成环状的封固材料层。
如果在形成封固材料层的期间中维持上述作业气体环境，则形成在基板7a表面上的有机材料层不会劣化。
另外，在封固材料是固体的情况下(例如是棒状)，封固材料供给装置40在比发光区域靠外侧，沿着发光区域的边缘在基板7a表面上配置封固材料，形成包围发光区域的封固材料层。
将形成有封固材料层的状态的基板7a与新的基板7a更换，反复进行封固材料层的形成和基板7a的更换，在规定片数的基板7a上形成封固材料层时将盒取出。
在将收容有形成了封固材料层的基板7a的盒、和收容有贴合对象的基板的盒配置在第三制造装置3的盒室36c的内部之后，将盒室36c从外部气体环境隔断。
一边将作业室11c内排气，一边将干燥气体不加热而供给，形成干燥的作业气体环境。维持着该作业气体环境，将形成了封固材料层的基板7a和贴合对象的基板从盒室36c送入到作业室11c内部。
在第三制造装置3的作业室11c内部配置有贴合装置50，贴合装置50具有第一、第二保持机构51、52、对位机构56、和移动机构55。
将形成有封固材料层的基板7a和贴合对象的基板在形成有封固材料层的一侧的面与被贴合的一侧的面对置面对的状态下保持在第一、第二保持机构51、52上。
图3表示基板7a、7b保持在第一、第二保持机构51、52上的状态。
该状态的基板7a、7b的朝向及配置没有特别限定，但在封固材料层与基板7a的粘接性较低的情况下，将配置有封固材料层的一侧的面朝向上侧而将基板7a大致水平配置，将贴合对象的基板7b使被贴合的一侧的面朝向下侧而配置在该基板7a上。
对位机构56例如是CCD照相机等，观察保持在第一、第二保持机构51、52上的基板7a、7b，检测其位置信息。
移动机构55、对位机构56连接在控制装置59上，对位机构56检测到的位置信息被传递给控制装置59。
移动机构55构成为，能够使第一、第二保持机构51、52的任意其一或两者在水平面内移动及旋转。被保持在第一、第二保持机构51、52上的基板7a、7b与第一、第二保持机构51、52一起移动，所以基板7a、7b在水平面内相对地移动或旋转。
控制装置59基于传递到的位置信息，使移动机构55动作，使基板7a、7b在水平面内旋转及/或移动，将基板7a、7b对位。
移动机构55构成为，除了水平方向的移动和旋转以外，还能够使第一、第二保持机构51、52的任意其一或两者在上下方向上也相对地移动。
控制装置59在将基板7a、7b对位的状态下使第一、第二保持机构51、52上下相对地移动，使基板7a、7b接近，使封固材料层紧贴在贴合对象的基板7b上，将基板7a、7b夹着封固材料层贴合。
在第三制造装置3的作业室11c内部配置有未图示的硬化机构。
硬化机构在封固材料层含有紫外线硬化型树脂的情况下对封固材料层照射紫外线，在含有热硬化性树脂的情况下将封固材料层加热，使封固材料层中的树脂聚合而硬化。
此外，在封固材料层含有玻璃或热塑性树脂等熔融材料的情况下，硬化机构将封固材料层加热熔融，提高与基板7a、7b的紧贴性之后，将封固材料层冷却(包括自然冷却)而使其固化。
因而，基板7a、7b被硬化或固化的封固材料层相互固定。
将固定了基板7a、7b的状态的有机EL装置从作业室11c向盒室36c送出，将新的基板7a、7b送入到作业室11c中。
反复进行将基板7a、7b贴合固定的工序、有机EL装置的送出、和新的基板7a、7b的送入，将规定片数的基板7a、7b贴合而制作有机EL装置后，如果将盒从盒室36c取出，就将有机EL装置取出到外部。
在将基板7a、7b贴合固定的工序、有机EL装置的送出、和新的基板7a、7b的送入等的所有工序中，如果维持上述作业气体环境， 形成在基板7a上的有机材料层不会劣化。
如上所述，由于封固材料层形成为包围形成了有机材料层的发光区域的环状，所以有机材料层被基板7a、7b和硬化或固化的封固材料层包围。因而，有机材料层被从外部气体环境隔断，水分或氧不会进入。
并且，如上所述，形成有机材料层的工序、形成封固材料层的工序、和将基板7a、7b贴合固定的工序在预先除去了水等杂质气体的作业室11a～11c的内部进行，所以在制造工序中杂质气体不会混入到有机材料层中。
因而，不会发生杂质气体带来的有机材料层的劣化，有机EL装置的寿命变长。
如果继续有机EL装置的制造，则需要例如印刷头25或分配器45的清洗或更换、原料液向有机材料供给系统28的填充等、作业室11a～11c内部的维护。在进行作业室11a～11c内部的维护时，将基板7a、7b送出，暂时将有机EL装置的制造停止。
在进行维护作业时，通常将作业室11a～11c的内部空间连接到外部气体环境，所以大气进入到作业室11a～11c的内部，大气中的水或氧等杂质附着在作业室11a～11c的内壁面上。
在维护结束后，至少在将基板7a、7b送入到作业室11a～11c中之前，如上所述，一边将作业室11a～11c加热一边置换气体，直到作业室11内部的气体环境达到露点-76℃(水分浓度1ppm)、或作业者希望的水平，形成作业气体环境。
另外，也可以在从维护结束到开始作业室11a～11c的壁的加热的期间、或者开始作业室11a～11c的壁的加热后规定时间，不供给干燥气体而将作业室11a～11c内部排气。
在此情况下，通过最初的1次气体置换能够将进入到作业室11a～11c内部的大气的大部分置换，效率较好。但是，然后优选地如上述那样一边将作业室11a～11c的壁加热一边进行排气和干燥气体的供给，将作业室11a～11c内部的气体置换为干燥气体。
也可以一边将作业室11a～11c的壁用作业室加热机构15a～15c加热一边将干燥气体不加热而供给。进而，也可以通过不用作业室加热机构15a～15c加热而供给加热后的干燥气体来将作业室11加热。
在哪种情况下，都在作业室11a～11c加热结束后，一边将作业室11a～11c排气，一边将干燥气体不加热而供给，形成作业气体环境。
形成该作业气体环境后，将基板7a、7b送入，再开始有机材料层的形成、封固材料层的形成、以及基板7a、7b的贴合。
另外，在印刷头25与有机材料供给系统28、以及分配器45与封固材料供给系统41之间分别设有阀29、49。
在将作业室11a～11c排气以使其成为比大气压低的减压气体环境(包括真空气体环境)的情况下，将阀29、49关闭，供给干燥气体，在作业室11a～11c的内部空间上升到规定压力以上后，将阀29、49打开，如果对印刷头25或分配器45供给原料液或封固材料，则在排气过程中不将原料液或封固材料喷出到作业室11a～11c的内部空间中。
干燥气体并不限于干燥氮气，只要是不使有机材料化学劣化的气体就可以，可以使用Ar气等各种气体。例如，在氧的存在不成为问题的情况下，也可以使用含有氧的干燥气体(例如干燥空气)。这些干燥气体既可以仅将1种供给到作业室11a～11c中，也可以将两种以上供给到作业室11a～11c中。
此外，在加热作业室11a～11c时供给的加热气体、和在加热结束后形成作业气体环境时供给的作业用气体中，既可以改变干燥气体的种类，也可以设为相同。
作业室11a～11c的壁优选地由热传导性较高的物质构成，但也可以将玻璃等透明板嵌入到至少一部分中而制作观察窗。
作业室11a～11c的加热优选的是加热以使得壁温度成为60℃以上80℃以下。如果不到60℃则不能充分地进行水分除去，如果超过80℃，则在安全性方面发生问题。
作业室11a～11c的加热也可以不仅在将基板7a、7b送入到作业室11a～11c中之前、也在将基板配置在作业室11a～11c中的状态下进行。但是，在基板7a、7b上形成有有机EL层等耐热性较低的膜的情况下，需要在将基板7a、7b送入之前结束加热，使作业室11a～11c的内部温度降低到规定温度(例如不会使构成有机EL层的有机材料分解的温度)以下。
进而，也可以将第一～第三制造装置1～3连接在未图示的输送室上，能够经由该输送室将基板7a、7b不暴露在大气中而在第一～第三制造装置1～3间输送。
以上，对于形成有机材料层后在基板7a上形成封固材料层的情况进行了说明，但本发明并不限于此，也可以在通过第二制造装置2形成封固材料层之后用第一制造装置1形成有机材料层。
此外，也可以不在形成有机材料层的基板7a上设置封固材料层，而在贴合对象的基板7b上配置封固材料层，将基板7a、7b彼此贴合，也可以在形成有机材料层的基板7a与贴合对象的基板7b两者上配置封固材料层之后将基板7a、7b彼此贴合。
基板7a、7b的材质也没有特别限定，可以使用玻璃基板、塑料基板、陶瓷基板等。
在作业室11a～11c内部处理基板7a～7c时的压力并没有特别限定，优选地设为大气压，以使得在形成有机材料层时印刷头25的喷嘴的弯液面不会紊乱，在将基板7a、7c贴合时，优选地在比大气压低的压力的作业气体环境下进行。
以上，对在各个作业室11a～11c内部进行有机材料层的形成、封固材料层的形成、和基板7a、7b的贴合及固定的情况进行了说明，但本发明并不限于此。
也可以将喷墨打印机20、封固材料供给装置40、贴合装置50中的至少两个以上的装置配置在相同的作业室内部，在相同的作业室内部进行有机材料层的形成、封固材料层的形成、和基板7a、7b的贴合及固定中的两个以上的工序。
特别是，如果将如封固材料供给装置40和贴合装置50那样、用于连续进行的工序的装置配置在相同的作业室内部，则不仅基板7a、7b的送入送出所需要的时间被缩短，而且基板7a、7b暴露在外部气体环境中的危险性变低，所以更为优选。
在此情况下，也可以在作业室内部设置将基板7a、7b送出的送出机械手，在作业室内部输送基板。
进而，也可以一边将作业室11a～11c的壁加热，一边将作业室11a～11c的内部连续排气，不供给干燥气体而将作业室11a～11c加热。但是，如上所述，在此情况下杂质的除去效率下降。
此外，也可以将供给干燥气体的气体供给系统和排气系统连接到输送室31a～31c、和盒室36a～36c的任意其一或两者上。
如果在将基板7a、7b送入到作业室11a～11c中之前一边将输送室31a～31c和盒室36a～36c的内部排气一边供给干燥气体，则在将基板7a、7b送入到作业室11中时，从输送室31a～31或盒室36a～36c进入的杂质气体的量变少。
Claims (13)
1、一种有机EL装置的制造装置，是具有作业室、和对配置在上述作业室的内部的基板的表面吐出液体的喷墨打印机、能够将上述作业室的内部空间与外部气体环境隔断而构成的有机EL装置的制造装置，其特征在于，
具有将上述作业室加热的加热装置。
2、如权利要求1所述的有机EL装置的制造装置，其特征在于，
上述加热装置具有安装在上述作业室的壁上的作业室加热机构、和对上述作业室内供给加热气体的加热气体供给装置的任意其一或两者。
3、如权利要求2所述的有机EL装置的制造装置，其特征在于，
上述加热气体供给装置具有连接在上述供给室上的气体供给系统；
作为上述加热气体而供给干燥气体。
4、如权利要求1所述的有机EL装置的制造装置，其特征在于，
具有输送室、和配置在上述输送室内部的输送机械手；
上述输送室气密地连接到上述作业室。
5、一种有机EL装置的制造装置，是具有作业室、和在配置在上述作业室内的基板上配置封固材料的封固材料供给装置、能够将上述作业室的内部空间与外部气体环境隔断而构成的有机EL装置的制造装置，其特征在于，
具有将上述作业室加热的加热装置。
6、如权利要求5所述的有机EL装置的制造装置，其特征在于，
上述加热装置具有安装在上述作业室的壁上的作业室加热机构、和对上述作业室内供给加热气体的加热气体供给装置的任意其一或两者。
7、如权利要求6所述的有机EL装置的制造装置，其特征在于，
上述加热气体供给装置具有连接在上述供给室上的气体供给系统；
作为上述加热气体而供给干燥气体。
8、如权利要求5所述的有机EL装置的制造装置，其特征在于，
具有输送室、和配置在上述输送室内部的输送机械手；
上述输送室气密地连接到上述作业室。
9、一种有机EL装置的制造装置，是具有作业室和贴合装置、上述贴合装置具有保持第一基板的第一保持机构、保持第二基板的第二保持机构、和使上述第一、第二保持机构相对地移动、使上述第一、第二基板贴合的移动机构、能够将上述作业室的内部空间与外部气体环境隔断而构成的有机EL装置的制造装置，其特征在于，
具有将上述作业室加热的加热装置。
10、如权利要求9所述的有机EL装置的制造装置，其特征在于，
具有检测上述第一、第二基板的相对的位置信息的对位机构；
上述移动机构基于上述对位机构检测到的位置信息，使上述第一、第二保持机构在水平面内相对地移动。
11、如权利要求9所述的有机EL装置的制造装置，其特征在于，
上述加热装置具有安装在上述作业室的壁上的作业室加热机构、和对上述作业室内供给加热气体的加热气体供给装置的任意其一或两者。
12、如权利要求11所述的有机EL装置的制造装置，其特征在于，
上述加热气体供给装置具有连接在上述供给室上的气体供给系统；
作为上述加热气体而供给干燥气体。
13、如权利要求9所述的有机EL装置的制造装置，其特征在于，
具有输送室、和配置在上述输送室内部的输送机械手；
上述输送室气密地连接到上述作业室。
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