KR101138250B1

KR101138250B1 - The walking beam device for solar cell wafer

Info

Publication number: KR101138250B1
Application number: KR1020090077402A
Authority: KR
Inventors: 주세진
Original assignee: 주식회사 포틱스
Priority date: 2009-08-21
Filing date: 2009-08-21
Publication date: 2012-04-24
Also published as: KR20110019826A

Abstract

본 발명은 솔라 셀 웨이퍼의 워킹 빔 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a working beam device of a solar cell wafer.

이러한 본 발명의 솔라 셀 웨이퍼의 워킹 빔 장치는, 웨이퍼 로드/언로드 시스템 중 매거진 클램프 및 엘리베이터를 통해 공급되는 카세트 매거진으로부터 수용된 각각의 웨이퍼를 꺼내 베이스플레이트에 고정된 웨이퍼 가이드에 이송 배열시키는 워킹 빔 장치에 있어서,The working beam device of the solar cell wafer of the present invention is a working beam device that takes out each wafer received from the magazine magazine and the cassette magazine supplied through the elevator in the wafer load / unload system and transfers them to the wafer guide fixed to the base plate. To

상기 워킹 빔 장치는, 베이스플레이트 상단에 서로 이격되게 설치 고정되는 웨이퍼 가이드와; 상기 웨이퍼 가이드 사이에 설치되며, 구동모터와 벨트 연결되는 전,후방회동캠의 편심회전 시 상기 전,후방회동캠의 각 일단에 연결된 전,후방 크랭크 수단 중 상기 전,후방회동캠의 전,후방크랭크핀에 결합된 전,후방링크대에 의해 전,후방슬라이드부재가 직선왕복운동으로 전환되어 상하로 슬라이드 이송되는 승강작용, 및 상기 승,하강하는 전방슬라이드부재의 전면(前面)에 고정된 회동전환너트부재와 나사 결합된 볼스크류 측에 나선이송작용에 따른 회전력을 부여하여 상기 볼스크류의 회전과 함께 상기 볼스크류와 연결된 회동레버수단 역시 동일방향으로 회동되면서 상기 회동레버수단의 일측에 연결된 작동레버를 직선이송시키는 전후 직선이송작용이 상호 병합 연동되어 전(前), 상(上), 후(後), 하(下)의 순(順)으로 슬라이드 연동되면서 매거진 클램프 및 엘리베이터를 통해 공급되는 카세트 매거진 내에 수용된 웨이퍼를 낱장씩 꺼내 웨이퍼 가이드 상에 순차적으로 이송 배열시키는 워킹 빔 포크 및 워킹 빔 레일과; 상기 구동모터의 구동풀리와 벨트 연결되는 종동풀리와 축 결합되는 전,후방회동캠과; 상기 전,후방회동캠의 각 일단에 연결 설치되며, 벨트를 통해 모터 회전력이 전달된 전,후방회동캠의 편심회전운동에 대해 직선왕복운동으로 전환 작동되면서 워킹 빔 포크 및 워킹 빔 레일을 상,하로 이송시키는 전,후방 크랭크 수단과; 상기 전방 크랭크 수단의 전면(前面)에 설치 고정되며, 상기 전방 크랭크 수단과 함께 승하강되면서 나선이송에 따른 볼스크류에 회전력을 부여하여 이의 회전력을 통해 워킹 빔 포크 및 워킹 빔 레일이 전,후 이송되도록 하는 회동전환너트부재 및 이와 결속되는 볼스크류와; 상기 볼스크류의 상단과 워킹 빔 레일의 일측면에 각각 설치되되 상호 결속된 상태로 고정되며, 볼스크류를 통한 좌우 회동작용과 함께 워킹 빔 레일을 작동시켜 상기 워킹 빔 포크 및 워킹 빔 레일을 전,후로 이송시키는 회동레버수단 및 작동레버로 구성된 것을 특징으로 한다.The working beam device includes: a wafer guide installed and fixed spaced apart from each other on an upper end of the base plate; It is installed between the wafer guides, the front and rear of the front and rear rotation cam of the front and rear crank means of the front and rear crank means connected to each end of the front and rear rotation cam when the eccentric rotation of the front and rear rotation cam is connected to the drive motor and the belt. An elevating action in which the front and rear slide members are converted to linear reciprocating motion by the front and rear linkages coupled to the crank pins to slide upward and downward, and the pivot fixed to the front side of the front and rear slide members. The rotational screw means connected to the ball screw with the rotation of the ball screw by applying a rotational force to the ball screw side coupled to the switching nut member and the screw is also rotated in the same direction while being connected to one side of the rotation lever means The front and rear linear transfer action of the linear movement of the lever is merged with each other, and the slide is interlocked in the order of before, above, after, and below. Gene walking beam fork and a walking beam rail to sequentially transfer the wafers arranged in the cassette accommodated in the magazine which is supplied via the clamp and elevator on the sheet taken out by the wafer guide and; Front and rear pivoting cams that are shaft-coupled with driven pulleys connected to the drive pulleys and belts of the drive motor; It is connected to each one end of the front and rear pivoting cams, and is converted into a linear reciprocating motion for the eccentric rotational movement of the front and rear pivoting cams through which the motor rotational force is transmitted through the belt. Front and rear crank means for conveying down; It is installed and fixed on the front surface of the front crank means, while moving up and down together with the front crank means to impart rotational force to the ball screw according to the spiral feed, and thus the working beam fork and the walking beam rail are conveyed before and after. A rotation switching nut member and a ball screw engaged therewith; It is installed on the top of the ball screw and one side of the working beam rail, respectively, and fixed in a mutually coupled state, by operating the working beam rail with the left and right pivoting action through the ball screw to move the working beam fork and the walking beam rail, It is characterized by consisting of a rotating lever means and an operating lever for conveying to the rear.

따라서 본 발명에 의하면, 종래 컨베이어벨트를 이용해 카세트 매거진으로부터 웨이퍼를 꺼내면서 발생되었던 문제점 즉, 웨이퍼의 일면에 컨베이어벨트의 긁힘에 따른 스크래치 발생 및 이송되어진 웨이퍼와 컨베이어벨트 간의 슬립현상에 따른 정위치 조정이 필수적인 문제점을 개선하여 상기 스크래치 발생에 의한 웨이퍼의 손상을 방지함과 동시에 상기 회전캠 작용에 의해 전후 및 상하로 이송 연동되는 워킹 빔 장치를 통해 카세트 매거진으로부터 웨이퍼 가이드 측으로 이송되는 웨이퍼를 각각 정위치에 용이하게 순차적으로 정렬시키는 등 상기 웨이퍼의 이송작업에 대한 간편성 및 정확성을 이룰 수 있으며, 더욱이 이를 통한 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, a problem caused by removing the wafer from the cassette magazine using a conventional conveyor belt, that is, scratches caused by scratching of the conveyor belt on one surface of the wafer, and adjustment of the exact position according to the slip phenomenon between the conveyed wafer and the conveyor belt This essential problem is improved to prevent damage to the wafer caused by scratching, and at the same time, the wafer transferred from the cassette magazine to the wafer guide through a working beam device which is moved back and forth and up and down by the rotating cam action. It is possible to achieve the simplicity and accuracy of the transfer operation of the wafer, such as to easily sequential order, and further, there is an excellent effect such that the productivity of the wafer through this as well as mass production can be possible.

Description

Solar cell wafer walking beam device {The walking beam device for solar cell wafer}

본 발명은 솔라 셀 웨이퍼 워킹 빔 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 챔버 내에 플라즈마를 형성시켜 화학적 반응을 이용해 웨이퍼의 일면에 증착물질(GaN)을 박막형태로 증착시키는 PECVD 시스템(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposion System)에 웨이퍼를 공급 및 증착된 웨이퍼를 배출시키기 위한 웨이퍼 로드/언로드 시스템(Wafer Load/Unload System) 중 매거진 클램프 및 엘리베이터(Magazine Clamp & Elevator)를 통해 공급되는 카세트 매거진으로부터 웨이퍼를 낱장으로 꺼내 웨이퍼 가이드(Wafer Guide) 상에 이송 배열시키는 워킹 빔 장치(Working Beam Device)에 대하여, 1개의 모터와 벨트로 연결된 전,후방회동캠의 편심회전 시 상기 전,후방회동캠의 각 일단에 연결된 전,후방 크랭크 수단 중 상기 전,후방회동캠의 전,후방크랭크핀에 결합된 전,후방링크대에 의해 전,후방슬라이드부재가 직선왕복운동으로 전환되어 상하로 슬라이드 이송되는 승강작용, 및 상기 승,하강하는 전방슬라이드부재의 전면(前面)에 고정된 회동전환너트부재와 나사 결합된 볼스크류 측에 나선이송작용에 따른 회전력을 부여하여 상기 볼스크류의 회전과 함께 상기 볼스크류와 연결된 회동레버수단 역시 동일방향으로 회동되면서 상기 회동레버수단의 일측에 연결된 작동레버를 직선이송시키는 전후 직선이송작용이 상호 병합 연동되어 워킹 빔 포크(Working Beam fork) 및 워킹 빔 레일(Working Beam rail)이 전(前), 상(上), 후(後), 하(下) 방향으로 슬라이드 연동되면서 카세트 매거진 내에 수용된 웨이퍼를 각기 낱장씩 꺼내 상기 웨이퍼 가이드 상에 순차적으로 이송 배열토록 구성함으로써, 종래 컨베이어벨트를 이용해 카세트 매거진으로부터 웨이퍼를 꺼내면서 발생되었던 문제점 즉, 웨이퍼의 일면에 컨베이어벨트의 긁힘에 따른 스크래치 발생 및 이송되어진 웨이퍼와 컨베이어벨트 간의 슬립현상에 따른 정위치 조정이 필수적인 문제점을 개선하여 상기 스크래치 발생에 의한 웨이퍼의 손상을 방지함과 동시에 상기 회전캠 작용에 의해 전후 및 상하로 이송 연동되는 워킹 빔 장치를 통해 카세트 매거진으로부터 웨이퍼 가이드 측으로 이송되는 웨이퍼를 각각 정위치에 용이하게 순차적으로 정렬시키는 등 상기 웨이퍼의 이송작업에 대한 간편성 및 정확성을 이룰 수 있으며, 더욱이 이를 통한 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있도록 한 솔라 셀 웨이퍼의 워킹 빔 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solar cell wafer walking beam apparatus, and more particularly, to a plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) system in which a plasma is formed in a chamber to deposit a deposition material (GaN) on a surface of a wafer using a chemical reaction. The wafer from the cassette magazine supplied through the magazine clamp and elevator in the wafer load / unload system for supplying the wafer to the wafer and discharging the deposited wafer With respect to the working beam device to be transported and arranged on the guide, the front and rear pivoting cams connected to one end of the front and rear pivoting cams when the eccentric rotation of the front and rear pivoting cams connected by a belt, Front and rear slices by the front and rear link bars coupled to the front and rear crank pins of the front and rear pivot cams of the rear crank means. Lifting action in which the rod member is converted to a linear reciprocating motion and slides up and down, and in a spiral feeding action on the side of the ball screw screwed with the rotation switching nut member fixed to the front surface of the front and rear slide members. The rotation lever means connected to the ball screw together with the rotation of the ball screw is also rotated in the same direction while providing a rotational force. The working beam fork and the working beam rail slide together in the front, up, back, and down directions, and each of the wafers contained in the cassette magazine are individually stacked. Take out the wafer from the cassette magazine using a conventional conveyor belt In other words, it is possible to prevent scratches caused by scratching of the conveyor belt on one side of the wafer and to adjust the position of the wafer between the wafer and the conveyor belt. Simultaneously, the wafer transported from the cassette magazine to the wafer guide side can be easily and sequentially aligned in a fixed position through a working beam device which is interlocked up and down and up and down by the rotating cam. The invention relates to a working beam device for solar cell wafers that achieves accuracy, and furthermore, improves the productivity of the wafer and enables mass production.

일반적으로, 솔라 셀(solar cell)은 다양한 디바이스들을 구동시키기 위한 에너지원으로서 이용되는데, 이는 솔라 방사 또는 조명 광을 전기 에너지로 변환시킨다.In general, solar cells are used as an energy source for driving various devices, which converts solar radiation or illumination light into electrical energy.

이와 같은 솔라 셀은 반도체로 구성된 기능적인 부분에 pn 접합부 또는 pin 접합부를 갖고 있으며, 통상적으로 알려진 바로 실리콘은 반도체로서 상기 pn 접합부(또는 pin 접합부)를 형성하기 위해 사용될 수 있다. 이때, 단결정 실리콘의 사용은 광 에너지를 기전력으로 변환하는 효율면에서 양호하지만, 비정질 실리콘은 영역 증대 및 비용 감소 측면에서 유리하다.Such a solar cell has a pn junction or a pin junction in a functional part composed of a semiconductor, and silicon, which is commonly known, can be used to form the pn junction (or pin junction) as a semiconductor. In this case, the use of single crystal silicon is good in terms of efficiency of converting light energy into electromotive force, but amorphous silicon is advantageous in terms of area increase and cost reduction.

한편, 광범위하게 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer; 다결정의 실리콘(Si)을 원재료로 하여 만들어진 단결정 실리콘 박판)를 기판으로 하여 솔라 셀 및 상기 솔라 셀을 이용해 집합된 솔라 모듈(solar module)을 제조하게 되는데, 상 기 솔라 모듈의 전체 제조과정을 살펴보면, 단결정 성장으로 인한 실리콘 잉곳 제작공정(1단계) → 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱 공정(2단계) → 슬라이스 된 실리콘 웨이퍼 세척 공정(3단계) → 실리콘 웨이퍼에 도핑 주입 공정(4단계) → 도핑 주입된 실리콘 웨이퍼에 전극선 긋기 공정(5단계) → 솔라 셀 제작 공정(6단계) → 회로 작업 공정(7단계) → 솔라 셀의 라미네이팅 공정(8단계) → 틀 작업 공정(9단계) → 솔라 모듈 제작공정(10단계) 등 총 10단계의 제조공정을 거쳐 솔라 모듈이 제작되게 된다.Meanwhile, a solar cell and a solar module assembled using the solar cell are manufactured by using a silicon wafer, which is widely used, as a substrate using a single crystal silicon thin plate made of polycrystalline silicon (Si) as a substrate. If you look at the entire manufacturing process of the solar module, the silicon ingot manufacturing process (stage 1) due to the single crystal growth → slicing the silicon ingot to several hundred microns (㎛) thickness (step 2) → sliced silicon wafer cleaning process ( Step 3) → doping implantation process on silicon wafer (step 4) → electrode line drawing on doped implanted silicon wafer (step 5) → solar cell manufacturing process (step 6) → circuit work process (step 7) → laminating of solar cells Solar modules are manufactured through a total of 10 manufacturing steps, including process (8 steps) → mold work process (9 steps) → solar module manufacturing process (10 steps).

그리고, 상기와 같은 솔라 모듈의 전체 제조과정 중 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱(Slicing)하여 제조된 실리콘 웨이퍼 즉, 솔라 셀 웨이퍼의 일면에 증착물질을 박막형태로 증착시키기 위하여 기상증착법(Vapor Deposion) 중 그 일종인 챔버 내에 플라즈마를 형성시켜 화학적 반응을 이용해 솔라 셀 웨이퍼의 사용면에 증착물질(GaN)을 박막형태로 증착시키는 장치인 PECVD 시스템이 주로 사용되며, 여기에 초기 웨이퍼를 공급하거나 또는 증착물질이 증착된 웨이퍼를 배출시키기 위한 장치로서 웨이퍼 로드/언로드 시스템(Wafer Load/Unload System)이 사용된다.In addition, a vapor deposition method for depositing a deposition material on a surface of a silicon wafer, that is, a solar cell wafer manufactured by slicing a silicon ingot to several hundred microns (μm) in thickness during the entire manufacturing process of the solar module as described above. PECVD system, which is a device that forms a plasma in a chamber, which is a kind of vapor deposition, and deposits a deposition material (GaN) on the surface of a solar cell wafer using a chemical reaction, is mainly used. A wafer load / unload system is used as an apparatus for supplying or ejecting a wafer on which deposition material is deposited.

이와 더불어, 상기 웨이퍼 로드/언로드 시스템에는 매거진 클램프 및 엘리베이터를 통해 공급되는 카세트 매거진으로부터 웨이퍼를 낱장으로 꺼내 웨이퍼 가이드 상에 이송 배열시키는데 사용되는 웨이퍼 이송 배열장치가 수반되는데, 상기한 웨이퍼 이송 배열장치의 경우 모터 구동에 따른 컨베이어벨트 방식으로 이루어져 있어, 상기 컨베이어벨트를 이용해 카세트 매거진으로부터 수용된 웨이퍼를 꺼내면 서 상기 컨베이어벨트와 웨이퍼 간의 슬립현상에 따른 상기 컨베이어벨트와 접촉된 웨이퍼의 일면에 스크래치가 발생하게 되면서 웨이퍼가 손상되는 등의 커다란 문제점이 있었다.In addition, the wafer load / unload system is accompanied by a wafer transfer arrangement which is used to take a sheet from a cassette magazine supplied through a magazine clamp and an elevator and transfer the arrangement onto a wafer guide. In this case, since the conveyor belt is driven by a motor, a scratch is generated on one surface of the wafer in contact with the conveyor belt due to slip phenomenon between the conveyor belt and the wafer while taking out the wafer accommodated from the cassette magazine using the conveyor belt. There was a big problem such as damage to the wafer.

또한, 상기 웨이퍼 이송 배열장치의 경우 전술한 바와 같이 카세트 매거진으로부터 수용된 웨이퍼를 꺼내는 과정에서 컨베이어벨트와 웨이퍼 간의 슬립현상에 따라 상기 컨베이어벨트 위에 놓여진 웨이퍼가 정위치 상태를 유지하지 못하고 일방향으로 틀어지는 등 위치변화가 발생됨에 따라 상기 컨베이어벨트의 이송작용을 통해 이송되는 과정에 다른 부위와 충돌하면서 웨이퍼의 일부분이 파손되거나 크랙이 발생되게 되는 등의 문제점과 아울러, 상기와 같이 종래 컨베이어벨트 방식의 웨이퍼 이송 배열장치를 사용함에 따른 컨베이어벨트와 웨이퍼 간의 슬립현상으로 웨이퍼의 위치변화가 발생됨에 따라 상기 웨이퍼의 이송작업에 대한 간편성 및 정확성이 크게 저하될 수밖에 없는 등의 문제점 역시 있었다.In addition, in the case of the wafer transfer arranging apparatus, as described above, the wafer placed on the conveyor belt does not maintain its position and is twisted in one direction due to slip phenomenon between the conveyor belt and the wafer in the process of taking out the wafer received from the cassette magazine. As the change occurs, a portion of the wafer is broken or cracks are generated while colliding with other parts in the process of being transferred through the conveying action of the conveyor belt, and the wafer conveying arrangement of the conventional conveyor belt type as described above. As the position change of the wafer occurs due to the slip phenomenon between the conveyor belt and the wafer due to the use of the device, there is also a problem that the simplicity and accuracy of the transfer operation of the wafer must be greatly reduced.

이와 더불어, 상기 웨이퍼 이송 배열장치를 사용함에 있어, 상기와 같이 컨베이어벨트와 웨이퍼 간에 발생되는 슬립현상에 의해 상기 웨이퍼가 컨베이어벨트 위에서 일방향으로 틀어지는 위치변화가 발생할 경우 상기 웨이퍼 로드/언로드 시스템 중 웨이퍼를 취부하여 다음공정의 위치로 이송시키는데 사용되는 웨이퍼 픽커장치가 컨베이어벨트를 통해 이송되는 웨이퍼를 취부하기 원활하도록 정위치로 위치조정시키는 게이징 작업이 필수적으로 더해져야 하는 등의 번거롭고 불편한 문제점과 아울러, 상기와 같이 종래 웨이퍼 이송 배열장치를 사용할 시 웨이퍼 위치조정을 위한 게이징 작업이 필수적으로 더해지는데 따른 작업공정 및 작업시간의 증 가와 함께, 이를 통한 제품의 생산성 및 경제성 역시 크게 저하될 수밖에 없는 등의 문제점도 있었다.In addition, in using the wafer transfer arranging apparatus, when a position change occurs in which the wafer is displaced in one direction on the conveyor belt by a slip phenomenon generated between the conveyor belt and the wafer as described above, the wafer is unloaded from the wafer load / unload system. In addition to the cumbersome and inconvenient problems such as the fact that the wafer picker device used for mounting and transporting to the next process position needs to be added with a gauging operation necessary to position the wafer transported through the conveyor belt in a smooth position for installation. When using the conventional wafer transfer arrangement, such as the increase in the work process and work time, which is essentially added to the gauging operation for the wafer positioning, as well as product productivity and economic efficiency through this will also be greatly reduced There was also .

상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 본 발명은, 웨이퍼 로드/언로드 시스템 중 워킹 빔 장치에 대하여, 1개의 모터와 벨트로 연결된 전,후방회동캠의 편심회전 시 상기 전,후방회동캠의 각 일단에 연결된 전,후방 크랭크 수단 중 상기 전,후방회동캠의 전,후방크랭크핀에 결합된 전,후방링크대에 의해 전,후방슬라이드부재가 직선왕복운동으로 전환되어 상하로 슬라이드 이송되는 승강작용, 및 상기 승,하강하는 전방슬라이드부재의 전면(前面)에 고정된 회동전환너트부재와 나사 결합된 볼스크류 측에 나선이송작용에 따른 회전력을 부여하여 상기 볼스크류의 회전과 함께 상기 볼스크류와 연결된 회동레버수단 역시 동일방향으로 회동되면서 상기 회동레버수단의 일측에 연결된 작동레버를 직선이송시키는 전후 직선이송작용이 상호 병합 연동되어 워킹 빔 포크(Working Beam fork) 및 워킹 빔 레일(Working Beam rail)이 전(前), 상(上), 후(後), 하(下) 방향으로 슬라이드 연동되면서 카세트 매거진 내에 수용된 웨이퍼를 각기 낱장씩 꺼내 상기 웨이퍼 가이드 상에 순차적으로 이송 배열토록 구성함에 따라 종래 컨베이어벨트를 이용해 카세트 매거진으로부터 수용된 웨이퍼를 꺼내면서 발생되었던 문제점을 개선하여 상기 스크래치 발생에 의한 웨이퍼의 손상을 방지함과 동시에 상기 회전캠 작용에 의해 전후 및 상하로 이송 연동되는 워킹 빔 장치를 통해 카세트 매거진으로부터 웨이퍼 가이드 측으로 이송되는 웨이퍼를 각각 정위치에 용이하게 순차적으로 정렬시키는 등 상기 웨이퍼의 이송작업에 대한 간편성 및 정확성을 이룰 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above problems, the front and rear pivoting cams during the eccentric rotation of the front and rear pivoting cams connected by one motor and belt with respect to the working beam device of the wafer load / unload system Of the front and rear crank means connected to each end of the front and rear rotary cams, the front and rear slide members are coupled to the front and rear crank pins are converted into linear reciprocating motion, and the slide is moved up and down. Lifting action, and the rotation screw nut and the screw screw coupled to the rotation switching nut member fixed to the front surface of the front slide member to give a rotational force according to the spiral feed action by the rotation of the ball screw The rotating lever means connected to the screw is also rotated in the same direction, and the front and rear linear transfer action for linearly moving the operating lever connected to one side of the rotating lever means is higher. The wafer accommodated in the cassette magazine while the working beam fork and the working beam rail slide interlocked in the front, up, back, and bottom directions by merging and interlocking. By extracting each one by one so as to be arranged in sequence on the wafer guide to improve the problem caused by removing the wafer received from the cassette magazine using a conventional conveyor belt to prevent damage to the wafer caused by the scratch Simultaneous and easy alignment of the wafers transferred from the cassette magazine to the wafer guide through a working beam device which is interlocked with the front and rear and up and down by the rotation cam action, such as ease and accuracy of the wafer transfer operation The purpose is to make it possible.

또한, 본 발명의 경우 상기와 같은 종래의 문제점을 개선함에 따라 이를 통한 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있도록 하는데 또 다른 목적이 있다.In addition, in the case of the present invention is to improve the conventional problems as described above as well as to improve the productivity of the wafer through this there is another object to be able to mass production.

본 발명의 솔라 셀 웨이퍼 워킹 빔 장치는, 챔버 내에 플라즈마를 형성시켜 화학적 반응을 이용해 웨이퍼의 일면에 증착물질을 박막형태로 증착시키는 PECVD 시스템에 웨이퍼를 공급 및 증착된 웨이퍼를 배출시킬 수 있도록 구성된 웨이퍼 로드/언로드 시스템 중 매거진 클램프 및 엘리베이터를 통해 공급되는 카세트 매거진으로부터 수용된 각각의 웨이퍼를 꺼내 베이스플레이트에 고정된 웨이퍼 가이드에 이송 배열시키는 워킹 빔 장치에 있어서,The solar cell wafer walking beam device of the present invention is a wafer configured to supply a wafer to a PECVD system which forms a plasma in a chamber and deposits a deposition material on a surface of the wafer in a thin film form using a chemical reaction, and discharges the deposited wafer. In the working beam apparatus for removing each wafer received from the cassette magazine supplied through the magazine clamp and the elevator of the load / unload system and transported to the wafer guide fixed to the base plate,

이러한 본 발명에 의하면, 종래 컨베이어벨트를 이용해 카세트 매거진으로부터 수용된 웨이퍼를 꺼내면서 발생되었던 문제점을 개선하여 상기 스크래치 발생에 의한 웨이퍼의 손상을 방지함과 동시에 상기 회전캠 작용에 의해 전후 및 상하로 이송 연동되는 워킹 빔 장치를 통해 카세트 매거진으로부터 웨이퍼 가이드 측으로 이송되는 웨이퍼를 각각 정위치에 용이하게 순차적으로 정렬시키는 등 상기 웨이퍼의 이송작업에 대한 간편성 및 정확성을 이룰 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.According to the present invention, by using a conventional conveyor belt to improve the problems caused by taking out the wafer accommodated from the cassette magazine to prevent damage to the wafer caused by the scratch generation and at the same time transport linkage back and forth by the rotation cam action It is possible to achieve the simplicity and accuracy of the transfer operation of the wafer, such as easily sequential alignment of the wafers transferred from the cassette magazine to the wafer guide side through the working beam device.

또한, 본 발명의 경우 상기와 같은 종래의 문제점을 개선함에 따라 이를 통한 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있는 등의 효과 역시 있다.In addition, in the case of the present invention, as well as improving the conventional problems as described above, there is also an effect such that the productivity of the wafer through this as well as mass production may also be possible.

본 발명의 솔라 셀 웨이퍼 워킹 빔 장치(이하, 웨이퍼 워킹 빔 장치라 함)를 첨부된 도면과 대비하여 상세히 설명한다.The solar cell wafer walking beam device (hereinafter referred to as a wafer walking beam device) of the present invention will be described in detail in comparison with the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 대한 웨이퍼 워킹 빔 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명에 대한 웨이퍼 워킹 빔 장치의 평면도를 나타낸 것이며, 도 3은 본 발명에 대한 웨이퍼 워킹 빔 장치의 정면도를 나타낸 것이고, 도 4는 본 발명에 대한 웨어퍼 워킹 빔 장치의 분해 사시도를 나타낸 것이다.1 is a perspective view schematically showing a wafer walking beam device according to the present invention, FIG. 2 is a plan view of the wafer walking beam device according to the present invention, and FIG. 3 is a front view of the wafer walking beam device according to the present invention. 4 is an exploded perspective view of the wafer walking beam apparatus according to the present invention.

또한, 도 5는 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치 중 전방 크랭크 수단의 분해 상세도를 나타낸 것이고, 도 6은 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치 중 후방 크랭크 수단의 분해 상세도를 나타낸 것이다.5 shows an exploded detailed view of the front crank means of the wafer walking beam apparatus of the present invention, and FIG. 6 shows an exploded detailed view of the rear crank means of the wafer walking beam apparatus of the present invention.

본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치(1)는, 전술한 바와 같이 솔라 셀 웨이퍼의 일면에 증착물질을 박막형태로 증착시키는 기상증착법(Vapor Deposion) 중 그 일종인 챔버 내에 플라즈마를 형성시켜 화학적 반응을 이용해 웨이퍼의 일면에 증착물질(GaN)을 박막형태로 증착시키는 PECVD 시스템(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposion System)에 증착물질이 증착되기 전(前) 초기상태의 웨이퍼를 공급하거나 또는 상기 PECVD 시스템으로부터 증착물질이 증착된 최종 웨이퍼를 배출시키는데 사용되는 웨이퍼 로드/언로드 시스템(Wafer Load/Unload System) 중 매거진 클램프 및 엘리베이터(Magazine Clamp & Elevator)(70)를 통해 공급되는 카세트 매거진(CM)으로부터 웨이퍼(W)를 낱장으로 꺼내 웨이퍼 가이드(Wafer Guide)(5) 상에 이송 배열시키는 장치로서, 이에 대하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.As described above, the wafer working beam apparatus 1 uses a chemical reaction by forming a plasma in a chamber, which is one of vapor deposition methods for depositing a deposition material on a surface of a solar cell wafer in a thin film form. The wafer is supplied to a plasma enhanced chemical vapor deposition system (PECVD) that deposits a vapor deposition material (GaN) on one side of the wafer in a thin film form, or the deposition material is deposited from the PECVD system. Wafer W is removed from cassette magazine CM supplied through Magazine Clamp & Elevator 70 of the Wafer Load / Unload System used to discharge the final wafer deposited. A device for taking out a sheet and transporting the wafer onto a wafer guide 5, which will be described in more detail as follows. .

이에 대한 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치(1)의 경우 도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이 베이스플레이트(3) 상단에 서로 이격되게 설치 고정되는 웨이퍼 가이드(5)와; 상기 웨이퍼 가이드(5) 사이에 설치되며,구동모터(25)와 벨트(27) 연결되는 전,후방회동캠(30a,30b)의 편심회전 시 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 각 일단에 연결된 전,후방 크랭크 수단(33a,33b) 중 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 전,후방크랭크핀(32a,32b)에 결합된 전,후방링크대(41a,41b)에 의해 전,후방슬라이드부재(39,40)가 직선왕복운동으로 전환되어 상하로 슬라이드 이송되는 승강작용, 및 상기 승,하강하는 전방슬라이드부재(39)의 전면(前面)에 고정된 회동전환너트부재(46)와 나사 결합된 볼스크류(45) 측에 나선이송작용에 따른 회전력을 부여하여 상기 볼스크류(45)의 회전과 함께 상기 볼스크류와 연결된 회동레버수단(50) 역시 동일방향으로 회동되면서 상기 회동레버수단(50)의 일측에 연결된 작동레버(19)를 직선이송시키는 전후 직선이송작용이 상호 병합 연동되어 전(前), 상(上), 후(後), 하(下)의 순(順)으로 슬라이드 연동되면서 매거진 클램프 및 엘리베이터(70)를 통해 공급되는 카세트 매거진(CM) 내에 수용된 웨이퍼(W)를 낱장씩 꺼내 웨이퍼 가이드(5) 상에 순차적으로 이송 배열시키는 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11)과; 상기 구동모터(25)의 구동풀리(25a)와 벨트(27) 연결되는 종동풀리(26a)와 축(26) 결합되는 전,후방회동캠(30a,30b)과; 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 각 일단에 연결 설치되며, 벨트(27)를 통해 모터(25) 회전력이 전달된 전,후방회동캠(30a,30b)의 편심회전운동에 대해 직선왕복운동으로 전환 작동되면서 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11)을 상,하로 이송시키는 전,후방 크랭크 수단(33a,33b)과; 상기 전방 크랭크 수단(33a)의 전면(前面)에 설치 고정되며, 상기 전방 크랭크 수단(33a)과 함께 승하강되면서 나선이송에 따른 볼스크류(45)에 회전력을 부여하여 이의 회전력을 통해 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11)이 전,후 이송되도록 하는 회동전환너트부재(46) 및 이와 결속되는 볼스크류(45)와; 상기 볼스크류(45)의 상단과 워킹 빔 레일(11)의 일측면에 각각 설치되되 상호 결속된 상태로 고정되며, 볼스크류(45)를 통한 좌우 회동작용과 함께 워킹 빔 레일(11)을 작동시켜 상기 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11)을 전,후로 이송시키는 회동레버수단(50) 및 작동레버(19)로 구성되어 있다.In the case of the wafer working beam apparatus 1 of the present invention, the wafer guide 5 is installed and fixed to be spaced apart from each other on top of the base plate 3, as shown in Figs. Installed between the wafer guides 5, each of the front and rear pivoting cams 30a and 30b when the eccentric rotation of the front and rear pivoting cams 30a and 30b connected to the driving motor 25 and the belt 27 is performed. To the front and rear link stages 41a and 41b coupled to the front and rear crank pins 32a and 32b of the front and rear pivot cams 30a and 30b among the front and rear crank means 33a and 33b connected to one end. Lifting action of the front and rear slide members (39, 40) is converted to a linear reciprocating motion to slide up and down, and the rotation switching nut member fixed to the front surface of the front and rear slide members (39) The rotation screw means 50 connected to the ball screw with the rotation of the ball screw 45 is also rotated in the same direction by imparting a rotational force according to the spiral transfer action on the ball screw 45 side screwed with the 46. Front and rear linear transfer action to linearly transfer the operation lever 19 connected to one side of the rotation lever means 50 is connected to each other (W) housed in a cassette magazine (CM) supplied through a magazine clamp and an elevator 70 while being slide-linked in the order of before, above, after, and below. Working beam fork 15 and working beam rail 11 for taking out the sheets one by one and sequentially transporting them on the wafer guide 5; Front and rear pivoting cams 30a and 30b coupled to the driven pulley 26a and the shaft 26 connected to the drive pulley 25a and the belt 27 of the drive motor 25; It is connected to each one end of the front and rear pivot cams (30a, 30b), the straight line with respect to the eccentric rotation of the front and rear pivot cams (30a, 30b) to which the rotation force of the motor 25 is transmitted through the belt 27 Front and rear crank means 33a and 33b for transferring the working beam fork 15 and the working beam rail 11 up and down while being switched to reciprocating motion; It is fixed to the front (front surface) of the front crank means (33a), while ascending and descending with the front crank means (33a) to give a rotational force to the ball screw 45 according to the spiral feed by the working beam fork through its rotational force A rotation shift nut member 46 and a ball screw 45 engaged therewith to allow the 15 and the walking beam rail 11 to be moved forward and backward; The upper end of the ball screw 45 and the one side of the working beam rail 11 are respectively installed but fixed in a mutually coupled state, and operate the working beam rail 11 with the left and right pivoting action through the ball screw 45. The rotating beam means 50 and the operating lever 19 for conveying the walking beam fork 15 and the walking beam rail 11 back and forth.

이와 같이 구성된 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치(1) 중 상기 워킹 빔 포크(15)의 경우 도 4에 도시한 바와 같이 워킹 빔 레일(11)의 전방 상단 즉, 워킹 빔 레일(11)의 입구측 상단에 설치되는 포크 지지플레이트(16)와; 상기 포크 지지플레이트(16)의 전방 상단에 설치되어 카세트 매거진(CM) 내에 수용된 웨이퍼(W)를 낱장씩 꺼내는 웨이퍼포크(17)로 구성되어 있다.In the case of the working beam fork 15 of the wafer walking beam device 1 of the present invention configured as described above, as shown in FIG. 4, the front upper end of the working beam rail 11, that is, the entrance side of the working beam rail 11. Fork support plate 16 is installed on the top; The fork support plate 16 is provided with a wafer fork 17 installed at the front upper end to take out the wafers W contained in the cassette magazine CM one by one.

이때, 상기 포크 지지플레이트(16)의 전방 상단에는 웨이퍼포크(17)를 고정시키기 위한 포크안착부(16c)가 형성되어 있고, 상기 포크 지지플레이트(16)의 후방 상단에는 상기 워킹 빔 레일(11)과 함께 전(前), 상(上), 후(後), 하(下) 방향으로 슬라이드 연동되는 웨이퍼포크(17)를 통해 카세트 매거진(CM)으로부터 꺼내진 웨이퍼(W)를 안착시켜 웨이퍼 가이드(5) 상에 이송시킬 수 있도록 상기 웨이퍼(W)의 크기에 비례한 웨이퍼안착부(16b)를 형성하기 위한 웨이퍼안착돌기(16a)가 전후 양측에 각각 형성되어 있으며, 상기 웨이퍼포크(17)의 전방 상단에는 카세트 매거진(CM) 내에 수용된 웨이퍼(W)를 꺼내는 과정 중 상기 웨이퍼(W)의 걸림작용이 원활하도록 하기 위한 웨이퍼걸림돌기(17a)가 형성되어 있다.In this case, a fork seating portion 16c for fixing the wafer fork 17 is formed at the front upper end of the fork support plate 16, and the walking beam rail 11 is located at the rear upper end of the fork support plate 16. ), The wafer W taken out from the cassette magazine CM is seated through the wafer forks 17 which slide interlock with each other in the front, upper, rear, and lower directions. Wafer seating protrusions 16a for forming wafer seating portions 16b proportional to the size of the wafer W so as to be transported on the guide 5 are formed on both front and rear sides, respectively, and the wafer forks 17 In the upper front of the wafer), a wafer catching protrusion 17a is formed to smoothly engage the wafer W during the process of taking out the wafer W accommodated in the cassette magazine CM.

또한, 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치(1) 중 상기 워킹 빔 레일(11)의 경우 도 4에 도시한 바와 같이 워킹빔수평이송레일(20)의 상단에 슬라이드블록(18a)을 구비한 워킹빔슬라이드부재(18) 및 워킹빔고정플레이트(14)와 함께 고정되는 레일지지블록(12)과, 상기 레일지지블록(12)의 상단에 각 단위 블록체 형태로 연이어져 고정되는 레일부(13)로 구성되어 있다.In addition, in the case of the working beam rail 11 of the wafer walking beam apparatus 1 of the present invention, as shown in FIG. 4, the working beam having the slide block 18a on the top of the walking beam horizontal transfer rail 20 is provided. A rail support block 12 fixed together with the slide member 18 and the working beam fixing plate 14, and a rail part 13 connected to the upper end of the rail support block 12 in the form of unit blocks. Consists of

이때, 상기 레일부(13)의 경우 워킹 빔 레일(11)과 함께 전(前), 상(上), 후(後), 하(下) 방향으로 슬라이드 연동되는 워킹 빔 포크(15)를 통해 카세트 매거진(CM)으로부터 낱장으로 꺼내진 웨이퍼(W)를 순차적으로 안착시켜 웨이퍼 가이 드(5)의 정위치에 이송 배열시킬 수 있도록 상기 웨이퍼(W)의 크기에 비례한 웨이퍼안착부(13b)를 형성하기 위한 웨이퍼안착돌기(13a)가 등간격으로 형성되어 있다.At this time, in the case of the rail unit 13 through the working beam fork 15 which slides interlocked with the working beam rail 11 in the front, upper, rear, and lower directions. Wafer seat 13b proportional to the size of the wafer W so that the wafer W taken out from the cassette magazine CM in a sheet can be sequentially seated and transported to the correct position of the wafer guide 5. Wafer seating projections 13a for forming the recesses are formed at equal intervals.

그리고, 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치(1) 중 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 경우 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이 전체형상이 종동풀리(26a)와 축(26) 결합되는 원판형태로 형성되어 있으며, 그 전,후 원주면 상에는 축(26) 중심으로부터 일측으로 편심된 상호 동일형상의 편심레일부(31a,31b)와 편심원판(Ca,Cb)이 각각 형성되고, 상기 각 편심레일부(31a,31b)의 일측에는 편심원판(Ca,Cb)의 외주면과 편심레일부(31a,31b)의 내주면에 상호 구름 접촉을 이뤄 모터(25) 구동에 따른 회전 시 상기 편심레일부(31a,31b)를 따라 구름운동하면서 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 편심회전운동에 대해 상기 전,후방 크랭크 수단(33a,33b)을 직선왕복운동으로 전환시키는 크랭크핀(32a,32b)이 서로 대향되게 설치 고정되어 있다.In the case of the front and rear rotating cams 30a and 30b of the wafer working beam device 1 of the present invention, the entire shape is coupled to the driven pulley 26a and the shaft 26 as shown in FIGS. 5 and 6. It is formed in the shape of a disc, the eccentric rail portion 31a, 31b and the eccentric disc (Ca, Cb) of the same shape mutually eccentric to one side from the center of the axis 26 is formed on the front and rear circumferential surface, respectively, One side of each of the eccentric rails 31a and 31b forms a mutual cloud contact with the outer circumferential surfaces of the eccentric discs Ca and Cb and the inner circumferential surfaces of the eccentric rail portions 31a and 31b so as to rotate the eccentric when the motor 25 is driven. Crank pins for converting the front and rear crank means 33a and 33b into a linear reciprocating motion with respect to the eccentric rotation of the front and rear pivot cams 30a and 30b while rolling along the rails 31a and 31b. 32a and 32b are installed and fixed to face each other.

여기서, 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 전,후 원주면 상에 각기 대향되게 형성된 2개의 편심레일부(31a,31b) 및 상기 각 편심레일부(31a,31b)의 일측에 각각 구름 접촉되게 대향 설치된 2개의 크랭크핀(32a,32b)의 경우 서로 전,후 높이차를 갖도록 형성 및 설치되어 있기 때문에 모터(25) 구동에 따른 전,후방회동캠(30a,30b)의 편심회전이 이루어짐과 동시에 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 각 크랭크핀(32a,32b)에 결합된 전,후방링크대(41a,41b)에 의해 직선왕복운동으로 전환된 전,후방슬라이드부재(39,40)가 슬라이드 이송되는 과정에서 상기 후방회동캠(30b)이 시계방향이나 반시계방향으로 편심회전에 따른 후방크랭크핀(32b)이 후방편심레일부(31b)를 따라 구름운동하면서 상기 후방회동캠(30b)의 편심회전에 의한 후방슬라이드부재(40)가 상기 후방회동캠(30b)의 후방크랭크핀(32b)에 결합된 후방링크대(41b)에 의해 직선왕복운동으로 전환되면서 상방(下方) 또는 하방(下方)으로 슬라이드 이송되어 이를 통해 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11) 전체가 상승 또는 하강하는 승,하강작용(도 8b 및 도 8d 참조), 및 상기 전방회동캠(30a)이 시계방향이나 반시계방향으로 편심회전에 따른 전방크랭크핀(32a)이 전방편심레일부(31a)를 따라 구름운동하면서 상기 전방회동캠(30a)의 편심회전에 의한 전방슬라이드부재(39)가 상기 전방회동캠(30a)의 전방크랭크핀(32a)에 결합된 전방링크대(41a)에 의해 직선왕복운동으로 전환되면서 상방(上方) 또는 하방(下方)으로 슬라이드 이송 시 상기 전방슬라이드부재(39)의 전면(前面) 중앙에 고정된 회동전환너트부재(46) 역시 상기 전방슬라이드부재(39)와 함께 상승하면서 상기 회동전환너트부재(46)와 나사 결합된 볼스크류(45) 측에 나선이송작용에 따른 회전력을 부여하여 상기 볼스크류(45)의 회전력을 통해 회동레버수단(50) 즉, 작동로울러(55)를 통해 상기 워킹 빔 레일(11)의 일측면에 고정된 작동레버(19)와 상호 결속된 상태로 소켓결합부(51)의 일단에 연결 결합된 회동블록(53)이 상기 소켓결합부(51)와 함께 볼스크류(45)의 회전방향과 동일방향으로 회동되면서 작동레버(19)를 작동시켜 이를 통해 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11) 전체가 워킹빔수평이송레일(20)을 따라 전방(前方)인 카세트 매거진(CM) 측으로 유입 또는 상기 카세트 매거진(CM)으로부터 후방(後方)으로 인출되는 전후 직선이송작용(도 8a 및 도 8c 참조)이 상호 병합 연동되는 등 상기와 같은 작동과정을 통한 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11)이 전(前), 상(上), 후(後), 하(下)의 순(順)으로 슬라이드 이송되는 연속적인 연동이 이루어지게 된다.Here, the two eccentric rail portions 31a and 31b and the eccentric rail portions 31a and 31b respectively formed on the front and rear circumferential surfaces of the front and rear pivot cams 30a and 30b, respectively. In the case of the two crank pins 32a and 32b which are installed in contact with each other in contact with the clouds, the crank pins 32a and 32b are formed and installed to have a difference in height before and after each other, so that the eccentric rotation of the front and rear pivot cams 30a and 30b according to the driving of the motor 25 is performed. At the same time, the front and rear slide members are converted to linear reciprocation by the front and rear link bars 41a and 41b coupled to the crank pins 32a and 32b of the front and rear pivot cams 30a and 30b. The rear crank pin (32b) according to the eccentric rotation in the clockwise or counterclockwise direction while rolling (39, 40) is the slide conveyed while the rolling movement along the rear eccentric rail portion (31b) The rear slide member 40 by the eccentric rotation of the rear rotation cam 30b is rear crank of the rear rotation cam 30b. The moving link fork 15 and the whole working beam rail 11 are slide-shifted upward or downward while being converted to linear reciprocating motion by the rear link stage 41b coupled to 32b. The up and down action of raising and lowering (see FIGS. 8B and 8D), and the front crank pin 32a according to the eccentric rotation of the front pivot cam 30a clockwise or counterclockwise is the front eccentric rail portion 31a. By the front link member 41a coupled to the front crank pin 32a of the front rotation cam 30a by the eccentric rotation of the front rotation cam 30a while rolling along The turning slide nut member 46 fixed to the center of the front surface of the front slide member 39 when the slide is transferred upward or downward while being converted to the linear reciprocating motion is also the front slide member 39. While rotating with the rotation switching nut member 46 and the screw The working beam rail 11 is provided through the rotation lever means 50, that is, the operation roller 55 through the rotational force of the ball screw 45 by applying the rotational force according to the spiral screw action on the coupled ball screw 45 side. A rotating block 53 connected to one end of the socket coupling part 51 in a state in which the operating lever 19 is fixed to one side of the ball screw 45 together with the socket coupling part 51 is provided. While operating in the same direction as the rotation direction by operating the operating lever 19 through which the working magazine fork 15 and the whole working beam rail 11 along the walking beam horizontal transfer rail 20, the front magazine magazine Working beam fork 15 through the above operation process, such as the front and rear linear transfer action (see FIGS. 8A and 8C) introduced into (CM) or withdrawn from the cassette magazine (CM) to the rear (m). ) And the walking beam rail 11 before, after, after, and after This continuous interlocking conveyed fluoride will be written.

한편, 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치(1) 중 상기 전,후방 크랭크 수 단(33a,33b)의 경우 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이 전,후방회동캠(30a,30b)을 관통하여 설치된 축(26)의 양단을 지지하는 축지지플레이트(34a,34b)와; 상기 축지지플레이트(34a,34b)의 상단에 설치 고정되며, 중앙 및 후방(後方) 측에 각각 슬라이드홀(36a,36b)이 관통된 레일블록플레이트(35)와; 상기 레일블록플레이트(35)의 상단에 고정되며, 전면(前面) 및 좌우 양측면에 각각 전,후방레일부(37a,37b)를 구비한 레일블록(37)과; 상기 레일블록플레이트(35)의 각 슬라이드홀(36a,36b)에 삽입된 상태로 상기 레일블록(37)의 전,후방레일부(37a,37b)에 결합되도록 각기 슬라이드블록(39a,40a)을 구비한 전,후방슬라이드부재(39,40)와; 상기 전,후방슬라이드부재(39,40)의 하단에 고정된 상태로 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 각 편심레일부(31a,31b) 일측에 대향되게 설치된 크랭크핀(32a,32b)에 결합되며, 모터(25) 구동에 따른 전,후방회동캠(30a,30b)의 편심회전운동을 직선왕복운동으로 전환시켜 전,후방슬라이드부재(39,40)가 각기 상,하로 슬라이드 이송되도록 하는 전,후방링크대(41a,41b)로 구성되어 있다.Meanwhile, the front and rear crank ends 33a and 33b of the wafer working beam device 1 of the present invention penetrate the front and rear pivot cams 30a and 30b as shown in FIGS. 5 and 6. Shaft support plates 34a and 34b for supporting both ends of the installed shaft 26; A rail block plate (35) installed and fixed at the upper ends of the shaft support plates (34a, 34b) and through which slide holes (36a, 36b) pass through the center and rear sides thereof, respectively; A rail block (37) fixed to an upper end of the rail block plate (35) and having front and rear rail parts (37a, 37b) on front and left and right sides thereof, respectively; Slide blocks 39a and 40a are respectively coupled to the front and rear rail portions 37a and 37b of the rail block 37 while being inserted into the slide holes 36a and 36b of the rail block plate 35. Front and rear slide members (39, 40) provided; Crank pins 32a and 32b installed opposite one side of the eccentric rail portions 31a and 31b of the front and rear pivot cams 30a and 30b while being fixed to the lower ends of the front and rear slide members 39 and 40. Coupled to), the eccentric rotation of the front and rear pivot cams (30a, 30b) in accordance with the drive of the motor 25 to the linear reciprocating motion to slide the front and rear slide members (39, 40) up and down, respectively It consists of front and rear link stands 41a and 41b.

여기서, 상기 축지지플레이트(34a,34b)의 경우 중앙에 축결합홀이 관통된 사각판상으로 형성됨과 동시에, 그 상단 중앙에 상기 모터(25) 구동에 의한 전,후방회동캠(30a,30b)의 회전 시 이와 대응 연동되어 각 크랭크핀(32a,32b)에 결합된 전,후방링크대(41a,41b)를 포함한 전,후방슬라이드부재(39,40)의 승하강 시 상기 축지지플레이트(34a,34b)에 걸리지 않도록 간섭을 방지하기 위한 요(凹) 형태의 홈이 형성되어 있다.Here, in the case of the shaft support plates (34a, 34b) is formed in the shape of a rectangular plate through which the shaft coupling hole penetrates in the center, and at the top center of the front and rear pivot cams (30a, 30b) by driving the motor 25 The shaft support plate 34a when the front and rear slide members 39 and 40 including the front and rear link bars 41a and 41b coupled to the respective crank pins 32a and 32b in correspondence with the rotation thereof. A groove-shaped groove is formed to prevent interference so as not to be caught by 34b).

또한, 상기 레일블록플레이트(35)의 경우 전체형상이 사각판상으로 형성됨과 동시에, 그 중앙 및 후방(後方)에 상기 전,후방링크대(41a,41b)를 통해 전,후방회동캠(30a,30b)의 크랭크핀(32a,32b)과 연결된 전,후방슬라이드부재(39,40)가 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 편심회전에 따른 상하 슬라이드 이송작용이 원활하게 이루어질 수 있도록 하기 위한 슬라이드홀(36a,36b)이 각각 관통 형성되어 있다.In addition, in the case of the rail block plate 35, the entire shape is formed in a rectangular plate shape, and the front and rear pivoting cams (30a) through the front and rear link bars (41a, 41b) in the center and the rear (後方) The front and rear slide members 39 and 40 connected to the crank pins 32a and 32b of 30b to smoothly move up and down the slide according to the eccentric rotation of the front and rear pivot cams 30a and 30b. Slide holes (36a, 36b) for each is formed through.

그리고, 상기 레일블록(37)의 경우 전체형상이 중공의 "T"자 형태로 형성됨과 동시에, 그 전면(前面) 및 좌우 양측면에 각기 슬라이드블록(39a,40a)을 구비한 전,후방슬라이드부재(39,40)가 각각 결합되어 모터(25) 구동에 따른 전,후방회동캠(30a,30b)의 편심회전 시 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 크랭크핀(32a,32b)에 결합된 전,후방링크대(41a,41b)에 의해 직선왕복운동으로 전환된 전,후방슬라이드부재(39,40)가 각기 상,하로 슬라이드 이송되도록 하기 위한 전,후방레일부(37a,37b)가 각각 설치 고정되어 있다.In addition, in the case of the rail block 37, the entire shape is formed in a hollow "T" shape, and the front and rear slide members having slide blocks 39a and 40a on their front and right and left sides, respectively. (39, 40) are respectively coupled to the crank pins (32a, 32b) of the front and rear pivoting cams (30a, 30b) during eccentric rotation of the front and rear pivoting cams (30a, 30b) according to the driving of the motor (25). Front and rear rail parts (37a, 37b) for the front and rear slide members (39, 40), which is converted to a linear reciprocating motion by the combined front and rear link stage (41a, 41b) to slide transfer up and down, respectively Are fixed to each installation.

또한, 상기 전,후방슬라이드부재(39,40)의 경우 "T"자 형태로 이루어진 레일블록(37)의 전면(前面) 및 좌우 양측면에 설치 고정된 전,후방레일부(37a,37b)에 각각 대응 결합되기 위하여 상기 전방슬라이드부재(39)는 "T"자 형태의 레일블록(37) 전면(前面)에 설치됨에 따라 전체형상이 사각판상으로 형성된 1개의 부재로 이루어짐과 동시에 그 배면(背面) 좌우 양측으로 슬라이드블록(39a)이 설치 고정되어 있고, 이와 반대로 상기 후방슬라이드부재(40)는 "T"자 형태의 레일블록(37) 좌우 양측면에 각각 설치됨에 따라 전체형상이 "ㄷ"자로 절곡되어 찬넬(channel) 형태로 형성된 2개의 부재로 이루어짐과 동시에 그 각 내면에 슬라이드블록(40a)이 설치 고정되어 있다.In addition, the front and rear slide members (39, 40) in the front and rear rail portions (37a, 37b) fixed to the front (front) and left and right sides of the rail block 37 made of "T" shape In order to correspond to each other, the front slide member 39 is formed on the front surface of the rail block 37 having a “T” shape, and the front slide member 39 consists of one member formed in a rectangular plate shape and its rear surface. The slide block (39a) is fixed to the left and right sides, on the contrary, as the rear slide member (40) is installed on both sides of the left and right sides of the "T" shaped rail block (37), the overall shape is "C". At the same time, the slide block 40a is installed and fixed on each of its inner surfaces while being bent and formed in two channels.

이와 더불어, 상기 전,후방링크대(41a,41b)의 경우 "T"자 형태로 이루어진 레일블록(37)의 전면(前面) 및 좌우 양측면에 설치된 전,후방레일부(37a,37b)에 각각 대응 결합되는 전,후방슬라이드부재(39,40)의 하단에 설치 고정됨과 동시에 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 크랭크핀(32a,32b)에 결합되어 모터(25) 구동에 따른 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 편심회전운동을 직선왕복운동으로 전환시켜 전,후방슬라이드부재(39,40)가 각기 상,하로 슬라이드 이송되도록 하는 운동전환 매개체로서, 상기 전방링크대(41a)는 전체형상이 1개의 전방슬라이드부재(39)의 하단에 고정시킬 수 있게 계단형태로 절곡된 블록체로 형성됨과 동시에 그 하단 중앙에 전방회동캠(30a)의 크랭크핀(32a)과 결합시키기 위한 크랭크핀홀(42a)이 관통 형성되어 있고, 이와 반대로 상기 후방링크대(41b)는 전체형상이 2개의 후방슬라이드부재(40)를 레일블록(37)의 좌우 양측면 폭만큼 이격시킨 후 그 하단에 고정시킬 수 있게 직사각의 T형 구조로 형성됨과 동시에 그 하단 중앙에 후방회동캠(30b)의 크랭크핀(32b)과 결합시키기 위한 크랭크핀홀(42b)이 관통 형성되어 있다.In addition, in the case of the front and rear link stages 41a and 41b, the front and rear rail portions 37a and 37b respectively installed on both the front and left and right sides of the rail block 37 having a "T" shape. Installed and fixed at the lower end of the corresponding front and rear slide members (39, 40) and coupled to the crank pins (32a, 32b) of the front and rear pivoting cams (30a, 30b) according to the drive of the motor 25 As the motion switching medium for converting the eccentric rotation of the front and rear pivot cams (30a, 30b) into a linear reciprocating motion so that the front and rear slide members (39,40) slide up and down, respectively, 41a) is formed as a block body bent in a step shape so that the entire shape can be fixed to the lower end of one front slide member 39, and at the same time to engage with the crank pin 32a of the front rotation cam 30a Crank pin hole (42a) for the through is formed, on the contrary the rear link stage (41b) The overall shape is formed in a rectangular T-shaped structure so that the two rear slide members 40 can be spaced apart by the left and right sides of the rail block 37 and fixed to the bottom thereof, and at the same time, the rear pivot cam 30b at the bottom center thereof. Crank pin hole 42b for coupling with the crank pin 32b of the () is formed through.

그리고, 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치(1) 중 상기 회동전환너트부재(46)에 결속되는 볼스크류(45)의 경우 그 양단은 레일블록플레이트(35)의 전방 상단에 설치 고정되는 전면커버(43)의 상,하단에 볼트 체결된 베어링브라켓(44)에 의해 결합 지지되고, 그 중앙부에는 상기 전방슬라이드부재(39)의 전면(前面) 중앙에 설치 고정된 회동전환너트부재(46)에 나선 결합되어 모터(25) 구동에 따른 전,후방회동캠(30a,30b)의 편심회전 시 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 크랭크핀(32a,32b)에 결합된 전,후방링크대(41a,41b)에 의해 직선왕복운동으로 전환된 전,후방슬라이드 부재(39,40)가 각기 상,하로 슬라이드 이송될 때, 상기 전방슬라이드부재(39)의 전면(前面) 중앙에 고정된 회동전환너트부재(46) 역시 상기 전방슬라이드부재(39)와 함께 승하강하면서 나선이송작용에 따른 볼스크류(45) 측에 회전력을 부여하여 이의 회전력을 통해 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11)이 워킹빔수평이송레일(20)을 따라 전,후 이송되게 되며, 그 상단에는 워킹 빔 레일(11)의 일측면에 고정되는 작동레버(19)와 상호 결속된 회동레버수단(50)이 설치되되, 상기 전면커버(43)와 레일블록(37) 상단에 고정되는 상부커버(47)에 의해 지지된 상태로 고정되어 있다.And, in the case of the ball screw 45 that is bound to the rotation switching nut member 46 of the wafer working beam device 1 of the present invention, both ends thereof are front covers that are fixed to the front upper end of the rail block plate 35 ( 43 is held by a bearing bracket 44 bolted to the upper and lower ends of the upper and lower ends thereof, and a spiral part of the rotation switching nut member 46 is fixed to the center of the front surface of the front slide member 39 at a central portion thereof. Combined with the front and rear link stage coupled to the crank pins (32a, 32b) of the front and rear pivot cams (30a, 30b) during the eccentric rotation of the front and rear pivot cams (30a, 30b) according to the driving of the motor 25 Rotation fixed to the front center of the front slide member 39 when the front and rear slide members 39 and 40, which are converted to the linear reciprocating motion by 41a and 41b, are respectively slideed up and down. Switching nut member 46 also moves up and down together with the front slide member 39 and the ball according to the spiral feed action. The working beam fork 15 and the walking beam rail 11 are transferred along the working beam horizontal feed rail 20 before and after the rotational force is applied to the crew 45 so that the working beam is on the top thereof. Rotating lever means 50 is coupled to the operating lever 19 fixed to one side of the rail 11 is installed, the upper cover 47 is fixed to the top of the front cover 43 and the rail block 37 It is fixed in the state supported by.

또한, 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치(1) 중 상기 회동레버수단(50) 및 작동레버(19)의 경우 먼저, 상기 작동레버(19)는 도 4에 도시한 바와 같이 전체형상이 "ㄷ"자 찬넬 형태로 절곡된 전면(前面)이 일체로 이루어진 T형 구조로 형성되어 회동레버수단(50)과 상호 결속된 상태로 워킹빔수평이송레일(20)의 상단에 결합된 워킹 빔 레일(11)의 일측면 즉, 워킹빔고정플레이트(14)를 통해 워킹 빔 레일(11)이 고정되는 워킹빔슬라이드부재(18)의 일측면에 설치 고정되며, 상기 회동레버수단(50)은 도 5에 도시한 바와 같이 볼스크류(45)의 상단에 결착 고정되도록 하단에 절개부(51a)를 구비한 중공의 소켓결합부(51)와; 상기 워킹 빔 레일(11)의 일측면에 고정되는 작동레버(19)와 상호 결속된 상태로 소켓결합부(51)의 일단에 결합 연결되며, 상기 소켓결합부(51)를 통해 전달된 볼스크류(45)의 회전력에 따라 동일방향으로 회동하면서 작동레버(19)를 작동시켜 이를 통해 워킹 빔 레일(11) 및 워킹 빔 포크(15)가 전,후로 이송되도록 하는 회동블록(53)과; 상기 회동블록(53)의 상 단에 회동 가능하게 결합된 상태로 작동레버(19) 내에 장착되며, 볼스크류(45) 및 소켓결합부(51)를 통한 회동블록(53)의 회동 작동 시 이의 회동력이 작동레버(19) 내에서 구름운동을 통해 작용되도록 하는 작동로울러(55)로 구성되어 있다.Further, in the case of the pivot lever means 50 and the actuating lever 19 of the wafer working beam device 1 of the present invention, the actuating lever 19 has an overall shape of "C" as shown in FIG. The working beam rail 11 coupled to the upper end of the working beam horizontal transfer rail 20 in a state in which the front surface bent in the shape of a channel is integrally formed with the rotating lever means 50 and coupled to each other. One side of the), that is, is installed and fixed on one side of the working beam slide member 18 to which the working beam rail 11 is fixed through the working beam fixing plate 14, the rotation lever means 50 is shown in FIG. A hollow socket coupling portion 51 having a cutout 51a at a lower end thereof so as to be fixed to the upper end of the ball screw 45 as shown; Ball screw transferred through the socket coupling portion 51 is coupled to one end of the socket coupling portion 51 in a state in which the operating lever 19 is fixed to one side of the working beam rail (11). A rotation block 53 for operating the operating lever 19 while rotating in the same direction according to the rotational force of the 45 so that the working beam rail 11 and the working beam fork 15 are moved back and forth; Mounted in the operating lever 19 in a state that is rotatably coupled to the upper end of the rotation block 53, the ball screw 45 and the socket engaging portion 51 through the rotation operation of the rotation block 53 through the The rotational force is composed of an operation roller 55 to be acted through the rolling motion in the operating lever 19.

여기서, 상기 소켓결합부(51)의 일단에는 회동블럭과 연결 결합시키기 위한 "ㄷ"자 형태의 연결브라켓(52)이 일체로 형성되어 있다.Here, one end of the socket coupling portion 51 is integrally formed with a connection bracket 52 having a "c" shape for connecting and coupling with the rotation block.

또한, 상기 회동블럭의 일단에는 소켓결합부(51)의 일단에 형성된 연결브라켓(52) 내에 결속시켜 상기 소켓결합부(51)와 일체화를 이루기 위한 연결바(54)가 일체로 형성되어 있고, 상기 회동블럭의 중앙에는 작동로울러(55)를 회동 가능하게 결합시키기 위한 힌지핀홀(53a)이 형성되어 있다.In addition, one end of the rotation block is integrally formed in the connection bracket 52 formed at one end of the socket coupling part 51 to form a connection bar 54 to be integrated with the socket coupling part 51. A hinge pin hole 53a is formed at the center of the rotation block to rotatably couple the operation roller 55.

이와 더불어, 상기 작동로울러(55)의 하단에는 회동블럭의 힌지핀홀에 결합되어 상기 작동로울러(55)의 자유회전이 가능하도록 하기 위한 힌지핀(56)이 일체로 형성되어 있다.In addition, a hinge pin 56 is integrally formed at the lower end of the operation roller 55 to be coupled to the hinge pin hole of the rotation block so as to allow free rotation of the operation roller 55.

도 7은 본 발명에 대한 웨이퍼 워킹 빔 장치의 작동과정에 앞서 웨이퍼정렬수단을 이용해 카세트 매거진 내에 수용된 웨이퍼를 정렬시키는 상태를 나타낸 것이다.Figure 7 shows a state of aligning the wafer accommodated in the cassette magazine using the wafer alignment means prior to the operation of the wafer working beam device according to the present invention.

한편, 매거진 클램프 및 엘리베이터(70)를 통해 공급되는 카세트 매거진(CM) 내에 수용된 웨이퍼(W)를 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치(1)를 이용해 각기 낱장씩 꺼내 웨이퍼 가이드(5) 상에 순차적으로 이송 배열시키기에 앞서, 상기 매거진 클램프 및 엘리베이터(70)를 통해 공급되는 카세트 매거진(CM)과 대응 위치되는 워킹 빔 유닛 즉, 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치(1)의 입구단 측에 도 7에 도시한 바와 같이 상기 매거진 클램프 및 엘리베이터(70)를 통해 공급되는 카세트 매거진(CM) 내에 수용된 웨이퍼(W)를 고르게 정렬시키기 위한 웨이퍼정렬수단(60)이 설치되어 있는데, 이때 상기 웨이퍼정렬수단(60)의 경우 도 1 및 도 7에 도시한 바와 같이 유압 또는 공압에 의해 로드(미도시)의 길이가변이 이루어지는 실린더(61)와; 상기 실린더(61)를 지지하는 실린더지지블록(62)과; 상기 실린더(61)의 로드 일단에 고정되며, 실린더(61)의 길이가변에 따른 전,후 이송작용을 통해 카세트 매거진(CM) 내에 수용된 웨이퍼(W)를 정렬시키는 웨이퍼정렬판(63)으로 구성되어 있다.Meanwhile, the wafers W accommodated in the cassette magazine CM supplied through the magazine clamp and the elevator 70 are taken out one by one using the wafer walking beam device 1 of the present invention and sequentially placed on the wafer guide 5. Prior to the transfer arrangement, a working beam unit corresponding to the cassette magazine CM supplied through the magazine clamp and the elevator 70, that is, the inlet end side of the wafer working beam device 1 of the present invention is shown in FIG. As shown, a wafer alignment means 60 is provided for evenly aligning the wafers W accommodated in the cassette magazine CM supplied through the magazine clamp and the elevator 70. In this case, the wafer alignment means 60 is provided. In the case of), as shown in Figures 1 and 7 and the cylinder 61, the length of the rod (not shown) is changed by hydraulic or pneumatic; A cylinder support block (62) for supporting the cylinder (61); It is fixed to one end of the rod of the cylinder 61, consisting of a wafer alignment plate 63 for aligning the wafer (W) accommodated in the cassette magazine (CM) through a forward and backward transfer action according to the length of the cylinder 61 changes It is.

삭제delete

이하, 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치(1)에 대한 작동과정을 첨부된 도면과 대비하여 그 실시예를 바람직하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the wafer working beam device 1 according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 8a 내지 도 8e는 본 발명에 대한 웨이퍼 워킹 빔 장치의 작동과정을 나타낸 상태도이다.8a to 8e is a state diagram showing the operation of the wafer walking beam apparatus according to the present invention.

먼저, 매거진 클램프 및 엘리베이터(70)를 통해 공급되는 카세트 매거진(CM) 내에 수용된 웨이퍼(W)를 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치(1)를 이용해 각기 낱장씩 꺼내 웨이퍼 가이드(5) 상에 순차적으로 이송 배열시키기에 앞서, 도 7에 도시한 바와 같이 상기 웨이퍼 워킹 빔 장치(1)의 입구단 측에 설치된 웨이퍼정렬수단(60)을 통해 상기 카세트 매거진(CM) 내에 수용된 웨이퍼(W)를 고르게 정렬시킨 상태에서 상기 웨이퍼 워킹 빔 장치(1)의 입구단 측에 카세트 매거진(CM)이 공급되게 되면, 도 8a에 도시한 바와 같이 모터(25) 구동에 따른 전,후방회동캠(30a,30b)의 편심회전이 이루어짐과 동시에 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 각 크랭크핀(32a,32b)에 결합된 전,후방링크대(41a,41b)에 의해 직선왕복운동으로 전환된 전,후방슬라이드부재(39,40)가 슬라이드 이송되는 과정에서 상기 전,후방회동캠(30a,30b)의 전,후 원주면 상에 각기 대향되게 형성된 전,후방편심레일부(31a,31b) 및 상기 전,후방편심레일부(31a,31b)의 일측에 각각 구름 접촉되게 대향 설치된 전,후방크랭크핀(32a,32b)이 서로 전,후 높이차를 갖는 구조로 이루어짐에 따라 상기 후방회동캠(30b)의 편심회전에 의한 후방슬라이드부재(40)가 상기 후방회동캠(30b)의 후방크랭크핀(32b)에 결합된 후방링크대(41b)에 의해 직선왕복운동으로 전환되면서 하방(下方)으로 슬라이드 이송되어 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11) 전체가 하강하게 되고, 이와 동시에 상기 전방회동캠(30a)의 편심회전에 의한 전방슬라이드부재(39)가 상기 전방회동캠(30a)의 전방크랭크핀(32a)에 결합된 전방링크대(41a)에 의해 직선왕복운동으로 전환되면서 상방(上方)으로 슬라이드 이송될 때, 상기 전방슬라이드부재(39)의 전면(前面) 중앙에 고정된 회동전환너트부재(46) 역시 상기 전방슬라이드부재(39)와 함께 상승하면서 나선이송작용에 따른 볼스크류(45) 측에 회전력을 부여하여 이의 회전력을 통해 회동레버수단(50) 즉, 작동로울러(55)를 통해 상기 워킹 빔 레일(11)의 일측면에 고정된 작동레버(19)와 상호 결속된 상태로 소켓결합부(51)의 일단에 연결 결합된 회동블록(53)이 상기 소켓결합부(51)와 함께 볼스크류(45)의 회전방향과 동일방향으로 회동되면서 작동레버(19)를 작동시켜 이를 통해 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11) 전체가 워킹빔수평이송레일(20)을 따라 전방(前方)인 카세트 매거진(CM) 내부로 이송되면서 상기 카세트 매거진(CM) 내에 수용된 웨이퍼(W)의 하단으로 워킹 빔 포크(15)가 유입 위치되게 된다.First, the wafers W accommodated in the cassette magazine CM supplied through the magazine clamp and the elevator 70 are taken out one by one using the wafer walking beam device 1 of the present invention and sequentially placed on the wafer guide 5. Prior to the transfer arrangement, as shown in FIG. 7, the wafer W accommodated in the cassette magazine CM is evenly aligned through the wafer alignment means 60 provided at the inlet end side of the wafer working beam device 1. When the cassette magazine CM is supplied to the inlet end side of the wafer working beam device 1 in the above state, as shown in FIG. 8A, the front and rear pivot cams 30a and 30b according to the driving of the motor 25 are provided. At the same time the eccentric rotation of the front and rear pivoting cams (30a, 30b) of the front and rear link bars (41a, 41b) coupled to each of the crank pins (32a, 32b) is converted into a linear reciprocating motion, In the process of the slide back slide members (39,40) One side of the front and rear eccentric rail portions 31a and 31b and the front and rear eccentric rail portions 31a and 31b respectively formed on the front and rear circumferential surfaces of the front and rear pivot cams 30a and 30b. As the front and rear crank pins 32a and 32b are installed to face each other in contact with each other, the rear slide member 40 is formed by the eccentric rotation of the rear pivoting cam 30b. The moving beam fork 15 and the walking beam rail (sliding downward) while being converted into a linear reciprocating motion by the rear link stage 41b coupled to the rear crank pin 32b of the rear pivot cam 30b ( 11) the whole link is lowered, and at the same time the front link member (39) by the front slide member (39) by the eccentric rotation of the front rotation cam (30a) coupled to the front crank pin (32a) of the front rotation cam (30a) 41a), when the slide is conveyed upward while switching to straight reciprocating motion, the front shoulder The rotation switching nut member 46 fixed to the center of the front surface of the guide member 39 also rises together with the front slide member 39 while applying rotational force to the ball screw 45 side due to the spiral feed action thereof. One end of the socket coupling part 51 in a state in which the rotation lever means 50, that is, the operation lever 55 fixed to one side of the working beam rail 11 through the rotational force and are engaged with each other. The rotating block 53 connected to the rotating block 53 rotates in the same direction as the rotational direction of the ball screw 45 together with the socket coupling portion 51 to operate the operating lever 19 to thereby the working beam fork 15 and The walking beam fork toward the bottom of the wafer W accommodated in the cassette magazine CM while the whole working beam rail 11 is transferred into the cassette magazine CM that is forward along the working beam horizontal transfer rail 20. 15 becomes the inflow position.

그리고, 상기와 같은 이송작용을 통해 카세트 매거진(CM) 내에 수용된 웨이퍼(W)의 하단으로 워킹 빔 포크(15)가 유입 위치되게 되면, 도 8b에 도시한 바와 같이 연속적인 모터(25) 구동에 따른 전,후방회동캠(30a,30b)의 편심회전이 이루어지는 과정에서 전술한 도 8a와 같이 상기 후방회동캠(30b)의 편심회전에 의한 후방슬라이드부재(40)가 상기 후방회동캠(30b)의 후방크랭크핀(32b)에 결합된 후방링크대(41b)에 의해 직선왕복운동으로 전환되면서 하방(下方)으로 슬라이드 이송되어 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11) 전체가 하강하는 과정과 반대로, 상기 후방회동캠(30b)이 반대측으로 회전함에 따른 후방크랭크핀(32b)이 후방편심레일부(31b)를 따라 구름운동하면서 상방(上方)으로 상승하게 되고, 이와 동시에 상기 후방회동캠(30b)의 편심회전에 의한 후방슬라이드부재(40)가 상기 후방회동캠(30b)의 후방크랭크핀(32b)에 결합된 후방링크대(41b)에 의해 직선왕복운동으로 전환되면서 상방(下方)으로 슬라이드 이송되어 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11) 전체의 상승작용과 함께 상기 워킹 빔 포크(15)에 안착된 웨이퍼(W) 역시 동반 상승 하게 된다.Then, when the working beam fork 15 is introduced into the lower end of the wafer W accommodated in the cassette magazine CM through the transfer operation as described above, as shown in FIG. 8B, the continuous motor 25 is driven. In the process of eccentric rotation of the front and rear pivot cams (30a, 30b) according to the rear slide member 40 by the eccentric rotation of the rear pivot cam 30b as shown in Figure 8a described above is the rear pivot cam (30b) The process is to move the slide beam fork (15) and the whole walking beam rail 11 is lowered (down) as the linear reciprocating motion by the rear link stage 41b coupled to the rear crank pin (32b) of the lower On the contrary, as the rear rotation cam 30b rotates to the opposite side, the rear crank pin 32b rises upward while rolling along the rear eccentric rail portion 31b, and at the same time, the rear rotation cam Rear slice by eccentric rotation of 30b The member 40 is moved to a linear reciprocating motion by the rear link stage 41b coupled to the rear crank pin 32b of the rear pivoting cam 30b, and slides upward. And the wafer W seated on the working beam fork 15 together with the synergism of the entire working beam rail 11.

이와 같이 상기 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11) 전체의 상승작용을 통해 웨이퍼(W)가 상기 워킹 빔 포크(15)에 안착된 상태로 상승하게 되면, 도 8c에 도시한 바와 같이 연속적인 모터(25) 구동에 따른 전,후방회동캠(30a,30b)의 편심회전이 이루어지는 과정에서 전술한 도 8a와 같이 상기 전방회동캠(30a)의 편심회전에 의한 전방슬라이드부재(39)가 상기 전방회동캠(30a)의 전방크랭크핀(32a)에 결합된 전방링크대(41a)에 의해 직선왕복운동으로 전환되면서 상방(上方)으로 슬라이드 이송될 때, 상기 회동전환너트부재(46) 역시 상기 전방슬라이드부재(39)와 함께 상승하면서 나선이송작용에 따른 볼스크류(45) 측에 회전력을 부여하여 이의 회전력을 통해 회동레버수단(50)이 볼스크류(45)의 회전방향과 동일방향으로 회동되면서 작동레버(19)를 작동시켜 이를 통해 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11)을 카세트 매거진(CM) 내부로 이송시키는 과정과 반대로, 상기 전방회동캠(30a)이 반대측으로 회전함에 따른 전방크랭크핀(32a)이 전방편심레일부(31a)를 따라 구름운동하면서 하방(下方)으로 하강하게 되고, 이와 동시에 상기 전방회동캠(30a)의 편심회전에 의한 전방슬라이드부재(39)가 상기 전방회동캠(30a)의 전방크랭크핀(32a)에 결합된 전방링크대(41a)에 의해 직선왕복운동으로 전환되면서 하방(下方)으로 슬라이드 이송될 때, 상기 회동전환너트부재(46) 역시 상기 전방슬라이드부재(39)와 함께 하강하면서 나선이송작용에 따른 볼스크류(45) 측에 회전력을 부여하여 이의 회전력을 통해 회동레버수단(50)이 볼스크류(45)의 회전방향과 동일방향으로 회동되면서 작동레버(19)를 작동시켜 이를 통해 상기 웨이퍼(W)가 안착된 워킹 빔 포 크(15) 및 워킹 빔 레일(11) 전체가 카세트 매거진(CM) 내부로부터 웨이퍼 가이드(5) 측으로 이송되면서 상기 카세트 매거진(CM) 내에 수용된 웨이퍼(W)를 꺼내게 된다.As such, when the wafer W rises in a state of being seated on the working beam fork 15 through the synergism of the entire working beam fork 15 and the working beam rail 11, as shown in FIG. 8C. In the process of eccentric rotation of the front and rear pivot cams (30a, 30b) according to the continuous driving of the motor 25, the front slide member (39) by the eccentric rotation of the front pivot cam (30a) as shown in FIG. When the slide is transferred upward while being converted to a linear reciprocating motion by the front link stage 41a coupled to the front crank pin 32a of the front rotation cam 30a, the rotation switching nut member 46 The rotating lever means 50 in the same direction as the rotational direction of the ball screw 45 through the rotational force to give a rotational force to the ball screw 45 side according to the spiral transfer action while also rising with the front slide member 39 By rotating the operating lever (19) In contrast to the process of transporting the working beam fork 15 and the working beam rail 11 into the cassette magazine CM, the front crank pin 32a is rotated forward by the front crank cam 30a. While descending downward while rolling along a portion 31a, at the same time, the front crank pin of the front pivot cam 30a is moved by the front slide member 39 due to the eccentric rotation of the front pivot cam 30a. The slide turning nut member 46 is also lowered together with the front slide member 39 when the slide is transferred downward while being converted to a linear reciprocating motion by the front link stage 41a coupled to the 32a. The rotation lever means 50 is rotated in the same direction as the rotation direction of the ball screw 45 through the rotational force by applying a rotational force to the ball screw 45 side according to the spiral feed action to operate the operating lever 19 The wafer on which the wafer W is seated The king beam fork 15 and the whole working beam rail 11 are transferred from the cassette magazine CM to the wafer guide 5 side, and the wafer W accommodated in the cassette magazine CM is taken out.

그리고, 상기와 같은 이송작용을 통해 카세트 매거진(CM) 내에 수용된 웨이퍼(W)를 꺼내 웨이퍼 가이드(5) 측에 위치되게 되면, 도 8d에 도시한 바와 같이 연속적인 모터(25) 구동에 따른 전,후방회동캠(30a,30b)의 편심회전이 이루어지는 과정에서 전술한 도 8a와 같이 상기 후방회동캠(30b)의 편심회전에 의한 후방슬라이드부재(40)가 상기 후방회동캠(30b)의 후방크랭크핀(32b)에 결합된 후방링크대(41b)에 의해 직선왕복운동으로 전환되면서 하방(下方)으로 슬라이드 이송되어 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11) 전체가 하강하는 과정과 동일한 과정을 통해 상기 웨이퍼(W)가 안착된 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11) 전체가 하강하면서 상기 웨이퍼 가이드(5)에 웨이퍼(W)를 안착시키게 되고, 이와 같이 도 8a 내지 도 8d에 도시된 전,후방회동캠(30a,30b)에 의한 전,후방 크랭크 수단(33a,33b)의 승강작용 및 상기 전방 크랭크 수단(33a)의 일측에 고정된 회동전환너트부재(46)에 의한 볼스크류(45)의 회전작용에 따라 상기 워킹 빔 포크(15) 및 워킹 빔 레일(11)이 전(前), 상(上), 후(後), 하(下)의 순(順)으로 슬라이드 이송되는 연속적인 연동과정을 통해 상기 카세트 매거진(CM) 내에 수용된 웨이퍼(W)가 도 8e에 도시한 바와 같이 웨이퍼 가이드(5) 상에 1 스탭(step)씩 순차적으로 이송 배열되게 된다.Then, when the wafer W accommodated in the cassette magazine CM is taken out and positioned on the wafer guide 5 side as described above, as shown in FIG. 8D, the transfer of the continuous motor 25 is performed. In the process of eccentric rotation of the rear pivoting cams (30a, 30b), the rear slide member 40 by the eccentric rotation of the rear pivoting cam (30b) as shown in Figure 8a described above is rear of the rear pivoting cam (30b) The slide link is transferred downwards by the rear link stage 41b coupled to the crank pin 32b, and then slides downward so that the whole working beam fork 15 and the working beam rail 11 are all lowered. Through the process, the entire working beam fork 15 and the walking beam rail 11 on which the wafer W is seated are seated on the wafer guide 5 while the wafer W is lowered. Before and after by front and rear pivot cams 30a and 30b shown in 8d The walking beam fork 15 according to the lifting action of the room crank means 33a and 33b and the rotation action of the ball screw 45 by the rotation switching nut member 46 fixed to one side of the front crank means 33a. And a working beam rail 11 accommodated in the cassette magazine CM through a continuous interlocking process in which the moving beam rails 11 are slide-transmitted in the order of before, above, after, and below. As shown in FIG. 8E, the wafers W are sequentially transferred and arranged by one step on the wafer guide 5.

이상에서와 같이 상술한 실시예는 본 발명의 가장 바람직한 예에 대하여 설 명한 것이지만 상기 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 있어서 명백한 것이다.As described above, the above-described embodiment is described with respect to the most preferred example of the present invention, but is not limited to the above embodiment, and it is apparent to those skilled in the art that various modifications are possible without departing from the technical spirit of the present invention. will be.

도 1은 본 발명에 대한 웨이퍼 워킹 빔 장치를 개략적으로 나타낸 사시도.1 is a perspective view schematically showing a wafer walking beam device according to the present invention;

도 2는 본 발명에 대한 웨이퍼 워킹 빔 장치의 평면도.2 is a plan view of a wafer walking beam apparatus according to the present invention;

도 3은 본 발명에 대한 웨이퍼 워킹 빔 장치의 정면도.3 is a front view of a wafer walking beam apparatus according to the present invention.

도 4는 본 발명에 대한 웨이퍼 워킹 빔 장치의 분해 사시도.4 is an exploded perspective view of a wafer walking beam device according to the present invention;

도 5는 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치 중 전방 크랭크 수단의 분해 상세도.5 is an exploded detail view of the front crank means of the wafer walking beam apparatus of the present invention.

도 6은 본 발명의 웨이퍼 워킹 빔 장치 중 후방 크랭크 수단의 분해 상세도.Fig. 6 is an exploded detail view of the rear crank means in the wafer walking beam device of the present invention.

도 7은 본 발명에 대한 웨이퍼 워킹 빔 장치의 작동과정에 앞서 웨이퍼정렬수단을 이용해 카세트 매거진 내에 수용된 웨이퍼를 정렬시키는 상태도.Figure 7 is a state diagram for aligning the wafer accommodated in the cassette magazine using the wafer alignment means prior to the operation of the wafer working beam device according to the present invention.

도 8a 내지 도 8e는 본 발명에 대한 웨이퍼 워킹 빔 장치의 작동과정을 나타낸 상태도.8a to 8e is a state diagram showing the operation of the wafer walking beam apparatus according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1. 웨이퍼 워킹 빔 장치 3. 베이스플레이트1. Wafer working beam device 3. Base plate

5. 웨이퍼 가이드 11. 워킹 빔 레일5. Wafer guide 11. Working beam rail

12. 레일지지블록 13. 레일부12. Rail support block 13. Rail section

14. 워킹빔고정플레이트 15. 워킹 빔 포크14. Walking beam fixing plate 15. Walking beam fork

16. 포크 지지플레이트 17. 웨이퍼포크16. Fork Support Plate 17. Wafer Fork

18. 워킹빔슬라이드부재 19. 작동레버18. Working beam slide member 19. Operating lever

20. 워킹빔수평이송레일 23. 워킹빔수직이송봉20. Walking beam horizontal feed rail 23. Walking beam vertical feed rod

30a. 전방회동캠 30b. 후방회동캠30a. Forward Rotating Cam 30b. Rear pivot cam

31a. 전방편심레일부 31b. 후방편심레일부31a. Anterior eccentric rail part 31b. Rear eccentric rail

32a. 전방크랭크핀 32b. 후방크랭크핀32a. Front crank pin 32b. Rear crank pin

33a. 전방 크랭크 수단 33b. 후방 크랭크 수단33a. Front crank means 33b. Rear crank means

34a, 34b. 축지지플레이트 35. 레일블록플레이트34a, 34b. Axial Support Plates 35. Rail Block Plates

36a, 36b. 슬라이드홀 37. 레일블록36a, 36b. Slide Hole 37. Rail Block

37a. 전방레일부 37b. 후방레일부37a. Front rail part 37b. Rear rail part

39. 전방슬라이드부재 40. 후방슬라이드부재39. Front slide member 40. Rear slide member

41a. 전방링크대 41b. 후방링크대41a. Front link zone 41b. Rear link

42a, 42b. 크랭크핀홀 43. 전면커버42a, 42b. Crankpin Holes 43. Front Cover

44. 베어링브라켓 45. 볼스크류44. Bearing bracket 45. Ball screw

46. 회동전환너트부재 47. 상부커버46. Rotation shift nut member 47. Upper cover

50. 회동레버수단 51. 소켓결합부50. Rotating lever means 51. Socket coupling part

52. 연결브라켓 53. 회동블록52. Connecting bracket 53. Swivel block

54. 연결바 55. 작동로울러54. Connecting bar 55. Operation roller

56. 힌지핀 60. 웨이퍼정렬수단56. Hinge pin 60. Wafer alignment means

61. 실린더 62. 실린더지지블록61. Cylinder 62. Cylinder support block

63. 웨이퍼정렬판 70. 매거진 클램프 및 엘리베이터63. Wafer alignment plate 70. Magazine clamp and elevator

삭제delete

Ca. 전방편심원판 Cb. 후방편심원판Ca. Forward Eccentric Disc Cb. Rear Eccentric Disc

CM. 카세트 매거진 W. 웨이퍼CM. Cassette Magazine W. Wafer

Claims

Wafer load / configured to supply the wafer (W) and discharge the deposited wafer (W) to a PECVD system in which a plasma is formed in the chamber to deposit a deposition material on a surface of the wafer (W) using a chemical reaction. Working beam device for taking out the wafers (W) received from the cassette magazine (CM) supplied through the magazine clamp and the elevator 70 in the unload system in a sheet and transport them to the wafer guide (5) fixed to the base plate ( In 1),

The working beam device (1) includes a wafer guide (5) installed and fixed to be spaced apart from each other on top of the base plate (3);

Installed between the wafer guides 5, each of the front and rear pivoting cams 30a and 30b when the eccentric rotation of the front and rear pivoting cams 30a and 30b connected to the driving motor 25 and the belt 27 is performed. To the front and rear link stages 41a and 41b coupled to the front and rear crank pins 32a and 32b of the front and rear pivot cams 30a and 30b among the front and rear crank means 33a and 33b connected to one end. Lifting action of the front and rear slide members (39, 40) is converted to a linear reciprocating motion to slide up and down, and the rotation switching nut member fixed to the front surface of the front and rear slide members (39) The rotation screw means 50 connected to the ball screw with the rotation of the ball screw 45 is also rotated in the same direction by imparting a rotational force according to the spiral transfer action on the ball screw 45 side screwed with the 46. Front and rear linear transfer action to linearly transfer the operation lever 19 connected to one side of the rotation lever means 50 is connected to each other (W) housed in a cassette magazine (CM) supplied through a magazine clamp and an elevator 70 while being slide-linked in the order of before, above, after, and below. Working beam fork 15 and working beam rail 11 for taking out the sheets one by one and sequentially transporting them on the wafer guide 5;

Front and rear pivoting cams 30a and 30b coupled to the driven pulley 26a and the shaft 26 connected to the drive pulley 25a and the belt 27 of the drive motor 25;

It is connected to each one end of the front and rear pivot cams (30a, 30b), the straight line with respect to the eccentric rotation of the front and rear pivot cams (30a, 30b) to which the rotation force of the motor 25 is transmitted through the belt 27 Front and rear crank means 33a and 33b for transferring the working beam fork 15 and the working beam rail 11 up and down while being switched to reciprocating motion;

It is fixed to the front (front surface) of the front crank means (33a), while ascending and descending with the front crank means (33a) to give a rotational force to the ball screw 45 according to the spiral feed by the working beam fork through its rotational force A rotation shift nut member 46 and a ball screw 45 engaged therewith to allow the 15 and the walking beam rail 11 to be moved forward and backward;

The upper end of the ball screw 45 and the one side of the working beam rail 11 are respectively installed but fixed in a mutually coupled state, and operate the working beam rail 11 with the left and right pivoting action through the ball screw 45. Solar cell wafer working beam device, characterized in that consisting of a rotating lever means (50) and the operating lever (19) for conveying the working beam fork (15) and the working beam rail (11) back and forth.

delete

The method of claim 1, wherein the working beam fork 15 is fork support plate (16) which is installed on the front upper end of the working beam rail (11); It is composed of a wafer fork (17) installed on the front upper end of the fork support plate 16 to take out the wafer (W) housed in the cassette magazine (CM) sheet by sheet,

The front, rear, and front of the fork support plate 16 together with the fork seat 16c for fixing the wafer forks 17 and the walking beam rails 11. (Iii) The wafer W taken out from the cassette magazine CM through the wafer forks 17 slide-linked in the downward direction to be seated and transferred onto the wafer guide 5. Wafer seating protrusions 16a for forming the wafer seating portions 16b proportional to the size of?

A solar cell wafer walking beam device, characterized in that a wafer engaging protrusion (17a) is formed on the front upper end of the wafer fork (17) to smoothly engage the wafer (W) accommodated in the cassette magazine (CM).

The rail support block 12 of claim 1, wherein the working beam rail 11 is fixed together with the working beam slide member 18 and the working beam fixing plate 14 at an upper end of the working beam horizontal transfer rail 20. And, on the upper end of the rail support block 12 is composed of a rail unit 13 which is connected in a fixed form in each unit block body,

The rail unit 13 has a cassette magazine through a walking beam fork 15 that slides in interlocking directions with the working beam rail 11 in the front, upper, rear, and lower directions. To form a wafer seating portion 13b which is proportional to the size of the wafer W so that the wafer W taken out from the sheet CM can be sequentially seated and transported to the correct position of the wafer guide 5. Solar cell wafer walking beam device, characterized in that the wafer seating projection (13a) is formed at equal intervals.

According to claim 1, wherein the front and rear pivoting cams (30a, 30b) is formed in the shape of a disk that the entire shape is coupled to the driven pulley (26a) and the shaft 26, the shaft 26 on the front and rear circumferential surface Eccentric rail portions 31a and 31b and eccentric discs Ca and Cb of the same shape eccentric to one side from the center are formed, respectively, and on one side of each of the eccentric rail portions 31a and 31b, eccentric discs Ca and Cb The outer and outer circumferential surface of the) and the inner circumferential surface of the eccentric rail portion (31a, 31b) to make a mutual cloud contact while rotating according to the motor 25 driving while rolling along the eccentric rail portion (31a, 31b) the front and rear pivot cam ( Solar cell wafer walking beam device characterized in that the crank pins (32a, 32b) for converting the front and rear crank means (33a, 33b) to a linear reciprocating motion for the eccentric rotation of the movement (30a, 30b) are installed facing each other .

6. The eccentric rail portions 31a and 31b and the eccentric rail portions 31a and 31b respectively formed on the front and rear circumferential surfaces of the front and rear pivot cams 30a and 30b, respectively. Solar cell wafer walking beam device, characterized in that the two crank pins (32a, 32b) facing each other in contact with each other on the one side has a height difference before and after each other.

The front and rear crank means (33a, 33b) and the shaft support plates (34a, 34b) for supporting both ends of the shaft 26 provided through the front and rear pivot cams (30a, 30b) ;

A rail block plate (35) installed and fixed at the upper ends of the shaft support plates (34a, 34b) and through which slide holes (36a, 36b) pass through the center and rear sides thereof, respectively;

A rail block (37) fixed to an upper end of the rail block plate (35) and having front and rear rail parts (37a, 37b) on front and left and right sides thereof, respectively;

Slide blocks 39a and 40a are respectively coupled to the front and rear rail portions 37a and 37b of the rail block 37 while being inserted into the slide holes 36a and 36b of the rail block plate 35. Front and rear slide members (39, 40) provided;

Crank pins 32a and 32b installed opposite one side of the eccentric rail portions 31a and 31b of the front and rear pivot cams 30a and 30b while being fixed to the lower ends of the front and rear slide members 39 and 40. Coupled to), the eccentric rotation of the front and rear pivot cams (30a, 30b) in accordance with the drive of the motor 25 to the linear reciprocating motion to slide the front and rear slide members (39, 40) up and down, respectively Solar cell wafer walking beam device, characterized in that consisting of the front and rear link band (41a, 41b).

According to claim 7, wherein the ball screw 45 is coupled to both ends by a bearing bracket 44 bolted to the upper and lower ends of the front cover 43 is fixed to the front upper end of the rail block plate 35 Rotational conversion nut member 46 is fixed to the center of the front slide member 39, the spiral portion of the ball screw 45 is spirally coupled to the top of the ball screw 45, Rotating lever means 50 which is coupled to the operating lever 19 fixed to one side of the beam rail 11 is installed, the top cover 43 and the upper cover fixed to the top of the rail block 37 Solar cell wafer walking beam device characterized in that the fixed state is supported by).

According to claim 1, wherein the rotation lever means 50 is hollow socket coupling portion 51 having a cutout portion (51a) at the lower end to be fixed to the upper end of the ball screw (45);

Ball screw transferred through the socket coupling portion 51 is coupled to one end of the socket coupling portion 51 in a state in which the operating lever 19 is fixed to one side of the working beam rail (11). A rotation block 53 for operating the operating lever 19 while rotating in the same direction according to the rotational force of the 45 so that the working beam rail 11 and the working beam fork 15 are moved back and forth;

It is mounted in the operating lever 19 in a state that is rotatably coupled to the upper end of the rotation block 53, the rotation of the rotation block 53 through the ball screw 45 and the socket coupling portion 51 during its rotation operation Solar cell wafer walking beam device, characterized in that consisting of an operating roller (55) for power to be acted through the rolling motion in the operating lever (19).

The method of claim 9, wherein one end of the socket coupling portion 51 is formed integrally with the connection bracket 52 of the "c" shape for connecting and coupling with the rotation block 53,

One end and the center of the rotation block 53, the connection bar 54 for binding to the socket coupling portion 51 by binding in the connection bracket 52 formed at one end of the socket coupling portion 51, and the operation A hinge pin hole 53a for rotatably coupling the roller 55 is formed.

The lower end of the operation roller 55 is coupled to the hinge pin hole (53a) of the rotation block 53 is characterized in that the hinge pin 56 is formed integrally to enable the free rotation of the operation roller (55) Solar cell wafer walking beam device.

The cassette magazine (CM) according to claim 1, wherein the cassette magazine (CM) is located on the inlet end side of the working beam device (1) provided between the wafer guides (5) and the cassette magazine (CM) supplied through an elevator (70). Solar cell wafer walking beam device characterized in that the wafer alignment means (60) is further provided for aligning the wafer (W) accommodated in the).

12. The method of claim 11, wherein the wafer alignment means (60) comprises a cylinder (61) in which the length of the rod is changed by hydraulic or pneumatic;

A cylinder support block (62) for supporting the cylinder (61);

It is fixed to one end of the rod of the cylinder 61, consisting of a wafer alignment plate 63 for aligning the wafer (W) accommodated in the cassette magazine (CM) through a forward and backward transfer action according to the change of the length of the cylinder (61) Solar cell wafer walking beam device, characterized in that.

delete