KR101110031B1 - 이물질 제거장치 - Google Patents

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    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
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Abstract

본 발명은 이물질 제거장치에 관한 것으로, 본 발명은 헤드 지지대에 구비되는 가이드 유닛과; 상기 가이드 유닛에 연결되는 베이스 부재와; 상기 베이스 부재에 구비되는 자석 고정부재들과; 양단들이 각각 상기 자석 고정부재들에 연결되며, 이물질이 달라붙는 자성부재와; 상기 베이스 부재를 상하로 움직이는 베이스 부재 구동유닛과; 상기 자성부재에 달라붙은 이물질을 닦아내는 클리닝 유닛을 포함한다. 본 발명에 따르면, 디스펜서의 스테이지 및 그 스테이지에 놓인 기판에 존재하는 이물질을 제거할 뿐만 아니라 상기 스테이지 위에 떠다니는 이물질을 제거하게 된다. 또한, 상기 클리닝 유닛이 상기 자성부재에 달라붙은 이물질을 닦아내므로 자성부재에 이물질이 잘 달라붙게 된다.

Description

이물질 제거장치{APPARATUS FOR REMOVING PARTICLES}
본 발명은 디스펜서용 이물질 제거장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정 표시장치는 컬러 필터층이 구비된 제1 기판과, 구동 소자들이 배열된 제2 기판과, 상기 제1 기판과 제2 기판을 부착시키는 페이스트(일명, 실런트라고도 함) 패턴과, 상기 제1,2 기판들 사이에 위치하는 액정층을 포함한다.
상기 액정 표시장치는 제2 기판의 구동 소자들에 전원이 인가되면 그 구동 소자들이 액정층의 액정 분자들을 구동시켜 그 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 화상 정보를 표시하게 된다.
상기 액정 표시장치를 제작하는 방법 중의 일예는 다음과 같다.
먼저, 일정 크기를 갖는 판 형상의 글라스에 구동 소자들이 구비된 기판을 제작한다. 일정 크기를 갖는 판 형상의 글라스에 컬러 필터층이 구비된 기판을 제작한다. 그 두 개의 기판들 중 하나의 기판에 페이스트를 설정된 패턴으로 도포한다. 그 페이스트 패턴의 안쪽 영역에 액정 방울들을 떨어뜨린다. 그 두 개의 기판을 합착한다. 그 합착된 두 개의 기판들을 마더 글라스라 한다. 상기 마더 글라스를 절단하여 액정 표시장치를 구성하는 단위 패널들로 분할한다.
액정 방울들을 기판에 떨어뜨리는 공정은 액정 디스펜서에서 진행되고, 페이스트를 기판에 도포하는 공정은 실 디스펜서에서 진행된다.
도 1은 액정 디스펜서의 일예를 도시한 사시도이다. 이에 도시한 바와 같이, 상기 디스펜서는 프레임(100), 스테이지(200), 제1 가이드 유닛(300)들, 헤드 지지대(400), 제1 구동유닛(500), 제2 가이드 유닛(600), 헤드 유닛(700), 제2 구동유닛(800)을 포함한다.
상기 프레임(100) 상면에 상기 스테이지(200)가 구비된다. 상기 스테이지(200)가 상기 프레임(100)의 상면에 직선으로 움직임 가능하게 구비될 수 있다. 상기 스테이지(200)가 움직임 가능하게 구비될 경우 상기 프레임(100)에 상기 스테이지(200)를 움직이는 구동유닛(미도시)이 구비된다.
상기 제1 가이드 유닛(300)들은 상기 스테이지(200)의 양옆에 각각 위치하도록 상기 프레임(100) 상면에 구비된다.
상기 헤드 지지대(400)는 일정 간격을 두고 위치하는 두 개의 수직부(410)들과 그 두 개의 수직부(410)들의 상부를 연결하는 수평부(420)를 포함한다. 상기 헤드 지지대(400)의 수직부(410)들의 단부들은 각각 상기 제1 가이드 유닛(300)들에 연결된다.
상기 제1 구동유닛(500)은 상기 헤드 지지대(400)를 움직인다. 상기 헤드 지지대(400)는 제1 가이드 유닛(300)을 따라 직선으로 움직인다.
상기 제2 가이드 유닛(600)은 상기 헤드 지지대(400)의 수평부(420)의 한쪽면에 구비된다.
상기 헤드 유닛(700)은 상기 제2 가이드 유닛(600)에 연결된다.
상기 제2 구동유닛(800)이 상기 헤드 유닛(700)을 움직인다. 상기 헤드 유닛(700)은 상기 제2 가이드 유닛(600)을 따라 직선으로 움직인다.
상기 헤드 지지대(400)는 Y축 방향으로 움직이고, 상기 헤드 유닛(700)은 X축 방향으로 움직인다.
상기 헤드 유닛(700)은 노즐(미도시)을 포함한다.
상기한 바와 같은 액정 디스펜서의 작동은 다음과 같다.
먼저, 이송 로봇(미도시)이 이송 로봇의 아암으로 기판(G)을 들어올린 후 이동하여 스테이지(200) 위에 기판(G)을 내려 놓는다. 상기 기판(G)이 스테이지(200)의 상면에 흡착된다.
상기 제1 구동유닛(500)과 제2 구동유닛(800)이 상기 헤드 유닛(700)을 설정된 데이터에 따라 움직인다. 상기 헤드 유닛(700)이 움직이는 동안 상기 헤드 유닛(700)의 노즐을 통해 액정 방울을 떨어뜨린다.
그러나 상기한 바와 같은 디스펜서는 상기 제1 구동유닛(500)과 제2 구동유닛(800)이 헤드 유닛(700)을 움직일 때 그 제1 구동유닛(500)과 제2 구동유닛(800)에서 이물질이 발생할 가능성이 크다. 또한, 상기 스테이지(200)에 놓여진 기판(G)에 이물질이 존재할 가능성이 크다. 이와 같이, 상기 제1,2 구동유닛(500)(800)이 작동할 때 이물질이 발생하거나 기판(G)에 이물질이 존재할 경우 그 이물질이 제품 불량의 원인이 될 수 있다.
본 발명의 목적은 디스펜서의 스테이지 및 그 스테이지에 놓인 기판에 존재하는 이물질을 제거하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 디스펜서의 스테이지 위쪽에 떠다니는 이물질도 제거하는 것이다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 헤드 지지대에 구비되는 자석 고정부재들; 양끝 부분들이 각각 상기 자석 고정부재들에 연결되며, 이물질이 달라붙는 자성부재를 포함하는 이물질 제거장치가 제공된다.
또한, 헤드 지지대에 구비되는 가이드 유닛; 상기 가이드 유닛에 연결되는 베이스 부재; 상기 베이스 부재에 구비되는 자석 고정부재들; 양끝 부분들이 각각 상기 자석 고정부재들에 연결되며, 이물질이 달라붙는 자성부재; 및 상기 베이스 부재를 상하로 움직이는 베이스 부재 구동유닛을 포함하는 이물질 제거장치가 제공된다.
또한, 헤드 지지대에 구비되는 가이드 유닛; 상기 가이드 유닛에 연결되는 베이스 부재; 상기 베이스 부재에 구비되는 자석 고정부재들; 양끝 부부들이 각각 상기 자석 고정부재들에 연결되며, 이물질이 달라붙는 자성부재; 상기 베이스 부재를 상하로 움직이는 베이스 부재 구동유닛; 및 상기 자성부재에 달라붙은 이물질을 닦아내는 클리닝 유닛을 포함하는 이물질 제거장치가 제공된다.
상기 클리닝 유닛은 상기 베이스 부재에 구비되는 가이드 유닛; 상기 자성부재를 감싸며, 상기 가이드 유닛에 연결되는 클리닝 부재; 및 상기 클리닝 부재를 움직이는 클리닝 부재 구동유닛을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 클리닝 유닛은 상기 클리닝 부재에서 이탈되는 이물질이 쌓이는 집진부재를 더 포함한다.
본 발명은 헤드 지지대에 구비되어 상기 헤드 지지대와 함께 움직이면서 스테이지 및 기판에 존재하는 이물질을 자력에 의해 부착시켜서 상기 스테이지 및 기판에 존재하는 이물질을 상기 스테이지 및 기판으로부터 제거하게 된다. 특히, 디스펜서를 구성하는 제1 구동유닛 및 제2 구동유닛이 작동하면서 이물질이 발생될 수 있다. 상기 제1,2 구동유닛이 작동하면서 이물질이 발생되면 그 이물질은 대부분 스테이지 및 기판에 놓이게 된다.
또한, 본 발명은 자성부재가 헤드 지지대와 함께 수평 방향으로 움직이며, 또한 상기 자성부재가 상하로 이동하게 됨으로써 상기 스테이지 위쪽에 떠다니는 미세한 이물질이 자성부재에 달라붙어 상기 스테이지 위쪽에 떠다니는 이물질까지도 제거가 가능하게 된다. 또한 자성부재가 상하로 이동하게 되므로 상기 스테이지와 자성부재의 간격을 조절할 수 있다.
또한, 본 발명은 클리닝 유닛이 상기 자성부재에 달라붙은 이물질을 자동으로 닦아내게 되므로 자성부재에 이물질이 잘 달라붙게 된다.
이하, 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제1 실시예가 구비된 액정 디스펜서의 일예를 도시한 사시도이다. 도 3은 상기 이물질 제거장치의 제1 실시예를 도시한 정면도이다. 도 4는 상기 이물질 제거장치의 제1 실시예를 도시한 측면도이다.
도 2, 3, 4를 참조하여, 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제1 실시예를 설명한다.
먼저, 프레임(100) 상면에 스테이지(200)가 구비된다. 상기 스테이지(200)의 양옆에 각각 위치하도록 상기 프레임(100)의 상면에 제1 가이드 유닛(300)들이 구비된다. 상기 제1 가이드 유닛(300)은 가이드 레일(310)과, 상기 가이드 레일(310)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩 블록(320)을 포함한다. 상기 가이드 레일(310)의 길이는 상기 프레임(100)의 길이와 같은 것이 바람직하다. 상기 두 개의 제1 가이드 유닛(300) 사이에 상기 스테이지(200)가 위치한다.
상기 제1 가이드 유닛(300)에 헤드 지지대(400)가 연결된다. 상기 헤드 지지대(400)는 일정 간격을 두고 위치하는 두 개의 수직부(410)들과, 상기 두 개의 수직부(410)들의 상부를 연결하는 수평부(420)를 포함한다. 상기 헤드 지지대(400)의 수직부(410)들의 단부들이 각각 상기 제1 가이드 유닛(300)들의 슬라이딩 블록(320)에 결합된다. 상기 헤드 지지대(400)의 위에서 볼 때, 상기 헤드 지지대(400)의 수평부(420)가 상기 스테이지(200)와 상기 제1 가이드 유닛(300)의 가이 드 레일(310)을 가로지른다.
상기 헤드 지지대(400)를 제1 구동유닛(500)이 움직인다. 상기 제1 구동유닛(500)은 리니어 모터임이 바람직하다. 상기 리니어 모터는 고정자와 가동자를 포함한다. 상기 리니어 모터의 고정자는 상기 프레임(100)에 장착되고, 리니어 모터의 가동자는 상기 헤드 지지대(400) 또는 상기 제1 가이드 유닛(300)의 슬라이딩 블록(320)에 결합된다.
또한, 상기 제1 구동유닛(500)은 모터 및 볼 스크류 어셈블리를 포함할 수 있다.
상기 헤드 지지대(400)의 수평부(420)의 한쪽면에 제2 가이드 유닛(600)이 구비된다.
상기 제2 가이드 유닛(600)에 복수 개의 헤드 유닛(700)들이 연결된다. 상기 헤드 유닛(700)은 노즐(미도시)을 포함한다. 상기 헤드 지지대(400)의 수평부(420)에 상기 헤드 유닛(700)을 움직이는 제2 구동유닛(800)이 구비된다. 상기 제2 구동유닛(800)은 리니어 모터임이 바람직하다.
상기 헤드 지지대(400)는 Y축 방향으로 움직이고, 상기 헤드 유닛(700)은 X축 방향으로 움직인다.
상기 헤드 지지대(400)에 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제1 실시예가 구비된다.
상기 이물질 제거장치의 제1 실시예는 상기 헤드 지지대(400)의 한쪽면에 구비된다. 상기 이물질 제거장치의 제1 실시예가 구비된 헤드 지지대(400)의 면은 상 기 헤드 유닛(700)이 구비된 면의 반대편 면인 것이 바람직하다.
상기 이물질 제거장치의 제1 실시예는 두 개의 자석 고정부재(910)들과, 이물질이 달라붙는 자성부재(920)를 포함한다.
상기 두 개의 자석 고정부재(910)들은 서로 일정한 간격을 두고 상기 헤드 지지대(400)에 고정 결합된다. 한 개의 자석 고정부재(910)는 상기 헤드 지지대(400)의 한 개의 수직부(410) 일면에 고정 결합된다. 다른 한 개의 자석 고정부재(910)는 상기 헤드 지지대(400)의 다른 한 개의 수직부(410) 일면에 고정 결합된다. 상기 두 개의 자석 고정부재(910)들은 상기 수평부(420)에 고정 결합될 수 있다.
상기 자성부재(920)는 설정된 길이를 가지며 단면이 균일한 것이 바람직하다. 상기 자성부재(920)의 단면이 원형임이 바람직하다. 상기 자성부재(920)의 단면은 사각형, 타원형, 육각형 등 다양한 형태로 이루어질 수 있다.
상기 자성부재(920)는 영구자석인 것이 바람직하다. 상기 자성부재(920)는 전자석일 수 있다.
상기 자성부재(920)의 한쪽 끝부분은 상기 한 개의 자석 고정부재(910)에 결합되고, 상기 자성부재(920)의 다른 한쪽 끝부분은 상기 다른 한 개의 자석 고정부재(910)에 결합된다.
상기 자석 고정부재(910)에 관통 구멍이 형성되고, 상기 자성부재(920)의 한쪽이 상기 자석 고정부재(910)의 관통 구멍에 삽입됨이 바람직하다. 한편, 상기 자석 고정부재(910)에 홈이 구비되고, 상기 자성부재(920)의 한쪽이 상기 자석 고정 부재(910)의 홈에 삽입될 수 있다.
상기 자석 고정부재(910)와 상기 자성부재(920)가 서로 결합될 수 있는 상기 자석 고정부재(910)의 구조와 상기 자성부재(920)의 구조는 다양하게 구현될 수 있다.
상기 스테이지(200)의 상면과 상기 자성부재(920)와의 가장가까운 수직 거리는 3mm ~ 4mm인 것이 바람직하다.
도 5는 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제2 실시예를 도시한 정면도이다. 도 6은 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제2 실시예를 도시한 측면도이다.
도 5, 6에 도시한 바와 같이, 상기 이물질 제거장치의 제2 실시예는 제1 실시예와 마찬가지로 상기 헤드 지지대(400)의 한쪽면에 구비된다.
상기 이물질 제거장치의 제2 실시예는 수직 방향 가이드 유닛(930)과, 베이스 부재(940)와, 자석 고정부재(910)들과, 자성부재(920)와, 베이스 부재 구동유닛(950)을 포함한다.
상기 수직 방향 가이드 유닛(930)은 상기 헤드 지지대(400)의 한쪽면에 구비된다. 상기 수직 방향 가이드 유닛(930)은 두 개임이 바람직하다. 상기 두 개의 수직 방향 가이드 유닛(930)은 상기 헤드 지지대(400)의 한쪽면에 서로 일정한 간격을 두고 각각 구비된다. 상기 수직 방향 가이드 유닛(930)은 가이드 레일(931)과, 상기 가이드 레일(931)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩 블록(932)을 포함한다. 상기 가이드 레일(931)은 수직이되도록 상기 헤드 지지대의 한쪽면에 결합된다.
상기 베이스 부재(940)는 상기 수직 방향 가이드 유닛(930)들에 연결된다. 상기 베이스 부재(940)는 판 형상임이 바람직하다. 상기 베이스 부재(940)의 두께는 균일한 것이 바람직하다. 상기 베이스 부재(940)는 상기 수직 방향 가이드 유닛(930)의 슬라이딩 블록(932)에 결합된다.
상기 자석 고정부재(910)는 두 개임이 바람직하다. 상기 두 개의 자석 고정부재(910)들은 서로 일정한 간격을 두고 상기 베이스 부재(940)에 고정 결합된다.
상기 자성부재(920)에 이물질이 달라 붙는다. 상기 자성부재(920)는 설정된 길이를 가지며 단면이 균일한 것이 바람직하다. 상기 자성부재(920)의 단면이 원형임이 바람직하다. 상기 자성부재(920)의 단면은 사각형, 타원형, 육각형 등 다양한 형태로 이루어질 수 있다.
상기 자성부재(920)는 영구자석인 것이 바람직하다. 상기 자성부재(920)는 전자석일 수 있다.
상기 자성부재(920)의 한쪽 끝부분은 상기 한 개의 자석 고정부재(910)에 결합되고, 상기 자성부재(920)의 다른 한쪽 끝부분은 상기 다른 한 개의 자석 고정부재(910)에 결합된다.
상기 자석 고정부재(910)에 관통 구멍이 형성되고, 상기 자성부재(920)의 한쪽이 상기 자석 고정부재(910)의 관통 구멍에 삽입됨이 바람직하다. 한편, 상기 자석 고정부재(910)에 홈이 구비되고, 상기 자성부재(920)의 한쪽이 상기 자석 고정부재(910)의 홈에 삽입될 수 있다.
상기 자석 고정부재(910)와 상기 자성부재(920)가 서로 결합될 수 있는 상기 자석 고정부재(910)의 구조와 상기 자성부재(920)의 구조는 다양하게 구현될 수 있다.
상기 베이스 부재 구동유닛(950)은 상기 베이스 부재(940)를 상하로 움직인다. 상기 베이스 부재 구동유닛(950)은 상기 헤드 지지대(400)의 한쪽면에 설치된다. 상기 베이스 부재 구동유닛(950)은 상기 베이스 부재(940)와 연결된다.
상기 베이스 부재 구동유닛(950)은 공압 실린더, 볼 스크류 어셈블리, 리니어 모터 등이 될 수 있다.
도 7는 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제3 실시예를 도시한 정면도이다. 도 8은 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제3 실시예를 도시한 측면도이다.
도 7, 8에 도시한 바와 같이, 상기 이물질 제거장치의 제3 실시예는 제1 실시예와 마찬가지로 상기 헤드 지지대(400)의 한쪽면에 구비된다.
상기 이물질 제거장치의 제3 실시예는 수직 방향 가이드 유닛(930)과, 베이스 부재(940)와, 자석 고정부재(910)들과, 자성부재(920)와, 베이스 부재 구동유닛(950)과, 클리닝 유닛을 포함한다.
상기 수직 방향 가이드 유닛과, 상기 베이스 부재와, 상기 자석 고정부재들과, 상기 자성부재와, 상기 베이스 부재 구동유닛은 상기 제2 실시예의 수직 방향 가이드 유닛(930)과, 베이스 부재(940)와, 자석 고정부재(910)들과, 자성부재(920)와, 베이스 부재 구동유닛(950)과 같다.
상기 수직 방향 가이드 유닛(930)과, 상기 베이스 부재(940)와, 상기 자석 고정부재(910)들과, 상기 자성부재(920)와, 상기 베이스 부재 구동유닛(950)에 대 한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 클리닝 유닛은 상기 자성부재(920)에 달라붙은 이물질을 닦아낸다. 상기 클리닝 유닛은 수평 방향 가이드 유닛(960)과, 클리닝 부재(970)와, 클리닝 부재 구동유닛(980)을 포함한다.
상기 수평 방향 가이드 유닛(960)은 가이드 레일(961)과, 상기 가이드 레일(961)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩 블록(962)을 포함한다. 상기 가이드 레일(961)은, 상기 베이스 부재(940)의 상부에 위치하도록, 상기 베이스 부재(940)에 수평으로 결합된다.
상기 클리닝 부재(970)는 상기 자성부재(920)를 감싸고 상기 수평 방향 가이드 유닛(960)의 슬라이딩 블록(962)에 연결된다.
상기 클리닝 부재(970)의 일예로, 상기 클리닝 부재(970)는 상기 자성부재(920)를 감싸는 클리닝부(971)와, 상기 클리닝부(971)와 상기 수평 방향 가이드 유닛(960)을 연결하는 연결부(972)로 이루어진다. 상기 클리닝부(971)는 원통 형태이다. 상기 원통 형태는 길이 방향으로 내주면과 외주면을 관통하는 개구가 구비됨이 바람직하다. 상기 개구는 균일한 폭을 갖는다. 상기 클리닝부(971)의 내경은 균일하다. 상기 클리닝부(971)의 내경은 상기 자성부재(920)의 외경과 같은 것이 바람직하다.
상기 클리닝부(971)의 관통된 내부 구멍 내경은 균일하지 않을 수 있다. 즉, 도 9에 도시한 바와 같이, 상기 클리닝부(971)의 내부 구멍의 중간 부분은 상기 자성부재(920)의 외경과 같고, 그 클리닝부(971)의 내부 구멍의 중간 부분부터 각 양 쪽 끝까지는 깔떼기 형상으로 끝으로 갈수록 내경이 점점 커지게 형성된다.
상기 클리닝 부재(970)의 연결부(972)는 상기 클리닝부(971)의 외주면으로부터 설정된 길이로 연장된다. 상기 연결부(972)는 상기 수평 방향 가이드 유닛(960)의 슬라이딩 블록(962)에 연결된다.
상기 클리닝 부재 구동유닛(980)은 상기 베이스 부재(940)에 구비된다. 상기 클리닝 부재 구동유닛(980)은 상기 클리닝 부재(970)를 직선으로 움직인다. 상기 클리닝 부재 구동유닛(980)은 상기 베이스 부재(940)의 한쪽에 고정 결합되는 고정 블록(981)과, 상기 베이스 부재(940)의 다른 한쪽에 장착되는 회전 모터(982)와, 상기 회전 모터(982)의 모터 축과 상기 고정 블록(981)에 연결되는 볼 스크류(983)를 포함한다. 상기 상기 클리닝 부재(970) 또는 수평 방향 가이드 유닛(960)의 슬라이딩 블록(962)에 나사공을 구비하고, 상기 볼 스크류(983)가 상기 나사공에 체결되어 관통한다.
상기 클리닝 유닛은 집진부재(990)를 더 포함하는 것이 바람직하다. 상기 클리닝 부재(970)가 자성부재(920)에 달라붙은 이물질을 닦아낼 때 상기 자성부재(920)로부터 이물질이 떨어질 경우 그 이물질이 상기 집진부재(990)에 떨어지게 된다.
상기 집진부재(990)는, 도 10에 도시한 바와 같이, 상기 클리닝 부재(970)의 클리닝부를 감싸는 커버부(991)와, 상기 커버부(991)로부터 연장되어 상기 클리닝 부재(970)의 연결부(972)와 결합되는 결합부(992)로 이루어진다. 상기 집진부재(990)는 상기 클리닝 부재(970)에 착탈 가능하게 결합됨이 바람직하다.
본 발명에 따른 이물질 제거장치가 설치된 디스펜서는 스테이지가 고정되고 헤드 지지대가 움직이는 디스펜서이다. 하지만, 본 발명에 따른 이물질 제거장치는 스테이지와 헤드 지지대가 각각 움직이는 디스펜서에도 적용될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 이물질 제거장치가 설치된 디스펜서는 액정 방울을 기판위에 떨어뜨리는 액정 디스펜서이다. 하지만, 본 발명에 따른 이물질 제거장치는 기판위에 페이스트를 도포시키는 실 디스펜서에 설치될 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 이물질 제거장치의 제1 실시예에 대하여 설명한다.
이송 로봇(미도시)이 이송 로봇의 아암으로 기판(G)을 들어올린 후 이동하여 스테이지(200) 상면에 기판(G)을 내려 놓는다. 상기 기판(G)이 스테이지(200)의 상면에 흡착된다.
상기 제1 구동유닛(500)이 상기 헤드 지지대(400)를 Y축 방향으로 왕복 운동시킨다. 상기 헤드 지지대(400)는 상기 제1 가이드 유닛(300)을 따라 직선으로 움직인다. 상기 헤드 지지대(400)가 직선 왕복 운동함에 따라 그 헤드 지지대(400)에 구비된 자성부재(920)가 스테이지(200)의 위쪽에서 움직이면서 상기 기판(G) 및 스테이지(200)에 존재하는 이물질을 당기게 된다.
상기 제1 구동유닛(500)과 제2 구동유닛(800)이 상기 헤드 유닛(700)을 설정된 데이터에 따라 움직인다. 상기 헤드 유닛(700)이 움직이는 동안 상기 헤드 유닛(700)의 노즐을 통해 액정 방울을 떨어뜨린다. 상기 제1 구동유닛(500)이 상기 헤드 지지대(400)를 움직이게 되므로 상기 제1 구동유닛(500)과 제2 구동유닛(800) 이 상기 헤드 지지대(400)와 헤드 유닛(700)을 움직이면서 이물질이 발생하게 될 경우 그 이물질이 헤드 지지대(400)에 구비된 자성부재(920)에 달라붙게 된다.
본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제2 실시예에서, 상기 자성부재(920)가 상기 헤드 지지대(400)와 함께 수평 방향으로 움직인다. 또한 상기 자성부재(920)가 상하로 움직이게 된다. 즉, 상기 베이스 부재 구동유닛(950)이 상기 베이스 부재(940)를 아래로 움직이거나 위로 움직인다. 상기 베이스 부재(940)이 수직 방향 가이드 유닛(930)을 따라 움직인다. 상기 베이스 부재(940)가 상 또는 하로 움직임에 따라 그 베이스 부재(940)에 구비된 자성부재(920)가 베이스 부재(940)와 함께 상하로 움직이게 된다.
본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제3 실시예에서, 상기 자성부재(920)가 상기 헤드 지지대(400)와 함께 수평 방향으로 움직인다. 또한, 상기 자성부재(920)가 상하로 움직일 수 있을 뿐만 아니라 상기 자성부재(920)에 달라붙은 이물질을 자동으로 제거할 수 있다. 즉, 상기 베이스 부재 구동유닛(950)이 상기 베이스 부재(940)를 아래로 움직이거나 위로 움직인다. 상기 베이스 부재(940)는 상기 수직 방향 가이드 유닛(930)을 따라 움직인다. 상기 베이스 부재(940)가 상하로 움직임에 따라 그 베이스 부재(940)에 구비된 클리닝 유닛과 자성부재(920)가 베이스 부재(940)와 함께 상하로 움직이게 된다. 상기 클리닝 부재 구동유닛(980)이 상기 클리닝 부재(970)를 수평 방향으로 직선으로 움직인다. 상기 클리닝 부재(970)가 상기 수평 방향 가이드 유닛(960)을 따라 움직인다. 상기 클리닝 부재(970)가 움직임에 따라 클리닝 부재(970)의 클리닝부(971)가 움직이면서 상기 자성부재(920)에 달 라붙은 이물질을 닦아내게 된다.
이와 같이, 본 발명은 헤드 지지대(400)에 구비되어 상기 헤드 지지대(400)와 함께 움직이면서 스테이지(200) 및 기판(G)에 존재하는 이물질을 자력에 의해 부착시켜서 스테이지(200) 및 기판(G)에 존재하는 이물질을 스테이지 및 기판으로부터 제거하게 된다. 특히, 디스펜서를 구성하는 제1 구동유닛(500) 및 제2 구동유닛(800)이 작동하면서 이물질이 발생될 수 있다. 상기 제1,2 구동유닛(500)(800)이 작동하면서 이물질이 발생되면 그 이물질은 대부분 스테이지(200) 및 기판(G)에 놓이게 된다.
또한, 본 발명은 자성부재(920)가 헤드 지지대(400)와 함께 수평 방향으로 움직이며, 또한 상기 자성부재(920)가 상하로 이동하게 됨으로써 상기 스테이지(200) 위쪽에 떠다니는 이물질이 자성부재(920)에 달라붙어 스테이지(200) 상측에 떠다니는 이물질까지도 제거하게 된다. 상기 이물질은 크기가 다양하다. 또한 이물질은 금속성 이물질을 포함한다. 상기 크기가 큰 금속성 이물질들은 대부분 스테이지(200) 및 기판(G)위에 떨어지게 된다. 상기 스테이지(200) 및 기판(G)에 존재하는 이물질은 자성부재(920)가 헤드 지지대(400)와 함께 움직이면서 그 자성부재(920)가 그 이물질위에 위치할 때 그 이물질이 자성부재(920)에 달라붙게 된다. 상기 자성부재(920)가 상하로 움직일 때 상기 스테이지(200) 위쪽에 떠다니는 미세한 이물질은 자성 및 정전기에 의해 자성부재(920)에 달라붙게 된다. 또한, 자성부재(920)가 상하로 이동하게 되므로 상기 스테이지(200)와 자성부재(920)의 간격을 조절할 수 있다.
또한, 본 발명은 클리닝 유닛이 상기 자성부재(920)에 달라붙은 이물질을 닦아내게 되므로 자성부재(920)에 이물질이 잘 달라붙게 된다. 그리고 상기 자성부재(920)에 달라붙은 이물질을 자동으로 닦아내므로 유지 관리가 편리하게 된다.
도 1은 액정 디스펜서의 일예를 도시한 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제1 실시예가 구비된 액정 디스펜서의 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제1 실시예를 도시한 정면도,
도 4는 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제1 실시예를 도시한 측면도,
도 5는 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제2 실시예를 도시한 정면도,
도 6은 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제2 실시예를 도시한 측면도,
도 7은 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제3 실시예를 도시한 정면도,
도 8은 본 발명에 따른 이물질 제거장치의 제3 실시예를 도시한 측면도,
도 9는 상기 이물질 제거장치의 제3 실시예를 구성하는 클리닝 부재를 도시한 단면도,
도 10은 상기 이물질 제거장치의 제3 실시예를 구성하는 클리닝 유닛을 도시한 단면도.

Claims (8)

  1. 기판이 탑재되는 스테이지와, 상기 스테이지의 상측에 설치되는 헤드 지지대와, 상기 헤드 지지대에 설치되며 상기 기판상으로 액정 또는 페이스트를 토출하는 헤드 유닛을 포함하는 디스펜서에 구비되어 상기 스테이지 또는 상기 기판의 이물질을 제거하는 이물질 제거장치에 있어서,
    상기 헤드 지지대에 구비되는 자석 고정부재들; 및
    양쪽 끝부분들이 각각 상기 자석 고정부재들에 연결되며, 이물질이 달라붙는 자성부재를 포함하는 이물질 제거장치.
  2. 헤드 지지대에 구비되는 가이드 유닛;
    상기 가이드 유닛에 연결되는 베이스 부재;
    상기 베이스 부재에 구비되는 자석 고정부재들;
    양쪽 끝부분들이 각각 상기 자석 고정부재들에 연결되며, 이물질이 달라붙는 자성부재; 및
    상기 베이스 부재를 상하로 움직이는 베이스 부재 구동유닛을 포함하는 이물질 제거장치.
  3. 헤드 지지대에 구비되는 가이드 유닛;
    상기 가이드 유닛에 연결되는 베이스 부재;
    상기 베이스 부재에 구비되는 자석 고정부재들;
    양쪽 끝부분들이 각각 상기 자석 고정부재들에 연결되며, 이물질이 달라붙는 자성부재;
    상기 베이스 부재를 상하로 움직이는 베이스 부재 구동유닛; 및
    상기 자성부재에 달라붙은 이물질을 닦아내는 클리닝 유닛을 포함하는 이물질 제거장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 자성부재의 단면은 균일한 것을 특징으로 하는 이물질 제거장치.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 자성부재의 단면 형상이 원형인 것을 특징으로 하는 이물질 제거장치.
  6. 제 3 항에 있어서, 상기 클리닝 유닛은
    상기 베이스 부재에 구비되는 가이드 유닛;
    상기 자성부재를 감싸며, 상기 가이드 유닛에 연결되는 클리닝 부재; 및
    상기 클리닝 부재를 움직이는 클리닝 부재 구동유닛을 포함하는 이물질 제거장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 클리닝 부재는 상기 자성부재를 감싸는 클리닝부와, 상기 베이스 부재에 구비되는 가이드 유닛과 상기 클리닝부를 연결하는 연결부로 이루어진 것을 특징으로 하는 이물질 제거장치.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 클리닝 부재의 하측에 위치하며, 상기 클리닝 부재 에서 이탈되는 이물질이 쌓이는 집진부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질 제거장치.
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