KR101108337B1 - 2단의 냉매 유로를 포함하는 정전척의 온도제어장치 - Google Patents

2단의 냉매 유로를 포함하는 정전척의 온도제어장치 Download PDF

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Abstract

정전척의 온도제어장치가 개시된다. 본 발명에 따른 온도제어장치는, 냉매가 순환하기 위한 유로부로, 내부의 외주영역에 형성된 제1 유로와 내부의 영역 전체에 형성된 제2 유로를 포함하는 정전척과, 제1 유로 또는 제2 유로를 통해 서로 다른 온도로 조절된 냉매를 공급하기 위한 하나 이상의 칠러를 포함하며, 제1 유로 및 상기 제2 유로는, 정전척 내부에서 상하 2단으로 형성됨으로써, 웨이퍼의 중앙부와 가장자리의 온도를 독립적으로 제어할 수 있다.

Description

2단의 냉매 유로를 포함하는 정전척의 온도제어장치{APPARATUS FOR CONTROLLING TEMPERATURE OF ELECTROSTATIC CHUCK COMPRISING INTERNAL 2 STAGE REFRIGRANTS ROUTE}
본 발명은 정전척의 온도 제어에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 정전척의 내부 전체에는 평면 나선형의 제1 유로를, 정전척 내부의 외주영역에는 평면 나선형의 제2 유로를 상하 2단으로 형성함으로써, 웨이퍼의 중앙부와 가장자리의 온도를 독립적으로 제어할 수 있는 2단의 냉매 유로를 포함하는 정전척의 온도제어장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 정전척에 의한 정전기력으로 고정된 웨이퍼의 표면에 도전층과 절연층을 패터닝 공정에 의해 전자회로소자를 구현함으로써 얻어지게 된다. 한편, 정전척은 이와 같은 웨이퍼를 고정시키는 역할 외에도 플라즈마 발생용 전극으로도 사용되며, 챔버 내에서 발생된 이온 등이 가속되어 반도체 기판에 입사되는 경우 이온 등의 운동에너지는 열 에너지로 변환되어 반도체 기판의 온도를 상승시키게 되는데, 이와 같은 웨이퍼의 열적변동은 웨이퍼 내의 한계 치수(Critical Dimension, CD)의 산포를 유발하게 되어 정전척은 일반적으로 온도조 절시스템을 가지도록 구성된다. 이러한 온도조절시스템으로 하나의 칠러(chiller)를 사용하는 경우와 하나의 칠러와 히터를 병행하여 사용하는 경우가 있다.
하지만, 하나의 칠러와 히터를 병행하여 온도 제어를 하는 경우에는 웨이퍼의 중앙부와 가장자리의 온도를 독립적으로 제어할 수 있는 장점이 있으나, 히터를 삽입해야 하므로 정전척의 설계 및 제작 공정이 복잡해 지며, Oxide 식각 공정과 같은 높은 바이어스 전력을 사용하는 경우에는 히터가 손상되거나 RF 노이즈로 인해 제어가 복잡하고 어려워진다는 문제점이 있다.
또한, 하나의 칠러(chiller)를 사용하는 경우에는 웨이퍼의 전체 온도를 균일하고도 신속하게 제어할 수 없다는 문제점이 있다. 특히 한계 치수(CD)가 30nm로 작아짐에 따라 반도체의 제작공정은 복잡해 질 뿐 아니라 공정조건 또한 매우 정밀한 제어를 요구하게 되므로 하나의 칠러만을 사용하는 경우에는 정밀한 제어를 할 수 없다. 그 예로 SPT(Spacer Petterning Technology) 또는 DPT(Double Patterning Technology)를 들 수 있는데, 전자인 SPT 공정의 경우 ACL(Amorphous Carbon Layer)나 Poly Si막의 경우 40도 이상의 높은 온도에서 공정이 진행되며, Oxide계열의 막은 40도 이하의 낮은 온도에서 공정이 진행되게 된다. 따라서 각각의 층을 순차적으로 식각해 나갈 때, 모든 공정을 동일한 온도에서 진행하는 경우에는 원하는 시각 특성을 얻을 수 없다. 따라서, 웨이퍼를 챔버에서 꺼내지 않고 in-situ 공정을 진행하기 위해서는 식각 공정중에 막의 형질에 따라 정전척의 온도를 짧은 시간내에 신속하게 변경시킬 필요성이 있다.
또한, 위와 같은 하나의 칠러만을 사용하여 정전척의 온도를 제어하는 경우 에는 웨이퍼의 중앙부와 가장자리의 온도를 독립적으로 제어할 수 없다. 즉, 한계 치수(CD)가 40nm 이하의 공정에서는 CD 산포를 2nm 이하로 제어할 것을 요구하였으나, 30nm 이하의 공정에서는 CD 산포가 1nm 이하로 줄어들 것으로 보인다. 따라서, 이와 같은 공정조건을 만족하기 위해서는 웨이퍼의 중앙부와 가장자리의 온도를 독립적으로 제어할 필요성이 있다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은, 웨이퍼의 중앙부와 가장자리의 온도를 독립적으로 제어할 수 있는 2단의 냉매 유로를 포함하는 정전척의 온도제어장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 공정 진행중에도 정전척의 온도를 신속하게 변경할 수 있는 2단의 냉매 유로를 포함하는 정전척의 온도제어장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 냉매가 순환하기 위한 유로부로, 내부의 외주영역에 형성된 제1 유로와 내부의 영역 전체에 형성된 제2 유로를 포함하는 정전척과, 제1 유로 또는 제2 유로를 통해 서로 다른 온도로 조절된 냉매를 공급하기 위한 하나 이상의 칠러를 포함할 수 있다.
또한, 제1 유로 및 제2 유로는, 정전척 내부에서 상하 2단으로 형성되며, 그 형상은 평면 나선형 구조를 가질 수 있다.
또한, 칠러와 유로부 간에는, 칠러와 유로부 간의 냉매의 흐름을 개폐하기 위한 개폐용 밸브와, 칠러로부터 유출된 냉매를 복귀시킴으로써, 냉매를 내부적으로만 순환시키기 위한 순환용 밸브를 포함할 수 있다.
또한, 순환용 밸브는, 칠러와 상기 개폐용 밸브 사이에 설치될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 정전척 내부 전체에는 평면 나선형의 제1 유로를 형성하고, 정전척 내부의 외주영역에는 평면 나선형의 제2 유로를 상하 2단으로 형성함으로써, 웨이퍼의 중앙부와 가장자리의 온도를 독립적으로 제어할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 복수개의 칠러를 통해 서로 다른 온도의 냉매를 공급함으로써, 공정 진행중에도 정전척의 온도를 신속하게 변경할 수 있다.
이하에서는 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 2단의 냉매 유로를 포함하는 정전척의 온도제어장치에 대하여 가장 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 온도제어장치의 구성도로, 하나의 냉매유로와 이에 연결된 두개의 칠러를 구비한 경우이다. 한편, 도 2는 도 1에 따른 온도제어방법을 도시한 흐름도이다.
도 1을 참조하면, 제1 실시예에 따른 온도제어장치(100)는 정전척(101)과, 정전척(101) 내부에 형성되어 복수개의 칠러들(110, 120)로부터 유출된 냉매가 순환되는 경로인 냉매 유로(102)와, 서로 다른 온도로 설정된 2개의 칠러들(110, 120)과, 2개의 칠러들(110, 120)과 냉매 유로(102)간의 냉매의 흐름을 개폐하기 위 한 복수개의 밸브들(110a, 110b, 110c, 120a, 120b, 120c)을 포함하고 있다. 한편, 도 1에는 도시되어 있지 않으나, 별도의 마이컴을 둠으로써 공정에 맞게 칠러들(110, 120)의 온도를 설정하고, 복수개의 밸브들(110a, 110b, 110c, 120a, 120b, 120c)의 개폐를 제어하도록 구성될 수 있다.
정전척(101) 내부에는 도 1에서 도시된 바와 같이 냉매 유로(102)가 내부 영역 전체에 걸쳐 형성되어 있으며, 정전척(101) 하부에 형성된 유입구(102a)로 유입된 냉매는 냉매 유로(102)를 통해 정전척(101)의 내부 영역 전체를 흐른 후 정전척(101) 하부에 형성된 배출구(102b)를 통해 유출된다.
칠러(110, 120)는 설정된 온도에 따라 냉매의 온도를 조절하기 위한 장치이며, 제1 칠러(110)는 온도 T1으로, 제2 칠러(120)는 온도 T2로 설정된다.
한편, 칠러(110, 120)와 정전척(101)의 냉매 유로(102) 간에는 냉매의 흐름을 개폐하기 위한 복수개의 밸브들(110a, 110b, 110c, 120a, 120b, 120c)이 설치되어 있다. 제1 칠러(110)에 연결된 밸브들 중 밸브 1(V1, 110a)은 제1 칠러(110)로부터 유출된 냉매를 다시 제1 칠러(110)로 복귀시키는데 사용되며, 제1 칠러(110)에 연결된 밸브들 중 밸브 2(V2, 110b)와 밸브 3(V3, 110c)은 제1 칠러(110)와 냉매 유로(102) 간의 냉매의 흐름을 개폐하기 위해 사용된다. 마찬가지로, 제2 칠러(120)에 연결된 밸브들 중 밸브 4(V4, 120a)는 제2 칠러(120)로부터 유출된 냉매를 다시 제2 칠러(120)로 복귀시키는데 사용되며, 제2 칠러(120)에 연결된 밸브들 중 밸브 5(V5, 120b)와 밸브 6(V6, 120c)은 제2 칠러(120)와 냉매 유로(102) 간의 냉매의 흐름을 개폐하기 위해 사용된다. 이와 같은 구성에 의해 웨이퍼를 챔버에서 꺼내지 않고도 식각 공정중에 막의 형질에 따라 정전척(101)의 온도를 짧은 시간내에 효율적으로 변화시킬 수 있다.
이상과 같은 구성된 온도조절장치의 온도조절방법을 도 2를 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 단계 200에서, 제1 칠러(110)의 온도를 T1으로 설정하며, 밸브 1(V1, 110a)은 오픈시킴과 동시에 밸브 2(V2, 110b)와 밸브 3(V3, 110c)은 클로우즈시킴으로써, 온도 T1으로 조절된 냉매는 제1 칠러(110)에서 자체적으로 순환한다.
마찬가지로, 단계 201에서, 제2 칠러(120)의 온도를 T2로 설정하며, 밸브 4(V4, 120a)은 오픈시킴과 동시에 밸브 5(V5, 120b)와 밸브 6(V4, 120c)은 클로우즈시킴으로써, 온도 T2로 조절된 냉매는 제2 칠러(120)에서 자체적으로 순환한다.
단계 202에서, 프로세스에 따라 설정된 온도 T1으로 제1 칠러(110)의 냉매를 순환시킬 것인지를 판단하고, 온도 T1에 따라 제1 칠러(110)의 냉매를 순환시키는 경우는 단계 203으로 진행하고, 아니라면 온도 T2에 따라 제2 칠러(120)의 냉매를 순환시키도록 단계 205로 진행한다.
단계 203에서, 밸브 1(V1, 110a)은 클로우즈시킴과 동시에 밸브 2(V2, 110b)와 밸브 3(V3, 110c)은 오픈시킴으로써, 온도 T1으로 조절된 냉매는 냉매 유로(102)를 통해 정전척(101)을 순환한다.
이후, 단계 204에서는, 온도 T1의 환경하에서 해당 프로세스가 수행된다.
단계 205로 진행된 경우에는 밸브 4(V4, 120a)은 클로우즈시킴과 동시에 밸 브 5(V5, 120b)와 밸브 6(V4, 120c)은 오픈시킴으로써, 온도 T2로 조절된 냉매는 냉매 유로(102)를 통해 정전척(101)을 순환한다.
이후, 단계 204에서는, 온도 T2의 환경하에서 해당 프로세스가 수행된다.
마지막으로, 단계 207에서, 다른 온도 환경하에서 프로세스를 수행할 필요가 있는 경우에는 단계 208로 진행하여 온도 T1과 T2를 설정하고, 단계 200 내지 단계 207을 반복한다. 그렇지 않고 다른 프로세스를 수행할 필요가 없는 경우라면 종료된다.
도 3는 본 발명의 제2 실시예에 따른 온도제어장치의 구성으로, 2개의 냉매유로와 이에 연결된 두개의 칠러를 구비한 경우이다. 한편, 도 4는 도 3에 따른 온도제어방법을 도시한 흐름도이다. 제2 실시예에 따른 온도제어장치(300)는, 정전척(301)에 형성된 냉매 유로(302, 303)가 상하 2층으로 형성되어 있다는 점을 제외하고는 도 1의 온도제어장치(100)와 동일한 구성을 가진다.
정전척(301) 내부에 형성된 냉매 유로(302, 303)를 좀 더 상세하게 살펴보면, 냉매 유로(302, 303)는 상부에 형성된 제1 냉매 유로(302)와 하부에 형성된 제2 냉매 유로(303)로 구성되며, 제1 냉매 유로(302)는 정전척(301)의 내부의 외주영역에 형성되어 있으며, 제2 냉매 유로(303)는 정전척(301)의 전영역에 걸쳐 형성되어 있다. 이와 같은 구성을 가짐으로써, 종래 기술의 문제점 부분에서 상세하게 설명한 바와 같이 웨이퍼의 중앙부와 가장자리부의 온도를 독립적으로 제어할 수 있다. 한편, 도 3에서는 제1 냉매 유로(302)가 제2 냉매 유로(303)의 상부에 위치하는 것으로 도시되어 있으나, 이는 실시예에 불과하며, 필요에 따라 제1 냉매 유 로(302)는 제2 냉매 유로(303)의 하부에 위치할 수도 있을 것이다.
이하 도 3 내지 도 4를 참조하면, 단계 400에서, 제1 칠러(310)의 온도를 T1으로 설정하며, 밸브 1(V1, 310a)은 오픈시킴과 동시에 밸브 2(V2, 310b)와 밸브 3(V3, 310c)은 클로우즈시킴으로써, 온도 T1으로 조절된 냉매는 제1 칠러(310)에서 자체적으로 순환한다.
마찬가지로, 단계 401에서, 제2 칠러(320)의 온도를 T2로 설정하며, 밸브 4(V4, 320a)은 오픈시킴과 동시에 밸브 5(V5, 320b)와 밸브 6(V4, 320c)은 클로우즈시킴으로써, 온도 T2로 조절된 냉매는 제2 칠러(320)에서 자체적으로 순환한다.
단계 402에서, 프로세스에 따라 설정된 온도 T2로 제2 칠러(310)의 냉매를 순환시킬 것인지를 판단하고, 온도 T2에 따라 제2 칠러(310)의 냉매를 순환시키는 경우는 단계 403으로 진행하고, 아니라면 단계 407로 진행하여 다음 프로세스를 수행할 것인지 판단한다.
단계 403에서는, 밸브 4(V4, 320a)은 클로우즈시킴과 동시에 밸브 5(V5, 320b)와 밸브 6(V6, 320c)은 오픈시킴으로써, 온도 T2로 조절된 냉매는 냉매 유로(303)를 통해 정전척(301)을 순환한다.
이후, 단계 404에서는, 에지부의 온도를 다르게 설정할 필요가 있는지 판단하는데, 이와 같은 판단단계는 도 3에 미도시된 별도의 마이컴을 통해 수행될 수 있다. 판단 결과, 에지부의 온도를 다르게 설정할 필요가 있는 경우라면 단계 405로 진행하고, 그렇게 않은 경우라면 단계 406으로 진행하여 해당 프로세스를 수행한다.
단계 405에서는, 에지부의 온도를 조절하기 위해 밸브 1(V1, 310a)은 클로우즈시킴과 동시에 밸브 2(V2, 310b)와 밸브 3(V3, 310c)은 오픈시킴으로써, 온도 T2로 조절된 냉매는 상부의 냉매 유로(302)를 통해 정전척(301)을 순환한다.
이후, 단계 406에서는, 해당 프로세스를 수행한다.
해당 프로세스가 종료되면, 단계 407에서, 다른 온도 환경하에서 프로세스를 수행할 필요가 있는지를 판단하고, 다른 프로세스를 수행할 필요가 있는 경우에는 단계 408로 진행하여 온도 T1과 T2 값을 설정하고, 단계 400 내지 단계 406을 반복한다. 그렇지 않고 다른 프로세스를 수행할 필요가 없는 경우라면 종료된다.
한편, 도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 온도제어장치의 구성도로, 두개의 냉매유로와 이에 연결된 세개의 칠러를 구비한 경우이다. 한편, 도 6은 도 5에 따른 온도제어방법을 도시한 흐름도이다. 도 5의 온도제어장치(500)는 도 1의 온도제어장치(100) 및 도 3의 온도제어장치(300)를 혼합시킨 경우를 도시하고 있다.
도 5 내지 도 6을 참조하면, 단계 600에서, 제1 칠러(510)의 온도를 T1으로 설정하며, 밸브 1(V1, 510a)은 오픈시킴과 동시에 밸브 2(V2, 510b)와 밸브 3(V3, 510c)은 클로우즈시킴으로써, 온도 T1으로 조절된 냉매는 제1 칠러(510)에서 자체적으로 순환한다.
마찬가지로, 단계 601에서, 제2 칠러(520)의 온도를 T2로 설정하며, 밸브 4(V4, 520a)는 오픈시킴과 동시에 밸브 5(V5, 520b)와 밸브 6(V6, 520c)은 클로우즈시킴으로써, 온도 T2로 조절된 냉매는 제2 칠러(520)에서 자체적으로 순환한다.
마찬가지로, 단계 602에서, 제3 칠러(520)의 온도를 T3로 설정하며, 밸브 7(V7, 530a)는 오픈시킴과 동시에 밸브 8(V8, 530b)와 밸브 9(V9, 530c)은 클로우즈시킴으로써, 온도 T3로 조절된 냉매는 제3 칠러(530)에서 자체적으로 순환한다.
단계 603에서, 프로세스에 따라 설정된 온도 T2로 제2 칠러(510)의 냉매를 순환시킬 것인지를 판단하고, 온도 T2에 따라 제2 칠러(510)의 냉매를 순환시키는 경우는 단계 604로 진행하고, 아니라면 단계 606로 진행하여 다음 프로세스를 수행할 것인지 판단한다.
단계 604에서는, 밸브 4(V4, 520a)은 클로우즈시킴과 동시에 밸브 5(V5, 520b)와 밸브 6(V6, 520c)은 오픈시킴으로써, 온도 T2로 조절된 냉매는 냉매 유로(503)를 통해 정전척(501)을 순환한다.
한편, 단계 606에서는, 밸브 7(V7, 530a)은 클로우즈시킴과 동시에 밸브 8(V5, 530b)와 밸브 9(V9, 530c)은 오픈시킴으로써, 온도 T3로 조절된 냉매는 냉매 유로(503)를 통해 정전척(501)을 순환한다.
이후, 단계 605에서는, 에지부의 온도를 다르게 설정할 필요가 있는지 판단하는데, 마찬가지로 이와 같은 판단단계는 도 3에 미도시된 별도의 마이컴을 통해 수행될 수 있다. 판단 결과, 에지부의 온도를 다르게 설정할 필요가 있는 경우라면 단계 607로 진행하고, 그렇게 않은 경우라면 단계 608로 진행하여 해당 프로세스를 수행한다.
단계 607에서는, 에지부의 온도를 조절하기 위해 밸브 1(V1, 510a)은 클로우즈시킴과 동시에 밸브 2(V2, 510b)와 밸브 3(V3, 510c)은 오픈시킴으로써, 온도 T2로 조절된 냉매는 상부의 냉매 유로(502)를 통해 정전척(501)을 순환한다.
이후, 단계 608에서는, 해당 프로세스를 수행한다.
해당 프로세스가 종료되면, 단계 609에서, 다른 온도 환경하에서 프로세스를 수행할 필요가 있는지를 판단하고, 다른 프로세스를 수행할 필요가 있는 경우에는 단계 610으로 진행하여 온도 T1, T2 및 T3 값을 설정하고, 단계 600 내지 단계 608을 반복한다. 그렇지 않고 다른 프로세스를 수행할 필요가 없는 경우라면 종료된다.
한편, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 2단의 냉매 유로의 형상을 위에서 바라본 평면도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 냉매 유로는 정전척(701) 내부의 외주 영역을 따라 상층에 형성된 제1 냉매 유로(702)와 그 하층에 형성된 제2 냉매 유로(703)로 구성된다. 제1 냉매 유로(702)의 냉매 유입구(702a)를 통해 유입된 냉매는 정전척(701) 내부의 외주 영역을 따라 흐르며 냉매 유출부(701b)를 통해 유출된다. 한편, 제2 냉매 유로(703)의 냉매 유입구(703a)를 통해 유입된 냉매는 정전척(701) 내부의 영역전체를 따라 흐르며 냉매 유출부(703b)를 통해 유출된다. 이러한 냉매 유로(701)는 도 7에 도시된 바와 같이 평면 나선형의 구조를 가지도록 구성되어 있으나, 이는 일 실시예에 불과할 뿐 당업자의 필요에 따라 다양한 형태로 구성할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명에서는 정전척(701) 내부에서 상층과 하층으로 흐르는 냉매 유로를 도시하였으나, 실시예에 따라서는 제1 냉매 유로(702)와 제2 냉매 유로(703)는 하나의 층에 형성할 수도 있을 것이다. 또한, 제1 냉매 유로(702)의 반지름을 제2 냉매 유로(703)의 반지름보다 크게 구성하거나 또는 그 역으로 제2 냉 매 유로(703)의 반지름이 제1 냉매 유로(702)의 반지름보다 크도록 구성할 수도 있을 것이다.
이상 도면과 명세서에서 최적 실시예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 온도제어장치의 구성도이다.
도 2는 도 1에 따른 온도제어방법을 도시한 흐름도이다.
도 3는 본 발명의 제2 실시예에 따른 온도제어장치의 구성도이다.
도 4는 도 2에 따른 온도제어방법을 도시한 흐름도이다.
도 5은 본 발명의 제3 실시예에 따른 온도제어장치의 구성도이다.
도 6은 도 3에 따른 온도제어방법을 도시한 흐름도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉매 유로의 형상을 위에서 바라본 평면도이다.

Claims (5)

  1. 냉매가 순환하기 위한 유로부로, 내부의 외주영역에 형성된 제1 유로와 내부의 영역 전체에 형성된 제2 유로를 포함하는 정전척; 및
    상기 제1 유로 또는 상기 제2 유로를 통해 서로 다른 온도로 조절된 냉매를 공급하기 위한 하나 이상의 칠러를 포함하고,
    상기 칠러와 유로부 간에는,
    상기 칠러와 상기 유로부 간의 냉매의 흐름을 개폐하기 위한 개폐용 밸브와, 상기 칠러로부터 유출된 냉매를 복귀시킴으로써, 냉매를 내부적으로만 순환시키기 위한 순환용 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 온도제어장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 유로 및 상기 제2 유로는,
    상기 정전척 내부에서 상하 2단으로 형성된 것을 특징으로 하는 온도제어장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 유로 및 제2 유로의 형상은,
    평면 나선형 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 온도제어장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 순환용 밸브는,
    상기 칠러와 상기 개폐용 밸브 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 온도제어장치.
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