KR101099725B1 - 포토레지스터 도포 장치 - Google Patents

Abstract

포토레지스터 도포 장치가 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 포토레지스터 도포 장치는 기판을 이송시키는 기판 이송부 및 기판의 상부에서 기판 상에 포토레지스터를 도포하는 노즐을 포함하며, 기판 이송부는 기판의 양쪽 가장 자리를 지지하며 기판을 지지하며 접촉하는 부분에는 진공으로 기판을 흡착하는 진공홀이 형성된 기판 지지부, 기판의 아래에서 기판을 향하여 에어(air)를 분사하는 에어 패드, 및 기판 지지부를 이송하는 이송부를 포함하는데, 기판 지지부는 상기 기판을 지지하며 접촉하는 부분은 경사가 형성된다.

포토레지스터, 기판, 도포

Description

포토레지스터 도포 장치{Apparatus for coating photoresist}

본 발명은 포토레지스터 도포 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 슬릿 노즐의 아래에서 기판을 이송하며 기판 상에 약액을 도포할 때 기판의 처짐을 방지하도록 하여 기판 상에 균일하게 약액을 도포하는 포토레지스터 도포 장치에 관한 것이다.

최근 영상을 표현하는 표시장치로서 액정 디스플레이(LCD) 소자와 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 소자 등이 종래의 브라운관(CRT)을 빠른 속도로 대체하여 오고 있다. 이러한 것들은 흔히 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display)라고 불리우는 기판을 사용하고 있다.

평판표시장치를 제작하기 위해서는 기판 제작 공정, 셀 제작 공정, 모듈 제작 공정 등의 많은 공정을 수행하여야 한다. 특히, 기판 제작 공정에 있어서, 기판 상의 각종 패턴(Pattern)들을 형성하기 위해서는 세정 공정을 시작으로 통상 포토리소그래피(Photolithography) 기술을 적용한다.

포토리소그래피 기술은 기판에 형성된 막질에 감광액인 포토레지스터를 도포(Photoresist coating)하는 단계와, 상기 포토레지스터의 용제를 휘발시키기 위 해 포토레지스터를 건조(Photoresist solvent drying)하는 단계와, 비교적 저온의 온도에서 상기 포토레지스터를 소프트 베이킹(Soft baking)시키는 단계와, 상기 포토레지스터에 포토 마스크를 씌운 후 포토 마스크에 형성된 패턴대로 포토레지스터막을 노광(Exposure)시키는 단계와, 노광된 포토레지스터 막을 현상(Develop)하는 단계와, 비교적 고온의 온도에서 상기 현상된 포토레지스터를 하드 베이킹(Hard baking)하는 단계와, 상기 포토레지스터막 사이로 노출된 막질을 패터닝하는 단계를 포함하여 이루어진다.

포토레지스터를 기판에 도포하는 방법으로는 고정된 슬릿 노즐의 아래에서 기판을 이송시키며 기판의 전면적에 포토레지스터를 도포하는 방법이 있고, 고정된 기판 위에서 슬릿 노즐이 이동하며 기판의 전면적에 포토레지스터를 도포하는 방법이 있다. 본 발명은 고정된 슬릿 노즐의 아래에서 기판을 이송시키며 기판의 전면적에 대하여 포토레지스터를 도포하는 장치에 관한 것이다.

도 1은 종래의 포토레지스터 도포 장치에 있어서 기판 이송부의 측단면도를 도시한 도면이다.

도 1에서 기판이 이송하는 원리는 다음과 같다. 기판(W)의 양 가장자리는 기판 지지부(10)가 지지를 한다. 이때 기판 지지부(10)와 기판(W)이 접촉하는 면에는 진공홀(미도시)이 연결되어 진공에 의해 기판(W)을 기판 지지부(10)에 흡착을 하게 된다. 또한, 기판(W)의 아래에는 에어 패드(20)가 형성되는데, 에어 패드(20)에서는 기판(W)을 향하여 에어를 불어준다. 에어는 기판(W)을 부양시키는 힘을 제공하는 역할을 하고, 따라서 기판(W)은 기판 지지부(10)만 접촉한 상태에서 에어 갭을 형성하며 부양하게 된다. 이때, 기판 지지부(10)를 이동시킴으로써 기판(W)을 이송시킬 수가 있다.

하지만, 기판(W)이 기판 지지부(10)에 진입하여 안착한 다음 흡착을 할 때 기판(W)의 무게에 의해 기판(W)의 중앙에 처짐이 발생하면, 기판 지지부(10)의 흡착력과 에어 패드(20)에 의해 기판을 부양시키는 힘을 제공한다고 하더라도 기판(W)의 처짐이 계속 유지되고, 따라서 기판(W)이 처진 상태에서 이송을 하게 된다. 따라서, 기판(W)의 상부에 위치한 슬릿 노즐(미도시)에 의해 포토레지스터를 도포할 때 기판(W)이 휘어져 있는 상태이므로 기판(W) 상에 포토레지스터를 균일하게 도포하는 것이 어렵다. 포토레지스터 막의 불균일도가 심해질 경우에는 포토레지스터 막의 표면에 물결 무니 모양의 얼룩이 발생할 수가 있고 이는 기판(W)의 불 량을 초래할 수가 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 고안된 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 목적은 기판 지지부에 안착될 때 기판의 처짐을 방지하여 포토레지스터의 도포 균일성을 향상시키는 포토레지스터 도포 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 포토레지스터 도포 장치는 기판을 이송시키는 기판 이송부; 및 기판의 상부에서 상기 기판 상에 포토레지스터를 도포하는 노즐을 포함하며, 상기 기판 이송부는 상기 기판의 양쪽 가장 자리를 지지하며 상기 기판을 지지하며 접촉하는 부분에는 진공으로 상기 기판을 흡착하는 진공홀이 형성된 기판 지지부; 상기 기판의 아래에서 상기 기판을 향하여 에어(air)를 분사하는 에어 패드; 및 상기 기판 지지부를 이송하는 이송부를 포함하는데, 상기 기판 지지부는 상기 기판을 지지하며 접촉하는 부분은 경사가 형성된다.

상기한 바와 같은 본 발명의 포토레지스터 도포 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.

첫째, 기판이 기판 지지부에 안착될 때 기판의 처짐을 방지할 수가 있다는 장점이 있다.

둘째, 기판의 처짐이 발생하지 않아 포토레지스터를 균일하게 도포할 수 있다는 장점도 있다.

실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다

이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 포토레지스터 도포 장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 포토레지스터 도포 장치의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 포토레지스터 도포 장치에 있어서 기판 이송부의 측단면도를 도시하고 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 포토레지스터 도포 장치는 기판 이송부 및 노즐(150)을 포함하여 구성될 수가 있다. 먼저, 본 발명에서는 전술한 바와 같이 고정된 위치에 있는 노즐(150)의 아래에서 기판(W)이 움직이며 기판(W)의 전면적에 대하여 포토레지스터를 도포하는 장치에 관한 것이다.

기판 이송부는 노즐(W)의 아래에서 기판(W)을 이송시키는 역할을 한다. 기판 이송부는 기판 지지부(110), 에어 패드(120), 이송부(130)를 포함하여 구성될 수가 있다.

기판 지지부(110)는 정반(100) 위 양쪽 가장자리에 형성되어 기판(W)의 양쪽 가장자리를 지지한다. 기판 지지부(110)의 상면인 기판(W)과 접촉하는 면에는 진공홀(미도시)이 형성되는데 진공에 의해 기판(W)을 기판 지지부(110)에 흡착시킬 수가 있다.

정반(100)은 전체 장비를 지지하는 받침대의 역할을 한다.

에어 패드((120)는 정반(100) 위에 형성되는데, 기판(W)을 향하여 에어를 불어서 기판(W)이 부양하는 힘을 제공한다. 도시되어 있지 않지만 에어 패드(120)에는 기판(W)을 향하여 에어를 불어주는 에어홀과 에어홀로부터 분사된 에어를 다시 흡입하는 진공홀이 서로 인접하도록 연속적으로 배치되는 구조일 수가 있다.

이송부(130)는 기판 지지부(110)를 이송시킨다. 이송부는 LM 가이드, 볼 스크류 방식의 구동부, 동력을 발생시키는 동력부로 구성될 수가 있다. 기판 지지부(110)를 이송하는 이송부(130)의 구성은 공지된 여러 다른 기술들을 이용할 수 가 있으므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.

기판(W)은 기판 지지부(110)와 접촉하는 면에 형성된 진공홀(미도시)을 통해서 기판(W)을 흡착시키는 힘을 제공 받고, 기판(W)의 아래에 있는 에어 패드(120)에 의해 기판(W)을 부양시키는 힘을 제공받음으로써, 기판 지지부(110)만 접촉한 상태에서 에어 갭을 형성하여 부양될 수가 있다. 이때, 이송부(130)로부터 동력을 제공 받아 기판 지지부(110)는 이송을 할 수가 있고, 따라서 기판(W)을 이송시킬 수가 있다.

본 발명에서 기판 지지부(110)의 기판(W)을 지지하며 접촉하는 부분은 수평이 아니라 경사가 형성될 수가 있다. 바람직하게는 도 3에 도시되어 있는 것과 같이 기판(W)의 가장자리로 갈수록 아래 방향으로 경사가 형성될 수가 있다.

따라서, 본 발명에서는 기판(W)이 기판 지지부(110)에 안착될 때, 바깥쪽으로 형성된 경사에 의해 기판(W)을 평평하게 당기는 효과가 발생하고, 따라서 기판(W)의 중앙에 처짐이 발생하는 것을 최소화할 수가 있다.

기판(W)이 기판 지지부(110)에 진입하여 안착한 다음 기판 지지부(110)의 진공홀(미도시)을 통해 기판(W)을 흡착할 때 기판(W)의 처짐을 최소화할 수가 있으므로, 에어 패드(120)에 의해 기판(W)을 향하여 에어를 공급해주면 기판(W)이 수평을 유지하도록 할 수가 있다. 따라서, 기판(W)을 수평으로 유지한 상태에서 이송부(130)에 의해 기판(W)이 이송되므로, 기판(W)의 전면적에 대한 포토레지스터의 도포 균일성을 향상시킬 수가 있다.

노즐(150)은 기판(W)의 상부에서 기판(W) 상으로 포토레지스터를 도포한다. 바람직하게는 노즐(150)은 길이 방향으로 긴 슬릿 노즐(150)일 수가 있다. 슬릿 노즐(150)은 양쪽의 노즐 지지부(155)로부터 고정되고, 슬릿 노즐(150)의 폭은 기판(W)의 폭과 비교하여 같거나 약간 크도록 형성될 수가 있고, 기판(W)의 상부에서 고정된 슬릿 노즐(150)을 통해 포토레지스터가 공급되면서 슬릿 노즐(150)의 아래 에서 기판(W)이 이송을 하므로 기판(W)의 전면적에 대하여 포토레지스터를 균일하게 도포할 수가 있다. 슬릿 노즐(150)의 구성은 당업자에 있어서 널리 알려진 공지된 기술이므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 포토레지스터 도포 장치의 작용을 설명하기로 한다.

먼저, 외부의 기판 이송 장치에 의해 기판(W)은 이송되며 기판 지지부(110) 위에 안착된다. 이때, 본 발명에서는 전술한 바와 같이 기판 지지부(110)의 기판(W)과 접촉하는 면에 도 3과 같이 경사가 형성되므로, 기판(W)을 평평하게 당겨주는 역할을 할 수가 있다. 따라서 기판(W)의 중앙에 처짐이 발생하는 것을 최소화할 수가 있다.

기판(W)이 기판 지지부(110)에 안착된 상태에서 진공홀(미도시)을 통해 기판 지지부(110)는 기판(W)을 흡착시키고 이와 동시에 에어 패드(120)를 통해 기판(W)을 향하여 에어를 공급함으로써 기판(W)은 수평을 유지할 수가 있다.

기판(W)이 수평을 유지한 상태로 이송부(130)에 의해 기판 지지부(110)를 이송시키면 기판(W)을 이송시킬 수가 있다. 기판(W)의 상부에는 고정된 위치에 기판(W)의 폭에 대응하는 슬릿 노즐(150)이 형성되는데, 따라서 고정된 슬릿 노즐(150)을 통해서 포토레지스터를 연속적으로 공급하고 슬릿 노즐(150)의 아래에서 기판(W)을 이송시킴으로써 기판(W)의 전면적에 대하여 포토레지스터를 도포시킬 수가 있다.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

도 1은 종래의 포토레지스터 도포 장치에 있어서 기판 이송부의 측단면도를 도시한 도면이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 포토레지스터 도포 장치의 사시도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 포토레지스터 도포 장치에 있어서 기판 이송부의 측단면도를 도시하고 있다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100: 정반

110: 기판 지지부

120: 에어 패드

130: 이송부

150: 슬릿 노즐

Claims (4)

1. 기판을 이송시키는 기판 이송부; 및

   기판의 상부에서 상기 기판 상에 포토레지스터를 도포하는 노즐을 포함하며,

   상기 기판 이송부는

   상기 기판의 양쪽 가장 자리를 지지하며 상기 기판을 지지하며 접촉하는 부분에는 진공으로 상기 기판을 흡착하는 진공홀이 형성된 기판 지지부;

   상기 기판의 아래에서 상기 기판을 향하여 에어(air)를 분사하는 에어 패드; 및

   상기 기판 지지부를 이송하는 이송부를 포함하는데,

   상기 기판 지지부는 상기 기판을 지지하며 접촉하는 부분은 상기 기판의 가장자리로 갈수록 아래로 경사가 형성되어, 상기 진공홀을 통해서 상기 기판 지지부가 상기 기판을 흡착하고 상기 에어 패드에 의해 상기 기판을 흡착하여 상기 기판 지지부만 상기 기판에 접촉하는 포토레지스터 도포 장치.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 노즐은 이송되는 상기 기판의 상부에서 고정된 위치에서 상기 기판 상에 상기 포토레지스터를 도포하는 포토레지스터 도포 장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 노즐은 슬릿 노즐인 포토레지스터 도포 장치.

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