KR101077910B1

KR101077910B1 - 기판검사장치

Info

Publication number: KR101077910B1
Application number: KR1020110083399A
Authority: KR
Inventors: 박노선; 박진
Original assignee: 우리마이크론(주)
Priority date: 2011-08-22
Filing date: 2011-08-22
Publication date: 2011-10-31

Abstract

본 발명은 스테이지에 안착된 기판과 전기적 접촉을 이루는 컨텍모듈이 스테이지와 함께 움직여 접촉불량이 발생할 가능성이 줄어드는 기판검사장치에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 고정된 본체, 상기 본체의 상면에 소정각도씩 회전되도록 구비되는 턴테이블, 상기 턴테이블의 상면에 소정간격마다 복수개 구비되어 상기 턴테이블과 함께 회전하며, 반입된 기판이 안착되는 스테이지, 상기 스테이지에 안착된 기판을 고정하면서, 상기 기판의 회로패턴과 전기적 접촉을 이루며, 상기 턴테이블에 구비되어 스테이지와 함께 이동하는 제1컨텍모듈 및 상기 고정된 본체의 턴테이블 둘레로 소정각도 마다 복수개가 구비되어 상기 회전하는 턴테이블에 구비된 스테이지 및 제1컨텍모듈이 위치되었을 때 상기 제1컨텍모듈과 전기적 접촉을 이루는 제2컨텍모듈을 포함하여 이루어지는 기판검사장치가 제공된다.

Description

기판검사장치{Test Device for Panel}

본 발명은 기판검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 스테이지에 안착된 기판과 전기적 접촉을 이루는 컨텍모듈이 스테이지와 함께 움직여 접촉불량이 발생할 가능성이 줄어드는 기판검사장치에 관한 것이다.

근래에 들어 전자기술의 발달로 인해 액정표시장치인 LCD와 OLED 패널 등의 생산이 많아지고 있다.

또한, 친환경 에너지가 부각되면서 태양전지패널의 생산이 많아지고 있다.

따라서, 상기와 같은 LCD 및 OLED와 태양전지패널은 기판의 형태로 생산되는데, 생산 후 반드시 기판을 테스트 하는 과정을 거친 후에 납품된다.

도 1은 종래의 기판검사장치 중 턴테이블 방식의 기판검사장치를 도시한 도면이다.

종래의 기판검사장치는 본체(10)와 턴테이블(20), 스테이지(30) 및 컨텍모듈(40)로 이루어진다.

상기 본체(10)는 고정되게 구비되며 상기 턴테이블(20)은 상기 본체(10)의 상측면에 회전가능하게 구비된다. 그리고, 상기 턴테이블(20)의 상면 둘레에는 기판(5)이 안착되는 스테이지(30)가 복수개 소정간격으로 구비된다.

그리고, 상기 본체(10)에는 상기 스테이지(30)가 구비된 각도마다 상기 스테이지(30)에 안착된 기판(5)과 전기적 접촉을 이루는 컨텍모듈(40)이 구비된다.

따라서, 상기 스테이지(30)에 기판(5)이 안착되면, 상기 턴테이블(20)이 소정각도씩 회전하면서 정해진 위치에서 정해진 검사단계가 수행되는 것이다.

이 때, 상기 스테이지(30)는 회전되는데 본체(10)에 고정된 상기 컨텍모듈(40)은 회전되지 않으므로, 스테이지(30)가 회전할 때마다 상기 컨텍모듈(40)이 기판과의 접촉과 해제를 반복하도록 이루어진다.

한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 기판(5)의 테두리에는 전기적 접촉을 위한 미세한 회로패턴(7)이 형성되어 있고, 상기 컨텍모듈(40)에는 상기 기판(5)의 회로패턴(7)과 접촉하는 부분에 상기 기판의 회로패턴(7)과 전기적으로 접촉하기 위한 동일한 폭의 회로패턴이 형성되어 있다.

그런데, 상기와 같이 턴테이블(20)이 회전될 때마다 컨텍모듈(40)이 접촉과 해제를 반복하게 되면, 상기 기판과 컨텍모듈(40)의 미세한 회로패턴(7)들이 접촉과 해제를 반복하게 되어 상대적으로 접촉 불량이 일어날 확률이 증가하게 되는 문제점이 있다.

특히, 최근에는 유연한 재질의 플랙시블 디스플레이 기판이 개발되고 있는데, 상기 컨텍모듈(40)이 해제될 때 마찰력이나 점착등에 의해 상기 플렉시블 디스플레이 기판의 회로패턴(7) 부분이 미세하게 휘어질 수도 있으며, 이런 상태에서 컨텍모듈(40)이 다시 접촉될 때 기판(5)의 회로패턴(7)의 위치가 틀려짐으로 인해 접촉불량이 일어날 우려가 있다.

또한, 각 단계마다 컨텍모듈(40)의 접촉과 해제가 반복되므로, 이 때마다 컨텍모듈(40)과 기판(5)의 정렬시간 및 컨텍모듈(40)의 접촉을 위한 시간이 증가하여 검사에 소요되는 시간이 증가하는 단점도 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판과 컨텍모듈과의 접촉불량이 발생할 우려를 최소화 하면서 검사에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 기판검사장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 고정된 본체, 상기 본체의 상면에 소정각도씩 회전되도록 구비되는 턴테이블, 상기 턴테이블의 상면에 소정간격마다 복수개 구비되어 상기 턴테이블과 함께 회전하며, 반입된 기판이 안착되는 스테이지, 상기 스테이지에 안착된 기판을 고정하면서, 상기 기판의 회로패턴과 전기적 접촉을 이루며, 상기 턴테이블에 구비되어 스테이지와 함께 이동하는 제1컨텍모듈 및 상기 고정된 본체의 턴테이블 둘레로 소정각도 마다 복수개가 구비되어 상기 회전하는 턴테이블에 구비된 스테이지 및 제1컨텍모듈이 위치되었을 때 상기 제1컨텍모듈과 전기적 접촉을 이루는 제2컨텍모듈을 포함하여 이루어지는 기판검사장치가 제공된다.

상기 턴테이블은 중심부에 상기 본체의 일부분이 노출되는 공간부가 형성되며, 상기 제2컨텍모듈은 상기 턴테이블의 공간부에 의해 노출된 본체에 상기 공간부의 둘레를 따라 구비될 수 있다.

상기 제1컨텍모듈은, 상기 스테이지를 향하는 측에 구비되어 상기 스테이지에 안착된 상기 기판의 회로패턴과 전기적 접촉을 이루는 제1접촉회로패턴이 형성된 기판 접촉부와, 상기 제2컨텍모듈측에 구비되어 상기 제2컨텍모듈과 전기적 접촉을 이루는 제2접촉회로패턴이 형성된 클램프 접촉부를 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 제2컨텍모듈은, 상호 맞물리거나 이격되도록 이루어지고, 상기 제1컨텍모듈의 제2접촉회로패턴이 위치되었을 때 맞물려 상기 제2접촉회로패턴을 고정하는 어퍼홀더와 로워홀더, 상기 어퍼홀더 또는 로워홀더 중 상기 제2접촉회로패턴과 맞닿는 측에 형성되어 상기 제2접촉회로패턴이 상기 어퍼홀더와 로워홀더에 의해 고정될 때, 상기 제2접촉회로패턴과 접촉되는 제3접촉회로패턴이 형성된 컨텍모듈접촉부를 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 제2접촉회로패턴과 제3접촉회로패턴의 회로패턴폭은 상기 제1접촉회로패턴의 회로패턴폭보다 넓게 이루어 질 수 있다.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 고정된 바디, 기판이 안착되며, 본체의 일측에서 본체를 따라 일정간격씩 복수개가 구비되어 일정간격씩 이동하는 스테이지, 상기 스테이지에 안착된 기판을 고정하면서 상기 기판의 회로패턴과 전기적 접촉을 이루며 상기 스테이지와 함께 이동하는 제1컨텍모듈 및 상기 고정된 본체에 일정간격씩 복수개가 구비되며, 상기 이동되는 스테이지 및 제1컨텍모듈이 위치되었을 때, 상기 제1컨텍모듈과 전기적 접촉을 이루는 제2컨텍모듈를 포함하여 이루어지는 기판검사장치가 제공된다.

본 발명의 기판검사장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 기판과 컨텍모듈의 접촉이 유지된 채로 다음 검사단계로 넘어가므로, 기판과 컨텍모듈의 재결합시에 소요되는 정렬시간을 줄일 수 있다.

둘째, 기판과 컨텍모듈의 접촉이 유지된 채로 다음 검사단계로 넘어가므로, 기판과 컨텍모듈이 최초 1회 결합된 채로 검사단계가 끝날 때까지 접촉이 유지되어 오결합이 일어날 가능성이 현저히 줄어드는 효과가 있다.

셋째, 기판과 컨텍모듈이 최초 1회 결합된 채로 검사단계가 끝날 때까지 결합상태가 유지되므로 접촉마멸이 최소화 되어 내구성이 향상되는 효과가 있다.

다섯째, 회전하는 턴테이블 및 이송되는 이송테이블에 구비된 기판과 전기적 접촉하는 제1컨텍모듈과 고정된 본체에 구비된 제2컨텍모듈이 전선으로 연결되어 있지 않으므로 전기적 연결을 위한 전선이 없어 선이 꼬일 염려가 없다.

도 1은 종래의 턴테이블 방식의 기판검사장치를 개략적으로 도시한 평면도;
도 2는 기판의 회로패턴을 확대하여 도시한 평면도;
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 턴테이블 형태의 기판검사장치를 도시한 사시도;
도 4는 도 3의 일부분을 확대하여 도시한 사시도;
도 5는 도 3의 기판 접촉부를 확대하여 도시한 사시도;
도 6은 도 3의 클램프 접촉부와 제2컨텍모듈을 확대하여 도시한 사시도;
도 7은 도 3의 제2컨텍모듈을 확대하여 도시한 사시도;
도 8은 도 6의 단면도; 그리고,
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 인라인 형태의 기판검사장치를 도시한 사시도 이다.

이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.

본 발명에 따른 기판검사장치는 턴테이블 형태와 인라인 형태 등 다양한 형태로 구성될 수 있으며, 본 실시예의 설명에서는 턴테이블 형태의 기판검사장치를 예로 들어 설명하기로 한다.

본 실시예에 따른 기판검사장치는 도 3에 도시된 바와 같이, 본체(110)와 턴테이블(120), 스테이지(130), 제1컨텍모듈(140) 및 제2컨텍모듈(150)을 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 본체(110)는 설치면에 설치된 후 움직이지 않도록 고정된다. 그리고, 상기 턴테이블(120)은 상기 본체(110)의 상면에 일정각도씩 회전가능하게 설치된다. 이 때, 상기 턴테이블(120)은 중심부의 일부분이 개구되도록 공간부(122)가 형성되며, 상기 공간부(122)를 통해 상기 턴테이블(120)의 일부가 노출되도록 이루어진다. 상기 공간부(122)는 원형의 형태를 이루도록 형성되는 것이 바람직하다. 하지만 상기 공간부(122)는 반드시 원형의 형태를 이루는 것에 한정되지 않으며, 다양한 형태로 이루어질 수 있다.

그리고, 상기 턴테이블(120)의 상면에 스테이지(130)가 복수개 구비될 수 있다. 상기 스테이지(130)는 반입된 기판(5)이 안착되는 구성요소로서, 상기 턴테이블(120)에 구비되어 상기 턴테이블(120)과 함께 회전되도록 구비된다. 상기와 같은 스테이지(130)는 소정간격으로 구비되어 상기 턴테이블(120)이 일정각도씩 회전될 때마다 각 스테이지(130)가 순차적으로 동일한 장소에 위치되도록 이루어질 수 있다. 한편, 상기 기판(5)은 상기 스테이지(130)에 안착될 때 상기 스테이지(130)와 정렬되면서 안착될 수 있다.

상기 제1컨텍모듈(140)은 상기 스테이지(130)에 안착된 기판(5)을 고정하면서 상기 기판(5)에 형성된 회로기판(5)과 전기적 접촉을 이루는 구성요소이다. 상기와 같은 제1컨텍모듈(140)은 상기 턴테이블(120)이 일정각도씩 회전될 때 상기 각 스테이지(130)가 위치되는 지점마다 구비되며, 상기 턴테이블(120) 및 스테이지(130)와 함께 이동되도록 상기 턴테이블(120) 상에 구비될 수 있다.

상기와 같은 제1컨텍모듈(140)은 도 4에 도시된 바와 같이, 바디(141)와 암(142), 기판 접촉부(143)와 클램프 접촉부(146)를 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 바디(141)는 상기 턴테이블(120)상에 구비되는 구성요소이다. 그리고, 상기 암(142)은 상기 바디(141)에 대하여 승강되도록 이루어지며, 상기 바디(141)로부터 상기 스테이지(130) 측으로 연장되도록 구비된다. 그리고, 상기 기판 접촉부(143)는 상기 암(142)의 스테이지(130) 측으로 연장된 끝단에 구비되어 상기 암(142)의 승강에 따라 같이 승강되도록 구비되며, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 기판 접촉부(143)의 기판(5)과 접촉하는 면에는 기판(5)에 형성된 회로패턴(7)과 전기적 접촉할 수 있도록 상기 기판(5)에 형성된 회로패턴(7)과 대응되는 형상으로 이루어지는 제1접촉회로패턴(144)이 형성된다. 즉, 상기 기판(5)에 형성된 회로패턴(7)과 상기 제1접촉회로패턴(144)은 상호 동일한 형태로 이루어질 수 있다.

따라서, 상기 스테이지(130)에 기판(5)이 안착된 후 상기 암(142)이 하강하면 상기 기판 접촉부(143) 또한 하강하여 상기 기판(5)을 고정하면서 상기 제1접촉회로패턴(144)과 기판(5)의 회로패턴(7)이 상호 전기적 접촉을 이루게 되는 것이다.

또한, 상기 클램프 접촉부(146)는 도 4및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 바디(141)의 후측(턴테이블의 중심부측)에 구비되며, 후술하는 제2컨텍모듈(150)을 향하여 제2접촉회로패턴(147)이 돌출형성되도록 이루어진다. 상기 제2접촉회로패턴(147)은 상기 턴테이블(120)의 회전되는 방향과 평행한 면을 이루도록 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 기판 접촉부(143)와 클램프 접촉부(146)에는 상호 전기적 연결을 이루는 케이블(미도시)이 삽입될 수 있는 제1소켓(145)과 제2소켓(148)이 각각 형성될 수 있다.

상기 제2컨텍모듈(150)은 상기 턴테이블(120)이 일정각도씩 회전될 때 상기 제1컨텍모듈(140)의 제2접촉회로패턴(147)이 위치되는 각 지점마다 구비되어 위치된 제2접촉회로패턴(147)과 접촉하여 전기적 연결을 이루어 상기 본체(110) 및 본체(110)와 연결된 각종 검사장비(미도시)와 전기적으로 연결하는 구성요소이다.

상기 제2컨텍모듈(150)은 도 3 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본체(110)에 고정되도록 구비된다. 더 상세하게는 상기 턴테이블(120)의 중심부에 형성된 공간부(122)를 통해 노출된 본체의 일부분(112)에 상기 공간부(122) 내주면을 따라 상기 턴테이블(120)이 일정각도씩 회전될 때 상기 제1컨텍모듈(140)의 제2접촉회로패턴(147)이 위치되는 각 지점마다 구비되는 것이 바람직하다.

상기와 같은 제2컨텍모듈(150)은 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 베이스(151)와 어퍼홀더(152), 로워홀더(153) 및 컨텍모듈 접촉부(155)를 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 베이스(151)는 상기 턴테이블(120)의 중심부에 형성된 공간부(122)를 통해 노출된 본체 일부분(112)의 상기 공간부(122) 내주면을 따라 상기 턴테이블(120)이 일정각도씩 회전될 때 상기 제1컨텍모듈(140)의 제2접촉회로패턴(147)이 위치되는 각 지점마다 고정되게 구비된다.

상기 로워홀더(153) 및 어퍼홀더(152)는 상기 베이스(151)에 결합되어 구비되며, 상기 제2접촉회로패턴(147)측의 끝단부가 상하방향으로 이격되거나 근접되도록 상호 맞물려 상기 제2접촉회로패턴(147)을 상하방향에서 압착하여 고정하도록 구비된다.

이를 위해, 상기 로워홀더(153)와 어퍼홀더(152)의 제2접촉회로패턴(147)을 향하는 끝단부는 상기 제2접촉회로패턴(147)과 중첩되도록 구비되며, 그 끝단은 상기 제2접촉회로패턴(147)을 향하여 돌출되도록 구비되고, 돌출된 부분의 상기 제2접촉회로패턴(147)과 마주보는 부분에 상기 제2접촉회로패텬(147)과 전기적 접촉을 이루는 제3접촉회로패턴(미도시)이 형성되 컨택모듈접촉부(155)가 구비될 수 있다.

상기와 같은 로워홀더(153) 및 어퍼홀더(152)는 전기모터 또는 유압이나 공압 및 솔레노이드 등의 구동수단(미도시)을 통해 구동될 수 있다.

상기와 같은 컨텍모듈 접촉부(155)는 제2접촉회로패턴(147)의 마멸을 방지하기 위해 어느 정도 탄성 및 유연성을 가지는 재질로 형성될 수 있으며, 상기 제2접촉회로패턴(147)과 수평인 평면으로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 로워홀더(153) 및 어퍼홀더(152)는 이격되었을 때 상기 제2접촉회로패턴(147)의 이송방향인 수평방향이 개방되도록 이루어진다.

즉, 상기 어퍼홀더(152)와 로워홀더(153)가 상호 맞물리기 전까지는 상기 컨텍모듈접촉부(155)가 상기 제2접촉회로패턴(147)와 이격되므로 전기적 접촉을 이루고 있지 않다가 상기 어퍼홀더(152)와 로워홀더(153)가 맞물리면서 상기 컨텍모듈접촉부(155)와 제2접촉회로패턴(147)이 맞닿으면서 전기적 접촉을 이루게 된다.

또한, 상기 어퍼홀더(152)와 로워홀더(153)가 이격되면 상기 컨텍모듈 접촉부(155) 또한 상기 제2접촉회로패턴(147)과 이격되어 상기 제2접촉회로패턴(147)의 이송방향인 수평방향이 개방되어 상기 제2접촉회로패턴(147)의 이송시 간섭을 일으키지 않는다.

한편, 상기 제2접촉회로패턴(147) 및 제3접촉회로패턴(미도시)은 제1접촉회로패턴(144)의 폭보다 넓은 폭으로 넓은 간격을 이루도록 형성될 수 있다. 따라서, 상기 제2접촉회로패턴(147)과 제3접촉회로패턴(미도시)의 위치 정확도가 다소 떨어져도 오결합의 가능성이 줄어들며, 제작이 용이하고, 내구성이 향상될 수 있다.

상기와 같은 턴테이블 방식의 기판검사장치는 다음과 같이 작동한다. 먼저, 준비된 기판(5)이 외부로부터 픽커(미도시) 등에 의해 이송되어 상기 스테이지(130)와 정렬된 후 스테이지(130)에 안착된다.

기판(5)이 안착된 후 상기 제1컨텍모듈(140)의 암(142) 및 기판 접촉부(143)가 하강하여 상기 기판(5)을 스테이지(130)에 고정시킴과 동시에 상기 기판 접촉부(143)에 구비된 제1접촉회로패턴(144)과 상기 기판(5)의 회로패턴(7)이 접촉되어 전기적이 연결을 이루어 기판(5)의 반입을 완료한다.

이와 함께 상기 제2컨텍모듈(150)의 어퍼홀더(152)와 로워홀더(153)가 상호 맞물려 상기 클램프 접촉부(146)의 제2접촉회로패턴(147)과 상기 컨텍모듈 접촉부(155)의 제3접촉회로패턴(미도시)이 상호 접촉되면서 전기적 연결을 이루게 되며 이를 통해 본체(110) 및 본체와 연결된 해당위치의 검사장치(미도시)와 상기 기판(5)이 전기적 연결을 이루게 되어 상기 기판(5)에 전력 및 전기적 신호가 소통되면서 해당위치에서의 지정된 종류의 검사가 수행된다.

해당위치에서 지정된 종류의 검사의 수행이 완료되면, 상기 제2컨텍모듈(150)의 어퍼홀더(152)와 로워홀더(153)가 이격된 후 상기 턴테이블(120)이 일정각도로 회전되어 상기 기판(5)과 스테이지(130) 및 제1컨텍모듈(140)이 다음위치로 이송된다. 이 때, 상기 제1컨텍모듈(140)과 기판(5)은 전기적 접촉이 유지된 상태로 이송된다.

상기 턴테이블(120)이 일정각도 회전된 후에 상기 제2컨텍모듈(150)의 어퍼홀더(152)와 로워홀더(153)가 상호 맞물려 상기 클램프 접촉부(146)의 제2접촉회로패턴(147)과 컨텍모듈 접촉부(155)의 제3접촉회로패턴(미도시)이 상호 접촉되면서 전기적 연결을 이루게 되며 이를 통해 본체(110) 및 본체와 연결된 해당위치의 검사장치(미도시)와 상기 기판(5)이 전기적 연결을 이루게 되어 상기 기판(5)에 전력이 공급되면서 해당위치에서의 지정된 종류의 검사가 수행된다.

상기와 같은 단계들이 반복되어 모든 검사과정이 종료된 후에 상기 제1컨텍모듈(140)의 암(142)과 기판 접촉부(143)가 상승하여 상기 기판(5)과 제1컨텍모듈(140)과의 고정 및 전기적 접촉이 해제된 후에 상기 기판(5)이 반출될 수 있다.

이하에서는, 본 발명의 기판검사장치의 다른 실시예인 인라인 형태의 기판검사장치를 설명하고자 한다.

본 실시예의 기판검사장치를 설명함에 앞서, 전술한 턴테이블 형태의 기판검사장치와 동일한 부분에 대해서는 동일한 명칭을 사용하도록 하며 그에 대한 자세한 설명은 전술한 실시예의 설명으로 갈음하기로 한다.

도 9는 본 실시예에 따른 인라인 형태의 기판검사장치를 도시한 도면이다.

본 실시예에 따른 기판검사장치는 본체(210)와 이송테이블(220), 스테이지(230) 및 제1컨텍모듈(240)과 제2컨텍모듈(250)을 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 본체(210)는 설치면에 고정되도록 구비되며, 일측방향으로 길이방향을 갖도록 길게 구비될 수 있다.

그리고, 상기 이송테이블(220)은 상기 본체(210)의 일측에서 상기 본체(210)의 길이방향을 따라 일정간격씩 이동하도록 구비될 수 있다.

그리고, 상기 이송테이블(220)에는 기판(5)이 안착되는 스테이지(230)가 구비된다. 상기 스테이지(230)는 전술한 실시예의 스테이지(130)와 동일한 형태로서, 상기 이송테이블(220)이 이동함에 따라 상기 본체(210)에 대하여 일정간격씩 이동되도록 구비된다.

상기 제1컨텍모듈(240)은 전술한 실시예의 제1컨텍모듈(140)과 유사한 구성요소로서 상기 스테이지(230)에 안착된 기판(5)을 고정하면서 기판(5)의 회로패턴(7)과 전기적 접촉을 이루는 구성요소이다. 상기 제1컨텍모듈(240) 또한 상기 이송테이블(220)에 구비되어 상기 이송테이블(220)의 이동에 따라 상기 스테이지(230)와 같이 이동되도록 이루어진다. 상기와 같은 제1컨텍모듈(240)은 전술한 실시예의 제1컨텍모듈(140)과 같이, 바디(141)와 암(142), 기판 접촉부(143)와 클램프 접촉부(146)로 이루어질 수 있으며 각각의 설명에 대해서는 전술한 실시예의 설명으로 갈음하기로 한다.

상기 제2컨텍모듈(250)은 상기 이송테이블(220)이 일정간격씩 이동될 때 상기 제1컨텍모듈(240)의 제2접촉회로패턴이 위치되는 각 지점마다 구비되어 위치된 제2접촉회로패턴과 접촉하여 전기적 연결을 이루어 상기 본체 및 본체와 연결된 검사장비와 전기적으로 연결하는 구성요소이다. 따라서, 상기 제2컨텍모듈(250)은 제1컨텍모듈(240)과는 다르게 이송테이블(220)의 이동과는 무관하게 본체(210)에 고정되게 설치되는 것이다.

상기와 같은 제2컨텍모듈(250) 또한 전술한 실시예의 제2컨텍모듈(150)과 같이 베이스와 어퍼홀더, 로워홀더 및 컨텍모듈 접촉부를 포함하여 이루어질 수 있으며 각각의 설명에 대해서는 전술한 실시예의 설명으로 갈음하기로 한다.

따라서, 준비된 기판(5)이 외부로부터 픽커(미도시) 등에 의해 이송되어 상기 스테이지(230)에 정렬된 후 안착되면, 상기 제1컨텍모듈(240)의 암 및 기판 접촉부가 하강하여 상기 기판(5)을 스테이지(230)에 고정시킴과 동시에 상기 기판 접촉부[]에 구비된 제1접촉회로패턴과 상기 기판(5)의 회로패턴(7)이 접촉되어 전기적이 연결을 이루어 기판의 반입을 완료한다.

기판의 반입이 완료된 후 상기 제2컨텍모듈(250)의 어퍼홀더와 로워홀더가 상호 맞물려 상기 클램프 접촉부의 제2접촉회로패턴과 컨텍모듈 접촉부의 제3접촉회로패턴이 상호 압착되면서 전기적 연결을 이루게 되며 이를 통해 본체(210) 및 본체와 연결된 검사장치와 상기 기판(5)이 전기적 연결을 이루게 되어 상기 기판(5)에 전력이 공급되면서 해당위치에서의 지정된 종류의 검사가 수행된다.

해당위치에서 지정된 종류의 검사의 수행이 완료되면, 상기 제2컨텍모듈(250)의 어퍼홀더와 로워홀더가 이격된 후 상기 이송테이블(220)이 일정간격 이동되어 상기 기판(5)과 스테이지(230) 및 제1컨텍모듈(240)이 다음위치로 이송된다. 이 때, 상기 제1컨텍모듈(240)과 기판(5)은 전기적 접촉이 유지된 상태로 이송된다.

상기 이송테이블(220)이 일정간격 이송된 후에 상기 제2컨텍모듈(250)의 어퍼홀더와 로워홀더가 상호 맞물려 상기 클램프 접촉부의 제2접촉회로패턴과 컨텍모듈 접촉부의 제3접촉회로패턴이 상호 접촉되면서 전기적 연결을 이루게 되며 이를 통해 본체(210) 및 본체와 연결된 검사장치와 상기 기판(5)이 전기적 연결을 이루게 되어 상기 기판에 전력이 공급되면서 해당위치에서의 지정된 종류의 검사가 수행된다.

상기와 같은 단계들이 반복되어 모든 검사과정이 종료된 후에 상기 제1컨텍모듈(240)의 암과 기판 접촉부가 상승하여 상기 기판과 제1컨텍모듈(240)과의 고정 및 전기적 접촉이 해제된 후에 상기 기판이 반출될 수 있다.

상기와 같이, 기판검사장치가 인라인 형태로 이루어지면, 상기 기판의 크기가 커지더라도 대응이 보다 용이하며, 공장이나 검사장등의 내부공간을 보다 효율적으로 활용할 수 있는 장점이 있다.

이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.

110: 본체 120: 턴테이블
122: 공간부 130: 스테이지
140: 제1컨텍모듈 141: 바디
142: 암 143: 기판 접촉부
144: 제1접촉회로패턴 145: 제1소켓
146: 클램프 접촉부 147: 제2접촉회로패턴
148: 제2소켓 150: 제2컨텍모듈
151: 베이스 152: 어퍼홀더
153: 로워홀더 155: 컨텍모듈 접촉부

Claims

고정된 본체;
상기 본체에 대하여 소정각도씩 회전되도록 구비되는 턴테이블;
상기 턴테이블의 상면에 소정간격마다 복수개 구비되어 상기 턴테이블과 함께 회전하며, 반입된 기판이 안착되는 스테이지;
상기 스테이지에 안착된 기판을 고정하면서, 상기 기판의 회로패턴과 전기적 접촉을 이루며, 상기 턴테이블에 구비되어 스테이지와 함께 이동하는 제1컨텍모듈; 및
상기 고정된 본체의 턴테이블 둘레로 소정각도 마다 복수개가 구비되어 상기 회전하는 턴테이블에 구비된 스테이지 및 제1컨텍모듈이 위치되었을 때 상기 제1컨텍모듈과 전기적 접촉을 이루는 제2컨텍모듈;
을 포함하여 이루어지는 기판검사장치.
제1항에 있어서,
상기 턴테이블은 중심부에 상기 본체의 일부분이 노출되는 공간부가 형성되며, 상기 제2컨텍모듈은 상기 턴테이블의 공간부에 의해 노출된 본체에 상기 공간부의 둘레를 따라 구비되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
제1항에 있어서,
상기 제1컨텍모듈은,
상기 스테이지를 향하는 측에 구비되어 상기 스테이지에 안착된 상기 기판의 회로패턴과 전기적 접촉을 이루는 제1접촉회로패턴이 형성된 기판 접촉부;
상기 제2컨텍모듈측에 구비되어 상기 제2컨텍모듈과 전기적 접촉을 이루는 제2접촉회로패턴이 형성된 클램프 접촉부;
를 포함하여 이루어지는 기판검사장치.
제3항에 있어서,
상기 제2컨텍모듈은,
상호 맞물리거나 이격되도록 이루어지고, 상기 제1컨텍모듈의 제2접촉회로패턴이 위치되었을 때 맞물려 상기 제2접촉회로패턴을 고정하는 어퍼홀더와 로워홀더;
상기 어퍼홀더 또는 로워홀더 중 상기 제2접촉회로패턴과 맞닿는 측에 형성되어 상기 제2접촉회로패턴이 상기 어퍼홀더와 로워홀더에 의해 고정될 때, 상기 제2접촉회로패턴과 접촉되는 제3접촉회로패턴이 형성된 컨텍모듈접촉부;
를 포함하여 이루어지는 기판검사장치.
제4항에 있어서,
상기 제2접촉회로패턴과 제3접촉회로패턴의 회로패턴폭은 상기 제1접촉회로패턴의 회로패턴폭보다 넓은 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
고정된 본체;
상기 본체를 따라 일정간격씩 이동되도록 구비되는 이송테이블;
기판이 안착되며, 상기 이송테이블에 소정간격으로 복수개 구비되어 상기 이송테이블의 이송에 따라 상기 본체에 대하여 일정간격씩 이동하는 스테이지;
상기 스테이지에 안착된 기판을 고정하면서 상기 기판의 회로패턴과 전기적 접촉을 이루며 상기 스테이지와 함께 이동하는 제1컨텍모듈; 및
상기 고정된 본체에 일정간격씩 복수개가 구비되며, 상기 이동되는 스테이지 및 제1컨텍모듈이 위치되었을 때, 상기 제1컨텍모듈과 전기적 접촉을 이루는 제2컨텍모듈;
를 포함하여 이루어지는 기판검사장치.
제6항에 있어서,
상기 제1컨텍모듈은,
상기 스테이지를 향하는 측에 구비되어 상기 스테이지에 안착된 상기 기판의 회로패턴과 전기적 접촉을 이루는 제1접촉회로패턴이 형성된 기판 접촉부;
상기 제2컨텍모듈측에 구비되어 상기 제2컨텍모듈과 전기적 접촉을 이루는 제2접촉회로패턴이 형성된 클램프 접촉부;
를 포함하여 이루어지는 기판검사장치.
제7항에 있어서,
상기 제2컨텍모듈은,
상호 맞물리거나 이격되도록 이루어지고, 상기 제1컨텍모듈의 제2접촉회로패턴이 위치되었을 때 맞물려 상기 제2접촉회로패턴을 고정하는 어퍼홀더와 로워홀더;
상기 어퍼홀더 또는 로워홀더 중 상기 제2접촉회로패턴과 맞닿는 측에 형성되어 상기 제2접촉회로패턴이 상기 어퍼홀더와 로워홀더에 의해 고정될 때, 상기 제2접촉회로패턴과 접촉되는 제3접촉회로패턴이 형성된 컨텍모듈접촉부;
를 포함하여 이루어지는 기판검사장치.