KR101076475B1

KR101076475B1 - Handler for test

Info

Publication number: KR101076475B1
Application number: KR1020090040896A
Authority: KR
Inventors: 이재학
Original assignee: 주식회사 아이에스시테크놀러지
Priority date: 2009-05-11
Filing date: 2009-05-11
Publication date: 2011-10-26
Also published as: KR20100121945A

Abstract

본 발명은 테스트용 핸들러에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 검사장치와 피검사 디바이스를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 매개소켓을 상기 검사장치에 고정결합시키며 상기 피검사 디바이스를 상기 매개소켓에 안내하는 테스트용 핸들러로서, 주변이 상기 검사장치에 고정결합되고 중앙에는 상기 피검사 디바이스가 삽입될 수 있는 삽입공이 형성되며, 상기 삽입공은, 상기 피검사 디바이스와 대응되는 크기를 가지며 상기 피검사 디바이스가 안착되는 제1삽입공과, 상기 제1삽입공으로부터 상측으로 연장되며 점차적으로 단면적이 증가되며 상기 피검사 디바이스가 상기 제1삽입공으로 안착될 수 있도록 안내하는 안내면이 내주면에 마련된 제2삽입공을 포함하는 테스트용 핸들러에 있어서, 상기 핸들러는, 상기 검사장치에 고정결합되며 중앙에 중앙홀이 형성되는 하우징과, 상기 하우징의 중앙홀에 결합되어 고정될 수 있으며 상기 제1삽입공과 상기 제2삽입공이 형성되어 있는 인서트로 구성되되, 상기 인서트는 상기 하우징에 착탈가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 테스트용 핸들러에 대한 것이다.The present invention relates to a test handler, and more particularly, to a test socket for fixedly coupling an intermediary socket for electrically connecting an inspection apparatus and a device under test to the inspection device and for guiding the device under test to the intermediate socket. As a handler, a periphery is fixedly coupled to the inspection apparatus and an insertion hole is formed at the center thereof to allow the device to be inspected to be inserted. A test including a first insertion hole and a second insertion hole extending upwardly from the first insertion hole and gradually increasing in cross-sectional area, and having a guide surface provided on an inner circumferential surface thereof for guiding the device under test to be seated in the first insertion hole. In the handler for the handler, the handler is fixedly coupled to the inspection device Consists of a housing in which a central hole is formed and an insert coupled to the central hole of the housing and having an insert in which the first insertion hole and the second insertion hole are formed, wherein the insert is detachably coupled to the housing. The test handler is characterized by

핸들러, 하우징, 인서트, 피검사 디바이스 Handler, Housing, Insert, Device Under Test

Description

Handler for test}

본 발명은 테스트용 핸들러에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 로직 디바이스와 같은 각종 피검사 디바이스와 그 피검사 디바이스의 신뢰성을 검사하기 위한 검사장치를 서로 전기적으로 연결시키는 테스트용 핸들러에 대한 것이다.The present invention relates to a test handler, and more particularly, to a test handler for electrically connecting various devices to be inspected, such as logic devices, and an inspection apparatus for checking the reliability of the device under test.

일반적으로 컴퓨터 등의 각종 장치에 사용되는 로직 디바이스(Logic Device)와 같은 피검사 디바이스는 생산후 출하되기 전에 필수적으로 신뢰성 검사를 거치게 되는데, 이러한 피검사 디바이스들을 자동으로 테스트하여 생산자에게 그 결과를 출력하여 주는 장치가 핸들러이다.In general, a device under test such as a logic device used in various devices such as a computer undergoes an essential test of reliability before shipment after production. The device is automatically tested and the result is output to the producer. The handler is the handler.

이와 같은 종래기술에 따른 핸들러의 구성 및 작동의 실례를 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.An example of the configuration and operation of a handler according to the related art will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

도 1은 로직 디바이스를 테스트하기 위한 종래의 핸들러의 구성을 나타내는 도면이며, 도 2는 도 1의 주요구성의 평면도, 도 3은 도 1의 결합도이다. 이러한 핸들러(100)는 그 내부에 매개소켓(120)을 포함하고 있으며, 상기 매개소켓(120)은 이방도전성 시트로 구성될 수 있다. 상기 매개소켓(120)은 피검사 디바이스(50)와 검사장치(51)의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스(50)의 단자(50a)와 상기 검 사장치(51)의 패드(미도시)를 서로 전기적으로 연결시키는 역할을 수행한다. 이때 핸들러(100)는 상면으로부터 하면까지 관통하는 삽입공(110)이 중앙에 형성되어 있게 된다. 상기 삽입공(110)은 피검사 디바이스(50)와 대응되는 크기를 가지며 상기 피검사 디바이스(50)가 안착되는 제1삽입공(111)과, 상기 제1삽입공(111)으로부터 상측으로 연장되며 상측으로 갈수록 점차적으로 단면적이 증가되는 제2삽입공(112)으로 이루어진다. 상기 제1삽입공(111)의 하단에는 탄성을 가지며 두께방향으로 압축되며 실리콘 고무에 다수의 도전성 입자(121a)가 분포된 다수의 도전부(121)가 마련되어 있는 매개소켓(120)이 배치되어 있어 제1삽입공(111)으로 삽입되어 오는 피검사 디바이스(50)가 상기 매개소켓(40)과 접촉될 수 있다.1 is a diagram showing the configuration of a conventional handler for testing a logic device, FIG. 2 is a plan view of the main configuration of FIG. 1, and FIG. 3 is a coupling diagram of FIG. The handler 100 includes an intermediate socket 120 therein, and the intermediate socket 120 may be formed of an anisotropic conductive sheet. The intermediate socket 120 is disposed between the device under test 50 and the test device 51, so that the terminal 50a of the device under test 50 and the pad of the test device 51 are not shown. To electrically connect each other. In this case, the insertion hole 110 penetrating from the upper surface to the lower surface is formed in the center. The insertion hole 110 has a size corresponding to the device under test 50 and extends upwardly from the first insertion hole 111 and the first insertion hole 111 on which the device under test 50 is seated. The second insertion hole 112 is gradually increased in cross-sectional area toward the upper side. At the lower end of the first insertion hole 111, an intermediate socket 120 having elasticity and compression in the thickness direction and having a plurality of conductive parts 121 in which a plurality of conductive particles 121a are distributed in silicon rubber is disposed. The device under test 50, which is inserted into the first insertion hole 111, may be in contact with the intermediate socket 40.

상기 제2삽입공(112)은 소정의 운반장치에 의하여 운반되어 오는 피검사 디바이스(50)를 상기 제1삽입공(111) 내에 정확하게 삽입될 수 있도록 위치정렬하는 것으로서, 그 내주면에는 경사진 안내면(112a)이 마련되어 있어 상기 안내면(112a)을 따라서 상기 피검사 디바이스가 원하는 위치에 정확하게 정렬될 수 있다. 한편, 상기 핸들러의 주변은 상하돌출되는 핀이 형성되어 있어 상기 핀이 검사장치에 위치고정될 수 있도록 한다.The second insertion hole 112 is to align the device under test 50, which is carried by a predetermined conveying device, so as to be accurately inserted into the first insertion hole 111, and an inclined guide surface on the inner circumferential surface thereof. 112a is provided such that the device under test can be accurately aligned at a desired position along the guide surface 112a. On the other hand, the periphery of the handler is formed with a pin protruding up and down so that the pin can be fixed to the inspection device.

이때 상기 핸들러의 주요 소재로서는 절연성을 가지는 엔지니어링 플라스틱(Ultem, Torlon, Peek 등)이 주로 사용된다.At this time, as the main material of the handler, engineering plastics (Ultem, Torlon, Peek, etc.) having insulation are mainly used.

이러한 종래기술에 따른 핸들러는 별도의 운반장치(picker)에 의하여 운반되어 온 피검사 디바이스가 상기 삽입공 내에 삽입되어 상기 매개소켓에 안착된다. 구체적으로는 상기 피검사 디바이스는 제2삽입공 내에 삽입되어 그 제2삽입공의 안 내면에 의하여 안내되면서 하강하다가 정렬된 상태로 상기 제1삽입공에 삽입되어 들어가고, 이와 같이 제2삽입공으로 들어간 피검사 디바이스는 매개소켓에 안착되어 소정의 검사를 수행할 준비를 마치게 된다. 이때, 검사장치로부터 소정의 신호를 인가되면 상기 신호는 매개소켓을 거쳐 피검사 디바이스로 도달하게 되고 이때 피검사 신호로부터 나오는 신호를 이용하여 피검사 디바이스의 신뢰성을 판단하게 된다.In the handler according to the related art, a device under test, which has been carried by a separate picker, is inserted into the insertion hole and seated on the intermediate socket. Specifically, the device to be inspected is inserted into the second insertion hole and is guided by the inner surface of the second insertion hole. The device is then inserted into the first insertion hole in an aligned state, and thus enters the second insertion hole. The device under test is seated in an intermediate socket and is ready to perform a predetermined test. In this case, when a predetermined signal is applied from the inspection apparatus, the signal arrives at the device under test through an intermediate socket, and at this time, the reliability of the device under test is determined using the signal from the signal under test.

이러한 종래기술에 따른 핸들러는 다음과 같은 문제점이 있다.This prior art handler has the following problems.

먼저, 통상적으로 피검사 디바이스의 테스트를 위하여 수십만회 정도 상기 피검사 디바이스를 삽입공을 통하여 매개소켓에 삽입하게 되는데 이 과정에서 제2삽입공의 안내면이 계속적으로 상기 피검사 디바이스와 접촉한다. 이때 그 안내면은 피검사 디바이스와의 접촉에 의하여 쉽게 마모되며 정밀한 검사가 수행되기 어렵게 되고 종국에는 핸들러를 전체적으로 교체해야 하는 문제가 있다. 이와 같이 전체적으로 핸들러를 교체하는 작업은 번거로울 뿐 아니라, 그 교체에 소요되는 비용도 과도하게 되는 단점이 있다.First, the test device is typically inserted into the intermediate socket through the insertion hole hundreds of thousands of times for the test of the device under test. In this process, the guide surface of the second insertion hole continuously contacts the device under test. At this time, the guide surface is easily worn by the contact with the device under test, it is difficult to perform a precise inspection and eventually there is a problem that the handler must be replaced as a whole. As a result, replacing the handler as a whole is cumbersome, and the cost of replacing the handler is excessive.

또한, 피검사 디바이스의 종류에 따라서는 고온에서 작업을 수행해야 할 필요가 생긴다. 핸들러는 통상적으로 유전율이 좋고 절연성이 우수한 엔지니어링 플라스틱을 사용하고 있는데, 이러한 소재를 사용하는 경우에 상온에서 검사를 수행하는 경우에는 별 문제가 없으나, 90℃와 같이 고온에서 검사를 수행하는 경우에는 엔지니어링 플라스틱으로 이루어진 핸들러가 쉽게 변형될 염려가 있다. 특히 피검사 디바이스를 가이드 해주는 안내면이 수축 또는 팽창이 일어나게 되면서 피검사 디바이스가 정위치에 정렬되기 어려워서 검사의 신뢰성에 문제가 생기는 단점이 있다.In addition, depending on the type of device under test, it is necessary to perform work at a high temperature. Handlers typically use engineering plastics with good dielectric constant and good insulation, which is not a problem when performing inspections at room temperature, but when performing inspections at high temperatures such as 90 ° C. There is a fear that the handler made of plastic is easily deformed. In particular, as the guide surface for guiding the device under test is contracted or expanded, it is difficult to align the device under test, which causes a problem in reliability of the test.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 반복적인 피검사 디바이스와의 접촉에 의하여 삽입공의 내주면에 형성된 안내면이 마모되어도 전체적으로 핸들러를 교체할 필요가 없어 교체비용이 절감되고, 안내면이 쉽게 마모되지 않으며 고온에서 검사를 수행하는 경우에도 안내면이 쉽게 열변형되지 않아 검사의 신뢰도를 높일 수 있는 테스트용 핸들러를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention was created in order to solve the above-mentioned problems, and more particularly, even though the guide surface formed on the inner circumferential surface of the insertion hole is worn out by repeated contact with the device under test, it is not necessary to replace the handler as a whole, thereby reducing the replacement cost. The purpose of the present invention is to provide a test handler which can not easily wear the guide surface and the guide surface is not easily thermally deformed even when the inspection is performed at a high temperature.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 바람직한 테스트용 핸들러는, 검사장치와 피검사 디바이스를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 매개소켓을 상기 검사장치에 고정결합시키며 상기 피검사 디바이스를 상기 매개소켓에 안내하는 테스트용 핸들러로서, A preferred test handler according to the present invention for achieving the above object is to securely couple an intermediary socket for electrically connecting an inspection apparatus and a device under test to the inspection device and to guide the device under test to the intermediate socket. As a test handler,

주변이 상기 검사장치에 고정결합되고 중앙에는 상기 피검사 디바이스가 삽입될 수 있는 삽입공이 형성되며, A periphery is fixedly coupled to the inspection device and an insertion hole is formed in the center into which the device under test can be inserted.

상기 삽입공은, 상기 피검사 디바이스와 대응되는 크기를 가지며 상기 피검사 디바이스가 안착되는 제1삽입공과, 상기 제1삽입공으로부터 상측으로 연장되며 점차적으로 단면적이 증가되며 상기 피검사 디바이스가 상기 제1삽입공으로 안착될 수 있도록 안내하는 안내면이 내주면에 마련된 제2삽입공을 포함하는 테스트용 핸들러에 있어서, The insertion hole has a size corresponding to that of the device under test, and includes a first insertion hole in which the device to be inspected is seated, and an upper side extending from the first insertion hole and gradually increasing in cross-sectional area. In the test handler comprising a second insertion hole provided on the inner circumferential surface of the guide surface for guiding it to be seated in the insertion hole,

상기 핸들러는, 상기 검사장치에 고정결합되며 중앙에 중앙홀이 형성되는 하우징과, 상기 하우징의 중앙홀에 결합되어 고정될 수 있으며 상기 제1삽입공과 상기 제2삽입공이 형성되어 있는 인서트로 구성되되, 상기 인서트는 상기 하우징에 착탈가능하게 결합된다.The handler is composed of a housing fixedly coupled to the inspection device, the center hole is formed in the center, and an insert in which the first insertion hole and the second insertion hole are formed and coupled to the center hole of the housing. The insert is detachably coupled to the housing.

상기 테스트용 핸들러에서, In the test handler,

상기 인서트는 상기 하우징보다 고강도의 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.The insert is preferably made of a material of higher strength than the housing.

상기 테스트용 핸들러에서, 상기 인서트는 열변형이 되는 온도가 상기 하우징보다 높은 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.In the test handler, it is preferable that the insert is made of a material having a temperature at which thermal deformation becomes higher than the housing.

상기 테스트용 핸들러에서, 상기 인서트는 알루미나(Al₂O₃), 지르코니아(ZrO₂), 질화규소(Si₃N₄) 중 어느 하나로 구성된 세라믹 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.In the test handler, the insert is preferably made of a ceramic material composed of any one of alumina (Al ₂ O ₃ ), zirconia (ZrO ₂ ), silicon nitride (Si ₃ N ₄ ).

상기 테스트용 핸들러에서, 상기 하우징은 합성수지 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.In the test handler, the housing is preferably made of a synthetic resin material.

상기 테스트용 핸들러에서, 상기 인서트 및 하우징은 알루미나(Al₂O₃), 지르코니아(ZrO₂), 질화규소(Si₃N₄) 중 어느 하나로 구성된 세라믹 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.In the test handler, the insert and the housing are preferably made of a ceramic material composed of any one of alumina (Al ₂ O ₃ ), zirconia (ZrO ₂ ), and silicon nitride (Si ₃ N ₄ ).

상기 테스트용 핸들러에서, In the test handler,

상기 하우징에는 상기 중앙홀의 주변에 상하방향으로 연장된 볼트구멍이 형성되고, 상기 인서트는 상기 볼트구멍에 삽입되는 볼트의 볼트머리가 그 상단에 접촉함으로써 상기 인서트가 하우징으로부터 빠져나가지 못하도록 하는 것이 바람직하다.The housing is formed with a bolt hole extending in the vertical direction around the central hole, the insert is preferably such that the bolt head of the bolt inserted into the bolt hole is in contact with the upper end so that the insert does not escape from the housing. .

상기 테스트용 핸들러에서, 상기 하우징의 중앙홀의 내주면에는 단턱이 마련되고, 상기 인서트의 외주면에는 상기 단턱에 걸렸을 때 상기 인서트가 하우징의 하측으로 빠져나가지 못하도록 하는 걸림턱이 형성되어 있는 것이 바람직하다.In the test handler, a stepped jaw is provided on an inner circumferential surface of the central hole of the housing, and a locking step is formed on the outer circumferential surface of the insert so that the insert does not escape to the lower side of the housing when caught by the step.

상기 테스트용 핸들러에서, 상기 매개소켓은 상기 제1삽입공의 하단에 배치된 상태로 상기 하우징에 결합되되, 상기 매개소켓은 피검사 디바이스의 단자(50a)와 대응되는 위치에 배치되며 절연성 물질 내부에 다수의 도전성 입자가 분포된 형태로 구성된 다수의 도전부와, 상기 도전부를 각각 절연 및 지지하는 절연부로 구성된 이방 도전시트인 것이 바람직하다.In the test handler, the intermediate socket is coupled to the housing with the intermediate socket disposed at the bottom of the first insertion hole, wherein the intermediate socket is disposed at a position corresponding to the terminal 50a of the device under test and is insulated from the insulating material. It is preferable that it is an anisotropic conductive sheet which consists of many electroconductive part comprised in the form which the many electroconductive particle was distributed in, and the insulating part which insulates and supports each said electroconductive part, respectively.

상기 테스트용 핸들러에서, 상기 매개소켓은 상기 제1삽입공의 하단에 배치된 상태로 상기 하우징에 결합되되, 상기 매개소켓은 피검사 디바이스의 단자(50a)와 대응되는 위치에 배치되는 다수의 포고핀과, 상기 다수의 포고핀을 위치고정하는 포고하우징으로 이루어진 포고핀 소켓인 것이 바람직하다.In the test handler, the intermediate socket is coupled to the housing while being disposed at the lower end of the first insertion hole, and the intermediate socket is arranged in a position corresponding to the terminal 50a of the device under test. It is preferable that it is a pogo pin socket consisting of a pin and a pogo housing for fixing the plurality of pogo pins.

본 발명에 따른 테스트용 핸들러는, 안내면이 마련된 인서트를 하우징과는 별개로 구분하여 설치하였기 때문에, 인서트의 안내면이 마모되어도 그 교체에 드 는 비용이 적게 든다는 장점이 있다.The test handler according to the present invention has an advantage in that the insert provided with the guide surface is separately installed and separated from the housing, so that even if the insert's guide surface is worn, the cost of replacing the insert is low.

또한, 상기 인서트는 세라믹의 소재로 이루어져 있기 때문에, 빈번한 피검사 디바이스와의 접촉으로 인하여 안내면이 마모될 염려가 적을 뿐만 아니라, 고온에서 테스트가 이루어지는 경우에는 열변형이 적어 검사의 신뢰성이 높아진다는 장점이 있다.In addition, since the insert is made of a ceramic material, the contact surface is less likely to be worn due to frequent contact with the device to be inspected, and when the test is performed at a high temperature, the thermal deformation is small, so the reliability of the test is improved. There is this.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 도 4는 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 따른 테스트용 핸들러의 분리사시도이며, 도 5는 도 4의 결합도이며, 도 6은 도 5의 주요구성의 평면도이며, 도 7은 도 5의 테스트용 핸들러에 피검사 디바이스가 안착된 모습을 나타내는 도면이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Figure 4 is an exploded perspective view of the test handler according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 5 is a coupling diagram of Figure 4, Figure 6 is a plan view of the main configuration of Figure 5, Figure 7 is a test for Figure 5 The figure which shows that the device under test is seated in the handler.

본 발명에 따른 바람직한 실시예에 따른 테스트용 핸들러(10)는, 하우징(20), 인서트(30)로 구성된다. 이러한 테스트용 핸들러(10)는 검사장치(51)와 피검사 디바이스(50)를 서로 전기적으로 연결시키는 매개소켓(40)을 검사장치(51)에 고정결합하는 것으로서, 상기 피검사 디바이스(50)를 상기 매개소켓(40)으로 안내하여 위치고정하는 기능을 수행한다.The test handler 10 according to the preferred embodiment of the present invention includes a housing 20 and an insert 30. This test handler 10 is to fix the intermediate socket 40 for electrically connecting the inspection device 51 and the device under test 50 to each other, the test device 51, the device under test 50 Guide to the intermediate socket 40 performs a function of fixing the position.

상기 하우징(20)은 검사장치(51)에 고정결합되는 부분으로서, 엔지니어링 플라스틱(Ultem, Torlon, Peek) 으로 이루어지는 것이 바람직하나 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 합성수지 소재로 이루어질 수 있다.The housing 20 is a part fixedly coupled to the inspection device 51, but preferably made of engineering plastics (Ultem, Torlon, Peek), but is not limited thereto, and may be made of various synthetic resin materials.

이러한 하우징(20)은 전체적으로 사각단면을 가지는 직육면체의 형태로 이루 어지되, 그 중앙에는 사각단면을 가지면서 상면과 하면을 관통하는 중앙홀(21)이 형성되어 있다. 상기 중앙홀(21)의 주변에는 4개의 볼트구멍(22)이 형성되어 있으며, 각 모서리 부분에는 검사장치(51)와의 고정결합을 위한 고정구멍(23)이 형성되어 있다. 또한, 고정구멍(23)과 고정구멍(23) 사이에는 표면으로부터 상측 또는 하측으로 돌출되는 다수의 핀(24)이 돌출형성되어 있게 된다.The housing 20 is formed in the form of a rectangular parallelepiped having a rectangular cross section as a whole, the center hole 21 having a rectangular cross section and penetrating the upper and lower surfaces is formed. Four bolt holes 22 are formed in the periphery of the central hole 21, and fixing holes 23 for fixing and coupling with the inspection device 51 are formed at each corner. In addition, between the fixing hole 23 and the fixing hole 23, a plurality of pins 24 protruding upward or downward from the surface are formed to protrude.

상기 고정구멍(23)에는 소정의 볼트가 삽입되어 검사장치(51)에 고정결합될 수 있으며, 상기 핀은 검사장치(51)에 초기 위치를 고정하기 위한 위치정렬이 가능하게 한다. 상기 볼트구멍(22)에는 볼트머리를 가지는 볼트(60)가 나사결합될 수 있으며, 인서트(30)가 상기 하우징(20)의 중앙홀(21)에 안착된 상태에서 상기 볼트가 볼트구멍(22)에 나사결합됨에 따라 상기 인서트(30)가 상기 하우징(20)에 위치고정될 수 있다.A predetermined bolt may be inserted into the fixing hole 23 to be fixedly coupled to the inspection device 51, and the pin may be aligned to fix the initial position to the inspection device 51. A bolt 60 having a bolt head may be screwed into the bolt hole 22, and the bolt is mounted in the center hole 21 of the housing 20. The insert 30 may be fixed to the housing 20 as it is screwed into the housing.

한편, 상기 하우징(20)의 중앙홀(21) 내주면에는 내측으로 돌출된 단턱(21a)이 내주면을 따라서 배치되어 있으며, 상기 단턱(21a)은 후술하는 인서트(30)의 걸림턱(34)과 걸어맞춤 결합될 수 있다.On the other hand, in the inner circumferential surface of the central hole 21 of the housing 20, a stepped jaw 21a protruding inwardly is disposed along the inner circumferential surface, and the stepped jaw 21a is a locking jaw 34 of the insert 30 to be described later. Can be combined to engage.

상기 인서트(30)는, 전체적으로 상기 중앙홀(21)에 삽입될 수 있는 사각단면을 가지는 직육면체로 이루어지되, 그 중앙에는 피검사 디바이스(50)가 삽입될 수 있는 삽입공이 형성된다. 또한, 그 인서트(30)의 외주면에는 상기 하우징(20)의 단턱(21a)과 대응되는 위치에 걸림턱(34)이 형성되어 있게 된다.The insert 30 is made of a rectangular parallelepiped having a rectangular cross section which can be inserted into the central hole 21 as a whole, and an insertion hole into which the device under test 50 can be inserted is formed at the center thereof. In addition, the engaging jaw 34 is formed at a position corresponding to the stepped portion 21a of the housing 20 on the outer circumferential surface of the insert 30.

구체적으로 살펴보면, 상기 삽입공(31)은 제1삽입공(32)과 제2삽입공(33)으로 이루어진다. In detail, the insertion hole 31 includes a first insertion hole 32 and a second insertion hole 33.

상기 제1삽입공(32)은 삽입공(31)의 하측을 이루는 것으로서, 그 하단에 매개소켓(40)이 결합될 수 있다. 이러한 제1삽입공(32)은 피검사 디바이스(50)와 대응되는 크기를 가지는 것으로서, 전체적으로 사각단면의 형상을 이루고 있으나, 피검사 디바이스(50)를 운반하는 운반장치가 통과할 수 있도록 일방향으로 길게 연장된 장공이 각 면마다 형성되어 있게 된다.The first insertion hole 32 is to form a lower side of the insertion hole 31, the intermediate socket 40 may be coupled to the lower end. The first insertion hole 32 has a size corresponding to that of the device under test 50, and has a rectangular cross-sectional shape as a whole. However, the first insertion hole 32 has a size corresponding to the device under test 50. An elongated long hole is formed on each side.

상기 제2삽입공(33)은 삽입공(31)의 상측을 이루는 것으로서, 상기 제1삽입공(32)으로부터 상측으로 갈수록 그 단면적이 커지는 형상을 가지고 있다. 이러한 제2삽입공(33)의 내주면을 안내면(33a)이라고 하며, 구체적으로 상기 안내면(33a)은 경사지도록 형성된다. The second insertion hole 33 forms an upper side of the insertion hole 31, and has a shape in which its cross-sectional area becomes larger from the first insertion hole 32 toward the upper side. The inner circumferential surface of the second insertion hole 33 is called a guide surface 33a, and specifically, the guide surface 33a is formed to be inclined.

상기 걸림턱(34)은 상기 인서트(30)의 대략 상하높이에서 중앙부분에 형성되는 것으로서, 구체적으로는 상기 하우징(20)의 단턱(21a)과 대응되도록 형성되어 있다. 상기 걸림턱(34)은 상기 인서트(30)가 상기 단턱(21a)에 걸렸을 때 하우징(20)의 하측으로 인서트(30)가 빠져나가지 않는 구조로 이루어지게 된다. 한편, 상기 걸림턱(34)의 반대측 면에는 하우징(20)의 볼트구멍(22)에 의하여 나사결합되는 볼트의 볼트머리가 안착되는 안착면(35)이 형성되어 있게 된다. 이와 같이 걸림턱(34)이 단턱(21a)에 의하여 걸림으로서 상기 인서트(30)는 하우징(20)으로부터 하측으로 빠져나가는 것이 방지되고, 안착면(35)에 상기 볼트(60)의 볼트머리(61)가 접촉함으로써 상기 인서트(30)가 하우징(20)으로부터 상측으로 빠져나가는 것이 방지될 수 있다.The locking jaw 34 is formed at a central portion at approximately an upper and lower height of the insert 30, and is specifically formed to correspond to the stepped portion 21a of the housing 20. The latching jaw 34 has a structure in which the insert 30 does not escape to the lower side of the housing 20 when the insert 30 is caught by the step 21a. On the other hand, a seating surface 35 on which the bolt head of the bolt screwed by the bolt hole 22 of the housing 20 is seated on the opposite side of the locking step 34. In this way, the locking step 34 is prevented from being pulled downward from the housing 20 by the locking step 34a by the step 21a, and the bolt head of the bolt 60 is mounted on the seating surface 35. By contacting 61, the insert 30 can be prevented from escaping upward from the housing 20.

이러한 인서트(30)는 볼트(60)에 의하여 상기 하우징(20)에 착탈가능하게 결 합되며, 구체적으로는 볼트를 하우징(20)의 볼트구멍(22)으로부터 빼냄에 의하여 상기 인서트(30)가 하우징(20)으로부터 탈락될 수 있으며, 교체시에는 상기 인서트(30)를 상기 중앙홀(21)에 넣고 볼트(60)를 볼트구멍(22)에 넣음으로서 상기 인서트(30)가 하우징(20)에 고정될 수 있도록 한다.The insert 30 is detachably coupled to the housing 20 by bolts 60. Specifically, the insert 30 is removed by removing the bolt from the bolt hole 22 of the housing 20. The insert 30 may be removed from the housing 20, and the insert 30 may be inserted into the central hole 21 and the bolt 60 may be inserted into the bolt hole 22. To be secured to the

한편, 상기 인서트(30)는 상기 하우징(20)보다 고강도이면서 열변형이 되는 온도가 상기 하우징(20)보다 높은 소재로 이루어지는 것이 바람직하며, 구체적으로는 세라믹(알루미나(Al₂O₃), 지르코니아(ZrO₂), 질화규소(Si₃N₄))의 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.On the other hand, the insert 30 is made of a material having a higher strength than the housing 20 and the heat deformation is higher than the housing 20, specifically, ceramic (alumina (Al ₂ O ₃ ), zirconia (ZrO ₂ ) and silicon nitride (Si ₃ N ₄ )) are preferable.

한편, 상기 제1삽입공(32)의 하단에 배치되는 매개소켓(40)은 두께방향으로의 전기가 흐르는 것은 허용하면서 그 두께방향과 수직한 방향으로 전기가 흐르는 것은 억제하는 이방 도전시트로 구성된다. 구체적으로 상기 이방 도전시트는 피검사 디바이스(50)의 단자(50a)와 대응되는 위치에 배치되는 다수의 도전부(41)와, 상기 도전부(41)를 지지하면서 절연시키는 절연부(43)로 이루어진다.On the other hand, the intermediate socket 40 disposed at the lower end of the first insertion hole 32 is composed of an anisotropic conductive sheet that allows electricity to flow in the thickness direction while suppressing the flow of electricity in a direction perpendicular to the thickness direction. do. Specifically, the anisotropic conductive sheet includes a plurality of conductive portions 41 disposed at positions corresponding to the terminals 50a of the device under test 50, and an insulating portion 43 that insulates the conductive portions 41 while supporting the conductive portions 41. Is made of.

상기 각각의 도전부(41)는 실리콘 고무 내부에 다수의 도전성 입자(42)들이 조밀하게 분포된 상태를 유지하는 것으로서, 피검사 디바이스(50)가 상기 도전부(41)를 가압하는 경우에는 상기 각각의 도전성 입자(42)들이 서로 접촉하면서 전기적으로 접촉될 수 있는 상태를 만들게 된다.Each of the conductive parts 41 maintains a state in which a plurality of conductive particles 42 are densely distributed in the silicone rubber. When the device under test 50 presses the conductive parts 41, Each of the conductive particles 42 is in contact with each other to create a state that can be in electrical contact.

상기 절연부(43)는 각각의 도전부(41)들을 서로 절연 및 지지하는 것으로서, 실리콘 고무의 소재로 이루어진다.The insulating portion 43 insulates and supports the respective conductive portions 41 from each other, and is made of a silicon rubber material.

상술한 바와 같은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트용 핸들러(10)는 다음과 같이 작동한다.The test handler 10 according to the preferred embodiment of the present invention as described above operates as follows.

먼저, 하우징(20)의 중앙에 형성된 중앙홀(21)에 인서트(30)를 삽입한다. 이때 상기 인서트(30)의 외주면에 배치된 걸림턱(34)이 하우징(20)에 단턱(21a)에 걸려서 하측으로 빠져나가지 않도록 한다. 이후에, 하우징(20)의 볼트구멍(22)에 볼트를 나사결합시킨다. 이때 볼트(60)의 볼트머리(61)는 인서트(30)의 안착면(35)에 접촉할 수 있도록 하여, 상기 하우징(20)으로부터 상기 인서트(30)가 상측으로 빠져나가지 못하도록 한다.First, the insert 30 is inserted into the central hole 21 formed in the center of the housing 20. At this time, the locking jaw 34 disposed on the outer circumferential surface of the insert 30 is caught by the step 21a on the housing 20 so as not to escape downward. Thereafter, the bolts are screwed into the bolt holes 22 of the housing 20. At this time, the bolt head 61 of the bolt 60 is in contact with the seating surface 35 of the insert 30, so that the insert 30 from the housing 20 does not escape upward.

이후에, 소정의 운반장치로부터 이동해온 피검사 디바이스(50)를 상기 인서트(30)의 삽입공 내에 삽입시킨다. 구체적으로는 상기 인서트(30)를 이동 및 하강시키면서 상기 제2삽입공(33)을 따라 하측으로 이동하는데, 이때 주위의 안내면(33a)에 의하여 가이드되면서 상기 제1삽입공(32)을 향하여 하강한다. 제2삽입공(33)을 통하여 제1삽입공(32)으로 삽입되는 피검사 디바이스(50)는 그 각각의 단자(50a)가 상기 매개소켓(40)의 도전부(41)들과 접촉하도록 한다. 이후에, 상기 검사장치(51)로부터 소정을 신호를 피검사 디바이스(50)를 향하여 보냄으로서 소정의 검사동작이 수행된다.Thereafter, the device under test 50, which has been moved from the predetermined conveying device, is inserted into the insertion hole of the insert 30. Specifically, the insert 30 moves downward along the second insertion hole 33 while moving and descending, and is lowered toward the first insertion hole 32 while being guided by the guide surface 33a around the insert 30. do. The device under test 50 inserted into the first insertion hole 32 through the second insertion hole 33 has its respective terminal 50a in contact with the conductive portions 41 of the intermediate socket 40. do. Thereafter, a predetermined inspection operation is performed by sending a predetermined signal from the inspection apparatus 51 toward the device under inspection 50.

한편, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 피검사 디바이스가 빈번하게 접촉되는 안내면을 포함하는 인서트가 세라믹으로 이루어져 있어 보다 내구성이 높아지게 된다. 즉, 종래기술과 같이 엔지니어링 플라스틱으로 안내면이 구성되는 경우에는 빈번한 접촉으로 인하여 쉽게 그 안내면이 마모되어 교체가 필요로 하게 된다.On the other hand, in the preferred embodiment of the present invention, the insert including the guide surface to which the device under test is frequently contacted is made of ceramic, thereby increasing durability. That is, when the guide surface is composed of engineering plastic as in the prior art, the guide surface is easily worn due to frequent contact, and thus requires replacement.

또한, 본 발명의 실시예에서 인서트가 세라믹으로 이루어져 있기 때문에, 고온에서 검사를 수행하는 경우에도 안내면의 열변형이 적어 검사가 용이하게 될 수 있다는 장점이 있다.In addition, since the insert is made of a ceramic in the embodiment of the present invention, there is an advantage that even when the inspection is performed at a high temperature, the thermal deformation of the guide surface is small, so that the inspection can be facilitated.

또한, 본 발명의 실시예에서는 인서트가 하우징과는 별도로 분리형성되어 있으므로, 안내면이 마모 또는 손상되는 경우에도 하우징을 제외하고 그 인서트만을 교체하면 되기 때문에 전체적으로 교체비용이 절약될 수 있다는 장점이 있다.In addition, in the embodiment of the present invention, since the insert is formed separately from the housing, even if the guide surface is worn or damaged, only the insert except the housing needs to be replaced, thereby reducing the overall replacement cost.

즉, 종래기술에서는 안내면이 마모 또는 손상되었을 때 그 핸들러 전체를 교체해야 하는 경우가 있었으나, 본 실시예에서는 그러한 문제점이 해소될 수 있는 것이다.That is, in the prior art, when the guide surface is worn or damaged, the entire handler has to be replaced, but in this embodiment, such a problem can be solved.

한편, 본 실시예에서는 하우징은 엔지니어링 플라스틱의 소재로 이루어져 있기 때문에, 핸들러가 바닥에 떨어지거나 그 핸들러에 충격이 가해지는 경우에도 그 외부에 마련된 하우징이 충격을 흡수할 수 있어, 전체적으로 하우징이 파손되거나 그 내부에 마련된 인서트가 파손되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.On the other hand, in the present embodiment, since the housing is made of a material of engineering plastic, even when the handler falls to the floor or the shock is applied to the handler, the housing provided outside thereof can absorb the shock, and thus the housing is totally damaged or There is an advantage that can prevent the insert provided therein is broken.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 핸들러를 기술하였으나, 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.In the above, the handler according to the preferred embodiment of the present invention has been described, but may be modified as follows.

도 4에 도시된 상술한 실시예에서는 매개소켓으로 이방 도전성시트가 마련된 것을 설명하였으나, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 매개소켓이 포고핀 소켓으로 구성되는 것도 가능하다. 즉, 포고핀 소켓은 피검사 디바이스(50)의 단자(50a)와 대응되는 위치에 배치되는 다수의 포고핀(44)과, 상기 포고핀(44)을 위치고정할 수 있는 포고하우징(45)으로 이루어진다. 이때 포고핀(44)은 상단과 하단이 개구되어 있는 원통형상의 포고몸체(44a)와, 상기 포고몸체(44a)를 통해서 출몰하며 상단과 하단에 마련되는 한 쌍의 핀부재(44b)와, 상기 한 쌍의 핀부재(44b)를 서로 멀어지는 방향으로 탄성지지하며 상기 포고몸체의 내부에 마련되는 스프링(미도시)으로 구성된다. 상기 포고하우징(45)은 상기 각각의 포고핀(44)을 수용하면서 지지할 수 있는 관통공(45a)이 다수개가 마련되며, 상기 관통공(45a)에 각각의 포고핀(44)이 끼워져 삽입된다. 한편, 도 8 및 도 9에 도시된 실시예에서도 핸들러는 하우징과 인서트가 배치되는 데, 그 하우징과 인서트는 도 4 에서 설명한 구성과 동일한 기능 및 유사한 형태를 가지고 있으므로 구체적인 설명은 생략한다. In the above-described embodiment illustrated in FIG. 4, the anisotropic conductive sheet is provided as the intermediate socket. However, as illustrated in FIGS. 8 and 9, the intermediate socket may be configured as a pogo pin socket. That is, the pogo pin socket includes a plurality of pogo pins 44 disposed at positions corresponding to the terminals 50a of the device under test 50, and a pogo housing 45 capable of fixing the pogo pins 44. Is done. In this case, the pogo pin 44 is a cylindrical pogo body 44a having an upper end and an open end, a pair of pin members 44b provided on the upper end and the lower end while being protruded through the pogo body 44a, and A pair of pin members 44b are elastically supported in a direction away from each other, and is composed of a spring (not shown) provided inside the pogo body. The pogo housing 45 is provided with a plurality of through holes (45a) that can be supported while receiving the respective pogo pins 44, each pogo pin 44 is inserted into the through holes (45a) is inserted do. Meanwhile, in the embodiment shown in FIGS. 8 and 9, the handler is disposed with the housing and the insert, and the housing and the insert have the same function and similar form as the configuration described with reference to FIG. 4, and thus, a detailed description thereof will be omitted.

또한, 도 4에 언급된 실시예에서는 인서트는 세라믹 소재로 이루어지고, 하우징은 엔지니어링 플라스틱과 같은 합성수지소재로 이루어지는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 하우징이 전체적으로 세라믹 소재로 이루어지는 것도 가능하며, 기타 다른 다양한 소재로 이루어지도록 하는 것도 가능함은 물론이다. 즉, 인서트와 하우징이 동일한 소재로 이루어지는 것도 가능하며, 기타 다른 소재로 이루어지는 것도 무방하다.In addition, in the embodiment mentioned in FIG. 4, the insert is made of a ceramic material, and the housing has been described as being made of a synthetic resin material such as engineering plastic. However, the present invention is not limited thereto, and the housing may be made entirely of ceramic material. Of course, it is also possible to be made of a variety of materials. That is, the insert and the housing may be made of the same material, or may be made of other materials.

이상에서 바람직한 실시예를 들어 본 발명을 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다.Although the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

도 1은 로직 디바이스를 테스트하기 위한 종래의 일 실시예에 따른 핸들러의 구성을 나타내는 도면1 illustrates a configuration of a handler according to one conventional embodiment for testing a logic device.

도 2는 도 1의 주요구성의 평면도2 is a plan view of the main configuration of FIG.

도 3은 도 1의 결합도3 is a coupling diagram of FIG.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트용 핸들러의 분리단면도4 is an exploded cross-sectional view of a test handler according to a preferred embodiment of the present invention.

도 5는 도 4의 결합도5 is a coupling diagram of FIG.

도 6은 도 5의 주요구성의 평면도6 is a plan view of the main configuration of FIG.

도 7은 도 5의 테스트용 핸들러에 피검사 디바이스가 안착된 모습을 나타내는 도면FIG. 7 is a view illustrating a device to be inspected seated on a test handler of FIG. 5; FIG.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트용 핸들러의 분리단면도.8 is an exploded cross-sectional view of a test handler according to another embodiment of the present invention.

도 9는 도 8의 결합도9 is a coupling diagram of FIG. 8

<도면부호의 상세한 설명><Detailed Description of Drawings>

10...핸들러 20...하우징10 ... handler 20 ... housing

21...중앙홀 21a...단턱21.Center Hall 21a ...

22...볼트구멍 23...고정구멍22 Bolt Bolt 23 Fixing Hole

24...핀 30...인서트24 ... pin 30 ... insert

31...삽입공 32...제1삽입공31 Insertion hole 32 Insertion hole 1

33...제2삽입공 33a...안내면33 2nd insert hole 33a ...

34...걸림턱 35...안착면34.Jump 35 ... Sitting Surface

40...매개소켓 41...도전부40 ... Socket 41 ... Conductive

42...도전성 입자 43...절연부42 conductive particles 43 insulation

44...포고핀 44a...포고몸체44 ... Pogo Pin 44a ... Pogo Body

44b...핀부재 45...포고하우징44b ... pin member 45 ... pogo housing

45a...관통공 50...피검사 디바이스45a ... through-through 50 ... device under test

51...검사장치 60...볼트51 Inspection device 60 ... Bolt

Claims

A test handler for fixedly coupling an intermediary socket for electrically connecting an inspection apparatus and a device under test to the inspection device and for guiding the device under test to the intermediate socket,

A periphery is fixedly coupled to the inspection device and an insertion hole is formed in the center into which the device under test can be inserted.

The insertion hole,

A first insertion hole having a size corresponding to the device under test and on which the device under test is seated;

In the test handler comprising a second insertion hole extending from the first insertion hole to the upper side and gradually increasing in cross-sectional area and having a guide surface provided on an inner circumferential surface thereof for guiding the device under test to be seated in the first insertion hole.

The handler is

A housing fixedly coupled to the inspection device and having a central hole formed in the center thereof;

It can be fixed and coupled to the central hole of the housing and consists of an insert in which the first insertion hole and the second insertion hole is formed,

The insert is detachably coupled to the housing,

The insert is a test handler, characterized in that made of a higher strength than the housing and the temperature at which the thermal deformation is higher than the housing.

delete

The method of claim 1,

The insert is a test handler, characterized in that made of a ceramic material composed of any one of alumina (Al ₂ O ₃ ), zirconia (ZrO ₂ ), silicon nitride (Si ₃ N ₄ ).

5. The method of claim 4,

The housing is a test handler, characterized in that made of a synthetic resin material.

The method of claim 1,

The insert and the housing is a test handler, characterized in that made of a ceramic material consisting of any one of alumina (Al ₂ O ₃ ), zirconia (ZrO ₂ ), silicon nitride (Si ₃ N ₄ ).

The method of claim 1,

The housing has a bolt hole extending in the vertical direction around the central hole, and the bolt head of the bolt inserted into the bolt hole is in contact with the upper end of the insert to prevent the insert from escaping from the housing. Test handler.

The method of claim 7, wherein

A stepped jaw is provided on an inner circumferential surface of the center hole of the housing, and a locking jaw is formed on an outer circumferential surface of the insert to prevent the insert from escaping to the lower side of the housing when the step is caught.

The method of claim 1,

The intermediate socket is coupled to the housing while being disposed at the lower end of the first insertion hole, and the intermediate socket is disposed at a position corresponding to the terminal of the device under test, and a plurality of conductive particles are distributed in the insulating material. The test handler, characterized in that the anisotropic conductive sheet consisting of a plurality of conductive portions and the insulating portion for insulating and supporting the conductive portion, respectively.

The method of claim 1,

The intermediate socket is coupled to the housing while being disposed at the lower end of the first insertion hole, and the intermediate socket includes a plurality of pogo pins disposed at positions corresponding to terminals of the device under test, and the plurality of pogo pins. A test handler, characterized in that the pogo pin socket made of a pogo housing for positioning.