KR101074167B1 - 프로브 조립체 - Google Patents

Abstract

본 발명은 프로브 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 미세피치인 패드에도 효과적으로 검사할 수 있는 프로브 조립체에 관한 것이다.

본 발명에 의한 프로브 조립체는기판에 형성된 전극에 복수의 프로브가 본딩된 프로브 조립체에 있어서, 상기 전극의 폭은 상기 프로브 두께의 2배 이상되고, 상기 전극의 길이는 상기 프로브의 베이스 길이보다 1.1배 이상인 것을 특징으로 한다.

프로브. 조립체. 기판. 미세피치.

Description

프로브 조립체{PROBE ASSEMBLY}

본 발명은 프로브 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 미세피치인 패드에도 효과적으로 검사할 수 있는 프로브 조립체에 관한 것이다.

본 발명은 전자 소자 테스트 장치에 사용되는 프로브 조립체에 관한 것이다.

프로브 조립체(100)는 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 기판(세라믹, 유기 또는 웨이퍼 등)(120) 및 상기 기판(120) 상에 배열된 프로브(110)들을 포함하는 장치이다.

상기 프로브 조립체(100)는 미세 전자 장치(예를 들면, 반도체장치)의 전기적 특성을 측정하기 위해 사용된다. 알려진 것처럼, 반도체 장치는 외부 전자 장치와의 상호 신호 전달을 위해 그 표면에 형성되는 패드들을 구비한다. 즉, 반도체 장치는 상기 패드들을 통해 전기적 신호를 입력받아 소정의 동작을 수행한 후, 처리한 결과를 다시 패드들을 통해 외부 전자 장치로 전달한다. 이때, 상기 프로브 조립체는 상기 반도체 장치와 상기 외부 전자 장치(예를 들면, 테스터) 사이의 전기적 경로를 형성함으로써, 상기 반도체 장치에 대한 전기적 테스트를 가능하게 한다. 미설명부호인 112는 상기 패드에 접촉하는 팁부이다.

한편, 반도체 장치가 고집적화됨에 따라 상기 반도체 장치의 패드들은 미세화될 뿐만 아니라 이들 사이의 간격(pitch) 역시 좁아지고 있다. 이에 따라, 상기 프로브 조립체 역시 반도체 장치의 고집적화에 대응하여 미세하게 제작돼야 하지만, 이러한 미세화의 요구는 상기 프로브 조립체를 제작하는 과정을 어렵게 만든다. 특히, 기판(120)에 형성된 전극(121)에, 상기 반도체 장치의 패드들에 접촉하는 프로브(110)들의 베이스부(111)를 레이저에 의해 본딩시키는 결합 공정은 반도체 장치가 고집적화됨에 따라 다양한 기술적 어려움에 직면하고 있으며, 기판에 형성된 전극 또한 공간적 제한을 받고 있다.

도 1a 및 도 1b는 피검사체에 형성된 패드가 2열일 경우, 이를 검사하기 위한 프로브 조립체를 도시한 것이다. 도 2는 패드가 1열일 경우를 도시한 것이다.

어느 경우이든, 기판에 형성된 전극(121,221)을 형성하는 최소 필요면적이 요구되기 때문에 미세화요구에 더욱 대응하기가 어렵게 된다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 미세피치인 패드에도 효과적으로 검사할 수 있는 프로브 조립체를 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 프로브 조립체는기판에 형성된 전극에 복수의 프로브가 본딩된 프로브 조립체에 있어서, 상기 전극의 폭은 상기 프로브 두께의 2배 이상되고, 상기 전극의 길이는 상기 프로브의 베이스 길이보다 1.1배 이상인 것을 특징으로 한다.

또한 빔부의 길이가 각각 상이하고, 상기 기판에 순차적으로 빔부의 길이가 길어지도록 배치되며, 각각 형성되는 팁부는 동일선상에 위치되는 제1조립체를 구비한다.

또한 상기 기판에는 상기 제1조립체와 대칭되는 제2조립체가 구비되는 것이 바람직하다.

또한 상기 제1조립체의 팁부들의 연장선과, 제2조립체의 팁부들의 연장선은 평행인 것이 바람직하다.

또한 상기 기판에는 상기 제1조립체와 대칭되되, 상기 제1조립체의 팁부들의 연장선과 중첩되는 팁부들의 연장선을 갖는 제3조립체를 구비하는 것이 바람직하다.

또한 상기 팁부들의 연장선상에서 제1조립체와 제3조립체의 팁부가 교번하도록 지그재그로 배치되는 것이 바람직하다.

또한 상기 기판에는 상기 제1조립체가 동일방향으로 2세트 이상 반복 배치되는 것이 바람직하다.

또한 서로 이웃하여 배치되는 복수의 프로브로 구성되는 제1조립체; 및 상기 제1조립체와 대칭되도록 배치되는 제2조립체;를 포함하며, 상기 제1조립체와 제2조립체의 각 팁부의 연장선은 서로 중첩된다.

또한 상기 팁부들의 연장선상에서 제1조립체와 제2조립체의 팁부가 교번하도록 지그재그로 배치되는 것이 바람직하다.

또한 상기 제1조립체를 구성하는 프로브는 동일한 크기와 형태를 갖는 것이 바람직하다.

또한 상기 제1조립체는 동일한 형태를 갖지만 서로 다른 크기를 갖는 제1프로브와 제2프로브가 교번하여 배치되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 패드가 미세피치인 경우에도 효과적으로 검사할 수 있는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예를 설명한다.

도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 제1실시예(300)는 프로브 두께에 따른 기판위 전극의 형태는 프로부의 베이스와의 최대 결합력을 고려해야 한다.

프로브와 전극의 결합력은 최소 10N이상 확보가 필요하며, 이때의 전극의 폭(t2)은 상기 프로브 두께(t1)의 2배 이상되고(t2≥t1), 상기 전극의 길이(L2)는 상기 프로브의 베이스 길이(L1)보다 1.1배 이상인 것(L2≥L1)을 특징으로 한다. 이러한 경우 기판의 전극과 연속된 근접 전극과의 간격 확보가 어렵다. 따라서, 프로브가 연속적으로 기립하여 본딩이 필요한 공간은 지그재그로 배치하도록 하고, 전극의 위치 및 프로브의 팁부 위치를 고려하여 빔부의 길이를 서로 다르게 구성하는 방법이 바람직하다.

또한 서로 다른 프로브는 빔부의 길이 및 폭과 빔을 연결하는 포스트부의 사다리꼴 모양의 각도만 다를뿐 다른 모든 형태는 동일한 것이 바람직하다.

또한 빔부의 길이가 각각 상이한 복수의 프로브(320a~320n)가 기판(310)에 배치되되, 빔부의 길이가 점차 길어지도록 순차적으로 배치된 제1조립체를 포함한다. 상기 제1조립체를 이루는 복수의 프로브(320a~320n)에 각각 형성되는 팁부(321a~321n)는 동일선(l)상에 위치한다는 것을 알 수 있다.

여기서 프로브의 갯수는 피검사체에 형성된 패드와 대응되는 갯수로 구비된다.

도 4에 도시된 제2실시예(400)는 도 3에 도시된 제1실시예(300)와 상하 대칭인 것을 알 수 있다. 즉, 제1조립체와 상하 대칭인 제2조립체를 더 구비하는 것이다. 본 실시예에서 제1조립체의 팁부들의 연장선(l₁)과, 제2조립체의 팁부들의 연장선(l₂)은 평행선인 것을 알 수 있다.

도 5에 도시된 제3실시예(500)는 기판(510)상에 제1조립체와 전후 대칭되되, 상기 제1조립체의 팁부(521a~521n)들의 연장선과 중첩되는 팁부들의 연장선을 갖는 제3조립체를 구비한다는 것을 알 수 있다. 다시 말하면, 팁부들의 연장선(l)상에서 제1조립체와 제3조립체의 팁부가 교번하도록 지그재그로 배치되는 것이다.

도 6에 도시된 제4실시예(600)는 서로 이웃하여 배치되는 복수의 프로브(620a,620c)로 구성되는 제1조립체; 및 상기 제1조립체와 대칭되도록 배치되는 제2조립체(620b,620d);를 포함하며, 상기 제1조립체와 제2조립체의 각 팁부(621a~621d)의 연장선은 서로 중첩된다. 즉, 상기 팁부(621a~621d)들의 연장선상에서 제1조립체와 제2조립체의 팁부가 교번하도록 지그재그로 배치되는 것이다.

또한 상기 제1조립체 및 제2조립체를 구성하는 프로브는 동일한 크기와 형태를 갖는 것을 알 수 있다.

도 7에 도시된 제5실시예(700)는 서로 이웃하여 배치되는 복수의 프로브로 구성되는 제1조립체(720a,720b); 및 상기 제1조립체와 전후 대칭되도록 배치되는 제2조립체;를 포함하며, 상기 제1조립체와 제2조립체의 각 팁부의 연장선은 서로 평행하다.

특히, 상기 제1조립체 및 제2조립체는 동일한 형태를 갖지만 서로 다른 크기를 갖는 제1프로브(720a)와 제2프로브(720b)가 교번하여 배치되는 것이 바람직하다.

도 1a 및 도 1b는 종래 프로브 조립체를 나타낸 것이다.

도 2는 종래 다른 프로브 조립체를 나타낸 것이다.

도 3 내지 도 7은 본 발명에 따른 프로브 조립체의 다양한 실시예를 나타낸 것이다.

Claims (12)

1. 기판에 형성된 전극에 복수의 프로브로 구성되는 제1조립체가 본딩된 프로브 조립체에 있어서,

   상기 프로브는 빔부의 길이가 각각 상이하고, 상기 기판에 순차적으로 빔부의 길이가 길어지도록 배치되며, 각각 형성되는 팁부는 동일선상에 위치되되, 상기 전극의 폭은 상기 프로브 폭의 2배 이상되는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
2. 제1항에 있어서,

   상기 전극의 길이는 상기 프로브의 베이스 길이보다 1.1배 이상인 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,

   상기 기판에는 상기 제1조립체와 대칭되는 제2조립체가 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
5. 제4항에 있어서,

   상기 제1조립체의 팁부들의 연장선과, 제2조립체의 팁부들의 연장선은 평행인 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
6. 제1항에 있어서,

   상기 기판에는 상기 제1조립체와 대칭되되, 상기 제1조립체의 팁부들의 연장선과 중첩되는 팁부들의 연장선을 갖는 제3조립체를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
7. 제6항에 있어서,

   상기 팁부들의 연장선상에서 제1조립체와 제3조립체의 팁부가 교번하도록 지그재그로 배치되는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
8. 제1항에 있어서,

   상기 기판에는 상기 제1조립체가 동일방향으로 2세트 이상 반복 배치되는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
9. 제1항에 있어서,

   상기 제1조립체는 서로 이웃하여 배치되는 복수의 프로브로 구성되고,

   상기 제1조립체와 대칭되도록 배치되는 제2조립체;를 포함하며,

   상기 제1조립체와 제2조립체의 각 팁부의 연장선은 서로 중첩되는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
10. 제9항에 있어서,

    상기 팁부들의 연장선상에서 제1조립체와 제2조립체의 팁부가 교번하도록 지그재그로 배치되는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
11. 제9항에 있어서,

    상기 제1조립체를 구성하는 프로브는 동일한 크기와 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
12. 제9항에 있어서,

    상기 제1조립체는 동일한 형태를 갖지만 서로 다른 크기를 갖는 제1프로브와 제2프로브가 교번하여 배치되는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.

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