KR101068247B1 - Apparatus For Removing The Burr On the Edge of Rod Ending Part - Google Patents

Apparatus For Removing The Burr On the Edge of Rod Ending Part Download PDF

Info

Publication number
KR101068247B1
KR101068247B1 KR1020090004766A KR20090004766A KR101068247B1 KR 101068247 B1 KR101068247 B1 KR 101068247B1 KR 1020090004766 A KR1020090004766 A KR 1020090004766A KR 20090004766 A KR20090004766 A KR 20090004766A KR 101068247 B1 KR101068247 B1 KR 101068247B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
rod
hole
base
unit
vibration
Prior art date
Application number
KR1020090004766A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20100085471A (en
Inventor
김학준
Original Assignee
주식회사 새한텅스텐
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 새한텅스텐 filed Critical 주식회사 새한텅스텐
Priority to KR1020090004766A priority Critical patent/KR101068247B1/en
Publication of KR20100085471A publication Critical patent/KR20100085471A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101068247B1 publication Critical patent/KR101068247B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B9/00Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
    • B24B9/005Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor for mass articles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
    • B24B1/04Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes subjecting the grinding or polishing tools, the abrading or polishing medium or work to vibration, e.g. grinding with ultrasonic frequency
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B9/00Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
    • B24B9/02Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground
    • B24B9/04Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of metal, e.g. skate blades

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 베이스(110)와, 상기 베이스(110)의 상부로 이격되어 구비되며 진동발생부(130)의 작동에 의하여 진동하는 진동부(120)와, 상기 베이스(110)와 진동부(120) 사이에 구비되어 진동부(120)에 진동을 발생시키는 진동발생부(130)와, 상기 진동부(120)에 구비되어 로드 단부의 모서리의 버어를 제거하는 하나 이상의 연마부(140)를 포함하며, 상기 연마부(140)에는 연마되는 로드(20)가 위치하는 하나 이상의 통공(144)이 하향으로 경사지게 형성되며, 상기 통공(144)의 하단으로부터 하부로 이격되며 상기 로드(20)의 단부가 접촉하게 되는 연마재(147)가 구비되는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치(100)에 관한 것으로; 로드(20)를 파지하지 않고 단부 모서리의 버어(21)를 제거할 수 있어 파지를 위한 장치가 필요하지 않아 구조가 간단하고 지름이 수 미크론 정도인 아주 가는 로드(20)의 가공도 가능하며, 파지에 의하여 로드(20)의 진직도 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있으며, 1회에 다수의 로드(20)를 동시에 가공할 수 있으므로 생산성이 대폭 향상되는 효과가 있다.The present invention is provided with a base 110, the vibration unit 120 spaced apart from the upper portion of the base 110 and vibrating by the operation of the vibration generating unit 130, the base 110 and the vibration unit 120 ) Is provided between the vibration generating unit 130 to generate a vibration in the vibration unit 120, and at least one polishing unit 140 provided in the vibration unit 120 to remove the burrs of the edge of the rod end The at least one through hole 144 in which the rod 20 to be polished is disposed is inclined downward, is spaced downward from the bottom of the through hole 144, and is disposed at the end of the rod 20. To the edge burr removal device 100 of the rod end provided with the abrasive 147 to be in contact with; The burr 21 at the end edge can be removed without gripping the rod 20, so a device for gripping is not necessary, so that the structure of the rod 20 having a simple structure and a diameter of several microns can be processed. The straightness of the rod 20 can be prevented from being degraded by the gripping, and since the rod 20 can be processed simultaneously at one time, productivity is greatly improved.

로드, 버어, 제거 Load, burr, remove

Description

로드 단부의 모서리 버어 제거장치{Apparatus For Removing The Burr On the Edge of Rod Ending Part}Apparatus For Removing The Burr On the Edge of Rod Ending Part}

본 발명은 로드 단부의 모서리 버어 제거장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 로드를 파지하지 않아 로드의 진직도에 영향을 주지 않고, 로드의 측면에 손상이 발생하지 않으며, 다수의 로드의 단부에 잔존하는 버어를 제거할 수 있는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for removing the edge burrs of the rod end, more specifically, does not grip the rod does not affect the straightness of the rod, does not cause damage to the side of the rod, remaining at the ends of the plurality of rods It relates to an edge burr removal device at the end of the rod that can remove the burr.

도 1은 로드 원재(10)의 일부를 도시한 것이며, 도 2는 도 1에 도시한 로드 원재(10)를 필요 길이로 절단한 로드(20)를 도시한 것이며, 도 3은 도 2에 도시한 로드(20)의 양단 모서리(25)를 연마한 로드(20)를 도시한 것이다. FIG. 1 shows a part of the rod raw material 10, FIG. 2 shows a rod 20 cut into the required length of the rod raw material 10 shown in FIG. 1, and FIG. 3 is shown in FIG. The rod 20 which polishes the edge 25 of one rod 20 is shown.

도 2 및 도 3에 도시한 로드(20)는 일반적으로 단면이 원형이며, 사용 목적에 따라서 다양한 재질로 형성된다. 반도체 검사 장비의 탐침용 프로브(Probe)의 경우에는 텅스텐 재질로 이루어진 로드(20)를 사용한다.The rod 20 shown in Figs. 2 and 3 is generally circular in cross section, and is formed of various materials depending on the purpose of use. In the case of a probe for probes of semiconductor inspection equipment, a rod 20 made of a tungsten material is used.

도 1에 도시한 로드 원재(10)를 필요 길이의 로드(20)로 절단하는 경우, 금형을 사용하여 전단력을 가하여 절단할 수가 있으며, 회전하는 절단 휠을 사용하여 절단할 수도 있다. 도 1에 도시한 로드 원재(10)를 필요 길이의 로드(20)로 절단 하면 절단부인 로드(20)의 단부에는 도 2에 확대하여 도시한 바와 같이 버어(21, Burr)가 형성되므로, 절단 후에 상기 버어(21)를 제거하는 공정이 필요하게 된다. 상기 버어(21)는 도 2에 도시한 로드(20)를 파지하여 연마 지석 등에 접촉시켜 제거할 수 있으나, 로드 원재(10)의 지름(D1)이 수 또는 수십 미크론(㎛)으로 가는 경우에는 파지하기가 용이하지 않을뿐더러, 파지에 의하여 변형이 발생하여 진직도 품질이 저하되므로 버어(21)의 제거 과정 중에 불량이 발생할 염려가 있으며, 일일이 파지하여 버어(21)를 제거하므로 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.When cutting the rod raw material 10 shown in FIG. 1 with the rod 20 of a required length, it can cut | disconnect by applying a shearing force using a metal mold | die, and can also cut | disconnect using a rotating cutting wheel. When the rod raw material 10 shown in FIG. 1 is cut into the rod 20 of a required length, since the burr 21 is formed in the end of the rod 20 which is a cutting part as shown in FIG. Thereafter, a process of removing the burr 21 is required. The burr 21 may be removed by holding the rod 20 shown in FIG. 2 and contacting the abrasive grindstone or the like. However, when the diameter D1 of the rod raw material 10 goes to several or several tens of microns, the burr 21 may be removed. Not only is it easy to grip, but also deforms due to the gripping, the quality of the straightness is lowered, so there is a risk that a defect may occur during the removal process of the burr 21, and the productivity is lowered by removing the burr 21 by gripping one by one. There was a problem.

본 발명은 종래의 연마 장치가 가지고 있는 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 로드를 파지하지 않고 단부 모서리의 버어를 제거하므로 버어 제거 후에도 로드의 진직도 품질이 유지되며 1회에 다수의 로드를 가공할 수 있으므로 생산성이 대폭 향상되는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치를 제공하는데 목적이 있다.The present invention has been proposed to solve the problems of the conventional polishing apparatus, and since the burrs at the end edges are removed without gripping the rods, the straightness of the rods is maintained even after the burrs are removed, and a plurality of rods are processed at one time. It is an object of the present invention to provide an edge burr removing device at the rod end, which can greatly improve productivity.

본 발명은 위와 같은 목적을 달성하기 위해 베이스와, 상기 베이스의 상부로 이격되어 구비되며 진동발생부의 작동에 의하여 진동하는 진동부와, 상기 베이스와 진동부 사이에 구비되어 진동부에 진동을 발생시키는 진동발생부와, 상기 진동부에 구비되어 로드 단부의 모서리를 연마하는 하나 이상의 연마부를 포함하며; 상기 연마부에는 연마되는 로드가 위치하는 하나 이상의 통공이 하향으로 경사지게 형성되며, 상기 통공의 하단으로부터 하부로 이격되며 상기 로드의 단부가 접촉하게 되는 연마재가 구비되는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치를 제공한다.The present invention is provided between the base and the upper portion of the base spaced apart to vibrate by vibrating by the operation of the vibration generating portion, and the base and the vibrating portion is provided to generate vibration in the vibrating portion to achieve the above object A vibration generating portion and at least one polishing portion provided at the vibration portion to polish the edge of the rod end portion; At least one through hole in which the rod to be polished is disposed is inclined downward, and the polishing part is provided with an edge burr removing device at the end of the rod, the abrasive being spaced downward from the bottom of the through hole and having an end portion of the rod contacted thereto. do.

또한, 본 발명은 상기 연마부는 진동부에 고정 설치되는 하부부재와, 상기 하부부재의 상부로 착탈 가능하게 구비되는 덮개부재와, 상기 하부부재에 설치되는 설치부재와, 상기 설치부재에 설치되는 판상의 연마재를 포함하며; 상기 통공은 하부부재와 덮개부재 사이에 형성되며, 상기 설치부재는 덮개부재의 반대편으로 하부부재에 고정 설치되는 판상의 고정부와 상기 고정부에 대하여 절곡되며 하부부재에서 덮개부재를 향하는 방향으로 연장된 판상의 설치부로 이루어지고, 상기 설치부가 통공의 하단으로부터 하부로 이격하여 위치하며, 상기 연마재는 설치부의 상부에 설치되며 통공의 하단으로부터 하부로 이격되어 위치하는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치를 제공한다.In addition, the present invention, the polishing unit is a lower member fixed to the vibrating unit, a cover member detachably provided to the upper portion of the lower member, the installation member is installed on the lower member, the plate-shaped is installed on the installation member An abrasive of; The through-hole is formed between the lower member and the cover member, the installation member is bent to the plate-like fixing portion and the fixing portion which is fixed to the lower member on the opposite side of the cover member and extends in the direction from the lower member toward the cover member Comprising a plate-shaped mounting portion, wherein the installation portion is spaced apart from the bottom of the through hole, the abrasive is installed in the upper portion of the rod provides a corner burr removing device of the rod end spaced from the bottom of the through hole do.

또한, 본 발명은 수직 방향에 대한 상기 통공의 축방향의 경사 각도는 48∼52°범위이며, 상기 통공의 축방향에 대한 연마재의 경사 각도는 120°인 로드 단부의 모서리 버어 제거장치를 제공한다.The present invention also provides an edge burr removal device at the rod end in which the inclination angle of the through hole in the vertical direction is in the range of 48 to 52 °, and the inclination angle of the abrasive in the axis direction of the through hole is 120 °. .

또한, 본 발명은 상기 진동발생부는 상기 진동부의 하부로 구비되는 마그네트와, 상기 마그네트의 하단과 틈새를 형성하며 상기 베이스의 상부로 구비되는 코일과, 일측은 상기 진동부로 연결되고 타측은 상기 베이스에 연결되어 상기 진동부가 베이스의 상부로 이격되도록 지지하는 판상인 복수의 지지부재를 포함하며; 상기 지지부재는 경사지게 설치되는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치를 제공한다.In addition, the vibration generating unit is a magnet provided to the lower portion of the vibrating portion, the lower end of the magnet and the coil formed in the upper portion of the base, and one side is connected to the vibration portion and the other side to the base A plurality of support members connected to each other so as to support the vibrating portion spaced apart from the upper portion of the base; The support member provides an edge burr removal device of the rod end is installed inclined.

또한, 본 발명은 상기 연마부에 형성된 통공의 상부에는 상부로부터 통공으로 공기를 공급하는 공급관이 연결되는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치를 제공 한다.In addition, the present invention provides an edge burr removal device of the rod end to which the supply pipe for supplying air from the top to the top of the through hole formed in the polishing portion is connected.

또한, 본 발명은 상기 지지부재들의 일측은 베이스의 원주 방향을 따라 상기 베이스에 연결되고, 타측은 진동부의 원주 방향을 따라 상기 진동부에 연결되는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치를 제공한다.In addition, the present invention provides one side of the support member is connected to the base in the circumferential direction of the base, the other side provides a burr edge removal device of the end of the rod connected to the vibrating portion in the circumferential direction of the vibrating portion.

본 발명에 따르는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치(100)는 로드(20)를 파지하지 않고 단부의 모서리의 버어(21)를 제거할 수 있으며, 따라서 파지를 위한 장치가 필요하지 않아 구조가 간단하며, 지름이 수 또는 수십 미크론 정도인 아주 가는 로드(20)의 가공도 가능하며, 파지에 의하여 로드(20)의 진직도 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있으며, 1회에 다수의 로드(20)를 함께 가공할 수 있으므로 생산성이 대폭 향상되는 효과가 있다.The edge burr removal device 100 of the rod end according to the present invention can remove the burr 21 of the edge of the end without gripping the rod 20, and thus the structure is simple because no device for gripping is required. It is also possible to machine very thin rods 20 of several or tens of microns in diameter, and to prevent the quality of the straightness of the rods 20 from being deteriorated by grasping, and a plurality of rods 20 at a time. Since it can be processed together, the productivity is greatly improved.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 로드 단부의 모서리 버어 제거장치를 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 이하의 설명에서 본 발명에 따르는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치가 중력의 작용 방향에 수직인 평지에 위치하였다는 가정 하에 설명하며, 중력의 작용 방향을 "수직 방향"이라 하며, 통공의 길이 방향을 "통공의 축방향"이라 한다.Hereinafter, an edge burr removing apparatus at the rod end according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, the edge burr removing device at the end of the rod according to the present invention is described on the assumption that it is located on a flat plane perpendicular to the direction of action of gravity. Referred to as "axial direction of through hole".

도 4는 본 발명에 따르는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치를 개략적으로 도시한 것이며, 도 5는 도 4의 A부를 확대 도시한 사시도이며, 도 6은 도 4의 A부를 확대 도시한 개략적인 측면도이며, 도 7은 본 발명 로드 단부의 모서리 버어 제 거장치에 구비되는 설치부재를 도시한 사시도이며, 도 8은 도 4의 A-A선에 따르는 개략적인 단면도이며, 도 9는 본 발명에 구비되는 지지부재의 설치 구조를 설명하기 위하여 도시한 개략적인 투영 평면도이며, 도 10은 도 5의 A부를 확대 도시한 것으로 통공에 로드가 투입된 상태를 도시한 것이다.Figure 4 is a schematic illustration of the edge burr removal device of the rod end according to the present invention, Figure 5 is a perspective view showing an enlarged portion A of Figure 4, Figure 6 is a schematic side view showing an enlarged portion A of Figure 4 7 is a perspective view showing the installation member provided in the edge burr removing device of the rod end of the present invention, Figure 8 is a schematic cross-sectional view taken along line AA of Figure 4, Figure 9 is a support member provided in the present invention FIG. 10 is a schematic projection plan view illustrating the installation structure of FIG. 10, and FIG. 10 is an enlarged view of a portion A of FIG.

도 4에 도시한 바와 같이 본 발명에 따르는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치(100)는 베이스(110)와, 상기 베이스(110)의 상부로 이격되어 구비되는 진동부(120)와, 상기 베이스(110)와 진동부(120) 사이에 구비되는 진동발생부(130)와, 상기 진동부(120)에 구비되는 하나 이상의 연마부(140)로 이루어진다. 상기 연마부(140)는 복수로 구비할 수 있다.As shown in FIG. 4, the edge burr removing apparatus 100 of the rod end according to the present invention includes a base 110, a vibrator 120 spaced apart from an upper portion of the base 110, and the base ( The vibration generating unit 130 provided between the 110 and the vibration unit 120 and one or more polishing units 140 provided in the vibration unit 120. The polishing unit 140 may be provided in plurality.

도 4에 도시한 바와 같이 상기 베이스(110)는 지지체로서 진동발생부(130)에 발생하는 진동에 의한 흔들림이 최소화되도록 하기 위하여 중량을 크게 하며, 설치시 지면 등에 위치하므로 하부로 고무와 같은 탄성 재질로 이루어지는 하나 이상의 방진부재(111)를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 베이스(110)는 주철 등으로 제조할 수 있다.As shown in FIG. 4, the base 110 has a large weight in order to minimize the shaking caused by the vibration generated in the vibration generating unit 130 as a support, and is placed on the ground during installation, and thus has a lower elasticity such as rubber. It is preferable to have at least one dustproof member 111 made of a material. The base 110 may be made of cast iron.

도 4에 도시한 바와 같이 상기 진동부(120)는 상기 베이스(110)의 상부로 이격되어 구비되며, 하나 이상의 연마부(140)를 구비한다. 상기 진동부(120)에는 진동발생부(130)에 의하여 발생한 진동에 의하여 어느 일측으로 흔들림이 편향되는 것을 방지하고 각 연마부(140)에 규칙적이고 일정한 진동이 발생하도록 하기 위하여 상기 연마부(140)는 진동발생부(130)에 대하여 대칭적인 구조를 가지도록 설치하는 것이 바람직하며, 상기 진동부(120)는 전체적인 형상이 원판 형상으로 형성되 도록 하는 것이 바람직하다. 상기 진동부(120)를 원판 형상으로 형성하고, 연마부(140)를 설치하기 위한 빔등을 진동부(120)에 설치하는 것도 가능하다. 그러나 상기 진동부(120)의 형상을 원판 형상으로 한정하는 것은 아니다. 상기 베이스(110)와 진동부(120) 사이에는 상하로 간격이 형성된다.As shown in FIG. 4, the vibrator 120 is spaced apart from the upper portion of the base 110 and includes one or more polishing units 140. In the vibrating unit 120, the polishing unit 140 in order to prevent the shake is deflected to any one side by the vibration generated by the vibration generating unit 130 and to generate a regular and constant vibration to each polishing unit 140. ) Is preferably installed to have a symmetrical structure with respect to the vibration generating unit 130, the vibration unit 120 is preferably such that the overall shape is formed in a disk shape. The vibrator 120 may be formed in a disc shape, and a beam or the like for installing the polishing unit 140 may be installed in the vibrator 120. However, the shape of the vibration unit 120 is not limited to the disk shape. An interval is vertically formed between the base 110 and the vibrator 120.

도 4에 도시한 바와 같이 상기 진동발생부(130)는 상기 진동부(120)의 하부로 구비되는 마그네트(131)와, 상기 마그네트(131)의 하단과 틈새를 형성하며 상기 베이스(110)의 상부로 구비되는 코일(133)과, 일측은 상기 진동부(120)로 연결되고 타측은 상기 베이스(110)에 연결되어 상기 진동부(120)가 베이스(110)의 상부로 이격되도록 지지하는 판상인 복수의 지지부재(135)로 이루어진다. 한편, 상기 진동발생부(130)는 상기 진동부(120)의 하부로 코일을 구비하고, 상기 코일의 하단과 틈새를 형성하며 상기 베이스(110)의 상부로 마그네트를 구비하는 것도 가능하다. 상기 코일(133)에 전기 신호가 인가되면 코일에 자기력 변화가 발생하고, 변화하는 자기력에 의해 코일과 마그네트가 상호 반발/흡인하면서 진동이 발생하게 된다.As shown in FIG. 4, the vibration generating unit 130 has a magnet 131 provided below the vibration unit 120, and forms a gap with a lower end of the magnet 131. Coil 133 is provided as an upper portion, and one side is connected to the vibration unit 120 and the other side is connected to the base 110 to support the vibration unit 120 to be spaced apart from the top of the base 110 It consists of a plurality of support members 135. On the other hand, the vibration generating unit 130 may be provided with a coil under the vibration unit 120, forming a gap with the lower end of the coil, and may have a magnet on the upper portion of the base 110. When an electrical signal is applied to the coil 133, a change in magnetic force occurs in the coil, and the vibration is generated while the coil and the magnet repulse / suck each other by the changing magnetic force.

한편, 상기 베이스(110)에 모터를 설치하고 모터의 회전축에 편심 캠을 설치하고, 상기 진동부(120)의 하부로 상기 편심 캠과 접촉하여 회전하는 롤러를 설치함으로써, 그리고 상기 베이스(110)와 진동부(120)를 연결하는 복수의 지지부재(135)를 구비함으로써 진동발생부(130)를 구성하는 것도 가능하다.On the other hand, by installing a motor in the base 110 and the eccentric cam on the rotation axis of the motor, by installing a roller that rotates in contact with the eccentric cam to the lower portion of the vibration unit 120, and the base 110 It is also possible to configure the vibration generating unit 130 by having a plurality of support members 135 for connecting the and the vibration unit 120.

도 4 및 도 9에 도시한 바와 같이 상기 지지부재(135)들의 일측은 베이스(110)에 원주 방향을 따라 연결되고, 타측은 진동부(120)에 원주 방향을 따라 연결하며, 원주 방향을 따라 경사지게 설치한다. 상기 지지부재(135)들은 진동 부(120)가 원판 형상, 사각판, 삼각판 등으로 형성되는 경우 진동부(120)의 중심축에 대하여 점대칭 구조를 이루도록 설치하는 것이 바람직하다. 도 9에서 도면부호 120a는 진동부(120)의 가상 중심축을 도시한 것이다.4 and 9, one side of the support members 135 is connected to the base 110 along the circumferential direction, and the other side thereof is connected to the vibrator 120 along the circumferential direction, and along the circumferential direction. Install inclined. The support members 135 may be installed to form a point symmetrical structure with respect to the central axis of the vibrator 120 when the vibrator 120 is formed in a disc shape, a square plate, a triangular plate, or the like. In FIG. 9, reference numeral 120a illustrates a virtual central axis of the vibrator 120.

상기 연마부(140)에는 수직 방향에 대하여 경사지게 형성되는 하나 이상의 통공(144)이 형성되며, 상기 통공(144)의 하단으로부터 하부 이격되어 연마재(147)가 구비된다. 상기 통공(144)은 직접 진동부(120)에 형성하는 것도 가능하다. 도 4에 도시한 바와 같이 상기 연마부(140)는 진동부(120)에 설치되는 구조로 하는 것도 가능하다. 상기 연마부(140)는 도 4 내지 도 6에 도시한 바와 같이 진동부(120)에 고정 설치되는 하부부재(141)와, 상기 하부부재(141)의 상부로 착탈 가능하게 구비되는 덮개부재(143)와, 상기 하부부재(141)에 설치되는 설치부재(145)와, 상기 설치부재(145)에 설치되는 판상의 연마재(147)를 포함한다. 상기 연마재(147)로 샌드페이퍼를 사용하는 것도 가능하다. 상기 설치부재(145)는 도 4 내지 도 7에 도시한 바와 같이, 덮개부재(143)의 반대편으로 하부부재(141)의 하부에 고정 설치되는 판상의 고정부(145a)와 상기 고정부(145a)에 대하여 절곡되며 하부부재(141)에서 덮개부재(143)를 향하는 방향으로 연장된 판상의 설치부(145b)로 이루어지고, 상기 설치부(145b)가 통공(144)의 하단으로부터 하부로 이격하여 위치하며, 상기 연마재(147)는 설치부(145b)의 상부에 설치되며 통공(144)의 하단으로부터 하부로 이격되어 위치한다. 도 4 및 도 5에서 도면부호 151은 상기 연마재(147)를 설치부(145b)의 상부에 고정하는 고정 수단인 클립을 도시한 것이며, 상기 연마재(147)는 접착제 등을 사용하여 설치부(145b)의 상부에 고정하는 것도 가능하다. 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이 상기 고정부(145a)에 하나 이상의 나사공(145c)을 형성하고 고정나사(146)로 하부부재(141)의 하부에 고정할 수 있다.  The polishing unit 140 has one or more through holes 144 formed to be inclined with respect to the vertical direction, and is disposed below the lower end of the through holes 144 to be provided with the abrasive 147. The through hole 144 may be formed directly on the vibrator 120. As shown in FIG. 4, the polishing unit 140 may have a structure installed in the vibrator 120. As shown in FIGS. 4 to 6, the polishing unit 140 includes a lower member 141 fixed to the vibrator 120 and a cover member detachably provided to an upper portion of the lower member 141. 143, an installation member 145 installed on the lower member 141, and a plate-shaped abrasive 147 installed on the installation member 145. It is also possible to use sandpaper as the abrasive 147. 4 to 7, the plate-shaped fixing part 145a and the fixing part 145a which are fixed to the lower part of the lower member 141 on the opposite side of the cover member 143, as shown in FIGS. 4 to 7. ) Is formed of a plate-shaped mounting portion 145b extending in a direction from the lower member 141 toward the cover member 143, and the mounting portion 145b is spaced downward from the lower end of the through hole 144. The abrasive 147 is installed on the upper portion of the installation portion 145b and is spaced apart from the lower end of the through hole 144. 4 and 5, reference numeral 151 shows a clip that is a fixing means for fixing the abrasive 147 to the upper portion of the mounting portion 145b, the abrasive 147 is the mounting portion 145b using an adhesive or the like. It is also possible to fix it on the top. As shown in FIGS. 6 and 7, one or more screw holes 145c may be formed in the fixing part 145a and may be fixed to the lower part of the lower member 141 with the fixing screw 146.

도 4, 도 5, 도 6 및 도 8에 도시한 바와 같이 상기 하부부재(141)에는 저면이 곡률로 형성된 오목한 제1 오목홈(141a)이 하나 이상 형성되며, 상기 덮개부재(143)는 돌출 형성된 하나 이상의 돌출부(142)를 구비한다. 상기 돌출부(142)에는 저면이 곡률로 형성된 오목한 제2 오목홈(143a)이 형성된다. 상기 하부부재(141)의 상부로 덮개부재(143)가 설치될 때, 상기 돌출부(142)는 제1 오목홈(141a)으로 삽입되며, 상기 제2 오목홈(143a)은 제1 오목홈(141a)에 대향하게 된다. 상기 통공(144)은 하부부재(141)와 덮개부재(143) 사이에서 상기 제1 오목홈(141a)과 제2 오목홈(143a)에 의하여 형성된다.4, 5, 6 and 8, the lower member 141 is formed with at least one concave first concave groove 141a having a curvature at its bottom, and the cover member 143 protrudes. It has one or more protrusions 142 formed. The protrusion 142 is formed with a concave second concave groove 143a having a bottom surface curvature. When the cover member 143 is installed above the lower member 141, the protrusion 142 is inserted into the first concave groove 141a, and the second concave groove 143a is a first concave groove ( 141a). The through hole 144 is formed by the first concave groove 141a and the second concave groove 143a between the lower member 141 and the cover member 143.

본 발명에 따르는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치(100)가 중력의 작용 방향에 수직한 평면상에 위치할 때, 도 6에 도시한 바와 같이 상기 통공(144)의 축방향의 경사 각도(θ1)는 중력의 작용 방향에 대하여 48∼52°의 범위로, 바람직하게는 50°를 이루도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 통공(144)의 축방향에 대한 연마재(147)의 설치 경사 각도(θ2)는 120°를 이루도록 하는 것이 바람직하다. 도 6에서 상기 통공(144)의 하단과 연마재(147) 사이에 형성되는 틈새(t1)는 0.5㎜로 할 수 있다.When the edge burr removing device 100 of the rod end according to the present invention is located on a plane perpendicular to the direction of action of gravity, as shown in FIG. 6, the axial inclination angle θ1 of the through hole 144 is shown. Is in the range of 48 to 52 ° with respect to the direction of action of gravity, preferably 50 °. The inclination angle θ2 of the abrasive 147 with respect to the axial direction of the through hole 144 may be 120 °. In FIG. 6, the gap t1 formed between the lower end of the through hole 144 and the abrasive 147 may be 0.5 mm.

도 4에서 도면부호 113은 베이스(110)에 구비되어 지지부재(135)의 일측이 베이스(110)로 설치되는 제1 설치부를, 123은 진동부(120)에 구비되어 지지부재(135)의 타측이 진동부(120)로 설치되는 제2 설치부를, 125는 상기 진동부(120) 에 돌출 형성되어 연마부(140)가 설치되는 제3 설치부를, 127은 상기 제3 설치부(125)에 연마부(140)를 고정 설치하는 나사를, 134는 상기 지지부재(135)를 설치하기 위한 나사를 도시한 것이다. 그리고 도 5에서 도면부호 149는 하부부재(141)에 덮개부재(143)가 고정 설치되도록 하는 나사를 도시한 것이다. In FIG. 4, reference numeral 113 is provided in the base 110 so that one side of the supporting member 135 is installed as the base 110, and 123 is provided in the vibrating part 120 of the supporting member 135. The second mounting portion, the other side is installed as the vibrating portion 120, 125 is a third mounting portion protruding to the vibrating portion 120, the grinding portion 140 is installed, 127 is the third mounting portion 125 The screw for fixing the polishing unit 140 to the fixed, and 134 shows a screw for installing the support member 135. In FIG. 5, reference numeral 149 illustrates a screw for fixing the cover member 143 to the lower member 141.

본 발명에 따르는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치(100)는 상기 통공(144)의 상부로 공기를 공급하는 공급관(148)이 연결된다. 연마재(147) 위에서 로드(20)가 회전하면서 진동함에 따라서 로드 단부의 모서리의 버어(21)가 연마재(147)와 접촉하면서 제거되며, 제거되는 과정에서 이미 로드 단부로부터 제거된 로드(20)의 입자들이 다시 로드(20)와 접촉하여 로드(20)의 측면(23)에 홈이 발생하거나 하는 문제점이 발생한다. 본 발명 로드 단부의 모서리 버어 제거장치(100)는 상기 공급관(148)이 통공(144)으로 연결되고, 상기 연마재(147)는 통공(144)의 하단으로부터 하부로 이격되어 위치하므로 틈새(t1)가 형성되어, 공급관(148)을 통하여 공급된 공기는 틈새(t1)를 통하여 하부로 배출되면서 로드(20) 단부로부터 제거된 로드(20)의 입자들도 함께 배출시킨다. 따라서 로드(20)의 입자들에 의하여 로드(20)가 손상되는 것을 방지할 수 있게 된다. 도 4에서 화살표는 공극관(148)을 통하여 공기가 공급되는 것을 도시한 것이다.Edge burr removing device 100 of the rod end according to the present invention is connected to the supply pipe 148 for supplying air to the upper portion of the through hole (144). As the rod 20 vibrates over the abrasive 147, the burr 21 at the edge of the rod end is removed while contacting the abrasive 147, and in the process of removal, the rod 20 of the rod 20 already removed from the rod end is removed. The particles come into contact with the rod 20 again, causing a problem that a groove occurs in the side surface 23 of the rod 20. Edge burr removing device 100 of the rod end of the present invention, the supply pipe 148 is connected to the through hole 144, the abrasive 147 is spaced apart from the lower end of the through hole 144 to the gap (t1) Is formed, the air supplied through the supply pipe 148 is discharged downward through the gap (t1) and also discharges the particles of the rod 20 removed from the rod 20 end. Therefore, it is possible to prevent the rod 20 from being damaged by the particles of the rod 20. The arrow in FIG. 4 shows that air is supplied through the air gap tube 148.

본 발명에 따르는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치(100)로 로드 단부의 모서리를 연마하여 버어(21)를 제거하는 과정에 대하여 설명한다.The process of removing the burr 21 by grinding the edge of the rod end by the edge burr removing apparatus 100 of the rod end according to the present invention will be described.

도 5 및 도 10에 도시한 바와 같이, 로드 단부의 모서리 버어 제거장치(100)에 형성된 하나 이상의 통공(144)에 각 통공(144)마다 버어(21)를 제거하려는 복수 의 로드(20)를 투입한다. 상기에서 각 통공(144)에는 통공(144)의 단면적을 가득 채우도록 로드(20)를 투입하지 않고, 로드(20)가 통공(144) 내에서 회전하면서 진동하도록 여유있게 투입하는 것이 바람직하며, 통공(144) 단면적의 40%보다 작은 면적을 차지하도록 로드(20)를 투입하는 것이 바람직하다. 각 통공(144)에 복수의 로드(20)를 투입한 후 상기 코일(133)을 전원에 연결하면 코일(133)과 마그네트(131)가 상호 반발/흡인하면서 지지부재(135)에 연결된 진동부(120)에 진동이 발생하게 된다. 이때 통공(144)에 투입된 로드(20)는 연마재(147) 위에서 회전하면서 상하 방향으로 진동하여 도 3에 도시한 바와 같이 로드(20)의 단부 모서리의 버어(21)가 제거된다. 본 발명자는 텅스텐으로 이루어진 로드(20)에 대하여 연마 실험을 하였는바, 상기에서 중력 작용 방향에 대하여 통공(144)의 축방향의 경사 각도(θ1)가 48°보다 작거나, 52°보다 큰 경우에는 로드(20)의 단부 모서리의 버어(21)가 제거되지 않거나 버어(21)의 제거에 장시간 소요되는 문제점을 확인하였다. 상기에서 경사 각도(θ1)를 50°로 형성하는 경우 가공이 가장 원활하게 이루어졌다. 상기에서 통공(144)의 축방향에 대한 연마재(147)의 설치 각도(θ2)는 90°보다 크게 형성하여야 하며 120°로 하는 것이 가장 바람직하였다. 그리고 상기 제거 과정에서 공급관(148)을 통하여 도 4에 화살표로 도시한 바와 같이 통공(144)의 상부로부터 공기를 공급함으로써 버어 제거 과정에서 로드(20)로부터 이탈한 입자들을 통공(144)의 하단과 연마재(147) 사이에 형성된 틈새로 배출하여 로드(20)가 로드(20)로부터 이탈한 입자들에 의하여 손상되는 것을 방지할 수 있다. 5 and 10, a plurality of rods 20 to remove the burr 21 for each of the through holes 144 in one or more through holes 144 formed in the edge burr removing device 100 at the end of the rod. Input. In the above-described through holes 144, the rods 20 are preferably inserted to allow the rods 20 to vibrate while rotating in the through holes 144 without filling the rod 20 to fill the cross-sectional area of the through holes 144, It is preferable to inject the rod 20 so as to occupy an area smaller than 40% of the cross-sectional area of the through hole 144. After inserting the plurality of rods 20 into each through hole 144 and connecting the coil 133 to a power source, the coil 133 and the magnet 131 are repulsed / suctioned together and are connected to the support member 135. Vibration is generated at 120. At this time, the rod 20 introduced into the through hole 144 vibrates in the vertical direction while rotating on the abrasive 147 to remove the burr 21 at the end edge of the rod 20 as shown in FIG. 3. The inventors have performed polishing experiments on the rod 20 made of tungsten, and in the case where the inclination angle θ1 in the axial direction of the through hole 144 is less than 48 ° or greater than 52 ° with respect to the direction of gravity action, It was confirmed that the problem that the burr 21 at the end edge of the rod 20 is not removed or takes a long time to remove the burr 21. In the case where the inclination angle θ1 is formed at 50 °, the processing is most smoothly performed. In the above, the installation angle θ2 of the abrasive 147 with respect to the axial direction of the through hole 144 should be greater than 90 ° and most preferably 120 °. In addition, as shown by an arrow in FIG. 4 through the supply pipe 148 in the removal process, by supplying air from the upper portion of the through hole 144, the particles separated from the rod 20 in the burr removal process, the lower end of the through hole 144 And the rod 20 may be discharged to a gap formed between the abrasive and the abrasive 147 to prevent the rod 20 from being damaged by the particles separated from the rod 20.

도 1은 단면이 원형인 로드 원재를 도시한 것이다.1 shows a rod raw material having a circular cross section.

도 2는 도 1에 도시한 로드 원재를 필요한 길이로 절단한 로드를 도시한 것이다.FIG. 2 shows a rod obtained by cutting the rod raw material shown in FIG. 1 into a required length.

도 3은 도 2에 도시한 로드에서 단부 모서리의 버어를 제거한 상태를 도시한 것이다.FIG. 3 illustrates a state in which the burr at the end edge is removed from the rod shown in FIG. 2.

도 4는 본 발명에 따르는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치를 개략적으로 도시한 것이다.Figure 4 schematically shows the edge burr removal device of the rod end according to the present invention.

도 5는 도 4의 A부를 확대 도시한 개략적인 사시도이다.FIG. 5 is a schematic perspective view of an enlarged portion A of FIG. 4.

도 6은 도 4의 A부를 확대 도시한 개략적인 측면도이다.FIG. 6 is a schematic side view illustrating the enlarged portion A of FIG. 4.

도 7은 본 발명 로드 단부의 모서리 버어 제거장치에 구비되는 설치부재를 도시한 사시도이다.Figure 7 is a perspective view showing the installation member provided in the edge burr removing device of the rod end of the present invention.

도 8은 도 4의 A-A선에 따르는 단면도이다.8 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 9는 본 발명에 구비되는 지지부재의 설치 구조를 설명하기 위한 개략적인 투영 평면도이다.9 is a schematic projection plan view for explaining the installation structure of the support member provided in the present invention.

도 10은 도 5의 A부를 확대한 것으로 통공에 복수의 로드가 투입된 상태를 개략적으로 도시한 것이다.FIG. 10 is an enlarged view of a portion A of FIG. 5 and schematically illustrates a state in which a plurality of rods are inserted into a through hole.

Claims (6)

베이스(110)와, 상기 베이스(110)의 상부로 이격되어 구비되며 진동발생부(130)의 작동에 의하여 진동하는 진동부(120)와, 상기 베이스(110)와 진동부(120) 사이에 구비되어 진동부(120)에 진동을 발생시키는 진동발생부(130)와, 상기 진동부(120)에 구비되어 로드 단부의 모서리를 연마하는 하나 이상의 연마부(140)를 포함하며; 상기 연마부(140)에는 연마되는 로드(20)가 위치하는 하나 이상의 통공(144)이 하향으로 경사지게 형성되며, 상기 통공(144)의 하단으로부터 하부로 이격되며 상기 로드(20)의 단부가 접촉하게 되는 연마재(147)가 구비되는 것을 특징으로 하는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치(100).Between the base 110 and the vibration unit 120 is provided spaced to the upper portion of the base 110 and vibrating by the operation of the vibration generating unit 130, and between the base 110 and the vibration unit 120 A vibration generating unit 130 provided to generate vibration in the vibration unit 120 and one or more polishing units 140 provided in the vibration unit 120 to polish the edges of the rod ends; The at least one through hole 144 in which the rod 20 to be polished is formed is inclined downward in the polishing unit 140, is spaced downward from the bottom of the through hole 144, and the end of the rod 20 is contacted. Edge burr removal device 100 of the rod end, characterized in that the abrasive 147 is provided. 제1 항에 있어서, 상기 연마부(140)는 진동부(120)에 고정 설치되는 하부부재(141)와, 상기 하부부재(141)의 상부로 착탈 가능하게 구비되는 덮개부재(143)와, 상기 하부부재(141)에 설치되는 설치부재(145)와, 상기 설치부재(145)에 설치되는 판상의 연마재(147)를 포함하며; 상기 통공(144)은 하부부재(141)와 덮개부재(143) 사이에 형성되며, 상기 설치부재(145)는 덮개부재(143)의 반대편으로 하부부재(141)에 고정 설치되는 판상의 고정부(145a)와 상기 고정부(145a)에 대하여 절곡되며 하부부재(141)에서 덮개부재(143)를 향하는 방향으로 연장된 판상의 설치부(145b)로 이루어지고, 상기 설치부(145b)가 통공(144)의 하단으로부터 하부로 이격하여 위치하며, 상기 연마재(147)는 설치부(145b)의 상부에 설치되며 통공(144)의 하단으로부터 하부로 이격되어 위치하는 것을 특징으로 하는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치(100).The method of claim 1, wherein the polishing unit 140 is a lower member 141 is fixed to the vibrating unit 120, the cover member 143 is detachably provided to the upper portion of the lower member 141, An installation member 145 installed on the lower member 141 and a plate-shaped abrasive 147 installed on the installation member 145; The through-hole 144 is formed between the lower member 141 and the cover member 143, the installation member 145 is a plate-shaped fixing portion fixed to the lower member 141 on the opposite side of the cover member 143 145a and the fixing portion 145a and bent to form a plate-shaped mounting portion 145b extending from the lower member 141 toward the cover member 143, the mounting portion 145b is a through hole The edge of the rod end, characterized in that spaced apart from the bottom of the bottom 144, the abrasive 147 is installed on the upper portion of the mounting portion 145b and spaced apart from the bottom of the through hole 144 to the bottom Burr removing device (100). 제1 항 또는 제2 항에 있어서, 수직 방향에 대한 상기 통공(144)의 축방향의 경사 각도(θ1)는 48∼52°범위이며, 상기 통공(144)의 축방향에 대한 연마재(147)의 경사 각도는 120°인 것을 특징으로 하는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치(100).The axially inclined angle θ1 of the through hole 144 with respect to the vertical direction is in the range of 48 to 52 degrees, and the abrasive 147 with respect to the axial direction of the through hole 144. The angle of inclination of the rod burr removal device 100, characterized in that the rod end of 120 °. 제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 진동발생부(130)는 상기 진동부(120)의 하부로 구비되는 마그네트(131)와, 상기 마그네트(131)의 하단과 틈새를 형성하며 상기 베이스(110)의 상부로 구비되는 코일(133)과, 일측은 상기 진동부(120)로 연결되고 타측은 상기 베이스(110)에 연결되어 상기 진동부(120)가 베이스(110)의 상부로 이격되도록 지지하는 판상인 복수의 지지부재(135)를 포함하며; 상기 지지부재(135)는 경사지게 설치되는 것을 특징으로 하는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치(100).According to claim 1 or claim 2, wherein the vibration generating unit 130 is a magnet 131 provided to the lower portion of the vibration unit 120, and forming a gap with the lower end of the magnet 131, the base ( The coil 133 provided as an upper portion of the 110 and one side is connected to the vibration unit 120 and the other side is connected to the base 110 so that the vibration unit 120 is spaced apart from the upper portion of the base 110. A plurality of support members 135 which are plate-like to support; The support member 135 is an edge burr removal device (100) of the rod end, characterized in that the inclined installation. 제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 연마부(140)에 형성된 통공(144)의 상부에는 통공(144)으로 공기를 공급하는 공급관(148)이 연결되는 것을 특징으로 하는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치(100).The edge burr of the rod end of claim 1 or 2, wherein a supply pipe 148 for supplying air to the through hole 144 is connected to an upper portion of the through hole 144 formed in the polishing unit 140. Removal device 100. 제4 항에 있어서, 상기 지지부재(135) 들의 일측은 베이스(110)의 원주 방향을 따라 상기 베이스(110)에 연결되고, 타측은 진동부(120)의 원주 방향을 따라 상기 진동부(120)에 연결되는 것을 특징으로 하는 로드 단부의 모서리 버어 제거장치(100).According to claim 4, One side of the support member 135 is connected to the base 110 in the circumferential direction of the base 110, the other side is the vibrating portion 120 along the circumferential direction of the vibrator 120 Edge burr removal device 100 of the rod end, characterized in that it is connected to).
KR1020090004766A 2009-01-20 2009-01-20 Apparatus For Removing The Burr On the Edge of Rod Ending Part KR101068247B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090004766A KR101068247B1 (en) 2009-01-20 2009-01-20 Apparatus For Removing The Burr On the Edge of Rod Ending Part

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090004766A KR101068247B1 (en) 2009-01-20 2009-01-20 Apparatus For Removing The Burr On the Edge of Rod Ending Part

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100085471A KR20100085471A (en) 2010-07-29
KR101068247B1 true KR101068247B1 (en) 2011-09-28

Family

ID=42644378

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090004766A KR101068247B1 (en) 2009-01-20 2009-01-20 Apparatus For Removing The Burr On the Edge of Rod Ending Part

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101068247B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101884887B1 (en) * 2016-06-08 2018-08-02 나무의숨결 주식회사 Fixing apparatus for cutting for wood tile
CN110586906B (en) * 2019-10-10 2024-04-19 福州六和汽车零部件有限公司 High-frequency vibration burr removing equipment and working method

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10544A (en) 1996-06-12 1998-01-06 Nkk Corp Burr removal device of lengthy material end part
JPH10296598A (en) 1997-04-28 1998-11-10 Nippon Electric Glass Co Ltd Chamfering method
JP2008023629A (en) 2006-07-19 2008-02-07 Sumitomo Electric Ind Ltd Polishing device and polishing method using the same
KR20080006394U (en) * 2007-06-15 2008-12-18 포미주식회사 Polishing machine for optical connector ferrules

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10544A (en) 1996-06-12 1998-01-06 Nkk Corp Burr removal device of lengthy material end part
JPH10296598A (en) 1997-04-28 1998-11-10 Nippon Electric Glass Co Ltd Chamfering method
JP2008023629A (en) 2006-07-19 2008-02-07 Sumitomo Electric Ind Ltd Polishing device and polishing method using the same
KR20080006394U (en) * 2007-06-15 2008-12-18 포미주식회사 Polishing machine for optical connector ferrules

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100085471A (en) 2010-07-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100350657B1 (en) Method and device for cutting a multiplicity of disks off a hard brittle workpiece
KR101068247B1 (en) Apparatus For Removing The Burr On the Edge of Rod Ending Part
KR20130100710A (en) Processing method of device wafer with bump
CN103831676A (en) Window cleaning kit for wire bonding apparatus, wire bonding apparatus including the same and cleaning method of capillary using the same
CN107971895B (en) Grinding device
JPH11277397A (en) Wire saw processing method
KR20190007867A (en) Abrasive apparatus
KR101341899B1 (en) Ingot tilting device having vibration install
KR20120114700A (en) Apparatus and method for grinding edge of glass panel
JPH10138116A (en) Plate deburring method and device therefor
JP2013184256A (en) Polishing surface plate, and lapping device
KR20090070483A (en) Ingot fixing unit and apparatus for slicing ingot having the same
KR101567662B1 (en) Apparatus for cleaning a wafer block
KR20080073970A (en) Polishing table provided with supersonic device
KR20160128115A (en) Wire saw apparatus
CN100476951C (en) System and method for edge radius hard disk drive head sliders
KR20090034468A (en) Wafer cleaning device and method of cleaning the same
JP2004351605A (en) Ultrasonic vibrating table
JP6012334B2 (en) Ultrasonic grinding wheel
KR101204363B1 (en) Cmp pad conditioner
KR200464094Y1 (en) Cleaner for conveyor belt
KR102124118B1 (en) Scribing Holder Unit
JPH10277918A (en) Magnetic beam machining method and carriage member for hard disc drive machined by this method
KR102135067B1 (en) Abrasive apparatus and method for manufacturing abrasive article
JPH1163963A (en) Ultrasonic wave probe holder

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140917

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150828

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180910

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190910

Year of fee payment: 9