KR101065864B1 - 고순도 감광성 약품용 포장백 - Google Patents

고순도 감광성 약품용 포장백 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 고순도 감광성 약품용 포장백은 필름 주위가 열봉합되고 하나의 포트가 부착된 형상을 가지는 플라스틱 백이 금속 캔에 삽입 장착된 형태의 포장시스템에 있어서, 상기 필름은 다층구조를 가지는 필름(Ⅰ)으로서 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A) 95∼99.5중량% 및 상기 수지(A)보다 적어도 0.015g/cm3 이상의 밀도를 가지는, 좋게는 0.015 내지 0.105 정도 높은 밀도를 가지는 중고밀도 폴리에틸렌계 수지(B) 0.5∼5중량%를 포함하는 폴리에틸렌계 수지혼합물로 제조되는 내층; 접착성 폴리올레핀계 수지(D) 또는 폴리우레탄계 접착제(E)를 포함하는 중간층; 및 기체차단성 수지(C)를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

고순도 감광성 약품용 포장백{Packaging Bag for High Pure Photosensitive Chemical Agents}
본 발명은 필름 주위가 열봉합되고 하나의 포트가 부착된 형상을 가지는 플라스틱 백이 금속 캔에 삽입 장착된 형태의 포장시스템(또는 백 인 캔 포장시스템)에 있어서, 플라스틱 백이 포토레지스트, 컬러레지스트 등과 같은 고순도 감광성 약품을 담기에 적합한 우수한 초청정성, 약품차단성, 유연성을 가질 뿐만 아니라 백 제조 공정시 우수한 포트 삽입성 및 포트를 통한 약품 충진시 원활한 주입성을 가지는 고순도 감광성 약품용 포장백에 관한 것이다.
또한, 금속 캔에 대한 백 삽입장착성이 획기적으로 개선된 고순도 감광성 약품용 포장백에 관한 것이다.
최근 반도체산업, 액정디스플레이(LCD)산업이 급신장함에 따라 이에 따른 포토레지스트, 컬러레지스트 등과 같은 고순도 감광성 약품용 포장용기 수요도 급증 하고 있다. 이러한 용기는 차광성, 초청정성, 약품차단성이 요청되며 또한 생산성 향상을 위해 용기의 대형화가 시급하다.
주로 반도체산업에 널리 쓰이는 포토레지스트는 빛의 특정 파장에 민감하게 반응하여 물성이 바뀌기 쉬우며, 노광 공정에 쓰이는 물질로서 통상 수지, 감응제, 용매로 구성되고 주로 LCD산업에 널리 쓰이는 컬러레지스트는 R(Red),G(Green),B(Blue) 화소 형성시 사용되는 안료가 분산된 감광성 액체로서 통상 안료, 수지, 광개시제, 용매로 구성되며 상기 포토레지스트, 컬러레지스트 등과 같은 감광성 약품은 최종 사용하기전 포장, 이동, 보관중에는 빛에 노출되면 그 성능을 잃게 되므로 차광성이 필수적으로 필요하다.
통상 반도체산업, LCD산업에서의 용기의 청정성은 고순도 약품의 보관중 용기에 의해 약품이 오염되지 않는 정도를 평가하는 것인데, 주로 미립자수 및 잔류 금속 함량 두가지로 평가되고 있다. 즉 용기에 가령 고순도 약품을 대신하는 초순수를 일정기간 저장한 후, 저장되어 있는 물 1㎖중에 입경 0.2㎛ 또는 0.3㎛ 이상인 미립자가 몇 개 존재하는가를 산정하는 미립자수와, 고순도 약품을 일정 기간 저장한 후 저장되어 있는 약품에 의해 침출되는 잔류 금속함량으로부터 구한다. 고순도 약품의 종류, 저장기간 등에 따라 그 요구수준이 다르나 최근 고순도 감광성 약품용 용기 경우 미립자수는 10개/㎖ 이하, 잔류금속함량은 10ppb이하까지의 초청정성을 엄격히 요청하고 있다.
또한 고순도 감광성 약품은 상기 언급한대로 감광성 성분 등이 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트(PGMEA) 등과 같은 용매에 용해된 일종의 조성물인데 장기 보관시 용매가 용기 외부로 확산 배출되면 약품 조성이 바뀌어 품질이 손상되는 심각한 문제가 발생되므로 용기에 있어 차광성 및 초청정성뿐 아니라 약품차단성이 필수적으로 요구되고 있다. 약품차단성은 약품을 용기에 담아 밀봉한 뒤 일정 온습도, 일정 기간 보관한 후 중량손실율을 측정하는 소위 약품손실율(%)로 구하는데, 가령 23℃, 100%RH 조건하에서 6개월간 보관한 후 0.05% 이하의 약품손실율이 요청되고 있다.
이러한 고순도 감광성 약품용 용기로서 갈색 특수 유리병이 옛부터 좋은 소재로 쓰여 왔으나 깨지기 쉬울 뿐 아니라 시판품의 최대 용량이 고작 1gal밖에 안되어 용기의 대형화에 큰 걸림돌이 되어 왔다. 이의 해결 수단으로 미국특허 제 5,102,010호, 제 5,031,801호, 일본공개특허공보 평7-330074호, 일본공개특허공보 평11-290420호 등에 소개된 바와 같은 여러 형태의 차광성 초청정 플라스틱 용기가 개발되었지만 초청정성, 경제성, 일회용에 의한 환경적 부담 등 이유로 그 개선이 절실히 요청되어왔다.
이에 깨지는 문제가 없고 용기의 대형화를 통한 생산성을 도모하며 환경적 부담도 줄이고자 한 방법으로 가령 미국특허 제 5,335,821호에 소개된 바와 같은 미국 나워테크놀로지사의 백 인 캔 포장시스템이 제안되었다. 즉 필름의 주위가 열봉합되고 하나의 포트가 부착된 형상을 가지는 플라스틱 백이 금속 캔에 삽입 장착된 형태의 포장시스템으로 플라스틱 백에 상기 고순도 감광성 약품을 주입하여 보관하다가 캔과 백 사이의 공간에 기체를 주입해 내부 백에 압력을 주어 자동적으로 포트를 통해 저장탱크로 이동시키는 개념의 포장시스템이다. 여기서 금속 캔은 완벽한 차광성을 부여할 뿐 만 아니라 재사용하고, 단지 플라스틱 백만이 일회용으로 폐기되므로 환경부담을 획기적으로 줄일 수 있는 환경친화형 포장용기 시스템이며 또한 이 경우 플라스틱 백은 초청정성, 약품차단성은 물론 금속 캔 상부에 부착된 작은 직경의 마우스에 둘둘 감아 삽입 되어야 하므로 유연성이 좋아야 하고 잘 찢어지지도 않으면서 빠른 시간내 삽입이 용이하게 되어야 할 것이 요청된다. 그러나 이 시스템에 의거하여 현재 시판되고 있는 플라스틱 백, 가령 에티엠아이사 제품(상품명 NOWPAK)은 별도로 제조된 필름을 크린룸에서 초순수로 수세하고 이를 건조하여 얻어진 필름의 주위를 열봉합하고 포트를 부착하는 공정들을 통해 백을 형성시키고 있어 그 제조공정이 복잡하고 제조원가가 높으며 공정이 길어질 수록 그만큼 노출이 많아져 초청정성도 떨어지는 문제가 있어 그 개선이 절실하게 요청되어왔다.
이러한 문제점을 해결하기 위한 수단으로서 가령 대한민국 등록특허공보 제2004-0438101호에서와 같이 고순도 폴리올레핀계 수지가 내층을 형성하고 접착성 폴리올레핀계 수지가 중간층을 형성하고 폴리아마이드계 수지, 폴리비닐알콜계 수지 등 기체차단성 수지가 필름 외층을 형성하며 크린룸에서 크린 에어를 이용한 공압출에 의한 인플레이션 가공방법으로 제조된 두겹으로 된 3층 단면 구조의 필름, 대한민국 등록특허공보 제2005-0492893호에서와 같이 고순도 폴리올레핀계 수지가 크린룸에서 크린 에어를 이용한 인프레이션 가공방법으로 제조된 두겹으로 된 단층 필름에 폴리우레탄계 접착제를 활용하고 기체차단성 수지로 된 필름이 중간층 또는 외층을 형성하도록 통상의 라미네이팅 가공방법으로 제조된 두겹의 다층 필름으로부터 제조된 신규의 플라스틱 백이 백 인 캔 포장시스템에 도입하는 것이 제안되었다. 그런데 이러한 백 인 캔 포장시스템에 사용된 플라스틱 백은 우수한 초청정성, 약품차단성 및 유연성을 가지면서도 그 제조공정이 매우 간단하여 가격이 저렴한 강점을 가지고 있다고 할 수 있다. 그러나 두겹으로 된 다층 필름의 내층간에 블러킹(blocking)현상이 심하여 백 제조공정시 필름이 잘 벌어지지 않아 포트 삽입 공정이 원활하지 않고 또한 백이 완성된 후에도 포트를 통해 약품을 자동으로 충진할 때 역시 필름이 잘 벌어지지 않아 약품 충진시간이 늘어나고 심지어 약품이 넘치는 문제가 발생하여 이의 개선이 시급해졌다.
또 하나의 큰 문제로서는 용기가 20ℓ에서 100ℓ, 200ℓ로 대형화 될 경우 용기는 커지나 포장백이 둘둘 감겨 들어가는 마우스는 그만큼 크지 않아 빠른 시간내 금속 캔에 대한 백의 원활한 삽입이 이루어지지 않고 있어 그 개선이 매우 시급하다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명자들은 예의 연구를 거듭한 결과 본 발명에 이르게 되었다.
본 발명의 주요 목적은 종래의 문제점을 해결한 즉 용기의 대형화가 가능하고 일회용 플라스틱 백과 재사용 금속 캔으로 구성되어 환경 부담을 줄여줄 수 있는 백 인 캔 포장시스템에 의거하여 플라스틱 백이 포토레지스트, 컬러레지스트 등과 같은 고순도 감광성 약품을 담기에 적합한 우수한 초청정성, 약품차단성, 유연성을 가질 뿐만 아니라 백 제조공정 시 우수한 포트 삽입성 및 포트를 통한 약품 충진시 우수한 주입성을 가지는 고순도 감광성 약품용 포장백을 제공하는 것이다.
또한 추가적으로 금속 캔에 대한 백 삽입장착성이 획기적으로 개선된 고순도 감광성 약품용 포장백을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 고순도 감광성 약품용 포장백은 필름 주위가 열봉합되고 하나의 포트가 부착된 형상을 가지는 플라스틱 백이 금속 캔에 삽입 장착된 형태의 포장시스템에 있어서, 상기 필름은 다층구조를 가지는 필름(Ⅰ)으로서 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A) 95∼99.5중량% 및 상기 수지(A)보다 적어도 0.015g/cm3 이상의 밀도를 가지는, 좋게는 0.015 내지 0.105 정도 높은 밀도를 가지는 중고밀도 폴리에틸렌계 수지(B) 0.5∼5중량%를 포함하는 폴리에틸렌계 수지혼합물로 제조되는 내층; 접착성 폴리올레핀계 수지(D) 또는 폴리우레탄계 접착제(E)를 포함하는 중간층; 및 기체차단성 수지(C)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 고순도 감광성 약품용 포장백의 또 하나의 양태는 상기 필름은 각각 다층구조를 갖는 내부필름 및 외부필름으로 이루어지고, 내부필름은 앞서 언급한 상기 필름(1)을 사용할 수 있으며, 또는 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A) 95∼99.5중량% 및 상기 수지(A)보다 적어도 0.015g/cm3 이상의 밀도를 가지는, 좋게는 0.015 내지 0.105 정도 높은 밀도를 가지는 중고밀도 폴리에틸렌계 수지(B) 0.5∼5중량%로 구성된 폴리에틸렌계 수지혼합물로 제조되는 내층 및 접착성 폴리올레핀계 수지(D) 또는 폴리우레탄계 접착제(E)를 포함하는 중간층(Ⅰ)으로 형성되고, 외부필름은 기체차단성 수지(C)를 포함하는 중간층(Ⅱ) 및 0.950g/cm3 이상의 밀도를 갖는 폴리올레핀계 수지(F)를 포함하는 외층을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서 종래기술과의 중요한 차별적인 목적 중의 하나는 종래의 초청정성, 약품차단성, 유연성을 그대로 유지한 채 필름 내층간의 안티블러킹성을 확보하는 것이다. 즉 2장 이상의 필름을 겹친 상태에서 주위를 열봉합하고 하나의 포트를 부착하여 백을 제조함에 있어서 필름의 내층 간에 블러킹 현상이 심하여 백 제조공정 시 필름이 잘 벌어지지 않아 포트 삽입이 원활하지 않고, 또한 백이 완성된 후에도 포트를 통해 약품을 자동으로 충진할 때 역시 필름이 잘 벌어지지 않아 약품 주입시간이 늘어나고 심지어 약품이 넘치는 현상 등 제문제를 해결하고자 한 것이다. 이러한 문제를 해결하고자 필름업계에서 통상 사용되는 소위 무기물계 입자, 분산제 및 수지로 구성된 마스터배치형 안티블러킹 첨가제를 필름용 수지에 또는 다층필름 경우 내층필름용 수지에 적정량 첨가하는 방법이 시도되었다. 그러나 무기물계 입자가 금속성분을 다량 함유하거나 불순물로서 금속성분이 함유되어 있어 장기보관 시 약품내로 이런 성분이 침출되어 약품의 청정성을 훼손하고, 또한 통상 저분자인 분산제가 쉽게 약품으로 침출되어 미립자수를 상승시킴으로써 약품의 청정성을 손상시키는 심각한 문제가 발생하여 안티블러킹은 확보되었으나, 청정성이 손상되어 결국 좋은 해결방안이 아님을 알 수 있었다.
한편 가격이 매우 비싸 경제성 면에서 불리한 면이 있으나 폴리실록산과 같은 실리콘계 고분자, 테프론과 같은 불소계 고분자는 금속성분 침출 우려가 적은 것으로 자기윤활성이 매우 우수하므로 이러한 수지를 도입하면 내약품성도 우수하고, 안티블러킹성 확보측면에서 좋다고 생각되어 가령 다층 필름의 내층 폴리에틸렌계 수지에 상기 실리콘계 또는 불소계 고분자가 첨가 혼합시키는 방법이 또한 시도되었다. 그러나, 폴리에틸렌계 수지와 이러한 수지와의 상용성이 불량하여 초기 안티블러킹성은 어느 정도 나타내나 약품의 장기 보관 시 이러한 수지가 약품 중으로 침출, 탈리되어 미립자수를 상승시킴으로써 약품의 청정성을 크게 손상시키는 문제가 발생하였다. 물론 소위 상용화제를 첨가하여 상용성을 다소 개선시킬 수 있으나 약품의 장기보관 시 상용화제가 약품으로 침출되어 역시 청정성을 손상시킴으로써 목적 달성에 있어 큰 어려움에 봉착하게 되었다.
따라서 가령 다층필름의 내층 원료에 있어, 초청정성 및 금속성분 침출 우려가 없으며 상용화제가 필요없이도 적정 상용성을 확보하고, 동시에 입자원으로 작용될 수 있는 유기고분자계 안티블러킹 첨가제가 혼합된 형태를 가지도록 함으로써 본 발명을 완성하게 된 것이다.
본 발명에 있어서의 다층필름의 내층에 사용되는 기본 수지인 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A)는 에틸렌을 주성분으로 하고 코모노머로서 알파올레핀이 함유된 에틸렌-알파올레핀계 공중체로서, 전통적인 지글러-나타(Ziegler-Natta)계 촉매를 사용하여 제조되는 것이 아니라 미합중국 특허 제 5,206,075호, 제 5,241,031호, 제 5,272,236호, 제 5,278,272호 등에 게재된 바와 같이 메타로센계 촉매를 사용하여 제조된 것이다. 메타로센계 촉매를 이용한 에틸렌-알파올레핀 공중합체는 코모노머인 알파올레핀이 비교적 규칙적인 서열로 배치되어 분자량분포가 좁고 약품에 의한 용출에 따른 미립자의 주요 원인 물질이 거의 없는 효과적인 물질임을 알게 되었다. 또한, 촉매의 활성 역시 지글러-나타계 대비 매우 높아 잔류하는 촉매의 함량이 극히 낮아 약품에 의한 금속 성분의 용출 역시 극히 작다. 알파올레핀으로서는 가령 1-헥센, 4-메틸-1-펜텐, 1-헵텐, 1-옥텐, 1-노넨, 1-데센, 1-운데센 및 1-도데센과 같은 탄소수 6∼12의 알파올레핀이 적합하고, 특히 탄소수 6 또는 8의 것이 바람직하다. 탄소수가 6 미만일 경우는 기계적 물성이 충분하지 않고, 탄소수가 12를 초과하는 경우는 미립자의 중요 원인이 되는 저분자의 함유량이 높아지고 점착력이 증가하여 안티블러킹성이 나빠질 위험성이 크다. 알파올레핀의 함유량은 2∼30중량%의 것이 적당하다. 상기 함유량이 2중량% 미만일 경우 필름 가공성이 열악해지고 충분한 필름의 유연성 확보가 곤란하고, 30중량%를 초과할 경우는 유연성은 우수해지나 미립자의 중요 원인이 되는 저분자의 함유량이 높아지고 점착력이 증가하여 안티블러킹성이 나빠질 질 위험성이 크다.
메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A)의 밀도는 0.860∼0.925g/㎤의 것이 적당하다. 밀도가 0.860g/㎤ 미만일 경우 유연성은 매우 우수하나, 점착성을 가져 필름간의 안티블록킹성이 나빠져 약품의 주입이 매우 어려워질 우려가 있고, 밀도가 0.925g/㎤를 초과할 경우는 필름의 유연성이 열악해진다. 즉 본 발명에 있어서 사용되는 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A)는 미립자함량이 매우 적고, 잔류금속성분이 극히 적어 약품에 의한 용출되는 잔류금속성분이 극히 적을 뿐만 아니라, 초청정성 및 유연성이 동시에 우수한 필름의 성질을 부여할 수 있다. 본 발명에 따르는 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A)의 예로서는 가령 더 다우 케미칼 캄파니(The Dow Chemical Company)의 "어피니티(Affinity)", 이데미쯔 석유화학(Idemitsu Petrochemical Co.)의 “모아테크(Moretec)", 엑손모빌 케미칼(ExxonMobil Chemical Co.)의 "엑시드(Exceed)" 등을 들 수 있다.
본 발명에 있어서, 중고밀도 폴리에틸렌 수지(B)는 0.926∼0.970g/㎤의 밀도를 가지는 폴리에틸렌계 수지로서 지글러나타계 촉매, 크롬촉매계, 메타로센촉매계 등 어느 촉매계도 무방하나, 왁스 성분같은 저분자 성분의 약품으로 침출에 의한 청정성을 고려할 때 메타로센 촉매계 중고밀도 폴리에틸렌계 수지가 바람직하다. 밀도가 0.926g/㎤ 미만일 경우 상기 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A)와의 상용성이 너무 좋아 상용성 결여에 의한 입자원 형성 효과가 떨어지질 우려가 있고, 밀도가 0.970g/㎤를 초과할 경우는 상용성이 너무 떨어져 입자원 형성에는 유리하나 약품에 의한 침출, 탈리의 우려가 있다.
본 발명에 있어 중고밀도 폴리에틸렌계 수지(B)의 밀도는 선택한 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A)의 밀도 보다 적어도 0.015 이상, 좋게는 0.015 내지 0.105 정도 높은 밀도를 가지는, 더욱 좋기로는 0.020 이상인 것을 사용하는 것이 바람직하다. 0.015 미만일 경우 상용성이 너무 좋아 상용성 결여에 의한 입자원 형성 효과가 떨어질 우려가 있어 바람직하지 않다.
또한 본 발명에 있어 필름(I)의 내층용 폴리에틸렌계 수지혼합물은 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A) 95∼99.5중량%, 중고밀도 폴리에틸렌계 수지(B) 0.5∼5중량%로 구성되는 것이 바람직하다. 중고밀도 폴리에틸렌계 수지(B) 함량이 0.5중량% 미만일 경우 원하는 안티블러킹성 확보가 곤란하고, 5중량%를 초과할 경우는 약품에 의한 입자원의 탈락 등 초청정성 손상의 우려가 있다.
본 발명에 있어 필름(I)의 내층용 폴리에틸렌계 수지혼합물의 용융지수(190℃, 2.16Kg)는 0.2∼20g/10min이면 좋고 1∼10g/10min이면 보다 바람직하다. 용융지수가 0.2g/10min 미만이 되면 유동성이 떨어져 압출 가공시 열화 및 산화에 의한 저분자 발생의 우려가 있고, 반면 용융지수가 20g/10min을 초과하게 되면 유동성이 높아져 용융장력이 너무 낮아 필름형성이 매우 어렵고 권취 후 골주름이 잡히는 등 필름 외관이 나빠지는 문제가 있다. 또한 이러한 수지혼합물에는 스테아린산 칼슘, 스테아린산 아연, 하이드로탈사이트를 포함하는 중화제 또는 디부틸히드록시톨루엔, 펜타에리스틸-테트라키스〔3-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트를 포함하는 산화방지제가 필요에 따라 첨가될 수 있으며, 첨가량은 수지혼합물 중 0.1중량% 이하인 것이 바람직하다. 상기 첨가량 총량이 0.1중량%를 초과하게 되면, 고순도 약품에 의한 침출 잔류금속함량에도 치명적으로 작용할 수 있으며, 고순도 약품에 쉽게 침출되어 결국 미립자로 작용하여 청정도를 불량하게 할 수 있다.
본 발명에 있어서, 기체차단성 수지(C)는 폴리아마이드계 수지, 폴리비닐알콜계 수지, 에틸렌-비닐알콜 공중합체계 수지, 폴리에스터계 수지, 폴리아크릴로니트릴계 수지, 폴리염화비닐리덴계 수지를 포함하며, 요구하는 약품의 차단성 수준에 따라 수지의 선택이 달라질 수 있는데, 차단성 및 경제성을 동시에 고려할 때 폴리아마이드가 보다 바람직하다. 예를 들어, 미쓰비씨가스사의 N-MXD6와 같은 방향족 폴리아마이드는 얇은 층으로도 높은 차단성을 가지기 때문에 백의 유연성을 최대한 살리면서도 약품차단성을 부여할 수 있다는 점에서 매우 바람직하다.
본 발명에 의한 다층필름인 필름(I)에 있어서 내층은 전체 두께의 5~50%, 좋기로는 10~30%가 바람직하다. 두께가 5% 미만일 경우 원하는 안티블러킹성 및 초청정성 확보가 곤란하고, 50%를 초과할 경우 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A)의 필름성형가공성이 그다지 좋지 않다는 점에 기인하여 다층필름 성형가공성이 나빠질 우려가 있다. 또한 기체차단성 수지(C)층은 전체 두께의 5~30%, 좋기로는 10~25%가 바람직하다. 두께가 5% 미만일 경우 원하는 약품차단성 확보가 곤란하고, 30%를 초과할 경우 유연성 확보가 곤란하다.
본 발명에 의한 다층구조의 필름(I)은 예를 들어 일양태로, 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A) 95∼99.5중량%와 상기 수지(A) 보다 적어도 0.015 이상의 밀도를 가지는, 좋게는 0.015 내지 0.105 정도 높은 밀도를 가지는 중고밀도 폴리에틸렌계 수지(B) 0.5∼5중량%로 구성된 수지혼합물로 형성된 내층, 접착성 폴리올레핀계 수지(D) 또는 폴리우레탄계 접착제(E)로 형성된 중간층, 기체차단성 수지(C)로 형성된 외층으로 구성된 3층 필름일 수 있으며, 다른 양태로 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A) 95∼99.5중량%와 상기 수지(A) 보다 적어도 0.015 이상의 밀도를 가지는, 좋게는 0.015 내지 0.105 정도 높은 밀도를 가지는 중고밀도 폴리에틸렌계 수지(B) 0.5∼5중량%로 구성된 수지혼합물로 형성된 내층, 폴리올레핀계 수지(F)로 형성된 중간(I)층, 접착성 폴리올레핀계 수지(D) 또는 폴리우레탄계 접착제(E)로 형성된 중간(II)층, 기체차단성 수지(C)로 형성된 외층으로 구성된 4층 필름일 수 있다. 또 다른 양태로, 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A) 95∼99.5중량%와 상기 수지(A) 보다 적어도 0.015 이상의 밀도를 가진 중고밀도 폴리에틸렌계 수지(B) 0.5∼5중량%로 구성된 수지혼합물로 형성된 내층, 접착성 폴리올레핀계 수지(D) 또는 폴리우레탄계 접착제(E)로 형성된 중간(I)층, 기체차단성 수지(C)로 형성된 중간(II)층, 접착성 폴리올레핀계 수지(D) 또는 폴리우레탄계 접착제(E)로 형성된 중간(III)층, 폴리올레핀계 수지(F)로 형성된 외층으로 구성된 5층 필름 등을 들 수 있다.
본 발명에서의 상기 접착성 폴리올레핀계 수지(D)로서는 에틸렌-비닐아세테이트 공중합체, 에틸렌-아크릴산 공중합체, 에틸렌-메타크릴산 공중합체, 에틸렌-알킬 아크릴레이트 공중합체, 에틸렌-알킬메타크릴레이트 등 에틸렌-불포화에스테르 공중합체; 무수말레산, 말레산, 퓨마르산, 아크릴산, 메타크릴산, 비닐아세테이트, 아크릴아마이드, 메타크릴아마이드, 알킬아크릴레이트, 알킬메타크릴레이트 등 카르보닐기를 가진 단량체, 상기 불포화에스테르 및 에틸렌과의 공중합체인 에틸렌-불포화에스테르-카르보닐기를 가진 단량체 공중합체; 카르보닐기를 가진 단량체가 폴리올레핀에 그라프트 된 중합체를 들 수 있는데, 이 중에서 무수말레산이 그라프트 된 폴리에틸렌(예, 미쓰이유화사 상품명 아드머), 에틸렌-에틸아크릴레이트-무수말레산 공중합체(예, 스미토모화학공업사, 상품명 본다인)가 바람직하다.
본 발명에서의 상기 폴리우레탄계 접착제(E)로서는 통상의 알코올 또는 아민류와 이소시아네이트에 의해 제조되는 것으로 용제형 및 무용제형 상관은 없으나 무용제형인 소위 드라이라미네이션용 접착제가 바람직하며, 또한 일액형과 이액형중 어느 것도 가능하나 이액형이 보다 바람직하고, 그 예로 폴리에테르계 폴리우레탄으로서는 일본 대일정화공업의 "SEIKABOND" A-155/C-90, 지방족 폴리에스테르계 폴리우레탄으로서는 다께다약품의 A-385/A-50, 방향족 폴리에스테르계 폴리우레탄으로서는 대일본잉크화학공업의 LX-75A 등을 들 수 있다.
본 발명에서의 상기 폴리올레핀계 수지(F)로서는 저밀도 폴리에틸렌, 선형 저밀도 폴리에틸렌, 중밀도 폴리에틸렌, 고밀도 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등을 들 수 있는데, 백의 유연성을 고려할 때 저밀도 폴리에틸렌, 선형저밀도 폴리에틸렌 등을 단독 또는 혼합 사용하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 다층 필름은 공압출에 의해 다층 필름을 한번의 가공으로 얻는 방법, 단층의 내층 필름 또는 내층 및 중간층 포함된 다층 필름을 얻은 뒤 접착제를 이용한 중간층 및 외층용 필름을 라미네이션 방법에 의해 얻을 수 있다. 공압출에 의한 다층 필름이나, 단층의 내층 필름 또는 내층 및 중간층 포함된 다층 필름은 인플레이숀 필름성형법, 캐스팅 필름성형법 등 어느 것도 가능하나, 인플레이션 필름성형법 경우 필름이 원기둥 형태 버블에 의해 최종적으로 필름이 두겹 형태의 감긴 모습이 되는데, 가장 청정성이 유지되어야 하는 필름 내층이 외기에 노출되지 않고 불어주는 공기의 청정도에만 좌우되므로 청정도 유지가 매우 용이하고, 필름 외층은 냉각수나 외기에 노출되나 그다지 높은 청정성을 요구하지 않으므로 크린룸 등 청정성 유지비용이 저렴한 반면, 캐스팅 필름방법에 의하면 필름이 한겹 형태의 감긴 모습이 되므로 필름 내외층이 모두 외기에 노출되므로 크린룸 전체가 높은 청정성을 유지해야하므로 청정성 유지비용이 매우 높게 되는 폐단이 있어 인플레이션 필름성형법이 품질 유지도 용이하고 더욱 경제적이다.
본 발명에 의한 필름(I)의 두께는 플라스틱 백의 용량에 달라질 수 있는데, 유연성, 강도 등을 동시에 고려할 때 100~250㎛ 수준이 바람직하다.
인플레이션 공압출 필름성형법에 의한 다층 필름 제조방법을 보다 구체적으로 소개하면 다음과 같다.
각층별 원료(가령 4층 필름 경우, 내층용 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A)와 중고밀도 폴리에틸렌계 수지(B)와의 수지혼합물, 중간(I)층용 폴리올레핀계 수지(F), 중간(II)층용 접착성 폴리올레핀계 수지(D), 외층용 기체차단성 수지(C))를 계량한 뒤 각층별 수지를 호퍼를 통해 클라스(ft3당 0.5㎛ 이상의 입자수) 10,000 이하의 크린룸에 설치된 인플레이션 필름 압출성형기에 투입하고 클라스 10 이하의 크린 에어를 이용하여 두겹으로 접힌 다층 필름을 롤상태로 감아서 얻는다.
또한 라미네이션 방법에 의한 다층 필름 제조방법을 보다 구체적으로 소개하면 다음과 같다.
가령 4층 필름 경우 먼저 인플레이션 공압출에 의해 내층 및 중간층이 포함된 2층 필름을 얻는다. 즉 내층용 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A)와 중고밀도 폴리에틸렌계 수지(B)와의 수지혼합물 및 중간(II)층용 폴리올레핀계 수지(F)를 준비하고 이를 계량한 뒤 각층별 수지를 호퍼를 통해 클라스(ft3당 0.5㎛ 이상의 입자수) 10,000 이하의 크린룸에 설치된 인프레이숀 필름 압출성형기에 투입하고 클라스 10 이하의 크린 에어를 이용하여 두겹으로 접힌 2층 필름을 롤상태로 감아서 얻는다. 두 겹으로 된 2층 필름 양 외면에 폴리우레탄계 접착제(E)를 코팅한다. 이어서 기체차단성 수지(C)로 제조된 외층용 필름을 라미네이팅하여 두겹으로 된 롤상태의 4층 필름을 얻는다.
다음으로 상기와 같이 얻어진 다층 필름을 이용한 백 인 캔 제조방법을 보다 구체적으로 소개하면 다음과 같다.
클라스 1,000 이하의 크린룸에서 상기 얻어진 필름을 풀면서 백 제조성형기에 투입하여 적당 크기로 절단하고 포트가 삽입될 부분을 제외한 주위를 열봉합한 뒤 두겹으로 된 필름을 벌려 어느 한쪽에 구멍을 내고 그 구멍에 포트를 삽입한 후 열봉합하여 부착한 다음 남은 필름 주위를 열봉합하여 포트가 장착된 백을 형성하는 단계; 얻어진 플라스틱 백을 마우스를 구비한 금속 캔의 내부에 삽입 장착하는 단계; 고순도 약품용 통로를 가지며 상기 백의 내부에 삽입되어 포트에 걸쳐지는 딥튜브를 장착하는 단계; 상기 딥튜브가 삽입된 백의 포트와 금속 캔을 체결하는 딥튜브 커플링을 장착하는 단계; 상기 딥튜브 커플링을 통하여 백의 외부와 금속 캔의 내부 사이의 기체 흐름을 허용하는 통기수단을 가지며 상부 빈 곳을 밀봉하고 밀봉이 제거될 때 고순도 약품이 방출될 수 있도록 한 밀봉수단이 장착되고 상기 딥튜브가 삽입된 백의 포트, 딥튜브 커플링 및 금속 캔을 동시에 체결하는 커넥터를 장착하는 단계에 의해 고순도 약품용 백 인 캔이 제조된다.
상기와 같은 본 발명에 따른 고순도 약품용 포장백은 고순도의 화학약품을 보관 또는 저장하기에 적합한 우수한 초청정성, 약품차단성 및 유연성을 가질 뿐만 아니라 안티블러킹성이 매우 우수하여 백 제조 공정시 포트 삽입장착성을 획기적으로 개선하여 삽입성이 원활하며, 포트를 통한 약품의 자동 주입성도 매우 좋아 생산성이 향상되어, 이러한 백 인 캔은 반도체 및 LCD 등의 산업전반에 유용하게 사용될 수 있는 장점이 있다.
이하 실시예를 통하여 본 발명을 보다 자세히 설명하고자 한다. 하기의 실시예는 하나의 예시일 뿐 이에 한정하지 않는다. 제조된 필름 및 이를 사용한 플라스틱 백의 약품차단성(기체투과도, 용매손실율), 청정도(미립자수, 잔류금속함량), 유연성 및 안티블러킹성을 다음과 같이 측정하였다.
(기체투과도)
고순도 약품에 대한 차단성의 척도로 필름 시료에 대한 23℃, 65%RH(상대습도)하에서의 기체(산소)투과도(cc/㎡dayatm)를 ASTM D3985에 의거하여 측정하였다.
(약품 손실율)
얻어진 두께 160㎛의 필름을 이용하여 포트가 부착된 가로 55cm, 세로65cm 크기의 백(20ℓ용)을 제조하였다. 고순도 약품에 대한 차단성의 척도로 약품 손실율(%)은 포토레지스트의 주용매인 고순도 플로필렌글리콜메틸에테르아세테이트(PGMEA)를 이 백안에 채워 넣고 마개를 한 후, 23℃, 100%RH 조건하에서 6개월간 보관한 후 중량 손실율(%)로 평가하였다.
(미립자수)
고순도 약품에 대한 청정도의 척도인 미립자수(개/㎖)는 얻어진 백 안에 30일간 초순수(비저항 18㏁ 이상)를 저장한 후, 저장되어 있는 물 1㎖중에 존재하는 입경 0.2㎛이상인 미립자를 Liquid Particle Counter(RION사제 Model KS-40A)를 이용하여 산정하였다.
(잔류 금속함량)
고순도 약품에 대한 청정도의 척도인 잔류 금속함량(ppb)은 얻어진 백에 포토레지스트(동진쎄미켐사제 DPR-i5500)를 저장한 후 저장되어 있는 약품중에 포함된 잔류 금속함량을 ICP-MS(VG Elemental사제, model PlasmaQuadII)를 이용하여 구하였다.
(유연성)
얻어진 필름(두께 160㎛)을 이용하여 포트가 부착된 가로 55cm, 세로65cm 크기의 백(20ℓ용)을 제조한 후 이를 둘둘 말아 금속 캔의 입구로 삽입하였을 때의 작업 용이성으로 평가하였다(◎우수, ○양호, △보통, X 불량)
(안티블러킹성)
만능시험기(Instron사, 로드셀 500N)을 이용하여 측정하였다. 얻어진 두겹으로 된 필름(두께 160㎛) 시편을 약간 벌린 후 양쪽을 그립으로 잡아 고정한다. 100mm/min 속도로 150mm 정도 벌린 후 그 사이 100mm 구간의 평균힘으로 블러킹에 의한 점착력을 평가하여 안티블러킹 수준을 평가하였다(2N 이하 ◎우수, 25N ○양호, 510N △보통,10N 이상 X 불량)
(실시예 1)
용융지수 0.9g/10mim, 밀도 0.909g/cm3인 메타로센 촉매계 에틸렌-옥텐계 공중합체인 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(Dow Chemical, 상품명 Affinity, Grade PL1840, A1), 용융지수 2.7g/10mim, 밀도 0.932g/cm3인 중밀도 폴리에틸렌계 수지(SK(주), Grade FT811, B1), 상대점도 3.55인 폴리아마이드-6계 수지(C1, 코오롱 Grade KN-190-1), 용융지수 1.7g/10mim인 무수말레산이 그라프팅된 선형저밀도 폴리에틸렌 수지(미쓰이유화 상품명 ADMER, Grade NF308, D1)를 준비하였다.
내층 원료로서 수지 A1/B1=99/1(중량%) 조성물, 외층 원료로 수지 C1, 내층과 외층 사이의 접착제층 원료로서 수지 D1를 각 호퍼를 통하여 클라스(ft3당 0.5㎛ 이상의 입자수) 2,500의 크린룸에 설치된 인플레이숀 다층필름 압출성형기에 투입하고 클라스 5의 크린 에어를 이용하여 두겹으로 접힌 3층 단면구조의 두께 160㎛의 필름(각층별 두께 비율(%), 내층/접착제층/외층=70/10/20)을 롤상태로 감아서 얻었다(필름 각층별 조성 및 두께 비율 표 1참조). 얻어진 필름을 클라스 400의 크린룸에서 필름을 풀면서 백 제조 성형기에 투입하여 가로 55cm, 세로65cm 크기로 절단하고 포트가 삽입될 부분을 제외한 주위를 열봉합한 뒤 두겹으로 된 필름을 벌려 필름 위쪽에 구멍을 내고 그 구멍에 포트를 삽입한 후 열봉합하여 부착한 다음 남은 필름 주위를 열봉합하여 최종 포트가 장착된 백(20ℓ용)을 얻었다. 얻어진 필름 및 백에 대해 약품차단성(기체투과도, 용매손실율), 청정도(미립자수, 잔류금속함량), 유연성 및 안티블러킹성을 측정하여 하기 표 1에 나타내었다.
(실시예 2)
내층 원료로서 수지 A1/B1=98/2(중량%) 조성물을 사용한 것외에는 실시예 1과 동일하게 실시하였고, 얻어진 필름 및 백에 대해 약품차단성(기체투과도, 용매손실율), 청정도(미립자수, 잔류금속함량), 유연성 및 안티블러킹성을 측정하여 하기 표 1에 나타내었다.
(실시예 3)
내층 원료로서 수지 A1/B1=96/4(중량%) 조성물을 사용한 것외에는 실시예 1과 동일하게 실시하였고, 얻어진 필름 및 백에 대해 약품차단성(기체투과도, 용매손실율), 청정도(미립자수, 잔류금속함량), 유연성 및 안티블러킹성을 측정하여 하기 표 1에 나타내었다.
(실시예 4)
실시예 1에서 사용된 원료 외에 용융지수 1.0g/10mim, 밀도 0.924g/cm3인 저밀도 폴리에틸렌(삼성토탈, Grade 431G, E1)을 준비하였다.
내층 원료로서 수지 A1/B1=98/2(중량%) 조성물, 중간층 원료로서 수지 A1/E1=50/50(중량%) 조성물, 외층 원료로 수지 C1, 중간층과 외층 사이의 접착제층 원료로서 수지 D1을 각 호퍼를 통하여 클라스(ft3당 0.5㎛ 이상의 입자수) 2,500의 크린룸에 설치된 인플레이숀 다층필름 압출성형기에 투입하고 클라스 5의 크린 에어를 이용하여 두겹으로 접힌 3층 단면구조의 두께 160㎛의 필름(각층별 두께 비율(%), 내층/중간층/접착제층/외층=20/50/10/20)을 롤상태로 감아서 얻었다(필름 각층별 조성 및 두께 비율 표 1참조). 얻어진 필름을 실시예 1과 동일하게 실시하여 최종 포트가 장착된 백(20ℓ용)을 얻었다. 얻어진 필름 및 백에 대해 약품차단성(기체투과도, 용매손실율), 청정도(미립자수, 잔류금속함량), 유연성 및 안티블러킹성을 측정하여 하기 표 1에 나타내었다.
(실시예 5)
내층 원료로서 수지 A1/B1=96/4(중량%) 조성물, 중간층 원료로서 수지 A1/E1=30/70(중량%) 조성물, 외층 원료로 수지 C1, 중간층과 외층 사이의 접착제층 원료로서 수지 D1을 사용하고 각층별 두께 비율(%)을 내층/중간층/접착제층/외층=10/60/10/20로 한 것외에는 실시예 4와 동일하게 실시하였고, 얻어진 필름 및 백에 대해 약품차단성(기체투과도, 용매손실율), 청정도(미립자수, 잔류금속함량), 유연성 및 안티블러킹성을 측정하여 하기 표 1에 나타내었다.
(실시예 6)
실시예 1에서 사용된 기체차단성 수지와는 다른 상대점도 2.7인 방향족 폴리아마이드계 수지(미쓰비씨가스, N-MXD6, Grade S6007, C2)을 준비하였다
먼저 수지 A1/B1=98/2(중량%) 조성물을 호퍼를 통하여 클라스(ft3당 0.5㎛ 이상의 입자수) 2,500의 크린룸에 설치된 인플레이숀 단층필름 압출성형기에 투입하고 클라스 5의 크린 에어를 이용하여 두겹으로 접힌 두께 145㎛의 내층용 단층필름을 롤상태로 감아서 얻었다. 얻어진 두겹으로 된 내층용 단층필름 양외면에 방향족 폴리에스테르계 폴리우레탄계 접착제(대일본잉크화학공업 Grade LX-75A, F1)를 코팅하고, 연이어 상기 기체차단성 수지(C2)로 제조된 두께 12㎛의 외층용 단층필름을 라미네이팅하여 두께 160㎛의 다층 필름을 얻었다. 얻어진 필름 및 백에 대해 약품차단성(기체투과도, 용매손실율), 청1도(미립자수, 잔류금속함량), 유연성 및 안티블러킹성을 측정하여 표 1에 나타내었다.
(실시예 7)
내층 원료로서 수지 A1/B1=98/2(중량%) 조성물, 중간층 원료로서 수지 A1/E1=30/70(중량%) 조성물, 외층 원료로 수지 C2, 중간층과 외층 사이의 접착제층 원료로서 수지 D1을 사용하고 각층별 두께 비율(%)을 내층/중간층/접착제층/외층=15/70/7/8로 한 것외에는 실시예 4와 동일하게 실시하였고, 얻어진 필름 및 백에 대해 약품차단성(기체투과도, 용매손실율), 청정도(미립자수, 잔류금속함량), 유연성 및 안티블러킹성을 측정하여 하기 표 1에 나타내었다.
(비교예 1)
내층 원료로서 수지 B1만을 사용한 것외에는 실시예 1과 동일하게 실시하였고, 얻어진 필름 및 백에 대해 약품차단성(기체투과도, 용매손실율), 청정도(미립자수, 잔류금속함량), 유연성 및 안티블러킹성을 측정하여 하기 표 1에 나타내었다.
(비교예 2)
내층 원료로서 수지 A1만을 사용한 것외에는 실시예 7과 동일하게 실시하였고, 얻어진 필름 및 백에 대해 약품차단성(기체투과도, 용매손실율), 청정도(미립자수, 잔류금속함량), 유연성 및 안티블러킹성을 측정하여 하기 표 1에 나타내었다.
본 발명에 따른 실시예를 실시한 결과에서 보이는 바와 같이, 약품차단성, 초청정성, 유연성 및 안티블러킹이 모두 우수함을 확인할 수 있었다. 실시예 1 내지 3에서 보면 내층 원료 조성물중 중고밀도 폴리에틸렌계 수지(B1)의 함량이 증가할수록 안티블러킹성이 다소 향상됨을 알 수 있다. 실시예 1 내지 3과 실시예 4,5를 비교하면 내층의 주성분인 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A1) 보다 유연성이 다소 양호한 저밀도 폴리에틸렌계 수지(E1)이 다량 함유된 수지 조성물층을 중간층으로 삽입함에 따라 약품차단성, 초청정성 및 안티블러킹성의 손상없이 유연성이 개선됨을 알 수 있다. 실시예 1 내지 5와 실시예 6,7를 비교하면 얇은 두께하에서도 기체차단성이 탁월한 방향족 폴리아마이드계 수지(C2)를 사용함에 따라 약품차단성이 비약적으로 향상됨을 알 수 있다. 한편 내층을 중고밀도 폴리에틸렌계 수지(B1)만을 사용한 비교예 1의 경우 안티블러킹성이 극히 나쁘고, 초청정성도 매우 열악함을 알 수 있다. 또한 내층을 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지(A1)만을 사용한 비교예 2의 경우 초청정성은 우수하나 안티블러킹성이 매우 열악함을 알 수 있다.
Figure 112010073286281-pat00001

Claims (11)

  1. 필름 주위가 열봉합되고 하나의 포트가 부착된 형상을 가지는 플라스틱 백이 금속 캔에 삽입 장착된 형태의 포장시스템에 있어서,
    상기 필름은
    (A)알파올레핀의 함량이 2∼30중량%이고, 밀도 0.860∼0.925g/㎤인 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지 95∼99.5중량% 및
    (B)상기 수지(A)보다 적어도 0.015g/㎤ 이상의 밀도를 갖는 중고밀도 폴리에틸렌계 수지 0.5∼5중량%를 포함하는 폴리에틸렌계 수지 혼합물로 제조되는 내층;
    (C)기체차단성 수지를 포함하는 외층; 및
    (D)접착성 폴리올레핀계 수지 또는 (E)폴리우레탄계 접착제를 포함하는 중간층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 고순도 감광성 약품용 포장백.
  2. 필름 주위가 열봉합되고 하나의 포트가 부착된 형상을 가지는 플라스틱 백이 금속 캔에 삽입 장착된 형태의 포장시스템에 있어서, 상기 필름은 내부필름 및 외부필름으로 이루어지고, 내부필름은
    (A) 알파올레핀의 함유량이 2∼30중량%이고, 밀도 0.860∼0.925g/㎤인 메타로센 촉매계 선형 저밀도 폴리에틸렌계 수지 95∼99.5중량% 및
    (B) 상기 수지(A)보다 적어도 0.015g/cm3 이상의 밀도를 갖는 중고밀도 폴리에틸렌계 수지 0.5∼5중량%를 포함하는 폴리에틸렌계 수지혼합물로 제조되는 내층; 및 (D) 접착성 폴리올레핀계 수지 또는 (E) 폴리우레탄계 접착제를 포함하는 중간층;(Ⅰ)으로 형성되고,
    외부필름은 (C) 기체차단성 수지를 포함하는 중간층(Ⅱ) 및 (F) 0.950g/cm3 이상의 밀도를 갖는 폴리올레핀계 수지를 포함하는 외층을 포함하는 것을 특징으로 하는 고순도 감광성 약품용 포장백.
  3. 삭제
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 중고밀도 폴리에틸렌 수지(B)는 0.926∼0.970g/㎤의 밀도를 가지는 폴리에틸렌계 수지인 고순도 감광성 약품용 포장백.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 폴리에틸렌계 수지혼합물의 용융지수(190℃, 2.16Kg)는 0.2∼20g/10min인 고순도 감광성 약품용 포장백.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기체차단성 수지(C)는 폴리아마이드계 수지, 폴리비닐알콜계 수지, 에틸렌-비닐알콜 공중합체계 수지, 폴리에스터계 수지, 폴리아크릴로니트릴계 수지 또는 폴리염화비닐리덴계 수지에서 선택되는 1종 이상의 수지인 고순도 감광성 약품용 포장백.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 필름의 내층은 전체 두께의 5~50%이고, 기체차단성 수지(C)층은 전체 두께의 5~30%인 것을 특징으로 하는 고순도 감광성 약품용 포장백.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 외부필름의 외층은 전체 두께의 5~50%인 것을 특징으로 하는 고순도 감광성 약품용 포장백.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 중간층은 폴리올레핀계 수지(F)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고순도 감광성 약품용 포장백.
  10. 제2항에 있어서,
    상기 내부필름의 중간층(Ⅰ)은 기체차단성 수지(C)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고순도 감광성 약품용 포장백.
  11. 제1항 또는 제2항 중에서 선택되는 어느 한 항의 고순도 감광성 약품용 포장백; 상기 포장백이 삽입되는 마우스를 구비한 금속 캔; 고순도 감광성 약품용 통로를 구비하며 상기 포장백의 내부에 삽입되어 포트에 걸쳐지는 딥튜브; 상기 딥튜브가 삽입된 포장백의 포트와 금속 캔을 체결하는 딥튜브 커플링; 상기 딥튜브 커플링을 통하여 포장백의 외부와 금속 캔의 내부 사이의 기체 흐름을 허용하는 통기수단을 구비하며 상기 딥튜브가 삽입된 포장백의 포트, 딥튜브 커플링 및 금속 캔을 동시에 체결하는 커넥터; 및 상기 커넥터의 상부 빈 곳을 밀봉하고 밀봉이 제거될 때 고순도 감광성 약품이 방출될 수 있도록 하는 밀봉재;를 포함하는 고순도 감광성 약품용 포장시스템.

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