KR101061251B1 - 리드프레임의 엑스레이검사장치 - Google Patents

리드프레임의 엑스레이검사장치 Download PDF

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박남우
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Abstract

본 발명은 다수개의 박막 리드프레임을 투입매거진부에서 연속적으로 x,y축 수평수직이동 및 픽업부로 스테이지부에 공급하여 상기 리드프레임을 회전정렬부를 통해 흡착회전검사부로 공급하여 엑스레이튜브 및 원호이동디텍터와 고정디텍터로 3D 및 2D의 영상으로 입체적이고 정밀하게 검사하여 리드프레임의 불량 및 정상을 신속하게 검사하며, 정상 리드프레임을 수집하는 정상수집매거진부와, 불량 리드프레임을 수집하는 불량매거진부로 구성하여 검사과정에서 정상 및 불량의 리드프레임을 정리하는 번거로움을 없애도록 한 리드프레임의 엑스레이검사장치에 관한 것이다

Description

리드프레임의 엑스레이검사장치{X-ray inspection apparatus for lead frame}
본 발명은 리드프레임의 엑스레이검사장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 다수개의 리드프레임을 연속적으로 스테이지부에 공급하여 박막의 상기 리드프레임상에 엑스레이튜브 및 원호이동디텍터와 고정디텍터로 3D 및 2D의 영상으로 입체적이고 정밀하게 검사하여 리드프레임의 불량 및 정상을 신속하게 검사하도록 하는 것이다.
일반적으로 엑스레이검사장치는 케이스 내부에 스테이지와, 엑스레이튜브와, 디텍터로 구성되어, 리드프레임을 상기 스테이지에 위치시키고 상기 엑스레이튜브에서 엑스레이를 조사하여 상기 디텍터로 촬상하여 피측정물을 검사하도록 구성된다.
그러나 이러한 종래의 엑스레이검사장치는 케이스를 열고 리드프레임을 스테이지에 올려두고 엑스레이 조사하는 방식으로 리드프레임을 하나하나 올려놓고 검사하여야 하기 때문에 검사시마다 정체가 되어 작업시간이 매우 느려지고, 특히 연속공정의 경우에는 엑스레이 검사 자체가 불가능한 문제점이 있었다.
일반적으로 IC칩 또는 플립칩이 다수개로 구성된 리드프레임의 경우에는 엑스레이 검사시에 개별적인 전수검사가 이루어져야하는데, 개별검사를 하기 위해서는 칩이 장착된 트레이를 한개 씩 검사자의 손으로 직접 공급하고 검사하고 다시 빼내서 이송하는 과정을 일일이 하나씩 하여야 했기 때문에 작업시간이 오래 걸리는 문제점이 있었다.
또한, 다량의 리드프레임 및 박막의 리드프레임을 연속적으로 정밀하고 신속하게 리드프레임의 불량을 엑스레이튜브 및 디텍터로 검사하지 못하는 문제점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 본 발명은 다수개의 박막 리드프레임을 투입매거진부에서 연속적으로 x,y축 수평수직이동 및 픽업부로 스테이지부에 공급하여 상기 리드프레임을 회전정렬부를 통해 흡착회전검사부로 공급하여 엑스레이튜브 및 원호이동디텍터와 고정디텍터로 3D 및 2D의 영상으로 입체적이고 정밀하게 검사하여 리드프레임의 불량 및 정상을 신속하게 검사하며, 정상 리드프레임을 수집하는 정상수집매거진부와, 불량 리드프레임을 수집하는 불량매거진부로 구성하여 검사과정에서 정상 및 불량의 리드프레임을 정리하는 번거로움을 없애도록 하는 새로운 리드프레임의 엑스레이검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 상부에는 엑스레이튜브가 설치되고, 하부에는 디텍터가 설치된 스테이지부로 구성된 프레임과; 상기 프레임의 좌측에 설치되어 내측에 적층된 리드프레임을 투입하는 투입매거진부와; 상기 프레임의 후방에 설치되어 x축으로 이동되는 x축 수평이동부와, 상기 x축 수평이동부에서 y축으로 이동되는 y축 수직이동부와, 상기 y축 수직이동부의 하부에 상기 투입매거진부에서 공급되는 상기 리드프레임을 진공흡입하는 진공흡입부로 구성된 x,y축 수평수직이동 및 픽업부와; 상기 x,y축 수평수직이동 및 픽업부에 의해 공급되는 상기 리드프레임을 회전 정렬시키는 회전정렬부와; 회전정렬된 상기 리드프레임을 상기 진공흡입 x,y축 수평수직이동 및 픽업부로 상기 스테이지부상에 이동시키고, 상기 스테이지부상에 설치되어 상기 리드프레임을 진공흡입및 회전시키는 흡착회전검사부와; 상기 흡착회전검사부에서 상기 엑스레이튜브 및 디텍터로 검사된 상기 리드프레임을 상기 진공흡입 x,y축 수평수직이동 및 픽업부로 상기 프레임의 우측에서 수집하여 적층시키는 수집매건진부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 디텍터는 상기 스테이지부의 하부 전방에 설치된 가이드레일상에 형성된 원호상에서 이동하는 원호이동디텍터와, 상기 스테이지부의 하부에 위치하고 상기 가이드레일의 후방우측에 설치된 고정디텍터로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 투입매거진부는 내측에 상기 리드프레임이 적층되게 적층공간부가 형성되고, 전방하부에 상기 리드프레임이 배출되는 배출구가 형성된 본체와, 상기 리드프레임을 상기 배출구로 인출되게 밀어주게 상기 본체의 후방에 푸쉬부가 설치되어 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 투입매거진부는 상기 프레임의 좌측에 설치된 이동컨베이어부상에 다수개로 설치되어 이동되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이동컨베이어부의 좌측 또는 우측에 스토퍼가 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 투입매거진부의 상기 배출구 전방에 설치되어 상기 리드프레임을 우측으로 공급하는 제1이송안내부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1이송안내부의 우측에 위치하여 상기 제1이송안내부로 상기 리드프레임을 공급받어 상기 회전정렬부로 공급하는 제1푸쉬부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 수집매거진부는 정상인 상기 리드프레임을 수집하는 정상수집매거진부와, 불량인 상기 리드프레임을 수집하는 불량수집매거진부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 수집매거진부는 상부에 투입구가 형성되어 내부에 엑스레이검사된 상기 리드프레임이 적층되는 본체로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 흡착회전검사부에서 엑스레이튜브에 검사되어 정상인 상기 리드프레임을 이송시키는 제2푸쉬부와, 상기 제2푸쉬부의 우측에 설치되어 상기 제2푸쉬부에서 공급하는 정상인 상기 리드프레임을 상기 정상수집매거진부에 공급하는 제2공급부와, 상기 흡착회전검사부에서 엑스레이튜브에 검사되어 불량인 상기 리드프레임을 이송시키는 제3푸쉬부와, 상기 제3푸쉬부의 우측에 설치되어 상기 제3푸쉬부에서 공급하는 정상인 상기 리드프레임을 상기 불량수집매거진부에 공급하는 제3공급부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 진공흡입부는 다수개로 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 스테이지부는 x축으로 이동하는 x축 수평이동부와, 상기 x축 수평이동부의 전방에 설치된 복수개의 고정축이 서로 거리를 두고 설치되고, 상기 고정축에 관통 삽입설치되고 모터(M)의 구동축과 연결되는 구동아암과, 상기 구동아암의 외주연에 결합되는 복수개의 이동구와 상기 이동구들의 전방에 설치된 이동부로 구성되고, 상기 x축 수평이동부에 설치되어 y축으로 이동하는 y축 수직이동부와, 상기 y축 수직이동부는 상기 이동부상에 설치된 실린더와, 상기 실린더의 하부를 회전시키도록 모터(M)의 구동축과 상기 실린더의 하부와 연결되고, 상기 실린더에서 입출되는 로드와, 기 로드의 상부에 설치되는 스테이지부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 흡착회전검사부의 상기 스테이지부상에 설치되는 안착부와, 상기 안착부내측에 진공흡입공간이 형성되고, 상기 안착부의 내주연에 형성된 안착턱에 다수개의 통공을 갖는 안착베드가 설치되고, 상기 안착베드상에 상기 리드프레임의 하부가 안착되고, 상기 안착부의 하부중앙에 상기 리드프레임의 하부를 진공흡입하는 진공흡입공을 갖는 진공흡입부와, 상기 진공흡입부에 진공을 공급하는 진공발생부(75)로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 회전정렬부는 하부에 모터(M)에 의해 회전되는 회전판과, 상기 회전판의 전,후방 및 우측에 형성된 지지턱과, 상기 회전판의 좌측에 형성된 입출개구부와, 상기 지지턱들의 내측 및 상기 회전판의 상부에 형성되어 리드프레임이 안착되는 안착공간부와, 상기 안착공간부의 중앙에 형성된 진공흡입공과, 상기 입출개구부로 입출하여 상기 지지턱들의 내측 및 상기 안착공간부에 리드프레임을 고정하는 가압부를 갖는 가압부재로 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 x,y축 수평수직이동 및 픽업부는 상기 회전정렬부의 후방 및 상기 수집매거진부의 좌측에 각각 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 투입매거진부(20)의 상,하로 가압하도록 상,하로 거리를 두고 복수개로 설치된 가압승강부재(80a,80b)와, 상기 가압승강부재들(80a,80b)이 전방에 설치되는 승강부(81)와, 상기 승강부(81)의 후방이 전방에 설치되어 상기 승강부(81)를 승강안내하는 리프트부(82)와, 상기 투입매거진부(20)에 상,하로 적층된 리드프레임(100)을 전방으로 밀어주는 밀대부(83)를 갖는 매거진공급부(90)로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프레임(10)의 후방우측에 상기 엑스레이튜브(11) 및 상기 디텍터(12)로 검사 완료된 상기 리드프레임(100)을 푸쉬부(26)로 상부에서 하부로 순차적으로 내부에 수집하는 재수집매거진부(20a)와, 상기 재수집매거진부(20a)의 하부를 상부에 안착시키는 이송컨베이어(24a)로 구비된 매거진수집부(200)로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 다수개의 박막의 리드프레임을 투입매거진부에서 연속적으로 x,y축 수평수직이동 및 픽업부로 상기 리드프레임을 회전정렬부를 통해 스테이지부상에 설치된 흡착회전검사부로 공급하여 엑스레이튜브 및 원호이동디텍터와 고정이동디텍터로 3D 및 2D의 영상으로 입체적이고 정밀하게 검사하여 리드프레임의 불량 및 정상을 신속하게 검사하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 정상 리드프레임을 수집하는 정상수집매거진부와, 불량 리드프레임을 수집하는 불량매거진부로 구성하여 검사과정에서 정상 및 불량의 리드프레임을 정리하는 번거로움을 없애도록 하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 개략도.
도 2는 본 발명에 따른 요부사시도.
도 3은 본 발명에 따른 투입매거진부의 개략도.
도 4는 본 발명에 따른 수집매거진부의 개략도.
도 5는 본 발명에 따른 x,y축 수평수직이동 및 픽업부의 정면도.
도 6은 본 발명에 따른 스테이지부의 하부에 설치된 x축 수평이동부 및 y축 수직이동부를 나타낸 정면개략도.
도 7은 본 발명에 따른 흡착회전검사부의 개략도.
도 8은 본 발명에 따른 회전정렬부의 평면도.
도 9는 본 발명에 따른 투입매거진부의 다른실시예도.
도 10은 본 발명에 따른 다른실시예도.
도 11은 본 발명에 따른 매거진수집부의 개략도.
본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다.
본 발명의 실시예는 여러가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 안전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다.
따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다.
또한, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다
도 1은 본 발명에 따른 개략도이고, 도 2는 본 발명에 따른 요부사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 투입매거진부의 개략도이고, 도 4는 본 발명에 따른 수집매거진부의 개략도이고, 도 5는 본 발명에 따른 x,y축 수평수직이동 및 픽업부의 정면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 스테이지부의 하부에 설치된 x축 수평이동부 및 y축 수직이동부를 나타낸 정면개략도이고, 도 7은 본 발명에 따른 흡착회전검사부의 개략도이고, 도 8은 본 발명에 따른 회전정렬부의 평면도이고, 도 9는 본 발명에 따른 투입매거진부의 다른실시예도이고, 도 10은 본 발명에 따른 다른실시예도이고, 도 11은 본 발명에 따른 매거진수집부의 개략도이다.
본 발명에 따른 리드프레임의 엑스레이검사장치를 도 1 내지도 11에 도시된 것을 참조하여 상세하게 설명하면;
본 발명에 따른 리드프레임의 엑스레이검사장치는 프레임(10)과, 투입매거진부(20)와, x,y축 수평수직이동 및 픽업부(30)와, 흡착회전검사부(50)와, 수집매거진부(60)로 구성된다.
상기 프레임(10)은 도 1에 도시하는 바와 같이 상기 프레임(10)은 상부에는 엑스레이튜브(11)가 설치되고, 하부에는 디텍터(12)가 설치된 스테이지부(13)로 구성된다.
또한, 상기 프레임(10)의 하부에 상기 엑스레이튜브(11)가 설치되고, 그 상부에 상기 디텍터(12)가 설치된 상기 스테이지부(13)로 구성될 수 있다.
상기 엑스레이튜브(11)와 상기 디텍터(12)는 서로 대향지게 설치되어 구성된다.
또한, 상기 스테이지부(13)는 도 6에 도시하는 바와 같이 상기 스테이지부(13)는 x축으로 이동하는 x축 수평이동부(18)로 구성된다.
상기 x축 수평이동부(18)의 전방에 설치된 복수개의 고정축(18a)이 서로 거리를 두고 설치되고, 상기 고정축(18a)에 관통 삽입설치되고 모터(M)의 구동축과 연결되는 구동아암(18b)으로 구성된다.
상기 구동아암(18b)의 외주연에 결합되는 복수개의 이동구(18c)와 상기 이동구(18c)들의 전방에 설치된 이동부(18d)로 구성된다.
상기 x축 수평이동부(18)에 설치되어 y축으로 이동하는 y축 수직이동부(19)로 구성된다.
상기 y축 수직이동부(19)는 상기 이동부(18d)상에 설치된 실린더(19a)로 구성된다.
상기 실린터(19a)의 하부를 회전시키도록 모터(M)의 구동축(19c)과 상기 실린더(19a)의 하부와 연결되고, 상기 실린더(19a)에서 입출되는 로드(19b)와, 상기 로드(19b)의 상부에 설치되는 스테이지부(13)로 구성된다.
이와 같이 상기 x축 수평이동부(18)와 상기 y축 수직이동부(19)로 구성하는 것은 상기 스테이지부(13)상에 리드프레임(100)을 보다 정밀하고 입체적으로 상기 엑스레이튜브(11) 및 상기 디텍터(12)로 검사하기 위함이다.
또한, 상기 디텍터(12)는 도 2에 도시하는 바와 같이, 상기 디텍터(12)는 상기 스테이지부(13)의 하부 전방에 설치된 가이드레일(14)상에 형성된 원호(15)상에서 이동하는 원호이동디텍터(12a)로 구성된다.
상기 스테이지부(13)의 하부에 위치하고 상기 가이드레일(14)의 후방우측에 설치된 고정디텍터(12b)로 구성된다.
상기와 같이 상기 원호이동디텍터(12a)와 상기 고정디텍터(12b)로 구성하는 것은 상기 엑스레이튜브(11)로 인한 박막의 상기 리드프레임(100)상에 다수개의 플립칩 및 IC칩들을 상기 원호이동디텍터(12a)로 3D영상으로 촬상하고, 박막의 상기 리드프레임(100)상에 다수개의 플립칩 및 IC칩들을 상기 고정디텍터(12a)로 2D영상으로 촬상하여 박막의 리드프레임(100)을 입체적이고, 정밀하게 검사하기 위함이다.
즉, 입체적이라함은 박막의 상기 리드프레임(100)상을 상기 고정디텍터(12b)와 상기 원호이동디텍터(12a)로 2D 및 3D로 구현되는 영상장치(미도시)로 검사하여 불량 리드프레임(100)을 신속하고 정확하게 가려내기 위함이다.
상기 투입매거진부(20)는 도 1 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 상기 투입매거진부(20)는 상기 프레임(10)의 좌측에 설치되어 구성된다.
또한, 상기 투입매거진부(20)의 내측에 다수개로 적층된 리드프레임(100)을 후술되는 x,y축 수평수직이동 및 픽업부(30)로 상기 회전정렬부(40)로 투입하도록 구성된다.
상기 리드프레임(100)의 상부면에 다수개로 정렬된 IC칩들 또는 플립칩들로 구성된 것을 말한다.
또한, 상기 투입매거진부(20)는 도 3에 도시하는 바와 같이, 내측에 상기 리드프레임(100)이 적층되게 적층공간부(22)가 형성되어 구성된다.
즉, 상기 적층공간부(22)에 상기 리드프레임(100)이 다수개로 상,하로 적층되어 구성된다.
본체(21)는 전방하부에 상기 리드프레임(100)이 배출되는 배출구(23)가 형성된다
상기 리드프레임(100)을 상기 배출구(23)로 인출되게 밀어주게 상기 본체(21)의 후방에 푸쉬부(26)가 설치되어 구성되어 구성된다.
상기 푸쉬부(26)는 상기 적층공간부(22)에 적층된 상기 리드프레임(100)들중 하부에 있는 상기 리프레임(100)부터 순차적으로 상기 배출구(23)로 인출되게 한다.
이와 같이 상기 투입매거진부(20)를 구성하는 것은 상기 투입매거진부(20)내에 적층된 다수개의 상기 리드프레임(100)을 후술되는 상기 회전정렬부(40)로 신속하게 공급하게 하기 위함이다.
또한, 상기 투입매거진부(20)는 상기 프레임(10)의 좌측에 설치된 이동컨베이어부(24)상에 다수개로 설치되어 이동되게 구성된다.
또한, 상기 이동컨베이어부(24)의 좌측 또는 우측에 스토퍼(25)가 설치된다.
상기 스토퍼(25)는 상기 이동컨베이어부(24)상에 설치된 상기 투입매거진부(20)의 외측이 걸쳐 더이상 우측으로 진행되는 것을 방지하도록하고, 상기 스토퍼(25)에 상기 투입매거진부(20)의 우측이 걸릴경우 상기 이동컨베이어부(24)를 정지하도록 구성된다.
또한, 상기 투입매거진부(20)의 상기 배출구(23) 전방에 설치되어 상기 리드프레임(100)을 우측으로 공급하는 제1이송안내부(27)로 구성된다.
또한, 상기 제1이송안내부(27)의 우측에 위치하여 상기 제1이송안내부(27)로 상기 리드프레임(100)을 공급받어 상기 회전정렬부(40)로 공급하는 제1푸쉬부(28)로 구성된다.
상기 제1이송안내부(27)는 상기 투입매거진부(20)에서 상기 리드프레임(100)을 공급받아 상기 제1푸쉬부(28)로 공급하면, 상기 제1푸쉬부(28)의 상기 리드프레임(100)을 후술되는 상기 x,y축 수평수직이동 및 픽업부(30)가 픽업하여 상기 회전정렬부(40)로 이동시켜준다.
상기 x,y축 수평수직이동 및 픽업부(30)는 도 1, 도 2, 도 5에 도시하는 바와 같이, 상기 x,y축 수평수직이동 및 픽업부(30)는 상기 프레임(10)의 후방에 설치되어 x축으로 이동되는 x축 수평이동부(31)로 구성된다.
상기 x,y축 수평수직이동 및 픽업부(30)는 상기 회전정렬부(40)의 후방 및 상기 수집매거진부(60)의 좌측에 각각 설치되어 구성된다.
상기 x축 수평이동부(31)에서 y축으로 이동되는 y축 수직이동부(32)로 구성된다.
상기 y축 수직이동부(32)의 하부에 상기 투입매거진부(20)에서 공급되는 상기 리드프레임(100)을 진공흡입하는 진공흡입부(33)로 구성된다.
상기 진공흡입부(33)는 진공발생장치(미도시)에 의해 발생되는 진공을 공급받도록 구성된다.
또한, 상기 진공흡입부(33)는 다수개로 설치되어 구성된다.
이와 같이 상기 진공흡입부(33)로 다수개로 설치되는 것은 상기 리드프레임(100)의 상부를 안정적으로 흡착하여 이동하기 위함이다.
상기 진공흡입부(33)는 도 5에 도시하는 바와 같이, 3개로 구성되는 것이 바람직하나 그 갯수에 제한 받지 않고 구성할 수 있다.
상기 진공흡입부(33)들은 상기 리드프레임(100)의 상부면을 진공흡착하도록 구성된다.
상기 회전정렬부(40)는 도 1, 도 2, 도 8에 도시하는 바와 같이, 상기 회전정렬부(40)는 상기 진공흡입 x,y축 수평수직이동 및 픽업부(30)에 의해 공급되는 상기 리드프레임(100)을 회전 정렬시키도록 구성된다.
또한, 도 8에 도시하는 바와 같이, 상기 회전정렬부(40)는 하부에 모터(M)에 의해 회전되는 회전판(41)으로 구성된다.
상기 회전판(41)의 전,후방 및 우측에 형성된 지지턱(42)으로 구성된다.
상기 회전판(41)의 좌측에 형성된 입출개구부(43)로 구성된다.
상기 지지턱(42)들의 내측 및 상기 회전판(41)의 상부에 형성되어 리드프레임(100)이 안착되는 안착공간부(44)로 구성된다.
상기 안착공간부(44)의 중앙에 형성된 진공흡입공(45)로 구성된다.
상기 입출개구부(43)로 입출하여 상기 지지턱(42)들의 내측 및 상기 안착공간부(44)에 리드프레임(100)을 고정하는 가압부(46a)를 갖는 가압부재(46)로 구성된다.
상기 진공흡입공(45)은 진공발생장치(미도시)에서 발생된 진공을 공급받고, 상기 진공흡입공(45)에서 진공이 공급 및 차단으로 상기 리드프레임(100)의 하부를 고정 및 이탈시키도록 한다.
상기 흡착회전검사부(50)는 도 1, 도 2, 도 7에 도시하는 바와 같이, 상기 흡착회전검사부(50)는 회전정렬된 상기 리드프레임(100)을 상기 진공흡입 x,y축 수평수직이동 및 픽업부(30)로 상기 스테이지부(13)상에 이동시킨다.
그리고 상기 흡착회전검사부(50)는 상기 스테이지부(13)상에 설치되어 상기 리드프레임(100)을 진공흡입 및 회전시키도록 구성된다.
또한, 도 7에 도시하는 바와 같이, 상기 흡착회전검사부(50)의 상기 스테이지부(13)상에 설치되는 안착부(70)로 구성된다.
상기 안착부(70)내측에 진공흡입공간(70a)이 형성되고, 상기 안착부(70)의 내주연에 형성된 안착턱(71)에 다수개의 통공(71a)을 갖는 안착베드(72)가 설치되어 구성된다.
상기 안착베드(72)상에 상기 리드프레임(100)의 하부가 안착되고, 상기 안착부(70)의 하부중앙에 상기 리드프레임(100)의 하부를 진공흡입하는 진공흡입공(73)을 갖는 진공흡입부(74)로 구성된다.
상기 진공흡입부(74)에 진공을 공급하는 진공발생부(75)로 구성된다.
상기 통공(71a)들 및 상기 진공흡입공(73)은 진공을 발생 차단하여 상기 리드프레임(100)의 하부가 상기 안착베드(72)상에서 고정 및 이탈하도록 구성된다.
이와 같은 상기 리드프레임(100)의 상부면에 다수개로 정렬된 IC칩들 또는 플립칩들을 상기 엑스레이튜브(11) 및 디텍터(12)로 검사하여 상기 리드프레임(100)상에 구성된 IC칩들 또는 플립칩들중에서 불량인 칩들을 검사하도록 하기 위함이다.
상기 수집매거진부(60)는 도 1, 도 4에 도시하는 바와 같이, 상기 흡착회전검사부(50)에서 상기 엑스레이튜브(11) 및 디텍터(12)로 검사된 상기 리드프레임(100)을 상기 진공흡입 x,y축 수평수직이동 및 픽업부(30)로 상기 프레임(10)의 우측에서 수집하여 적층시키도록 구성된다.
상기 수집매거진부(60)는 상부에 투입구(61)가 형성되어 내부에 엑스레이검사된 상기 리드프레임(100)이 적층되는 본체(62)로 구성된다.
즉, 상기 본체(62)내에 상기 리드프레임(100)이 순차적으로 하부에서 상부로 적층되게 구성된다.
또한, 상기 수집매거진부(60)는 정상인 상기 리드프레임(100)을 수집하는 정상수집매거진부(60a)로 구성된다.
그리고 불량인 상기 리드프레임(100)을 수집하는 불량수집매거진부(60b)로 구성된다.
또한, 상기 흡착회전검사부(50)에서 엑스레이튜브(11)에 검사되어 정상인 상기 리드프레임(100)을 이송시키는 제2푸쉬부(28a)로 구성된다.
상기 제2푸쉬부(28a)의 우측에 설치되어 상기 제2푸쉬부(28a)에서 공급하는 정상인 상기 리드프레임(100)을 상기 정상수집매거진부(60a)에 공급하는 제2공급부(27a)로 구성된다.
상기 흡착회전검사부(50)에서 엑스레이튜브(11)에 검사되어 불량인 상기 리드프레임(100)을 이송시키는 제3푸쉬부(28b)로 구성된다.
상기 제3푸쉬부(28b)의 우측에 설치되어 상기 제3푸쉬부(28b)에서 공급하는 정상인 상기 리드프레임(100)을 상기 불량수집매거진부(60b)에 공급하는 제3공급부(27b)로 구성된다.
이와 같이 상기 수집매거진부(60)를 상기 정상수집매거진부(60a)와 상기 불량수집매거진부(60b)로 구성하여 상기 리드프레임(100)을 상기 엑스레이튜브(11) 및 상기 디텍터(12)로 신속하고 입체적으로 검사하여 정상인 리드프레임(100)과 불량인 리드프레임(100)를 자동으로 분리수집하여 이를 사용하는 사용자에게 편리감을 주도록 하기 위함이다.
도 9는 본 발명에 따른 투입매거진부의 다른실시예를 나타낸 것으로서, 상기 투입매거진부(20)의 상,하로 가압하도록 상,하로 거리를 두고 복수개로 설치된 가압승강부재(80a,80b)로 구성된다.
상기 가압승강부재들(80a,80b)이 전방에 설치되는 승강부(81)로 구성된다.
상기 승강부(81)의 후방이 전방에 설치되어 상기 승강부(81)를 승강안내하는 리프트부(82)로 구성된다.
상기 투입매거진부(20)에 상,하로 적층된 리드프레임(100)을 전방으로 밀어주는 밀대부(83)로 구성된다.
도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 다른실시예를 나타낸 것으로서, 상기 프레임(10)의 후방우측에 상기 엑스레이튜브(11) 및 상기 디텍터(12)로 검사 완료된 상기 리드프레임(100)을 푸쉬부(26)로 상부에서 하부로 순차적으로 내부에 수집하는 재수집매거진부(20a)로 구성된다.
또한, 상기 재수집매거진부(20a)의 하부를 상부에 안착시키는 이송컨베이어(24a)로 구비된 매거진수집부(200)로 구성된다.
상기 재수집매거진부(20a)의 내측에 상기 리드프레임(100)이 적층되게 적층공간부(22a))가 형성되어 구성된다.
본체(21)는 후방에는 상기 리드프레임(100)이 상기 적층공간부(22a)에 투입되게 투입구(23a)가 형성된다
상기 리드프레임(100)을 상기 투입구(23a)를 통해 상기 적층공간부(22a)에 수용되게 상기 재수집매거진부(20a)d의 후방에 푸쉬부(26a)가 설치되어 구성되어 구성된다.
또한, 상기 재수집매거진부(20a)는 상기 프레임(10)의 후방우측에 설치된 이동컨베이어부(24a)상에 다수개로 설치되어 이동되게 구성된다.
또한, 상기 이동컨베이어부(24a)의 좌측에 스토퍼(25a)가 설치된다.
상기 스토퍼(25a)는 상기 이동컨베이어부(24a)상에 설치된 상기 재수집매거진부(20a)의 외측이 걸쳐 더이상 좌측으로 진행되는 것을 방지하도록하고, 상기 스토퍼(25a)에 상기 재수집매거진부(20a)의 우측이 걸릴경우 상기 이동컨베이어부(24a)를 정지하도록 구성된다.
이상에서 설명된 본 발명에 따른 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 고안의 정신과 그 범위내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
10: 프레임 11: 엑스레이튜브 12: 디텍터 12a: 원호이동디텍터 12b: 고정디텍터 13: 스테이지부 14: 가이드레일 15: 원호 18: x축 수평이동부 18a: 고정축 18b: 구동아암 18c: 이동구 18d: 이동부 19: y축 수직이동부 19a: 실린더 19b: 로드 19c: 구동축 20: 투입매거진부 20a: 재수집매거진부 21: 본체 22, 22a: 적층공간부 23: 배출구 23a: 투입구 24, 24a: 이송컨베이어부 25, 25a: 스토퍼 26, 26a: 푸쉬부 27: 제1이송안내부 27a: 제2공급부 27b: 제3공급부 28: 제1푸쉬부 28a: 제2푸쉬부 28b: 제3푸쉬부 30: x,y축 수평수직이동 및 픽업부 31: x축 수평이동부 32: y축 수직이동부 33: 진공흡입부 40: 회전정렬부 41: 회전판 42: 지지턱 43: 입출개구부 44: 안착공간부 45: 진공흡입공 46: 가압부재 46a: 가압부 50: 흡착회전검사부 60: 수집매거진부 60a: 정상수집매거진부 60b: 불량수집매거진부 61: 투입구 62: 본체 70: 안착부 71: 안착홈 72: 진공흡입공 73: 진공흡입부 74: 진공발생부 80: 가압승강부재 81: 승강부 82: 리프트부 83: 가압부 90: 매거진공급부 100; 리드프레임 200: M: 모터

Claims (17)

  1. 상부에는 엑스레이튜브(11)가 설치되고, 하부에는 디텍터(12)가 설치된 스테이지부(13)로 구성된 프레임(10)과;
    상기 프레임(10)의 좌측에 설치되어 내측에 적층된 리드프레임(100)을 투입하는 투입매거진부(20)와;
    상기 프레임(10)의 후방에 설치되어 x축으로 이동되는 x축 수평이동부(31)와, 상기 x축 수평이동부(31)에서 y축으로 이동되는 y축 수직이동부(32)와, 상기 y축 수직이동부(32)의 하부에 상기 투입매거진부(20)에서 공급되는 상기 리드프레임(100)을 진공흡입하는 진공흡입부(33)로 구성된 x,y축 수평수직이동 및 픽업부(30)와;
    상기 x,y축 수평수직이동 및 픽업부(30)에 의해 공급되는 상기 리드프레임(100)을 회전 정렬시키는 회전정렬부(40)와;
    회전정렬된 상기 리드프레임(100)을 상기 진공흡입 x,y축 수평수직이동 및 픽업부(30)로 상기 스테이지부(13)상에 이동시키고, 상기 스테이지부(13)상에 설치되어 상기 리드프레임(100)을 진공흡입 및 회전시키는 흡착회전검사부(50)와;
    상기 흡착회전검사부(50)에서 상기 엑스레이튜브(11) 및 디텍터(12)로 검사된 상기 리드프레임(100)을 상기 진공흡입 x,y축 수평수직이동 및 픽업부(30)로 상기 프레임(10)의 우측에서 수집하여 적층시키는 수집매건진부(60)로 구성되고,
    상기 디텍터(12)는 상기 스테이지부(13)의 하부 전방에 설치된 가이드레일(14)상에 형성된 원호(15)상에서 이동하는 원호이동디텍터(12a)와, 상기 스테이지부(13)의 하부에 위치하고 상기 가이드레일(14)의 후방우측에 설치된 고정디텍터(12b)로 구성되는 리드프레임의 엑스레이검사장치에 있어서,
    상기 투입매거진부(20)는 내측에 상기 리드프레임(100)이 적층되게 적층공간부(22)가 형성되고, 전방하부에 상기 리드프레임(100)이 배출되는 배출구(23)가 형성된 본체(21)와, 상기 리드프레임(100)을 상기 배출구(23)로 인출되게 밀어주게 상기 본체(21)의 후방에 푸쉬부(26)가 설치되어 구성되는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 엑스레이장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 흡착회전검사부(50)에서 엑스레이튜브(11)에 검사되어 정상인 상기 리드프레임(100)을 이송시키는 제2푸쉬부(28a)와, 상기 제2푸쉬부(28a)의 우측에 설치되어 상기 제2푸쉬부(28a)에서 공급하는 정상인 상기 리드프레임(100)을 정상수집매거진부(60a)에 공급하는 제2공급부(27a)와, 상기 흡착회전검사부(50)에서 엑스레이튜브(11)에 검사되어 불량인 상기 리드프레임(100)을 이송시키는 제3푸쉬부(28b)와, 상기 제3푸쉬부(28b)의 우측에 설치되어 상기 제3푸쉬부(28b)에서 공급하는 정상인 상기 리드프레임(100)을 불량수집매거진부(60b)에 공급하는 제3공급부(27b)로 구성되는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 엑스레이장치.
  11. 삭제
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 스테이지부(13)는 x축으로 이동하는 x축 수평이동부(18)와, 상기 x축 수평이동부(18)의 전방에 설치된 복수개의 고정축(18a)이 서로 거리를 두고 설치되고, 상기 고정축(18a)에 관통 삽입설치되고 모터(M)의 구동축과 연결되는 구동아암(18b)과, 상기 구동아암(18b)의 외주연에 결합되는 복수개의 이동구(18c)와 상기 이동구(18c)들의 전방에 설치된 이동부(18d)로 구성되고, 상기 x축 수평이동부(18)에 설치되어 y축으로 이동하는 y축 수직이동부(19)와, 상기 y축 수직이동부(19)는 상기 이동부(18d)상에 설치된 실린더(19a)와, 상기 실린더(19a)의 하부를 회전시키도록 모터(M)의 구동축(19c)과 상기 실린더(19a)의 하부와 연결되고, 상기 실린더(19a)에서 입출되는 로드(19b)와, 상기 로드(19b)의 상부에 설치되는 스테이지부(13)로 구성되는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 엑스레이검사장치.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 흡착회전검사부(50)의 상기 스테이지부(13)상에 설치되는 안착부(70)와, 상기 안착부(70)내측에 진공흡입공간(70a)이 형성되고, 상기 안착부(70)의 내주연에 형성된 안착턱(71)에 다수개의 통공(71a)을 갖는 안착베드(72)가 설치되고, 상기 안착베드(72)상에 상기 리드프레임(100)의 하부가 안착되고, 상기 안착부(70)의 하부중앙에 상기 리드프레임(100)의 하부를 진공흡입하는 진공흡입공(73)을 갖는 진공흡입부(74)와, 상기 진공흡입부(74)에 진공을 공급하는 진공발생부(75)로 구성되는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 엑스레이검사장치.
  14. 제 1항에 있어서,
    상기 회전정렬부(40)는 하부에 모터(M)에 의해 회전되는 회전판(41)과, 상기 회전판(41)의 전,후방 및 우측에 형성된 지지턱(42)과, 상기 회전판(41)의 좌측에 형성된 입출개구부(43)와, 상기 지지턱(42)들의 내측 및 상기 회전판(41)의 상부에 형성되어 리드프레임(100)이 안착되는 안착공간부(44)와, 상기 안착공간부(44)의 중앙에 형성된 진공흡입공(45)과, 상기 입출개구부(43)로 입출하여 상기 지지턱(42)들의 내측 및 상기 안착공간부(44)에 리드프레임(100)을 고정하는 가압부(46a)를 갖는 가압부재(46)로 구비되는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 엑스레이검사장치.
  15. 삭제
  16. 제 1항에 있어서,
    상기 투입매거진부(20)의 상,하로 가압하도록 상,하로 거리를 두고 복수개로 설치된 가압승강부재(80a,80b)와, 상기 가압승강부재들(80a,80b)이 전방에 설치되는 승강부(81)와, 상기 승강부(81)의 후방이 전방에 설치되어 상기 승강부(81)를 승강안내하는 리프트부(82)와, 상기 투입매거진부(20)에 상,하로 적층된 리드프레임(100)을 전방으로 밀어주는 밀대부(83)를 갖는 매거진공급부(90)로 구성되는 것을 특징으로 하는 리드프레임 엑스레이장치.
  17. 제 1항에 있어서,
    상기 프레임(10)의 후방우측에 상기 엑스레이튜브(11) 및 상기 디텍터(12)로 검사 완료된 상기 리드프레임(100)을 푸쉬부(26)로 상부에서 하부로 순차적으로 내부에 수집하는 재수집매거진부(20a)와, 상기 재수집매거진부(20a)의 하부를 상부에 안착시키는 이송컨베이어(24a)로 구비된 매거진수집부(200)로 구성되는 것을 특징으로 하는 리드프레임 엑스레이장치.
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