KR101059617B1 - Fabric Support Device - Google Patents

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KR101059617B1 KR1020080083340A KR20080083340A KR101059617B1 KR 101059617 B1 KR101059617 B1 KR 101059617B1 KR 1020080083340 A KR1020080083340 A KR 1020080083340A KR 20080083340 A KR20080083340 A KR 20080083340A KR 101059617 B1 KR101059617 B1 KR 101059617B1
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노리오 고코
도시히사 다니구치
아츠시 사카이다
도미카즈 이시카와
게이지 오카모토
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가부시키가이샤 덴소
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Abstract

기체에 의해 부상(浮上)시킴으로써 파손이나 흠을 내는 일 없이 반송할 수 있는 제작물 지지 장치를 제공한다. 통기성(通氣性) 다공(多孔) 시트(sheet)(14)를, 소정 간격마다 배치한 부착 부재(13)에 의해 지지해서, 통기성 다공 시트(14) 하면 측에 밀폐 공간(15)을 구획(區劃)해 이루고, 이 밀폐 공간(15)에 가압(加壓) 기체 공급원(16)을 접속한다. 통기성 다공 시트(14)는, 부착 부재(13)와의 부착 개소 사이마다 볼록 형상으로 팽출시키는 것과 더불어, 부착 부재(13) 상에 형성되는 공간(17)에 기체를 체류시키도록 하고 있다.Provided is a production support device that can be transported without being damaged or scratched by floating by gas. The air permeable porous sheet 14 is supported by the attachment member 13 arranged at predetermined intervals, and the sealed space 15 is partitioned on the lower surface side of the air permeable porous sheet 14 ( 이루), and pressurized gas supply source 16 is connected to this sealed space 15. As shown in FIG. The air permeable porous sheet 14 bulges in a convex shape between the attachment points with the attachment member 13, and keeps gas in the space 17 formed on the attachment member 13. As shown in FIG.

Description

제작물 지지 장치{WORKPIECE SUPPORTING SYSTEM}Work support device {WORKPIECE SUPPORTING SYSTEM}

본 발명은, 반도체 기판, 액정 기판 등의 제작물 지지 장치에 관한 것으로, 기체에 의해 부상시킴으로써, 파손이나 흠을 내는 일 없이 반송할 수 있는 제작물 지지 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a production support device for semiconductor substrates, liquid crystal substrates, and the like, and relates to a production support device that can be transported without causing damage or scratch by floating by gas.

예를 들면, 정밀기기 분야 등의 생산 공정에 있어서는, 미소(微小)하지만, 제작물에 흠이 나든가, 더럽게 되는 것은 불량 요인으로 되어 허용되지 않기 때문에, 일반적으로 기체를 이용해서 비접촉식 상태로 제작물을 지지해서 반송하는 방식이 채용되고 있다. For example, in the production process of the field of precision instruments, it is microscopic, but it is not acceptable to have a flaw or dirt on the production because it is not acceptable. The method of supporting and conveying is employ | adopted.

예를 들면, 특허 문헌 1에서는, 공기(air) 부상 반송 장치가 개시되어 있지만, 이 공기 부상 반송 장치는, 평면 기판의 반송 방향의 아래쪽에 배치된 공기 부상 유닛으로부터 공기를 분출해서 평면 기판을 부상시키면서, 이송 기구에 의해 전방(前方)으로 이송시키도록 한 것으로서, 평면 기판의 반송 방향의 선단(先端)에 위치하는 공기 부상 유닛의 하류단(下流端) 근방에 평면 기판의 부상량(浮上量)을 크게 하는 기구를 설치해서, 평면 기판과 공기 부상 유닛이 간섭해서 파손이나, 흠을 내는 일이 없도록 한 것이다.For example, Patent Document 1 discloses an air floating conveying device, but the air floating conveying device ejects air from an air floating unit disposed below the conveying direction of the flat substrate to float the flat substrate. The amount of floating of the flat substrate in the vicinity of the downstream end of the air floating unit located at the front end of the conveying direction of the flat substrate is to be transferred forward by the transfer mechanism. ) Is provided so that the flat board | substrate and the air floating unit do not interfere, and a damage or a flaw are not made.

(특허 문헌 1)(Patent Document 1)

일본국 특개2006-222209호 공보JP 2006-222209 A

한편, 특허 문헌 2에서는, 대형의 기판에 레지스트 부착 필름을 첨부하는 장치에 이용되는 기판 반송 시스템을 개시하고 있으며, 기판 부상 플레이트에 의해 기판에 하면으로부터 공기를 뿜어냄으로써 부상시키고, 기판 단부(端部)를 기판의 반송 경로에 따라 설치된 반송용 롤러로써 사이에 끼워서 반송하도록 하고 있다. On the other hand, Patent Document 2 discloses a substrate conveying system used for an apparatus for attaching a film with a resist to a large substrate, which is floated by blowing air from the lower surface to the substrate by the substrate floating plate, thereby raising the substrate end portion. ) Is sandwiched by a conveyance roller provided along the conveyance path of the substrate.

(특허 문헌 2)(Patent Document 2)

일본국 특개2002-151571호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-151571

또한, 도 4에 나타내는 제작물 지지 장치(1)와 같이, 가압 기체 공급원(2)으로부터 가압 기체를, 일시적으로 충만(充滿)시키는 헤드 공간(head space)(3)을 통해, 1면에 다수의 작은 구멍(h)을 갖는 지지판(4)으로부터 보내서, 제작물(W)을 지지하는 구성의 것이 있다. In addition, like the production support device 1 shown in FIG. 4, a plurality of surfaces are provided on one surface through a head space 3 that temporarily fills the pressurized gas from the pressurized gas supply source 2. There exists a thing of the structure which sends from the support plate 4 which has the small hole h, and supports the product W. FIG.

이 방식에서는, 제작물(W)의 질량과 기체 유량의 밸런스를 조정함으로써 안정성을 얻도록 하고 있다.In this system, stability is obtained by adjusting the balance between the mass of the product W and the gas flow rate.

이렇게, 상기 제작물 지지 장치(1)는 기체의 압력에 의해 제작물(W)을 지지하는 것이기 때문에, 특히 비접촉 방식을 필요로 하는 정밀 제작물의 지지용으로서 적합하다고 할 수 있다.In this way, since the article support apparatus 1 supports the article W by the pressure of the gas, it can be said to be particularly suitable for supporting a precision article that requires a non-contact method.

정밀 제작물은, 웨이퍼, 기판, 유리판 등 얇고 가벼운 플레이트 형상이기 때문에, 기체의 유량을 미소하게 제어하는 것이 필요하게 되고, 지지판(4)에는 펀칭 메탈(punching metal; Pm)이나 소결 플레이트(Ps) 등의 다공질재(多孔質材)가 주로 이용되고 있다(도 6, 도 7 참조). 펀칭 메탈(Pm)은, 1면에, 10mm 간격으로 형성된 지름 5mm 정도의 작은 구멍(h)을 가지고 있다. 또한, 소결 플레이트(Ps)에서는, 다공질재(S) 표면을 유리재(G)로 피복하고, 1면에 50mm 간격으로, 지름 30mm의 작은 구멍(h)을 형성하고 있다.Since precision products are thin and light plate shapes such as wafers, substrates, and glass plates, it is necessary to control the flow rate of the gas minutely, and the supporting plate 4 includes punching metal (Pm), sintered plate (Ps), The porous material of is mainly used (refer FIG. 6, FIG. 7). The punching metal Pm has a small hole h having a diameter of about 5 mm formed at 10 mm intervals on one surface. In the sintered plate Ps, the surface of the porous material S is covered with the glass material G, and small holes h having a diameter of 30 mm are formed on one surface at 50 mm intervals.

그러나 최근, 정밀 제품의 고밀도화가 진행되고, 취급하는 제작물(W)은 더욱 박화(薄化)해 필름 상태 제작물(W)이 되어 있다. 이러한 제작물(W)을 안정적으로 지지하기 위해서는, 더욱 미묘(微妙)한 기체 유량의 조정이 요구되는 것에 대해, 펀칭 메탈(Pm)이나 소결 플레이트(Ps)에서는 구조상, 유량의 제어에는 한계가 있어, 대응이 어렵다.However, in recent years, the densification of precision products advances, and the manufactured product W handles is further thinned and becomes the film-form manufactured product W. As shown in FIG. In order to stably support such a manufactured product W, the control of the flow rate is limited in the punching metal Pm or the sintered plate Ps, while the adjustment of a more delicate gas flow rate is required. It is difficult to respond.

예를 들면 0.1MPa의 원압(元壓)을 걸었을 때에, 펀칭 메탈(Pm)이나 소결 플레이트(Ps)와 같은 지지판(4)으로부터 분출시키는 기체의 유량을 0.5NL/min/cm2 이하로 하는 것은 현 상태에서는 곤란하고, 이 유량으로서는 최근의 두께 10㎛ 오더(order)의 필름 상태 제작물(W)에서는, 제작물(W)의 질량과 기체 유량과의 밸런스가 무너져, 소위 파도 물결이나 팽창이 일어나, 지지 자세가 불안정하게 된다(도 5 참조).For example, when a 0.1 MPa original pressure is applied, the flow rate of the gas blown out from the supporting plate 4 such as the punching metal Pm or the sintered plate Ps is 0.5 NL / min / cm 2 or less. This is difficult in the present state, and as this flow rate, in the film state manufactured article W having a recent thickness of 10 µm order, the balance between the mass of the manufactured article W and the gas flow rate collapses, so-called wave wave and expansion occur. , The support posture becomes unstable (see FIG. 5).

또한, 지지면이 펀칭 메탈(Pm)이나 소결 플레이트(Ps)에서는, 자세가 불안정해진 제작물(W)이 접촉하였을 때, 제작물(W) 표면이 흠이 생길 우려가 있다.In addition, in the punching metal Pm or the sintered plate Ps, when the support surface W which the posture became unstable contacted, there exists a possibility that the surface of the goods W may be damaged.

그 때문에, 더욱 경량으로 박화(薄化)한 필름 상태 제작물(W)에서도 안정된 자세로 지지할 수 있고, 또한 제작물(W)이 접촉하였을 경우라도, 흠이 생기게 하는 일이 없는, 지지 장치가 요구되고 있다.Therefore, the support apparatus which can support in the stable posture also in the film-form manufactured product W which is thinner and lighter in weight, and does not produce a flaw even when the manufactured product W contacts is required. It is becoming.

본 발명은, 이상과 같은 배경으로부터 제안된 것으로, 통기 저항이 더욱 큰 통기성 다공 시트(sheet)를 지지면으로서 이용함으로써, 지지면 전체로부터, 제어된 미소 유량의 기체를 방출시켜서, 경량 박화(薄化) 제작물의 안정적인 지지를 가능하게 한, 제작물 지지 장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.The present invention has been proposed from the above background, and by using a breathable porous sheet having a higher airflow resistance as a support surface, it is possible to release a gas of a controlled minute flow rate from the entire support surface, thereby making it light and thin. It is an object of the present invention to provide a production support apparatus that enables stable support of a production.

상기의 과제를 해결하기 위해서, 청구항 1에 기재한 발명에서는, 기체(基體)(11)와, 기체(11) 상에 배치된 프레임 부재(12)와, 프레임 부재(12) 내측의 기체(11) 상에 배치된 적어도 하나의 부착 부재(13)와, 상기 프레임 부재(12)와 상기 부착 부재(13)에 의해 지지되고, 상기 프레임 부재(12)와 상기 부착 부재(13)와의 사이에서 볼록 형상으로 팽출하는 통기성 다공 시트(14)와, 상기 통기성 다공 시트(14)와 상기 프레임 부재(12)와, 상기 기체(11)에 의해 구획되어 이루어진 밀폐 공간(15)에 가압 기체를 공급하는 가압 기체 공급원(16)을 구비하고, 상기 프레임 부재(12)와 상기 부착 부재(13) 사이에서 볼록 형상으로 팽출하는 개소에서는, 상기 통기성 다공 시트(14)로부터 분출하는 기체에 의해 제작물(W)을 지지함과 더불어, 상기 볼록 형상으로 팽출하는 개소 이외에서는, 상기 부착 부재(13) 상에서, 상기 볼록 형상으로 팽출한 상기 통기성 다공 시트(14)와 상기 제작물(W)로 둘러싸인 공간(17)에 상기 기체를 체류시켜서 기체층을 형성하고, 상기 기체층의 기체압에 의해 상기 제작물(W)을 지지하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the said subject, in invention of Claim 1, the base body 11, the frame member 12 arrange | positioned on the base body 11, and the base body 11 inside the frame member 12 were made. Supported by the at least one attachment member 13 and the frame member 12 and the attachment member 13, and convex between the frame member 12 and the attachment member 13. Pressurized gas is supplied to the air-permeable porous sheet 14 which swells in the shape, the air-permeable porous sheet 14, the frame member 12, and the sealed space 15 partitioned by the base 11. At the point where the pressurized gas supply source 16 is provided and it bulges in convex shape between the said frame member 12 and the said attachment member 13, the workpiece | work W is blown off by the gas which blows off from the said porous porous sheet 14 ), And at the place other than the bulge in the convex shape, On the attachment member 13, a gas layer is formed by retaining the gas in the space 17 surrounded by the air permeable porous sheet 14 and the product W, which are expanded in the convex shape, thereby forming a gas layer. The article W is supported by pressure.

이것에 의해, 가압 기체 공급원(16)에 의해 가압 기체가 공급되면, 통기성 다공 시트(14)로부터, 통기성 다공 시트(14)에서의 높은 통기 저항에 의해 제어된 미소 유량의 기체가 분출하여, 통기성 다공 시트(14) 상면에 탑재되는 제작물(W)과의 사이에, 기체층이 형성된다.Thereby, when pressurized gas is supplied by the pressurized gas supply source 16, the gas of micro flow volume controlled by the high ventilation resistance in the breathable porous sheet 14 blows off from the breathable porous sheet 14, and is breathable The base layer is formed between the workpiece | work W mounted on the upper surface of the porous sheet 14.

이때, 통기성 다공 시트(14)의 부착 부재(13) 상에 형성되는 공간(17)에, 분출된 기체가 체류하기 때문에, 제작물(W)이 얇은 필름 상태의 시트이어도, 전체가 소정의 기체 압력으로 지지될 수 있어, 안정되게 제작물(W)을 지지할 수 있다.At this time, since the ejected gas stays in the space 17 formed on the attachment member 13 of the breathable porous sheet 14, even if the product W is a sheet of a thin film state, the whole is a predetermined gas pressure. It can be supported by, it can support the article (W) to be stable.

청구항 2에 기재한 발명에서는, 부착 부재(13)는 기체(11) 상에 모서리부로서 구성한 것을 특징으로 한다.In the invention described in claim 2, the attachment member 13 is configured as a corner portion on the base 11.

이것에 의해, 통기성 다공 시트(14)를 지지하는 모서리부 형상의 부착 부재(13) 상에는, 분출하는 기체를 체류시키는 공간이 형성된다.Thereby, the space which keeps gas which blows off is formed on the edge-shaped attachment member 13 which supports the breathable porous sheet 14.

청구항 3에 기재한 발명에서는, 부착 부재(13)는 기체(11) 상에 주상부(柱狀部)로서 구성한 것을 특징으로 한다.In the invention described in claim 3, the attachment member 13 is configured as a columnar portion on the base 11.

이것에 의해, 통기성 다공 시트(14)를 지지하는 주상(柱狀)의 부착 부재(13) 상에는, 분출하는 기체를 체류시키는 공간이 형성된다.Thereby, on the columnar attachment member 13 which supports the breathable porous sheet 14, the space which keeps gas which blows off is formed.

청구항 4에 기재한 발명에서는, 밀폐 공간(15)은, 서로 연통시킨 것을 특징으로 한다.In the invention described in claim 4, the sealed spaces 15 are in communication with each other.

이것에 의해, 모든 밀폐 공간(15)에 빈틈없이, 기체를 널리 퍼지게 할 수 있다.Thereby, gas can be spread widely in all the sealed spaces 15 without gap.

청구항 5에 기재한 발명에서는, 통기성 다공 시트(14)는, 플루오르계 수지로 구성한 것을 특징으로 한다.In the invention described in claim 5, the breathable porous sheet 14 is made of a fluororesin.

이것에 의해, 가령, 제작물(W)이 통기성 다공 시트(14)에 접촉하였다고 해도, 플루오르 수지는 특성으로서 저마찰성을 갖는 수지이어서, 표면이 손상될 우려는 없다.Thereby, even if the workpiece | work W contacts the air permeable porous sheet 14, for example, a fluororesin is resin with low friction as a characteristic, and there is no possibility that a surface may be damaged.

청구항 6에 기재한 발명에서는, 상기 기체(11)의 양측 양단부에 배치된 회전 운동 풀리(21a, 21a)와, 상기 회전 운동 풀리(21a, 21a) 사이에 각각 걸쳐 놓은 구동 벨트(21b)로 이루어지고, 상기 구동 벨트(21b)와 상기 제작물(W)의 접촉에 의해 상기 제작물(W)을 반송 방향으로 안내하는 제작물 반송 수단(21)을 설치한 것을 특징으로 한다.In the invention as set forth in claim 6, the rotary motion pulleys 21a and 21a disposed at both ends of the base 11 and the driving belt 21b respectively disposed between the rotary motion pulleys 21a and 21a are formed. The product conveyance means 21 which guides the said product W to a conveyance direction by the contact of the said drive belt 21b and the said product W is provided.

이것에 의해, 제작물(W)이 기체 압력으로 통기성 다공 시트(14) 상면으로부터 부상한 상태에서 지지될 수 있으므로, 제작물 반송 수단(21)에 의해 제작물(W)을 반송하는 힘은, 미소한 힘으로 완료된다.Thereby, since the workpiece | work W can be supported in the state which floated from the upper surface of the air permeable porous sheet 14 by gas pressure, the force which conveys the workpiece | work W by the workpiece | work conveying means 21 is a small force. Is completed.

또한, 상기 각각의 수단의 괄호 내의 부호는, 후술하는 실시형태에 기재한 구체적 수단과의 대응 관계를 나타내는 일례이다.In addition, the code | symbol in the parentheses of said each means is an example which shows the correspondence with the specific means described in embodiment mentioned later.

본 발명은, 제작물 지지 장치를, 더욱 통기 저항이 큰 통기성 다공 시트를 지지면으로서 이용함으로써, 지지면 전체로부터, 제어된 미소 유량의 기체를 방출시켜서, 경량 박화(薄化) 제작물의 안정적인 지지를 가능하게 한다.According to the present invention, by using the article support device as the support surface, a breathable porous sheet having a higher air flow resistance, the gas at a controlled minute flow rate is released from the entire support surface, so that stable support of the lightweight thin product can be achieved. Make it possible.

이하에, 본 발명에 관련한 제작물 지지 장치에 대해서, 하나의 실시형태를 나타내, 도면에 근거해서 상세히 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, one Embodiment is shown and the production support apparatus which concerns on this invention is described in detail based on drawing.

도 1, 도 2에 제작물로서, 박화 필름 상태 제작물(W)의 지지 장치(10)의 주요부를 모식적으로 나타낸다.As a manufactured product in FIG. 1, FIG. 2, the principal part of the support apparatus 10 of the thin film state produced product W is shown typically.

이 지지 장치(10)는, 기체(基體)(11) 상에 배치된 기밀 상태의 프레임 부재(12)와 이 프레임 부재(12) 내측의 기체(11) 상에 배치된 적어도 하나의 부착 부재(13)와, 이들 프레임 부재(12)와 부착 부재(13)에 의해 지지되는 통기성 다공 시트(14)와, 통기성 다공 시트(14)와 프레임 부재(12)와 기체(11)에 의해 구획되어 이루어진 밀폐 공간(15)에 가압 기체를 공급하는 가압 기체 공급원(16)을 구비하고 있다.The supporting device 10 includes an airtight frame member 12 disposed on a base 11 and at least one attachment member disposed on a base 11 inside the frame member 12 ( 13, partitioned by the air permeable porous sheet 14 supported by the frame member 12 and the attachment member 13, the air permeable porous sheet 14, the frame member 12, and the base 11 The pressurized gas supply source 16 which supplies pressurized gas to the sealed space 15 is provided.

기체(11)는 평탄한 형상의 부재이며, 저부(底部) 면적이, 적어도, 후술하는 지지 반송해야 할 제작물(W) 전체를 탑재 가능한 면적을 갖는 사각형 형상의 부재로서 구성되며, 기체(11) 상의 최외주(最外周)에 기밀 상태로 프레임 부재(12)가 돌출되게 설치되어 있다.The base body 11 is a flat-shaped member, and the bottom part area is comprised as a rectangular-shaped member which has the area which can mount at least the whole product W to support | carried mentioned later at least, and is formed on the base body 11 The frame member 12 protrudes in the airtight state in the outermost periphery.

부착 부재(13)는, 프레임 부재(12)의 내측에 있어서, 프레임 부재(12)와 동일한 높이에, 소정의 간격마다 모서리 형상으로 돌출되게 설치되어 있다. 물론, 배열의 방법은 적당하고, 서로 평행하게, 혹은, 격자 형상으로 배열시키는 구성으로 해도 좋다(도 4 참조). 더욱이, 부착 부재(13)는, 주상물(柱狀物)과 같이 구성할 수도 있다(도 5 참조).The attachment member 13 is provided inside the frame member 12 at the same height as the frame member 12 so as to protrude in a corner shape at predetermined intervals. Of course, the arrangement method is suitable and may be configured to be arranged in parallel with each other or in a lattice shape (see FIG. 4). Moreover, the attachment member 13 can also be comprised like columnar objects (refer FIG. 5).

통기성 다공 시트(14)에는, 예를 들면, 저마찰성, 비점착성의 특성을 갖는 플루오르계 수지를 이용할 수 있다. 이 경우, 통기성 다공 시트(14)는, 두께가 예를 들어 0.5mm로 하고 있다.As the porous porous sheet 14, for example, a fluorine resin having low friction and non-adhesive properties can be used. In this case, the air permeable porous sheet 14 is 0.5 mm in thickness, for example.

통기성 다공 시트(14) 하면 측에는, 기체(11)와 프레임 부재(12)와 각각의 부착 부재(13)에 의해 구획되어 이루어진 밀폐 공간(15)을 형성하고 있다. 이 밀폐 공간(15)에는 가압 기체 공급원(16)으로부터 가압 기체를 공급 가능하게 배관(L)을 접속하고 있다. 또한, 각각의 밀폐 공간(15)은, 각각의 부착 부재(13)에 설치한 연통구(連通口)(H)에 의해 연통하고 있다.On the lower surface side of the air permeable porous sheet 14, an airtight space 15 formed by the base 11, the frame member 12, and each attachment member 13 is formed. The piping L is connected to this sealed space 15 so that pressurized gas can be supplied from the pressurized gas supply source 16. In addition, each sealed space 15 communicates with the communication port H provided in each attachment member 13.

그리고, 통기성 다공 시트(14)는, 프레임 부재(12)와, 모서리 형상의 부착 부재(13)에 의해 지지될 때, 부착 부재(13)에 의한 지지 개소(個所) 사이의 개소는 볼록 형상으로 팽출시키고 있어, 부착 부재(13)에 의한 지지 개소 상에 있어서의 공간(17)에는, 통기성 다공 시트(14)로부터 분출하는 기체를 체류시키도록 하고 있다(도 3 참조).And when the breathable porous sheet 14 is supported by the frame member 12 and the edge-shaped attachment member 13, the location between the support parts by the attachment member 13 is convex. It expands and the gas which blows off from the air permeable porous sheet 14 is made to remain in the space 17 on the support part by the attachment member 13 (refer FIG. 3).

이 경우, 통기성 다공 시트(14)와 부착 부재(13)는, 적당한 고정 수단으로 고정할 수 있다. 즉, 통기성 다공 시트(14)와 부착 부재(13)는, 적당한 맞닿음 부재(18)를 사이에 끼워서, 볼트 등 기계적으로 고정해도 좋고, 접착, 융착(融着)에 의해 고정할 수도 있다.In this case, the breathable porous sheet 14 and the attachment member 13 can be fixed by appropriate fixing means. That is, the air permeable porous sheet 14 and the attachment member 13 may be fixed mechanically, such as a bolt, between the appropriate contact members 18, and can also be fixed by adhesion | attachment and fusion.

이들 고정 개소는, 부착 부재(13)의 높이 치수에 의해 높이가 규정되고, 이들 고정 개소 이외의 통기성 다공 시트(14)는, 볼록 형상으로 팽출되어 있기 때문에, 고정 개소를 저부로 한, 볼록 형상으로 팽출하는 개소에 비교해서 쑥 들어간 상태로서, 기체를 체류시키는 공간(17)이 형성된다.The height of these fixing points is defined by the height dimension of the attachment member 13, and since the air permeable porous sheet 14 other than these fixing points is expanded in convex shape, the convex shape which made the fixed part the bottom part The space 17 which stays gas is formed as compared with the location which bulges.

또한, 이 지지 장치(10)에 있어서는, 두께가 예를 들어 0.5mm의 통기성 다공 시트(14)를 기체(11) 상의 부착 부재(13)에 부착하는 것에 알맞으며, 인접하는 볼록 형상으로 팽출하는 통기성 다공 시트(14)의 정상부 사이의 간격을 지지 피치(P)로서, 30mm로 하고 있다.Moreover, in this support apparatus 10, it is suitable for attaching the air permeable porous sheet 14 whose thickness is 0.5 mm, for example to the attachment member 13 on the base | substrate 11, and expands in adjacent convex shape. The space | interval between the top parts of the air permeable porous sheet 14 is 30 mm as support pitch P. As shown to FIG.

밀폐 공간(15)에 가압 기체를 공급하는 가압 기체 공급원(16)은, 기체(11) 저부 중앙에 개구된 공급 구멍(19)에, 커넥터 부재(20)를 통해서 배관(L)에 의해 접속하여, 가압 기체를 공급하도록 하고 있다.The pressurized gas supply source 16 which supplies pressurized gas to the sealed space 15 is connected to the supply hole 19 opened in the center of the bottom part of the base body 11 by the piping L through the connector member 20, And pressurized gas is supplied.

또한, 가압 기체 공급원(16)에는, 주지된 구성의 것을 이용할 수 있다.Moreover, the thing of well-known structure can be used for the pressurized gas supply source 16.

또한 이상과 같은 지지 장치(10)에는, 도 1, 도 2에 나타낸 바와 같이, 양(兩) 측부(側部)에 적당한 제작물 반송 수단(21)을 설치하고 있다. 즉, 제작물 반송 수단(21)은, 예를 들면, 기체(11) 양측 양단부(兩端部)에 배치한 회전 운동 풀리(pulley)(21a, 21a)와, 양측 양단부의 상기 회전 운동 풀리(21a, 21a) 사이에 각각 걸쳐 놓은 구동 벨트(21b)를 구비하고 있다.Moreover, as shown in FIG. 1, FIG. 2, the above-mentioned support apparatus 10 is equipped with the appropriate product conveyance means 21 in both side parts. That is, the product conveyance means 21 is the rotational motion pulleys 21a and 21a arrange | positioned at the both ends of the base body 11, and the said rotational motion pulley 21a of both both ends, for example. And driving belts 21b respectively placed between the portions 21a.

본 발명에 관련한 제작물 지지 장치(10)는, 이상과 같이 구성되는 것이며, 이어서 그 작용을 설명한다.The production support apparatus 10 which concerns on this invention is comprised as mentioned above, and the operation | movement is demonstrated next.

이 지지 장치(10)에 의해 지지 반송되는 대상의 제작물(W)에 대해서 설명한다. 이 제작물(W)은, 예를 들면, 두께 50㎛의 수지 위에, 두께 30㎛의 동(銅)에 의한 회로 패턴을 형성한, 단위 면적당 질량을 0.02g/cm2 로 하고 있다.The article W of the object supported and conveyed by this support apparatus 10 is demonstrated. This produced product W is made into 0.02 g / cm <2> the mass per unit area which formed the circuit pattern by copper of 30 micrometers in thickness on resin of 50 micrometers in thickness, for example.

이와 같은 제작물(W)을, 지지 장치(10)에 있어서의 기체(11) 상의 부착 부재(13)에 부착한 통기성 다공 시트(14) 상에 탑재하고, 가압 기체 공급원(16)을 구동하면, 가압 기체가 기체(11) 저부 중앙의 공급 구멍(19)을 통해서, 통기성 다공 시트(14) 하면 측의, 기체(11)와 부착 부재(13)에 의해 칸막이가 된 밀폐 공간(15) 내에 공급된다. 가압 기체는, 부착 부재(13)에 형성된 연통구(H)를 통해서, 모든 밀폐 공간(15)에, 빈틈없이 널리 퍼지게 될 수 있어, 통기성 다공 시트(14) 전체에 걸쳐서 통기성 다공 시트(14) 상면으로부터 기체를 분출시킬 수 있다.Such a manufactured product W is mounted on the air permeable porous sheet 14 attached to the attachment member 13 on the substrate 11 in the support apparatus 10, and the pressurized gas supply source 16 is driven. Pressurized gas is supplied into the sealed space 15 partitioned by the base 11 and the attachment member 13 on the lower surface of the breathable porous sheet 14 through the supply hole 19 in the center of the base 11. do. The pressurized gas can be widely spread in all the sealed spaces 15 through the communication port H formed in the attachment member 13, and the breathable porous sheet 14 is spread over the entire breathable porous sheet 14. A gas can be blown off from an upper surface.

통기성 다공 시트(14)는, 전체 면에 미세 구멍이 존재하기 때문에, 기체가 통과할 때에 큰 통기 저항이 있다. 이것 때문에, 밀폐 공간(15) 내에서는, 유량이 미소량으로 억제된 기체가, 통기성 다공 시트(14) 상면으로부터 분출한다.Since the air permeable porous sheet 14 has fine holes in the entire surface, there is a large airflow resistance when gas passes. For this reason, in the airtight space 15, the gas by which the flow volume was suppressed by the minute amount blows off from the upper surface of the air permeable porous sheet 14.

기체의 분출에 의해, 통기성 다공 시트(14) 상면과 제작물(W)과의 사이에 기 체가 충만하여, 통기성 다공 시트(14)에 있어서의 쑥 들어간 개소인, 공간(17)에 기체가 체류해 기체층이 형성된다.By the blowing of the gas, the gas is filled between the upper surface of the breathable porous sheet 14 and the product W, and the gas stays in the space 17, which is a recessed point in the breathable porous sheet 14. A gas layer is formed.

제작물(W)은 이들 기체 압력에 의해, 지지될 수 있다. 이 경우, 통기성 다공 시트(14)는, 전체 면에 미세 구멍이 존재하고, 한편, 공간(17)은, 기체는 분출하지 않지만, 지지 개소 주위의 팽출하는 개소로부터 분출한 기체가 체류하기 때문에, 전체로서 대략 일정한 압력의 기체층이 형성되어, 제작물(W)은 안정된 상태에서 지지된다.The article W can be supported by these gas pressures. In this case, the air permeable porous sheet 14 has fine pores in the entire surface, while in the space 17, although the gas is not ejected, the gas ejected from the swelling point around the support portion remains. As a whole, a gas layer having a substantially constant pressure is formed, and the product W is supported in a stable state.

또한, 실시형태에 있어서는, 제작물(W)은, 두께 50㎛의 수지 위에, 두께 30㎛의 동(銅)에 의한 회로 패턴을 형성한, 단위 면적당 질량이 0.02g/cm2의 필름재이고, 가압 기체 공급원(16)에 의해 공급되는 가압 기체는, 압력 0.1Mp로 보내지며, 통기성 다공 시트(14) 상면으로부터 분출하는 기체의 유량은, 종래의 장치에서 이용된 펀칭 메탈(Pm)이나 소결 플레이트(Ps) 등의 다공질재에 비교해서, 대략 1/10 이하인, 0.05NL/min/cm2로 되어, 1.5mm의 지지 높이(T)로 안정된 지지가 가능하게 된다.In addition, in embodiment, the workpiece | work W is a film material of 0.02 g / cm <2> in mass per unit area which formed the circuit pattern by copper of 30 micrometers in thickness on resin of 50 micrometers in thickness, The pressurized gas supplied by the pressurized gas supply source 16 is sent at a pressure of 0.1 Mp, and the flow rate of the gas ejected from the upper surface of the breathable porous sheet 14 is a punching metal (Pm) or a sintered plate used in a conventional apparatus. Compared with porous materials, such as (Ps), it becomes 0.05 NL / min / cm <2> which is about 1/10 or less, and stable support is possible at the support height T of 1.5 mm.

그리고, 이 상태에서 제작물(W)을 반송하기 위해서는, 기체(11) 양측 양단부에 배치한 제작물 반송 수단(21)에서의 회전 운동 풀리(21a, 21a) 사이에 각각 걸쳐 놓은 구동 벨트(21b)를 반송 방향으로 작동해서, 매우 작은 힘에 의해 제작물(W)을 송출할 수 있다.And in order to convey the workpiece | work W in this state, the drive belt 21b which respectively spread between the rotational motion pulleys 21a and 21a in the workpiece | work conveyance means 21 arrange | positioned at the both ends of the base body 11 was carried out. By operating in the conveyance direction, the article W can be sent out by a very small force.

또한, 제작물(W)이 어떠한 원인으로, 통기성 다공 시트(14) 상면에 접촉하는 것 같은 일이 있어도, 통기성 다공 시트(14)는, 연질(軟質)이며, 저마찰성의 플루오르계 수지로 구성되어 있기 때문에, 제작물(W)에 흠이 생기는 일은 없다.In addition, even if the workpiece | work W may come into contact with the upper surface of the air permeable porous sheet 14 for some reason, the air permeable porous sheet 14 is soft and consists of a low friction fluororesin. As a result, a flaw does not occur in the product W.

도 1은 본 발명에 관련하는 제작물 지지 장치의 주요부를 나타내는, 모식적인 평면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The typical top view which shows the principal part of the workpiece | work support apparatus which concerns on this invention.

도 2는 도 1에 나타내는 제작물 지지 장치의, 단면 설명도.FIG. 2 is an explanatory cross-sectional view of the production support device shown in FIG. 1. FIG.

도 3은 도 2에 나타내는 제작물 지지 장치의 주요부 확대 단면 설명도.3 is an enlarged cross-sectional explanatory view of a main part of a production support device shown in FIG. 2;

도 4는 본 발명에 관련하는 제작물 지지 장치에 있어서의 기체(基體) 상의 부착 부재에 있어서의 다른 배열 구성을 나타낸, 모식적인 평면도.4 is a schematic plan view showing another arrangement configuration of an attachment member on a substrate in a production support apparatus according to the present invention.

도 5는 본 발명에 관련하는 제작물 지지 장치에 있어서의 기체 상의 부착 부재에 있어서의 다른 배열 구성을 나타낸, 모식적인 평면도.FIG. 5 is a schematic plan view showing another arrangement configuration of a gaseous attachment member in a production support apparatus according to the present invention. FIG.

도 6은 종래의 제작물 지지 장치의 일례를 나타낸, 모식적인 주요부 단면 설명도.Fig. 6 is a schematic sectional explanatory view of a principal part showing an example of a conventional production support device.

도 7은 도 6에 나타내는 제작물 지지 장치를 이용하여, 박화(薄化) 필름 상태 제작물을 지지할 때의 부적합을 나타낸, 모식적인 주요부 단면 설명도.FIG. 7 is a schematic sectional explanatory view of a principal part of the main body, in which incompatibility when supporting a thin film state product is used using the production support device shown in FIG. 6. FIG.

도 8은 종래의 제작물 지지 장치에 있어서 이용되는, 지지판으로서의 펀칭 메탈을 나타낸, 모식적 설명도.FIG. 8 is a schematic explanatory diagram showing a punching metal as a support plate used in a conventional production support device. FIG.

도 9는 종래의 제작물 지지 장치에 있어서 이용되는, 지지판으로서의 소결 플레이트를 나타낸, 모식적 설명도.9 is a schematic explanatory diagram showing a sintered plate as a support plate used in a conventional production support device.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10: 지지 장치 11: 기체(基體)10: support device 11: base

12: 프레임 부재 13: 부착 부재12: frame member 13: attachment member

14: 통기성 다공 시트 15: 밀폐 공간14: breathable porous sheet 15: airtight space

16: 가압 기체 공급원 17: 오목부16: pressurized gas source 17: recess

18: 맞닿음 부재 19: 공급 구멍18: contact member 19: supply hole

20: 커넥터 부재 21: 제작물 반송 수단20: connector member 21: product conveying means

21a: 회전 운동 풀리 21b: 구동 벨트21a: rotary motion pulley 21b: drive belt

W: 제작물 H: 연통구(連通口)W: Product H: Communicating sphere

Claims (6)

기체(基體)(11)와,A base 11, 기체(11) 상에 배치된 프레임 부재(12)와, A frame member 12 disposed on the base 11, 상기 프레임 부재(12) 내측의 상기 기체(11) 상에 배치된 적어도 하나의 부착 부재(13)와, At least one attachment member 13 disposed on the base 11 inside the frame member 12, 상기 프레임 부재(12)와 상기 부착 부재(13)에 의해 지지되고, 상기 프레임 부재(12)와 상기 부착 부재(13)와의 사이에서 볼록 형상으로 팽출하는 통기성 다공(多孔) 시트(sheet)(14)와, A breathable porous sheet supported by the frame member 12 and the attachment member 13 and bulging in a convex shape between the frame member 12 and the attachment member 13 ( 14) and, 상기 통기성 다공 시트(14)와 상기 프레임 부재(12)와, 상기 기체(11)에 의해 구획되어 이루어진 밀폐 공간(15)에 가압 기체(氣體)를 공급하는 가압 기체 공급원(16)을 구비하고,It is provided with the pressurized gas supply source 16 which supplies a pressurized gas to the said air permeable porous sheet 14, the said frame member 12, and the sealed space 15 partitioned by the said gas 11, 상기 프레임 부재(12)와 상기 부착 부재(13)와의 사이에서 볼록 형상으로 팽출하는 개소에서는, 상기 통기성 다공 시트(14)로부터 분출하는 기체(氣體)에 의해 제작물(W)을 지지함과 더불어, In the part which bulges in convex shape between the said frame member 12 and the said attachment member 13, while supporting the manufacture W by the gas which blows out from the said air permeable porous sheet 14, , 상기 볼록 형상으로 팽출하는 개소 이외에서는, 상기 부착 부재(13) 상에서, 상기 볼록 형상으로 팽출한 상기 통기성 다공 시트(14)와 상기 제작물(W)로 둘러싸인 공간(17)에 상기 기체(氣體)를 체류시켜서 기체층을 형성하고, 상기 기체층의 기체압에 의해 상기 제작물(W)을 지지하는 것을 특징으로 하는 제작물 지지 장치.Except for the convexly expanded portion, the base is surrounded by the air permeable porous sheet 14 and the article W surrounded by the convexly expanded porous sheet 14 on the attachment member 13. And forming a gas layer to support the product (W) by the gas pressure of the gas layer. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 부착 부재(13)는 상기 기체(11) 상에 모서리부로서 구성한 것을 특징으로 하는 제작물 지지 장치.The attachment member (13) is a production support device, characterized in that configured as a corner portion on the base (11). 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 부착 부재(13)는 상기 기체(11) 상에 주상부(柱狀部)로서 구성한 것을 특징으로 하는 제작물 지지 장치.The said attachment member (13) was comprised as the columnar part on the said base body (11), The workpiece | work support apparatus characterized by the above-mentioned. 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 밀폐 공간(15)은, 서로 연통시킨 것을 특징으로 하는 제작물 지지 장치.The closed space 15 is made to communicate with each other, The production support device characterized by the above-mentioned. 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 통기성 다공 시트(14)는, 플루오르계 수지로 구성한 것을 특징으로 하는 제작물 지지 장치.The air permeable porous sheet (14) is made of a fluorine-based resin, the production support device. 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 기체(11)의 양측 양단부에 배치된 회전 운동 풀리(21a, 21a)와, 상기 회전 운동 풀리(21a, 21a) 사이에 각각 걸쳐 놓은 구동 벨트(21b)로 이루어지고, 상기 구동 벨트(21b)와 상기 제작물(W)의 접촉에 의해 상기 제작물(W)을 반송 방향으로 안내하는 제작물 반송 수단(21)을 설치한 것을 특징으로 하는 제작물 지지 장치.It consists of the rotary motion pulleys 21a and 21a which are arrange | positioned at the both ends of the said base body 11, and the drive belt 21b interposed between the said rotary motion pulleys 21a and 21a, respectively, The said drive belt 21b And a product conveying means (21) for guiding the product (W) in a conveying direction by contact between the product (W) and the product (W).
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