KR101058519B1 - Probe card - Google Patents

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KR101058519B1
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윌테크놀러지(주)
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Abstract

본 발명은 프로브 카드에 관한 것으로서, 상기 테스터장비와 전기적으로 연결되고, 일측에 관통공이 형성된 인쇄회로기판과, 상기 인쇄회로기판으로부터 하방으로 이격되게 설치되고, 일측에 통과공이 형성된 가이드부와, 일측이 상기 인쇄회로기판과 결합되고, 타측이 가이드부에 결합되어 상기 인쇄회로기판과 상기 가이드부의 이격거리를 유지하는 이격거리유지부와, 일측에 피검사체와 전기적으로 접촉되는 프로브 팁이 형성되고, 타측에 상방으로 연장형성되어 상기 통과공을 관통하는 프로브 핀을 포함하는 프로브와, 상단부가 상기 관통공을 통과하여 상기 인쇄회로기판에 고정되고, 하단에 상기 프로브 핀의 상단부가 삽입되는 그립홈이 형성되고, 하단부의 외측에 하부방향으로 넓어지는 경사면이 형성된 커넥터와, 일측에 상기 경사면의 폭보다 작은 직경을 갖는 삽입공이 형성되어 상기 커넥터의 일측이 상기 삽입공에 삽입되며, 상기 인쇄회로기판 및 상기 가이드부 사이에 상하이동가능하게 설치되는 센터블럭 및 상기 센터블럭에 연결되어 상기 센터블럭을 상하이동시키는 상하이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 제공한다.The present invention relates to a probe card, electrically connected to the tester equipment, a printed circuit board having a through hole formed on one side, and a guide portion formed to be spaced downward from the printed circuit board and formed with a through hole on one side, and one side. Is coupled to the printed circuit board, the other side is coupled to the guide portion is a separation distance maintaining unit for maintaining the separation distance between the printed circuit board and the guide portion, and a probe tip in electrical contact with the test object on one side is formed, A probe including a probe pin extending upwardly on the other side and penetrating the through hole, and a grip groove having an upper end fixed to the printed circuit board through the through hole, and having an upper end of the probe pin inserted at a lower end thereof. And a connector having an inclined surface extending downward in an outer side of a lower end portion, and a width of the inclined surface on one side thereof. An insertion hole having a smaller diameter is formed so that one side of the connector is inserted into the insertion hole, and is connected to the center block and the center block installed between the printed circuit board and the guide part so as to be movable. It provides a probe card, characterized in that it comprises a shangdong means for moving.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 인쇄회로기판에 고정되고 하단에 그립홈이 형성된 커넥터 및 커넥터 상에서 상하이동되면서 그립홈이 형성된 커넥터의 하단부 외측을 가압하는 센터블럭을 이용하여 커넥터와 프로브를 그립방식으로 연결함으로써 그 조립공정이 매우 간단하고, 조립 및 부품의 교환,수리가 용이할 뿐 아니라 커넥터와 프로브간 접촉면적이 확대되어 프로브로부터 인쇄회로기판의 통전효율이 현저하게 향상되면서도 커넥터간 피치간격을 줄여 크기를 소형화할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, the connector and the probe by a grip method using a center block which is fixed to the printed circuit board and the grip groove is formed on the bottom of the connector and the outside of the lower end of the connector is formed while the grip groove is formed By assembling, the assembly process is very simple, and the assembly and parts replacement and repair are not only easy, but also the contact area between the connector and the probe is enlarged, which significantly improves the power supply efficiency of the printed circuit board from the probe, while reducing the pitch gap between the connectors. There is an effect that can be downsized.

프로브, 인쇄회로기판, 커넥터, 통전 Probes, printed circuit boards, connectors, energization

Description

프로브 카드{Probe card}Probe card

본 발명은 프로브 카드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 인쇄회로기판에 고정되고 하단에 그립홈이 형성된 커넥터 및 커넥터 상에서 상하이동되면서 그립홈이 형성된 커넥터의 하단부 외측을 가압하는 센터블럭을 이용하여 커넥터와 프로브를 그립방식으로 연결함으로써 그 조립공정이 매우 간단하고, 조립 및 부품의 교환,수리가 용이할 뿐 아니라 커넥터와 프로브간 접촉면적이 확대되어 프로브로부터 인쇄회로기판의 통전효율이 현저하게 향상되면서도 커넥터간 피치간격을 줄여 크기를 소형화할 수 있는 프로브 카드에 관한 것이다.The present invention relates to a probe card, and more particularly, a connector and a connector using a center block fixed to a printed circuit board, and having a grip groove formed at the bottom thereof, and moving from the bottom of the connector formed with the grip groove while moving on the connector. By connecting the probe by the grip method, the assembly process is very simple, and the assembly and parts replacement and repair are not only easy, but also the contact area between the connector and the probe is enlarged, which significantly improves the power supply efficiency of the printed circuit board from the probe. The present invention relates to a probe card that can be reduced in size by reducing the pitch interval between them.

일반적으로 반도체 제작 공정은 웨이퍼(Wafer)상에 패턴(pattern)을 형성시키는 패브리케이션(fabrication)공정과, 웨이퍼를 구성하고 있는 각각의 칩의 전기적 특성을 감사하는 이디에스(Electrical Die Sorting:EDS)공정과, 패턴이 형성된 웨이퍼를 각각의 칩(chip)으로 조립하는 어셈블리(assembly)공정을 통해서 제조된다.In general, a semiconductor fabrication process includes a fabrication process for forming a pattern on a wafer, and an electrical die sorting (EDS) system for auditing electrical characteristics of each chip constituting the wafer. It is manufactured through the process and the assembly process of assembling the patterned wafer into each chip.

여기서 EDS공정은 웨이퍼를 구성하고 있는 칩들 중에서도 불량칩을 판별하기위해 수행하는 것으로 웨이퍼를 구성하는 칩들에 전기적 신호를 인가시켜 인가된 전기적 신호로부터 체크되는 신호에 의해서 불량을 판단하게 되는 프로브 카드라는 검사장치가 주로 사용되고 있다.In this case, the EDS process is performed to determine a defective chip among the chips constituting the wafer. The inspection is a probe card that applies an electrical signal to the chips constituting the wafer and judges the defect by a signal checked from the applied electrical signal. The device is mainly used.

도1은 종래의 프로브 카드의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a conventional probe card.

도1에서 보는 바와 같이 종래의 프로브 카드(100)는 일측에 관통공(111)이 형성된 인쇄회로기판(Printed Circuit Boad:PCB)(110)와, 인쇄회로기판(110)으로부터 하방으로 이격설치되고 일측에 통과공(121)이 형성된 가이드부(120)와, 인쇄회로기판(110)과 가이드부(120)를 결합하는 결합부재(130)와, 일단부가 관통공(111)에 배치되고 타단부가 통과공(121)에 배치되며 피검사체와 전기적으로 접촉하는 프로브 리드부(140)와, 일측에 삽입공(151)이 형성되어 프로브 리드부(140)의 일측이 통과하고 인쇄회로기판(110)과 가이드부(120)사이에 좌우이동가능하게 설치되는 센터블럭(150) 및 센터블럭(150)이 좌우이동될 수 있도록 센터블럭(150)에 이동력을 제공하는 좌우이동수단(160)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the conventional probe card 100 is spaced downward from a printed circuit board 110 having a through hole 111 formed at one side thereof and a printed circuit board 110. Guide portion 120 having a through hole 121 formed on one side, a coupling member 130 for coupling the printed circuit board 110 and the guide portion 120, and one end is disposed in the through hole 111 and the other end The probe lead part 140 is disposed in the through hole 121 and is in electrical contact with the inspected object, and an insertion hole 151 is formed at one side thereof so that one side of the probe lead part 140 passes through the printed circuit board 110. ) And the left and right movement means 160 for providing a movement force to the center block 150 so that the center block 150 and the center block 150 are horizontally movable between the guide unit 120 and the guide unit 120. It is configured to include.

이와 같은 종래의 프로브 카드(100)는 프로브 리드부(140)가 피검사체인 웨이퍼에 구성된 칩과 접촉되는 경우 프로브 리드부(140)로 인가되는 전기적 신호를 인쇄회로기판(110)으로 전달하기 위해 좌우이동수단(160)을 이용하여 센터블럭(150)을 이동시키고, 프로브 리드부(140)의 일측이 휘어지도록 함으로써 관통공(111)에 배치된 프로브 리드부(140)의 일단부가 인쇄회로기판(110) 중 관통 공(111)이 형성된 인쇄회로기판(110)의 내면에 접촉되도록 하여 프로브 리드부(140)와 인쇄회로기판(110)간 통전되도록 구성된 것이다.The conventional probe card 100 may transmit an electrical signal applied to the probe lead unit 140 to the printed circuit board 110 when the probe lead unit 140 is in contact with a chip formed on a wafer under test. The center block 150 is moved by using the left and right moving means 160, and one side of the probe lead part 140 is bent so that one end of the probe lead part 140 disposed in the through hole 111 is printed circuit board. The through hole 111 is formed to be in contact with the inner surface of the printed circuit board 110 in which the probe lead portion 140 and the printed circuit board 110 are energized.

이와 같은 종래의 프로브 카드(100)는 프로브 리드부(140)의 일측이 휘어지도록 설치됨으로써 탄성을 갖고 인쇄회로기판(110)에 지지되어 프로브 리드부(140)와 인쇄회로기판(110)간 접촉효율이 향상되는 이점이 있었다.Such a conventional probe card 100 is installed so that one side of the probe lead unit 140 is bent and is elastically supported by the printed circuit board 110 to contact the probe lead unit 140 with the printed circuit board 110. There was an advantage that the efficiency is improved.

그러나 종래의 프로브 카드(100)는 프로브 리드부(140)를 통과공(121)에 삽입하기 전에 그 위치가 고정되지 않는 센터블럭(150)의 삽입공(151)에 삽입해야 함과 아울러 프로브 리드부(140)의 양단부가 관통공(111) 및 통과공(121)에 각각 배치된 상태에서 센터블럭(150)을 좌우이동시켜 프로브 리드부(140)의 양단부를 인쇄회로기판(110)에 접촉되도록 해야함으로써 센터블럭(150)의 위치변위에 따라 프로브 리드부(140)의 일단부를 통과공(121)에 삽입하기가 다소 어려운 점이 있었다.However, the conventional probe card 100 should be inserted into the insertion hole 151 of the center block 150 whose position is not fixed before inserting the probe lead portion 140 into the through hole 121. Both ends of the part 140 are moved in the through hole 111 and the through hole 121 to move the center block 150 left and right to contact both ends of the probe lead part 140 with the printed circuit board 110. By doing so, it was difficult to insert one end of the probe lead portion 140 into the through hole 121 according to the positional displacement of the center block 150.

아울러, 프로브 리드부(140)가 센터블럭(150)에 의해 휘어진 상태에서 인쇄회로기판(110)에 접촉됨으로써 다수의 프로브 리드부(140)간 간격이 벌어지면서 프로브 리드부(140)간 피치가 증가되고, 이에 따라 프로브 카드(100)의 크기가 증대될 뿐 아니라 프로브 리드부(140)가 센터블럭(150)에 의해 장시간 휘어진 상태를 유지하여 어느 순간 항복점을 넘어서 복원력을 잃게 되므로 수리 및 교환시 프로브 리드부(140)를 재사용할 수 없는 문제점이 있었다.In addition, the probe leads 140 contact with the printed circuit board 110 in a state in which the probe leads 140 are bent by the center block 150, thereby increasing the interval between the probe leads 140 and increasing the pitch between the probe leads 140. As the size of the probe card 100 is increased, the probe lead unit 140 is bent for a long time by the center block 150 to lose the restoring force beyond the yield point. There was a problem that the probe lead unit 140 cannot be reused.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 인쇄회로기판에 고정되고 하단에 그립홈이 형성된 커넥터 및 커넥터 상에서 상하이동되면서 그립홈이 형성된 커넥터의 하단부 외측을 가압하는 센터블럭을 이용하여 커넥터와 프로브를 그립방식으로 연결함으로써 그 조립공정이 매우 간단하고, 조립 및 부품의 교환,수리가 용이할 뿐 아니라 커넥터와 프로브간 접촉면적이 확대되어 프로브로부터 인쇄회로기판의 통전효율이 현저하게 향상되면서도 커넥터간 피치간격을 줄여 크기를 소형화할 수 있는 프로브 카드를 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to press the outside of the lower end of the connector is formed in the grip groove while the connector is fixed to the printed circuit board and the grip groove is formed on the bottom of the connector and the connector By using the center block to connect the connector and the probe by the grip method, the assembly process is very simple, and the assembly and parts replacement and repair are not only easy, but also the contact area between the connector and the probe is enlarged so that the printed circuit board is energized from the probe. It is to provide a probe card that can be miniaturized by reducing the pitch spacing between connectors while significantly improving efficiency.

그리고, 본 발명의 다른 목적은 인쇄회로기판에 형성된 관통공과 대응되는 커넥터의 일측을 휨형성하여 관통공이 형성된 인쇄회로기판에 커넥터의 외측면을 탄성접촉되도록 함으로써 인쇄회로기판과 커넥터가 접촉효율을 향상시키고 이로 인해 프로브와 인쇄회로기판의 통전효율을 보다 향상시킬 수 있는 프로브 카드를 제공함에 있다.In addition, another object of the present invention is to bend one side of the connector corresponding to the through-hole formed in the printed circuit board to elastically contact the outer surface of the connector to the printed circuit board having the through-hole to improve the contact efficiency between the printed circuit board and the connector. This provides a probe card that can further improve the current carrying efficiency of the probe and the printed circuit board.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 웨이퍼를 구성하는 다수의 칩에 전기적으로 접촉되어 발생되는 전기적 신호를 외부에 구비된 테스터 장비에 전달하는 프로브 카드에 있어서, 상기 테스터장비와 전기적으로 연결되고, 일측에 관통공이 형성된 인쇄회로기판과, 상기 인쇄회로기판으로부터 하방 으로 이격되게 설치되고, 일측에 통과공이 형성된 가이드부와, 일측이 상기 인쇄회로기판과 결합되고, 타측이 가이드부에 결합되어 상기 인쇄회로기판과 상기 가이드부의 이격거리를 유지하는 이격거리유지부와, 일측에 피검사체와 전기적으로 접촉되는 프로브 팁이 형성되고, 타측에 상방으로 연장형성되어 상기 통과공을 관통하는 프로브 핀을 포함하는 프로브와, 상단부가 상기 인쇄회로기판에 연결되고, 하단에 상기 프로브 핀의 상단부가 삽입되는 그립홈이 형성되고, 하단부의 외측에 하부방향으로 넓어지는 경사면이 형성된 커넥터와, 일측에 상기 경사면의 폭보다 작은 직경을 갖는 삽입공이 형성되어 상기 커넥터의 일측이 상기 삽입공에 삽입되며, 상기 인쇄회로기판 및 상기 가이드부 사이에 상하이동가능하게 설치되는 센터블럭 및 상기 센터블럭에 연결되어 상기 센터블럭을 상하이동시키는 상하이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 제공한다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, in the probe card for transmitting an electrical signal generated by electrical contact with a plurality of chips constituting a wafer to the tester equipment provided in the outside, the tester equipment And a printed circuit board electrically connected to the printed circuit board, having a through hole formed at one side thereof, spaced downward from the printed circuit board, having a guide hole formed at one side thereof, and having one side coupled to the printed circuit board, and having the other side guided. A separation distance maintaining part coupled to a portion to maintain a separation distance between the printed circuit board and the guide part, and a probe tip electrically contacting the object under test on one side, and extending upwardly on the other side to penetrate the through hole. A probe including a probe pin, and an upper end connected to the printed circuit board, and a lower end of the probe A grip groove into which the upper end of the pin is inserted is formed, and a connector having an inclined surface widening in the lower direction on the outer side of the lower end is formed, and an insertion hole having a diameter smaller than the width of the inclined surface is formed on one side thereof so that one side of the connector is inserted into the insertion hole. And a center block inserted between the printed circuit board and the guide unit so as to be movable between the printed circuit board and the guide unit, and connected to the center block to move the center block. do.

그리고, 상기 커넥터는 휨형성되어 상기 인쇄회로기판 일측에 탄성접촉되는 것이 바람직하다.The connector may be bent to elastically contact one side of the printed circuit board.

또한, 상기 커넥터는 상기 인쇄회로기판의 관통공과 대응되는 일측에 절개부가 형성되고, 상기 절개부가 형성된 영역의 외면이 외측으로 볼록하게 형성되어 탄성을 갖는 컨텍트부가 형성되며, 상기 컨텍트부가 상기 인쇄회로기판 중 상기 관통공이 형성된 내측면에 탄성접촉될 수 있다.In addition, the connector has a cutout formed at one side corresponding to the through hole of the printed circuit board, an outer surface of the region where the cutout is formed is formed to be convex outward to form a contact portion having elasticity, and the contact portion is formed on the printed circuit board. It may be in elastic contact with the inner surface of the through-hole formed.

아울러, 상기 커넥터는 하단에 내측으로 경사진 진입안내부가 더 형성되는 것이 보다 바람직하다.In addition, the connector is more preferably formed in the entry guide inclined inward to the lower end.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 인쇄회로기판에 고정되고 하단에 그립홈이 형성된 커넥터 및 커넥터 상에서 상하이동되면서 그립홈이 형성된 커넥터의 하단부 외측을 가압하는 센터블럭을 이용하여 커넥터와 프로브를 그립방식으로 연결함으로써 그 조립공정이 매우 간단하고, 조립 및 부품의 교환,수리가 용이할 뿐 아니라 커넥터와 프로브간 접촉면적이 확대되어 프로브로부터 인쇄회로기판의 통전효율이 현저하게 향상되면서도 커넥터간 피치간격을 줄여 크기를 소형화할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, the connector and the probe by a grip method using a center block which is fixed to the printed circuit board and the grip groove is formed on the bottom of the connector and the outside of the lower end of the connector is formed while the grip groove is formed By assembling, the assembly process is very simple, and the assembly and parts replacement and repair are not only easy, but also the contact area between the connector and the probe is enlarged, which significantly improves the power supply efficiency of the printed circuit board from the probe, while reducing the pitch gap between the connectors. There is an effect that can be downsized.

인쇄회로기판에 형성된 관통공과 대응되는 커넥터의 일측에 휨형성된 벤딩부가 관통공이 형성된 인쇄회로기판에 커넥터의 외측면을 탄성접촉되도록 함으로써 인쇄회로기판과 커넥터가 접촉효율을 향상시키고 이로 인해 프로브와 인쇄회로기판의 통전효율을 보다 향상시킬 수 있는 효과가 있다.The bending portion formed at one side of the connector corresponding to the through hole formed on the printed circuit board makes elastic contact with the outer surface of the connector to the printed circuit board on which the through hole is formed, thereby improving the contact efficiency between the printed circuit board and the connector, and thereby the probe and the printed circuit. There is an effect that can further improve the power supply efficiency of the substrate.

이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예를 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도2는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 카드의 단면도이고, 도3은 본 발명의 일실시예에 따른 커넥터의 사시도이며, 도4는 본 발명의 일실시예에 따른 커넥터의 그립홈에 프로브 핀이 진입되는 상태를 도시한 도면이고, 도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 커넥터의 다른 형태를 도시한 도면이다.2 is a cross-sectional view of a probe card according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a perspective view of a connector according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a probe in the grip groove of the connector according to an embodiment of the present invention 5 is a diagram illustrating a state where a pin is entered, and FIG. 5 is a diagram illustrating another form of a connector according to an embodiment of the present invention.

도2에서 보는 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 카드(1)는 인쇄회로기판(Printed Circuit Boad:PCB)(10)과, 가이드부(20)와, 이격거리유지부(30)와, 프로브(40)(Probe)와, 커넥터(50)와, 센터블럭(60) 및 상하이동수단(70)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 2, the probe card 1 according to the embodiment of the present invention includes a printed circuit board (PCB) 10, a guide unit 20, a separation distance maintaining unit 30, And a probe 40, a connector 50, a center block 60, and a shank means 70.

인쇄회로기판(PCB)(10)은 다층의 구조로 구성될 수 있으며, 복잡한 회로 패턴이 형성된 기판으로서, 일측에 관통공(11)이 형성되고, 외부에 구비된 테스터 장비(미도시)와 연결되며, 후술하는 커넥터(50)에 의해 프로브(40)와 연결되어 프로브(40)에 인가되는 전기적 신호를 외부에 구비된 테스터 장비(미도시)에 전달하는 역할을 한다.The printed circuit board (PCB) 10 may be formed of a multi-layered structure and has a complex circuit pattern formed therein, and a through hole 11 is formed at one side thereof, and is connected to a tester device (not shown) provided outside. It is connected to the probe 40 by the connector 50 to be described later serves to deliver an electrical signal applied to the probe 40 to the tester equipment (not shown) provided on the outside.

가이드부(20)는 상기한 인쇄회로기판(10)으로부터 하방으로 소정간격 이격되게 배치되며, 상면으로부터 하방으로 다수의 통과공(21)이 형성된다.The guide part 20 is disposed to be spaced apart from the printed circuit board 10 downward by a predetermined interval, and a plurality of through holes 21 are formed downward from the upper surface.

이와 같은 가이드부(20)는 후술하는 프로브(40)가 저면에 결합되어 프로브(40)를 견고하게 고정하는 역할을 한다.Such a guide portion 20 is coupled to the bottom of the probe 40 to be described later serves to firmly fix the probe 40.

이격거리유지부(30)는 일측이 인쇄회로기판(10)에 결합되고, 타측이 가이드부(20)에 결합되어 인쇄회로기판(10)과 가이드부(20)를 상호 결합함과 아울러 인쇄회로기판(10)과 가이드부(20)간 이격거리가 유지되도록 하는 역할을 한다.The separation distance maintaining unit 30 has one side coupled to the printed circuit board 10 and the other side coupled to the guide unit 20 to couple the printed circuit board 10 and the guide unit 20 together with the printed circuit. It serves to maintain the separation distance between the substrate 10 and the guide portion 20.

프로브(Probe)(40)는 하부 일측에 피검사체인 웨이퍼에 구성된 칩과 전기적으로 접촉되는 프로브 팁(41)이 형성되고, 상부 일측에는 상방으로 연장형성된 프로브 핀(42)을 포함하여 형성되며, 프로브 핀(42)이 가이드부(20)의 통과공(21)을 통과하는 상태에서 가이드부(20)의 저면에 결합된다.Probe (40) is formed on the lower side of the probe tip 41 which is in electrical contact with the chip formed on the wafer to be inspected, the upper one side is formed to include a probe pin 42 extending upwardly, Probe pin 42 is coupled to the bottom surface of the guide portion 20 in a state passing through the through hole 21 of the guide portion 20.

이와 같은 프로브(40)는 프로브 팁(41)이 피검사체인 웨이퍼에 구성된 칩과 접촉되는 경우 칩으로부터 인가되는 전기적 신호를 후술하는 커넥터(50)를 통해 인쇄회로기판(10)으로 전달하는 역할을 한다.When the probe tip 41 is in contact with a chip configured on the wafer to be inspected, the probe 40 serves to transmit an electrical signal applied from the chip to the printed circuit board 10 through the connector 50 described later. do.

커넥터(50)는 도3에서 보는 바와 같이 몸체부(51)와, 몸체부(51)의 하부에 형성된 제1 접촉부(52) 및 몸체부(51)의 상부에 형성된 제2 접촉부(53)를 포함하여 구성되며, 제1 접촉부(52)가 프로브 핀(42)과 접촉되고, 제2 접촉부(53)가 인쇄회로기판(10)에 접촉되어 프로브(40)로부터 인가되는 전기적 신호가 인쇄회로기판(10)으로 전달될 수 있도록 통전로를 제공하는 역할을 한다.As shown in FIG. 3, the connector 50 includes a body portion 51, a first contact portion 52 formed below the body portion 51, and a second contact portion 53 formed above the body portion 51. The first contact portion 52 is in contact with the probe pin 42, the second contact portion 53 is in contact with the printed circuit board 10, the electrical signal applied from the probe 40 is a printed circuit board It serves to provide an electrification path for delivery to (10).

몸체부(51)는 대략 상하방향으로 길이를 갖는 막대형상으로 형성되며, 상단부가 미세한 납 알갱이를 포함하는 솔더(solder)(S)에 의해 인쇄회로기판(10) 일측에 고정되며, 하단부가 인쇄회로기판(10)에 형성된 관통공(11)을 통과하여 하방으로 연장형성되어 있다.The body portion 51 is formed in a rod shape having a length in an approximately up and down direction, and the upper portion is fixed to one side of the printed circuit board 10 by solder (S) containing fine lead grains, and the lower portion is printed. It extends downward through the through hole 11 formed in the circuit board 10.

제1 접촉부(52)는 몸체부(51)의 하단 중앙에 그립홈(52a)이 형성되며, 그립홈(52a)이 형성된 외측면에는 하부방향으로 경사진 경사면(52b)이 형성되어 프로브 핀(42)이 그립홈(52a)에 삽입된 상태에서 후술하는 센터블럭(60)에 의해 하단이 수축되어 프로브 핀(42)과 연결된다.The first contact portion 52 has a grip groove 52a formed at the center of the lower end of the body 51, and an inclined surface 52b inclined downward is formed on the outer surface of the grip groove 52a to form a probe pin ( In the state in which the 42 is inserted into the grip groove 52a, the lower end thereof is contracted by the center block 60 to be described later and is connected to the probe pin 42.

그리고, 제1 접촉부(52)는 몸체부(51)의 하단에 내측으로 경사지게 형성된 진입안내부(52c)를 더 포함하며, 이러한 진입안내부(52c)는 도4에서 보는 바와 같이 프로브 핀(42)이 그립홈(52a)으로 용이하게 삽입될 수 있도록 프로브 핀(42)을 그립홈(52a) 방향으로 안내하는 역할을 한다.In addition, the first contact portion 52 further includes an entry guide portion 52c formed to be inclined inwardly at the lower end of the body portion 51, and the entry guide portion 52c includes the probe pin 42 as shown in FIG. 4. ) Serves to guide the probe pin 42 in the direction of the grip groove 52a so that it can be easily inserted into the grip groove 52a.

제2 접촉부(53)는 몸체부(51)의 상부 중 인쇄회로기판(10)의 관통공(11)과 대응되는 영역에 절개부(53a)가 형성되고, 절개부(53a)가 형성된 외면이 외측으로 볼록하게 형성되어 탄성을 갖는 컨텍트부(53b)가 형성되며, 상기한 컨텍트부(53b)가 인쇄회로기판(10) 중 관통공(11)이 형성된 내면에 탄성접촉되어 제2 접촉부(53)와 인쇄회로기판(10)과 접촉된다.The second contact portion 53 has a cutout portion 53a formed in a region corresponding to the through hole 11 of the printed circuit board 10 among the upper portions of the body portion 51, and an outer surface having the cutout portion 53a formed thereon. The contact portion 53b is formed to be convex to the outside and has elasticity. The contact portion 53b is elastically contacted to the inner surface of the printed circuit board 10 in which the through hole 11 is formed, and thus the second contact portion 53 is formed. ) And the printed circuit board 10.

본 발명의 일실시예에서는 인쇄회로기판(10)의 내면에 탄성접촉되도록 절개부(53a)가 형성되는 것으로 설명하고 있으나, 도5의 (a)에서 보는 바와 같이 관통공(11)과 대응하는 일측을 휨형성하여 관통공(11)에 탄성접촉 될 수 있을 뿐 아니라 (b)에서 보는 바와 같이 몸체부(51) 전체를 휨형성하여 커넥터(50)의 일측이 인쇄회로기판(10)의 일측에 탄성접촉될 수 있음은 물론이다.In the exemplary embodiment of the present invention, the cutout 53a is formed to elastically contact the inner surface of the printed circuit board 10. However, as shown in FIG. One side of the connector 50 may be bent to form elastic contact with the through hole 11 by bending one side, and as shown in (b), one side of the connector 50 may be one side of the printed circuit board 10. Of course it can be elastically contacted.

또한, 본 발명에 따른 제2 접촉부(53)의 형상은 이에 한정하지 않으며, 인쇄회로기판(10)의 내면에 탄성접촉될 수 있는 형상이면 어느 것이든 적용이 가능하다.In addition, the shape of the second contact portion 53 according to the present invention is not limited thereto, and any shape may be applied as long as the shape may be elastically contacted with the inner surface of the printed circuit board 10.

센터블럭(60)은 대략 박스형상으로 형성되고, 일측에 커넥터(50)의 몸체부(51) 일측이 삽입되는 삽입공(61)이 형성되며, 상기한 몸체부(51) 상에서 후술하는 상하이동수단(70)에 의해 상하이동되는데, 하방으로 이동하는 경우 제1 접촉부(52)의 경사면(52b)을 가압하면서 몸체부(51)의 하단이 수축되도록 하는 역할을 한다.The center block 60 is formed in a substantially box shape, and an insertion hole 61 into which one side of the body portion 51 of the connector 50 is inserted is formed at one side thereof, and is described later on the body portion 51. It is moved by the means 70, and when moving downward, serves to press the inclined surface 52b of the first contact portion 52 to contract the lower end of the body portion 51.

상하이동수단(70)은 볼트가 사용될 수 있으며, 일단부가 인쇄회로기판(10)을 관통하여 센터블럭(60)의 상면에 지지되고, 타단부가 인쇄회로기판(10)의 상면에 나사결합된다.The shangdong means 70 may be a bolt, one end of which is supported by the upper surface of the center block 60 through the printed circuit board 10, the other end is screwed to the upper surface of the printed circuit board 10. .

이와 같은 상하이동수단(70)은 회전하는 경우 타단부가 인쇄회로기판(10)의 나사산에 맞물리면서 하방으로 이동되고, 센터블럭(60)의 상면에 지지된 일단부가 센터블럭(60)의 상면을 가압하면서 센터블럭(60)이 하방으로 이동되도록 하는 역할을 한다.When the shank movement means 70 is rotated, the other end is moved downward while engaging the thread of the printed circuit board 10, one end supported on the upper surface of the center block 60, the upper surface of the center block 60. While pressing, the center block 60 serves to move downward.

도6은 본 발명의 일실시예에 따른 커넥터의 그립홈에 프로브 핀이 삽입된 상태를 도시한 도면이고, 도7은 본 발명의 일실시예에 따른 커넥터와 프로프 핀이 연결된 상태를 도시한 도면이다.6 is a view illustrating a state in which a probe pin is inserted into a grip groove of a connector according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a view illustrating a state in which a connector and a prop pin are connected according to an embodiment of the present invention. Drawing.

이와 같이 구성되는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 카드(1)의 조립방법을 첨부된 도6 및 도7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.The assembly method of the probe card 1 according to the exemplary embodiment of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 6 and 7.

먼저, 커넥터(50)의 몸체부(51) 상단부를 센터블럭(60)의 삽입공(61)에 삽입하여 센터블럭(60)을 커넥터(50)의 몸체부(51)에 위치시킨 상태에서 몸체부(51)의 상단부를 관통공(11)의 하부를 통해 인쇄회로기판(10)에 고정시킨다.First, the body in a state in which the upper end of the body portion 51 of the connector 50 is inserted into the insertion hole 61 of the center block 60 and the center block 60 is positioned in the body portion 51 of the connector 50. The upper end of the portion 51 is fixed to the printed circuit board 10 through the lower portion of the through hole 11.

이때, 앞서 설명하는 바와 같이 몸체부(51)는 솔더(S)에 의해 인쇄회로기판(10) 일측에 고정된다.At this time, as described above, the body 51 is fixed to one side of the printed circuit board 10 by solder (S).

다음, 프로브 핀(42)이 가이드부(20)의 통과공(21)을 통과하도록 프로브(40)를 가이드부(20)의 저면에 결합한다.Next, the probe 40 is coupled to the bottom surface of the guide portion 20 so that the probe pin 42 passes through the passage hole 21 of the guide portion 20.

이후, 커넥터(50)가 고정된 인쇄회로기판(10)을 이격거리유지부(30)의 상측에 결합시키고, 프로브(40)가 결합된 가이드부(20)를 이격거리유지부(30)의 하측에 결합시킨다.Thereafter, the printed circuit board 10 to which the connector 50 is fixed is coupled to the upper side of the separation distance maintaining part 30, and the guide part 20 to which the probe 40 is coupled is separated from the separation distance maintaining part 30. To the lower side.

이때, 도6에서 보는 바와 같이 프로브 핀(42)이 커넥터(50)의 그립홈(52a)에 삽입되는데, 상하이동수단(70)을 인쇄회로기판(10)에 나사결합한 후 회전시키면 상하이동수단(70)이 센터블럭(60)의 상면을 가압하게 된다.At this time, as shown in FIG. 6, the probe pin 42 is inserted into the grip groove 52a of the connector 50. When the shank moving means 70 is screwed into the printed circuit board 10 and rotated, the shank moving means is rotated. 70 pressurizes the upper surface of the center block 60.

이후, 도7에서 보는 바와 같이 상하이동수단(70)에 의해 센터블럭(60)이 하방으로 이동되면서 제1 접촉부(52)의 그립홈이 경사면(52b)에 의해 수축되고, 그립홈(52a)에 삽입된 프로브 핀(42)이 커넥터(50)에 견고하게 고정된다.Subsequently, as shown in FIG. 7, as the center block 60 is moved downward by the shank moving means 70, the grip groove of the first contact portion 52 is contracted by the inclined surface 52b, and the grip groove 52a is provided. The probe pin 42 inserted into the connector 50 is firmly fixed to the connector 50.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications or variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the appended claims are intended to cover such modifications or changes as fall within the scope of the invention.

도1은 종래의 프로브 카드의 단면도,1 is a cross-sectional view of a conventional probe card,

도2는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 카드의 단면도, 2 is a cross-sectional view of a probe card according to an embodiment of the present invention;

도3은 본 발명의 일실시예에 따른 커넥터의 사시도, 3 is a perspective view of a connector according to an embodiment of the present invention;

도4는 본 발명의 일실시예에 따른 커넥터의 그립홈에 프로브 핀이 진입되는 상태를 도시한 도면,4 is a view illustrating a state in which a probe pin enters a grip groove of a connector according to an embodiment of the present invention;

도5는 본 발명의 일실시예에 따른 커넥터의 다른 형태를 도시한 도면,5 is a view showing another form of the connector according to an embodiment of the present invention;

도6은 본 발명의 일실시예에 따른 커넥터의 그립홈에 프로브 핀이 삽입된 상태를 도시한 도면, 6 is a view illustrating a state in which a probe pin is inserted into a grip groove of a connector according to an embodiment of the present invention;

도7은 본 발명의 일실시예에 따른 커넥터와 프로프 핀이 연결된 상태를 도시한 도면.7 is a view illustrating a state in which a connector and a prop pin are connected according to an embodiment of the present invention.

<주요도면부호에 관한 설명> <Description of main drawing code>

1 : 프로브 카드 10 : 인쇄회로기판1: probe card 10: printed circuit board

20 : 가이드부 30 : 이격거리유지부20: guide part 30: separation distance maintenance unit

40 : 프로브 50 : 커넥터40: probe 50: connector

60 : 센터블럭 70 : 상하이동수단60: center block 70: Shanghai East Sudan

Claims (4)

웨이퍼를 구성하는 다수의 칩에 전기적으로 접촉되어 발생되는 전기적 신호를 외부에 구비된 테스터 장비에 전달하는 프로브 카드에 있어서,A probe card for transmitting an electrical signal generated by electrical contact with a plurality of chips constituting a wafer to a tester equipment provided externally, 상기 테스터장비와 전기적으로 연결되고, 일측에 관통공이 형성된 인쇄회로기판과;A printed circuit board electrically connected to the tester equipment and having a through hole formed at one side thereof; 상기 인쇄회로기판으로부터 하방으로 이격되게 설치되고, 일측에 통과공이 형성된 가이드부와;A guide part spaced downward from the printed circuit board and having a through hole formed at one side thereof; 일측이 상기 인쇄회로기판과 결합되고, 타측이 가이드부에 결합되어 상기 인쇄회로기판과 상기 가이드부의 이격거리를 유지하는 이격거리유지부와;A separation distance maintaining part having one side coupled to the printed circuit board and the other side coupled to the guide part to maintain a separation distance between the printed circuit board and the guide part; 일측에 피검사체와 전기적으로 접촉되는 프로브 팁이 형성되고, 타측에 상방으로 연장형성되어 상기 통과공을 관통하는 프로브 핀을 포함하는 프로브와;A probe including a probe pin at one side, the probe tip being in electrical contact with the test object, and extending upward at the other side, the probe pin passing through the through hole; 상단부가 상기 인쇄회로기판에 연결되고, 하단에 상기 프로브 핀의 상단부가 삽입되는 그립홈이 형성되고, 하단부의 외측에 하부방향으로 넓어지는 경사면이 형성된 커넥터와;A connector having an upper end connected to the printed circuit board, a grip groove into which an upper end of the probe pin is inserted at a lower end thereof, and an inclined surface extending downward in an outer side of the lower end; 일측에 상기 경사면의 폭보다 작은 직경을 갖는 삽입공이 형성되어 상기 커넥터의 일측이 상기 삽입공에 삽입되며, 상기 인쇄회로기판 및 상기 가이드부 사이에 상하이동가능하게 설치되는 센터블럭; 및A center block on one side of which an insertion hole having a diameter smaller than the width of the inclined surface is formed so that one side of the connector is inserted into the insertion hole and is movable between the printed circuit board and the guide part; And 상기 센터블럭에 연결되어 상기 센터블럭을 상하이동시키는 상하이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.And a shangdong means connected to the center block to shanghai the center block. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 커넥터는 휨형성되어 상기 인쇄회로기판 일측에 탄성접촉되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.The connector is bent to form a probe card, characterized in that the elastic contact with one side of the printed circuit board. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 커넥터는 상기 인쇄회로기판의 관통공과 대응되는 일측에 절개부가 형성되고, 상기 절개부가 형성된 영역의 외면이 외측으로 볼록하게 형성되어 탄성을 갖는 컨텍트부가 형성되며, 상기 컨텍트부가 상기 인쇄회로기판 중 상기 관통공이 형성된 내측면에 탄성접촉되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.The connector has a cutout portion formed at one side corresponding to the through hole of the printed circuit board, and an outer surface of the region where the cutout portion is formed is formed to be convex outward to form a contact portion having elasticity. Probe card, characterized in that the elastic contact with the inner surface formed through holes. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 커넥터는 하단에 내측으로 경사진 진입안내부가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.The connector is a probe card, characterized in that the entry guide further inclined inwardly formed at the bottom.
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