KR101051646B1

KR101051646B1 - 노광장치

Info

Publication number: KR101051646B1
Application number: KR1020030094487A
Authority: KR
Inventors: 오모리토시히코
Original assignee: 후지필름 가부시키가이샤
Priority date: 2003-01-23
Filing date: 2003-12-22
Publication date: 2011-07-26
Also published as: TW200419203A; KR20040067820A; US7122780B2; US20040213530A1; JP3961963B2; JP2004228343A; CN1517728A; CN1308710C; TWI294045B

Abstract

본 발명은 높은 조명 효율이 얻어짐과 아울러 균일하게 노광할 수 있는 노광장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

이를 위해, 광원과, 이 광원으로부터 광이 공급되는 광 적분기와, 이 광 적분기를 경유한 광에 의해 조명되는 2차원 공간 변조 소자를 갖는 노광장치에 있어서, 광 적분기를 향하여 광을 출사하는 광 파이버 번들 단부(174E)를 광원에 설치하고, 출사측으로부터 바라본 광 파이버 번들 단부(174E)의 출사영역(192)을 광 적분기의 출사면의 윤곽형상과 대략 유사한 형상으로 함으로써 광 파이버 번들 단부 (174E)로부터 출사한 광의 대부분을 조명 설정영역에 조사할 수 있으므로 높은 조명 효율이 얻어짐과 아울러 균일하게 노광할 수 있다.

Description

노광장치{EXPOSURE DEVICE}

도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 노광장치의 외관을 도시하는 사시도이다.

도 2는 본 발명의 일실시형태에 관한 노광장치의 스캐너의 구성을 도시하는 사시도이다.

도 3(A)는 감광재료에 형성되는 노광완료 영역을 도시하는 평면도이고, 도 3(B)는 각 노광헤드에 의한 노광영역의 배열을 도시하는 평면도이다.

도 4는 본 발명의 일실시형태에 관한 노광장치의 노광헤드의 구성을 도시하는 모식도이다.

도 5는 본 발명의 일실시형태에 관한 노광장치에서, 2차원 SLM으로 조명해야할 조명 설정영역을 도시하는 평면도이다.

도 6은 본 발명의 일실시형태에 관한 노광장치에서, 광 파이버 번들(optical fiber bundle) 단부의 정면도이다.

도 7은 본 발명의 일실시형태에 관한 노광장치의 노광헤드의 변형예를 도시하는 모식도이다.

도 8은 에텐듀(etendue)의 원리를 설명하기 위한 모식도이다.

도 9(A) 및(B)는 각각 DMD를 경사 배치하지 않은 경우와 경사 배치한 경우 에, DMD에 입사되는 빔의 위치 및 DMD로부터 출사한 주사선을 비교하여 도시하는 모식도이다.

도 10은 종래의 광 파이버 번들 단부의 정면도이다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

142 … 노광장치 166 … 노광헤드

174E … 광 파이버 번들 단부(단부)

176 … 광 적분기(optical integrator)

186 … 2차원 SLM(2차원 공간 변조 소자)

192 … 출사영역 200 … DMD

본 발명은 노광장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 조명 효율을 향상시킴과 아울러 균일하게 노광할 수 있는 노광장치에 관한 것이다.

LCD(액정소자)나 DMD(digitalㆍmicro mirrorㆍdevice) 등의 2차원 공간 광 변조 소자(이하, 2차원 SLM이라함)를 광원으로부터의 광으로 조명하고, 이 조명 광학시스템을 갖고 2차원 SLM에 의해 제어된 광상을 감재(感材)에 노광하는 노광장치가 알려져 있다. 이와 같은 노광장치에서는 2차원 SLM을 균일하게 조명할 필요가 있고, 조명 광학시스템에는 광 적분기가 이용되고, 노광장치 이외에도 프로젝터 (projector)로 일반적으로 사용되고 있다(예컨대, 특허문헌1 참조).

광 적분기는 광속(光束)을 분할하고, 다른 경로를 통한 후 재합성함으로써 강도와 위치의 상관관계(강도분포)를 해소하여 균일화하는 것이지만 광속의 분할방식의 차이에 의해 2개의 방식이 있다. (1) 하나는 2차원으로 렌즈를 배치한 렌즈 어레이[플라이 아이(fly eye) 렌즈]를 사용하여 공간적으로 광속을 분할하는 플라이 아이 타입이고, (2) 또 하나는 유리의 로드나 내면을 미러로 한 중공의 로드를 사용하여 다중 반사에 의해 각도적으로 분할하는 로드 타입이다.

플라이 아이 타입에서는 2장의 플라이 아이 렌즈를 사용하고, 1장째의 플라이 아이 렌즈로 2장째의 플라이 아이 렌즈의 각 렌즈 셀에 광을 집광하는 구성으로 되어 있다. 또한, 2장째의 플라이 아이 렌즈의 각 렌즈 셀에는 광원 상이 맺어지고, 2장째의 플라이 아이 렌즈는 1장째의 플라이 아이 렌즈의 각 렌즈 셀의 상을 2차원 SLM 위에 결상하는 구성으로 되어 있다. 한편, 로드 타입의 경우에는 로드의 입사면에 광원 상이 맺어지고, 로드의 출사면의 상을 2차원 SLM 위에 결상하는 구성으로 되어 있다.

광원으로 초고압 수은램프 등의 램프를 사용하는 경우, 램프의 광 출사부 형상과 2차원 SLM의 조명 영역 형상(즉, 2차원 SLM을 조명하는 영역 형상)이 모두 다르지만 상기 적분기를 사용함으로써 2차원 SLM의 필요한 사용 영역 만 균일하게 조명할 수 있게 되어 있다.

[특허문헌1]

일본 특허공개 평3-111806호 공보

그러나, 실제로는 램프와 같이 에텐듀(Etendue)가 크고 또한 광 출사부의 형상이 2차원 SLM에 도달한 조명 광의 조명 영역의 형상과 다른 경우, 램프로부터 출사된 광을 모두 유효하게 이용하는 것이 곤란하고, 조명 효율이 낮게 되어 있는 것이 현상이다.

구체예를 들어서 설명하면, 예컨대, 램프와 플라이 아이 타입의 적분기를 사용한 경우, 1장째의 플라이 아이 렌즈에 의해 2장째의 플라이 아이 렌즈의 각 셀에 램프의 아크(arc)의 상이 맺어지게 된다. 2차원 SLM 위의 사용영역이 직사각형인 경우에는 플라이 아이 렌즈의 렌즈 셀 형상도 조명하는 영역과 유사한 형상으로 하여 렌즈 셀의 상이 결상되는 구성으로 하고, 램프의 아크 상이 2장째의 플라이 아이 렌즈의 렌즈 사이즈 이하가 되도록 설계하지만 실제로는 광원 사이즈(램프의 광 출사부 사이즈 즉, 아크 사이즈), 광의 넓이, 렌즈의 수차(收差) 등에 의해 광원의 상의 전체가 렌즈 셀에 입사되는 것이 곤란하므로 광학 성능이 열화하고, 조명 효율의 저하나 조명균일도가 악화되는 것 등의 문제가 발생한다.

본 발명은 상기 사실을 고려하여 높은 조명 효율이 얻어짐과 아울러 균일하게 노광할 수 있는 노광장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명자는 플라이 아이 렌즈의 렌즈 셀 형상(로드의 출사부 형상)과 대략 유사한 형상, 즉, 광 적분기의 출사면의 윤곽형상과 대략 유사한 형상이 되는 광 출사부를 가지는 광원으로 하면 광 출사부로부터 나온 광의 대부분을 조명 영역에 도입할 수 있게 되고, 조명 효율 및 조명 균일도의 향상이 기대되는 것에 착안하였 다. 또한, 광 파이버의 단부를 번들로 하여 묶은 광 출사부는 통상, 도 10에 도시하는 바와 같이, 육각형상(대략 원형)이지만 이 형상은 임의의 형상으로 할 수 있는 것을 알아내서 더욱 검토를 거듭하여 본 발명을 완성하기에 이르렀다.

청구항1에 기재된 발명은 광원과, 상기 광원으로부터 광이 공급되는 광 적분기와, 상기 광 적분기를 경유한 광에 의해 조명되는 2차원 공간 변조 소자를 갖는 노광장치로서, 상기 광원은 광 파이버를 나란히 배열하고, 상기 광 파이버로부터 광을 출사하는 광 파이버 번들로 이루어지는 광원이고, 출사측으로부터 바라본 상기 광 파이버 번들의 단부에서 형성되는 출사영역의 형상과 상기 광 적분기의 출사면의 윤곽형상을 대략 유사한 형상으로 한 것을 특징으로 한다.

본 명세서에서 광 파이버 번들은 다수개의 광 파이버의 단부를 1번들로 묶은 단부를 말한다. 광 파이버 번들은 임의의 형상으로 될 수 있다.

광 파이버 번들의 입사측에 광을 공급하기 위해서는 램프를 이용하여도 좋고, LD(반도체 레이저)를 이용하여도 좋고, 특별히 한정하는 것은 아니다. LD를 이용하는 경우, 광 파이버의 입사측에 LD를 결합한다. 또한, 1개의 광 파이버에 복수개의 LD를 결합하여도 좋음으로써 에텐듀(Etandue)를 작게 한 채로 광의 파워를 증대시킬 수 있다. 또한, 복수의 이미터(emitter)를 어레이 형상으로 배열한 브로드 에리어 타입(broad area type)의 반도체 레이저를 이용하여도 좋다.

청구항1에 기재된 발명에 의해, 상기 광 파이버 번들 단부로부터 출사한 광의 대부분을 2차원 공간 변조 소자에 도달한 조명 광의 조명 영역에 도입할 수 있으므로 높은 조명 효율이 얻어짐과 아울러 균일하게 노광할 수 있다.

상기 광 적분기는 플라이 아이 타입 또는 로드 타입인 것이 많다.

또한, 광 파이버의 개수가 많게 되면 광 파이버 번들 단부의 사이즈가 크게 된다. 즉, 광원측의 에텐듀가 크게 된다. 이 광원측의 에텐듀가 2차원 광 변조 소자측의 에텐듀에 비해 크게 되면 조명 효율이 저하하므로 광 파이버의 개수가 많은 경우, 광 파이버의 코어지름이나 클래드(clad) 지름을 작게 함으로써 조명 효율의 저하를 방지할 수 있다.

상기 2차원 공간 변조 소자로서 DMD를 사용하는 경우, DMD의 각 미러면의 광축에 대해서 소정의 각도로 광을 경사지게 입사하고, 또한, 각 미러가 경사지는 방향으로부터 입사시키므로(즉, 각 미러면의 소정의 대각방향으로부터 입사시키므로) 출사측으로부터 바라본 광 파이버 번들 단부의 형상이, 예컨대, 직사각형이어도 각 DMD의 면 상에서는 직사각형을 변형시킨 형상이 된다. 그러나, 변형량이 작으므로 대략 직사각형이라고 생각하여도 좋다. 따라서, 2차원 공간 변조 소자로서 DMD를 사용하는 경우에도 출사측으로부터 바라본 광 파이버 번들 단부의 형상과 광 적분기의 출사면의 윤곽형상을 대략 유사한 형상으로 하면 좋다.

DMD는 LCD(액정소자)와 같이 UV광에 의해 열화하는 것이 아니므로 UV광에 대해서 감도를 갖는 감광재료를 높은 조명 효율로 노광할 수 있다.

이하, 실시형태를 들어, 본 발명의 실시형태에 관해서 설명한다. 본 발명의 일실시형태에 관한 노광장치(142)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 시트형상의 감광재료(150)를 표면에 흡착하여 유지하는 평판형상의 스테이지(152)를 구비하고 있다. 4개의 다리부(154)에 지지된 두꺼운 판형상의 설치대(156)의 상면에는 스테이 지 이동방향을 따라서 연장된 2개의 가이드(158)가 설치되어 있다. 스테이지(152)는 그 길이방향이 스테이지 이동방향을 향하도록 배치됨과 아울러 가이드(158)에 의해서 왕복이동가능하게 지지되어 있다. 또한, 상기 노광장치(142)에는 스테이지 (152)를 가이드(158)를 따라서 구동하기 위한 도시하지 않은 구동장치가 설치되어 있다.

설치대(156)의 중앙부에는 스테이지(152)의 이동경로를 걸치도록 コ자형상의 게이트(160)가 설치되어 있다. 게이트(160) 단부 각각은 설치대(156)의 양 측면에 고정되어 있다. 이 게이트(160)를 끼워서 일방측에는 스캐너(162)가 설치되고, 타방측에는 감광재료(150)의 선단 및 후단을 검지하는 복수(예컨대, 2개)의 검지센서 (164)가 설치되어 있다. 스캐너(162) 및 검지센서(164)는 게이트(160)에 각각 설치되어 스테이지(152)의 이동경로의 상방에 고정배치되어 있다. 또한, 스캐너(162) 및 검지센서(164)는 이들을 제어하는 도시하지 않은 컨트롤러에 접속되어 있다.

스캐너(162)는, 도 2 및 도 3(B)에 도시하는 바와 같이, m행 n열(예컨대, 3행 5열)의 대략 매트릭스형상으로 배열된 복수(에컨대, 14개)의 노광헤드(166)를 구비하고 있다. 이 예에서는 감광재료(150)의 폭과의 관계에서 3행째에는 4개의 노광헤드(166)를 배치하였다. 또한, m행의 n열째에 배열된 개개의 노광헤드를 나타내는 경우는 노광헤드(166_mn)로 표기한다. 각 노광헤드의 구성은 동일하다.

노광헤드(166)에 의한 노광영역(168)은 부주사방향(V)을 단변으로 하는 직사각형상이므로 스테이지(152)의 이동에 수반하여 감광재료(150)에는 노광헤드(166) 마다 띠형상의 노광완료 영역(170)이 형성된다. 또한, m행의 n열째에 배열된 개개의 노광헤드에 의한 노광영역을 나타내는 경우는 노광영역(168_mn)으로 표기한다.

또한, 도 3(A) 및 도 3(B)에 도시하는 바와 같이, 띠형상의 노광완료 영역 (170)이 부주사방향과 직교하는 방향으로 간극없이 나열되도록 라인형상으로 배열된 각 행의 노광헤드 각각은 배열방향으로 소정간격(노광영역의 긴 변의 자연수배, 본 실시형태에서는 2배) 어긋나게 배치되어 있으므로 1행의 노광영역(168₁₁)과 노광영역(168₁₂) 사이의 노광할 수 없는 부분은 2행째의 노광영역(168₂₁)과 3행째의 노광영역(168₃₁)에 의해 노광할 수 있다.

[노광헤드의 구성]

노광헤드(166₁₁~166_mn)의 구성은 모두 동일하므로 이하, 하나의 노광헤드에 관해서 그 구성을 설명한다.

노광헤드(166)는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 출사측 단부가 묶여져서 광 파이버 번들 단부(174E)로 된 다수개의 광 파이버(174)와, 다수개의 광 파이버 (174)와 LD를 결합시킨 광원을 광원으로서 구비하고 있다.

또한, 노광헤드(166)는 광 파이버 번들 단부(174E)로부터 출사된 광이 입사하는 조명 광학시스템으로서 광 적분기(176)를 구비하고 있다. 광 적분기(176)는 광 파이버 번들 단부(174E)로부터의 광을 집광하는 콜리메이터(collimator) 렌즈 (178)와, 콜리메이터 렌즈(178)를 투과한 수속광(收束光)이 순차 투과하는 2장의 플라이 아이 렌즈(180A,180B), 및 필드 렌즈(182)가 구비되어 있다.

또한, 노광헤드(166)에는 필드 렌즈(182)를 투과한 광을 변조하는 2차원 SLM (2차원 공간 변조 소자)(186)이 설치되어 있다.

도 5에 도시하는 바와 같이, 2차원 SLM(186)에 조명하고자 의도한 조명 설정영역(190)은 직사각형상으로 되어 있다. 또한, 도 6에 도시하는 바와 같이, 광 파이버 번들 단부(174E)는 출사측으로부터 바라봐서 조명 설정영역(190)과 대략 유사한 형상의 출사영역(192)을 형성하고 있음으로써 광 파이버 번들 단부(174E)로부터의 광을 조명 광으로서 쓸모있게 이용할 수 있고, 높은 조명 효율이 얻어진다.

또한, 플라이 아이 타입이 아니고, 도 7에 도시하는 바와 같이, 유리로 이루어지는 로드(194)를 이용한 로드 타입의 노광헤드를 갖는 노광장치여도 좋다. 이로써, 장치구성을 간소하게 할 수 있다.

[조명 광학시스템의 특성, 배치위치]

조명 광학시스템의 간략도의 일예를 도 4에 도시한다. 플라이 아이 렌즈 (180A)는 렌즈 셀 사이즈(S1), 렌즈 셀수(N1), 종방향 길이(A1), 집점거리(ML1F)로 되어 있고, 집광 사이즈는 Z1(=2×ML1F×NA1)이다. 플라이 아이 렌즈(180B)는 렌즈 사이즈(S2)(=S1), 렌즈 셀수(N2)(=N1), 및, 종방향 길이(A2)(=A1)가 모두 플라이 아이 렌즈(180A)와 동일하고, 집점거리(ML2F)로 되어 있다. 필드 렌즈(182)는 종방향 길이(FLD)가 A2와 거의 동일하다. 또한, 필드 렌즈(182)의 집점거리(FLF)가 플라이 아이 렌즈(180B)와 2차원 SLM(186)과의 거리(L4)와 거의 동일하게 되도록 2차원 SLM(186)이 배치되어 있다.

광 파이버 번들 단부(174E)와 콜리메이터 렌즈(178)의 거리(L1), 및 콜리메이터 렌즈(178)와 플라이 아이 렌즈(180A)의 거리(L2)는 모두 콜리메이터 렌즈 (178)의 집점거리(CL2F)와 동일하게 되어 있다. 플라이 아이 렌즈(180A)와 플라이 아이 렌즈(180B)의 거리(L3)는 플라이 아이 렌즈(180A)의 집점거리(ML1F)와 동일하게 되어 있다.

여기서, 광 파이버 번들 단부(174E)의 어느 일방향 길이를 A0, 광 파이버 번들 단부(174E)로부터의 광의 방산각도를 NA0, 플라이 아이 렌즈(180A)로의 집광각도를 NA1으로 하면 조명시스템의 기본식은 이하의 식으로 주어진다.

A0ㆍNA0=A1ㆍNA1

(즉, A0ㆍNA0=N1ㆍS1ㆍNA1)

또한, 결상특성은 이하의 식으로 주어진다.

1/L3+1/L4=1/ML2F

(즉, 1/ML1F+1/L4=1/ML2F)

배율특성은 이하의 식으로 주어진다.

ACS/S1=L4/L3

(즉, ACS/S1=L4/ML1F)

집광특성은 플라이 아이 렌즈(180A)에 의한 집광 사이즈(직경)를 Z1로 하면 이하의 식으로 주어진다.

Z1=2ㆍML1FㆍNA1

조명(FN₀)은

SFN₀=FLF/FLD(≒L4/L2)

로 주어진다.

[Etendue(에텐듀)의 개념]

SLM(공간 변조 소자)을 조명한다라는 것은 어느 광원의 상을 SLM에 결상한다라는 것이다. 광학배율을 β로 하면, 도 8에 도시하는 바와 같이, 상의 면적(S₂)은 β²에 비례하고(S₂=β²S₁), 광선과 광축이 이루는 각(θ)은 배율(β)에 역비례한다(θ₂=θ₁/β). 즉,

S₁θ₁ ²=S₂θ₂ ²

로 된다. 여기서, 입체각(Ω)은 θ₂에 거의 비례하므로,

Ω₁S₁≒Ω₂S₂

로 된다. 즉, 광원면적과 입체각의 곱은 일정하게 된다. 엄밀하게는 이상적인 렌즈[투과율 100%, 무수차(無收差)](198)에 의한 광속의 전달은,

광속:

로 표시된다. θ가 충분히 작을(F 2.5이상) 때에는 cosθ≒1이므로,

광속: e≒Ω₁S₁ ≒Ω₂S₂

로 보여진다. 이 「ΩS」가 에텐듀(Etandue)이다. 이상적인 무수차ㆍ투과율 100%의 광학시스템을 가정하면 에텐듀는 보존된다(또한, 공역의 관계가 아니어도 에텐듀는 보존되는 것이 알려져 있다).

즉, 상기 도면의 광원(B)을 2차원 SLM으로 하면 광원(A)의 에텐듀가 2차원 SLM의 에텐듀보다 작으면 매우 높은 효율로 조명할 수 있게 된다.

(계산예)

광원측의 에텐듀를 Es로 한다.

① 아크길이 4mm의 방전램프의 예

광원을 직경 1mm, 길이 4mm의 원기둥으로 하고, 측면으로부터 등방(等方)적으로 광이 방출되는 것으로 하면,

Es=πㆍ1ㆍ4ㆍ2π≒80㎟ㆍstr

로 된다(에텐듀가 크다).

② 섬유광원의 예

번들 출사부 사이즈 0.7×0.7mm, NA 0.2(≒11.5deg)

로 하면,

Es=2πㆍ(1-cos11.5)ㆍ0.7ㆍ0.7≒0.06㎟ㆍstr

로 된다(에텐듀가 매우 작다).

[실시예]

이하, 2차원 SLM(186)으로서 DMD를 이용한 경우를 실시예로 들어서 설명한다. 도 9에 도시하는 바와 같이, 본 실시예에서는 2차원 SLM으로서 DMD(200)가 각 노광헤드(166₁₁~166_mn)에 설치되어 있고, DMD(200)에 의해서 입사된 광빔을 화상데이터에 따라서 각 화소마다 변조하도록 되어 있다.

도 9(A)는 주주사방향(U)에 대해서 DMD(200)를 경사지게 하지 않은 경우의 각 화소부의 실상[빔스폿(BS)]의 주사궤적을 도시하고, 도 9(B)는 주사방향(U)에 대해서 DMD(200)를 경사지게 한 경우의 빔스폿(BS)의 주사궤적을 도시하고 있다. DMD(200)는 그 변방향이 주주사방향(U)과 소정각도(θ)(예컨대, 0.1°~1°)를 이루도록 약간 경사지게 배치하는 것이 바람직하다.

DMD(200)에는 길이방향(행방향)을 따라서 화소부가 다수개(예컨대, 800개) 배열된 화소열이 두께방향으로 다수조(예컨대, 600조) 배열되어 있지만, 도 4(B)에 도시하는 바와 같이, DMD(200)를 경사지게 함으로써 각 화소부로부터 출사된 빔스폿(BS)의 주사궤적(주사선)의 피치(P₂)가 DMD(200)를 경사지게 하지 않은 경우의 주사선의 피치(P₁)보다 좁게 되고, 해상도를 대폭적으로 향상시킬 수 있다. 한편, DMD (200)의 경사각은 미소하므로 DMD(200)를 경사지게 한 경우의 주사폭(W₂)과, DMD (200)를 경사지게 하지 않은 경우의 주사폭(W₁)은 대략 동일하다.

또한, 다른 화소열에 의해 동일 주사선 상에 있어서의 대략 동일 위치(도트)가 겹쳐서 노광(다중 노광)되게 된다. 이와 같이 다중 노광됨으로써 노광위치의 미소량을 컨트롤할 수 있고, 고정밀ㆍ세밀한 노광을 실현할 수 있다. 또한, 주주사방향(U)을 따라서 배열된 복수의 노광헤드 간의 이음매를 미소량의 노광위치제어에 의해 단차없이 연결할 수 있다. 그러나, 그 변형량은 작다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에서는 LCD(액정소자)와 같이 UV광에 의해 열화하는 일이 없는 DMD(200)를 2차원 SLM으로서 설치함으로써 UV광에 대해서 감도를 갖는 감광재료를 높은 조명 효율로 균일하게 노광할 수 있다.

이상, 실시형태를 들어서 본 발명의 실시형태를 설명하였지만 상기 실시형태는 일례이고, 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 각종 변경하여 실시할 수 있다. 또한, 본 발명의 권리범위가 상기 실시형태에 한정되지 않는 것은 말할 필요도 없다.

본 발명은 상기 구성으로 한 것으로서, 높은 조명 효율이 얻어짐과 아울러 균일하게 노광할 수 있는 노광장치가 실현된다.

Claims

광원과, 상기 광원으로부터 광이 공급되는 광 적분기와, 상기 광 적분기를 경유한 광에 의해 조명되는 디지털 마이크로 미러 디바이스를 갖는 노광장치로서,

상기 광원은 광 파이버를 나란히 배열하고, 상기 광 파이버로부터 광을 출사하는 광 파이버 번들로 이루어지는 광원이고,

상기 광원의 에텐듀가 상기 디지털 마이크로 미러 디바이스의 에텐듀보다 작고,

주주사 방향에 대하여 상기 디지털 마이크로 미러 디바이스가 기울어져 있고,

출사측으로부터 바라본 상기 광 파이버 번들의 단부에서 형성되는 출사영역의 형상과 상기 광 적분기의 출사면의 윤곽형상을 유사한 형상으로 하고, 다중노광 하는 것을 특징으로 한 노광장치.
제1항에 있어서, 상기 광 적분기가 플라이 아이 타입 또는 로드 타입인 것을 특징으로 한 노광장치.