KR101035292B1 - 편향 에프이디 - Google Patents

Abstract

본 발명은 편향 FED(Deflection Field Emission Display) 및 FED를 편향시키는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 FED 기본 구조에 전자빔을 편향시킬 수 있는 빔 편향판을 가져서 각 전자빔을 소정의 방향으로 편향시킬 수 있는 편향FED 및 FED에서 빔을 편향시킬 수 있는 방법에 관한 것이다.

Description

편향 에프이디{DEFLECTION FIELD EMISSION DISPLAY}

본 발명은 편향 FED(Deflection Field Emission Display) 및 FED를 편향시키는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 FED 기본 구조에 전자빔을 편향시킬 수 있는 빔 편향판을 가져서 각 전자빔을 소정의 방향으로 편향시킬 수 있는 편향FED 및 FED에서 빔을 편향시킬 수 있는 방법에 관한 것이다.

일반적으로 FED는 콜드 캐소드 전자 소스(cold cathod electron source)인 전계방출원 어레이(field emitter array)를 행렬로 배열하여 기존의 CRT와 같이 전자선(electron beam)을 형광체(phosphor)에 부딪혀 음극 발광을 하도록 하는 원리를 이용하는 디스플레이 장치이다.

종래의 FED는 도1에 도시된 바와 같이 아래쪽에는 음극 컨덕터(11)에 마이크로 팁(12)이 적층되며 상기 각 팁에 따라 위치된 게이트(13)를 포함하는 캐소드(CATHODE) 판(10)이 있으며 스페이서(미도시)에 의해 일정 간격을 작은 진공 갭을 두고 위쪽은 형광체(21)로 도포된 ITO(22)를 포함하는 아노드 판(20)이 유리판(30)에 부착되어 있다.

일반적으로 캐소드 판(10)에는 행전극과 열전극이 있고 이들을 통하여 전계방출원들이 행렬 구동되어 케이트 전압이 걸리는 시간 동안 전자가 방출되고 아노 드 전압에 의하여 가속된다. 방출된 전자들이 빔으로 진공 갭을 지나 아노드의 형광체를 발광시키다. 각 픽셀에는 R G B 형광체가 있어 칼라 디스플레이를 하게된다.

그러나 단위 픽셀을 구성하는 각각의 RGB 각 형광체(21)와 각 전계방출원 팁(12)의 정렬이 잘 이루어져야 각픽셀에서 칼라 디스플레이가 제대로 이루어지게 된다.

그러나 실제로 캐소드 판(10)과 애노드 판(20)의 정렬은 용이하지 않으며 픽셀간의 간격등으로 고려할 때, 특히 대형 FED 디스플레이 장치에서는 두 판을 정확히 정렬하는 것은 매우 어렵다. 따라서 잘못 정렬된 경우 디스플레이가 선명하게 되지 않거나 패널자체를 사용할 수 없는 경우가 발생한다.

이와 같은 정렬 문제를 해결하기 위하여 캐소드 판과 애노드 판의 정렬을 정확히 할 수 있는 장비를 사용하여야 하나 이러한 정렬(alignment) 장비는 매우 고가이며 또한 양산의 신뢰성은 장비 자체에서 문제가 된다.

따라서 어느 정도의 정렬문제는 자체적으로 해결하는 방법이 바람직한 상황이다.

기술적 과제

본 발명은 FED의 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 캐소드 판에서 발생되는 전자빔의 경로를 수정할 수 있도록 하는 전자빔을 편향시킬 수 있는 FED를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한 본 발명에 따른 편향 FED로 용이하게 전자빔 경로를 수정할 수 있는 방법 제공하는 것을 목적으로 한다.

기술적 해결방법

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 편향 FED는

전자빔을 방출하는 전계방출원을 포함하는 캐소드(CATHODE) 판, 및 상기 캐소드 판와 스페이서에 의해 일정 간격을 작은 진공 갭을 두고 형광체가 도포된 판을 포함하는 FED에 있어서,

상기 캐소드 판과 상기 형광체가 도포된 판 사이에 배치되며, 상기 각각의 전계방출원의 팁에 대응하여 배치되는 편향홀들 및 상기 각각의 편향홀을 기준으로 배치되는 하나 이상의 전극을 구비한 편향판을 더 포함하며, 그리고

상기 편향홀이 상기 전계방출원 팁에서 방출된 전자빔이 대응되는 형광체에 주사되도록 상기 전자빔의 경로를 보정하는 것,

을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따른 FED의 전자빔을 편향시키는 방법은,

전자빔을 방출하는 전계방출원을 포함하는 캐소드(CATHODE) 판, 및 상기 캐소드 판와 스페이서에 의해 일정 간격을 작은 진공 갭을 두고 형광체가 도포된 판을 포함하는 FED가, 상기 전계방출원과 형광체가 도포된 판 사이에, 상기 각각의 전계방출원에 대응하여 배치되는 편향홀들 및 상기 각각의 편향홀을 기준으로 배치되는 하나 이상의 전극을 구비한 편향판을 더 포함하여,

캐소드 판의 전계방출원과 대응되는 형광체와의 정렬의 차이를 확인하는 단계,

상기 정렬 차에 상응하는 전자빔의 경로를 보정하기 위하여 보정값을 결정하는 단계, 및

상기 전계방출원과 상기 게이트를 포함하여 FED를 구동하기 위한 작동시 상기 보정값에 따라 상기 편향판의 전극에 전압을 인가하여 전자빔의 경로를 보정하는 단계,

를 포함하여 FED의 전자빔의 경로를 보정하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 편향 FED는 캐소드 판과 아노드 판의 정렬이 제대로 일치하지 않아서 전계방출원과 상기 전계방출원에서 발생되는 전자빔이 상응하는 형광체를 제대로 발광시키지 못하는 문제를 해결하기 위하여 캐소드 판과 아노드 판사이에 각 전자빔을 제어할 수 있는 편향판을 더 배치한 것이다.

일반적으로 캐소드 판과 아노드 판은 정밀한 얼라이너(Aligner)에 의해 정렬되지만 대형 디스플레이를 위한 패널로 제작될 수 록 정렬 오차가 발생하게 된다. 따라서 정렬오차가 소정의 범위내라면 폐기하지 않고 전자빔의 경로를 수정하여 사용 가능하도록 한 것이다. FED의 전계방출원에서 방출하는 전자빔은 많은 전자들의 이동 또는 흐름으로서 그라운드, 음 전압, 또는 양전압을 인가함으로써 경로의 변경을 만들 수 있다.

이와 같은 원리를 이용하여 본 발명의 편향 FED는 캐소드 판과 아노드 판의 정렬의 차이 또는 여러 다른 원인에 의해 전계방출원의 전자빔이 상응하는 형광체에 제대로 도달하지 못하고 다른 위치로 주사되는 것을 편향판을 이용하여 전체 전자빔의 경로를 수정하여 각 전계방출원이 해당 형광체를 발광할 수 있도록 하는 것이다.

또한 FED에서 전자빔을 편향시키는 것은 본 발명에 따른 편향판이 하나 이상의 전극을 구비한 각각의 편향홀을 구비하고, 캐소트 판에서 발생된 각각의 전자빔이 상기 각각의 편향홀을 통과하여 형광체에 도달하게 상기 편향판이 FED에 배치된다. 따라서 상기 편향홀의 전극에 소정의 전압(영전압 포함)을 인가하면 캐소드 판에서 방출되어 형광체에 도달하는 전자빔의 경로는 상기 편향홀을 통과하며 변하게 된다. 전자빔은 많은 전자들의 흐름으로 전극에 양의 전압이 인가되면 전극 방향으로 당겨지고 음의 전압이 인가되면 전극에 대하여 밀려지므로 이를 이용하여 전자빔의 경로를 변경하는 것이다. 전극에 0의 전압(접지 또는 그라운드)이 인가되면 양의 전압이 인가된 것과 같이 전극으로 당겨진다.

유리한 효과

본 발명에 따른 편향 FED는 기존의 FED에서 전계 방출원과 해당 형광체의 정렬이 잘못된 경우 이를 보정하여 사용할 수 있도록 하여 FED의 제작을 보다 용이하게 수행할 수 있도록 한 것이다.

또한 본 발명의 편향 FED는 편향과 게이팅 또는 포커싱의 역할을 동시에 수행할 수 있도록 하여 간단한 구조의 편향 FED를 제작할 수 있도록 한다.

본 발명은 FED에서 전자빔의 경로를 보다 용이하게 보정할 수 있는 방법을 제공하며 또한 전자빔의 편향 및 포커싱 또는 게이팅 역할을 동시에 수행할 수 있도록 하여 FED의 전자빔 제어를 보다 단순하게 한다.

도1은 종래의 FED의 구조를 나타내는 분해 사시도이다.

도2는 본 발명에 따른 FED의 구조를 나타내는 분해 사시도이다.

도3은 본 발명에 따른 편향판의 일 예의 평면도이다.

도4는 본 발명에 따른 편향판의 다른 예의 평면도이다.

도5는 도3의 편향판(250)을 예로서 단위 편향홀(251)을 기준으로 전자빔을 편향시키는 것을 설명하기 위한 평면도이다.

발명의 실시를 위한 형태

이하 첨부된 도면을 참고하여 보다 구체적으로 설명한다.

도2는 본 발명에 따른 편광판이 장착된 FED의 패널(100)의 분해 사시도 이다.

도2에서 편향판(150)을 제외한 다른 구성은 도1에 도시된 종래의 FED와 같다. 즉 도1의 종래의 FED에 사용하는 음극 컨덕터(111)에 마이크로 팁(112)이 적층되며 상기 각 팁에 따라 위치된 게이트(113)를 포함하는 캐소드(CATHODE) 판(110)이 있으며 스페이서(미도시)에 의해 일정 간격을 작은 진공 갭을 두고 위쪽은 형광체(121)로 도포된 ITO(122)를 포함하는 아노드 판(120)이 유리판(130)에 부착되어 있다.

상기 캐소드 판(110)과 상기 아노드 판(120)사이에 각 편향홀(151)이 4개의 전극(152)이 있으며 각 전극(152)은 절연체(153)에 의해 절연되어 있다. 상기 전극(152) 및 절연체(153)체는 절연판(154)에 부착되어 있으며 상기 절연판(154)은 상 기 전극(152)과 상기 절연체(153)를 지지하는데, 또한 상기 전극(152)에 전압을 인가하기 위한 배선이 마련되어 상기 각각의 전극(152)에 전압 인가를 하기 위한 패선판 역할도 같이 할 수도 있다.

상기 마이크로 팁(112)은 게이트(113)에 의해 전자빔을 각 상응하는 형광체(121)에 주사하여야 하나 상기 캐소드 판(110)과 아노드 판(120)의 정렬이 잘못된 채로 패널(100)이 만들어 지면 각 마이크로 팁(112)에서 방출된 전자빔이 해당하는 형광체(121)를 발광시키지 못하거나 다른 형광체를 발광하는 경우가 발생하여 패널(100)의 불량의 원인이 된다.

따라서 본 발명에 따른 편향판(150)은 캐소드 판(110)에서 발생된 각각의 전자빔이 본래의 형광체(121)에 도달하도록 경로를 보정하는 역할을 하게된다.

도2에서 각 편향홀(151)은 4개의 전극(152)을 90도 간격으로 구비하고 있다. 각 편향홀(151)을 통과하는 각 전자빔은 4개의 전극(152)의 전압 인가를 통하여 경로가 변경되는데 본 도2와는 달리 전극의 숫자는 하나 이상 사용하여 전자빔의 경로를 변경시킬 수 있다.

상기 편향판(150)은 상기 게이트(113)으로부터 소정의 간격을 두고 배치하게 되는데 만일 편향판(150)의 정렬이 약간 다르게 되더라도 이를 감안하여 전극에 전압을 인가하면 충분히 전자빔의 경로를 보정할 수 있다. 상기 편향판(150)의 편향홀(151)이 충분히 크고 상기 게이트(113)와의 간격을 가깝게 할 수 있기 때문에 전자빔의 경로를 막지 않도록 용이하게 정렬하여 적층이 가능하다.

이하 본 발명에 따른 편향판에 대하여 도3 및 도4를 참조하여 보다 상세히 설명한다.

도3은 본 발명에 따른 편향판의 일 예의 평면도이고 도4는 본 발명에 따른 편향판의 다른 예의 평면도이다.

도3의 편향판(250)은 편향홀(251)을 기준으로 4개의 전극(252)이 인접하여 90도 간격으로 상부에 2개 하부에 2개씩 큰 형태를 가지며 배치되며 각 전극은 절연체(253)에 의해 절연된 것이다. 도4의 편향판(350)은 편향홀(351)을 기준으로 4개의 전극(352)이 인접하여 90도 간격으로 상하좌우에 절연체(353)에 의해 절연되며 배치된 것이다.

도3의 편향판(250)은 각 전극(252)이 넓은 면적을 가지고 있다. 하나의 기준 편향홀(251)을 기준으로 4개의 전극(252)이 마련되어 있어 만일 전자빔을 원하는 각도만큼 경로를 보정하려면 대향되는 전극에 각각 반대되는 전압을 인가하여 경로를 보정할 수 있다.

도4의 편향판(350)은 각 전극(352)이 도3의 전극(252)에 비해 작고 긴 막대 형태를 가지고 있다. 그리고 도시된 바와 같이 각각의 전극(352)은 배선이 되어 있는데 모두 4개의 배선에 각각 연결되어 있다. 즉 전극(352)의 배선은 각 편향홀(351)을 기준으로 0, 90, 180, 270도 기준으로 각각 동일한 배선으로 연결되어 있다. 따라서 각 편향홀(351)을 기준으로 동일 좌표의 전극에는 동일한 전압이 인가된다. 즉, 하나의 기준 편향홀(351)을 기준으로 90도 방향의 전극(352a)는 입력전극(357a)에, 180도 방향의 전극(352b)는 입력전극(357b)에, 270도 방향의 전극(352c)는 입력전극(357c)에, 그리고 0도 방향의 전극(352d)는 입력전극(357d)에, 모두 각각 배선 연결되어 동일한 방위의 전극에는 동일한 전압이 인가되어 각 전자빔을 동일하게 편향시키게 된다.

도2와 같이 절연판 위에 전극이 배치되는 경우에는 절연판 위에 각 전극이 구분되어 배치되면 각 전극 사이에는 별도의 절연은 필요없어지며 각 전극 사이에서 배선이 형성될 수 있다.

또한 필요에 따라서는 중간에 절연판을 사이에 두고 위 아래 전극을 배열하여 두 층으로 전극층을 사용한 편향판을 사용할 수 있으며 계속 적층하여 다수 층의 전극층을 포함하는 편향판을 만들 수도 있다. 2층 이상의 전극층을 포함하는 편향판은 후술하는 포커싱 역할에 더욱 유리하며, 좀더 편향을 정밀하게 제어하기 위하여 사용이 가능하나 제조 비용이나 제어 측면에서느 불리할 수 있다.

도5는 도3의 편향판(250)에서 단위 편향홀(251)을 기준으로 전자빔을 편향시키는 것을 설명하기 위한 평면도이다. 편향홀(251)을 기준으로 4개의 편향전극(252a,252b,252c,252d)가 상부에 2개 하부에 2개 배치되어 있다. 편향홀(251)의 중심을 기준으로 아래의 오른쪽 방향으로 전자빔(B)이 통과하고 있다. 이 경우 전자빔(B)을 편향홀의 중심 방향으로 편향시키기 위해서 편향 전극들에 전압을 인가하여 전자빔(B)의 경로를 변경할 수 있다. 전자빔(B)을 편향시키기 위하여 전극(252)들에 전압을 인가하는 방법은 다양하다. 예를 들어 전극(252a)에 양전압을 인가하여도 현재의 전자빔(B)은 중심방향으로 이동할 수 있다. 그러나 전극(252a)에만 전압을 인가하면 하나의 전극에 큰 전압을 인가하여야 하므로 전극(252a)에는 양전압을 전극(252d)에는 음전압을 인가하게 되면, 각 전극(252a,252b)에 하나의 전극 (252a)에 인가한 전압에 비해 약 절반 정도의 전압을 인가할 수 있어 제어하기에 용이하다. 만일 4개의 전극에 전압을 모두 인가한다면 전자빔(B)의 방향에 따라 보다 작은 전압을 인가하여 전자빔(B)을 동일하게 편향시킬 수 있다.

따라서 위의 도면들에서 도시된 바와 같이 전극들을 4개를 사용할 필요는 없다. 즉 하나 이상의 전극으로도 전자빔의 편향이 가능하다. 왜냐하면 전극에 양전압 또는 음전압을 선택적으로 인가하면 전자빔을 밀거나 당길 수 있어 경우에 따라서는 하나의 전극만으로도 소정의 편향효과를 얻을 수 있다. 바람직하게는 2개 이상의 전극을 사용하는 것이 좋으며 2개를 사용하는 경우 직각 방향으로 배치하여 필요에 따라 각 전극에 양전압 또는 음전압을 선택적으로 인가하여 전자빔을 소정의 위치로 편향 시킬 수 있도록 하면 된다. 전극 수가 많아지면 전자빔을 제어하기 위하여 전극에 인가하는 전압의 크기를 작게 할 수 있는 장점이 있으나 제어해야할 전극이 많아지므로 전자빔의 편향제어에 있어서는 불리할 수 있다. 따라서 정렬의 정도에 대한 데이터를 참조하여 전극의 수나 방위를 결정하는 것이 바람직하다.

도3의 편향판(250)은 각 전극이 큰 면적을 가지고 있는데 이 편향판(250)은게이트나 포커싱의 역할을 같이 수행할 수 있는 장점이 있다. 이 편향판(250)이 게이트나 포커싱의 역할을 수행하기 위해서는 각 해당 게이트나 포커싱에 필요한 전압을 결정하고 그리고 편향을 위한 각 방위별 전압을 계산하여 각 전극에 인가하면 된다.

예를 들어 게이트 또는 포커싱 전압으로 10V를 인가하여야 하고 도5의 단위 편향홀과 같이 전극(252a)에 20V의 전압을 인가하여야 한다면, 전극(252a)에는 30V 전압을 인가하고 나머지 전극들에는 10V의 전압을 인가하면 된다. 만일 동일한 케이트 전압이나 포커싱 전압에서 편향을 위한 전압이 -5V라면 전극(252a)에는 5V의 전압을 인가하고 나머지 전극에는 10V의 전압을 인가하면 된다. 만일 편향을 위한 전압으로 큰 음전압을 특정 전극에 인가하여야 하는 경우, 음전압이 커지면 포커싱이나 게이트 역할에 문제가 생긴다면 다른 전극에 양전압을 좀 더 크게 주고 음전압을 조금 덜 주어 편향효과와 포커싱 또는 게이트 역할을 수행할 수 있도록 할 수 있다. 즉 위의 경우 동일한 케이트 전압이나 포커싱 전압에서 편향을 위한 전압이 -10V라면 전극(252a)에는 5V의 전압을 인가하고 나머지 전극에는 15V의 전압을 인가하는 방식을 사용할 수도 있다.

또한 본 발명에 따른 편향 FED에서 포커싱 역할과 관련하여, 상기 편향판이 하나의 전극층을 사용하는 경우에는 도2에서 게이트(113)와 ITO층(122)을 이용하여 편향판(150)과 함께 3개의 전도층들의 전압차를 이용하여 포커싱하면 바람직하다. 즉, ITO층(122)은 주로 그라운드되어 0 V로 사용하고 게이트(113)는 일정 전압이 인가되고, 위에서 설명한 바와 같이 편향판에 소정의 전압을 조절인가하여 3개의 전도층들(게이트, 편향판, ITO층)을 이용해 일반 전자 렌즈와 같이 포커싱할 수 있다. 물론 전압의 제어는 주로 편향판에서 하게 되며, 필요시는 ITO층에도 전압을 인가할 수 있다. 만일 본 발명에 따른 편향판이 다층 이상의 전극층을 사용한다면 당연히 일반 전자 렌즈의 포커스 렌즈처럼 사용할 수 있음은 물론이다.

도4에서 각 전극의 배선은 각 방위별로 동일하게 전압을 인가하는 것으로 설명하였는데, 이는 FED 패널에서 캐소드 판과 아노드 판의 정렬이 각 기준 픽셀별로 동일하게 틀어진 경우 효과적으로 사용할 수 있기 때문이다. 일반적으로 FED 패널의 정렬 조립장비는 고가의 정렬장비를 사용하여 크게 정렬이 틀어지지 않은 경우 이를 보정하여 사용하기 위해 본 발명의 편향판을 사용하는 것이기 때문이다. 즉 각 마이크로 팁에서 방출된 전자빔이 최소한 편향판의 편향홀 내로 지나갈 수 있는 경우에 효과적이기 때문이다. 따라서 편향판의 편향홀은 가급적 그 크기를 크게 하는 것이 좋으며 그 형상은 반드시 원형일 필요는 없고 필요에 따라 삼각형을 포함하는 다각형으로 하여도 무방하다. 다만 이 경우 전극을 필요에 따라 잘 선택하여 배치하면된다. 만일 아노드 판과 캐소드 판의 정렬이 비틀어져(twisting) 어긋난 경우, 각 방위별로 동일한 전압을 인가하여 어느 정도 전자빔 경로의 보정이 가능하지만 제대로 이루어 지지 않을 수 있다. 만일 비틀어짐이 심한 경우를 보정하여야 한다면 각 단위 편향홀의 각 전극을 모두 별개로 제어 해야 할수도 있다. 이 경우 각 전극의 배선은 도2의 절연판(154)을 적층하여 각 배선을 반도체 식각등의 방법으로 또는 각 픽셀을 제어하는 방법을 이용하여 개별 전극을 모두 각각 제어할 수도 있다. 왜냐하면 비틀림의 경우에는 각 단위 전극별로 별개의 전압이 인가되어야 할 필요가 있기 때문이다.

본 발명의 편향판을 이용할 수 있는 FED는 기존의 CNT(Carbon-nano-tube)팁이나 콜드 필드 에미터(Cold Field Emitter ; CFE), 열방출 에미터(Thermal Emitter:TE)등 다양한 전계방출원 또는 전자방출원이 사용될 수 있다.

본 발명의 편향판의 재질로는 전압을 인가하면 등전위를 구성할 수 있는 도체 또는 반도체로 구성될 수 있다. 즉 반도체에서 사용되는 적층 기술을 응용하여 제작이 가능한데 특히 절연부분이나 각 전극사이의 절연을 위한 식각부분을 이용하여 배선을 하면 보다 단순한 편향판을 만들 수 있다.

또한 본 발명의 편향판은 편향판, 포커싱 판, 또는 아노드 판에 기준 디텍터를 약 3곳 정도 만들어 캐소드 판과 아노드 판의 정렬도를 판단하여 이를 계산해서 편향의 정도를 제어할 수 있으며 이를 반복하거나 편향전극의 전압을 변경하면서 각 단위 전계방출원과 해당 단위 형광체의 정렬을 자동으로 얼라인 할 수도 있다.

그리고 상기 편향판의 전극에 인가하는 입력전압을 동일하게 한 후 각 배선에 가변저항을 도4의 입력전극(357)과 각 전극(352)의 배선사이에 추가하가나 FED 내의 소정의 위치에 배치하여, 각 방위별 인가전압을 가변저항을 제어함으로써 제어하면 각 FED 패널의 고유 정렬의 어긋남의 정도를 계산하여 보정이 가능하며 수리나 유지 보수시 편리하게 각 편향전압을 수정할 수도 있다.

위의 설명에서 형광체가 부착되어 있는 판을 아노드 판이라 편의상 정의하였으나 본 발명의 편향판은 전계방출원에서 방출된 전자빔이 형광체에 도달하기전의 소정의 위치에 배치되면 위에서 설명한 편향효과를 동일 또는 유사하게 발휘할 수 있다.

본 발명에 따른 편향판은 반도체 공정을 이용하여 제조하면 웨이퍼 형태로서 미세 홀 및 전극을 제조할 수 있다.

본 발명은 FED를 이용한 디스플레이 장치에 관한 것으로 FED 디스플레이 장치의 제조에 사용할 수 있다.

Claims (7)

1. 전자빔을 방출하는 전계방출원을 포함하는 캐소드(CATHODE) 판, 및 상기 캐소드 판과 스페이서에 의해 일정 간격을 작은 진공 갭을 두고 형광체가 도포된 판을 포함하는 FED에 있어서,

   상기 캐소드 판과 상기 형광체가 도포된 판 사이에 배치되며, 상기 각각의 전계방출원의 팁에 대응하여 배치되는 편향홀들 및 상기 각각의 편향홀을 중심으로 배치되는 세 개 이상의 전극을 구비한 편향판을 더 포함하며, 그리고

   상기 편향판의 전극들이 상기 전계방출원의 팁에서 방출된 전자빔이 형광체에 주사되도록 상기 전자빔의 경로를 변경하는 것,

   을 특징으로 하는 편향 FED.
2. 제1항에 있어서, 상기 편향판의 전극이 각 방위별로 동일한 전압이 인가될 수 있는 것을 특징으로 하는 편향 FED.
3. 제2항에 있어서, 상기 전압인가가 가변저항에 의해 제어되며 상기 가변저항이 FED 내에 내장되는 것을 특징으로 하는 편향 FED.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 편향판의 전극에 전계 방출원의 전자 방출을 제어하는 게이트 전압을 추가로 더 인가하여, 상기 캐소드판의 게이트를 대체하여 상기 편향판이 게이트 역할도 함께 수행하는 것을 특징으로 하는 편향 FED.
5. 전자빔을 방출하는 전계방출원을 포함하는 캐소드(CATHODE) 판, 및 상기 캐소드 판과 스페이서에 의해 일정 간격을 작은 진공 갭을 두고 형광체가 도포된 판을 포함하는 FED가, 상기 전계방출원과 형광체가 도포된 판 사이에, 상기 각각의 전계방출원에 대응하여 배치되는 편향홀들 및 상기 각각의 편향홀을 중심으로 배치되는 세 개 이상의 전극을 구비한 편향판을 더 포함하여,

   캐소드 판의 전계방출원과 대응되는 형광체와의 정렬의 차이를 확인하는 단계,

   상기 정렬 차에 상응하는 전자빔의 경로를 보정하기 위하여 보정값을 결정하는 단계, 및

   상기 보정값에 따라 상기 편향판의 전극에 전압을 인가하여 전자빔의 경로를 보정하는 단계,

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 FED에서 전자빔를 편향시키는 방법.
6. 제5항에 있어서, 상기 보정하는 단계에서, 편향판의 전극들에 각 방위별로 동일한 전압을 인가하여 전자빔의 경로를 보정하는 것을 특징으로 하는 FED에서 전자빔를 편향시키는 방법.
7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 보정하는 단계에서, 상기 편향판의 전극에 전자빔을 포커싱 하기 위한 전압이 추가로 인가하는 것을 특징으로 하는 FED에서 전자빔를 편향시키는 방법.

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