JPH03203144A - 電子放出素子列及びそれを用いた画像表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は多数の電子放出素子と前記多数の電子放出素子
から放出される電子ビーム群を変調するためのグリッド
電極とを備えた画像表示装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、簡単な構造で電子の放出が得られる素子として、
例えば、エム・アイ・エリンソン（Ｍ。

１、Ｅｌｉｎｓｏｎ）等によって発表された冷陰極素子
が知られている［ラジオ・エンジニアリング・エレクト
ロン・フイジイツス（Ｒａｄｉ。

Ｅｎｇ、Ｅｌｅｃｔｒｏｎ、Ｐｈｙｓ、）第１０巻、１
２９０〜１２９６頁、１９６５年］。

これは、基板上に形成された小面積の薄膜に、膜面に平
行に電流を流すことにより、電子放出が生ずる現象を利
用するもので、一般には表面伝導形放出素子と呼ばれて
いる。

この表面伝導形放出素子としては、前記エリンソン等に
より開発されたＳｎＯ２（Ｓｂ）薄膜を用いたものの他
、Ａｕ薄膜によるもの［ジー・ディトマー：″スイン・
ソリド・フィルムス″（Ｇ、Ｄｉｔｔｍｅｒ　：　　Ｔ
ｈ１ｎ　　ＳｏｌｉｄＦｉｌｍｓ”）、９巻、３１７頁
、（１９７２年）］ＩＴＯ薄膜によるもの［エム・ハー
トウェル中アンド・シー・ジー◆フォンスタツド：　″
アイ・イー・イー・イー・トランス・イー・デイ−・コ
ンフ”　　（Ｍ、　Ｈａ　ｒ　ｔｗｅ　１１　　ａｎｄ
ｃ、Ｇ、Ｆｏｎｓｔａｄ：　　ＩＥＥＥ　　Ｔｒａｎｓ
、ＥＤ　　Ｃｏｎ、ｆ、″）５１９頁、（１９７５年）
］、カーボン薄膜によるもの［荒木久他。

“真空”、第２６巻、第１号、２２頁、（１９８３年）
］、さらには、特開開１−２００５３２号公報、特開平
１−１０５４４５号公報、特開平１−９３０２４号公報
、特開平１−９７３５４に記載されもの等がある。

これらの表面伝導形放出素子は、 １）高い電子放出効率が得られる、 ２）構造が簡単であるため、製造が容易である、３）同
一基板上に多数の素子を配列形威できる、４）応答速度
が速い、 等の利点があり、今後広く応用される可能性をもってい
る。

とりわけ、近年の成膜技術やフォトリソグラフィー技術
の急速な進歩とあいまって、基板上に多数の素子を形成
することが可能となりつつあり、マルチ電子ビーム源と
して、画像表示装置への応用が期待されるところである
。

〔発明が解決しようとしている課題〕

ところで、これらの電子放出素子を画像表示装置に応用
する場合、一般には、基板上に多数の素子を配列形威し
、各素子間を薄膜もしくは厚膜の電極で電気的に配線し
、マルチ電子ビーム源として用いるが、配線抵抗で生じ
る電圧降下のために、各素子毎に印加される電圧がばら
ついてしまうという現象が起きる。その結果、各放出素
子から放出される電子ビームの電流量にばらつきが生じ
、形成される画像に輝度（濃度）むらが起きるという問
題が発生していた。

第５図は、この問題をより詳しく説明するための図で、
（ａ）は電子放出素子と配線抵抗及び電源を含む等価回
路図であり、（ｂ）は各電子放出素子の正極と負極の電
位を示す図、また（ｃ）は各素子の正負極間に印加され
る電圧を示す図である。第５図（ａ）は、並列接続され
たＮ個の電子放出素子Ｄ１〜ＤＮと電源■、とを接続し
た回路を示すもので、電源の正極と素子Ｄ１の正極を、
また電源の負極と素子ＤＮの負極を接続したものである
。また、各素子を並列に結ぶ共通配線は、図に示すよう
に隣接する素子間でｒの抵抗値を有するものとする。（
画像表示装置では、電子ビームのターゲットとなる画素
は、通常等ピツチで配列されている。従って、電子放出
素子も空間的に等間隔をもって配列されており、これら
を結ぶ配線は幅や膜厚が製造上ばらつかない限り、素子
間で等しい抵抗値を有する。） また、全ての電子放出素子Ｄ１〜ＤＮは、はぼ等しい抵
抗値Ｒｄを各々有するものとする。

前記第５図（ａ）の回路図に於て、各素子の正極及び負
極の電位を示したのが第５図（ｂ）である。図の横軸は
、Ｄ、〜ＤＮの素子番号を示し、縦軸は電位を示す。・
印は各素子の正極電位、■印は負極電位を表わしており
、電位分布の傾向を見易（するため、便宜的に・印（■
印）を実線で結んでいる。

本図から明らかなように、配線抵抗ｒによる電圧降下は
、−様に起こるわけではなく、正極側の場合は、素子り
、に近い程急峻であり、逆に負極側では、素子ＤＮに近
い程急峻になっている。これは、正極側ではり、に近い
程、配線抵抗ｒを流れる電流が大きく、また負極側では
ＤＮに近い程、大きな電流が流れるためである。

これから、各素子の正負極間に印加される電圧をプロッ
トしたのが第５図（Ｃ）である。図の横軸は、Ｄ１〜Ｄ
Ｎの素子番号、縦軸は印加電圧を各々示し、第５図（ｂ
）と同様傾向を見易くするために便宜的に■を実線で結
んでいる。

本図から明らかなように、第５図（ａ）のような回路の
場合には、両端の素子（Ｄ、及びり、）に近い程大きな
電圧が印加され、中央部付近の素子では印加電圧が小さ
くなる。

従って、各電子放出素子から放出される電子ビームは、
両端の素子程ビーム電流が大きくなり、画像表示装置に
応用した場合、極めて不都合である。（例えば、両端に
近い部分の画像は濃度が濃く、中央部付近の濃度は淡（
なってしまう。） 以上、示したような電子放出素子毎の印加電圧のばらつ
きの程度は並列接続される電子放出素子の数が多いほど
顕著となる傾向がある。

そこで、画素数の多い（すなわち、多数の電子放出素子
を必要とする）大容量表示装置を実現しようとする場合
には、第６図に示すように電子放出素子を複数の群に分
割し、並列接続された各群を直列接続する方法が考えら
れる。第６図の場合電子放出素子はｍ個の群に分けられ
、各群毎にｎ個の電子放出素子が並列接続されている。

（電子放出素子の総数をＮとするとＮ＝ｍＸｎである）
。

この方法によれば、各電子放出素子に印加される電圧の
ばらつきは、前記第５図に示したＮ個の素子すべてを並
列接続する場合と比較して、大幅に低減する事ができ、
各電子放出素子から放出される電子ビームの電流量のば
らつきが低減される。

具体的に、前記複数個（Ｎ＝ｍｘｎ個）の電子放出素子
を並列隣接と直列接続を組合せて、直線状に結線された
電子放出素子列とする為には第７図（ａ）に示すような
方法が行われる。第７図（ａ）は、例えばガラスなどの
ような電気的絶縁性の基板（不図示）上に配列形成され
た複数の電子放出素子１０１を金属などの電気的良導体
を用いた配線電極１０３で接続した一列を示すための平
面図で、図中１０１で示される電子放出素子の一部分で
ある１０２（黒く塗られた部分）は電子放出部を示して
いる。

しかし、第７図（ａ）に示した配線パターンを用いた電
子放出素子列に於ては、とりわけ、その素子列を構成す
る電子放出素子が先述した表面伝導線放出素子である場
合には、その素子列上部に配設され表面伝導線放出素子
より放出された電子ビームの照射により発光するターゲ
ット（不図示）の面上での発光点の位置が第７図（ａ）
に示した様にｙ方向にずれてしまうという問題が生じた
。

このような発光点の位置ずれの問題は、前記第７図に示
す配線パターンの電子放出素子列を複数列設け、これら
を画像表示装置のマルチ電子ビーム源として応用した場
合には、表示画像の品位を低下し忠実な画像の再現にお
いて支障をきたしてしまう。

そこで、本発明の目的は、多数の表面伝導線放出素子か
ら威るマルチ電子ビーム源を用いた画像表示装置におい
て表示画像全体の輝度むらを無くすとともに輝点のずれ
による表示画像全体の品位の低下を防止して忠実な画像
を再現し得る画像表示装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、電極間に電子放出部を有し前記電子放出部に
電流を流すことで電子を放出する電子放出素子を複数個
、直列接続及び並列接続を併有し電気的に接続して戊る
電子放出素子列であって、前記複数の電子放出素子の全
てが、それぞれの電子放出部に流れる電流の向きが同一
方向となる様に配設されていることを特徴とする電子放
出素子列であり、更に本発明は電極間に電子放出部を有
し前記電子放出部に電流を流すことで電子を放出する電
子放出素子を複数個、直列接続及び並列接続を併有し電
気的に接続して成る電子放出素子列が複数列と、前記電
子放出素子から放出された電子ビームの照射により発光
するターゲットと、前記複数の電子放出素子列とＸＹマ
トリックス状に配設された複数の変調グリッド電極とを
有する画像表示装置であって、前記電子放出素子列を構
成する複数の電子放出素子がそれぞれの電子放出部に流
れる電流の向きが同一方向となる様に配設されているこ
とを特徴とする画像表示装置である。

本発明において用いられる電子ビーム源は電極間に電子
放出部を有しその電子放出部に電流を流すことで電子を
放出するタイプのいわゆる先述した表面伝導形放出素子
であり、かかる表面伝導形放出素子を用いた本発明の画
像表示装置は、その電子ビーム源のマルチ化における製
作上の容易性並びに装置の低消費電力化等の点で優れて
いる。

まず、本発明者らは、本発明を完成する上で、かかる表
面伝導形放出素子の複数個を直列及び並列接続を併有し
電気的に接続して成る第７図（ａ）に示される様な電子
放出素子列が形成する第７図（ｂ）に示される様なター
ゲラＩ・面上での発光点のずれの原因について以下の様
に知見し１ま た。

即ち、第７図（Ｃ）は、前記第７図（ａ）に示された電
子放出素子列に電源を接続した状態を模式的に表わした
もので、複数の表面伝導形放出素子が並列接続されてい
る電子放出素子群を電源から近い順に便宜的に第１群、
第２群、第３群、第４群、第５群と順に呼ぶ事とする。

電源が５×ｖｐ［ｖ］の電圧を供給した場合、配線抵抗
による電圧降下を無視すれば配線電極Ｆｌの電位は５Ｘ
ＶＥ　　［ＶＥ　、配線電極Ｅ２の電位は４×Ｖ６［Ｖ
Ｅ・・・配線電極Ｅ６の電位はＯ［ＶＥとなり、どの表
面伝導形放出素子にもＶＥ　　［ｖ］の電圧が印加され
る。この時、第１群の素子に対しては、配線電極Ｅ１が
正極、配線電極Ｅ２が負極として作用するが、第２群の
素子に対しては配線電極Ｅ２が正極、配線電極Ｅ３が負
極として作用する。同様に見てゆくと、奇数番目の電子
放出素子群に於ては、ｙ軸圧方向（図面上部）に位置す
る配線電極が正極として働き、逆に偶数番目の電子放出
素子群に於ては、ｙ軸負方向（図面下部）に２ 位置する配線電極が正極として働く事がわかる。

ところで、表面伝導形放出素子の場合、かかる素子に印
加する電圧の向き、即ち、電子放出部に流れる電流の向
きにより、放出された電子ビームの飛翔方向が微妙に異
なる事が判明した。

第８図はこの現象を説明する為の図で、１０３Ａ及び１
０３Ｂは表面伝導形放出素子に電圧を印加する為に設け
られた配線電極であるが、　どちらが正極もしくは負極
として作用するかは、該素子が前記第７図（Ｃ）におい
て奇数群に属しているか偶数群に属しているかにより決
まる。該素子がもし奇数群に属している場合には、配線
電極１０３Ａは正極として、１０３Ｂは負極として働き
、該素子の両端にＶ、［ＶＥの電圧を供給するが、この
場合、電子放出部１０２より放射される電子ビームは、
図中■の実線で示すように、基板面に対する法線方向よ
りも、やや電極１０３Ａ寄りの方向に飛翔する。このよ
うに電子ビームが、法線方向からずれて電極１０３Ａ寄
りの方向に飛翔するのは配線電極１０３Ａ及び１０３Ｂ
に印加される電圧により、電子放出部１０２上の空間に
、ｙ軸負方向の電界が発生している為と考えられる。同
様に該素子が前記第７図（ｃ）において偶数群に属して
いる場合には電子放出部１０２より放射される電子ビー
ムは図中■の点線で示すように基板面に対する法線方向
よりもやや電極１０３Ｂ寄りの方向に飛翔する。

この結果、奇数群の電子放出素子による発光点と、偶数
群の電子放出素子による発光点は、電子ビームが法線方
向からそれた分だけずれる事となり、前記第７図（ｂ）
に示した様な発光点列となってしまっていたものと考え
られる。

以上の知見に基づき本発明者らは、前記電子放出素子列
を構成する並列及び直列接続を併有し電気的に接続され
た複数の表面伝導形放出素子の各々に印加される電圧の
向きが全て同一方向となる様に即ち、個々の表面伝導形
放出素子の電子放出部に流れる電流の向きが全て同一方
向となる様に前記複数の表面伝導形放出素子を配設する
ことにより、先述した発光点列のずれを解決し得る事を
知見し本発明に至った。

本発明において、前記電子放出素子列を構成する複数の
表面伝導形放出素子のより具体的な配設方法について第
２図及び第３図を用いて更に説明する。

第２図は、本発明における電子放出素子列の一態様を示
した平面図である。

第２図に示された電子放出素子列は、基体（不図示）面
上に接続電極１０３にて並列に接続された３個の表面伝
導形放出素子を一つの群とし、前記電子放出素子群の複
数群をさらに接続電極１０３にて直列接続して形成され
た素子列である。この素子列において、各表面伝導形放
出素子１０１は、等間隔で且つ直線状に配列されている
。又、表面伝導形放出素子１０１は、接続電極１０３と
電気的に接続された一対の電極（高電位側電極１０５と
低電位側電極］０４）間に電子放出部１０２を有して成
るが、本態様においては、かかる表面伝導形放出素子１
０１の複数個を前記の様に配列するに際して高電位側電
極１０５と低５ 電位側電極１０４とが必ず交互に配列される様にする。

次に第３図は、本発明における電子放出素子列の別の態
様を示した平面図である。

第３図に示された電子放出素子は、前記第２図に示され
た電子放出素子列において、各電子放出素子群の直列接
続部分にあたる表面伝導形放出素子の低電位側電極１０
４と高電位側電極１０５とを共通の電極１０７としたも
のである。

以上、本発明における電子放出素子列の具体的態様を示
したが、かかる二態様のみに限定されるものではなく、
電子放出列を構成する並列及び直列接続を併有し電気的
に接続された複数の表面伝導形放出素子の各々の電子放
出部に流れる電流の向きが全て同一方向となるように複
数の表面伝導形放出素子が配設されているものであれば
良い。

次に、以上述べた電子放出素子列の複数列と、前記電子
放出素子列中の表面伝導形放出素子から放出された電子
ビームの照射により発光するターゲットと、前記複数の
電子放出素子列とＸＹマド６ リツクス状に配設された複数の変調グリッド電極とを有
する本発明の画像表示装置について以下詳述する。

第１図は本発明の画像表示装置の一興体例を示す図であ
り、図中ＶＣはガラス製の真空容器で、その一部である
ＦＰは、表示面側のフェースプレートを示している。フ
ェースプレー１−　Ｆ　Ｐの内面には、例えばＩＴＯを
材料とする透明電極が形成され、さらにその内側には、
赤、緑、青の蛍光体がモザイク状に塗り分けられ、ＣＲ
Ｔの分野では公知のメタルバック処理が施されている。

（透明電極、蛍光体、メタルバックは図示せず。）また
、前記透明電極は、加速電圧を印加するために、端子Ｅ
Ｖを通じて真空容器外と電気的に接続されている。

また、Ｓは前記真空容器ＶＣの底面に固定されたガラス
基板で、その上面には、表面伝導形電子放出素子がＮ個
×１列にわたり配列形成されている。各列の表面伝導形
放出素子の配設方法は、先述した第２図の如く配設され
ているが、先述した第３図の如く配設方法であっても構
わない。各列の配線は、端子Ｄ　、ｌ〜Ｄ、、１！およ
び端子り、〜Ｄ、ｌによって真空容器外と電気的に接続
されている。すなわち本装置では、第２図の接続法によ
る素子列が１列にわたり、基板Ｓ上に形成されている。

（１列あたりの素子数はＮ個である。）又、装置が有す
る全ての電子放出素子が、その電子放出部に流れる電流
の向きが同一方向となるように配設されている。

また、基板ＳとフェースプレートＦＰの中間には、スト
ライプ状のグリッド電極ＧＲが設けられている。グリッ
ド電極ＧＲは、前記素子列と直交してＮ本設けられてお
り、各電極には電子ビームを透過するための空孔Ｇ　ｈ
が設けられている。空孔Ｇｈは、第１図の列のように各
電子放出素子に対応して１個づつ設けてもよいし、ある
いは微小な孔をメツシュ状に多数設けてもよい。各グリ
ッド電極は、端子Ｇ、〜ＧＮによって真空容器外と電気
的に接続されている。

本パネルでは、１個の電子放出素子列とＮ個のグリッド
電極列により、ＸＹマトリクスが構成されている。電子
放出列を一列づつ順次駆動（走査）するのと同期してグ
リッド電極列に画像１ライン分の変調信号を同時に印加
することにより、各電子ビームの蛍光体への照射を制御
し、画像を１ラインづつ表示していくものである。

次に実施例を挙げて本発明を更に詳述に説明する。

（実施例） 実施例１゜ 第１図に示した本発明の画像表示装置を作製した。

尚、第１図及び第２図に於ては、図示の容易さから、３
素子をもって、１つの群をなしているが、実際に作製し
た表示装置に於ては、１００素子よりなる電子放出素子
群を、５群形威し、１列あたり５００素子（Ｎ＝５００
）を配列した。このような電子放出素子列を、４０．０
列Ｃ１＝４００）並べ、５００Ｘ４００画素の表示パネ
ルとした。

９ また、本実施例に用いた表面伝導形放出素子は、第２図
の円の中に、拡大して示された素子１０１である。該、
表面伝導形放出素子は、以下の手順により作成した。す
なわち、コーニング社製７０５９ガラスを用いた基板Ｓ
上に、まずＡｕを材料とする厚さ１０００人程度０薄膜
１０４（１０５）を、フォトリソグラフィー、エツチン
グにより形成する。薄膜１０４　（１０５）は、図示の
ように、素子中央部の一部が細くくびれた形状とするが
、これは後述のフォーミング処理を容易に行なう為であ
る。次に、Ｎｉを材料とする厚さ１μｍ程度の薄膜を積
層し、配線電極１０３を形成するが、その際、前記薄膜
パターン１０４（１０５）上に、一部重ねて積層する事
により、電気的な、導通を良好なものとしておく次に、
従来公知のフォーミング処理により、電子放出部１０２
を形成する。すなわち、電極１０３を通じて、薄膜１０
４　（１０５）の両端に電圧を印加し、該薄膜を通電加
熱する。この際、該薄膜の細くくびれた部分が周辺の巾
の広い部分０ よりも電気抵抗が大きい為、この部分が集中的に加熱さ
れ、その結果一部が変質して不連続膜となり、電子放出
部１０２が形成される。

以上の手順により、第１図の表示装置に用いた表面伝導
形放出素子を作成したが、次に第４図を用いて、本実施
例の装置の各構成要素の位置関係について説明する。第
４図は、前記第１図の表示装置を、Ｘ軸と平行で基板Ｓ
面と垂直な面で切った断面の一部を示している。

表面伝導形放出素子１０１が設けられた基板Ｓは、真空
容器ＶＣの底面から、ｈｏ＝０．５ｍｍの位置に、図示
外の固定手段により固定されている。ただし、該基板Ｓ
と容器底面との距離り。

は、電子ビームの軌道とは、直接関係しないので、必ず
しも、ｈｏ＝０．５ｍ、ｍでなくても差し支えない。

また、基板Ｓ上には、前記第２図（平面図）で説明した
様に、Ｘ方向に沿って、素子群が配列形成されている。

基板Ｓから、ｈ＋　＝１．０ｍｍの位置には、グリッド
電極ＧＲが設けられているが、その空孔Ｇｈは、直径Ｄ
Ｉ＝０．８ｍｍの円形であり、その中心は、電子放出部
１０２の中心よりもｄＯ，３ｍｍはど、正極寄りの位置
にある。

また、グリッド電極ＧＲと、蛍光面（フェースプレート
ＦＰの下面）との距離は、ｈ２＝４ｍ、ｍとした。表示
動作を行う際には、表面伝導形放出素子列を順次駆動し
、これと同期してグリッドＧＲに変調電圧を印加するが
、素子を駆動するには各素子の正負極間に１２［Ｖｌの
電圧を印加した。すなわち、本実施例の装置では１００
素子よりなる群を５群直列接続して１ラインを構成して
いるので、第１図の配線端子ＤＰとＤｍの間に６０［Ｖ
ｌを印加した。この時、素子の負極電位は群毎に異なる
が、これを■１と表わすと、変調電極ＧＲに印加する変
調電圧は、発光させる場合にはＶ□＋２５［Ｖｌとし、
非発光（電子ビームをカットオフ）させる場合には、■
□−２５［Ｖｌとした。（すなわち、群毎にＶｌの値が
異なるので、変調電圧も異なる。）また、フェースプレ
ート・ＦＰ下面の蛍光面には５Ｋ　［Ｖ］の加速電圧を
印加した。

以上説明したような構成の表示装置により、５００Ｘ４
００画素のマＩ・リクス表示を行ったが、表示画像の輝
度むら及び発光点列のずれは全くなくなり、文字あるい
は図形を高い画像品位で表示する事が可能となった。

実施例２ 本実施例の表面伝導形放出素子はその一部が第３図中の
楕円内に拡大して示された形状を有する素子となってい
る。該電子放出素子は次の様な手順で製造される。すな
わち、まずガラス基板Ｓ上にＮｉもしくはＣｒを材料と
する厚さ約５０００Ａの薄膜１０４．１０５．１０７を
真空成膜とフォトリソグラフィーエツチングにより形成
する。該薄膜パターンはＷ＝２μｍの間隔をもって対向
して設けられるが、この１０５と１０４゜１０５と１０
７，１０７と１０４で挟まれた部分をギャップと呼ぶ事
とする。

ギャップは電子放出素子が完成した際に、電子３ 放出部１０２となる領域であるので、Ｘ方向に等間隔で
配置されている。

次に、厚さ約１μｍのＮｉを材料とする配線電極１０３
を形成する。その際、前記薄膜１０４゜１０５．１０７
との電気的接続を良好どする為に、１０３が一部１０４
，１０５，１０７を覆うようにする。

さらに、前記ギャップにパラジウムの超微粒子を１１１
着させる。すなわち、裏町製薬製のパラジウム微粒子分
散液（商品名：ＣＣＰ４２３０）をスピナーを用いて、
スピンコードした後、１４０°Ｃ前後の温度で乾燥させ
る。尚、この際、ギャップ以外の部分に微粒子が付着し
ても、差し支えなく、スピンコード以外の手法（例えば
、ディッピングやスプレー等）で塗布を行なっても良い
。

次に配線１０３に電圧を印加し、電子放出特性が安定化
するまでエージングを行う。

以上の手順で第３図の電子放出素子列を製造した。尚、
前記、第４図で示したり。、ｈ、ｈ２、Ｄｌの各パラメ
ータは、前記第１実施例と同様と４ した。

ただし、本実施例の場合、電子放出素子の駆動電圧とし
ては１７［Ｖ］が好適であるので、−列あたり５群を直
列接続した場合には、装置全体として８５［Ｖ］を印加
した。蛍光体およびグリッドＧＲの印加電圧は、前記第
１実施例どほぼ同一の条件で表示装置を駆動した。

本実施例に於ても、表示画像の輝度むら及び発光点列の
位置すれという問題は解決され、高画質な表示が可能と
なった。

〔発明の効果〕

以上説明した本発明の電子放出素子列及び画像表示装置
はその製作が容易であることはもちろんの事、表示画像
全体の輝度むらが無くしかも同一走査線上の発光点が一
直線上に並ぶようになったので、文字あるいは図形等の
画像を高品位で再現性良（表示することができ、産業用
あるいは家庭用として、その利用範囲を大幅に広げる事
を可能とした。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の画像表示装置の構成を示す全体図、第
２図及び第３図は本発明の電子放出素子列を示す平面図
、第４図は第１図で示された画像表示装置の一部断面図
、第５図は並列配線時の素子印加電圧のばらつきを説明
する為の図、第６図は並列・直列配線を示す図、第７図
は本発明以外の電子放出素子列を示す平面図及び発光点
の位置ずれを説明する為の図、第８図は表面伝導形放出
素子における電子ビームの飛翔特性を説明する為の図で
ある。 １０２・・・電子放出部 １０３．１０３Ａ、１０３Ｂ・・・配線電極１０４・・
・低電位側電極 １０５・・・高電位側電極 １０７・・・共通電極 ＦＰ　　・・・フェースプレート Ｇｈ　　・・・電子ビーム透過孔 ＧＲ・・・グリッド電極 ｖｃ・・・真空容器 Ｓ ・・・基体

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）電極間に電子放出部を有し前記電子放出部に電流
   を流すことで電子を放出する電子放出素子を複数個、直
   列接続及び並列接続を併有し電気的に接続して成る電子
   放出素子列であって、前記複数の電子放出素子の全てが
   、それぞれの電子放出部に流れる電流の向きが同一方向
   となる様に配設されていることを特徴とする電子放出素
   子列。
2. （２）電極間に電子放出部を有し前記電子放出部に電流
   を流すことで電子を放出する電子放出素子を複数個、直
   列接続及び並列接続を併有し電気的に接続して成る電子
   放出素子列が複数列と、前記電子放出素子から放出され
   た電子ビームの照射により発光するターゲットと、前記
   複数の電子放出素子列とＸＹマトリックス状に配設され
   た複数の変調グリッド電極とを有する画像形成装置であ
   って、前記電子放出素子列を構成する複数の電子放出素
   子がそれぞれの電子放出部に流れる電流の向きが同一方
   向となる様に配設されていることを特徴とする画像表示
   装置。
3. （３）画像表示装置が有する全ての電子放出素子が、そ
   れぞれの電子放出部に流れる電流の向きが同一方向とな
   る様に配設されている請求項（２）に記載の画像表示装
   置。