JP3332529B2 - 電子線発生装置及び画像形成装置 - Google Patents
電子線発生装置及び画像形成装置Info
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Description
の放出電子線パタ−ンを形成する電子線発生装置及び画
像形成装置に関する。
ス配線して成る電子線発生装置を電子源として用いた画
像形成装置、特に、薄型フラットディスプレ−装置の研
究開発が盛んに行われている。図3にこの画像形成装置
の一例を概略構成図をもって示す。
子Aが基体31上に面状配置されており、またこれら電
子放出素子Aは一走査線毎に配線電極32a、32bに
配線されている。基体31上方には、該各素子から放出
される電子線を情報信号に応じて変調するための変調電
極33が、該走査線に対してXYマトリックス状に配置
されている。尚、34は電子線が通過し得る開口部であ
る。
法は、まず、一走査線上の各電子放出素子Aに、該素子
が電子放出するに要する電圧を印加し、画像一ライン分
の情報信号に基づく変調電圧(電子線のオン/オフ電圧
並びに階調電圧)を変調電極33に印加することで、開
口部34を通過した一ライン分の放出電子パタ−ンを形
成し、かかる放出電子パタ−ンが画像形成部材35に照
射されることで画像形成部材35面に一ライン分の画像
が形成される。かかる動作を画像の各ラインに対し順次
行うことにより一画面が形成される。ここで、該画像形
成部材35が発光体である場合には、複数の輝点パタ−
ン36による画像表示がなされる。
密度に配置された電子源を用いる上述画像形成装置の従
来の駆動方法においては、各電子線に対する変調電圧
が、隣接し合う電子線間で影響を及ぼし合うため、電子
線の飛翔軌道の変化、画像形成部材面での電子線のスポ
ットサイズや形状の変化を生じ、高精細画像を形成し難
いという問題があった。
放出部40a、40b、40cからの3本の電子線をそ
れぞれ変調する変調電極41a、41b、41cに正電
圧(オン電圧)を印加した場合、電子放出部40a、4
0b、40cからそれぞれ対応する発光体(画像形成部
材)42a、42b、42cに向けて電子線が出射され
るが、電子放出部が互いに近接(高密度配置)している
と、各電子放出部からの各電子線44は電子線通過孔4
3を通過後、図4に示す様に隣接変調電極による外方向
の力fを受け軌道を曲げられ且つ拡がり、各発光体上で
のスポットサイズが広がり過ぎてしまう。
出部50a、50b、50cからの電子線をそれぞれ変
調する変調電極51a、51b、51cのうち、変調電
極51b、51cに正電圧(オン電圧)を、変調電極5
1aに負電圧(カットオフ電圧)をそれぞれ印加した場
合にも、電子放出部50b、50cからの電子線54は
電子線通過孔53を通過後、図5に示す様に隣接変調電
極51b、51cによる力fを受け軌道を曲げられ、発
光体52b、52c上でのスポット形状が非対称となっ
てしまう。
密度に配置された電子源を用いる画像形成装置の従来の
駆動方法においては、走査線上の電子線放出パタ−ン毎
に、各電子線の飛翔軌道、スポットサイズ、スポット形
状などの変化を生じ、高精細で鮮明且つ高コントラスト
の画像を形成し難いものであった。特にこの問題は、画
像形成部材としてレッド、ブル−、グリ−ンの各色発光
体を順次配置したカラ−画像形成装置の場合には、上記
電子線の飛翔軌道、スポットサイズ、スポット形状が変
化すると、設定色以外の発光体に電子線が衝突し、画像
の色純度を低下させ、色調ムラのある色再現性の劣る画
像となってしまうため、発光体を高密度に配置できない
という極めて重大な問題を生じてしまう。また、画像形
成部材に到達する電子量を増やすために変調電極の電圧
(オン電圧)を高くすると上記欠点がよりクロ−ズアッ
プされるため、あまり電子量を増やせず画像の輝度やコ
ントラストを高められないという問題もある。
であって、その目的は、上述の問題を解決した、高精細
で鮮明かつ高コントラストの画像が得られる電子線発生
装置及び画像形成装置を提供することにある。
なく、色再現性に優れるフルカラ−画像形成のための画
像形成装置並びに電子線発生装置の駆動方法並びに該駆
動方法により駆動される電子線発生装置及び画像形成装
置を提供することにある。
明は、複数の走査配線電極及び信号配線電極に接続され
た表面伝導型電子放出素子がマトリックス状に配置され
た電子源と、該電子源から放出される電子線を情報信号
に応じて変調する変調手段とを有する電子線発生装置に
おいて、該変調手段は、1行分の情報信号を蓄積するメ
モリーと、該メモリーに蓄積された情報信号とカットオ
フ信号とを切換える信号切換回路と、該情報信号に基づ
いて階調電圧を、該カットオフ信号に基づいてカットオ
フ電圧をそれぞれ出力する手段を有し、該信号配線電極
への該階調電圧の印加を、該信号配線電極のn列(n≧
1)おきに、時間的にn+1回に分割して行い、且つ該
階調電圧が印加されていない該信号配線電極には該カッ
トオフ電圧を印加することを特徴とする電子線発生装置
である。
する。
素子Aを有する線電子放出素子(X1 、X2 、・・)
と、変調電極群(Y1 、Y2 、・・)とがXYマトリッ
クス状(行列状)に配置されている装置において、複数
の線電子放出素子(X1 、X2、・・)のうち任意の一
列に、電子放出に必要な電圧Vfが印加され、変調電極
群(Y1 、Y2 、・・)には該一列分の情報信号に応じ
た電圧が印加されて、該一列分の情報信号に応じた電子
線の放出パタ−ンが形成される。かかる動作を前記線電
子放出素子の各列毎に順次行い、一画面分、さらには多
画面分の電子線放出パタ−ンが形成される。更に、該放
出パタ−ンの電子線を画像形成部材35面に照射させる
ことにより、一画面分、さらには多画面分の画像が該画
像形成部材面に形成される。
記変調電極群(Y1 、Y2 、・・)への情報信号に応じ
た電圧印加にあたって、オン電圧が印加される変調電極
(例えばY2)と隣接する変調電極(Y1 、Y3 )には、
情報信号にかかわらずカットオフ電圧が印加される。こ
のような駆動方法を採ることにより、オン電圧によって
画像形成部材へ飛翔する電子線は、上述の如き隣接する
変調電極列へ印加される電圧の悪影響を受けない。
ば、上記変調電極群への情報信号の入力を上記変調電極
のn列(n≧1)おきに、時間的にn+1回に分割して
行い、且つ該情報信号が入力されていない変調電極には
カットオフ信号を入力する駆動方法である。
とした場合の例を示している。図1において、情報信号
は変調電極群の偶数列と奇数列とに、2回に分割して入
力され、各回の情報信号非入力の変調電極にはカットオ
フ信号が入力される。例えば、電子放出に必要な電圧V
fは線電子放出素子のX2 列に印加され、変調電極群
(Y1 、Y2 、Y3 ・・)への情報信号の入力は、1)
まず、変調電極Y2m +1(m=0、1、2、・・)列に情
報信号が、変調電極Y2m+2列にはカットオフ信号がそれ
ぞれ入力され、次に、2)変調電極Y2m+2列に情報信号
が、変調電極Y2m+1列にはカットオフ信号がそれぞれ入
力されて、X2 列分の情報信号に応じた電子線放出パタ
−ンが形成される。かかる動作を各線電子放出素子列毎
に順次行い一画面分、さらには多画面分の電子線放出パ
タ−ンが形成される。更に、該放出パタ−ンの電子線を
画像形成部材面に照射させることにより、一画面分、さ
らには多画面分の画像が該画像形成部材面に形成され
る。
とした場合の例を示している。図2において、情報信号
は変調電極の2列おきに、3回に分割して入力され、各
回の情報信号非入力の変調電極にはカットオフ信号が入
力される。例えば、電子放出に必要な電圧Vfは線電子
放出素子のX2 列に印加され、変調電極群への情報信号
の入力は、1)まず、変調電極Y3m+1列に情報信号が、
変調電極Y3m+2列及びY3m+3列にはカットオフ信号がそ
れぞれ入力され、2)次に、変調電極Y3m+2列に情報信
号が、変調電極Y3m+1列及びY3m+3列にはカットオフ信
号がそれぞれ入力され、3)最後に、変調電極Y3m+3列
に情報信号が、変調電極Y3m+1列、Y3m+2列にはカット
オフ信号がそれぞれ入力されて、X2 列分の情報信号に
応じた電子線放出パタ−ンが形成される。かかる動作を
各線電子放出素子列毎に順次行い、一画面分、さらには
多画面分の電子線放出パタ−ンが形成される。更に、該
放出パタ−ンの電子線を画像形成部材面に照射させるこ
とにより、一画面分、さらには多画面分の画像が該画像
形成部材面に形成される。
タ−ンの電子線を効率的に画像形成部材面に照射させる
ために、該画像形成部材に適度な電圧が印加されるが、
かかる電圧の大きさは、上記オン電圧並びにカットオフ
電圧の大きさ、及び用いる電子放出素子の種類によって
適宜選定される。
信号、即ち、電子線の画像形成部材への一定量以上の照
射を許容し得る電圧信号と上記カットオフ信号、即ち、
電子線の画像形成部材への照射を阻止し得る電圧信号と
を有するが、画像の諧調表現を行う場合には更に、諧調
信号、即ち、電子線の画像形成部材への照射量を可変す
る電圧信号をも含む。また、上記オン信号、カットオフ
信号は、用いられる電子放出素子の種類、あるいは該画
像形成部材に印加される電圧の大きさなどによって適宜
設定されるものである。
電子線発生装置及び画像形成装置の構成については、例
えば、画像形成部材として、レッド(R)、グリ−ン
(G)、ブル−(B)の蛍光体を配置した、フルカラ−
表示の画像形成部材であっても良い。
電子線発生装置及び画像形成装置の上記分割数は、図
1、図2で示した分割数に限られるものではなく、適宜
設定される。
る装置の、特に、変調手段及び電子放出素子について好
ましい例を以下に挙げる。
装置にとって、特に好ましい変調手段について以下に例
を挙げる。
同一基体1面に並設された形態を示したものであり、図
7は、電子放出素子Aの裏面に絶縁性基体1を介して変
調電極3が積層された形態を示したものである。該形態
においては、配線電極2a、2b間に複数の電子放出部
を有する線電子放出素子と変調電極3とがXYマトリッ
クス状に配置される。また、図8は、一般に単純マトリ
ックス構成とよばれるもので、複数の電子放出素子Aが
行列配置され、各素子が信号配線電極3bと走査配線電
極3aにより配線されている。
電子通過孔34を設けた変調手段に比べ、電子放出部と
電子通過孔との厳密な位置合せの必要がなく、電子放出
部と電子通過孔との位置ずれによる発光画像輝度のムラ
を生じることがない。
にとって、電子放出素子の形態は特に限定されるもので
はないが、冷陰極型素子であることが好ましい。熱カソ
−ドを複数用いた場合には、熱カソ−ドの電子放出特性
は温度分布の影響を受けるため、大面積にわたっての均
一な電子放出特性を得ずらい。更に、本発明で用いられ
る電子放出素子は、表面伝導形電子放出素子であること
が好ましい。
り、例えば、エム アイ エリンソン(M.I.Eli
nson)等によって発表された冷陰極素子が知られて
おり[ラジオ エンジニアリング エレクトロン フィ
ジックス(Radio Eng.Elect−ron
Phys.)第10巻、1290〜1296頁、196
5年]、これは、基板上に形成された小面積の薄膜に、
膜内に平行に電流を流すことにより、電子放出が生ずる
現象を利用するものである。また、この他、前記エリン
ソン等により開発された、SnO2 (Sb)薄膜を用い
たもの、Au薄膜によるもの[ジ−・ディトマ−“スイ
ン ソリド フィルムス”(G.Dittmer:“T
hin Solid Films”)第9巻、317
頁、1972年)、ITO薄膜によるもの[エム ハ−
トウエル アンド シ−ジ−フォンスタッド“アイイ−
イ−イ−トランス”イ−ディ−コンファレン(M.Ha
rtwell and C.G.Fonstad;“I
EEETrans.ED Conf.”)519頁、1
983年]等が報告されている。
な素子構成を図9に示す。同図において22及び23は
電気的接続を得るための電極、25は電子放出材料で形
成される薄膜、21は基板、24は電子放出部を示す。
従来、これらの表面伝導形電子放出素子においては、電
子放出を行なう前に予めフォ−ミングと呼ばれる通電加
熱処理によって電子放出部を形成する。即ち、前記電極
22と電極23の間に電圧を印加する事により、薄膜2
5に通電し、これにより発生するジュ−ル熱で薄膜25
を局所的に破壊、変形もしくは変質せしめ、電気的に高
抵抗な状態にした電子放出部24を形成することにより
電子放出機能を得ている。尚、電気的に高抵抗な状態と
は、薄膜25の一部に、亀裂を有し、かつ亀裂内がいわ
ゆる島構造を有する不連続状態膜を言い、かかる膜は、
空間的に不連続で電気的には連続な膜である。従来、表
面伝導形電子放出素子は上述の高抵抗不連続膜に電極2
2、23により電圧を印加し、素子表面に電流を流すこ
とにより電子を放出せしめるものである。
32号公報及び特開平2−56822号公報において、
電極間に電子を放出せしめる微粒子を分散配置した新規
な表面伝導形電子放出素子を技術開示した。また、その
後の本発明者らの知見によれば、上記分散配置される微
粒子は、その平均粒径が5オングストロ−ム〜300オ
ングストロ−ムの範囲内にあり、且つ、微粒子間隔が5
オングストロ−ム〜100オングストロ−ムの範囲内に
ある表面伝導形電子放出素子であることが、電子放出効
率、放出電子の安定性等の点で特に優れることがわかっ
た。これら微粒子を分散配置したタイプの表面伝導形電
子放出素子は、(1)高い電子放出効率が得られる。
(2)構造が簡単であるため、製造が容易である。
(3)同一基板上に多数の素子を配列形成できる。等の
利点を有する素子である。これらの表面伝導形電子放出
素子の典型的な素子構成を図10に示す。図10におい
て、22及び23は電気的接続を得るための素子電極、
27は電子放出せしめる微粒子26が分散配置した電子
放出部、21は基板である。
説明する。
放出素子として表面伝導形電子放出素子を用いた以下の
画像形成装置にて行われた。
作成方法について図11及び図12を用いて説明する。 .絶縁性基体60としてガラス基板を用い、該基板面
上に素子電極61a、61bと配線電極62a、62b
を形成する。該電極材料は、導電性材料であれば特に限
定されず、本実施例においてはNi金属を用いて形成し
た。尚、素子電極61a、61bの互いの電極間隔は2
μmとし、また、配線電極62a、62bのピッチは
0.5mmとした。 .次に、有機パラジウム(奥野製薬(株)製、CCP
−4230)を、素子電極61a、61b間に塗布し、
これを300℃で1時間焼成して酸化パラジウムからな
る微粒子膜63を形成した。 .次に、該基板60上方に、電子通過孔65を有する
変調電極64を配線電極62a、62bと直交するよう
にXYマトリクス状に架張し固定した。 .次に、内面に透明電極66と蛍光体67が配置され
たフェ−スプレ−ト68を、支持枠69を介し、基板6
0からの距離4mmの位置に配置して、該支持枠69と
フェ−スプレ−ト68との接合部にフリットガラスを塗
布、430℃で10分以上焼成し接着した。 .以上の様にして作成された外囲器(基板60、支持
枠69、フェ−スプレ−ト68で構成)内の雰囲気を真
空ポンプにて排気し、充分な真空度(好ましくは、10
-6torr〜10-7torr)に達した後、配線電極6
2a、62b間に特定波形の電圧パルスを印加し、素子
電極61a、61b間に電子放出領域70を形成した。
尚、各電子放出領域70のピッチは0.5mmとなるよ
うに形成した。また、SEM像から、該電子放出領域内
の微粒子の平均粒径は100オングストロ−ムであり、
粒子間隔は20オングストロ−ムであった。尚、以上の
様に作成した電子放出素子の各々には、配線電極62
a,62bを通じ素子電極61a,61b間に、電子放
出電圧Vfとして14Vを印加することで十分な電子放
出量が得られた。
置した電子源を用いた画像形成装置を作成したが、本装
置は、透明電極66への印加電圧が5〜10kVにおい
て、変調電極64に印加される電圧が、−30V以下で
放出電子線のカットオフ制御ができ、0V以上で放出電
子線のオン制御ができた。また、−30〜0Vの間で放
出電子線の電子量を連続的に変化でき、階調表示も可能
であった。尚、図11の71は蛍光体の輝点を表す。
動方法について図13を用いて説明する。
おいて、まず、 (1)電圧印加手段(不図示)にて、透明電極66(図
11)に定電圧を印加し、M=1列に電子放出電圧Vf
を印加する。 (2)1(=M)走査列分の情報信号のうち、偶数列の
変調電極(N=2、4、・・・)に入力される情報信号
がメモリ−80内に蓄積される。また、奇数列の変調電
極(N=1、3、5、・・・)に入力される情報信号
は、電圧印加手段81を通じて、該情報信号に応じたオ
ン電圧、カットオフ電圧及び階調電圧を有する変調電圧
(Vm1 、Vm3 、Vm5 )としてそのまま該奇数列の
変調電極に入力される。この間、偶数列の変調電極(N
=2、4、・・)には情報信号にかかわらず、信号切換
回路(信号分割手段)82からカットオフ信号が発せら
れ、電圧印加手段83を通じてカットオフ電圧(Vof
f)が印加される。 (3)次に、信号切換回路82により、1(=M)走査
列分の情報信号のうち、先にメモリ−80に蓄積された
分の情報信号が、偶数列の変調電極に入力されるよう切
換られ、電圧印加手段83を通じて、該情報信号に応じ
たオン電圧、カットオフ電圧及び階調電圧を有する変調
電圧(Vm2 、Vm4 )として該偶数列の変調電極に入
力される。この間、奇数列の変調電極(N=1、3、
5、・・)には情報信号にかかわらず、信号切換回路8
2からカットオフ信号が発せられ、電圧印加手段81を
通じてカットオフ電圧(Voff)が印加される。
を、偶数列と奇数列とに2分割して変調電極に入力する
動作は、一走査列分の表示のタイミングの間に行われ
る。
順次繰り返し、一画面分、さらには多画面分の画像が蛍
光体面に表示される。
の表示画像を形成する複数の輝点(スポット)は、互い
に極めて均一で安定したサイズと形状を呈し、しかも、
クロスト−クのない、高精細で鮮明な画像を表示するこ
とができた。
11に示す様に配置したが、上述のごとく図6、図7に
示す態様であっても良く、いずれの態様においても、本
実施例と同様の駆動方法(図14、図15)により得ら
れる表示画像はやはり、互いに極めて均一で安定したス
ポットサイズとスポット形状を呈し、しかも、クロスト
−クのない、高精細で鮮明な画像であった。尚、図6、
図7のいずれの態様も、透明電極への印加電圧が5〜1
0kVにおいて、変調電極に印加される電圧が、−40
V以下で放出電子線のカットオフ制御ができ、10V以
上で放出電子線のオン制御ができた。また、−40〜1
0Vの間で放出電子線の電子量を連続的に変化でき、階
調表示も可能であった。
例1の素子電極61a、61bと配線電極62とを、図
8、図16に示す様に配線した(62aは走査配線電
極、62bは信号配線電極、72は絶縁性部材である)
点、実施例1の変調電極を配置しなかった点、及び蛍光
体としてレッド(R)、グリ−ン(G)、ブル−(B)
を、一電子放出素子当たり一蛍光体(R、GまたはB)
が対応する様に図18に示す通りブラックストライプ構
成とした点とを除いて、実施例1と同様に作成された。
尚、本実施例においては、実施例1の変調電極に代っ
て、後述の信号配線電極が同様の役割を果たす。
動方法について図17を用いて説明する。
おいて、まず、 (1)電圧印加手段(不図示)にて、透明電極に定電圧
を印加し、M=1列に電子放出電圧Vfを印加する。 (2)1(=M)走査列分の情報信号のうち、グリ−ン
表示の信号配線電極G及びブル−表示の信号配線電極B
に入力される情報信号がメモリ−80内に蓄積される。
また、レッド表示の信号配線電極Rに入力される情報信
号は、電圧印加手段81を通じて、該情報信号に応じた
オン電圧、カットオフ電圧及び階調電圧を有する変調電
圧(VmR)としてそのまま該信号配線電極Rに入力さ
れる。この間、信号配線電極G及びBには、情報信号に
かかわらず、信号切換回路82からカットオフ信号が発
せられ、電圧印加手段83を通じてカットオフ電圧(V
off)が印加される。 (3)次に、信号切換回路82により、1(=M)走査
列分の情報信号のうち、先にメモリ−80に蓄積された
情報信号のうち、グリ−ン表示の情報信号が信号配線電
極Gに入力されるよう切換られ、電圧印加手段を通じ
て、該情報信号に応じたオン電圧、カットオフ電圧及び
階調電圧を有する変調電圧(VmG)が信号配線電極G
に入力される。この間、信号配線電極R及びBには情報
信号にかかわらず、信号切換回路82からカットオフ信
号が発せられ、電圧印加手段を通じてカットオフ電圧
(Voff)が印加される。 (4)次に、信号切換回路82により、1(=M)走査
列分の情報信号のうち、先にメモリ−80に蓄積された
情報信号のうち、ブル−表示の情報信号が信号配線電極
Bに入力されるよう切換られ、電圧印加手段を通じて、
該情報信号に応じたオン電圧、カットオフ電圧及び階調
電圧を有する変調電圧(VmB)が信号配線電極Bに入
力される。この間、信号配線電極R及びGには情報信号
にかかわらず、信号切換回路82からカットオフ信号が
発せられ、電圧印加手段を通じてカットオフ電圧(Vo
ff)が印加される。
を各色毎に、即ち、2列おきに、時間的に3分割して信
号配線電極に入力する動作は、一走査列分の表示のタイ
ミングの間に行われる。以上から明らかな通り、本実施
例における信号配線電極への変調電圧(VmR,Vm
G,VmB)の印加は、実施例1における変調電極への
電圧印加に相当するものである。
順次繰り返し、一画面分、さらには多画面分のフルカラ
−画像が蛍光体面に表示される。
ビジョン受像器やコンピュータの端末はもとより、大画
面ホームシアターや、テレビ会議システム、あるいはテ
レビ電話など、民生用あるいは産業用として広く応用が
可能である。
体面での表示画像を形成する複数の輝点(ポット)は、
互いに極めて均一で安定したサイズと形状を呈し、しか
も、クロスト−クがなく、画像の色純度の向上した色再
現性に優れるフルカラ−画像を表示できた。以上の本実
施例においては、変調手段を図8、図16に示す単純マ
トリックス配線としたが、上述のごとく図6、図7、図
11に示す変調電極を配置した態様であっても良く、い
ずれの態様においても、本実施例と同様の駆動方法によ
り得られる表示画像はやはり、互いに極めて均一で安定
したスポットサイズとスポット形状を呈し、しかも、ク
ロスト−クのなく、画像の色純度の向上した色再現性に
優れるフルカラ−画像を表示できた。
の図。
の図。
様を示す概略構成図。
の態様を示す概略構成図。
の態様を示す概略構成図。
(平面図)。
略構成図(平面図)。
拡大図。
部分拡大図。
の他の態様を示す図。
極 3,33,41(a,b,c),51(a,b,c),
64 変調電極 34,43,53,65 電子線通過孔 35 画像形成部材 36,71 輝点 68 フェ−スプレ−ト 40(a,b,c),50(a,b,c) 電子放出部 42(a,b,c),52(a,b,c),67 蛍光
体 44,54 放出電子線 66 透明電極 69 支持枠 3a,62a 走査配線電極 3b,62b 信号配線電極 22,23,61a,61b 素子電極 24,27,70 電子放出領域 25,63 導電薄膜 26 微粒子 72 絶縁性部材 81,83 電圧印加手段
Claims (2)
- 【請求項1】 複数の走査配線電極及び信号配線電極に
接続された表面伝導型電子放出素子がマトリックス状に
配置された電子源と、該電子源から放出される電子線を
情報信号に応じて変調する変調手段とを有する電子線発
生装置において、該変調手段は、1行分の情報信号を蓄
積するメモリーと、該メモリーに蓄積された情報信号と
カットオフ信号とを切換える信号切換回路と、該情報信
号に基づいて階調電圧を、該カットオフ信号に基づいて
カットオフ電圧をそれぞれ出力する手段を有し、該信号
配線電極への該階調電圧の印加を、該信号配線電極のn
列(n≧1)おきに、時間的にn+1回に分割して行
い、且つ該階調電圧が印加されていない該信号配線電極
には該カットオフ電圧を印加することを特徴とする電子
線発生装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の電子線発生装置と、電
子線の照射により発光する蛍光部材とを有する画像形成
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33073293A JP3332529B2 (ja) | 1993-01-07 | 1993-12-27 | 電子線発生装置及び画像形成装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP122493 | 1993-01-07 | ||
JP5-1224 | 1993-01-07 | ||
JP33073293A JP3332529B2 (ja) | 1993-01-07 | 1993-12-27 | 電子線発生装置及び画像形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH06259029A JPH06259029A (ja) | 1994-09-16 |
JP3332529B2 true JP3332529B2 (ja) | 2002-10-07 |
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Family Applications (1)
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JP33073293A Expired - Fee Related JP3332529B2 (ja) | 1993-01-07 | 1993-12-27 | 電子線発生装置及び画像形成装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3332529B2 (ja) |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP33073293A patent/JP3332529B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH06259029A (ja) | 1994-09-16 |
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