KR101031845B1 - Fixing Jig for needle - Google Patents

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Abstract

본 발명은 니들 고정 지그에 관한 것으로서, 중앙에 노출공이 형성되고, 하방이 개방되며, 내부에 설치공간이 형성되는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상면 중 상기 노출공을 둘러쌓도록 설치되고, 상면에 상기 니들의 일측이 지지되는 니들 고정블럭와, 상면에 안내공이 형성된 펀칭필름이 부착되고, 상기 안내공과 대응되는 위치에 삽입공이 형성되며, 상기 베이스 플레이트의 설치공간 일측에 설치되되, 상단부가 상기 노출공에 삽입되어 상면이 외부로 노출되는 승강블럭 및 상단부가 상기 승강블럭에 나사결합되고, 상기 승강블럭을 승강시키는 승강수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그를 제공한다.The present invention relates to a needle fixing jig, an exposure hole is formed in the center, the bottom is open, the base plate is formed in the installation space therein, the upper surface of the base plate is installed so as to surround the exposed hole, the upper surface A needle fixing block on which one side of the needle is supported, and a punching film having guide holes formed on an upper surface thereof, and an insertion hole is formed at a position corresponding to the guide hole, and is installed at one side of the installation space of the base plate, and an upper end thereof is exposed. Lifting block is inserted into the ball and the upper surface is exposed to the outside and the upper end screwed to the lifting block, and provides a needle fixing jig comprising a lifting means for lifting the lifting block.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 베이스 플레이트의 일측에 노출공을 형성하고, 노출공을 통해 상면이 외부로 노출되며 베이스 플레이트 내부에 승강블럭을 승강가능하게 설치하여 니들 탈거시 승강블럭을 하강시킴으로써 사이드 블럭의 유동에 따른 니들의 유동을 미연에 방지하여 니들의 정렬을 유지할 수 있을 뿐 아니라 니들팁의 휨현상 또한 미연에 방지하여 검사공정의 작업시간이 현저하게 단축되면서도 프로브 카드의 불량률을 저하시킬 수 있는 니들 고정 지그를 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to form an exposure hole on one side of the base plate, the upper surface is exposed to the outside through the exposure hole is possible to lift the lifting block inside the base plate By lowering the lifting block when removing the needle, it prevents the needle flow due to the flow of the side block to maintain the alignment of the needle, and also prevents the bending of the needle tip. In the present invention, there is provided a needle fixing jig that can reduce the defect rate of the probe card.

니들, 지그, 플레이트, 프로브 카드  Needle, jig, plate, probe card

Description

니들 고정 지그{Fixing Jig for needle}Fixing Jig for needle}

본 발명은 니들 고정 지그에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 베이스 플레이트의 일측에 노출공을 형성하고, 노출공을 통해 상면이 외부로 노출되며 베이스 플레이트 내부에 승강블럭을 승강가능하게 설치하여 니들 탈거시 승강블럭을 하강시킴으로써 사이드 블럭의 유동에 따른 니들의 유동을 미연에 방지하여 니들의 정렬을 유지할 수 있을 뿐 아니라 니들팁의 휨현상 또한 미연에 방지하여 검사공정의 작업시간이 현저하게 단축되면서도 프로브 카드의 불량률을 저하시킬 수 있는 니들 고정 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a needle fixing jig, and more particularly, to form an exposure hole on one side of the base plate, the upper surface is exposed to the outside through the exposure hole and the elevating block in the base plate to be elevated to remove the needle By lowering the elevating block, it is possible to prevent the flow of the needle due to the flow of the side block, thereby maintaining the alignment of the needle, and also to prevent bending of the needle tip. It relates to a needle fixing jig that can lower the defective rate.

일반적으로 반도체 제작 공정은 웨이퍼(Wafer)상에 패턴(pattern)을 형성시키는 패브리케이션(fabrication)공정과, 웨이퍼를 구성하고 있는 각각의 칩의 전기적 특성을 감사하는 이디에스(Electrical Die Sorting:EDS)공정과, 패턴이 형성된 웨이퍼를 각각의 칩(chip)으로 조립하는 어셈블리(assembly)공정을 통해서 제조된다.In general, a semiconductor fabrication process includes a fabrication process for forming a pattern on a wafer, and an electrical die sorting (EDS) system for auditing electrical characteristics of each chip constituting the wafer. It is manufactured through the process and the assembly process of assembling the patterned wafer into each chip.

여기서 EDS공정은 웨이퍼를 구성하고 있는 칩들 중에서도 불량칩을 판별하기위해 수행하는 것으로 웨이퍼를 구성하는 칩들에 전기적 신호를 인가시켜 인가된 전기적 신호로부터 체크되는 신호에 의해서 불량을 판단하게 되는 프로브 카드라는 검사장치가 주로 사용되고 있다.In this case, the EDS process is performed to determine a defective chip among the chips constituting the wafer. The inspection is a probe card that applies an electrical signal to the chips constituting the wafer and judges the defect by a signal checked from the applied electrical signal. The device is mainly used.

이러한 프로브 카드는 일반적으로 인쇄회로기판과, 인쇄회로기판의 상부면에 구비되는 보강판과, 인쇄회로기판의 하부면에 구비되는 고정판 및 고정판에 고정되는 다수의 니들을 포함하여 구성되는데, 여기서 니들은 상호대칭되게 절연필름에 의해 고정판에 고정된다.Such probe cards generally comprise a printed circuit board, a reinforcement plate provided on the upper surface of the printed circuit board, a fixed plate provided on the lower surface of the printed circuit board, and a plurality of needles fixed to the fixed plate. Are symmetrically fixed to the fixed plate by an insulating film.

이와 같이 다수의 니들을 고정판에 상호 정렬되게 고정하기 위해서 니들팁이 삽입되는 안내공이 형성된 펀칭필름과, 고정지그를 이용하는 방법이 주로 사용되고 있다.As such, a punching film in which a guide hole into which a needle tip is inserted and a fixing jig is used to fix the plurality of needles to be aligned with each other in a fixed plate.

도1은 종래의 니들 고정 지그의 사시도이다.1 is a perspective view of a conventional needle fixing jig.

도1에서 보는 바와 같이 종래의 니들 고정 지그(100)는 베이스 플레이트(110)와, 베이스 플레이트(110) 상면에 설치되고 상면에 펀칭필름이 부착되는 필름고정블럭(120) 및 필름고정블럭(120)의 측면을 지지하도록 상기 베이스 플레이트(110) 상면에 설치되는 사이드블럭(130)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the conventional needle fixing jig 100 includes a base plate 110, a film fixing block 120 and a film fixing block 120 installed on an upper surface of the base plate 110 and having a punching film attached thereto. It is configured to include a side block 130 is installed on the upper surface of the base plate 110 to support the side.

여기서 니들팁을 펀칭필름의 안내공에 삽입하여 니들을 정렬하는 방법을 살펴보면 다음과 같다.Here is how to insert the needle tip into the guide hole of the punching film to align the needle as follows.

먼저, 필름고정블럭(120)의 상면에 펀칭필름을 부착한 상태에서 필름고정블럭(120)을 베이스 플레이트(110)의 상면에 설치한다.First, the film fixing block 120 is installed on the upper surface of the base plate 110 in a state where the punching film is attached to the upper surface of the film fixing block 120.

이후 필름고정블럭(120)이 유동되지 않도록 필름고정블럭(120)의 측부를 지지하도록 사이드블럭(130)을 베이스 플레이 상면에 설치한 상태에서 니들팁을 펀칭필름의 안내공에 삽입하여 니들을 정렬하고, 정렬된 니들을 고정하기 위해 에폭시 수지를 도포한다.Then, the needle tip is inserted into the guide hole of the punching film while the side block 130 is installed on the upper surface of the base play so as to support the side of the film fixing block 120 so that the film fixing block 120 does not flow. And apply epoxy resin to fix the aligned needles.

이후 니들 일측에 고정판을 부착하여 니들을 견고하게 부착하고, 별도의 도구를 사용하여 사이드 블럭 및 필름 고정블럭을 일측을 들어올려 사이드 블럭 및 고정블럭을 니들로부터 탈거한다.Thereafter, the fixing plate is attached to one side of the needle to firmly attach the needle, and the side block and the fixing film are lifted on one side by using a separate tool, and the side block and the fixing block are removed from the needle.

이와 같이 종래의 니들 고정 지그(100)는 별도의 도구를 사용하여 사이드블럭(130) 및 필름 고정블럭(120)의 일측을 들어올려 니들로부터 사이드블럭(130) 및 필름 고정블럭(120)을 탈거함으로써 필름 고정블럭의 유동에 따라 펀칭필름이 동반 유동하여 안내공에 삽입된 니들의 정렬이 흩어지거나 니들팁이 휘어지는 문제점이 발생되어 프로브 카드의 검사공정의 작업시간이 현저하게 증대될 뿐 아니라 프로브 카드의 불량률이 상승하는 문제점이 있었다.As such, the conventional needle fixing jig 100 lifts one side of the side block 130 and the film fixing block 120 by using a separate tool and removes the side block 130 and the film fixing block 120 from the needle. As a result, the punching film flows along with the flow of the film fixing block, causing the alignment of the needle inserted into the guide hole to be scattered or the needle tip to be bent, which greatly increases the working time of the inspection process of the probe card. There was a problem that the defective rate is increased.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 베이스 플레이트의 일측에 노출공을 형성하고, 노출공을 통해 상면이 외부로 노출되며 베이스 플레이트 내부에 승강블럭을 승강가능하게 설치하여 니들 탈거시 승강블럭을 하강시킴으로써 사이드 블럭의 유동에 따른 니들의 유동을 미연에 방지하여 니들의 정렬을 유지할 수 있을 뿐 아니라 니들팁의 휨현상 또한 미연에 방지하여 검사공정의 작업시간이 현저하게 단축되면서도 프로브 카드의 불량률을 저하시킬 수 있는 니들 고정 지그를 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to form an exposure hole on one side of the base plate, the upper surface is exposed to the outside through the exposure hole is possible to lift the lifting block inside the base plate By lowering the lifting block when removing the needle, it prevents the needle flow due to the flow of the side block to maintain the alignment of the needle, and also prevents the bending of the needle tip. In the present invention, there is provided a needle fixing jig that can reduce the defect rate of the probe card.

그리고, 베이스 플레이트의 저면에 가열부를 설치함으로써 니들블럭을 고정하기 위해 별도의 히터로 이동에 소용되는 시간을 줄일 수 있을 뿐 아니라 이동시 니들의 유동에 의해 정렬이 흩어지거나 니들팁의 휨현상과 같은 불량 위험을 저하시킬 수 있는 니들 고정 지그를 제공함에 있다.In addition, by installing a heating part on the bottom of the base plate, it is possible not only to reduce the time required for movement by a separate heater to fix the needle block but also to reduce the risk of defects such as dispersal of alignment or bending of the needle tip during movement. It is to provide a needle fixing jig that can reduce the.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 프로브 카드를 제조하기 위해 상면에 다수의 니들이 배치되는 니들 고정 지그에 있어서, 중앙에 노출공이 형성되고, 하방이 개방되며, 내부에 설치공간이 형성되는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상면 중 상기 노출공을 둘러쌓도록 설치되고, 상면에 상기 니들의 일측이 지지되는 니들 고정블럭와, 상면에 안내공이 형성된 펀칭 필름이 부착되고, 상기 안내공과 대응되는 위치에 삽입공이 형성되며, 상기 베이스 플레이트의 설치공간 일측에 설치되되, 상단부가 상기 노출공에 삽입되어 상면이 외부로 노출되는 승강블럭 및 상단부가 상기 승강블럭에 나사결합되고, 상기 승강블럭을 승강시키는 승강수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그를 제공한다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, in the needle fixing jig, a plurality of needles are arranged on the upper surface for manufacturing a probe card, the exposure hole is formed in the center, the lower side is opened, installed inside A base plate having a space formed thereon, a needle fixing block which is installed to surround the exposed hole among the upper surfaces of the base plate, a needle fixing block on which one side of the needle is supported, and a punching film having a guide hole formed on an upper surface thereof, and the guide Insertion hole is formed in a position corresponding to the ball, is installed in one side of the installation space of the base plate, the upper end is inserted into the exposure hole and the upper surface is exposed to the outside and the upper end is screwed to the lifting block, the lifting And a lifting means for lifting up and down the block.

그리고, 상기 베이스 플레이트는 측면에 그립공이 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the base plate is preferably a grip hole is formed on the side.

또한, 상기 승강수단은 상기 승강블럭의 하단부를 덮도록 상기 베이스 플레이트 저면에 설치되되, 상면이 상기 승강블럭의 저면과 이격되게 설치되는 지지판 및 일단부가 상기 지지판을 관통하여 상기 승강블럭 일측에 나사결합되고, 타단부가 상기 지지판 일측에 지지되는 볼트부재를 포함할 수 있다.In addition, the elevating means is installed on the bottom of the base plate to cover the lower end of the elevating block, the upper surface is spaced apart from the bottom of the elevating block and one end is screwed to one side of the elevating block through the support plate And, the other end may include a bolt member supported on one side of the support plate.

아울러, 상기 지지판 일측에 승강이동가능하게 나사결합되고, 상승하는 경우 상기 승강블럭의 상면이 외부로 노출될 수 있도록 상기 승강블럭의 저면을 지지하는 블럭고정부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to further include a block fixing member for supporting the bottom surface of the elevating block so that the lifting plate is screwed to the support plate, the lift plate is movable, and the upper surface of the elevating block is exposed to the outside.

그리고, 상기 베이스 플레이트의 저면 일측에 설치되어 상기 베이스 플레이트를 가열하는 가열부를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a heating unit installed at one side of the bottom surface of the base plate to heat the base plate.

또한, 상기 베이스 플레이트의 저면 중 상기 승강블럭의 외주면을 지지하는 위치에 설치되는 승강블럭 가이드를 더 포함하는 것이 더욱 바람직하다.The base plate may further include a lifting block guide installed at a position supporting the outer circumferential surface of the lifting block.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 베이스 플레이트의 일측에 노출공을 형성하고, 노출공을 통해 상면이 외부로 노출되며 베이스 플레이트 내부에 승강블럭을 승강가능하게 설치하여 니들 탈거시 승강블럭을 하강시킴으로써 사이드 블럭의 유동에 따른 니들의 유동을 미연에 방지하여 니들의 정렬을 유지할 수 있을 뿐 아니라 니들팁의 휨현상 또한 미연에 방지하여 검사공정의 작업시간이 현저하게 단축되면서도 프로브 카드의 불량률을 저하시킬 수 있는 니들 고정 지그를 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to form an exposure hole on one side of the base plate, the upper surface is exposed to the outside through the exposure hole is possible to lift the lifting block inside the base plate By lowering the lifting block when removing the needle, it prevents the needle flow due to the flow of the side block to maintain the alignment of the needle, and also prevents the bending of the needle tip. In the present invention, there is provided a needle fixing jig that can reduce the defect rate of the probe card.

그리고, 베이스 플레이트의 저면에 가열부를 설치함으로써 니들블럭을 고정하기 위해 별도의 히터로 이동에 소용되는 시간을 줄일 수 있을 뿐 아니라 이동시 니들의 유동에 의해 정렬이 흩어지거나 니들팁의 휨현상과 같은 불량 위험을 저하시킬 수 있는 니들 고정 지그를 제공함에 있다.In addition, by installing a heating part on the bottom of the base plate, it is possible not only to reduce the time required for movement by a separate heater to fix the needle block but also to reduce the risk of defects such as dispersal of alignment or bending of the needle tip during movement. It is to provide a needle fixing jig that can reduce the.

이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시를 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도2는 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지그의 사시도이고, 도3은 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지그의 저면 분해사시도이며, 도4는 본 발명의 일실시예에 다른 니들 고정 지그의 단면도이다.Figure 2 is a perspective view of the needle fixing jig according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is an exploded perspective view of the bottom of the needle fixing jig according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a needle according to another embodiment of the present invention Sectional view of the fixing jig.

도2 내지 도4에서 보는 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지 그(1)는 베이스 플레이트(10)와, 니들 고정블럭(20)과, 승강블럭(30)과, 승강블럭 가이드(40)와, 승강수단(50)와, 승강블럭 고정부재(60) 및 가열부(70)를 포함하여 구성된다.2 to 4, the needle fixing jig 1 according to the embodiment of the present invention includes a base plate 10, a needle fixing block 20, a lifting block 30, and a lifting block guide. 40, the lifting means 50, the lifting block fixing member 60 and the heating unit 70 is configured.

베이스 플레이트(10)는 중앙에 노출공(11a)이 형성되고 저면에 후술하는 구성이 결합되는 판형상의 설치플레이트(11)와, 설치플레이트(11)의 저면 중 모서리 부근에 볼트결합되는 측벽(12)을 포함하여 구성된다.The base plate 10 has a plate-shaped mounting plate 11 having an exposed hole 11a formed at the center thereof and a structure described below on the bottom thereof, and a side wall 12 which is bolted around a corner of the bottom surface of the mounting plate 11. It is configured to include).

그리고, 측벽(12)은 앞서 설명한 바와 같이 설치플레이트(11)의 모서리를 따라 설치플레이트(11)의 저면에 볼트결합되어 설치플레이트(11)와, 베이스 플레이트(10)가 설치되는 설치대상지면(미도시) 사이에 내부공간(S)이 형성되도록 함으로써 후술하는 구성이 결합되는 결합공간을 제공하는 역할을 한다.And, as described above, the side wall 12 is bolted to the bottom surface of the mounting plate 11 along the edge of the mounting plate 11 to be installed on the installation plate 11 and the base plate 10, the installation target surface ( The inner space (S) is formed between the (not shown) serves to provide a coupling space that is coupled to the configuration described below.

또한, 측벽(12)은 일측에 그립공(12a)이 형성되어 작업자가 그립공(12a)을 통해 베이스 플레이트(10)를 파지하여 베이스 플레이트(10)를 움직여 작업각도를 용이하게 조절할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.In addition, the side wall 12 has a grip hole (12a) is formed on one side to allow the operator to grip the base plate 10 through the grip hole (12a) to move the base plate 10 to easily adjust the working angle It is preferable.

니들 고정블럭(20)은 베이스 플레이트(10)의 노출공(11a) 주위를 따라 설치플레이트(11)의 상면에 설치되며, 상면이 상기 노출공(11a) 방향으로 경사지게 형성되어 펀칭필름(F)의 안내공(F1)에 니들팁 삽입을 용이하게 이루어질 수 있도록 함과 아울러 니들(N)의 일측을 지지하는 역할을 한다.Needle fixing block 20 is installed on the upper surface of the mounting plate 11 around the exposed hole (11a) of the base plate 10, the upper surface is formed to be inclined toward the exposed hole (11a) punching film (F) The guide hole (F1) to facilitate the insertion of the needle tip and also serves to support one side of the needle (N).

승강블럭(30)은 상단부가 설치플레이트(11)의 노출공(11a)에 삽입되는 제1 블럭(31)과, 제1 블럭(31)보다 넓은 폭을 갖고 제1 블럭(31)의 하부에 형성되는 제2 블럭(32)을 포함하여 구성되며, 후술하는 승강수단(50)에 의해 하강하면서 정렬된 니들(N)로부터 펀칭필름(F)을 탈거하는 역할을 한다.The lifting block 30 has a first block 31 having an upper end inserted into the exposed hole 11a of the installation plate 11 and a lower width than the first block 31 and has a lower width than the first block 31. It comprises a second block 32 is formed, and serves to remove the punching film (F) from the needle (N) aligned while descending by the lifting means 50 to be described later.

제1 블럭(31)은 대략 육각형상으로 형성되고, 상면에는 펀칭필름(F)의 안내공(F1)을 통과한 니들팁(N1)이 삽입되는 삽입공(31a)이 형성되어 있다.The first block 31 is formed in a substantially hexagonal shape, and an insertion hole 31a into which the needle tip N1 through which the guide hole F1 of the punching film F is inserted is formed.

그리고, 앞서 설명한 바와 같이 제2 블럭(32)이 제1 블럭(31)보다 넓은 폭을 갖도록 형성되어 제1 블럭(31)과 제2 블럭(32)간 단턱(33)이 형성되며, 이와 같이 형성된 단턱(33)이 설치플레이트(11)의 저면에 지지되면서 제1 블럭(31)이 노출공(11a)을 통해 외부로 방출되는 것을 방지한다.As described above, the second block 32 is formed to have a wider width than the first block 31 to form the step 33 between the first block 31 and the second block 32. The formed step 33 is supported on the bottom of the installation plate 11 to prevent the first block 31 from being discharged to the outside through the exposure hole 11a.

승강블럭 가이드(40)는 설치플레이트(11)의 저면 중 승강블럭(30)의 측면을 지지하는 위치에 설치되어 승강블럭(30)이 후술하는 승강수단(50)에 의해 승강하는 경우 유동되지 않도록 승강블럭(30)의 측면부를 지지하여 승강블럭(30)이 용이하게 승강되도록 하는 역할을 한다.The elevating block guide 40 is installed at a position supporting the side of the elevating block 30 among the bottom surfaces of the installation plate 11 so that the elevating block 30 does not flow when the elevating block 30 is elevated by the elevating means 50 which will be described later. By supporting the side of the lifting block 30, the lifting block 30 serves to easily lift.

승강수단(50)은 승강블럭(30)의 저면으로부터 하방으로 이격된 베이스 플레이트(10)의 내부공간에 설치되는 지지판(51) 및 일단부가 지지판(51)의 일측을 관통하여 승강블럭(30)의 저면에 나사결합되며 타단부가 지지판(51)의 일측에 지지되는 승강부재(52)를 포함하여 구성된다.The elevating means 50 includes a support plate 51 installed at an inner space of the base plate 10 spaced downward from the bottom of the elevating block 30, and one end of the elevating block 30 passing through one side of the support plate 51. Screwed to the bottom surface of the other end is configured to include a lifting member 52, which is supported on one side of the support plate 51.

이와 같은 승강수단(50)은 승강부재(52)를 회전시키면 승강부재(52)의 타단 부가 지지판(51)의 일측에 지지되며, 승강부재(52)의 나사선과 승강부재(52)의 나사선이 맞물리면서 승강부재(52)를 승강시키는 역할을 한다.When the elevating means 50 rotates the elevating member 52, the other end of the elevating member 52 is supported on one side of the supporting plate 51, and the screw line of the elevating member 52 and the screw line of the elevating member 52 are provided. While engaging, serves to elevate the elevating member (52).

여기서 승강부재(52)는 통상의 볼트가 사용될 수 있으며, 본 발명의 승강부재(52)는 이에 한정하지 않으며, 승강블럭(30)을 승강시킬 수 있는 구성이면 어느 것이든 적용이 가능하다.Here, the elevating member 52 may be used a conventional bolt, the elevating member 52 of the present invention is not limited to this, any configuration can be applied as long as the elevating block 30 can be elevated.

아울러, 지지판(51)은 도면에서 보는 바와 같이 설치플레이트(11)의 저면에 설치되는 받침부재(51a)와, 받침부재(51a)의 하부에 결합되고 상기한 승강부재(52)가 관통되는 고정플레이트(51b)를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the support plate 51 is fixed to the support member 51a installed on the bottom surface of the installation plate 11 and the lower portion of the support member 51a, and the lifting member 52 penetrates as shown in the drawing. It may be configured to include a plate (51b).

그리고, 고정플레이트(51b)는 일측에 후술하는 승강블럭 고정부재(60)가 나사결합되는 나사공(51ba)이 형성되어 있다.In addition, the fixing plate 51b has a screw hole 51ba formed at one side thereof to which the lifting block fixing member 60 to be described later is screwed.

상기한 바와 같이 본원발명은 종래와는 달리 니들 고정블럭(20)을 탈거시키지 않고 상면에 펀칭필름(F)이 부착된 승강블럭(30)을 하강시킴으로써 니들로부터 펀칭필름(F)을 탈거하여 니들 고정블럭(20) 및 사이드 블럭의 탈거에 의해 니들의 정렬이 흩어지거나 니틀팁(N1)이 휘어지는 휨현상을 미연에 방지하여 검사공정 시간을 현저하게 단축시킬 수 있으면서도 프로브 카드의 불량율을 현저하게 저하시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention removes the punching film F from the needle by lowering the lifting block 30 having the punching film F attached to the upper surface, without removing the needle fixing block 20 unlike the conventional art. By removing the fixing block 20 and the side block, it is possible to prevent the bending of the needle or the bending of the needle tip N1 in advance, thereby significantly reducing the inspection process time and significantly reducing the defect rate of the probe card. It can be effective.

승강블럭 고정부재(60)는 일단부가 고정플레이트(52a)의 나사공(52aa)에 나사결합되며, 나사결합된 일단부가 승강블럭(30)의 저면을 지지하여 펀칭필름(F)의 안내공(F1)에 니들팁 삽입공(31a)정시 승강블럭(30)이 하강하는 것을 방지하는 역 할을 하며, 승강블럭 고정부재(60) 또한 통상의 볼트부재(52)가 사용될 수 있다.One end of the elevating block fixing member 60 is screwed into the screw hole 52aa of the fixing plate 52a, and the one end of the screwed end supports the bottom of the elevating block 30 to guide the hole of the punching film F ( The needle tip insertion hole 31a serves to prevent the lifting block 30 from falling down on the F1), and the lifting block fixing member 60 may also use a conventional bolt member 52.

가열부(70)는 설치플레이트(11)의 저면에 설치되는 가열수단(71)과, 가열수단(71)에 전원을 인가하는 전원부(72)를 포함하여 구성되며, 니들 고정블록에 니들을 고정하기 위해 니들 고정블럭(20)을 가열하여 니들 고정블럭(20)에 도포되는 에폭시 수지가 열전도에 의해 유동성을 갖도록 하는 역할을 한다.The heating unit 70 includes a heating unit 71 installed on the bottom of the installation plate 11 and a power supply unit 72 for applying power to the heating unit 71, and fixing the needle to the needle fixing block. In order to heat the needle fixing block 20, the epoxy resin applied to the needle fixing block 20 serves to have fluidity by heat conduction.

여기서 가열수단(71)은 설치플레이트(11)의 저면에 위치하는 저항체(71a)와, 저항체(71a)를 설치플레이트(11)에 고정하기 위한 브래킷(71b)을 포함하여 구성될 수 있다.Here, the heating means 71 may include a resistor 71a positioned on the bottom of the installation plate 11, and a bracket 71b for fixing the resistor 71a to the installation plate 11.

이와 같이 본원 발명은 설치플레이트(11)의 저면에 가열수단(71)을 설치함으로써 니들 고정블럭(20)에 니들을 고정하기 위해 니들 고정블럭(20)을 별도의 히팅수단으로 이동하여 가열하지 않아도 되므로 이동에 소요되는 시간이 절약될 뿐 아니라 이동시 외부요인에 의해 정렬된 니들(N)의 흩어짐 또는 니들팁(N1)의 휨현상을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있는 것이다.As such, the present invention does not require heating by moving the needle fixing block 20 to a separate heating means in order to fix the needle on the needle fixing block 20 by installing the heating means 71 on the bottom surface of the installation plate 11. Therefore, not only the time required for the movement is saved but also the effect of preventing the scattering of the needles N or the bending of the needle tips N1 aligned by external factors during the movement.

도5 내지 도8은 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지그의 동작을 도시한 도면이다.5 to 8 are views showing the operation of the needle fixing jig according to an embodiment of the present invention.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지그(1)의 동작을 첨부된 도5 내지 도7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.The operation of the needle fixing jig 1 according to the embodiment of the present invention having such a configuration will be described below with reference to FIGS. 5 to 7.

먼저, 니들의 정렬작업이 완료되어 에폭시 수지를 도포하여 니들을 니들 고 정블럭(20)에 고정한 후 도5에서 보는 바와 같이 승강블럭 고정부재(60)를 회전시키면 승강블럭 고정부재(60)가 하강하면서 도6에서 보는 바와 같이 승강수단(50)이 하강할 수 있는 이동공간이 확보된다.First, after the alignment of the needle is completed, the epoxy resin is applied to fix the needle to the needle fixing block 20, and then the lifting block fixing member 60 is rotated as shown in FIG. While descending, as shown in FIG. 6, a moving space in which the lifting means 50 can descend is secured.

다음 도7에서 보는 바와 같이 승강수단(50)의 승강부재(52)를 회전시키면 도8에서 보는 바와 같이 승강블럭(30)이 하강하고, 니들은 니들 고정블록에 지지되면서 니들이 승강블럭(30) 및 펀칭필름(F)으로부터 탈거된다.Next, as shown in FIG. 7, when the elevating member 52 of the elevating means 50 is rotated, as shown in FIG. 8, the elevating block 30 is lowered, and the needle is supported by the needle fixing block while the needle is elevating block 30. And stripped from the punching film (F).

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications or variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the appended claims are intended to cover such modifications or changes as fall within the scope of the invention.

도1은 종래의 니들 고정 지그의 사시도,1 is a perspective view of a conventional needle fixing jig,

도2는 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지그의 사시도, 2 is a perspective view of a needle fixing jig according to an embodiment of the present invention;

도3은 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지그의 분해사시도, 3 is an exploded perspective view of a needle fixing jig according to an embodiment of the present invention;

도4는 본 발명의 일실시예에 다른 니들 고정 지그의 단면도,4 is a cross-sectional view of another needle fixing jig according to one embodiment of the present invention;

도5 내지 도8은 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지그의 동작을 도시한 도면.5 to 8 are views showing the operation of the needle fixing jig according to an embodiment of the present invention.

<주요도면부호에 관한 설명> <Description of main drawing code>

1 : 니들 고정 지그 10 : 베이스 플레이트1: needle fixing jig 10: base plate

20 : 니들 고정 블럭 30 : 승강블럭20: needle fixing block 30: lifting block

40 : 승강블럭 가이드 50 : 승강수단40: lifting block guide 50: lifting means

60 : 승강블럭 고정부재 70 : 가열부60: lifting block fixing member 70: heating part

Claims (6)

프로브 카드를 제조하기 위해 상면에 다수의 니들이 배치되는 니들 고정 지그에 있어서,In the needle holding jig in which a plurality of needles are arranged on the upper surface for manufacturing the probe card, 중앙에 노출공이 형성되고, 하방이 개방되어 내부에 설치공간이 형성되는 베이스 플레이트와;A base plate having an exposed hole formed in the center thereof, and having a lower side opened to form an installation space therein; 상기 베이스 플레이트의 상면 중 상기 노출공을 둘러쌓도록 설치되고, 상면에 상기 니들의 일측이 지지되는 니들 고정블럭과;A needle fixing block installed to surround the exposure hole among the upper surfaces of the base plate, and supporting one side of the needle on the upper surface; 상면에 안내공이 형성된 펀칭필름이 부착되고, 상기 안내공과 대응되는 위치에 삽입공이 형성되며, 상기 베이스 플레이트의 설치공간 일측에 설치되되, 상단부가 상기 노출공에 삽입되어 상면이 외부로 노출되는 승강블럭; 및Punching film having a guide hole formed on the upper surface is attached, the insertion hole is formed in a position corresponding to the guide hole, is installed in one side of the installation space of the base plate, the upper end is inserted into the exposure hole lifting block that the upper surface is exposed to the outside ; And 상단부가 상기 승강블럭에 결합되고, 상기 승강블럭을 승강시키는 승강수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그.A needle fixing jig, wherein an upper end portion is coupled to the elevating block, and includes elevating means for elevating the elevating block. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 베이스 플레이트는 측면에 그립공이 형성되는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그.The base plate has a needle fixing jig characterized in that the grip hole is formed on the side. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 승강수단은The lifting means 상기 승강블럭의 하단부를 덮도록 상기 베이스 플레이트 저면에 설치되되, 상면이 상기 승강블럭의 저면과 이격되게 설치되는 지지판; 및A support plate installed on a bottom surface of the base plate to cover a lower end of the elevating block, and an upper surface of the elevating block spaced apart from a bottom of the elevating block; And 일단부가 상기 지지판을 관통하여 상기 승강블럭 일측에 나사결합되고, 타단부가 상기 지지판 일측에 지지되는 볼트부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그.One end of the needle fixing jig characterized in that it comprises a bolt member which is screwed to one side of the lifting block through the support plate, the other end is supported on one side of the support plate. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 지지판 일측에 승강이동가능하게 나사결합되고, 상승하는 경우 상기 승강블럭의 상면이 외부로 노출될 수 있도록 상기 승강블럭의 저면을 지지하는 블럭고정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그.And a block fixing member supporting a bottom surface of the elevating block so that the upper surface of the elevating block is exposed to the outside when the elevating movable screw is coupled to one side of the supporting plate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 베이스 플레이트의 저면 일측에 설치되어 상기 베이스 플레이트를 가열하는 가열부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그.The needle fixing jig further comprises a heating unit installed on one side of the bottom surface of the base plate to heat the base plate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 베이스 플레이트의 저면 중 상기 승강블럭의 외주면을 지지하는 위치에 설치되는 승강블럭 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그.And a lifting block guide installed at a position supporting the outer circumferential surface of the lifting block among the bottom surfaces of the base plate.
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