KR101015417B1 - Grinder of type of revolution and rotation - Google Patents

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KR101015417B1
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전승범
조정현
표희성
박준환
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주식회사 알앤비
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    • B24B1/04—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes subjecting the grinding or polishing tools, the abrading or polishing medium or work to vibration, e.g. grinding with ultrasonic frequency
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Abstract

PURPOSE: A grinding tester is provided to lower the decrease possibilities of the flatness and parallelization of the ground surface of a specimen due to the difference of linear velocity, which can occur while the specimen makes a relative movement to a grinding plate. CONSTITUTION: A grinding tester comprises a body(100) and an auto-head(200). The body comprises a grinding plate(110). The auto-head is installed on the body. The specimen(S) of the auto-head is mounted to make contact with the grinding plate. The auto-head comprises a mount(300). The mount comprises a housing, a holder(320), a rotating driver, a revolving driver and a specimen cylinder(250). The housing is installed rotatably to the rest of the auto-head. The holder is installed rotatably to the housing, and the specimen is mounted on the holder.

Description

공-자전 병행형 연마 시험기{GRINDER OF TYPE OF REVOLUTION AND ROTATION}Co-Rotating Parallel Abrasion Tester {GRINDER OF TYPE OF REVOLUTION AND ROTATION}

본 발명은 시편이 상기 연마판과 마찰을 일으켜 연마되도록 상기 시편을 연마판에 대해 상대 이동시키는 연마 시험기에 관한 것이다.
The present invention relates to a polishing tester for moving the specimen relative to the polishing plate such that the specimen rubs against the polishing plate to polish.

일반적으로, 금속조직학(Metallography)이란 재료의 절단, 마운팅, 연마(정마), 부식을 통해 해당 재료의 미세조직을 채취하는 전 과정을 말한다. 이러한 금속조직학에서는 연마(정마) 작업이 통상적으로 포함된다. In general, metallography refers to the entire process of collecting microstructures of a material through cutting, mounting, polishing, and corrosion of the material. Such metallography typically involves polishing (polishing).

초기에 연마 작업은, 작업자가 하나의 시편을 쥐고서 연마판에 문지르는 방식으로 진행되었다. 이후, 시편을 장착할 수 있는 장치가 개발되어서, 위의 문지르는 작업이 기계적으로 수행되기에 이르렀다.Initially, the grinding operation was carried out in such a way that the operator grabbed one specimen and rubbed the abrasive plate. Since then, a device for mounting the specimen has been developed, and the above rubbing operation is mechanically performed.

이 과정에서, 시편의 연마판의 중심에서 가까운 안쪽 부분과, 시편의 연마판의 중심에서 먼 바깥쪽 부분 간의 위치 차이에 의한 선속도 차이로 인해, 시편이 전체적으로 고르게 연마되지 못한다.In this process, due to the difference in linear velocity due to the positional difference between the inner part close to the center of the abrasive plate of the specimen and the outer part far from the center of the abrasive plate of the specimen, the specimen is not evenly polished as a whole.

그에 의해, 연마 후에 시편 표면이 원하는 수준의 평평도 및 평행도에 부합하지 못하는 문제가 발생하기도 한다.
Thereby, there arises a problem that the specimen surface does not meet the desired level of flatness and parallelism after polishing.

본 발명의 목적은 시편이 연마판에 대한 상대 운동 중에 발생할 수 있는 선속도 차이에 의한 시편의 연마된 표면의 평평도 및 평행도가 저하될 가능성을 낮출 수 있는, 공-자전 병행형 연마 시험기를 제공하는 것이다.
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a co-rotating parallel polishing tester, which can lower the possibility that the flatness and parallelism of the polished surface of the specimen are degraded by the linear velocity differences that may occur during the relative motion of the abrasive plate. It is.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일 실시예와 관련된 공-자전 병행형 연마 시험기는, 연마판을 가지는 본체와, 상기 본체에 설치되며, 시편이 상기 연마판에 접촉하도록 장착되는, 장착 유닛을 구비하는, 오토 헤드를 포함한다. 상기 오토 헤드의 상기 장착 유닛은, 상기 오토 헤드의 나머지 부분에 대해 회전 가능하게 설치되는, 하우징과, 상기 하우징에 회전 가능하게 설치되며, 상기 시편이 장착되는, 적어도 하나의 홀더와, 상기 하우징에 설치되며, 상기 시편이 상기 연마판에 접촉된 채로 상기 홀더가 회전되도록 하는, 자전 구동부와, 상기 하우징에 설치되며, 상기 시편이 상기 연마판에 접촉된 채로 상기 하우징이 회전되도록 하는, 공전 구동부를 포함한다.The co-rotating parallel polishing tester according to an embodiment of the present invention for realizing the above object is a mounting unit, which is installed in the main body having an abrasive plate, and mounted on the main body, and the specimen is in contact with the abrasive plate. It includes an auto head. The mounting unit of the auto head includes a housing rotatably installed with respect to the remaining portion of the auto head, at least one holder rotatably installed in the housing, and on which the specimen is mounted, and in the housing. And a rotating drive unit for rotating the holder while the specimen is in contact with the polishing plate, and a rotating drive unit installed in the housing and allowing the housing to be rotated while the specimen is in contact with the polishing plate. Include.

여기서, 상기 자전 구동부 및 상기 공전 구동부에 동력을 공급하도록, 상기 오토 헤드에 설치되는, 구동 모터를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a driving motor installed in the auto head to supply power to the rotation driving unit and the idle driving unit.

여기서, 상기 자전 구동부는, 상기 구동 모터에 의해 구동되는, 구동 기어와, 상기 홀더의 외주에 상기 구동 기어와 맞물리도록 설치되어, 상기 구동 기어의 회전에 연동되어 상기 홀더가 회전되게 하는, 피동 기어를 포함할 수 있다.In this case, the rotating drive unit is driven by the drive motor, and the outer peripheral of the holder is provided so as to engage with the drive gear, driven gear which is linked to the rotation of the drive gear to rotate the holder. It may include.

여기서, 상기 공전 구동부는, 상기 구동모터의 출력축에 연결되도록 상기 하우징서 돌출되는 공전축을 포함할 수 있다.Here, the idle drive unit may include an idle shaft protruding from the housing to be connected to the output shaft of the drive motor.

여기서, 상기 자전 구동부는, 상기 구동 기어와 상기 구동 모터의 출력축을 연결하는 자전축을 포함하고, 상기 자전축은 상기 공전축의 내부 중공부에 배치될 수 있다. The rotating drive unit may include a rotating shaft connecting the driving gear and the output shaft of the driving motor, and the rotating shaft may be disposed in an inner hollow portion of the rotating shaft.

여기서, 상기 오토 헤드에 설치되어, 상기 연마판에 대한 간격이 조절되도록 상기 장착 유닛을 이동시키는, 로딩 실린더를 더 포함할 수 있다.Here, the mounting apparatus may further include a loading cylinder installed in the auto head to move the mounting unit to adjust the distance to the polishing plate.

여기서, 상기 장착 유닛에 설치되어, 상기 연마판에 대한 간격이 조절되도록 상기 홀더를 이동시키는, 시편 실린더를 더 포함할 수 있다.Here, the mounting unit may further include a specimen cylinder for moving the holder to adjust the distance to the polishing plate.

여기서, 상기 적어도 하나의 홀더는 복수의 홀더를 포함하고, 상기 복수의 홀더는 상기 하우징의 원주 방향을 따라 배열될 수 있다.Here, the at least one holder may include a plurality of holders, and the plurality of holders may be arranged along the circumferential direction of the housing.

본 발명의 다른 실시예에 따른 공-자전 병행형 연마 시험기는, 연마판을 가지는 본체와, 일 단은 상기 본체에 설치되고 타 단은 상기 연마판에 인접하도록 배치되어, 상기 타 단에 장착된 시편이 상기 연마판에 대해 자전하면서 공전하는 궤적을 따라 상대 운동되게 하는, 오토 헤드를 포함한다.
Co-rotating parallel polishing tester according to another embodiment of the present invention, the main body having a polishing plate, one end is installed on the main body and the other end is disposed adjacent to the polishing plate, the other end is mounted And an auto head, which allows the specimen to move relative to the orbiting trajectory while rotating relative to the abrasive plate.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 관련된 공-자전 병행형 연마 시험기에 의하면, 시편이 연마판에 대한 상대 운동 중에 발생할 수 있는 선속도 차이에 의한 시편의 연마된 표면의 평평도 및 평행도가 저하될 가능성을 낮출 수 있게 된다.
According to the co-rotating parallel polishing tester according to the present invention configured as described above, there is a possibility that the flatness and parallelism of the polished surface of the specimen may be reduced due to the linear velocity difference which may occur during the relative movement of the specimen to the polishing plate. Can be lowered.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공-자전 병행형 연마 시험기에 대한 단면도이고,
도 2는 도 1의 지지부(240) 및 장착 유닛(300)을 보인 확대 단면도이며,
도 3은 본 발명의 일 실시에에 따른 공-자전 병행형 연마 시험기의 홀더(320)의 운동 궤적을 설명하기 위한 개념도이다.1 is a cross-sectional view of a co-rotating parallel abrasive tester according to an embodiment of the present invention,
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view illustrating the supporter 240 and the mounting unit 300 of FIG. 1.
3 is a conceptual diagram for explaining the movement trajectory of the holder 320 of the co-rotating parallel abrasive tester according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 공-자전 병행형 연마 시험기에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.Hereinafter, a co-rotating parallel abrasive tester according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present specification, the same or similar reference numerals are assigned to the same or similar configurations in different embodiments, and the description thereof is replaced with the first description.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공-자전 병행형 연마 시험기에 대한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view of a co-rotating parallel abrasive tester according to an embodiment of the present invention.

본 도면을 참조하면, 상기 공-자전 병행형 연마 시험기는, 본체(100)와, 오토 헤드(200)를 포함한다. Referring to this figure, the co-rotating parallel polishing tester includes a main body 100 and an auto head 200.

본체(100)는 전체적으로 육면체 형태를 가지도록 형성될 수 있다. 본체(100)의 상부에는 연마판(110)이 배치될 수 있다. 연마판(110)은 외부로 노출되도록 형성된다. 연마판(110)은 그가 이루는 평면 내에서 회전하도록 구동될 수 있다. 이와 달리, 연마판(110)은 고정된 채로 설치될 수도 있다. The main body 100 may be formed to have a hexahedral shape as a whole. An abrasive plate 110 may be disposed on an upper portion of the main body 100. The abrasive plate 110 is formed to be exposed to the outside. The abrasive plate 110 may be driven to rotate in the plane it forms. Alternatively, the polishing plate 110 may be installed while being fixed.

본체(100)의 일 부분에는 오토 헤드(200)를 회전 구동하기 위해, 오토 헤드(200)의 일 부분과 연결되는 회전 모터(120)가 설치될 수 있다. 또한, 본체(100)에는 연마판(110)에 물을 공급하기 위한 유닛이 설치될 수 있다. 이 유닛은, 자유 단이 연마판(110)을 지향하는 물 공급 파이프를 포함할 수 있다. A portion of the main body 100 may be provided with a rotary motor 120 connected to a portion of the auto head 200 to rotate the auto head 200. In addition, a unit for supplying water to the abrasive plate 110 may be installed in the main body 100. This unit may comprise a water supply pipe whose free end is directed to the abrasive plate 110.

오토 헤드(200)는 본체(100)에 설치되며, 위 회전 모터(120)에 의해 본체(100)에 대해 회전되어 일 위치에 배치될 수 있다. 오토 헤드(200)는, 시편(S)이연마판(110)에 마찰하면서 연마판(110)에 대하여 상대 이동하도록, 시편(S)을 움직이도록 형성된다.Auto head 200 is installed in the main body 100, may be rotated with respect to the main body 100 by the rotary motor 120 may be disposed in one position. The auto head 200 is formed to move the specimen S so that the specimen S moves relative to the polishing plate 110 while rubbing against the polishing plate 110.

오토 헤드(200)는, 구동 모터(210)와, 로딩 실린더(220)와, 승강 실린더(230)와, 지지부(240)와, 시편 실린더(250)와, 장착 유닛(300)을 포함할 수 있다. The auto head 200 may include a drive motor 210, a loading cylinder 220, a lifting cylinder 230, a support 240, a specimen cylinder 250, and a mounting unit 300. have.

구동 모터(210)는 시편(S)이 자전 및 공전하도록 하기 위한 동력을 제공한다. The drive motor 210 provides power for causing the specimen S to rotate and revolve.

로딩 실린더(220)는 시편(S)이 연마판(110)에 대한 근접하거나 그로부터 멀어지도록 장착 유닛(300)을 수직 방향(V)으로 이동시키기 위한 것이다. The loading cylinder 220 is for moving the mounting unit 300 in the vertical direction (V) so that the specimen (S) is close to or away from the abrasive plate (110).

승강 실린더(230)는 오토 헤드(200)를 본체(100)에 대해 수직 방향(V)으로 승강시키기 위한 것이다. The lifting cylinder 230 is for lifting the auto head 200 in the vertical direction V with respect to the main body 100.

지지부(240)는 오토 헤드(200)의 나머지 부분과 장착 유닛(300)을 연결한다. 지지부(240)는 또한, 구동 모터(210)에서 전달되는 동력을 장착 유닛(300)으로 중계한다. The supporter 240 connects the rest of the auto head 200 to the mounting unit 300. The support 240 also relays the power transmitted from the drive motor 210 to the mounting unit 300.

시편 실린더(250)는 장착 유닛(300)에 장착된 시편(S)을 연마판(110)에 대하여 가압하도록 형성된다. The specimen cylinder 250 is formed to press the specimen S mounted on the mounting unit 300 against the polishing plate 110.

장착 유닛(300)에 대해서는, 오토 헤드(200)로부터 별도로 구분하여 설명한다.The mounting unit 300 will be described separately from the auto head 200.

장착 유닛(300)은 지지부(240)에 연결된다. 장착 유닛(300)의 하우징(310)은 지지부(240)에 대하여 공전 중심선(R)을 중심으로 회전하도록 설치된다. 장착 유닛(300)의 홀더(320)는 자전 중심선(G)을 중심으로 회전하도록 하우징(310)에 설치된다. 여기서, '공전'과 '자전'은 홀더(320)에 장착되는 시편(S)을 기준으로 파악한 것이다.The mounting unit 300 is connected to the support 240. The housing 310 of the mounting unit 300 is installed to rotate about the revolving centerline R with respect to the supporter 240. The holder 320 of the mounting unit 300 is installed in the housing 310 to rotate about the rotation center line G. Here, the 'idle' and 'rotation' is determined based on the specimen (S) mounted on the holder 320.

도 2는 도 1의 지지부(240) 및 장착 유닛(300)을 보인 확대 단면도이다.2 is an enlarged cross-sectional view illustrating the supporter 240 and the mounting unit 300 of FIG. 1.

본 도면을 참조하면, 지지부(240)의 중심에는 로딩 실린더(220)가 연장될 수 있다. 시편 실린더(250)의 로드(251)는 홀더(320)를 가압할 수 있도록 배치된다. Referring to this figure, the loading cylinder 220 may extend in the center of the support 240. The rod 251 of the specimen cylinder 250 is disposed to press the holder 320.

장착 유닛(300)은, 앞서 설명한, 하우징(310)과, 홀더(320)와, 자전 구동부(330)와, 공전 구동부(340)를 포함할 수 있다.The mounting unit 300 may include the housing 310, the holder 320, the rotation driver 330, and the idle driver 340 described above.

하우징(310)은 홀더(320)와 자전 구동부(330)를 수용하기 위한 내부 공간(I)을 구비한다. 이를 위하여, 하우징(310)은, 상판(311)과, 하판(312)이 체결 피스(313)에 의해 결합된 형태를 취할 수 있다. 위 내부 공간(I)의 형성을 위해, 상판(311)과 하판(312)은 일정 간격으로 이격되도록 배치될 수 있다.The housing 310 has an inner space I for accommodating the holder 320 and the rotating driver 330. To this end, the housing 310 may have a form in which the upper plate 311 and the lower plate 312 are coupled by the fastening piece 313. In order to form the upper internal space I, the upper plate 311 and the lower plate 312 may be arranged to be spaced at a predetermined interval.

홀더(320)는 하우징(310)에 수직 방향(V)으로 개구된 부분에 삽입되도록 설치될 수 있다. 홀더(320)는 수직 방향(V)으로 정렬되도록 배치되어, 시편(S) 역시 수직 방향(V)을 정렬되도록 할 수 있다. 홀더(320)는 하우징(310)에 스프링에 의해 탄성적으로 지지된 채로 설치될 수 있다. 이에 의해, 홀더(320)에 장착되는 시편(S)은 연마판(110)을 향해 탄성적으로 가압될 수 있다. The holder 320 may be installed to be inserted into a portion opened in the vertical direction V to the housing 310. The holder 320 may be arranged to align in the vertical direction (V), so that the specimen S may also be aligned in the vertical direction (V). The holder 320 may be installed while being elastically supported by the spring in the housing 310. As a result, the specimen S mounted on the holder 320 may be elastically pressed toward the polishing plate 110.

홀더(320)는 복수 개로 설치되어 복수 개의 시편(S)에 대한 연마가 동시에 이루어지도록 할 수 있다. 이 경우, 홀더(320)들은 하우징(310)의 원주 방향을 따라 등 간격으로 이격되게 배치될 수 있다. The holder 320 may be installed in plural numbers so that polishing of the plurality of specimens S may be simultaneously performed. In this case, the holders 320 may be spaced apart at equal intervals along the circumferential direction of the housing 310.

자전 구동부(330)는, 자전축(331)과, 구동 기어(332)와, 피동 기어(333)를 포함할 수 있다. The rotating driver 330 may include a rotating shaft 331, a driving gear 332, and a driven gear 333.

자전축(331)은, 지지부(240)의 중심에 형성되며 구동 모터(210)의 출력축에 연동된, 연동축(211)에 연결될 수 있다. 구동 기어(332)는 자전축(331)에 그를 감싸도록 결합 된다. 구동 기어(332)는 그의 외주 상에 배치되는 피동 기어(333)들과 맞물리게 된다. 나아가, 자전축(331)과, 구동기어(332)와, 피동 기어(333)는 각각 베어링(335,337)에 의해 회전 가능하게 지지 될 수 있다. The rotating shaft 331 is formed at the center of the supporter 240 and may be connected to the interlocking shaft 211, which is linked to the output shaft of the driving motor 210. The drive gear 332 is coupled to the rotating shaft 331 to surround it. The drive gear 332 is engaged with driven gears 333 disposed on its outer circumference. Furthermore, the rotating shaft 331, the driving gear 332, and the driven gear 333 may be rotatably supported by the bearings 335 and 337, respectively.

이에 의해, 자전축(331)이 공전 중심선(R)을 기준으로 회전할 때, 구동 기어(332)가 피동 기어(333)를 구동하게 된다. 구동된 피동 기어(333)는 홀더(320)를 회전시켜, 홀더(320)에 장착된 시편(S)이 자전 중심선(G)을 중심으로 자전하게 한다. Thereby, when the rotating shaft 331 rotates with respect to the revolving center line R, the drive gear 332 drives the driven gear 333. The driven driven gear 333 rotates the holder 320 so that the specimen S mounted on the holder 320 rotates about the rotation center line G.

공전 구동부(340)는 구동 모터(210)의 출력축에 연동된 연동축(211)에 연결된다. 여기서, 공전 구동부(340)는 내부 중공형의 공전축일 수 있다. 공전축(340) 내에는 자전축(331)이 배치된다.The idle driver 340 is connected to an interlocking shaft 211 linked to the output shaft of the driving motor 210. Here, the idle driver 340 may be an internal hollow idle shaft. The rotating shaft 331 is disposed in the idle shaft 340.

도 3은 본 발명의 일 실시에에 따른 공-자전 병행형 연마 시험기의 홀더(320)의 운동 궤적을 설명하기 위한 개념도이다.3 is a conceptual diagram for explaining the movement trajectory of the holder 320 of the co-rotating parallel abrasive tester according to an embodiment of the present invention.

본 도면을 참조하면, 장착 유닛(300)의 하우징(310)의 외주는 큰 원을 그리는 것으로 그려진다. 나아가, 하우징(310)이 그리는 큰 원 내에는, 홀더(320)가 그리는 작은 원들이 배치된다.Referring to this figure, the outer circumference of the housing 310 of the mounting unit 300 is drawn by drawing a large circle. Further, in the large circle drawn by the housing 310, the small circles drawn by the holder 320 are disposed.

본 실시예에서, 홀더(320)들은 모두 3개로 구성되며, 큰 원의 원주 방향을 따라 배치된다. 나아가, 홀더(320)들은 서로 등 간격으로 이격된 배치 관계를 형성할 수 있다. In this embodiment, the holders 320 are all composed of three, and are disposed along the circumferential direction of the large circle. Furthermore, the holders 320 may form an arrangement relationship spaced at equal intervals from each other.

이때, 하우징(310)은 공전 구동부(340)에 의해 시편(S)이 장착된 홀더(320)가 공전하는 궤적(A)을 그리게 된다. 한편, 홀더(320) 각각은, 자전 구동부(330)에 의해, 자체적으로 자전하는 궤적(B)을 그리게 된다.In this case, the housing 310 draws the trajectory A of the holder 320 on which the specimen S is mounted by the idle driver 340. On the other hand, each of the holders 320 draws a trajectory B that rotates itself by the rotation driving unit 330.

이와 같이, 홀더(320)에 장착된 시편(S)이 자전하면서 공전하게 됨으로써, 시편(S)의 연마된 면이 전체적으로 균일하게 된다.As described above, the specimen S mounted on the holder 320 rotates while being rotated, thereby making the polished surface of the specimen S uniform.

상기와 같은 공-자전 병행형 연마 시험기는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
Such a co-rotating parallel abrasive tester is not limited to the configuration and manner of operation of the embodiments described above. The above embodiments may be configured such that various modifications may be made by selectively combining all or part of the embodiments.

100: 본체 110: 연마판
200: 오토 헤드 210: 구동 모터
220: 로딩 실린더 230: 승강 실린더
240: 지지부 250: 시편 실린더
300: 장착 유닛 310: 하우징
320: 홀더 330: 자전 구동부
340: 공전 구동부 A,B: 궤적
G: 자전 중심선 I: 내부 공간
R: 공전 중심선 S: 시편100: main body 110: polishing plate
200: auto head 210: drive motor
220: loading cylinder 230: lifting cylinder
240: support portion 250: specimen cylinder
300: mounting unit 310: housing
320: holder 330: rotation drive unit
340: idle drive unit A, B: trajectory
G: Rotating Centerline I: Internal Space
R: idle centerline S: specimen

Claims (9)

연마판을 가지는 본체; 및
상기 본체에 설치되며, 시편이 상기 연마판에 접촉하도록 장착되는, 장착 유닛을 구비하는, 오토 헤드를 포함하고,
상기 장착 유닛은,
상기 오토 헤드의 나머지 부분에 대해 회전 가능하게 설치되는, 하우징;
상기 하우징에 회전 가능하게 설치되며, 상기 시편이 장착되는, 적어도 하나의 홀더;
상기 하우징에 설치되며, 상기 시편이 상기 연마판에 접촉된 채로 상기 홀더가 회전되도록 하는, 자전 구동부;
상기 하우징에 설치되며, 상기 시편이 상기 연마판에 접촉된 채로 상기 하우징이 회전되도록 하는, 공전 구동부; 및
상기 장착 유닛에 설치되어, 상기 연마판에 대한 간격이 조절되도록 상기 홀더를 이동시키는, 시편 실린더;를 포함하는, 공-자전 병행형 연마 시험기.
A main body having an abrasive plate; And
An auto head installed on the main body, the auto head having a mounting unit, the specimen being mounted to contact the abrasive plate,
The mounting unit,
A housing rotatably installed relative to the rest of the auto head;
At least one holder rotatably installed in the housing and to which the specimen is mounted;
A rotating drive unit installed in the housing to allow the holder to rotate while the specimen is in contact with the polishing plate;
An idle drive unit installed in the housing to allow the housing to rotate while the specimen is in contact with the polishing plate; And
And a specimen cylinder installed in the mounting unit to move the holder to adjust the gap with respect to the abrasive plate.
제1항에 있어서,
상기 자전 구동부 및 상기 공전 구동부에 동력을 공급하도록, 상기 오토 헤드에 설치되는, 구동 모터를 더 포함하는, 공-자전 병행형 연마 시험기.
The method of claim 1,
And a drive motor installed on the auto head to power the rotating drive and the idle drive.
제2항에 있어서,
상기 자전 구동부는,
상기 구동 모터에 의해 구동되는, 구동 기어; 및
상기 홀더의 외주에 상기 구동 기어와 맞물리도록 설치되어, 상기 구동 기어의 회전에 연동되어 상기 홀더가 회전되게 하는, 피동 기어를 포함하는, 공-자전 병행형 연마 시험기.
The method of claim 2,
The rotating drive unit,
A drive gear driven by the drive motor; And
And a driven gear installed on an outer circumference of the holder to engage the drive gear, the driven gear interlocked with the rotation of the drive gear to rotate the holder.
제3항에 있어서,
상기 공전 구동부는,
상기 구동모터의 출력축에 연결되도록 상기 하우징서 돌출되는 공전축을 포함하는, 공-자전 병행형 연마 시험기.
The method of claim 3,
The idle drive unit,
And a revolving shaft protruding from the housing to be connected to the output shaft of the drive motor.
제4항에 있어서,
상기 자전 구동부는,
상기 구동 기어와 상기 구동 모터의 출력축을 연결하는 자전축을 포함하고,
상기 자전축은 상기 공전축의 내부 중공부에 배치되는, 공-자전 병행형 연마 시험기.
The method of claim 4, wherein
The rotating drive unit,
It includes a rotating shaft for connecting the drive gear and the output shaft of the drive motor,
And the rotating shaft is disposed in the inner hollow portion of the rotating shaft.
제1항에 있어서,
상기 오토 헤드에 설치되어, 상기 연마판에 대한 간격이 조절되도록 상기 장착 유닛을 이동시키는, 로딩 실린더를 더 포함하는, 공-자전 병행형 연마 시험기.
The method of claim 1,
And a loading cylinder mounted to the auto head to move the mounting unit to adjust the spacing relative to the abrasive plate.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 적어도 하나의 홀더는 복수의 홀더를 포함하고,
상기 복수의 홀더는 상기 하우징의 원주 방향을 따라 배열되는, 공-자전 병행형 연마 시험기.
The method of claim 1,
The at least one holder comprises a plurality of holders,
And the plurality of holders are arranged along the circumferential direction of the housing.
삭제delete
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