JP3192963B2 - Polishing equipment - Google Patents

Polishing equipment

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JP3192963B2
JP3192963B2 JP06361096A JP6361096A JP3192963B2 JP 3192963 B2 JP3192963 B2 JP 3192963B2 JP 06361096 A JP06361096 A JP 06361096A JP 6361096 A JP6361096 A JP 6361096A JP 3192963 B2 JP3192963 B2 JP 3192963B2
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Japan
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polishing
rotation
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shaft
rotating
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昭一 本田
勝恒 田宮
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日立造船株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、金属の平板状の被
研磨物を研磨する際に用いられる研磨装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing apparatus used for polishing a metal flat object to be polished.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、この種の研磨装置としては図9,
図10に示すように、本体81内に保持された回転軸82の先
端に研磨工具83が取付けられたものがある。本体81に
は、回転軸82を回転駆動させるモータ84が設けられてお
り、研磨工具83の先端面には、研磨材や研磨パットが貼
付されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a polishing apparatus of this type, FIG.
As shown in FIG. 10, there is one in which a polishing tool 83 is attached to the tip of a rotating shaft 82 held in a main body 81. The main body 81 is provided with a motor 84 for rotatingly driving the rotating shaft 82. A polishing material or a polishing pad is affixed to a tip surface of the polishing tool 83.
【0003】これによると、モータ84を駆動させること
によって、回転軸82が回転するとともに研磨工具83が回
転する。そして、作業者は、本体81を持って研磨工具83
を被研磨物85の上面に押圧するとともに、図10に示すよ
うに、中心点Aを中心にして本体81を回動させることに
より、中心点Aの周りに研磨工具83を公転させて研磨し
ていた。
According to this, by driving the motor 84, the rotating shaft 82 rotates and the polishing tool 83 rotates. Then, the operator holds the main body 81 and holds the polishing tool 83
Is pressed against the upper surface of the object to be polished 85, and the main body 81 is rotated about the center point A as shown in FIG. I was
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来形式では、作業者が手動で研磨工具83を公転させる
ため、研磨精度が低いといった問題や労力を要するとい
った問題があった。
However, in the above-mentioned conventional type, since the operator manually revolves the polishing tool 83, there is a problem that polishing accuracy is low and labor is required.
【0005】そこで本発明のうち請求項1記載の発明
は、研磨工具を機械的に自転させながら公転させること
により、高精度の研磨を行うとともに、労力の低減を図
ることを目的としたものである。
[0005] In view of the above, the first aspect of the present invention aims at achieving high precision polishing and reducing labor by rotating a polishing tool while rotating it mechanically. is there.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明のうちで請求項1記載の発明は、被研磨
物を支持する支持部の上方に、この支持部にセットされ
た被研磨物の上面に押圧されて被研磨物を研磨する研磨
工具が設けられ、この研磨工具は第1の鉛直軸心周りに
自転自在な回転軸の下端に設けられ、この回転軸を保持
しかつ上記支持部に対して昇降自在な保持体に、上記回
転軸を自転させる自転機構と、この自転機構を回転駆動
させる自転用駆動装置と、上記回転軸を上記第1の鉛直
軸心に平行な第2の鉛直軸心周りに公転させる公転機構
と、この公転機構を回転駆動させる公転用駆動装置とが
設けられ、上記研磨工具は自在継手を介して回転軸の下
端に取付けられ、上記自在継手は、回転軸と研磨工具と
の間に設けられた環状体と、回転軸の下端側に設けられ
て上記環状体の外周方に位置する一対の第1連結片と、
研磨工具側に設けられて上記環状体の外周方に位置する
一対の第2連結片と、環状体と各第1連結片とを回動自
在に連結する第1連結ピンと、環状体と各第2連結片と
を回動自在に連結する第2連結ピンとで構成され、上記
両第1連結片と第1連結ピンとは上記第1の鉛直軸心に
直交する第1の水平軸心上に配設され、上記両第2連結
片と第2連結ピンとは上記第1の鉛直軸心と第1の水平
軸心とに直交する第2の水平軸心上に配設されている
のである。
In order to achieve the above-mentioned object, the invention according to claim 1 of the present invention is arranged such that the support is set above the support for supporting an object to be polished. A polishing tool is provided which is pressed against the upper surface of the object to be polished and polishes the object to be polished. The polishing tool is provided at the lower end of a rotating shaft which is rotatable around a first vertical axis and holds the rotating shaft. A rotating mechanism for rotating the rotating shaft on a holder that can be moved up and down with respect to the support, a rotating drive for rotating the rotating mechanism, and a rotating shaft parallel to the first vertical axis. A revolving mechanism for revolving around a second vertical axis, and a revolving drive device for rotating the revolving mechanism are provided . The polishing tool is mounted below the rotating shaft via a universal joint.
At the end, the universal joint is a
Between the annular body provided at the lower end of the rotating shaft
A pair of first connecting pieces positioned on the outer periphery of the annular body,
Provided on the polishing tool side and located on the outer periphery of the annular body
The pair of second connecting pieces, the annular body and each of the first connecting pieces are
A first connecting pin, an annular body and each second connecting piece
And a second connecting pin for rotatably connecting
The first connecting pieces and the first connecting pins are connected to the first vertical axis.
The two second connection members are disposed on a first horizontal axis orthogonal to each other.
The piece and the second connecting pin are connected to the first vertical axis and the first horizontal
It is arranged on a second horizontal axis perpendicular to the axis .
【0007】これによると、自転用駆動装置を作動させ
て自転機構を回転駆動させることにより、回転軸ととも
に研磨工具を第1の鉛直軸心周りに自転させ、さらに、
公転用駆動装置を作動させて公転機構を回転駆動させる
ことにより、回転軸とともに研磨工具を第2の鉛直軸心
周りに公転させる。そして、保持体を下降させて研磨工
具を支持部にセットされた被研磨物の上面に押圧するこ
とにより、研磨工具が自転しながら公転して被研磨物を
研磨する。
According to this, the polishing tool is rotated about the first vertical axis together with the rotation axis by operating the rotation driving device to rotate the rotation mechanism.
By operating the revolving drive device to rotate the revolving mechanism, the polishing tool is revolved about the second vertical axis together with the rotating shaft. Then, by lowering the holder and pressing the polishing tool against the upper surface of the object to be polished set on the support portion, the polishing tool revolves while rotating and polishes the object to be polished.
【0008】このように、研磨工具を機械的に自転させ
ながら公転させて被研磨物の研磨を行うことが可能にな
るため、高精度の研磨が実施でき、さらに作業者の労力
を低減し得る。
As described above, the object to be polished can be polished by rotating the polishing tool while revolving mechanically, so that high-precision polishing can be performed, and the labor of the operator can be reduced. .
【0009】また、研磨中に、研磨工具と被研磨物との
間に異物が介入した場合、研磨工具が自在継手の第1の
水平軸心または第2の水平軸心を中心にして揺動するこ
とによって、上記異物が研磨工具と被研磨物との間から
容易に排除される。また、被研磨物の上面が微妙に傾斜
している場合でも、研磨工具は揺動することによって被
研磨物の上面の傾斜に追従して傾斜する。このため、被
研磨物の上面が微妙に傾斜していても、高精度の研磨が
行える。
In addition, during polishing, the polishing tool and the workpiece are
If foreign matter intervenes in the middle, the polishing tool
Rock about a horizontal axis or a second horizontal axis
By the above, the foreign matter is between the polishing tool and the object to be polished.
Easily eliminated. Also, the upper surface of the object to be polished is slightly inclined
Even when polishing, the polishing tool is
It is inclined following the inclination of the upper surface of the polished object. For this reason,
High-precision polishing is possible even if the upper surface of the polishing object is slightly inclined
I can do it.
【0010】さらに、請求項2記載の発明は、自転機構
は、自転用駆動装置によって第2の鉛直軸心周りに回動
自在な自転軸と、この自転軸の下部に設けられた太陽歯
車と、回転軸の上部に設けられて上記太陽歯車に噛合す
る遊星歯車とで構成され、研磨工具に研磨液を供給する
供給流路が上記自転軸内と回転軸内とにそれぞれ形成さ
れ、上記自転軸の下端に設けられた下部ロータリージョ
イントの出口と回転軸の上端に設けられたロータリージ
ョイントの入口とが接続ホースで接続され、上記自転軸
の上端に設けられた上部ロータリージョイントの入口
に、研磨液を供給する供給ホースが接続されているもの
である。
Further, the invention according to claim 2 is a rotation mechanism.
Is rotated around the second vertical axis by the rotation driving device
Free rotation axis and sun tooth provided under this rotation axis
The car and the upper part of the rotating shaft mesh with the sun gear
And supplies the polishing liquid to the polishing tool.
Supply flow paths are formed in the rotation axis and the rotation axis, respectively.
And a lower rotary jaw provided at the lower end of the rotation shaft.
Rotary outlet provided at the outlet of the
And the inlet of the joint is connected by a connection hose.
Entrance of the upper rotary joint provided at the upper end of the
Is connected to a supply hose for supplying a polishing liquid .
【0011】これによると、供給ホースから上部ロータ
リージョイントに供給された研磨液は、自転軸内の供給
流路を流れ、下部ロータリージョイントから回転軸のロ
ータリージョイントへ流れ、さらに回転軸内の供給流路
を流れ、研磨工具へ供給される。これにより、研磨工具
で被研磨物を研磨している際、被研磨物の上面の塵埃や
加工屑が研磨液で排除され、研磨工具の目詰りの防止や
研磨工具と被研磨物との間に異物がかみ込むことを防止
できる。また、回転軸内と自転軸内とにそれぞれ研磨液
の供給流路を形成したことにより、研磨装置を小型化す
ることができる。
According to this, the supply hose is connected to the upper rotor.
The polishing liquid supplied to the lead joint is supplied inside the rotation shaft.
Flow through the flow path and rotate the rotary shaft from the lower rotary joint.
Flow to the rotary joint, and the supply flow path in the rotating shaft
And supplied to the polishing tool. With this, polishing tools
When polishing the work with
Processing debris is removed by the polishing liquid to prevent clogging of the polishing tool and
Prevents foreign matter from entering between the polishing tool and the workpiece
it can. Also, the polishing liquid is placed inside the rotating shaft and inside the rotating shaft, respectively.
Of the polishing equipment
Can be
【0012】さらに、請求項3記載の発明は、回転軸の
下端に、上下方向へ移動自在でかつ押圧手段の押圧力に
より下動方向へ押圧されている可動体が設けられ、この
可動体に、自在継手を介して取付基板が設けられ、研磨
工具は、第1の鉛直軸心に対して偏心可能に上記取付基
板に取付けられているものである。
Furthermore, the invention of claim 3 is the lower end of the rotary shaft, the movable member being pressed in the downward direction is provided by the pressing force of the movable and and pressing means moves in the vertical direction, the
The movable body is provided with a mounting board via a universal joint, and is polished.
The tool is mounted on the mounting base so as to be eccentric with respect to the first vertical axis.
It is attached to a board .
【0013】これによると、研磨工具で被研磨物の上面
を研磨している際、研磨工具は、可動体を介して、押圧
手段の押圧力により下方へ押圧されている。このため、
被研磨物の上面に微妙な高低差がある場合でも、研磨工
具は、可動体を介して、被研磨物の上面の高低差に追従
して上下移動するため、研磨工具は常に被研磨物の上面
に押圧され、研磨工具の被研磨物に対する押圧力をほぼ
一定に保つことができる。したがって、被研磨物の上面
に高低差がある場合でも、スクラッチや研磨むらの発生
を防止することができ、高精度の研磨が行える。さら
に、研磨工具を第1の鉛直軸心に対して偏心させて、研
磨を行うことにより、未研磨部分を無くすことができ
る。
According to this, when the upper surface of the object to be polished is being polished by the polishing tool, the polishing tool is pressed downward by the pressing force of the pressing means via the movable body. For this reason,
Even if there is a slight height difference on the upper surface of the object to be polished, the polishing tool moves up and down following the height difference on the upper surface of the object to be polished via the movable body. The polishing tool is pressed against the upper surface, so that the pressing force of the polishing tool against the workpiece can be kept substantially constant. Therefore, even when there is a height difference on the upper surface of the object to be polished, scratches and uneven polishing can be prevented, and highly accurate polishing can be performed. Further
Then, the polishing tool is decentered with respect to the first vertical axis,
Polishing eliminates unpolished parts
You.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図1
〜図8に基づいて説明する。図2,図3に示すように、
1は金属の平板状の被研磨物2を支持する支持台1(支
持部の一例)である。この支持台1の上方には、支持台
1にセットされた被研磨物2の上面へ押圧されて被研磨
物2を研磨する3個の研磨工具3が設けられている。こ
れら各研磨工具3はそれぞれ、第1の鉛直軸心4周りに
自転自在な3本の回転軸5の下端に設けられており、こ
れら回転軸5は保持体6により保持されている。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
This will be described with reference to FIG. As shown in FIGS. 2 and 3,
Reference numeral 1 denotes a support table 1 (an example of a support section) that supports a metal plate-like polishing object 2. Above the support table 1, three polishing tools 3 are provided which are pressed against the upper surface of the work 2 set on the support table 1 and polish the work 2. Each of these polishing tools 3 is provided at the lower end of three rotating shafts 5 that are rotatable around a first vertical axis 4, and these rotating shafts 5 are held by a holder 6.
【0015】上記保持体6は箱形状に形成されており、
上記回転軸5の下部は保持体6の底壁7に形成された開
口部8から下方へ突出している。上記保持体6には、上
記各回転軸5を自転させる自転機構9と、この自転機構
9を回転駆動させる自転用モータ10(自転用駆動装置の
一例)と、上記各回転軸5を上記第1の鉛直軸心4に平
行な第2の鉛直軸心11周りに公転させる公転機構12と、
この公転機構12を回転駆動させる公転用モータ13(公転
用駆動装置の一例)とが設けられている。尚、上記3本
の回転軸5は、第2の鉛直軸心11を中心にして、径方向
へ一定距離離れており、周方向で120°置きに振り分
けられている。
The holding member 6 is formed in a box shape.
The lower portion of the rotating shaft 5 projects downward from an opening 8 formed in the bottom wall 7 of the holder 6. The holding body 6 includes a rotation mechanism 9 for rotating each of the rotation shafts 5, a rotation motor 10 for rotating the rotation mechanism 9 (an example of a rotation driving device), and the rotation shaft 5. A revolving mechanism 12 for revolving around a second vertical axis 11 parallel to the first vertical axis 4;
A revolving motor 13 (an example of a revolving drive device) that rotationally drives the revolving mechanism 12 is provided. The three rotating shafts 5 are spaced apart from each other by a fixed distance in the radial direction about the second vertical axis 11 and are distributed every 120 ° in the circumferential direction.
【0016】上記自転機構9は、上記第2の鉛直軸心11
周りに回動自在な1本の自転軸15と、上記自転用モータ
10の駆動軸に設けられた駆動プーリー16と上記自転軸15
の上端に設けられた従動プーリー17との間に巻回された
駆動ベルト18と、自転軸15の下部に設けられた太陽歯車
19と、各回転軸5の上部に設けられて上記太陽歯車19に
噛合する遊星歯車20とから構成されている。上記自転軸
15は、保持体6の上壁41に設けられたスリーブ体21に挿
通されて、ベアリング22を介してスリーブ体21に回動自
在に保持されている。
The rotation mechanism 9 includes the second vertical axis 11.
One rotation shaft 15 rotatable around, and the rotation motor
The drive pulley 16 provided on the drive shaft 10 and the rotation shaft 15
A drive belt 18 wound around a driven pulley 17 provided at the upper end of the vehicle, and a sun gear provided below the rotation shaft 15
19, and a planetary gear 20 provided on the upper part of each rotating shaft 5 and meshing with the sun gear 19. Above rotation axis
15 is inserted through a sleeve body 21 provided on the upper wall 41 of the holding body 6 and is rotatably held by the sleeve body 21 via a bearing 22.
【0017】上記公転機構12は、上記3本の回転軸5の
上端部同士を一体的に連結する上部回転体23と、中間部
同士を一体的に連結する中間部回転体24と、下部同士を
一体的に連結する下部回転体25と、上記第2の鉛直軸心
11に平行な第3の鉛直軸心26周りに回動自在な公転軸27
と、上記公転用モータ13の駆動軸に設けられた駆動プー
リー28と上記公転軸27の上端に設けられた従動プーリー
29との間に巻回された駆動ベルト30と、上記公転軸27の
下部に設けられた歯車31と、この歯車31に噛合しかつ上
記中間部回転体24の外周に設けられた歯車32とから構成
されている。
The revolving mechanism 12 includes an upper rotating body 23 for integrally connecting the upper ends of the three rotating shafts 5, an intermediate rotating body 24 for integrally connecting the intermediate parts, and a lower rotating body 24 for integrally connecting the intermediate parts. A lower rotating body 25 for integrally connecting
A revolving shaft 27 rotatable around a third vertical axis 26 parallel to 11
A drive pulley 28 provided on a drive shaft of the revolving motor 13 and a driven pulley provided on an upper end of the revolving shaft 27.
A drive belt 30 wound between the gear 29 and a gear 31 provided below the revolving shaft 27, a gear 32 meshed with the gear 31 and provided on the outer periphery of the intermediate rotating body 24, It is composed of
【0018】このうち、上記公転軸27は、保持体6の内
部に設けられた上下一対の軸受装置33で保持されてい
る。また、図2,図4に示すように、上記上部回転体23
はリング状に形成され、各回転軸5の上端部は、上部回
転体23に挿通され、ベアリング34を介して回動自在に保
持されている。
The revolving shaft 27 is held by a pair of upper and lower bearing devices 33 provided inside the holder 6. Further, as shown in FIGS.
Is formed in a ring shape, and the upper end of each rotating shaft 5 is inserted into the upper rotating body 23 and is rotatably held via a bearing 34.
【0019】また、図2,図3に示すように、上記中間
部回転体24は、円筒部24aとこの円筒部24aの上端に設
けられた円板部24bとから形成され、上記円筒部24aに
外嵌されたベアリング35を介して保持体6の内部に保持
されて、上記第2の鉛直軸心11周りに回動自在となって
いる。さらに、各回転軸5の中間部は、中間部回転体24
の円板部24bに挿通され、ベアリング36を介して回動自
在に保持されている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the intermediate rotating body 24 is formed of a cylindrical portion 24a and a disk portion 24b provided at the upper end of the cylindrical portion 24a. It is held inside the holding body 6 via a bearing 35 externally fitted to the shaft, and is rotatable around the second vertical axis 11. Further, an intermediate portion of each rotating shaft 5 is provided with an intermediate portion rotating body 24.
And is rotatably held via a bearing 36.
【0020】また、図1,図2に示すように、上記下部
回転体25は、円板状に形成され、外周面に外嵌されたベ
アリング37を介して保持体6の内部に保持され、上記第
2の鉛直軸心11周りに回動自在となっている。さらに、
各回転軸5の下部は、下部回転体25に挿通され、ベアリ
ング38を介して回動自在に保持されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the lower rotating body 25 is formed in a disk shape, and is held inside the holding body 6 via a bearing 37 fitted on the outer peripheral surface. It is rotatable around the second vertical axis 11. further,
The lower part of each rotating shaft 5 is inserted into the lower rotating body 25 and is rotatably held via a bearing 38.
【0021】さらに、上記第2の鉛直軸心11上には、上
記中間部回転体24と下部回転体25とに挿通されかつ中間
部回転体24と下部回転体25と共に第2の鉛直軸心11周り
に回動自在な連結軸39が設けられている。この連結軸39
の下端には、保持体6の底壁7の開口部8を覆う円板状
の覆い板40が取付けられている。上記自転用モータ10と
公転用モータ13とはそれぞれ、保持体6の上壁41に設置
され、インバータ制御により個別に回転速度を調節可能
である。
Further, the second vertical axis 11 is inserted through the intermediate rotating body 24 and the lower rotating body 25 along with the intermediate rotating body 24 and the lower rotating body 25 on the second vertical axis 11. A connection shaft 39 rotatable around 11 is provided. This connecting shaft 39
A disk-shaped cover plate 40 that covers the opening 8 of the bottom wall 7 of the holder 6 is attached to the lower end of the holder 6. The rotation motor 10 and the revolution motor 13 are respectively installed on the upper wall 41 of the holder 6, and the rotation speed can be individually adjusted by inverter control.
【0022】図1,図2に示すように、上記各回転軸5
の下端には円筒状の保持部材42が設けられ、これら各保
持部材42には、上下方向へ摺動自在な円筒状の可動体43
が嵌入されている。これら各可動体43と保持部材42との
内部には、上記各可動体43を下動方向へ押圧する圧縮コ
イルスプリング44(押圧手段の一例)が設けられてい
る。
As shown in FIG. 1 and FIG.
A cylindrical holding member 42 is provided at the lower end of the cylinder, and each of the holding members 42 has a cylindrical movable body 43 slidable in the vertical direction.
Is inserted. Inside each of the movable bodies 43 and the holding member 42, a compression coil spring 44 (an example of a pressing unit) that presses each of the movable bodies 43 in the downward movement direction is provided.
【0023】上記各可動体43の下部にはフランジ部43a
が形成され、これら各フランジ部43aには自在継手46を
介して取付基板47が設けられている。そして、上記各研
磨工具3は、円盤状に形成され、上記第1の鉛直軸心4
に対して偏心可能に各取付基板47に取付けられている。
尚、各研磨工具3には、研磨材や研磨パットが貼付され
ている。
A flange 43a is provided at the lower part of each movable body 43.
A mounting board 47 is provided on each of these flange portions 43a via a universal joint 46. Each of the polishing tools 3 is formed in a disk shape, and the first vertical axis 4
It is mounted on each mounting board 47 so as to be eccentric with respect to.
Note that an abrasive or a polishing pad is attached to each polishing tool 3.
【0024】図1,図5および図6に示すように、上記
自在継手46は、可動体43と取付基板47との間に設けられ
た環状体46aと、可動体43のフランジ部43aに設けられ
て環状体46aの外周方に位置する一対の第1連結片46b
と、取付基板47に設けられて環状体46aの外周方に位置
する一対の第2連結片46cと、環状体46aと各第1連結
片46bとを回動自在に連結する第1連結ピン46dと、環
状体46aと各第2連結片46cとを回動自在に連結する第
2連結ピン46eとから構成されている。すなわち、上記
両第1連結片46bと第1連結ピン46dとは、上記第1の
鉛直軸心4に直交する第1の水平軸心48上に配設されて
おり、上記両第2連結片46cと第2連結ピン46eとは、
上記第1の鉛直軸心4と第1の水平軸心48とに直交する
第2の水平軸心49上に配設されている。これにより、図
6に示すように、各取付基板47は、平面視で十字に交差
した上記第1の水平軸心48と第2の水平軸心49とを中心
にして揺動可能となっている。
As shown in FIGS. 1, 5 and 6, the universal joint 46 is provided on an annular body 46a provided between the movable body 43 and the mounting board 47 and on a flange 43a of the movable body 43. And a pair of first connecting pieces 46b positioned on the outer periphery of the annular body 46a.
A pair of second connecting pieces 46c provided on the mounting board 47 and located on the outer periphery of the annular body 46a; and first connecting pins 46d rotatably connecting the annular body 46a and the first connecting pieces 46b. And a second connecting pin 46e for rotatably connecting the annular body 46a and each second connecting piece 46c. That is, both the first connecting pieces 46b and the first connecting pins 46d are disposed on a first horizontal axis 48 orthogonal to the first vertical axis 4, and the two second connecting pieces 46b 46c and the second connecting pin 46e,
It is arranged on a second horizontal axis 49 orthogonal to the first vertical axis 4 and the first horizontal axis 48. As a result, as shown in FIG. 6, each mounting board 47 is capable of swinging about the first horizontal axis 48 and the second horizontal axis 49 which cross each other in a plan view. I have.
【0025】図2,図3に示すように、上記各回転軸5
は、研磨工具3に研磨液を供給する供給流路50が内部に
形成された中空軸である。上記供給流路50は、回転軸5
の上下両端にわたって形成され、図1で示すように保持
部材42に形成された上部供給孔51に連通している。ま
た、上記各取付基板47には、研磨工具3に形成された研
磨液の供給口52に連通する下部供給孔53が形成され、上
記上部供給孔51と下部供給孔53とは、上記可動体43の内
部に挿通されたフレキシブルチューブ54で連通されてい
る。尚、フレキシブルチューブ54の下部は上記下部供給
孔53に嵌入されており、取付基板47は、上記可動体43と
一体的に上下移動するため、フレキシブルチューブ54に
対して上下方向へ摺動自在となっている。
As shown in FIG. 2 and FIG.
Is a hollow shaft in which a supply flow path 50 for supplying a polishing liquid to the polishing tool 3 is formed. The supply flow path 50 includes a rotating shaft 5
1, and communicates with an upper supply hole 51 formed in the holding member 42 as shown in FIG. In each of the mounting substrates 47, a lower supply hole 53 communicating with a polishing liquid supply port 52 formed in the polishing tool 3 is formed, and the upper supply hole 51 and the lower supply hole 53 are connected to the movable body. They are communicated by a flexible tube 54 inserted inside 43. The lower portion of the flexible tube 54 is fitted into the lower supply hole 53, and the mounting board 47 moves up and down integrally with the movable body 43. Has become.
【0026】また、図2に示すように、上記回転軸5と
同様に、自転軸15も研磨液を供給する供給流路55が上下
両端にわたり内部に形成された中空軸である。この自転
軸15の上下両端と上記回転軸5の上端にはそれぞれロー
タリージョイント56,57,58が設けられている。このう
ち、自転軸15の下端に設けられた下部ロータリージョイ
ント57の出口は各回転軸5に対応して3つに分岐してお
り、下部ロータリージョイント57の出口と上記回転軸5
のロータリージョイント58の入口とが接続ホース59(図
4参照)で接続されている。また、自転軸15の上端に設
けられた上部ロータリージョイント56の入口には、タン
クからポンプで圧送された研磨液を供給する供給ホース
60が接続されている。
As shown in FIG. 2, similarly to the rotating shaft 5, the rotating shaft 15 is also a hollow shaft in which a supply flow path 55 for supplying a polishing liquid is formed inside both upper and lower ends. Rotary joints 56, 57, 58 are provided at both upper and lower ends of the rotation shaft 15 and at the upper end of the rotation shaft 5, respectively. Among them, the outlet of the lower rotary joint 57 provided at the lower end of the rotation shaft 15 is branched into three corresponding to each rotary shaft 5, and the outlet of the lower rotary joint 57 and the rotary shaft 5
Of the rotary joint 58 is connected by a connection hose 59 (see FIG. 4). A supply hose for supplying the polishing liquid pumped from the tank by a pump is provided at an inlet of an upper rotary joint 56 provided at an upper end of the rotation shaft 15.
60 is connected.
【0027】また、図2に示すように、上記保持体6
は、ガイドレール61に案内されて支持台1に対して昇降
自在となっており、複数の昇降用シリンダ装置62により
昇降駆動される。
Further, as shown in FIG.
Is movable up and down with respect to the support table 1 by being guided by a guide rail 61, and is driven up and down by a plurality of up and down cylinder devices 62.
【0028】以下、上記構成における作用を説明する。
図2に示すように、自転用モータ10を駆動することによ
り、両プーリー16,17と駆動ベルト18とを介して自転軸
15が回転し、太陽歯車19と遊星歯車20とを介して3本の
回転軸5がそれぞれ第1の鉛直軸心4周りに自転するこ
とにより、上記各回転軸5と一体的に3つの研磨工具3
が第1の鉛直軸心4周りに自転する。
The operation of the above configuration will be described below.
As shown in FIG. 2, by driving the rotation motor 10, the rotation shaft is rotated via the pulleys 16 and 17 and the drive belt 18.
15 is rotated, and the three rotating shafts 5 rotate around the first vertical axis 4 via the sun gear 19 and the planetary gear 20, respectively. Tool 3
Rotates around the first vertical axis 4.
【0029】さらに、公転用モータ13を駆動することに
より、両プーリー28,29と駆動ベルト30とを介して公転
軸27が回転し、両歯車31,32を介して中間部回転体24が
第2の鉛直軸心11周りに回転することにより、3本の回
転軸5が第2の鉛直軸心11周りに公転する。この際、上
記中間部回転体24と共に上部回転体23と下部回転体25と
連結軸39と覆い板40も上記各回転軸5と一体的に第2の
鉛直軸心11周りに回転する。
Further, by driving the revolving motor 13, the revolving shaft 27 is rotated via the pulleys 28 and 29 and the drive belt 30, and the intermediate portion rotating body 24 is rotated via the both gears 31 and 32. By rotating around the second vertical axis 11, the three rotating shafts 5 revolve around the second vertical axis 11. At this time, the upper rotating body 23, the lower rotating body 25, the connecting shaft 39, and the cover plate 40 rotate around the second vertical axis 11 integrally with the rotating shafts 5 together with the intermediate rotating body 24.
【0030】そして、昇降用シリンダ装置62のピストン
ロッド62aを伸長させることにより、保持体6が下降し
て、各研磨工具3は、支持台1にセットされた被研磨物
2の上面に押圧される。これにより、各研磨工具3が各
第1の鉛直軸心4周りに自転しながら第2の鉛直軸心11
周りに公転して被研磨物2を研磨する。
The holder 6 is lowered by extending the piston rod 62a of the lifting / lowering cylinder device 62, and each polishing tool 3 is pressed against the upper surface of the workpiece 2 set on the support table 1. You. Accordingly, each of the polishing tools 3 rotates around each of the first vertical axes 4 while rotating the second vertical axes 11.
The object to be polished 2 is polished around the periphery.
【0031】このように、各研磨工具3を機械的に自転
させながら公転させて被研磨物2の研磨を行うことが可
能になるため、高精度の研磨が実施でき、さらに作業者
の労力を低減し得る。
As described above, since the polishing tool 3 can be revolved while being mechanically rotated, the workpiece 2 can be polished, so that high-precision polishing can be performed and the labor of the operator can be reduced. Can be reduced.
【0032】この際、上記自転用モータ10の回転速度と
公転用モータ13の回転速度とをそれぞれインバータ制御
により調節することで、各研磨工具3の自転速度と公転
速度とを個別に変えることが可能となり、図7に示され
たような被研磨物2の上面に形成される研磨条痕(研磨
目)が自由に選定できるため、被研磨物2の材質に対し
て最適な研磨条痕を選定することができる。さらに、研
磨工具3の自転速度と公転速度とを個別に変えることに
より、被研磨物2の中央部と周辺部あるいは研磨条痕の
重なり部等に対しても均一な研磨が可能となる。
At this time, the rotation speed of the polishing motor 3 and the rotation speed of the polishing tool 3 can be individually changed by adjusting the rotation speed of the rotation motor 10 and the rotation speed of the revolution motor 13 by inverter control. Since the polishing streak (polishing line) formed on the upper surface of the object to be polished 2 as shown in FIG. Can be selected. Further, by independently changing the rotation speed and the revolving speed of the polishing tool 3, uniform polishing can be performed even on the central portion and the peripheral portion of the workpiece 2 or the overlapping portion of the polishing streaks.
【0033】また、各研磨工具3で被研磨物2の上面を
研磨している際、図1に示すように、各研磨工具3はそ
れぞれ、可動体43を介して、圧縮コイルスプリング44の
押圧力により下方へ押圧されている。このため、被研磨
物2の上面に微妙な高低差がある場合でも、各研磨工具
3は、可動体43の上下移動とともに、被研磨物2の上面
の高低差に追従して上下移動するため、各研磨工具3は
常に被研磨物2の上面に押圧され、各研磨工具3の被研
磨物2に対する押圧力をほぼ一定に保つことができる。
したがって、被研磨物2の上面に微妙な高低差がある場
合でも、スクラッチや研磨むらの発生を防止することが
でき、高精度の研磨が行える。
When the upper surface of the workpiece 2 is polished by each of the polishing tools 3, each of the polishing tools 3 pushes the compression coil spring 44 through the movable member 43 as shown in FIG. It is pressed downward by pressure. For this reason, even when there is a slight height difference on the upper surface of the object 2, each polishing tool 3 moves up and down following the height difference of the upper surface of the object 2 with the vertical movement of the movable body 43. Each of the polishing tools 3 is constantly pressed against the upper surface of the workpiece 2 so that the pressing force of each of the polishing tools 3 against the workpiece 2 can be kept substantially constant.
Therefore, even when there is a slight difference in height on the upper surface of the object 2 to be polished, scratches and uneven polishing can be prevented, and highly accurate polishing can be performed.
【0034】さらに、図2に示すように、供給ホース60
から上部ロータリージョイント56に供給された研磨液
は、自転軸15内の供給流路55を流れ、下部ロータリージ
ョイント57から各回転軸5のロータリージョイント58へ
流れ、さらに各回転軸5内の供給流路50を流れ、図1に
示すように、各供給流路50から上部供給孔51を経てフレ
キシブルチューブ54内を通り、下部供給孔53を経て供給
口52から各研磨工具3の研磨面63へ供給される。これに
より、各研磨工具3で被研磨物2を研磨している際、被
研磨物2の上面の塵埃や加工屑が研磨液で排除され、各
研磨工具3の目詰りの防止や各研磨工具3と被研磨物2
との間に異物がかみ込むことを防止できる。
Further, as shown in FIG.
The polishing liquid supplied to the upper rotary joint 56 flows through the supply channel 55 in the rotation shaft 15, flows from the lower rotary joint 57 to the rotary joint 58 of each rotation shaft 5, and further flows into the rotation joint 5. As shown in FIG. 1, each supply flow path 50 passes through the flexible tube 54 through the upper supply hole 51 through the flexible tube 54, and passes through the lower supply hole 53 from the supply port 52 to the polishing surface 63 of each polishing tool 3. Supplied. Thus, when the polishing object 3 is being polished by the polishing tools 3, dust and processing debris on the upper surface of the polishing object 2 are eliminated by the polishing liquid, thereby preventing clogging of each polishing tool 3 and preventing each polishing tool 3 from being clogged. 3 and object to be polished 2
Foreign matter can be prevented from being caught in the space.
【0035】さらに、研磨中に、研磨工具3と被研磨物
2との間に異物が介入した場合、図5,図6に示すよう
に、研磨工具3が取付基板47と一体的に自在継手46の第
1の水平軸心48または第2の水平軸心49を中心にして揺
動することによって、上記異物が研磨工具3と被研磨物
2との間から容易に排除される。また、被研磨物2の上
面が微妙に傾斜している場合でも、各研磨工具3は揺動
することによって被研磨物2の上面の傾斜に追従して傾
斜する。このため、被研磨物2の上面が微妙に傾斜して
いても、高精度の研磨が行える。
Further, when foreign matter intervenes between the polishing tool 3 and the workpiece 2 during polishing, as shown in FIGS. By oscillating about the first horizontal axis 48 or the second horizontal axis 49 of 46, the foreign matter is easily removed from between the polishing tool 3 and the workpiece 2. Even when the upper surface of the object 2 is slightly inclined, each polishing tool 3 is inclined to follow the inclination of the upper surface of the object 2 by swinging. Therefore, even if the upper surface of the workpiece 2 is slightly inclined, highly accurate polishing can be performed.
【0036】上記のような研磨においては、図2に示す
ように各研磨工具3は第1の鉛直軸心4に対して偏心し
ていないため、図7に示すように、被研磨物2の上面の
中心部に、研磨工具3が接触せず研磨されない未研磨部
分64がわずかに発生する。このような場合には、図1に
示すように、各研磨工具3をそれぞれ第1の鉛直軸心4
に対して同方向へ所定量Lだけ偏心させた後、研磨を行
うことにより、図8に示すように、上記未研磨部分64を
無くすことができる。
In the above-described polishing, since each polishing tool 3 is not eccentric with respect to the first vertical axis 4 as shown in FIG. 2, as shown in FIG. A small unpolished portion 64 that is not polished due to no contact with the polishing tool 3 is generated at the center of the surface. In such a case, as shown in FIG.
Then, by performing the polishing after decentering by a predetermined amount L in the same direction, the unpolished portion 64 can be eliminated as shown in FIG.
【0037】上記実施の形態では、各回転軸5内と自転
軸15内とにそれぞれ研磨液の供給流路50,55を形成した
ことにより、研磨装置を小型化することができる。上記
実施の形態では、図3に示すように、研磨工具3を3個
設けたが、3個以外の複数個または1個であってもよ
い。
In the above-described embodiment, the polishing apparatus can be downsized by forming the supply channels 50 and 55 for the polishing liquid in each of the rotary shafts 5 and the rotation shafts 15, respectively. In the above embodiment, three polishing tools 3 are provided as shown in FIG. 3, but a plurality of polishing tools other than three or one polishing tool may be used.
【0038】上記実施の形態では、図1に示すように、
上部供給孔51と下部供給孔53とをフレキシブルチューブ
54で連通しているが、鋼管等の剛体のチューブを用いて
もよい。
In the above embodiment, as shown in FIG.
Flexible supply of upper supply hole 51 and lower supply hole 53
Although communicating at 54, a rigid tube such as a steel tube may be used.
【0039】[0039]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のうち請求
項1記載の発明によると、自転用駆動装置を作動させて
自転機構を回転駆動させることにより、回転軸とともに
研磨工具を第1の鉛直軸心周りに自転させ、さらに、公
転用駆動装置を作動させて公転機構を回転駆動させるこ
とにより、回転軸とともに研磨工具を第2の鉛直軸心周
りに公転させる。そして、保持体を下降させて研磨工具
を支持部にセットされた被研磨物の上面に押圧すること
により、研磨工具が自転しながら公転して被研磨物を研
磨する。
As described above, according to the first aspect of the present invention, the polishing tool is rotated together with the rotating shaft by operating the rotation driving device to rotate the rotation mechanism. The polishing tool is revolved about the second vertical axis together with the rotating shaft by rotating the revolving mechanism around the vertical axis and rotating the revolving mechanism by operating the revolving drive device. Then, by lowering the holder and pressing the polishing tool against the upper surface of the object to be polished set on the support portion, the polishing tool revolves while rotating and polishes the object to be polished.
【0040】このように、研磨工具を機械的に自転させ
ながら公転させて被研磨物の研磨を行うことが可能にな
るため、高精度の研磨が実施でき、さらに作業者の労力
を低減し得る。
As described above, the object to be polished can be polished by revolving the polishing tool while rotating it mechanically, so that high-precision polishing can be performed and the labor of the operator can be reduced. .
【0041】また、研磨中に、研磨工具と被研磨物との
間に異物が介入した場合、研磨工具が自在継手の第1の
水平軸心または第2の水平軸心を中心にして揺動するこ
とによって、上記異物が研磨工具と被研磨物との間から
容易に排除される。また、被研磨物の上面が微妙に傾斜
している場合でも、研磨工具は揺動することによって被
研磨物の上面の傾斜に追従して傾斜する。このため、被
研磨物の上面が微妙に傾斜していても、高精度の研磨が
行える。
During the polishing, the polishing tool and the workpiece are
If foreign matter intervenes in the middle, the polishing tool
Rock about a horizontal axis or a second horizontal axis
By the above, the foreign matter is between the polishing tool and the object to be polished.
Easily eliminated. Also, the upper surface of the object to be polished is slightly inclined
Even when polishing, the polishing tool is
It is inclined following the inclination of the upper surface of the polished object. For this reason,
High-precision polishing is possible even if the upper surface of the polishing object is slightly inclined
I can do it.
【0042】さらに、請求項2記載の発明によると、
給ホースから上部ロータリージョイントに供給された研
磨液は、自転軸内の供給流路を流れ、下部ロータリージ
ョイントから回転軸のロータリージョイントへ流れ、さ
らに回転軸内の供給流路を流れ、研磨工具へ供給され
る。これにより、研磨工具で被研磨物を研磨している
際、被研磨物の上面の塵埃や加工屑が研磨液で排除さ
れ、研磨工具の目詰りの防止や研磨工具と被研磨物との
間に異物がかみ込むことを防止できる。また、回転軸内
と自転軸内とにそれぞれ研磨液の供給流路を形成したこ
とにより、研磨装置を小型化することができる。
[0042] Further, according to the second aspect of the invention, provided
The ground supplied from the supply hose to the upper rotary joint
The polishing liquid flows through the supply flow path in the rotation shaft, and
From the point to the rotary joint of the rotating shaft.
Flows through the supply flow path in the rotating shaft and is supplied to the polishing tool.
You. As a result, the workpiece is polished with the polishing tool
When polishing, dust and debris on the upper surface of the work
To prevent clogging of the polishing tool and between the polishing tool and the workpiece.
It is possible to prevent a foreign substance from being caught between them. Also, in the rotation axis
The polishing liquid supply flow path was formed in
Thus, the polishing apparatus can be downsized.
【0043】さらに、請求項3記載の発明によると、研
磨工具で被研磨物の上面を研磨している際、研磨工具
は、可動体を介して、押圧手段の押圧力により下方へ押
圧されている。このため、被研磨物の上面に微妙な高低
差がある場合でも、研磨工具は、可動体を介して、被研
磨物の上面の高低差に追従して上下移動するため、研磨
工具は常に被研磨物の上面に押圧され、研磨工具の被研
磨物に対する押圧力をほぼ一定に保つことができる。し
たがって、被研磨物の上面に高低差がある場合でも、ス
クラッチや研磨むらの発生を防止することができ、高精
度の研磨が行える。さらに、研磨工具を第1の鉛直軸心
に対して偏心させて、研磨を行うことにより、未研磨部
分を無くすことができる。
Further, according to the third aspect of the invention, when the upper surface of the object to be polished is polished by the polishing tool, the polishing tool is pressed downward by the pressing force of the pressing means via the movable body. I have. For this reason, even when there is a slight height difference on the upper surface of the object to be polished, the polishing tool moves up and down through the movable body to follow the height difference on the upper surface of the object to be polished. The polishing tool is pressed against the upper surface of the polishing object, and the pressing force of the polishing tool against the polishing object can be kept substantially constant. Therefore, even when there is a height difference on the upper surface of the object to be polished, scratches and uneven polishing can be prevented, and highly accurate polishing can be performed. Further, the polishing tool is connected to the first vertical axis.
By eccentrically polishing the unpolished part
You can eliminate minutes.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】本発明の実施の形態における研磨装置の研磨工
具の取付部の縦断面図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a mounting portion of a polishing tool of a polishing apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図2】研磨装置の内部構成を示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing an internal configuration of the polishing apparatus.
【図3】図2におけるA−A矢視図である。FIG. 3 is a view as viewed in the direction of arrows AA in FIG. 2;
【図4】回転軸の上端部の詳細図である。FIG. 4 is a detailed view of an upper end portion of a rotating shaft.
【図5】自在継手の一部切欠き側面図である。FIG. 5 is a partially cutaway side view of the universal joint.
【図6】図5におけるA−A矢視図である。FIG. 6 is a view as viewed in the direction of arrows AA in FIG. 5;
【図7】各研磨工具を第1の鉛直軸心に対して偏心させ
ていない場合の研磨条痕を示した平面図である。
FIG. 7 is a plan view showing polishing streaks when each polishing tool is not eccentric with respect to a first vertical axis.
【図8】各研磨工具を第1の鉛直軸心に対して偏心させ
た場合の研磨条痕を示した平面図である。
FIG. 8 is a plan view showing polishing streaks when each polishing tool is decentered with respect to a first vertical axis.
【図9】従来の研磨装置の側面図である。FIG. 9 is a side view of a conventional polishing apparatus.
【図10】従来の研磨装置を用いた研磨方法を示す平面
図である。
FIG. 10 is a plan view showing a polishing method using a conventional polishing apparatus.
【符号の説明】 1 支持台(支持部) 2 被研磨物 3 研磨工具 4 第1の鉛直軸心 5 回転軸 6 保持体 9 自転機構 10 自転用モータ(自転用駆動装置) 11 第2の鉛直軸心 12 公転機構 13 公転用モータ(公転用駆動装置) 43 可動体 44 圧縮コイルスプリング(押圧手段) 46 自在継手 50 供給流路[Description of Signs] 1 Support (support portion) 2 Object to be polished 3 Polishing tool 4 First vertical axis 5 Rotation axis 6 Holder 9 Rotation mechanism 10 Rotation motor (Rotation drive device) 11 Second vertical Axis 12 Revolution mechanism 13 Revolution motor (revolution drive device) 43 Movable body 44 Compression coil spring (pressing means) 46 Universal joint 50 Supply flow path
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−318296(JP,A) 特開 平6−206159(JP,A) 特開 平8−1404(JP,A) 実開 昭58−40349(JP,U) 実開 昭60−161555(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B24B 7/04 B24B 47/10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-5-318296 (JP, A) JP-A-6-206159 (JP, A) JP-A-8-1404 (JP, A) 40349 (JP, U) Japanese Utility Model Showa 60-161555 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) B24B 7/04 B24B 47/10

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】(57) [Claims]
  1. 【請求項1】 被研磨物を支持する支持部の上方に、こ
    の支持部にセットされた被研磨物の上面に押圧されて被
    研磨物を研磨する研磨工具が設けられ、この研磨工具は
    第1の鉛直軸心周りに自転自在な回転軸の下端に設けら
    れ、この回転軸を保持しかつ上記支持部に対して昇降自
    在な保持体に、上記回転軸を自転させる自転機構と、こ
    の自転機構を回転駆動させる自転用駆動装置と、上記回
    転軸を上記第1の鉛直軸心に平行な第2の鉛直軸心周り
    に公転させる公転機構と、この公転機構を回転駆動させ
    る公転用駆動装置とが設けられ 上記研磨工具は自在継手を介して回転軸の下端に取付け
    られ、 上記自在継手は、回転軸と研磨工具との間に設けられた
    環状体と、回転軸の下端側に設けられて上記環状体の外
    周方に位置する一対の第1連結片と、研磨工具側に設け
    られて上記環状体の外周方に位置する一対の第2連結片
    と、環状体と各第1連結片とを回動自在に連結する第1
    連結ピンと、環状体と各第2連結片とを回動自在に連結
    する第2連結ピンとで構成され、 上記両第1連結片と第1連結ピンとは上記第1の鉛直軸
    心に直交する第1の水平軸心上に配設され、 上記両第2連結片と第2連結ピンとは上記第1の鉛直軸
    心と第1の水平軸心とに直交する第2の水平軸心上に配
    設されている ことを特徴とする研磨装置。
    A polishing tool is provided above a support for supporting an object to be polished, which is pressed against the upper surface of the object to be polished set on the support and polishes the object to be polished. A rotation mechanism provided at a lower end of a rotation shaft rotatable around the vertical axis of the first rotation shaft and holding the rotation shaft and capable of moving up and down with respect to the supporting portion; A rotation driving device for rotating a mechanism, a revolving mechanism for revolving the rotating shaft around a second vertical axis parallel to the first vertical axis, and a revolving drive for rotating the revolving mechanism Doo is provided, attached to the lower end of the rotary shaft above the polishing tool via a universal joint
    Is, the universal joint is provided between the rotary shaft and the grinding tool
    An annular body, provided on the lower end side of the rotating shaft, outside the annular body;
    A pair of first connecting pieces located circumferentially and provided on the polishing tool side
    A pair of second connecting pieces positioned on the outer periphery of the annular body
    And a first member for rotatably connecting the annular member and each of the first connecting pieces.
    The connecting pin, the annular body and each second connecting piece are rotatably connected.
    The second is composed of a connecting pin, said first vertical axis and the both first connecting piece and the first connecting pin to
    The second connecting piece and the second connecting pin are disposed on a first horizontal axis perpendicular to the center, and are connected to the first vertical axis.
    Arranged on a second horizontal axis orthogonal to the center and the first horizontal axis.
    A polishing apparatus characterized by being provided .
  2. 【請求項2】 自転機構は、自転用駆動装置によって第
    2の鉛直軸心周りに回動自在な自転軸と、この自転軸の
    下部に設けられた太陽歯車と、回転軸の上部に設けられ
    て上記太陽歯車に噛合する遊星歯車とで構成され、 研磨工具に研磨液を供給する供給流路が上記自転軸内と
    回転軸内とにそれぞれ形成され、 上記自転軸の下端に設けられた下部ロータリージョイン
    トの出口と回転軸の上端に設けられたロータリージョイ
    ントの入口とが接続ホースで接続され、 上記自転軸の上端に設けられた上部ロータリージョイン
    トの入口に、研磨液を供給する供給ホースが接続されて
    いる ことを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
    The rotation mechanism is driven by a rotation drive device.
    And a rotation axis that is rotatable about a vertical axis.
    The sun gear provided at the bottom, and the sun gear provided at the top of the rotating shaft
    And a planetary gear meshing with the sun gear, and a supply flow path for supplying a polishing liquid to the polishing tool is provided inside the rotation shaft.
    Each is formed with the rotary shaft, the lower rotary join provided at the lower end of the rotation axis
    Rotary joystick provided at the outlet of the
    The upper rotary joint, which is connected to the inlet of the
    The supply hose that supplies the polishing liquid is connected to the inlet of the
    The polishing apparatus according to claim 1, wherein the are.
  3. 【請求項3】 回転軸の下端に、上下方向へ移動自在で
    かつ押圧手段の押圧力により下動方向へ押圧されている
    可動体が設けられ、この可動体に、自在継手を介して取付基板が設けられ、 研磨工具は、第1の鉛直軸心に対して偏心可能に上記取
    付基板に取付けられている ことを特徴とする請求項1ま
    たは請求項2に記載の研磨装置。
    The lower end of 3. A rotating shaft, a movable member which is pressed in the downward direction is provided by the pressing force of the movable and and pressing means moves in the vertical direction, to the movable body, attached via a universal joint substrate The polishing tool is provided such that the polishing tool is eccentric with respect to the first vertical axis.
    The polishing apparatus according to claim 1, wherein the polishing apparatus is attached to an attached substrate .
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