KR101010787B1 - Method and Apparatus for Scribing of Substrate using Displacement Sensor - Google Patents

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Abstract

본 발명은 변위감응기를 이용한 스크라이빙 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스크라이빙 공정시 가공물의 변위 변화에 따라 적절한 파워를 설정하도록 하여, 가공물의 불량율을 제로화시킬 수 있는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing apparatus and a method using a displacement sensitizer, and more particularly, a displacement sensitizer capable of zeroing the defective rate of the workpiece by setting an appropriate power according to the displacement change of the workpiece during the scribing process. It relates to a scribing method and apparatus used.

본 발명에 따른 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치는 가공물과 니들 사이의 변위를 감지하는 변위감응기가 구비됨으로써, 스크라이빙 공정시 니들이 가공물에 가하는 파워, 포스 또는 니들의 위치를 제어하여 가공물의 파손이나 불량율을 제로화 시킬 수 있는 효과가 있다.The scribing method and apparatus using the displacement sensor according to the present invention is provided with a displacement sensor for detecting the displacement between the workpiece and the needle, by controlling the position of the power, force or needle that the needle applies to the workpiece during the scribing process There is an effect of zeroing the damage or failure rate.

스크라이빙, 변위감응기, 가공물, 평탄도 Scribing, Displacement Sensors, Workpieces, Flatness

Description

변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치{Method and Apparatus for Scribing of Substrate using Displacement Sensor}Scribing method and apparatus using displacement sensor {Method and Apparatus for Scribing of Substrate using Displacement Sensor}

본 발명은 변위감응기를 이용한 스크라이빙 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스크라이빙 공정시 가공물의 변위 변화에 따라 적절한 파워를 설정하도록 하여, 가공물의 불량율을 제로화시킬 수 있는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing apparatus and a method using a displacement sensitizer, and more particularly, a displacement sensitizer capable of zeroing the defective rate of the workpiece by setting an appropriate power according to the displacement change of the workpiece during the scribing process. It relates to a scribing method and apparatus used.

일반적으로 스크라이빙 공정은 평탄한 형상의 글래스 상면에 적층된 보호필름을 스크라이빙하기 위한 공정을 말하며, 가공물 상면에 각선을 형성해 그 각선을 따라 휠, 니들 등을 이용해 하부 방향으로 힘을 가하면서 스크라이빙한다.In general, the scribing process refers to a process for scribing a protective film laminated on a flat glass top surface. A scribe line is formed on the upper surface of the workpiece, and a force is applied downward along the lines by using wheels or needles. Crave.

도 1은 종래의 스크라이빙 장치를 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 휠 헤드를 나타낸 도면이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 스크라이빙 장치는 가공물에 크랙을 형성하는 스크라이빙 휠(180), 스크라이빙 휠(180)을 고정하기 위 한 휠 홀더(170) 및 휠 홀더(170)을 장착하기 위한 휠 헤드(200)를 구비한다.1 is a view showing a conventional scribing apparatus, Figure 2 is a view showing a wheel head shown in FIG. 1 and 2, the conventional scribing apparatus includes a scribing wheel 180 for forming a crack in a workpiece, a wheel holder 170 for fixing the scribing wheel 180, and a wheel holder. A wheel head 200 for mounting 170 is provided.

스크라이빙 휠(180)은 가장자리를 일정한 각도로 연마한 직경 2~3mm 사이의 원형 디스크 형상으로 가공물과 직접 접촉되어 가공물에 소정 깊이의 크랙을 형성하게 된다. The scribing wheel 180 is in direct contact with the workpiece in the shape of a circular disk having a diameter of 2 to 3 mm polished at an angle to form a crack of a predetermined depth in the workpiece.

휠 홀더(170)는 휠 헤드(200)로부터 가해지는 압력을 스크라이빙 휠(180)에 전달함과 아울러 스크라이빙 휠(180)을 고정 및 지지하는 역할을 한다. 이를 위해, 휠 홀더(170)는 스크라이빙 휠(180)을 고정하는 고정나사(190)와, 고정된 스크라이빙 휠(180)을 지지하기 위한 휠 고정 지그(140)와, 휠 홀더(170)를 휠 헤드(200)에 장착하기 위한 베어링(160)으로 구성된다.The wheel holder 170 transmits the pressure applied from the wheel head 200 to the scribing wheel 180 and serves to fix and support the scribing wheel 180. To this end, the wheel holder 170 is a fixing screw 190 for fixing the scribing wheel 180, a wheel fixing jig 140 for supporting the fixed scribing wheel 180, and the wheel holder ( And a bearing 160 for mounting the 170 to the wheel head 200.

휠 헤드(200)는 도시하지 않은 콤프레셔에 의해 공급되는 압축 공기의 공기압(Air Pressure)에 따라 휠 홀더(170)를 하강 및 상승시키게 된다. 이를 위해, 휠 헤드(200)는 휠 홀더(170)가 장착되는 홀더 장착부(220), 스크라이빙 휠(180)과 가공물의 접촉을 제어하는 스위치부(240) 및 외부로부터 공급되는 압축 공기의 공기압을 휠 홀더(170)에 공급하는 에어 실린더부(260)로 구성된다. 이와 같은, 휠 헤드(200)는 볼 스크류(Ball Screw), 풀리-벨트(Pulley-Belt) 및 LM 가이드(또는 리니어 가이드)와 같은 이송장치의 구동축을 따라 이송된다.The wheel head 200 lowers and raises the wheel holder 170 according to the air pressure of compressed air supplied by a compressor (not shown). To this end, the wheel head 200 is a holder mounting portion 220 on which the wheel holder 170 is mounted, a switch unit 240 for controlling contact between the scribing wheel 180 and the workpiece and compressed air supplied from the outside. It consists of the air cylinder part 260 which supplies air pressure to the wheel holder 170. As shown in FIG. As such, the wheel head 200 is conveyed along a drive shaft of a conveying device such as a ball screw, a pulley-belt, and an LM guide (or linear guide).

도 3은 종래의 스크라이빙 공정을 나타낸 도면이다. 보다 자세히 설명하면, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 에어 실린더부(260)에 콤프레셔에 의해 압축공기가 공급되면 압축된 공기의 에어압에 의해 가압체(270)가 상부가공물(2a)쪽으로 하강하게 된다. 가압체(270)를 하강시키는 에어압은 바(250)에 전달되고, 바(250)는 고정축(280)을 중심으로 하여 소정 각도(a에서 b로 이동)로 기울어지면서 상부가공물(2a) 쪽으로 하강하게 된다. 바(250)의 하강으로 인해 휠 홀더(170) 및 가압 돌기(230)에 에어압이 전달된다. 이때, 휠 홀더(170)는 전달된 에어압에 의해 휠(180)을 상부가공물(2a) 속으로 침투시키게 된다. 3 is a view showing a conventional scribing process. In more detail, as shown in FIGS. 1 to 3, when compressed air is supplied to the air cylinder unit 260 by a compressor, the pressurized body 270 is moved toward the upper workpiece 2a by the air pressure of the compressed air. Will descend. Air pressure for lowering the pressure body 270 is transmitted to the bar 250, the bar 250 is inclined at a predetermined angle (moving from a to b) about the fixed shaft 280, the upper work (2a) Descend to the side. Air pressure is transmitted to the wheel holder 170 and the pressing protrusion 230 due to the lowering of the bar 250. At this time, the wheel holder 170 is to penetrate the wheel 180 into the upper work (2a) by the air pressure transmitted.

또한, 가압돌기(230)는 에어압의 전달을 검출부(290)에 알리게 되고 이로 인해 검출부(290)는 전기신호를 온(on)상태로 인식하여 휠 헤드(200)의 위치를 제어하게 된다. 이때, 휠 헤드(200)가 볼 스크류, 풀리 벨트 및 LM 가이더 등과 같은 이송장치의 구동축(300)을 따라 소정 깊이의 수직크랙(d1)을 형성하게 된다. 이러한 수직크랙(d1)이 형성되면 도시하지 않은 브레이킹바를 이용하여 가공물(2)에 충격을 가해 수직크랙(d1)을 크게 형성시키게 된다. 그 후, 동일한 방법으로 하부가공물(2b)에 수직크랙(d1)을 형성시키기도 한다.In addition, the pressurizing protrusion 230 notifies the detection unit 290 of the transmission of the air pressure, which causes the detection unit 290 to recognize the electrical signal to the on (on) state to control the position of the wheel head 200. In this case, the wheel head 200 forms a vertical crack d1 having a predetermined depth along the drive shaft 300 of the transfer device such as a ball screw, a pulley belt, and an LM guider. When the vertical crack (d1) is formed to impact the workpiece (2) by using a breaking bar (not shown) to form a large vertical crack (d1). Thereafter, a vertical crack d1 may be formed on the lower workpiece 2b in the same manner.

그러나, 이와 같은 종래의 스크라이빙 장치는 가공물의 미세한 굴곡을 고려하지 않고 스크라이빙 공정을 수행한다. 가공물 자체의 제조공정 중에 가공물의 면에는 빈번하게 굴곡이 생긴다. 이러한 굴곡을 종래의 스크라이빙 장치를 이용하여 스크라이빙할 경우, 도드라진 굴곡의 경우 크랙이 너무 깊게 생기거나, 가공물이 파손된다. 또한, 가공물이 함몰된 경우 크랙이 생기지 않아 가공물에 스크라이빙이 되지 않는 문제점이 있다.However, such a conventional scribing apparatus performs the scribing process without taking into account the minute bending of the workpiece. During the manufacturing process of the workpiece itself, the face of the workpiece frequently bends. In the case of scribing such a bend using a conventional scribing device, cracks are too deep in the case of raised bends, or the workpiece is broken. In addition, when the workpiece is recessed, there is a problem in that cracking does not occur and the scribing of the workpiece is not performed.

상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 스크라이빙 공정시 가공물의 파손이나 가공물층 절단 불량을 감소시키고, 가공물에 안정적으로 크랙이 형성되도록 스크라이빙이 가능한 스크라이빙 방법 및 장치를 제공하도록 하는 데 있다.An object of the present invention for solving the problems of the prior art as described above is a scribing method that can be scribing to reduce the damage of the workpiece or defective cutting of the workpiece layer during the scribing process, so that the cracks stably formed on the workpiece And to provide an apparatus.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은, 니들의 위치 또는 파워를 제어하는 제어단계(a); 상기 니들이 가공물에 일정 파워를 가하며 스크라이빙하는 스크라이빙단계(b); 상기 가공물과 상기 니들 사이의 높이 변화를 감지하는 감지단계(c); 상기 감지단계(c)에서 측정된 변위값과 기설정된 변위값을 비교, 판단하는 비교단계(d); 상기 비교단계(d)에서의 결과에 따라 상기 니들의 위치값 또는 파워값을 변환시키는 변환단계(e); 및 상기 변환단계(e) 이후에 상기 제어단계(a)로 피드백하는 피드백단계(f);를 포함하는 것을 특징으로 하는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법을 제공한다.The configuration of the present invention for achieving the above object, the control step of controlling the position or power of the needle (a); A scribing step of scribing the needle while applying a predetermined power to the workpiece; Sensing (c) detecting a change in height between the workpiece and the needle; A comparison step (d) of comparing and determining the displacement value measured in the sensing step (c) with a preset displacement value; A conversion step (e) of converting the position value or the power value of the needle according to the result of the comparing step (d); And a feedback step (f) of feeding back to the control step (a) after the conversion step (e).

또한, 가공물을 스크라이빙하기 위한 스크라이빙 장치에 있어서, 가공물을 스크라이빙하는 니들; 상기 니들의 위치를 상하로 조절하는 액츄에이터; 상기 니들과 상기 가공물의 높이 변화를 감지하는 변위감응기; 및 상기 액츄에이터를 제어하는 제어부; 를 포함하여 구성되고, 상기 제어부는 기설정된 변위값과 상기 변위감 응기에서 측정된 변위값을 비교하여 상기 니들의 위치값을 변환시키고 피드백시켜, 상기 변위감응기에 측정된 변위에 따라 상기 니들의 위치를 변환시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 장치를 제공한다.In addition, a scribing apparatus for scribing a workpiece, comprising: a needle for scribing a workpiece; An actuator for adjusting the position of the needle up and down; A displacement sensor for detecting a height change of the needle and the workpiece; And a control unit controlling the actuator. And the control unit compares a predetermined displacement value with a displacement value measured by the displacement sensor, converts and feeds back the position value of the needle, and positions the needle according to the displacement measured by the displacement sensor. It provides a scribing apparatus using a displacement sensor characterized in that to convert the.

상기 니들 상부에 위치하여 상기 니들에 파워를 인가하는 서보제어기구;를 거 포함하고, 상기 액츄에이터는 상기 서보제어기구와 연결되고, 상기 제어부는 상기 액츄에이터와 상기 서보제어기구를 제어하며, 기설정된 변위값과 상기 변위감응기에서 측정된 변위값을 비교하여 상기 니들의 위치값 또는 파워값을 변환시키고 피드백시켜, 상기 변위감응기에 측정된 변위에 따라 상기 니들의 위치 또는 파워를 변환시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.A servo control mechanism positioned above the needle to apply power to the needle, wherein the actuator is connected to the servo control mechanism, the control unit controls the actuator and the servo control mechanism, and a preset displacement. Comparing the displacement value measured by the displacement sensor with the value and converting and feeding back the position value or the power value of the needle, so that the position or power of the needle can be converted according to the displacement measured by the displacement sensor. It features.

가공물을 스크라이빙하기 위한 스크라이빙 장치에 있어서, 가공물을 스크라이빙하는 니들; 상기 니들 상부에 위치하여 상기 니들에 파워를 인가하는 서보제어기구; 상기 니들과 상기 가공물의 높이 변화를 감지하는 변위감응기; 및 상기 서보제어기구를 제어하는 제어부; 를 포함하여 구성되고, 상기 제어부는 기설정된 변위값과 상기 변위감응기에서 측정된 변위값을 비교하여 상기 니들의 파워값을 변환시키고 피드백시켜, 상기 변위감응기에 측정된 변위에 따라 상기 니들의 파워를 변환시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.A scribing apparatus for scribing a workpiece, comprising: a needle for scribing a workpiece; A servo control mechanism positioned above the needle to apply power to the needle; A displacement sensor for detecting a height change of the needle and the workpiece; And a control unit controlling the servo control mechanism. And the control unit compares a predetermined displacement value with a displacement value measured by the displacement sensor, converts and feeds back the power value of the needle, and powers the needle according to the displacement measured by the displacement sensor. It characterized in that to be able to convert.

상기 액츄에이터는 피에조 엑츄에이터(Piezo-Actuator)인 것을 특징으로 한다. 상기 액츄에이터는 서보 엑츄에이터(Servo-Actuator)인 것을 특징으로 한다.The actuator is characterized in that the piezo actuator (Piezo-Actuator). The actuator is characterized in that the servo actuator (Servo-Actuator).

본 발명에 따른 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치는 가공물과 니들 사이의 변위를 감지하는 변위감응기가 구비됨으로써, 스크라이빙 공정시 니들이 가공물에 가하는 포스, 파워 또는 니들의 위치를 조절하여 가공물의 파손이나 불량율을 제로화시킬 수 있는 효과가 있다.The scribing method and apparatus using the displacement sensor according to the present invention is provided with a displacement sensor for detecting the displacement between the workpiece and the needle, by adjusting the position of the force, power or needle applied to the workpiece during the scribing process There is an effect of zeroing the damage or failure rate.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치를 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in more detail the scribing method and apparatus using a displacement sensor according to a preferred embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 스크라이빙 공정을 나타낸 순서도이다. 도 4를 참조하면, 스크라이빙 공정은 제어단계, 스크라이빙 단계, 감지단계, 비교단계, 변환단계, 피드백단계를 포함하여 구성된다.4 is a flowchart illustrating a scribing process of the present invention. Referring to FIG. 4, the scribing process includes a control step, a scribing step, a sensing step, a comparison step, a conversion step, and a feedback step.

제어단계는 니들의 위치 또는 포스, 파워를 제어하는 단계이며, 스크라이빙 단계는 니들을 가공물에 접촉시켜 가공물에 소정 깊이의 크랙을 형성하는 단계이고, 감지단계는 상기 가공물과 상기 니들 사이의 높이 변화, 변위값 변화를 감지하는 단계이다.The control step is a step of controlling the position, force, or power of the needle, the scribing step is to form a crack of a predetermined depth in the workpiece by contacting the needle to the workpiece, the sensing step is the height between the workpiece and the needle It is the step of detecting change and displacement value change.

그리고 비교단계는 상기 감지단계에서 측정된 변위값과 기설정된 변위값을 비교하여 측정된 값이 기설정된 값보다 '크다' 또는 '작다' 또는 '일치한다'를 판단하는 단계이고, 변환단계는 상기 비교단계에서 판단된 결과에 따라 니들의 위치 또는 포스, 파워를 변환시키는 단계이며, 피드백단계는 상기 변환단계에서 변환된 값을 상기 제어단계로 피드백시키는 단계이다. The comparing step is a step of comparing the displacement value measured in the sensing step with a predetermined displacement value and determining that the measured value is 'greater' or 'smaller' or 'match' than the preset value, and the converting step is the The step of converting the position, the force, the power of the needle according to the result determined in the comparison step, the feedback step is to feed back the value converted in the conversion step to the control step.

즉, 본 발명의 스크라이빙 공정은 상기 비교단계에서 가공물과 니들 사이에 높이 변화에 따라 측정된 변위값이 기설정된 변위값보다 크거나 또는 작으면, 상기 변환단계에서 니들의 처음 위치 또는 파워를 변환시켜서 변환된 값을 상기 제어단계로 전달하여 니들의 위치 또는 파워가 변환되는 것이다.That is, in the scribing process of the present invention, if the displacement value measured according to the height change between the workpiece and the needle in the comparison step is larger or smaller than the predetermined displacement value, the initial position or power of the needle in the conversion step is changed. By transferring the converted value to the control step, the position or power of the needle is converted.

이러한 공정은, 높이 변화를 감지하고, 비교하는 단계를 더 포함시켜서, 미세한 높이 변화를 감지하고, 이에 따라 니들의 위치 또는 가해지는 파워를 즉시로 변환시킬 수 있도록 하는 효과를 갖는다. 이하 파워, 포스 또는 압력에 해당되는 용어는 파워로 통칭하여 사용, 표현할 수 있다.This process further includes the step of sensing and comparing height changes, thereby having the effect of detecting minute height changes and thus immediately converting the position or applied power of the needle. Hereinafter, the term corresponding to power, force or pressure may be used and expressed collectively as power.

도 5는 본 발명의 스크라이빙 장치를 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명의 스크라이브 기구를 상세하게 나타낸 사시도이다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 스크라이빙 장치는 가공물을 스크라이빙하는 니들(10), 가공물과 니들(10) 사이의 높이 변화를 감지하는 변위감응기(20), 상기 니들(10)에 파워, 포스를 가하는 서보제어기구(30), 상기 니들(10)의 위치를 상하로 조절하는 액츄에이터(40), 상기 서보제어기구(30)와 상기 액츄에이터(40)를 제어하는 제어부(60), 상기 변위감응기(20)로 측정된 값에 따라 상기 니들(10)의 위치값 또는 파워값을 변환시켜 상기 제어부(60)로 피드백시키는 변환수단(50)을 포함하여 구성된다. 변환수단(50)은 제어부(60) 내에 구성하는 것도 가능하다.5 is a view showing a scribing apparatus of the present invention, Figure 6 is a perspective view showing in detail the scribing mechanism of the present invention. 5 and 6, the scribing apparatus according to the present invention includes a needle 10 for scribing a workpiece, a displacement sensor 20 for detecting a height change between the workpiece and the needle 10, and Servo control mechanism 30 that applies power and force to the needle 10, actuator 40 for adjusting the position of the needle 10 up and down, and controls the servo control mechanism 30 and the actuator 40 And a converting means 50 for converting the position value or the power value of the needle 10 and feeding it back to the controller 60 according to the value measured by the controller 60 and the displacement sensor 20. . The converting means 50 can also be configured in the control unit 60.

상기 니들(10)은 그 선단부가 원뿔 형상을 이루어 뾰족하게 되어 있다. 이 니들(10)의 하단부에는 각뿔 형상을 이루는 다이아몬드 또는 고강도 입자가 고착되어있다. 이 다이아몬드 또는 고강도 입자의 정점이 아래를 향하여 가공물의 상면에 접촉된다.The tip of the needle 10 is pointed to form a conical shape. At the lower end of the needle 10, diamond or high-strength particles forming a pyramid shape are fixed. The vertices of this diamond or high-strength particles face downward and contact the top surface of the workpiece.

상기 변위감응기(20)는 가공물과 니들(10) 사이의 높이 변화를 측정하여, 측정된 변위값을 상기 변환수단(50)으로 제공하며, 가공물과 니들(10) 사이의 높이 변화를 측정하기 위해 니들(10) 부근에 설치되는 것이 바람직하다. The displacement sensor 20 measures the height change between the workpiece and the needle 10, provides the measured displacement value to the conversion means 50, and measures the height change between the workpiece and the needle 10. It is preferable to be installed in the vicinity of the needle (10).

상기 서보제어기구(30)는 서보제어기(미도시)를 포함하여 구성되며, 서보제어기에 공급되는 파워를 통해 니들(10)이 가공물에 파워, 포스를 가하는 것으로, 상기 니들(10) 상측에 설치되는 것이 바람직하다.The servo control mechanism 30 includes a servo controller (not shown), and the needle 10 applies power and force to a workpiece through power supplied to the servo controller, and is installed above the needle 10. It is preferable to be.

상기 액츄에이터(40)는 모터(72), 플레이트(74), 가이드(76) 및 슬라이더(78)를 포함하여 구성되는 슬라이더 기구(70)에 설치고정되며, 상기 니들(10)을 상하로 이동 또는 진동시키는 역할을 한다. The actuator 40 is fixed to a slider mechanism 70 including a motor 72, a plate 74, a guide 76, and a slider 78, and moves the needle 10 up or down. It serves to vibrate.

여기서, 상기 액츄에이터(40)는 수직방향으로 동작하는 피에조 액추에이터 (Piezo-Actuator) 또는 서보 액추에이터(Servo-Actuator)로 구성하는 것이 바람직하다. 피에조 액츄에이터는 고주파 교류전압을 받아서 수직방향으로 주기적으로 신축하는 것이고, 서보 액추에이터는 서보제어 값을 받아서 수직방향으로 제어량만큼 신축되어 니들(10)을 수직방향으로 동작시킨다. Here, the actuator 40 is preferably composed of a Piezo-Actuator or a Servo-Actuator operating in the vertical direction. The piezo actuator receives the high frequency AC voltage and periodically expands and contracts in the vertical direction. The servo actuator receives the servo control value and expands and contracts the control amount in the vertical direction to operate the needle 10 in the vertical direction.

그러면 이 주기적 신축에 따른 동작이 니들(10)를 통해서 가공물에 전달되고, 가공물에는 수직크랙을 형성하게 된다. 이러한 진동에 의한 스크라이빙은 가공물을 국소적으로 파괴시켜 가공물의 스크라이빙을 양호하게 하며, 가공물에 수평크 랙이 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.Then, the movement according to the periodic stretching and contracting is transmitted to the workpiece through the needle 10, and vertical workpieces are formed in the workpiece. The scribing by the vibration locally destroys the workpiece to improve scribing of the workpiece, and prevents the occurrence of horizontal cracks in the workpiece.

상기 제어부(60)는 상기 서보제어기구(30)를 제어하여 상기 니들(10)이 가공물에 가하는 파워, 포스를 조절하거나 또는 상기 액츄에이터(40)를 제어하여 상기 니들(10)의 위치가 상승 또는 하강하도록 조절한다. 상기 제어부(60)는 도시하지 않은 스크라이빙 본체에 설치된다.The control unit 60 controls the servo control mechanism 30 to adjust the power and force applied by the needle 10 to the workpiece, or the actuator 40 controls the actuator 40 to raise or lower the position of the needle 10. Adjust to descend. The control unit 60 is installed in a scribing body (not shown).

상기 변환수단(50)은 상기 변위감응기(20)에 기설정된 변위값과 측정된 변위값을 비교, 판단하여 그 결과에 따라 상기 니들(10)의 위치값 또는 파워값, 포스값을 변환시켜 상기 제어부(60)로 피드백시키는 역할을 하며, 상기 제어부(60) 부근에 설치되는 것이 바람직하다.The conversion means 50 compares and determines the displacement value preset in the displacement sensor 20 and the measured displacement value, and converts the position value, power value, or force value of the needle 10 according to the result. It serves to feed back to the control unit 60, it is preferably installed in the vicinity of the control unit 60.

도 7은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 작동상태를 나타낸 도면이다. 도 7을 참조하여, 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 작동에 대해 설명한다. 가공물(1)을 따라 이동시키는 이동기구(미도시)에 의해 니들(10)이 이동을 하면, 니들(10)이 가공물(1) 고정 상태에서 상면의 스크라이브를 실행한다. 이때, 니들(10)이 굴곡면이 있는 가공물(1)을 지나갈 때, 초기 설정 파워에서의 니들(10)의 변위가 순간적으로 변하기 때문에 이 변위량을 변위감응기(20)가 측정하게 된다. 전술한 측정방법으로 니들(10)의 변위량을 측정한 결과, 측정값이 기설정된 값에서 벗어나 있으면 니들(10)의 파워 또는 위치를 단계적으로 미세하게 증감, 변화시키게 된다.7 is a view showing an operating state of the scribing apparatus according to the present invention. 7, the operation of the scribing apparatus according to the present invention will be described. When the needle 10 moves by the moving mechanism (not shown) which moves along the workpiece 1, the needle 10 performs scribe on the upper surface in the workpiece | work 1 fixed state. At this time, when the needle 10 passes the workpiece 1 having the curved surface, the displacement sensor 20 measures this displacement because the displacement of the needle 10 at the initial set power changes instantaneously. As a result of measuring the displacement amount of the needle 10 by the above-described measuring method, if the measured value deviates from the preset value, the power or position of the needle 10 is gradually increased or decreased gradually.

여기에서, 니들(10)의 파워를 미세하게 조정할 수 있도록 하기 위해서는, 니 들(10)을 가압하는 가압수단으로 서보제어기(미도시)를 사용하고, 이 서보제어기에 공급되는 파워를 조절하는 서보제어기구(30)가 미세한 파워설정을 하게 됨으로써, 니들(10)에 가해지는 파워를 제어할 수 있게 된다.Here, in order to be able to finely adjust the power of the needle 10, a servo controller (not shown) is used as a pressurizing means for pressurizing the needle 10, the servo to adjust the power supplied to this servo controller Since the control mechanism 30 sets the fine power, it is possible to control the power applied to the needle 10.

또한, 니들(10)의 위치를 미세하게 조정할 수 있도록 하기 위해서는, 니들(10)의 위치를 제어하는 수단으로 피에조, 서보 액츄에이터(40)를 사용하여 니들(10)의 위치를 빠르게 이동시킨다. 이에 따라, 니들(10)은 가공물(1) 상면을 따라 이동하면서 가공물(1) 상면 또는 상측에 위치되는 막(1a)에 연속된 수직 크랙(d')을 발생시킬 수 있고, 더 나아가서는 스크라이브선을 형성할 수 있게 된다.In addition, in order to be able to finely adjust the position of the needle 10, by using a piezo, servo actuator 40 as a means for controlling the position of the needle 10, the position of the needle 10 is quickly moved. As a result, the needle 10 may move along the upper surface of the workpiece 1 to generate continuous vertical cracks d 'on the film 1a positioned on the upper surface or the upper surface of the workpiece 1, furthermore, a scribe. You will be able to form lines.

이와 같이 구성되는 본 발명의 스크라이빙 장치는 스크라이빙 공정시 상기 변위감응기(20)의 검출에 의해서 니들(10)의 위치 또는 파워가 제어됨으로써, 가공물(1)의 글래스(1b)에는 충격이 가지 않도록 하고 가공물(1) 상면 또는 상측의 막(1a)만 스크라이브하여 보다 안정적이고 정밀한 스크라이빙 공정이 이루어질 수 있게 된다. In the scribing apparatus of the present invention configured as described above, the position or power of the needle 10 is controlled by the detection of the displacement sensor 20 during the scribing process, so that the glass 1b of the workpiece 1 It is possible to achieve a more stable and precise scribing process by scribing only the film 1a on the upper surface or the upper surface of the workpiece 1 to prevent the impact.

한편, 파워 조절을 위한 서보제어기구(30)와 위치 조절을 위한 액츄에이터(40)는 동시에 복합적으로 적용할 수도 있으나, 둘 중 어느 하나만으로 니들(10)의 파워만을 제어하거나, 니들(20)의 위치만을 제어하도록 할 수도 있다.On the other hand, the servo control mechanism 30 for the power adjustment and the actuator 40 for the position adjustment may be applied in combination at the same time, the control of only the power of the needle 10 by only one of the two, or of the needle 20 You can also control only the location.

도 8은 함몰된 굴곡이 있는 가공물을 스크라이빙하는 공정을 나타낸 도면이고, 도 9는 돌출된 굴곡이 있는 가공물을 스크라이빙하는 공정을 나타낸 도면이다. 가공물 자체의 제조공정에 따라 가공물의 면에는 빈번한 굴곡을 가지고 있으나, 이 러한 굴곡면 중에 함몰된 굴곡면 또는 돌출된 굴곡면을 갖는 가공물을 스크라이빙하기 위한 공정은 다음과 같다.FIG. 8 is a view illustrating a process of scribing a workpiece having recessed bends, and FIG. 9 is a view illustrating a process of scribing a workpiece having protruding bends. According to the manufacturing process of the workpiece itself, the surface of the workpiece has frequent bends, but the process for scribing a workpiece having a curved surface or a protruding curved surface among these curved surfaces is as follows.

가공물을 이송시키는 이송장치에 의해 가공물이 이송되거나, 가공물이 고정된 상태에서 니들이 이송되면, 니들(10)은 일정한 파워로 가공물을 가압하며 가공물을 스크라이브한다. 이때, 가공물에 굴곡면이 있을 때, 상기 변위감응기(20)가 순간적으로 니들(10)의 높이 변화를 측정하게 되고, 측정된 값은 상기 변환수단(50)으로 제공되어 미리 설정된 기준값과 측정값을 비교하여 측정값이 기준값과 크거나 혹은 작은가를 판단하게 된다. When the workpiece is transported by the transfer device for transporting the workpiece or the needle is transported while the workpiece is fixed, the needle 10 presses the workpiece with a constant power and scribes the workpiece. In this case, when the workpiece has a curved surface, the displacement sensor 20 measures the height change of the needle 10 instantaneously, and the measured value is provided to the conversion means 50 to measure a predetermined reference value and The value is compared to determine whether the measured value is larger or smaller than the reference value.

도 8과 같이, 니들(10)이 함몰된 굴곡면을 지날 때, 변위감응기(20)로 측정된 측정값이 기설정된 기준값보다 작아지게 되어, 상기 변환수단(50)은 감소된 양을 보정하여 니들(10)이 가공물을 긁는 깊이가 균일하도록 니들(10)의 위치값 또는 파워값을 변환시킨다. 이렇게 변환된 값은 상기 제어부(60)로 제공되고, 이후에 상기 서보제어기구(30)를 통해 가공물에 가하는 파워가 조절되거나 또는 상기 액츄에이터(40)를 통해 변위값이 조절된다.As shown in FIG. 8, when the needle 10 passes the recessed curved surface, the measured value measured by the displacement sensor 20 becomes smaller than the predetermined reference value, so that the conversion means 50 corrects the reduced amount. The needle 10 converts the position value or the power value of the needle 10 so that the depth at which the needle 10 scratches the workpiece is uniform. The converted value is provided to the controller 60, and then the power applied to the workpiece through the servo control mechanism 30 is adjusted or the displacement value is adjusted through the actuator 40.

도 9와 같이, 니들(10)이 돌출된 굴곡면을 지날 때, 변위감응기(20)로 측정된 측정값이 기설정된 기준값보다 크게 되어, 상기 변환수단(50)은 증가된 양을 보정하여 니들(10)이 가공물을 긁는 깊이가 균일하도록 니들(10)의 위치 또는 파워를 변환시킨다. 이렇게 변환된 값은 상기 제어부(60)로 제공되고, 이후에 상기 서보제어기구(30)를 통해 가공물에 가하는 파워가 조절되거나 또는 상기 액츄에이터(40)를 통해 변위값이 조절된다.As shown in FIG. 9, when the needle 10 passes through the protruding curved surface, the measured value measured by the displacement sensor 20 becomes larger than the preset reference value, and the conversion means 50 corrects the increased amount. The needle 10 converts the position or power of the needle 10 so that the depth at which the needle 10 scratches the workpiece is uniform. The converted value is provided to the controller 60, and then the power applied to the workpiece through the servo control mechanism 30 is adjusted or the displacement value is adjusted through the actuator 40.

도 10은 스크라이브 된 가공물의 상태를 나타낸 도면이다. 도 10을 참조하면, 상기와 같은 작업 공정을 거쳐 스크라이빙 작업이 완료되면, 가공물(1) 또는 상측에 위치되는 막(1a)이 스크라이브된다. 이러한 과정을 통해 일련의 공정이 마무리된다.10 is a view showing a state of the scribed workpiece. Referring to FIG. 10, when the scribing operation is completed through the above working process, the workpiece 1 or the film 1a positioned above is scribed. This completes the process.

이와 같이 본 발명의 스크라이빙 장치는 최적의 평탄도를 유지하면서, 균일하지 않은 가공물(1)을 정밀하게 스크라이빙함으로써, 가공물(1)의 파손이나 가공물층 절단 불량을 최소화할 수 있는 효과가 있다.Thus, the scribing apparatus of the present invention, by scribing the non-uniform workpiece 1 precisely while maintaining the optimum flatness, the effect of minimizing the damage of the workpiece (1) or the cutting of the workpiece layer can be minimized There is.

지금까지 기술한 바와 같이, 본 발명은 가공물을 스크라이브할 때에 가공물에 함몰된 굴곡면 또는 돌출된 굴곡면이 존재하면, 변위감응기가 니들과 가공물 사이의 높이 변화에 따른 설정값을 보정해줌으로써, 가공물에 균일한 평탄면을 형성하게 해주고, 가공물의 파손 및 가공층 절단 불량을 제로화시키는 것이 가능한 장점이 있다. As described so far, in the present invention, if there is a curved surface or a projected curved surface in the workpiece when the workpiece is scribed, the displacement sensor corrects the set value according to the height change between the needle and the workpiece, There is an advantage that it is possible to form a uniform flat surface on the surface, and to zero the damage of the workpiece and the defective cutting of the processed layer.

본 발명은 상기 실시예에서 상세히 설명되었지만, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.While the invention has been described in detail in the foregoing embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the spirit of the invention, and such modifications and variations belong to the appended claims.

도 1은 종래의 스크라이빙 장치를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a conventional scribing apparatus.

도 2는 도 1에 도시된 휠 헤드를 나타낸 도면이다.2 is a view showing the wheel head shown in FIG.

도 3은 종래의 스크라이빙 공정을 나타낸 도면이다.3 is a view showing a conventional scribing process.

도 4는 본 발명의 스크라이빙 공정을 나타낸 순서도이다.4 is a flowchart illustrating a scribing process of the present invention.

도 5는 본 발명의 스크라이빙 장치를 나타낸 도면이다.5 is a view showing a scribing apparatus of the present invention.

도 6은 본 발명의 스크라이브 기구를 상세하게 나타낸 사시도이다.6 is a perspective view showing in detail the scribe mechanism of the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 작동상태를 나타낸 도면이다.7 is a view showing an operating state of the scribing apparatus according to the present invention.

도 8은 함몰된 굴곡이 있는 가공물을 스크라이빙하는 공정을 나타낸 도면이다.8 is a view showing a process of scribing a workpiece having a recessed bend.

도 9는 돌출된 굴곡이 있는 가공물을 스크라이빙하는 공정을 나타낸 도면이다.9 is a diagram illustrating a process of scribing a workpiece having protruding bends.

도 10은 스크라이브 된 가공물의 상태를 나타낸 도면이다.10 is a view showing a state of the scribed workpiece.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명> <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10: 니들10: Needle

20: 변위감응기20: displacement transducer

30: 서보제어기구30: servo control mechanism

40: 액츄에이터40: Actuator

50: 변환수단50: conversion means

60: 제어부60: control unit

Claims (6)

삭제delete 가공물을 스크라이빙하기 위한 스크라이빙 장치에 있어서,A scribing apparatus for scribing a workpiece, 가공물을 스크라이빙하는 니들;Needles for scribing workpieces; 상기 니들의 위치를 상하로 조절하는 액츄에이터;An actuator for adjusting the position of the needle up and down; 상기 니들과 상기 가공물의 높이 변화를 감지하는 변위감응기; 및A displacement sensor for detecting a height change of the needle and the workpiece; And 상기 액츄에이터를 제어하는 제어부; 를 포함하여 구성되고,A controller for controlling the actuator; And, 상기 제어부는 기설정된 변위값과 상기 변위감응기에서 측정된 변위값을 비교하여 상기 니들의 위치값을 변환시키고 피드백시켜, 상기 변위감응기에 측정된 변위에 따라 상기 니들의 위치를 변환시킬 수 있도록 하고,The control unit compares a predetermined displacement value with a displacement value measured by the displacement sensor to convert and feed back the position value of the needle, thereby converting the position of the needle according to the displacement measured by the displacement sensor. , 상기 니들 상부에 위치하여 상기 니들에 파워를 인가하는 서보제어기구를 더 포함하고,A servo control mechanism positioned above the needle to apply power to the needle; 상기 액츄에이터는 상기 서보제어기구와 연결되고,The actuator is connected to the servo control mechanism, 상기 제어부는 상기 액츄에이터와 상기 서보제어기구를 제어하며, 기설정된 변위값과 상기 변위감응기에서 측정된 변위값을 비교하여 상기 니들의 위치값 또는 파워값을 변환시키고 피드백시켜, 상기 변위감응기에 측정된 변위에 따라 상기 니들의 위치 또는 파워를 변환시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 장치.The control unit controls the actuator and the servo control mechanism, compares a predetermined displacement value with a displacement value measured by the displacement sensor, converts and feeds back the position value or power value of the needle, and measures the displacement sensor. The scribing apparatus using a displacement sensor, characterized in that for changing the position or power of the needle in accordance with the displacement. 삭제delete 삭제delete 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 액츄에이터는 피에조 엑츄에이터(Piezo-Actuator)인 것을 특징으로 하는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 장치.The actuator is a scribing device using a displacement sensor, characterized in that the piezo actuator (Piezo-Actuator). 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 액츄에이터는 서보 엑츄에이터(Servo-Actuator)인 것을 특징으로 하는 변위감응기를 이용한 스크라이빙 장치.The actuator is a scribing device using a displacement sensor, characterized in that the servo actuator (Servo-Actuator).
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