KR101007665B1 - 금속촉매도핑장비 및 도핑방법과 이를 이용한평판표시장치제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (44)
- 금속촉매를 매개로 하여 비정질실리콘을 결정화하기 위해, 비정질실리콘이 형성된 기판 상에 금속촉매을 도핑하는 공정이 진행되는 공정챔버를 포함하는 다수의 챔버들과;상기 공정챔버의 높이방향을 따라 고정되고, 전면에 플라즈마를 형성하는 음극부와;상기 기판에 상기 금속촉매를 도핑하기 위해, 상기 음극부를 바라보며 상기 공정챔버의 길이방향으로 선형운동을 하도록 움직이는 캐리어와;상기 음극부와 상기 기판 사이에 위치하며, 상기 음극부가 상기 기판을 바라보는 면적을 조절하는 차폐부를 포함하고,상기 차폐부는, 선형운동을 하는 스크린을 포함하는금속촉매도핑장비.
- 제 1 항에 있어서,상기 음극부가 상기 기판을 바라보도록 하는 윈도우를 갖는 하우징을 더욱 포함하는 금속촉매도핑장비.
- 삭제
- 제 2 항에 있어서,상기 스크린은, 상기 음극부와 상기 윈도우 사이 또는 상기 윈도우와 상기 기판 사이에 위치하는 금속촉매도핑장비.
- 제 2 항에 있어서,상기 차폐부는, 회전운동을 하는 판형상의 적어도 하나의 살을 포함하는 금속촉매도핑장비.
- 제 5 항에 있어서,상기 살은, 상기 윈도우에 마련된 금속촉매도핑장비.
- 제 2 항에 있어서,상기 윈도우에 마련된 창살을 포함하는 금속촉매도핑장비.
- 제 2 항에 있어서,상기 하우징과 상기 차폐부 중 적어도 하나는, 접지되거나 전압을 인가받는 금속촉매도핑장비.
- 제 1 항에 있어서,상기 음극부는, 상기 공정챔버의 높이방향을 따라 배치된 다수의 부음극부를 포함하는 금속촉매도핑장비.
- 제 9 항에 있어서,상기 다수의 부음극부 중 적어도 하나에 대해, 상기 기판과의 이격거리와 상기 기판에 투사되는 투사면적 중 적어도 하나가 조절되는 금속촉매도핑장비.
- 제 10 항에 있어서,상기 이격거리의 조절은, 상기 다수의 부음극부 중 적어도 하나가 상기 기판을 향하는 방향으로 전진하거나, 상기 기판을 향하는 방향과 반대방향으로 후진하여 이루어지는 금속촉매도핑장비.
- 제 10 항에 있어서,상기 투사면적의 조절은, 상기 다수의 부음극부 중 적어도 하나가 회전하여 이루어지는 금속촉매도핑장비.
- 제 10 항에 있어서,상기 다수의 부음극부에 대해, 상기 이격거리와 상기 투사면적 중 적어도 하나에 대한 조절이, 서로 독립적으로 이루어지는 금속촉매도핑장비.
- 제 1 항에 있어서,상기 다수의 챔버들은, 상기 캐리어가 연속적으로 이동하는 기판이송로를 따라 배치된 금속촉매도핑장비.
- 제 14 항에 있어서,상기 공정챔버는, 상기 음극부가 설치된 도핑부와, 상기 도핑부 양측에 각각 위치하여 상기 기판을 수용하는 제 1 및 2 예비부를 포함하는 금속촉매도핑장비.
- 제 1 항에 있어서,상기 음극부는, 비자석형태의 음극부인 금속촉매도핑장비.
- 금속촉매를 매개로 하여 비정질실리콘을 결정화하기 위해, 음극부를 갖는 공정챔버에서 상기 비정질실리콘이 형성된 기판 상에 금속촉매를 도핑하는 단계로서,상기 음극부와 상기 기판 사이에 위치하며, 상기 음극부가 상기 기판을 바라보는 면적을 조절하고, 선형운동을 하는 스크린을 포함하는 차폐부를 사용하고,상기 기판이, 상기 공정챔버의 높이방향을 따라 고정된 상기 음극부를 바라보며 상기 공정챔버의 길이방향으로 선형운동을 하여 상기 금속촉매를 도핑하는 금속촉매도핑방법.
- 제 17 항에 있어서,상기 음극부는, 하우징에 마련된 윈도우를 통해 상기 기판을 바라보는 금속촉매도핑방법.
- 삭제
- 제 18 항에 있어서,상기 스크린은, 상기 음극부와 상기 윈도우 사이 또는 상기 윈도우와 상기 기판 사이에 위치하는 금속촉매도핑방법.
- 제 18 항에 있어서,상기 차폐부는, 회전운동을 하는 판형상의 적어도 하나의 살을 포함하는 금속촉매도핑방법.
- 제 21 항에 있어서,상기 살은, 상기 윈도우에 마련된 금속촉매도핑방법.
- 제 18 항에 있어서,상기 윈도우에는 창살이 마련되는 금속촉매도핑방법.
- 제 18 항에 있어서,상기 하우징과 상기 차폐부 중 적어도 하나는, 접지되거나 전압을 인가받는 금속촉매도핑방법.
- 제 17 항에 있어서,상기 음극부는 상기 공정챔버의 높이방향을 따라 배치된 다수의 부음극부를 포함하는 금속촉매도핑방법.
- 제 25 항에 있어서,상기 다수의 부음극부 중 적어도 하나에 대해, 상기 기판과의 이격거리와 상기 기판에 투사되는 투사면적 중 적어도 하나를 조절하는 단계를 더욱 포함하는 금속촉매도핑방법.
- 제 26 항에 있어서,상기 이격거리를 조절하는 단계는, 상기 다수의 부음극부 중 적어도 하나가 상기 기판을 향하는 방향으로의 전진하거나, 상기 기판을 향하는 방향과 반대방향으로의 후진하여 이루어지는 금속촉매도핑방법.
- 제 26 항에 있어서,상기 투사면적을 조절하는 단계는, 상기 다수의 음극부 중 적어도 하나가 회전하여 이루어지는 금속촉매도핑방법.
- 제 26 항에 있어서,상기 다수의 부음극부에 대해, 상기 이격거리와 상기 투사면적 중 적어도 하나를, 서로 독립적으로 조절하는 금속촉매도핑방법.
- 제 17 항에 있어서,상기 기판은, 상기 공정챔버를 포함하는 다수의 챔버들이 배치되며 연속적으로 이어지는 기판이송로를 따라 이동하는 금속촉매도핑방법.
- 제 30 항에 있어서,상기 기판은, 상기 금속촉매를 도핑하기 전후 각각에, 상기 음극부가 설치된 공정챔버의 도핑부 양측에 위치하는 상기 공정챔버의 제 1 및 2 예비부에 수용되는 금속촉매도핑방법.
- 제 17 항에 있어서,상기 금속촉매가 도핑되는 기판은, 상기 비정질실리콘이 증착된 기판과, 상기 비정질실리콘 상에 상기 비정질실리콘을 부분적으로 노출하는 차단패턴이 형성된 기판과, 상기 비정질실리콘을 덮는 덮개층이 형셩된 기판 중 어느 하나인 금속촉매도핑방법.
- 기판 상에 비정질실리콘을 형성하는 단계와;음극부를 갖는 공정챔버에서 상기 비정질실리콘이 형성된 기판 상에 금속촉매를 도핑하는 단계로서,상기 음극부와 상기 기판 사이에 위치하며, 상기 음극부가 상기 기판을 바라보는 면적을 조절하는 차폐부를 사용하고,상기 기판이, 상기 공정챔버의 높이방향을 따라 고정된 상기 음극부를 바라보며 상기 공정챔버의 길이방향으로 선형운동을 하여 상기 금속촉매를 도핑하는 단계와;상기 금속촉매를 매개로 하여 상기 비정질실리콘을 결정화하는 단계와;상기 결정화된 실리콘과 함께 박막트랜지스터를 구성하는 게이트전극과 소스 및 드레인전극을 형성하는 단계와;상기 박막트랜지스터와 전기적으로 연결되며, 제 1 및 2 전극과 상기 제 1 및 2 전극 사이에 위치하는 유기발광물질을 포함하는 유기발광다이오드를 형성하는 단계를 포함하고,상기 차폐부는, 선형운동을 하는 스크린이나 회전운동을 하는 판형상의 적어도 하나의 살을 포함하는유기전계발광소자 제조방법.
- 제 33 항에 있어서,상기 음극부는, 하우징에 마련된 윈도우를 통해 상기 기판을 바라보는 유기전계발광소자 제조방법.
- 삭제
- 제 34 항에 있어서,상기 하우징과 상기 차폐부 중 적어도 하나는, 접지되거나 전압을 인가받는 유기전계발광소자 제조방법.
- 제 33 항에 있어서,상기 음극부는 상기 공정챔버의 높이방향을 따라 배치된 다수의 부음극부를 포함하는 유기전계발광소자 제조방법.
- 제 37 항에 있어서,상기 다수의 부음극부 중 적어도 하나에 대해, 상기 기판과의 이격거리와 상기 기판에 투사되는 투사면적 중 적어도 하나를 조절하는 단계를 더욱 포함하는 유기전계발광소자 제조방법.
- 기판 상에 비정질실리콘을 형성하는 단계와;음극부를 갖는 공정챔버에서 상기 비정질실리콘이 형성된 기판 상에 금속촉매를 도핑하는 단계로서,상기 음극부와 상기 기판 사이에 위치하며, 상기 음극부가 상기 기판을 바라보는 면적을 조절하는 차폐부를 사용하고,상기 기판이, 상기 공정챔버의 높이방향을 따라 고정된 상기 음극부를 바라보며 상기 공정챔버의 길이방향으로 선형운동을 하여 상기 금속촉매를 도핑하는 단계와;상기 금속촉매를 매개로 하여 상기 비정질실리콘을 결정화하는 단계와;상기 결정화된 실리콘과 함께 박막트랜지스터를 구성하는 게이트전극과 소스 및 드레인전극을 형성하는 단계와;상기 박막트랜지스터와 전기적으로 연결되는 화소전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 차폐부는, 선형운동을 하는 스크린이나 회전운동을 하는 판형상의 적어도 하나의 살을 포함하는액정표시장치 제조방법.
- 제 39 항에 있어서,상기 음극부는, 하우징에 마련된 윈도우를 통해 상기 기판을 바라보는 액정표시장치 제조방법.
- 삭제
- 제 40 항에 있어서,상기 하우징과 상기 차폐부 중 적어도 하나는, 접지되거나 전압을 인가받는 액정표시장치 제조방법.
- 제 39 항에 있어서,상기 음극부는 상기 공정챔버의 높이방향을 따라 배치된 다수의 부음극부를 포함하는 액정표시장치 제조방법.
- 제 43 항에 있어서,상기 다수의 부음극부 중 적어도 하나에 대해, 상기 기판과의 이격거리와 상기 기판에 투사되는 투사면적 중 적어도 하나를 조절하는 단계를 더욱 포함하는 액정표시장치 제조방법.
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