KR101003525B1 - 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 상기 삽입 링부재를 금형 내에서 금형의 내측면과 이격된 정위치에서 간단히 고정시킴으로써 상기 삽입 링부재의 외측 둘레 전체를 외피부재로 감싼 리테이너 링을 간단히 제조할 수 있게 하는 효과가 있다.
본 발명은 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링의 제조 시 불량률을 줄이고, 생산성 및 품질을 향상시키는 효과가 있다.
Description
도 2는 본 발명인 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법을 순차적으로 나타낸 도면
도 3은 본 발명에 사용되는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 핀의 일 예를 도시한 사시도
도 4는 본 발명에 사용되는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 핀의 다른 실시 예를 도시한 사시도
도 5는 본 발명의 핀 장착 단계를 도시한 단면도
도 6은 본 발명의 핀 장착 단계의 비교 예를 도시한 단면도
도 7은 본 발명의 링 배치 단계를 도시한 단면도
도 8은 도 2의 A-A' 단면도
도 9는 도 2의 B-B' 단면도
도 10은 도 2의 C-C'단면도
3 : 외피부재 10 : 리테이너 링 제조용 핀
11 : 끼움부 12 : 간격 유지 돌기부
13 : 안착부 14 : 핀 고정 돌기
100 : 핀 장착 단계 110 : 링 배치 단계
120 : 몰딩 단계 130 : 핀 절단 단계
140 : 후가공 단계
Claims (13)
- 복수의 핀 결합 구멍이 이격되게 형성된 삽입 링부재의 핀 결합 구멍에 삽입 링부재의 일 면으로 돌출되는 리테이너 링 제조용 핀을 결합시키는 핀 장착 단계와;
상기 리테이너 링 제조용 핀을 금형 내의 핀 장착 홈에 결합시켜 금형 내에서 상기 삽입 링부재의 둘레로 공간이 형성되게 상기 삽입 링부재를 배치시키는 링 배치 단계와;
상기 링 배치 단계를 거쳐 상기 삽입 링부재가 내부에 배치된 금형 내로 외피재를 주입하여 상기 삽입 링부재를 외피부재로 감싸는 몰딩 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법. - 청구항 1에 있어서,
상기 핀 장착 단계 전에 상기 복수의 핀 결합 구멍이 이격되게 형성된 삽입 링부재를 제조하는 링 몸체 제조 단계를 더 포함하며,
상기 링 몸체 제조 단계는 폐기되는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링에서 사용된 합성 수지재를 재활용하여 상기 삽입 링부재를 제조하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법. - 청구항 2에 있어서,
상기 링 몸체 제조 단계는 상기 삽입 링부재를 상기 몰딩 단계에서 상기 외피부재를 형성하는 외피재와 동일한 재질로 제조하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법. - 청구항 1에 있어서,
상기 리테이너 링 제조용 핀은 상기 핀 결합 구멍에 억지 끼움되는 끼움부와, 상기 끼움부의 상부로 돌출되어 상기 삽입 링부재의 일면에 돌출되는 간격 유지 돌기부를 포함하며,
상기 핀 장착 단계는 상기 삽입 링부재의 핀 결합 구멍에 상기 끼움부를 억지 끼움으로 결합시키는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법. - 청구항 4에 있어서,
상기 끼움부의 외주면에는 상기 삽입 링부재의 상부면에 안착되는 안착부가 돌출되어 상기 핀 장착 단계에서는 상기 안착부의 하부면이 상기 삽입 링부재의 상부면에 안착되게 상기 끼움부를 상기 핀 결합 구멍에 결합시키는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법. - 청구항 5에 있어서,
상기 안착부의 하부면과 상기 끼움부의 연결부분의 외주면에는 안착 가이드 홈이 형성되어 상기 핀 장착 단계에서는 상기 안착부의 하부면이 상기 삽입 링부재의 상부면에 밀착되게 안착됨으로써 상기 간격 유지 돌기부가 수직으로 돌출되게 배치되는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법. - 청구항 4에 있어서,
상기 리테이너 링 제조용 핀의 끼움부에는 상, 하로 관통된 핀 고정 구멍이 형성되며,
상기 몰딩 단계에서는 상기 핀 고정 구멍에 외피재가 채워져 상기 삽입 링부재의 외측 둘레를 감싸는 외피부재의 상, 하부면이 연결되는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법. - 청구항 7에 있어서,
상기 핀 고정 구멍은 상기 끼움부의 외주면으로 개방되게 형성되는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법. - 청구항 8에 있어서,
상기 끼움부의 외주면에는 상기 삽입 링부재의 상부면에 안착되는 안착부가 돌출되고, 상기 안착부의 하부면과 상기 끼움부의 연결부분의 외주면에는 안착 가이드 홈이 형성되며,
상기 안착 가이드 홈은 상기 핀 고정 구멍과 연통되게 형성되어 상기 몰딩 단계에서는 상기 핀 고정 구멍을 통해 외피재가 상기 안착 가이드 홈에 유입되어 채워지는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법. - 청구항 4에 있어서,
상기 끼움부의 하부에는 핀 고정 돌기가 돌출되어 상기 몰딩 단계에서는 상기 핀 결합 구멍의 하부에서 외피재가 상기 핀 고정 돌기를 감싸도록 채워지는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법. - 청구항 1에 있어서,
상기 몰딩 단계 후 금형 내에서 인출된 리테이너 링에서 상기 외피부재의 외부로 돌출된 상기 리테이너 링 제조용 핀을 제거하는 핀 절단 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법. - 청구항 11에 있어서,
상기 리테이너 링 제조용 핀은 상기 핀 결합 구멍에 억지 끼움되는 끼움부와, 상기 끼움부의 상부로 돌출되어 상기 삽입 링부재의 일면에 돌출되는 간격 유지 돌기부를 포함하며,
상기 간격 유지 돌기부의 하단부의 외주면에는 상기 외피부재의 두께에 대응되는 높이를 가지는 절단 가이드 홈이 형성되고,
상기 핀 절단 단계는 상기 절단 가이드 홈과 상기 간격 유지 돌기부의 경계선을 절단하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법. - 청구항 11에 있어서,
상기 핀 절단 단계 후에 상기 리테이너 링 제조용 핀이 삽입된 부분에 링 장착 홈을 형성하는 후가공 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조 방법.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101364089B1 (ko) * | 2012-06-26 | 2014-02-19 | (주)아이에스테크노 | 웨이퍼 연마용 리테이너 링 및 그 제조방법 |
KR20160058654A (ko) * | 2014-11-17 | 2016-05-25 | 유승열 | 화학기계적 연마장치용 리테이너 링 및 제조방법 |
WO2023120869A1 (ko) * | 2021-12-20 | 2023-06-29 | 주식회사 케이씨텍 | 고정밀 기판 연마 시스템 |
Families Citing this family (8)
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---|---|---|---|---|
KR101274006B1 (ko) * | 2012-08-29 | 2013-06-12 | 시너스(주) | 화학 기계적 연마장치용 리테이너 링 구조물 및 그 제조방법 |
KR101328411B1 (ko) * | 2012-11-05 | 2013-11-13 | 한상효 | 웨이퍼 연마용 리테이너 링 제조 방법 |
US20150050869A1 (en) * | 2013-08-13 | 2015-02-19 | Cnus Co., Ltd. | Retainer ring structure for chemical-mechanical polishing machine and method for manufacturing the same |
JP6252734B2 (ja) * | 2013-08-14 | 2017-12-27 | シーエヌユーエス カンパニー,リミテッド | 化学機械的研磨装置用リテーナリング構造物およびその製造方法 |
CN104416455A (zh) * | 2013-08-20 | 2015-03-18 | Cnus株式会社 | 化学机械抛光装置用扣环结构物及其制造方法 |
US20150283668A1 (en) * | 2014-04-04 | 2015-10-08 | SPM Technology, Inc. | Retaining ring assembly with inserts |
US9744640B2 (en) | 2015-10-16 | 2017-08-29 | Applied Materials, Inc. | Corrosion resistant retaining rings |
US11565367B2 (en) * | 2020-07-09 | 2023-01-31 | Applied Materials, Inc. | Retaining ring |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200242842Y1 (ko) | 2001-05-10 | 2001-10-15 | 삼성전자 주식회사 | 반도체제조장치에 사용되는 리테이너 링 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3402719B2 (ja) * | 1993-12-29 | 2003-05-06 | ニチアス株式会社 | フッ素樹脂を表面材とする板状インサート成形体の製造法 |
WO2006114854A1 (ja) * | 2005-04-12 | 2006-11-02 | Nippon Seimitsu Denshi Co., Ltd. | Cmp装置用リテーナリングとその製造方法、および、cmp装置 |
KR200395968Y1 (ko) * | 2005-06-16 | 2005-09-15 | 주식회사 윌비에스엔티 | 화학적기계 연마장치의 리테이너 링 |
KR100764040B1 (ko) * | 2006-05-11 | 2007-10-12 | 주식회사 윌비에스엔티 | 화학적기계 연마장치의 리테이너 링 |
KR20080028392A (ko) * | 2008-03-11 | 2008-03-31 | 시너스(주) | 화학기계적 연마장치용 리테이너 링 구조물 및 그 제조방법 |
-
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200242842Y1 (ko) | 2001-05-10 | 2001-10-15 | 삼성전자 주식회사 | 반도체제조장치에 사용되는 리테이너 링 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101364089B1 (ko) * | 2012-06-26 | 2014-02-19 | (주)아이에스테크노 | 웨이퍼 연마용 리테이너 링 및 그 제조방법 |
KR20160058654A (ko) * | 2014-11-17 | 2016-05-25 | 유승열 | 화학기계적 연마장치용 리테이너 링 및 제조방법 |
KR102087449B1 (ko) * | 2014-11-17 | 2020-03-10 | 유승열 | 화학기계적 연마장치용 리테이너 링 및 제조방법 |
WO2023120869A1 (ko) * | 2021-12-20 | 2023-06-29 | 주식회사 케이씨텍 | 고정밀 기판 연마 시스템 |
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