KR101000904B1 - 웨이퍼 검사용 컨베이어 장치 - Google Patents
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Abstract
웨이퍼 검사용 컨베이어 장치를 구성함에 있어서,
구동모터(10)와 연결되는 구동풀리(71); 상기 구동풀리(71) 상측에서 회전 구동되는 다수의 하부풀리(72); 상기 하부풀리(72) 상측에서 회전 구동되는 다수의 상부풀리(73); 상기 상부풀리(73)의 하방에 배치되어 회전 구동되는 다수의 가이드풀리(74,75); 및
웨이퍼(50)를 이송시키는 컨베이어 벨트(40);를 포함하고,
상기 가이드풀리(74,75)는 백라이트유닛(30)의 가장자리(E) 하방 영역에 형성되는 것을 특징으로 한다.
Description
도 2는 본 발명이 적용되는 웨이퍼 프린트기 일부를 도시한 사시도.
도 3은 본 발명의 요부를 발췌하여 도시한 개략적인 측면 구성도.
도 4는 도 2의 평면 구성도.
도 5는 도 2의 정면 구성도.
도 6은 본 발명의 바람직한 일실시 예에 의하여 구성되는 컨베이어 장치 사용 상태도.
20: 지지프레임 30: 백라이트유닛
30a: 중공부 40: 컨베이어벨트
50: 웨이퍼 71: 구동풀리
72: 하부풀리 73: 상부풀리
74,75: 가이드풀리
W: 웨이퍼
B: 벨트
E: 백라이트유닛의 가장자리 영역
Claims (2)
- 웨이퍼 검사용 컨베이어 장치를 구성함에 있어서,
구동모터(10)와 연결되는 구동풀리(71); 상기 구동풀리(71) 상측에서 회전 구동되는 다수의 하부풀리(72); 상기 하부풀리(72) 상측에서 회전 구동되는 다수의 상부풀리(73); 상기 상부풀리(73)의 하방에 배치되어 회전 구동되는 다수의 가이드풀리(74,75); 및
웨이퍼(50)를 이송시키는 컨베이어 벨트(40);를 포함하고,
상기 가이드풀리(74,75)는 백라이트유닛(30)의 가장자리(E) 하방 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 컨베이어 장치.
- 청구항 1에 있어서,
상기 상부풀리(73)는 백라이트유닛(30)의 연장선상보다 상향 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 컨베이어 장치.
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KR1020100096137A KR101000904B1 (ko) | 2010-10-01 | 2010-10-01 | 웨이퍼 검사용 컨베이어 장치 |
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- 2010-10-01 KR KR1020100096137A patent/KR101000904B1/ko active IP Right Grant
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