KR100994233B1 - 셀 장착 장치 세트 - Google Patents

셀 장착 장치 세트 Download PDF

Info

Publication number
KR100994233B1
KR100994233B1 KR1020040024349A KR20040024349A KR100994233B1 KR 100994233 B1 KR100994233 B1 KR 100994233B1 KR 1020040024349 A KR1020040024349 A KR 1020040024349A KR 20040024349 A KR20040024349 A KR 20040024349A KR 100994233 B1 KR100994233 B1 KR 100994233B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cell
guide
nozzle
circumferential surface
mounting
Prior art date
Application number
KR1020040024349A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050099161A (ko
Inventor
장철영
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020040024349A priority Critical patent/KR100994233B1/ko
Publication of KR20050099161A publication Critical patent/KR20050099161A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100994233B1 publication Critical patent/KR100994233B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/243—Crucibles for source material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/12—Organic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/164—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using vacuum deposition

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 유기 전계 발광 소자의 증착용 셀의 장착 장치 세트에 관한 것으로서, 특히 복수개의 셀 장착부가 형성된 리볼버(revolver)에 복수개의 셀이 동시에 삽입되는 것이 가능하도록 하고, 삽입시에 셀 커버의 이탈 및 변형을 방지하는 셀 장착 장치 세트에 관한 것이다. 상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 셀 장착 장치 세트는, 증착 재료가 내부에 수용된 원통형 셀이 삽입되는 복수개의 셀 장착부가 형성되고, 상기 셀 장착부의 내부에는 상기 셀을 소정 거리만큼 이격된 상태로 감싸는 히터부가 각각 형성된 리볼버에 상기 셀을 장착하기 위해서, 상기 셀의 상부에 형성된 개구를 폐쇄하고, 중심부에 형성된 노즐을 통해 기화된 증착 재료가 배출되는 노즐부; 중심부에 기화된 증착 재료의 배출부가 형성되고 외주면에 나사산이 형성된 원판형 몸체부, 상기 몸체부로부터 수직으로 돌출되어 상기 노즐부를 수용하는 공간을 형성하는 제 1 가이드부 및 상기 제 1 가이드부로부터 소정 거리만큼 이격된 상태로 상기 몸체부로부터 수직으로 돌출되어 상기 제 1 가이드부와의 사이에 상기 히터부를 수용하는 공간을 형성하는 제 2 가이드부를 포함하는 셀 커버; 및 상기 셀 커버의 나사산과 대응되는 나사산이 내주면에 형성되어 상기 셀 커버와 나사 결합하는 셀 고정부가 상기 셀 장착부와 대응되도록 복수개가 형성된 원판형 지그를 포함하는 것을 특징으로 한다.
유기 전계 발광 소자, 리볼버, 셀

Description

셀 장착 장치 세트{Apparatus for setting cells}
도 1은 리볼버에 장착된 종래의 유기 전계 발광 소자의 증착용 셀의 분해사시도.
도 2는 종래의 유기 전계 발광 소자의 증착용 셀이 장착된 셀 장착부의 단면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 셀 장착 장치 세트의 분해 사시도.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 셀 장착 장치 세트 중 셀 커버가 결합된 셀에 대한 분해 사시도.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 셀 장착 장치 세트 중 셀 고정부에 대한 단면도.
도 6은 도 5의 VI부분에 대한 확대 단면도.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 셀 장착 장치 세트에 의한 셀 장착 방법에 대한 블록 선도.
본 발명은 유기 전계 발광 소자의 증착용 셀의 장착 장치 세트에 관한 것으로서, 특히 복수개의 셀 장착부가 형성된 리볼버(revolver)에 복수개의 셀이 동시에 삽입되는 것이 가능하도록 하고, 삽입시에 셀 커버의 이탈 및 변형을 방지하는 셀 장착 장치 세트에 관한 것이다.
도 1은 리볼버에 장착된 종래의 유기 전계 발광 소자의 증착용 셀의 분해 사시도이다. 도 2는 종래의 유기 전계 발광 소자의 증착용 셀이 장착된 셀 장착부의 단면도이다.
셀(1)은 노즐부(2) 및 셀 커버(3)와 차례로 결합한 후에 리볼버(10)에 장착된다. 상부에 개구(1a)가 형성된 원통형 셀(1)의 내부에는 증착 재료(M)가 수용된다. 리볼버(10)는 진공 챔버 내에서 중심축(13)을 중심으로 회전함으로서 증착용 셀(1)을 교환하는 기능을 수행한다. 또한, 중심부에 노즐(2a)이 형성된 노즐부(2)는 셀(1)의 상부에 결합된다.
증착 중 노즐(2a)의 온도 편차를 줄이고 고온을 유지하기 위해 셀(1)의 상부에 설치되는 셀 커버(3)는 중심부에 증착 재료 배출부(3a)가 형성된 몸체부(3b), 몸체부(3b)로부터 돌출된 제 1 가이드부(3c) 및 제 2 가이드부(3d)로 구성된다. 제 1 가이드부(3c)에 의해 몸체부(3b)에 형성된 공간에는 노즐부(2)가 수용되며, 제 1 가이드부(3c) 및 제 2 가이드부(3d)에 의해 형성된 공간에는 리볼버(10)의 셀 장착부(11) 내부에 설치된 히터부(12)가 수용된다.
노즐부(2) 및 셀 커버(3)와 차례로 결합된 셀(1)은 리볼버(10)의 셀 장착부(11)에 각각 삽입된다. 셀 장착부(11) 내부에는 셀(1)을 소정 거리만큼 이격 된 상태로 감싸는 스프링 형태의 히터부(12)가 설치되어 있으며, 제 1 가이드부(3c) 및 제 2 가이드부(3d)에 의해 형성된 공간으로 삽입된다. 이 공간은 히터부(12)의 열방출을 억제하기 위하여 히터부(12)가 빈틈없이 삽입되는 간격으로 설정된다.
그러나, 셀 커버(3)와 노즐부(2) 간의 결합은 억지끼워맞춤에 의한 결합이므로 결합 작업이 용이하지 않다는 문제점이 존재하며, 장착 후에도 노즐부(2)가 셀 커버(3)로부터 이탈되는 현상이 발생된다.
또한, 리볼버(10)의 셀 장착부(11)마다 셀(1)을 각각 장착해야 하므로 작업시간이 오래 걸리는 문제점이 존재하며, 셀 커버(3)의 제 1 가이드부(3c) 및 제 2 가이드부(3d)에 변형이 생기면 히터부(12)와의 결합이 어렵게 되는 문제점이 존재한다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 셀과 셀 커버 간의 결합 작업이 용이하고, 결합 후에도 쉽게 분리되지 않도록 하며, 복수개의 셀이 리볼버의 셀 장착부에 변형없이 동시에 삽입되도록 하는 셀 장착 장치 세트를 제공하는데 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 셀 장착 장치 세트는, 증착 재료가 내부에 수용된 원통형 셀이 삽입되는 복수개의 셀 장착부가 형성되고, 상기 셀 장착부의 내부에는 상기 셀을 소정 거리만큼 이격된 상태로 감싸는 히터부가 각각 형성된 리볼버에 상기 셀을 장착하기 위해서, 상기 셀의 상부에 형성된 개 구를 폐쇄하고, 중심부에 형성된 노즐을 통해 기화된 증착 재료가 배출되는 노즐부; 중심부에 기화된 증착 재료의 배출부가 형성되고 외주면에 나사산이 형성된 원판형 몸체부, 상기 몸체부로부터 수직으로 돌출되어 상기 노즐부를 수용하는 공간을 형성하는 제 1 가이드부 및 상기 제 1 가이드부로부터 소정 거리만큼 이격된 상태로 상기 몸체부로부터 수직으로 돌출되어 상기 제 1 가이드부와의 사이에 상기 히터부를 수용하는 공간을 형성하는 제 2 가이드부를 포함하는 셀 커버; 및 상기 셀 커버의 나사산과 대응되는 나사산이 내주면에 형성되어 상기 셀 커버와 나사 결합하는 셀 고정부가 상기 셀 장착부와 대응되도록 복수개가 형성된 원판형 지그를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 셀 커버는 상기 제 2 가이드부가 상기 몸체부의 가장자리에 형성됨으로서 상기 제 2 가이드부의 외면에 상기 몸체부의 나사산이 연장되어 형성된 것이 바람직하고, 상기 제 1 가이드부 및 제 2 가이드부 사이의 간격이 상기 몸체부를 향하여 감소되는 것이 더욱 바람직하다.
상기 셀 장착 장치 세트는 상기 노즐부의 외주면에는 나사산이 형성되고, 상기 제 1 가이드부의 내주면에도 나사산이 형성되어 상호간에 나사 결합이 되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 셀 장착 장치 세트에 의한 셀 장착 방법은 증착 재료가 내부에 수용된 원통형 셀이 삽입되는 복수개의 셀 장착부가 형성된 리볼버에 상기 셀을 장착하기 위해서 (a) 중심부에 노즐이 형성된 노즐부를 상기 셀의 상부에 형성된 개구에 결합하는 단계; (b) 중심부에 기 화된 증착 재료의 배출구가 형성된 원통형 몸체부로부터 수직으로 돌출된 제 1 가이드부에 의해 상기 노즐부가 수용되는 공간이 형성된 셀 커버를 상기 노즐부에 결합하는 단계; (c) 상기 셀 장착부와 대응되도록 원판형 지그에 복수개가 형성된 셀 고정부에 상기 셀 커버를 결합하되, 상기 셀 커버의 외주면에 형성된 나사산과 상기 셀 고정부의 내주면에 형성된 나사산에 의해 나사 결합을 하는 단계; (d) 상기 리볼버에 상기 지그를 결합하여 각 셀을 상기 셀 장착부에 동시에 삽입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 (b) 단계는 상기 노즐부의 외주면에 형성된 나사산과 상기 제 1 가이드부의 내주면에 형성된 나사산에 의하여 나사 결합하는 것이 바람직하다.
이하 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 셀 장착 장치 세트의 분해사시도이다. 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 셀 장착 장치 세트 중 셀 커버가 결합된 셀에 대한 분해 사시도이다. 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 셀 장착 장치 세트 중 셀 고정부에 대한 단면도이다.
본 실시예에 따른 셀 장착 장치 세트는 셀(101)과 결합되는 노즐부(102), 노즐부(102)와 결합되는 셀 커버(103) 및 셀 커버(103)와 결합되는 지그(120)로 구성된다.
상부에 개구(101a)가 형성된 원통형 셀(101)은 내부에 증착 재료(M)를 수용한다.
노즐부(102)는 중심부에 노즐(102a)이 형성되어 셀(101)의 내부에서 기화된 증착 재료가 배출되도록 하며, 셀(101)과 결합하여 셀(101)의 개구(101a)를 폐쇄한다. 노즐부(102)의 외주면(102b)에는 셀 커버(103)와 나사 결합되기 위한 나사산이 형성된다. 또한, 셀(101)과 노즐부(102)는 상호 간에 나사 결합을 하는 것이 바람직하다.
노즐부(102)와 결합하는 셀 커버(103)는 몸체부(103b), 제 1 가이드부(103c) 및 제 2 가이드부(103d)로 구성된다.
몸체부(103b)는 노즐(102a)로부터 배출된 기화된 증착 재료(M)를 외부로 배출하기 위한 배출부(103a)가 중심부에 형성된 원판형 부재이다. 몸체부(103b)의 외주면(103e)에는 지그(120)의 셀 고정부(121)와 결합되기 위한 나사산이 형성된다.
제 1 가이드부(103c)는 몸체부(103b)로부터 수직으로 돌출되며, 제 1 가이드부(103c)에 의해 원통형으로 둘러싸인 공간에는 노즐부(102)가 수용된다. 제 1 가이드부(103c)의 내주면에는 노즐부(102)의 외주면(102b)에 형성된 나사산과 대응되는 나사산이 형성되어 노즐부(102)와 셀 커버(103)는 상호 간에 나사 결합을 한다.
제 2 가이드부(103d)는 제 1 가이드부(103c)로부터 소정 거리만큼 이격된 상태로 몸체부(103b)로부터 제 1 가이드부(103c)와 동일한 방향으로 돌출된다. 제 1 가이드부(103c) 및 제 2 가이드부(103d)에 의해 형성된 공간(이하 편의상 "히터부 공간"이라 함; 104)에는 리볼버(110)의 셀 장착부(111) 내부에 설치된 히터부(112)가 수용된다.
히터부 공간(104)은 몸체부(103b)를 향하여 제 1 가이드부(103c) 및 제 2 가 이드부(103d) 사이의 간격이 감소되는 테이퍼된 형상이 바람직하다. 이는 도 6에 도시된 바와 같이, 장착 과정에서의 충돌 등에 따른 셀 커버(103)의 변형없이 히터부(112)가 히터부 공간(104)에 용이하게 삽입되도록 한다.
제 2 가이드부(103d)는 몸체부(103b)의 가장자리로부터 돌출되어 몸체부(103b)의 외주면(103e)에 형성된 나사산이 제 2 가이드부(103d)의 외주면까지 연속적으로 연장되는 것이 바람직하다. 이는 셀 고정부(121)와의 결합에 의해 셀 고정부(121)가 제 2 가이드부(103d)를 지지하도록 함으로서 변형을 방지한다.
지그(120)는 원판형 부재로서 상면과 하면을 연결하는 원통형 공간인 셀 고정부(121)가 복수개 형성된다. 셀 고정부(121)들은 리볼버(110)의 셀 장착부들(111)과 대응되도록 배열된다.
셀 고정부(121)는 셀 커버(103)의 외주면(103e)에 형성된 나사산에 대응되는 나사산이 내주면에 형성되어 지그(120)와 셀 커버(103) 상호간에는 나사 결합이 된다.
나사 결합되는 셀 커버(103)의 결합 깊이를 조정하기 위해 셀 고정부(121)의 직경보다 작은 직경의 턱이 셀 고정부(121)의 상부에 형성되어 모든 셀(101)들이 동일한 깊이로 결합되도록 한다.
복수개의 셀(101)이 고정된 지그(120)는 리볼버(110)에 장착되며, 모든 셀(101)이 각 셀 장착부(111)마다 동시에 장착이 된다.
이하에서는 도 7을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 셀 장착 장치 세트에 의한 셀 장착 방법을 상세히 설명한다.
셀(101)은 노즐부(102)와 결합되고(S100), 노즐부(102)는 셀 커버(103)와 나사 결합된다. 나사 결합은 셀 커버(103)의 제 1 가이드부(103c)의 내주면에 형성된 나사산과 노즐부(102)의 외주면(102b)에 형성된 나사산에 의해 이루어 진다(S110).
셀 커버(103)는 지그(120)의 셀 고정부(121)와 나사 결합되며, 나사 결합은 몸체부(103b) 및 제 2 가이드부(103d)의 외주면(103e)에 형성된 나사산과 셀 고정부(121)의 내주면에 형성된 나사산에 의해 이루어 진다(S120).
셀(101)이 고정된 지그(120)는 리볼버(110)에 장착되며, 각 셀 장착부(111)마다 동시에 셀(101)이 장착된다(S130).
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 셀 장착 장치 세트는 노즐부와 셀 커버 간에 나사 결합을 함으로서 결합 작업을 용이하게 하고, 결합 후에도 쉽게 분리되지 않게 하는 효과를 갖는다.
또한, 복수개의 셀을 지그에 나사 결합시킨 후 리볼버에 동시에 장착시킴으로서 셀 장착 시간을 단축시키며, 셀 장착의 정확도를 높이고, 히터부와 제 2 가이드부 간의 충돌에 의한 변형 및 결합 불량을 방지하는 효과를 갖는다.

Claims (4)

  1. 증착 재료가 내부에 수용된 원통형 셀이 삽입되는 복수개의 셀 장착부가 형성되고, 상기 셀 장착부의 내부에는 상기 셀을 소정 거리만큼 이격된 상태로 감싸는 히터부가 각각 형성된 리볼버에 상기 셀을 장착하기 위한 셀 장착 장치 세트에 있어서,
    상기 셀의 상부에 형성된 개구를 폐쇄하고, 중심부에 형성된 노즐을 통해 기화된 증착 재료가 배출되는 노즐부;
    중심부에 기화된 증착 재료의 배출부가 형성되고 외주면에 나사산이 형성된 원판형 몸체부, 상기 몸체부로부터 수직으로 돌출되어 상기 노즐부를 수용하는 공간을 형성하는 제 1 가이드부 및 상기 제 1 가이드부로부터 소정 거리만큼 이격된 상태로 상기 몸체부로부터 수직으로 돌출되어 상기 제 1 가이드부와의 사이에 상기 히터부를 수용하는 공간을 형성하는 제 2 가이드부를 포함하는 셀 커버; 및
    상기 셀 커버의 나사산과 대응되는 나사산이 내주면에 형성되어 상기 셀 커버와 나사 결합하는 셀 고정부가 상기 셀 장착부와 대응되도록 복수개가 형성된 원판형 지그를 포함하는 것을 특징으로 하는 셀 장착 장치 세트.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 셀 커버는
    상기 제 2 가이드부가 상기 몸체부의 가장자리에 형성됨으로서 상기 제 2 가이드부의 외주면에 상기 몸체부의 나사산이 연장되어 형성된 것을 특징으로 하는 셀 장착 장치 세트.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 셀 커버는
    상기 제 1 가이드부 및 제 2 가이드부 사이의 간격이 상기 몸체부를 향하여 감소되는 것을 특징으로 하는 셀 장착 장치 세트.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 셀 장착 장치 세트는
    상기 노즐부의 외주면에는 나사산이 형성되고, 상기 제 1 가이드부의 내주면에도 나사산이 형성되어 상호간에 나사 결합이 되는 것을 특징으로 하는 셀 장착 장치 세트.
KR1020040024349A 2004-04-09 2004-04-09 셀 장착 장치 세트 KR100994233B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040024349A KR100994233B1 (ko) 2004-04-09 2004-04-09 셀 장착 장치 세트

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040024349A KR100994233B1 (ko) 2004-04-09 2004-04-09 셀 장착 장치 세트

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050099161A KR20050099161A (ko) 2005-10-13
KR100994233B1 true KR100994233B1 (ko) 2010-11-12

Family

ID=37278359

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040024349A KR100994233B1 (ko) 2004-04-09 2004-04-09 셀 장착 장치 세트

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100994233B1 (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003502494A (ja) 1998-11-12 2003-01-21 フレックス プロダクツ インコーポレイテッド 直線開口蒸着装置および被覆方法
JP2003293121A (ja) 2002-04-05 2003-10-15 Cluster Ion Beam Technology Kk 蒸着材料供給手段を備えた蒸着用坩堝

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003502494A (ja) 1998-11-12 2003-01-21 フレックス プロダクツ インコーポレイテッド 直線開口蒸着装置および被覆方法
JP2003293121A (ja) 2002-04-05 2003-10-15 Cluster Ion Beam Technology Kk 蒸着材料供給手段を備えた蒸着用坩堝

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050099161A (ko) 2005-10-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20070151517A1 (en) Heater for depositing thin film
CN104205309A (zh) 气体供给装置和基板处理装置
US20110146579A1 (en) Linear evaporation source and deposition apparatus having the same
US10465733B2 (en) Encased nut
KR20140085858A (ko) 박막 증착장치의 선형 증발원
KR100994233B1 (ko) 셀 장착 장치 세트
KR102309893B1 (ko) 증착속도 측정장치
US20190027425A1 (en) Configurable mounting hole structure for flush mount integration with vapor chamber forming plates
JP6291696B2 (ja) 蒸着装置および蒸発源
US20080041356A1 (en) Steam Discharge Device for Pressure Cooker
KR101711588B1 (ko) 증발원
CN106257637A (zh) 紧固组件及具有其的基板处理装置
KR100979383B1 (ko) 스퍼터링 장치
US6467427B1 (en) Evaporation source material supplier
KR20100118849A (ko) 증발 장치 및 이를 구비하는 진공 증착 장치
KR20100108086A (ko) 증발 장치 및 이를 구비하는 진공 증착 장치
KR102196539B1 (ko) 금속 증착유닛
KR102222576B1 (ko) 증착물질 공급 장치 및 이를 구비한 증착 장치
CN116018424A (zh) 沉积装置
KR20060136047A (ko) 스퍼터링 장치
KR100809930B1 (ko) 증착원
JP4551996B2 (ja) 蒸発装置
US20180340918A1 (en) Column attaching method and heating device
US10365060B2 (en) Weapon barrel mounting
KR20070049866A (ko) 정전척 조립용 지그

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130930

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141021

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151028

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161012

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171016

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181015

Year of fee payment: 9