KR100989857B1 - 약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치 - Google Patents

약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100989857B1
KR100989857B1 KR1020100038674A KR20100038674A KR100989857B1 KR 100989857 B1 KR100989857 B1 KR 100989857B1 KR 1020100038674 A KR1020100038674 A KR 1020100038674A KR 20100038674 A KR20100038674 A KR 20100038674A KR 100989857 B1 KR100989857 B1 KR 100989857B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chemical liquid
image data
chemical
information
injection
Prior art date
Application number
KR1020100038674A
Other languages
English (en)
Inventor
홍순석
황명환
김동주
Original Assignee
(주)에스티글로벌
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)에스티글로벌 filed Critical (주)에스티글로벌
Priority to KR1020100038674A priority Critical patent/KR100989857B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100989857B1 publication Critical patent/KR100989857B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/7085—Detection arrangement, e.g. detectors of apparatus alignment possibly mounted on wafers, exposure dose, photo-cleaning flux, stray light, thermal load
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
    • H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
    • H01L21/0274—Photolithographic processes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

본 발명은 약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 씨씨디(CCD) 등의 이미지센서를 이용하여 약액이 피도포체(被塗布體)에 도포되는 상태 및 도포가 완료된 상태 등을 모니터링하여 약액이 비정상적으로 도포된 피도포체가 후속공정으로 투입되는 것을 미연에 방지할 수 있는 약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 약액 도포 상태 모니터링 방법은 약액 도포 상태 모니터링 장치에서 수행되고, 약액의 분사가 개시되고, 구비된 제1 카메라부에 의하여 제1 영상데이터가 순차적으로 생성되는 단계 및 순차적으로 생성된 제1 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, 씨씨디 등의 이미지센서(Image sensor)를 통하여 촬상된 이미지데이터를 분석하여 약액이 피도포체에 분사되는 상태 및 분사되어 도포가 완료된 상태를 자동으로 모니터링할 수 있다.

Description

약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치{Method for monitoring liquid dispensing state and device thereof}
본 발명은 약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 씨씨디(CCD) 등의 이미지센서를 이용하여 약액이 피도포체(被塗布體)에 도포되는 상태 및 도포가 완료된 상태 등을 모니터링하여 약액이 비정상적으로 도포된 피도포체가 후속공정으로 투입되는 것을 미연에 방지할 수 있는 약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조용 웨이퍼(wafer) 상에 형성되는 집적회로의 회로 요소에 대응하는 패턴은 사진식각 공정(photolithography)에 의하여 이루어진다. 이러한 사진식각 공정은 웨이퍼 상에 포토레지스트(photoresist, PR) 층이 형성되도록 포토레지스트를 도포하는 도포공정, 웨이퍼에 도포된 포토레지스트 층을 회로패턴이 형성된 마스크를 통해 노광하여 회로패턴을 현상하는 사진공정 및 포토레지스트 패턴을 건식 또는 습식방법을 통하여 식각함으로써 원하는 패턴을 반도체 웨이퍼 상에 형성하는 식각공정을 포함한다.
그리고, 반도체 제조용 웨이퍼 상에 감광액이나 현상액을 도포하는 장치로 다양한 설비들이 있으나, 원심력을 이용하여 웨이퍼의 전면에 고르게 감광액 또는 현상액 등(이하, '약액'이라 통칭함)을 도포하는 도포 장치가 일반적으로 사용된다. 즉, 반도체 제조용 웨이퍼 상에 일정량의 약액을 낙하시킴과 동시에 웨이퍼가 올려진 척(chuck)이 고속으로 회전되면 원심력으로 인하여 약액이 웨이퍼의 상면에 일정 두께로 고르게 도포되는 것이다.
이러한 회전 도포 방식(즉, 웨이퍼를 회전시켜 약액을 고르게 도포하는 방식)에 의한 도포장치는 일반적으로 스피너(Spinner) 또는 스핀 코터(Spin coater)라고 불리며, 웨이퍼가 올려지는 척, 웨이퍼 상에 약액을 분사하는 노즐(nozzle)을 포함한다.
그리고, 노즐을 통하여 웨이퍼 상에 일정한 약액이 분사된 이후에는 약액을 노즐로 제공하기 위하여 동작되는 펌프(pump)의 작동이 중지되고, 약액이 흘러내리는 것을 방지하기 위하여 후방흡입밸브가 작동되어 약액이 노즐팁 내측으로 약간 흡입된다. 즉, 약액의 분사가 완료된 후 노즐팁(nozzle tip)에 남아있는 약액이 웨이퍼로 흘러내리는 것을 방지하기 위하여 후방흡입밸브가 작동되면 노즐팁 내에 구비된 약액 이송관에는 음압이 발생되어 약액이 노즐팁 내측으로 약간 흡입되게 된다.
그런데, 후방흡입밸브가 비정상적으로 동작되게 되면 약액의 흡입이 제대로 이뤄지지 않아 약액이 노즐팁 단부에서 외부로 볼록하게 튀어나오게 되고, 이에 따라 웨이퍼에 약액 도포가 완료된 후에 약액이 웨이퍼에 낙하될 우려가 있다. 또는 약액 내의 버블(bubble)에 의하여 약액이 노즐팁에서 흘러내려 웨이퍼에 낙하될 우려도 있다. 이는 웨이퍼의 코팅막 두께를 불균일하게 하고, 이러한 상태로 노광공정이 이루어진 웨이퍼는 패턴에 있어서 선폭의 변동이 심화되어 불량품 발생의 원인이 된다.
또한, 웨이퍼에 도포된 약액의 용량이 부족하거나, 약액 내의 거품에 의하여 낙하된 약액의 용량이 부족하게 되어나, 노즐팁의 잔여 이물질에 의하여 약액이 노즐팁으로부터 수직 낙하하지 않게 되면, 웨이퍼에 약액이 균일하게 도포될 수 없고, 이에 따라 불량품 발생의 원인이 된다.
한편, 위에서는 반도체 제조 공정을 예로 하여 설명하였으나, 티에프티 엘씨디(TFT LCD, Thin Film Transistor Liquid Crystal Display) 제조 공정에도 포토레지스터를 도포하는 사진식각 공정(photolithography)이 수행되며, 단지 반도체 제조 공정에서는 피도포체(被塗布體, 즉, 약액이 도포되는 물체)가 웨이퍼이나 티에프티 엘씨디 제조 공정에서는 피도포체가 유리인 점이 다를 뿐이다. 따라서, 티에프티 엘씨디 제조 공정에서도 상술한 도포공정에서의 불량품 발생 원인이 동일 또는 유사하게 존재하며, 이는 감광성 잉크가 도포되는 공정이 포함된 피씨비(PCB, Printed Circuit Board, 인쇄 회로 기판) 제조공정, 엘이디(LED, light emitting diode) 제조 공정 등에서도 마찬가지이다.
이에 따라, 감광액, 현상액, 감광잉크, 유리수지, 폴리이미드(polyimide) 등의 약액이 도포되는 공정에서 당해 약액의 도포 상태를 자동으로 모니터링 할 수 있는 장치의 개발이 요구된다.
상술한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 씨씨디 등의 이미지센서(Image sensor)를 통하여 촬상된 이미지데이터를 분석하여 노즐팁에서 약액이 분사되는 상태 및 약액이 피도포체에 분사 완료된 상태를 자동으로 모니터링할 수 있는 약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치를 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 분사된 약액의 용량 및 약액 도포가 완료된 상태를 자동으로 모니터링하여 약액이 피도포체에 정상적으로 도포되었는지를 자동으로 모니터링할 수 있는 약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 약액 도포 상태 모니터링 장치에서 약액의 도포 상태를 모니터링하는 방법에 있어서, 약액도포공정이 개시되고, 구비된 제1 카메라부에 의하여 제1 영상데이터가 순차적으로 생성되는 단계; 및 순차적으로 생성된 상기 제1 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계;를 포함하는 약액 도포 상태 모니터링 방법이 제공된다.
여기서, 상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계는, 상기 약액의 분사가 개시되기 전에 미리 설정된 방법에 의하여 상기 제1 영상데이터에 상기 약액에 상응하는 픽셀이 포함되었는지 여부를 판단하는 단계; 및 상기 제1 영상데이터에 상기 약액에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이상 포함되어 있다면 상기 약액의 도포가 비정상적으로 이뤄지고 있다고 판단하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계는, 상기 약액의 분사가 개시된 후 n번째 생성된 상기 제1 영상데이터가 상기 약액의 분사가 개시되기 이전에 생성된 상기 제1 영상데이터와 동일하면 상기 약액의 도포가 비정상적으로 이뤄진 것으로 판단하는 단계;를 포함하되,상기 n은 자연수일 수 있다.
또한, 상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계는, 상기 약액의 분사가 개시된 후 생성된 제1 영상데이터에서 상기 약액에 상응하는 약액픽셀을 검출하는 단계; 및 상기 약액픽셀 중 수평 좌표값이 상이한 상기 약액픽셀의 개수가 미리 설정된 개수 이상이면 상기 약액의 도포가 비정상적으로 이뤄진 것으로 판단하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계는, 상기 약액의 분사가 개시된 후 생성된 제1 영상데이터와 미리 설정된 정상분사기준데이터를 좌표값이 동일한 픽셀 단위로 비교하는 단계; 및 상기 비교 결과 정보가 상이한 픽셀의 개수가 미리 설정된 개수 이상이면 상기 약액의 도포가 비정상적으로 이뤄진 것으로 판단하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계는, 상기 약액의 분사가 이루어진 후, 상기 제1 영상데이터와 미리 설정된 제1 기준데이터를 비교하는 단계; 및 상기 제1 영상데이터와 상기 제1 기준데이터의 오차 범위가 미리 설정된 범위 이내이면 상기 약액의 분사가 종료되었다고 판단하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계는, 상기 약액의 분사가 이루어진 후, 상기 제1 영상데이터에 포함된 각 픽셀의 색상정보를 분석하는 단계; 및 상기 제1 영상데이터에 포함된 픽셀 중 미리 설정된 약액색상정보에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이하로 검출되면 상기 약액의 분사가 종료되었다고 판단하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계는, 상기 약액의 분사가 종료되면, 상기 제1 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 노즐부에 잔여약액이 존재하는지 여부를 판단하는 단계; 및 상기 잔여약액이 존재하면 상기 약액의 도포가 비정상적으로 이뤄지는 것으로 판단하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 노즐부에 잔여약액이 존재하는지 여부를 판단하는 단계는, 상기 제1 영상데이터에서 제1 노즐팁정보를 추출하는 단계; 상기 제1 노즐팁정보와 미리 설정된 제1 기준노즐팁정보를 비교하는 단계; 및 상기 제1 노즐팁정보와 상기 제1 기준노즐팁정보의 오차 범위가 미리 설정된 범위 이내이면 상기 잔여약액이 존재한다고 판단하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 노즐부에 잔여약액이 존재하는지 여부를 판단하는 단계는, 상기 제1 영상데이터에 포함된 각 픽셀의 색상정보를 분석하는 단계; 및 상기 제1 영상데이터에 포함된 픽셀 중 미리 설정된 약액색상정보에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이상으로 검출되면 상기 잔여약액이 존재한다고 판단하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계는, 상기 약액의 분사가 개시된 시간과 상기 약액의 분사가 종료된 시간을 이용하여 약액분사시간정보를 생성하는 단계; 상기 약액분사시간정보를 이용하여 미리 설정된 방법에 따라 약액분사용량정보를 생성하는 단계; 상기 약액분사용량정보를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단하는 단계; 및 상기 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었다고 판단되면 상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는 것으로 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단하는 단계는, 상기 약액분사용량정보와 미리 설정된 용량임계값을 비교하는 단계; 및 상기 약액분사용량정보가 상기 용량임계값에 상응하면 상기 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었다고 판단하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단하는 단계는, 상기 약액의 도포가 종료되고, 구비된 제2 카메라부에 의하여 제2 영상데이터가 순차적으로 생성되는 단계; 및 상기 제2 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단하는 단계는, 상기 제2 영상데이터와 미리 설정된 제2 기준데이터를 비교하는 단계; 및 상기 제2 영상데이터와 상기 제2 기준데이터의 오차 범위가 미리 설정된 범위 이내이면 상기 약액이 정상적으로 도포되었다고 판단하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단하는 단계는, 상기 제2 영상데이터에 포함된 각 픽셀의 색상정보를 분석하는 단계; 및 상기 제2 영상데이터에 포함된 각 픽셀 중 미리 설정된 피도포체색상정보에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이상으로 검출되거나, 미리 설정된 약액색상정보에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이하로 검출되면 상기 피도포체에 상기 약액이 비정상적으로 도포되었다고 판단하는 단계;를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치에 따르면 씨씨디 등의 이미지센서(Image sensor)를 통하여 촬상된 이미지데이터를 분석하여 노즐팁에서 약액이 분사되는 상태 및 약액이 피도포체에 분사 완료된 상태 및 분사되어 도포가 완료된 상태를 자동으로 모니터링할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치에 따르면 분사된 약액의 용량 및 약액 도포가 완료된 상태를 자동으로 모니터링하여 약액이 피도포체에 정상적으로 도포되었는지를 자동으로 모니터링할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 상태 모니터링 장치에 대한 구성도.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 기준데이터를 도시한 도면.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 영상데이터를 도시한 도면.
도 2c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 영상데이터를 도시한 도면.
도 2d는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 제1 영상데이터를 도시한 도면.
도 2e는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 제1 영상데이터를 도시한 도면.
도 2f는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 제1 영상데이터를 도시한 도면.
도 2g는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 제1 영상데이터를 도시한 도면.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 기준데이터를 도시한 도면.
도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 영상데이터를 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 상태 모니터링 방법에 대한 순서도.
도 5은 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 도포 상태 모니터링 방법에 대한 순서도.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 약액 도포 상태 모니터링 방법에 대한 순서도.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 이하, 본 발명의 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 상태 모니터링 장치에 대한 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 상태 모니터링 장치는 제1 카메라부(120-1), 제2 카메라부(120-2) 및 도포상태판단부(170)를 포함하고, 도포 상태 모니터링 장치는 약액 도포 장치(100)와 연결된다. 또한, 약액 도포 장치(100)는 도포장치제어부(105), 노즐부(110), 베이스부재(130), 아암(140), 척(150), 피도포체(160)를 포함한다. 또한, 도포상태판단부(170)는 네트워크(180)를 통하여 유선 및/또는 무선으로 연결된 외부 단말기(190-1, 190-2)와 연결되어 있다.
여기서, 베이스부재(130)에는 노즐부(110), 아암(140) 및 제2 카메라부(120-2)가 부착되어 있을 수 있고, 제1 카메라부(120-1)는 아암(140)에 부착되어 있을 수 있다. 또한, 제1 카메라부(120-1)는 노즐(100) 방향을 촬상하여 제1 영상데이터를 생성할 수 있고, 제2 카메라부(120-2)는 피도포체(160)를 촬상하여 제2 영상데이터를 생성할 수 있다. 또한, 제1 카메라부(120-1)와 제2 카메라부(120-2)는 도포상태판단부(170)와 유선 및/또는 무선으로 연결되어 생성된 영상데이터들을 전송한다.
한편, 도1 에서는 제1 카메라부(120-1)가 아암(140)에 연결되어 있고, 제2 카메라부(120-2)가 베이스부재(130)에 연결되어 있는 것으로 도시되었으나, 그 반대일 수도 있다. 즉, 제1 카메라부(120-1)가 베이스부재(130)에 연결되어 노즐부(110)를 촬상하여 제1 영상데이터를 생성하고, 제2 카메라부(120-2)가 아암(140)에 연결되어 피도포체(160)를 촬상할 수도 있을 것이다. 따라서, 제1 카메라부(120-1)는 노즐부(110)를 촬상할 수 있는 어느 곳이면 어디든지 부착될 수 있고, 제2 카메라부(120-2)는 피도포체(160)를 촬상할 수 있는 곳이면 어디든지 부착될 수 있다. 이에, 제1 카메라부(120-1) 및/또는 제2 카메라부(120-2)가 부착되어 있는 위치는 본 발명의 권리 범위를 제한하지 않음은 자명하다.
이하, 도 1을 참조하여 피도포체(160)에 약액을 도포하기 위한 공정(이하, '약액도포공정'이라 칭함) 및 약액도포공정에서의 약액 도포 상태 모니터링 장치의 동작에 대하여 상세하게 설명한다. 여기서, 약액도포공정이란 피도포체(160)에 약액을 도포하기 위한 공정으로서, 노즐부(110)가 홈포지션(Home position)(미도시)에서 이동하여 피도포체(160)의 상부에 위치되고, 노즐부(110)에서 약액이 피도포체(160)에 분사되어 도포되며, 노즐부(110)가 다시 홈포지션(미도시)에 위치되는 일련의 공정을 포함하는 개념일 수 있다.
먼저, 피도포체(160)가 척(150)의 상부에 올려져 고정되고, 노즐부(110)가 홈포지션(미도시)에서 이동되어 피도포체(160)의 상부에 위치되면, 노즐부(110)는 피도포체(160)에 약액을 분사한다. 이후, 약액이 분사된 피도포체(160)는 척(150)의 회전으로 인하여 일방향으로 회전하게 되므로 피도포체(160)에 분사된 약액은 피도포체(160)의 일면에 균일하게 퍼져 코팅된다.
그리고, 노즐부(110)를 통하여 피도포체(160) 상에 일정한 약액이 분사된 이후에는 약액을 노즐부(110)로 제공하기 위하여 동작되는 펌프(pump)(미도시)의 작동이 중지되고, 약액이 흘러내리는 것을 방지하기 위하여 솔레노이드밸브(미도시)에 의하여 후방흡입밸브(미도시)가 작동되어 약액이 노즐부(110)의 팁(tip) 내측으로 약간 흡입된다. 이는, 약액의 분사가 완료된 후 노즐부(110)의 팁에 남아있는 약액이 웨이퍼로 흘러내리는 것을 방지하기 위함임은 상술한 바와 같다.
한편, 제1 카메라부(120-1)는 노즐부(110)가 위치한 방향을 미리 설정된 시간을 간격으로 순차적으로 촬상하여 제1 영상데이터를 생성하고, 생성된 제1 영상데이터를 도포상태판단부(170)로 순차적으로 전송한다. 이때, 제1 카메라부(120-1)는 아암(140) 또는 베이스부재(130) 등에 부착되어 있을 수 있고, 노즐부(110) 방향을 촬상하여(즉, 노즐부(110)가 피사체인) 제1 영상데이터를 미리 설정된 시간을 간격으로 하여 순차적으로 생성할 수 있다. 또한, 제1 카메라부(120-1)는 부착된 아암(140) 또는 베이스부재(130) 등이 수평, 수직 및/또는 사선 방향으로 움직여도 항상 노즐부(110) 방향을 촬상하도록 설치될 수 있다.
또한, 제2 카메라부(120-2)는 피도포체(160)가 위치한 방향을 미리 설정된 시간을 간격으로 순차적으로 촬상하여 생성된 제2 영상데이터를 생성하고, 생성된 제2 영상데이터를 도포상태판단부(170)로 순차적으로 전송한다. 이때, 제2 카메라부(120-2)는 아암(140) 또는 베이스부재(130) 등 피도포체를 촬상할 수 있는 곳에 부착되어 있을 수 있고, 피도포체(160) 방향을 촬상하여(즉, 피도포체(160)가 피사체인) 제2 영상데이터를 미리 설정된 시간을 간격으로 순차적으로 생성할 수 있다. 또한 또한, 제2 카메라부(120-2)는 부착된 아암(140) 또는 베이스부재(130) 등이 수평, 수직 및/또는 사선 방향으로 움직여도 항상 피도포체(160) 방향을 촬상하도록 설치될 수 있다.
또한, 도포상태판단부(170)는 제1 카메라부(120-1)에서 수신된 제1 영상데이터 및/또는 제2 카메라부(120-2)에서 수신된 제2 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 약액 도포 상태를 자동으로 모니터링한다.
즉, 제1 카메라부(210-1)는 노즐부(110)의 방향을 계속적으로 촬상하여 제1 영상데이터를 순차적으로 생성할 수 있으므로, 약액 도포가 개시되기 이전 및/또는 약액 도포가 개시된 이후의 제1 영상데이터를 계속적으로 생성하여 도포상태판단부(170)로 전송할 수 있다. 따라서, 도포상태판단부(170)는 제1 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 노즐부(110)를 통한 약액 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단할 수 있다.
즉, 도포상태판단부(170)는 펌프(미도시)가 작동하여 약액이 노즐부(110)로 분사되어야 함에도 약액이 노즐부(110)로 분사되지 않는 것은 아닌지를 순차적으로 수신되는 제1 영상데이터를 분석하여 판단할 수 있다.
예를 들어, 도포상태판단부(170)는 펌프(미도시)로부터 동작을 개시하였음을 알리는 신호를 수신하는 등의 방식에 의하여 약액의 분사가 개시되었음을 인식할 수 있고, 약액의 분사가 개시되고 일정한 시간이 경과된 후에 수신된 제1 영상데이터가 이전에 수신된 제1 영상데이터와 동일하면 약액의 분사가 이뤄지지 않았음을 알 수 있다. 이하, 도 2a 내지 도 2d를 참조하여 도포상태판단부(170)가 약액의 분사 여부를 판단하는 방법에 대하여 상세하게 설명한다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 기준데이터를 도시한 도면이고, 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 영상데이터를 도시한 도면이다. 또한, 도 2c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 영상데이터를 도시한 도면이고, 도 2d는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 제1 영상데이터를 도시한 도면이다.
도 2a를 참조하면, 약액이 분사되고 있지 않고, 후방흡입상태가 정상인 노즐부(110)가 촬상된 제1 기준데이터(210)가 예시된다. 또한, 도 2b를 참조하면 약액이 분사되고 있는 노즐부(110)가 촬상된 제1 영상데이터(220)가 예시된다. 따라서, 도포상태판단부(220)는 약액의 분사가 개시되기 이전부터 개시된 이후에 수신된 제1 영상데이터를 분석하여 약액의 분사 여부를 판단할 수 있다.
예를 들어, 제1 기준데이터(210)에 도시된 노즐팁(220)에는 약액이 촬상되어 있지 않지만 도 2b에 예시된 제1 영상데이터(220)에는 노즐팁(220)에서 분사되고 있는 약액(230)이 촬상되어 있다. 따라서, 도포상태판단부(170)는 약액(230)의 분사가 개시된 후에 수신된 제1 영상데이터(220)가 제1 기준데이터와 상이하면 약액(230)이 분사되고 있다고 판단할 수 있다. 즉, 도포상태판단부(170)는 제1 영상데이터(220)에 포함된 각 픽셀을 제1 기준데이터에 포함된 픽셀 중 좌표값(즉, 각 영상에서의 픽셀의 위치값)이 동일한 픽셀과 비교하여 정보가 상이한 픽셀의 개수가 미리 설정된 개수 이상인 경우에는 약액(230)이 분사되고 있다고 판단할 수 있다. 이때, 제1 영상데이터의 해상도와 제1 기준데이터의 해상도는 동일할 것임은 자명하다.
다른 예를 들어, 도포상태판단부(170)는 약액(230)의 분사가 개시된 후 n번째 수신된 제1 영상데이터가 약액(230)의 분사가 개시되기 전에 수신된 제1 영상데이터와 동일하면 약액(230)의 분사가 이뤄지지 않았다고 판단할 수 있다(단, n은 자연수). 즉, 약액(230)의 분사가 개시되기 전에 촬상된 제1 영상데이터는 도 2a에 예시된 제1 기준데이터(210)와 동일 또는 유사할 것이고, 약액(230)의 분사가 개시된 후에 수신된 제1 영상데이터는 도 2b에 예시된 제1 영상데이터(220)와 동일 또는 유사할 것이다. 따라서, 약액(230)의 분사가 정상적으로 이뤄지고 있다면 약액(230)의 분사가 개시된 후 n번째 수신된 제1 영상데이터와 약액(230)의 분사 개시 이전에 생성된 제1 영상데이터는 상이할 것이다.
이에, 도포상태판단부(170)는 약액(230)의 분사가 개시된 이후 n번째 생성된 제1 영상데이터가 약액(230)의 분사가 개시되기 이전에 생성된 제1 영상데이터와 동일 또는 유사하면 약액(230)의 분사가 이뤄지지 않았다고 판단할 수 있을 것이다. 즉, 도포상태판단부(170)는 약액(230)의 분사가 개시된 후 n번째 수신된 제1 영상데이터(220)에 포함된 각 픽셀을 약액(230)의 분사 개시 이전에 생성된 제1 영상데이터에 포함된 픽셀 중 좌표값(즉, 각 영상에서의 픽셀의 위치값)이 동일한 픽셀과 비교하여 정보가 상이한 픽셀의 개수가 미리 설정된 개수 이상인 경우에는 약액(230)이 정상적으로 분사되고 있다고 판단할 수 있을 것이다.
한편, 도포상태판단부(170)는 약액(230)이 분사되기 이전에 수신된 제1 영상데이터(미도시)를 분석하여 약액(230)이 누설되고 있는 것은 아닌지 여부에 대해서도 자동으로 모니터링할 수 있다. 즉, 도포상태판단부(170)는 아암(140)의 동작이 개시되었다는 신호 및/또는 노즐부(110)가 홈포지션(미도시)를 이탈하였음을 알리는 신호를 도포장치제어부(105)(이때, 홈포지션(미도시)에는 노즐부(110)의 존재를 인식할 수 있는 센서가 부착되어 있을 수 있고, 당해 센서는 도포장치제어부(105)와 연결되어 있을 수 있음)로부터 수신하는 등에 의하여 아암(140)의 동작이 개시되었음을 인식할 수 있고, 아암(140)의 동작이 개시되고 펌프(미도시)의 동작이 개시되기 전에 수신된 제1 영상데이터를 분석하여 노즐팁(220)에서 약액(230)이 누설되고 있는지 여부에 대하여 판단할 수 있다.
예를 들어, 도포상태판단부(170)는 도포장치제어부(105)로부터 수신된 신호에 의하여 아암(140)의 동작이 개시되었음을 인식한 후 수신된 제1 영상데이터에 미리 설정된 약액(230)의 색상정보에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이상 검출되면 노즐팁(220)에서 약액(230)이 누설된다고 인식할 수 있다. 이때, 약액(230)의 색상정보는 RGB 정보 각각이 실수값이 아닌 범위값(즉, 범위정보)으로 설정될 수 있다. 즉, 제1 영상데이터가 촬상되는 환경에 따라 약액이 촬상된 픽셀의 색상정보가 상이할 수 있기 때문에 약액색상정보에 포함되는 각각의 RGB값은 실수값이 아닌 범위정보로 설정될 수 있다.
다른 예를 들어, 도포상태판단부(170)는 아암(140)의 동작이 개시되고 펌프(미도시)의 동작이 개시되기 전에 수신된 제1 영상데이터가 도 2a에 예시된 제1 기준데이터(210)와 상이한 경우 노즐팁(220)에 약액(230)이 누설된다고 인식할 수도 있다. 즉, 아암(140)의 동작이 개시되고 펌프(미도시)의 동작이 개시되기 전에는 노즐부(110)가 피도포체(160)의 상부로 이동되는 순간이므로 노즐팁(220)에서 약액(230)이 분사되거나 누설되면 안되는 순간이다. 따라서, 도포상태판단부(170)는 이 순간에 수신되는 제1 영상데이터는 제1 기준데이터(210)와 동일할 것임에도 그렇지 않은 경우 약액(230)이 누설되고 있다고 판단할 수 있다.
도 2c를 참조하면, 노즐팁(220)의 잔여 이물질에 의하여 약액(250)이 수직 방향이 아닌 다른 방향으로 비정상적 분사가 이뤄지고 있는 경우가 촬상된 제1 영상데이터(240)에 예시된다. 즉, 노즐팁(220)서 남아 있던 약액이 굳어서 노즐팁(220)의 홀(hall) 지름을 축소시킨 경우 노즐팁(220)에서 분사되는 약액(350)은 피도포체(160)의 중앙부분에 분사되지 않고 일측에 분사될 수 있다. 또한, 도 2d를 참조하면, 약액(270)에 포함되어 있던 버블(bubble)이 분사되면서 압력이 약해진 것을 기화로 폭발한 경우가 예시된다. 이 경우, 폭발 잔여 약액이 피도포체(160)에 분사되고 나머지 약액은 피도포체(160)의 중앙부에 분사되지 않을 수 있다. 즉, 도 2c 및/또는 도 2d의 경우에는 약액(350)이 피도포체(160)에 골고루 도포되지 않게 되는 문제점이 발생될 수 있다.
이에, 도포상태판단부(170)는 수신되는 제1 영상데이터를 분석하여 약액이 수직방향으로 정상적 분사되고 있는지 여부를 판단할 수 있다. 이때, 도포상태판단부(170)에는 펌프(미도시) 또는 도포장치제어부(105) 등으로부터 약액의 분사가 이뤄지고 있음을 알리기 위한 신호가 수신된 상태일 수 있다(즉, 도포상태판단부(170)는 약액의 분사가 이뤄지고 있는 상태임일 인식한 상태일 수 있다).
예를 들어, 도포상태판단부(170)는 수신된 제1 영상데이터(240)에 촬상된 피사체 중 약액(250)에 상응하는 픽셀(이하, '약액픽셀'이라 칭함)을 추출할 수 있고, 추출된 픽셀들의 수평 좌표값이 미리 설정된 수평좌표값 범위를 벗어난 픽셀의 개수가 미리 설정된 개수 이하인 경우에는 약액(250)이 비정상적으로 분사되고 있다고 판단할 수 있다. 즉, 약액(250)이 수직 방향으로 정상적으로 분사되고 있는 경우, 약액(250)에 상응하는 픽셀들의 수평 좌표값은 미리 설정된 오차 범위 이내의 값(이하, '수평오차범위값'이라 칭함)일 것이다. 하지만, 약액(250)이 수직 방향이 아닌 다른 방향으로 분사되고 있는 경우라면 약액(250)에 상응하는 픽셀들의 수평 좌표값은 수평오차범위값을 벗어난 값들일 것이다. 따라서, 도포상태판단부(170)는 수신된 제1 영상데이터(240)의 픽셀 중 약액(250)에 상응하는 픽셀을 추출하여, 추출된 픽셀의 수평 좌표값이 미리 설정된 수평오차범위값을 벗어난 픽셀이 미리 설정된 개수 이상이면 약액(250)이 비정상적으로 분사되고 있다고 판단할 수 있다.
예를 들어, 수평오차범위값이 '100 내지 120'으로 미리 설정된 경우를 가정한다. 즉, 약액(250)이 정상적으로 분사된다면 약액픽셀의 수평좌표값은 '100 내지 120' 범위 내의 값에 상응할 것이다. 이때, 도포상태판단부(170)는 추출된 약액픽셀 중 수평좌표값이 수평오차범위 내에 포함되지 않는 약액픽셀의 개수가 미리 설정된 개수 이상인 경우에는 약액이 정상적으로 도포되지 않고 있다고 판단할 수 있을 것이다. 이때, 도포상태판단부(170)는 미리 설정된 약액(250)에 상응하는 색상정보 등을 이용하여 약액(250)에 상응하는 픽셀을 추출할 수 있을 것이다.
다른 예를 들어, 도포상태판단부(170)는 수신된 제1 영상데이터(240)와 미리 설정된 정상분사기준데이터(즉, 정상적으로 약액(250)이 분사되고 있는 상태에 대한 이미지데이터로서, 도 2b에 예시된 제1 영상데이터(220)와 동일 또는 유사할 수 있음)를 좌표값이 동일한 픽셀 단위로 비교하여 정보가 상이한 픽셀의 개수가 미리 설정된 개수 이상이면 약액(250)이 비정상적으로 분사되고 있다고 판단할 수 있다. 이때, 제1 영상데이터(240)와 정상분사기준데이터는 해상도가 동일할 것임은 자명하다.
다시 도 1을 참조하면, 도포상태판단부(170)는 수신된 제1 영상데이터를 분석하여 약액의 분사가 종료되었는지 여부를 판단할 수 있다. 약액이 분사되고 있는 상태에서의 제1 영상데이터에는 도 2b에서의 예시와 같이 약액이 촬상되어 있을 것이다. 한편, 약액이 분사되고 있지 않는 상태에서의 제1 영상데이터에는 도 2a의 제1 기준데이터와 동일 또는 유사할 것이다. 따라서, 도포상태판단부(170)는 n번째 수신된 제1 영상데이터와 제1 기준데이터의 오차 범위가 미리 설정된 범위 이내이면 약액의 분사가 종료되었다고 판단할 수 있다. 이때, 제n-1번째 수신된 제1 영상데이터는 도 2b에서 예시된 제1 영상데이터와 동일 또는 유사할 것이다.
예를 들어, 도포상태판단부(170)는 n번째 수신된 제1 영상데이터에 포함된 각 픽셀을 제1 기준데이터에 포함된 픽셀 중 좌표값(즉, 각 영상에서의 픽셀의 위치값)이 동일한 픽셀과 비교하여 정보가 상이한 픽셀의 개수가 미리 설정된 개수 이하인 경우 약액의 분사가 종료되었다고 판단할 수 있다.
다른 예를 들어, 도포상태판단부(170)는 제1 영상데이터에 포함된 픽셀 중 미리 설정된 약액색상정보(즉, 제1 영상데이터의 픽셀 중 약액에 상응하는 픽셀에 대한 색상(RGB) 정보)에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이하로 검출되면 약액의 분사가 종료되었다고 판단할 수 있다. 약액의 경우 특정한 색상(예를 들어, 검정, 빨강 등)을 가질 수 있고, 노즐부(110)를 포함하는 배경색상이 당해 약액의 색상을 전혀 포함하고 있지 않다면 제1 영상데이터의 픽셀 중 약액의 색상에 상응하는 정보가 포함된 픽셀이 존재하면 약액이 촬상되었다고 판단할 수 있다.
즉, 도포상태판단부(170)는 약액의 분사가 개시되었음을 인식한 후에 수신된 제1 영상데이터의 각 픽셀의 색상정보를 분석할 수 있고, 색상정보가 미리 설정된 약액색상정보에 상응하는 픽셀의 개수가 미리 설정된 개수 이하로 검출되면 약액의 분사가 종료되었다고 판단할 수 있다. 제1 영상데이터에 포함된 픽셀 중 색상정보가 미리 설정된 약액색상정보에 상응하는 픽셀의 개수가 미리 설정된 개수 이하로 검출된 경우는 제1 영상데이터에 약액이 거의 촬상되지 않은 경우이기 때문이다. 이때, 약액색상정보는 RGB 정보 각각이 실수값이 아닌 범위값(즉, 범위정보)으로 설정될 수 있다. 즉, 제1 영상데이터가 촬상되는 환경에 따라 약액이 촬상된 픽셀의 색상정보가 상이할 수 있기 때문에 약액색상정보에 포함되는 각각의 RGB값은 실수값이 아닌 범위정보로 설정될 수 있다.
또한, 도포상태판단부(170)는 약액의 분사가 종료되면, 수신된 제1 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 노즐부(110)에 잔여약액이 존재하는지 여부를 판단할 수 있다. 즉, 약액의 분사가 종료된 후에는 약액이 흘러내리는 것을 방지하기 위하여 솔레노이드 밸브(미도시)에 의하여 후방흡입밸브(미도시)가 작동되어 약액이 노즐부(110) 내측으로 약간 흡입되어야 함은 상술한 바와 같다. 이에 도포상태판단부(170)는 약액의 분사가 종료된 후 수신된 제1 영상데이터를 분석하여 제1 영상데이터에 약액이 촬상되었는지 여부를 판단할 수 있고, 약액이 촬상되었다면 후방흡입밸브(미도시)가 비정상적으로 동작하고 있다고 판단할 수 있다. 이하, 도 2c를 참조하여 도포상태판단부(170)가 노즐부(110)의 잔여약액 존재 여부에 대하여 판단하는 동작에 대하여 상세하게 설명한다.
도 2e는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 제1 영상데이터를 도시한 도면이다.
도 2e를 참조하면, 약액의 분사가 종료되었음이 감지된 후에 도포상태판단부(170)에 수신된 제1 영상데이터(280)가 예시된다. 여기에서의 제1 영상데이터(240)에는 노즐부(110)의 노즐팁(nozzle tip)(220) 부분에 잔여약액(290)이 촬상되어 있음을 알 수 있다. 따라서, 도포상태판단부(170)는 약액의 분사가 종료된 후 수신된 제1 영상데이터(240)를 분석하여 노즐부(110)의 잔여약액의 존재 여부를 판단할 수 있다.
예를 들어, 도포상태판단부(170)는 제1 영상데이터(280)에서 미리 설정된 위치의 제1 노즐팁정보(290)를 추출하고, 추출된 제1 노즐팁정보(290)와 미리 설정된 제1 기준노즐팁정보를 비교하여 노즐부(110)의 잔여약액의 존재 여부를 판단할 수 있다. 여기서, 제1 노즐팁정보는 제1 영상데이터(280)에 포함된 픽셀 중 미리 설정된 위치에 상응하는 픽셀들이 추출된 정보일 수 있다. 즉, 도포상태판단부(170)는 제1 영상데이터(280)에서 노즐팁(220) 부분에 상응하는 픽셀들을 추출하여 제1 노즐팁정보를 추출할 수 있다. 제1 카메라부(120-1)는 아암(140) 또는 베이스부재(130) 등의 수평, 수직 및/또는 사선 운동에도 불구하고 항상 동일한 방향을 촬상하도록 설치될 수 있으므로 제1 영상데이터(280)의 동일한 위치에는 동일한 피사체가 촬상될 것이다. 따라서, 도포상태판단부(170)는 제1 영상데이터(280)의 픽셀 중 노즐팁(220)의 위치에 상응하는 픽셀들을 추출하여 제1 노즐팁정보를 추출할 수 있을 것이다. 또한, 제1 기준노즐팁정보는 제1 기준데이터(210)의 픽셀 중 노즐팁의 위치에 상응하는 픽셀들로 구성된 영상데이터일 수 있다.
따라서, 도포상태판단부(170)는 추출된 제1 노즐팁정보와 제1 기준노즐팁정보를 비교하여 오차 범위가 미리 설정된 범위 이내이면 약액의 분사가 종료되었음에도 불구하고 잔여약액이 노즐부(110)에 남아있다고 판단할 수 있다. 즉, 노즐부(110)에 잔여약액이 존재하지 않으면 제1 노즐팁정보와 제1 기준노즐팁정보는 동일 또는 거의 동일할 것이다. 하지만 그렇지 않은 경우에는 제1 노즐팁정보에 잔여약액이 남아있으므로 제1 노즐팁정보와 제1 기준노즐팁정보는 전혀 상이할 것이다. 이에, 도포상태판단부(170)는 제1 노즐팁정보(250)와 제1 기준노즐팁정보의 오차 범위가 미리 설정된 범위 이내이면 상기 잔여약액이 존재한다고 판단할 수 있다. 즉, 도포상태판단부(170)는 제1 노즐팁정보에 포함된 픽셀의 정보와 제1 기준노즐팁정보를 비교하여 정보가 상이한 픽셀의 개수가 미리 설정된 개수 미만이면 잔여약액이 존재한다고 판단할 수 있다. 또는 도포상태판단부(170)는 제1 노즐팁정보 및/또는 제1 기준노즐팁정보에서 아웃라인(outline)(즉, 콘트라스트(contrast) 정보가 급격히 변하는 부분의 픽셀들)을 추출할 수 있고, 제1 노즐팁정보에서 추출된 아웃라인과 제1 기준노즐팁정보에서 추출된 아웃라인이 상이하면 잔여약액(290)이 존재한다고 판단할 수도 있다.
다른 예를 들어, 도포상태판단부(170)는 제1 영상데이터(240)에 포함된 각 픽셀의 색상정보를 분석하고, 제1 영상데이터(240)에 포함된 픽셀 중 미리 설정된 약액색상정보에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이상으로 검출되면 잔여약액이 노즐부(110)에 존재한다고 판단할 수 있다. 즉, 약액의 경우 특정한 색상(예를 들어, 검정, 빨강 등)을 가질 수 있고, 노즐부(110)를 포함하는 배경(즉, 피사체 중 약액을 제외한 다른 부분)이 당해 약액의 색상을 포함하고 있지 않다면 제1 영상데이터의 각 픽셀의 색상정보를 이용하여 노즐부(110)에 잔여약액의 존재하는지 여부를 판단할 수 있다. 이때, 약액색상정보는 RGB 정보 각각이 실수값이 아닌 범위값(즉, 범위정보)으로 설정될 수 있음은 상술한 바와 같다.
이때, 도포상태판단부(170)는 판단의 정확도를 높이기 위하여 제1 영상데이터(240)에서 제1 노즐팁정보를 추출하고, 제1 노즐팁정보에 포함된 픽셀 중 약액색상정보에 상응하는 픽셀의 개수를 판단하여 노즐부(110)에 잔여약액이 포함되어 있는지 여부를 판단할 수도 있을 것이다.
다시 도 1을 참조하면, 도포상태판단부(170)는 약액 분사의 시작 시점과 약액 분사의 종료 시점을 이용하여 약액이 분사된 시간에 대한 정보(이하, '약액분사시간정보'라 칭함)를 생성할 수 있다. 즉, 도포상태판단부(170)는 펌프(미도시)의 동작 개시 시점을 인식하거나 제1 영상데이터를 분석하여 약액이 분사된 시각을 알 수 있고, 제1 영상데이터를 분석하여 약액 분사가 종료된 시점을 알 수 있으므로, 이를 이용하여 약액분사시간정보를 생성할 수 있다. 또는 도포상태판단부(170)는 약액이 분사된 시점에 상응하는 제1 영상데이터와 약액 분사가 종료된 시점에 상응하는 제1 영상데이터 사이에 몇 개의 제1 영상데이터가 생성되었으며, 순차적으로 생성되는 제1 영상데이터 사이의 시간 간격 정보(즉, 초당 몇 프레임의 제1 영상데이터를 생성하는지에 대한 정보)를 알 수 있으므로 이들을 이용해서 약액분사시간정보를 생성할 수도 있을 것이다.
또한, 도포상태판단부(170)는 생성된 약액분사시간정보를 이용하여 미리 설정된 방법에 따라 약액분사용량정보를 생성할 수 있다. 예를 들어, 도포상태판단부(170)에는 약액분사시간정보에 각각에 상응하는 약액분사용량정보가 기재되어 있는 용량테이블이 미리 저장되어 있을 수 있고, 이에 따라 생성된 약액분사시간정보에 상응하는 약액분사용량정보를 용량테이블에서 독출하여 약액분사용량정보를 생성할 수 있다. 즉, 용량테이블에 약액분사시간정보가 5초인 경우 50[ml]의 약액이 분사되고, 약액분사시간정보가 10초인 경우 100[ml]의 약액이 분사되는 것으로 미리 설정되고, 당해 약액분사시간정보가 10초에 상응하면, 도포상태판단부(170)는 약액이 100[ml] 분사되었다고 판단하여 '105'에 상응하는 약액분사용량정보를 생성할 수 있을 것이다.
다른 예를 들어, 도포상태판단부(170)는 순차적으로 수신되는 제1 영상데이터를분석하여 약액의 지름에 대한 정보(이하, '약액지름정보'라 칭함) 및/또는 약액이 분사되는 속도에 대한 정보(이하, '약액분사속도정보'라 칭함)을 측정하여 생성된 약액분사시간정보를 이용해 약액분사용량정보를 생성할 수 있다.
즉, 도포상태판단부(170)는 제1 영상데이터에서 약액에 상응하는 픽셀들의 수평좌표값을 이용하여 약액지름정보를 생성할 수 있다. 예를 들어, 도 2b에서의 제1 영상데이터(220)에 촬상된 약액(230)에 상응하는 픽셀(이하, '약액픽셀'이라 칭함)의 수평좌표값은 모두 미리 설정된 범위 내의 값이고(약액이 수직으로 낙하하기 때문), 약액픽셀의 수평좌표값이 '20 내지 40'에 상응하는 경우를 가정한다. 이때, 도포상태판단부(170)는 약액지름정보로서 '20'에 상응하는 정보를 추출할 수 있다. 다른 예를 들어, 약액픽셀의 수평좌표값이 모두 동일하지 않는 경우, 도포상태판단부(170)는 수직좌표값이 동일한 임의의 픽셀 라인(pixel line)을 추출하고, 당해 픽셀 라인 중 약액픽셀에 상응하는 픽셀의 개수를 약액지름정보로 생성할 수 있을 것이다.
또한, 도포상태판단부(170)는 순차적으로 수신되는 제1 영상데이터를 분석하여 약액이 미리 설정된 시간동안 이동한 거리(이하, '약액이동거리정보'라 칭함)를 측정할 수 있다. 이하, 도 2f 및 도 2g를 참조하여 도포상태판단부(170)에서 약액이동거리정보를 측정하는 방법에 대하여 상세히 설명한다.
도 2f는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 제1 영상데이터를 도시한 도면이고, 도 2g는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 제1 영상데이터를 도시한 도면이다.
도 2f를 참조하면, 도포상태판단부(170)는 약액이 분사된 이후 n번째 수신된 제1 영상데이터에서 약액의 최하 낙하 지점에 상응하는 픽셀에 대한 수직좌표값(이하, '제n 수직좌표값'이라 칭함) 'A'을 추출할 수 있다. 또한, 도 2g를 참조하면, 도포상태판단부(170)는 약액이 분사된 이후 n+1번째 수신된 제1 영상데이터에서 약액의 최하 낙하 지점에 상응하는 픽셀에 대한 제n+1 수직좌표값 'B'를 추출할 수 있다. 또한, 하나의 픽셀에 상응하는 거리에 대한 정보는 미리 설정되어 있을 수 있다. 예를 들어, 픽셀 하나에 상응하는 거리는 1[mm]일 수 있다.
따라서, 도포상태판단부(170)는 제n 수직좌표값, 제n+1 수직좌표값 및 미리 설정된 하나의 픽셀에 상응하는 거리에 대한 정보를 이용하여 약액이동거리정보를 산출할 수 있다. 예를 들어, 픽셀 하나에 상응하는 거리는 1[mm]이고, 제n 수직좌표값에서 제n+1 수직좌표값을 감한 값이 5인 경우를 가정한다. 이때, 도포상태판단부(170)는 제1 영상데이터의 프레임 속도에 상응하는 시간(즉, 순차적으로 생성되는 제1 영상데이터가 생성되는 시간 간격)(이하 '약액이동시간정보'라 칭함) 동안 약액이 5[mm] 이동하였다고 산출할 수 있다. 즉, 도포상태판단부(170)는 5[mm]에 상응하는 약액이동거리정보를 측정할 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 도포상태판단부(170)는 약액이동거리정보 및 약액이동시간을 이용하여 '약액분사속도정보(즉, 약액이 분사되는 속도에 대한 정보)'를 생성할 수 있다. 즉, 속도는 시간과 거리를 곱한 값에 해당하므로 도포상태판단부(170)는 산출된 약액이동거리정보와 약액이동시간정보를 곱하여 약액분사속도정보를 산출할 수 있을 것이다.
또한, 도포상태판단부(170)는 산출된 약액분사지름정보 및 약액이동속도정보와 약액분사시간정보를 이용하여 약액이 피도포체(160)에 분사된 용량에 대한 약액분사용량정보를 생성할 수 있음은 자명하다.
또한, 도포상태판단부(170)는 생성된 약액분사용량정보를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 피도포체(160)에 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단할 수 있다. 예를 들어, 도포상태판단부(170)는 약액분사용량정보가 미리 설정된 용량임계값에 상응하면 상기 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었다고 판단할 수 있다. 즉, 용량임계값이 100(즉, 100[ml]에 상응하는 값)으로 미리 설정되어 있는 경우, 도포상태판단부(170)는 산출된 약액분사용량정보가 100에 상응하거나 그 이상이면, 피도포체(160)에 약액이 정상적으로 도포되었다고 판단할 수 있다. 또한, 용량임계값은 실수값이 아닌 범위값(즉, 범위정보)으로 설정될 수 있고, 이 경우 도포상태판단부(170)는 약액분사용량정보가 용량임계값 범위 내에 포함되면 피도포체(160)에 약액이 정상적으로 도포되었다고 판단할 수 있을 것이다(즉, 약액분사용량정보가 용량임계값에 상응한다고 판단할 수 있을 것이다).
또한, 도포상태판단부(170)는 수신된 제1 영상데이터에서 약액에 상응하는 약액픽셀을 추출하고, 당해 약액픽셀의 수직좌표값 및/또는 수평좌표값을 이용하여 각 수직좌표값에 상응하는 약액의 지름에 대한 정보(즉, 약액픽셀의 수평좌표값의 차이값)를 추출할 수 있다. 예를 들어, 제1 영상데이터의 수직좌표값이 a인 약액픽셀의 수평좌표값이 b 내지 c인 경우(단, c는 b 이상이고, a, b, c 는 실수) a에 상응하는 약액의 지름은 'c-b'에 상응할 것이다. 따라서, 도포상태판단부(170)는 모든 수직좌표값에 상응하는 각각의 약액의 지름을 산출할 수 있고, 미리 설정된 범위값을 벗어나는 약액의 지름값이 미리 설정된 개수 이상이되면 약액의 분사가 비정상적으로 이뤄지고 있다고 판단할 수 있다. 즉, 약액이 정상적으로 도포된 경우에는 약액의 지름이 일정하거나 미리 설정된 범위 내에 포함될 것이나, 그렇지 않은 경우에는 약액의 지름이 다를 수 있고, 이 경우에는 정상 용량의 약액이 도포되지 않을 수 있기 때문이다.
한편, 제2 카메라부(120-2)는 피도포체(160) 방향을 순차적으로 촬상하여 제2 영상데이터를 생성하고, 생성된 제2 영상데이터를 도포상태판단부(170)로 순차적으로 전송함은 상술한 바와 같다. 특히, 도포상태판단부(170)는 순차적으로 수신된 제2 영상데이터를 분석하여 피도포체(160)에 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단할 수 있다. 이하, 도 3a 및 도 3b를 참조하여 도포상태판단부(170)가 제2 영상데이터를 분석하여 피도포체(160)에 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단하는 동작에 대하여 상세하게 설명한다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 기준데이터를 도시한 도면이고, 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 영상데이터를 도시한 도면이다.
도 3a를 참조하면, 약액이 정상적으로 도포된 피도포체(310-1)가 촬상된 제2 기준데이터(310)가 예시된다. 또한, 도 3b를 참조하면, 약액이 비정상적으로 도포된 피도포체(330)가 촬상된 제2 영상데이터(320)가 예시된다. 따라서, 도포상태판단부(170)는 제2 영상데이터와 제2 기준데이터를 비교하여 피도포체(160)에 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단할 수 있다.
예를 들어, 도포상태판단부(170)는 약액 분사가 종료된 후 수신된 제2 영상데이터와 미리 설정된 제2 기준데이터를 비교하여, 오차 범위가 미리 설정된 범위 이내이면 약액이 정상적으로 도포되었다고 판단할 수 있다. 즉, 도포상태판단부(170)는 제2 영상데이터에 포함된 각 픽셀을 좌표값이 동일한 제2 기준데이터에 포함된 픽셀과 비교하고, 정보가 상이한 픽셀의 개수가 미리 설정된 개수 이하인 경우 약액이 피도포체(160)에 정상적으로 분사되었다고 판단할 수 있다.
다른 예를 들어, 도포상태판단부(170)는 약액 분사가 종료된 후 수신된 제2 영상데이터에 포함된 픽셀 중 미리 설정된 약액색상정보에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이하로 검출되면 약액이 피도포체(160)에 비정상적으로 분사되었다고 판단할 수 있다. 즉, 비정상적으로 약액이 도포된 경우는 정상적으로 약액이 도포된 경우보다 약액색상정보에 상응하는 픽셀의 개수가 적을 것이기 때문이다. 또한, 도포상태판단부(170)는 약액 분사가 종료된 후 수신된 제2 영상데이터에 포함된 픽셀 중 미리 설정된 피도포체색상정보(즉, 제2 영상데이터의 픽셀 중 피도포체(160)의 색상에 상응하는 픽셀에 대한 색상(RGB) 정보)에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이상으로 검출되면 약액이 피도포체(160)에 비정상적으로 분사되었다고 판단할 수 있다.
도 3b를 참조하면, 약액이 비정상적으로 도포되어 피도포체(330) 상부에 상응하는 부분(340-1, 340-2, 340-3)(즉, 약액이 도포되지 않은 피도포체(330) 부분)이 촬상된 제2 영상데이터(320)가 예시된다. 이때, 피도포체(330) 상부(340-1, 340-2, 340-3)와 약액은 색상이 상이할 수 있으므로 도포상태판단부(170)는 이를 이용하여 피도포체(330)에 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단할 수 있는 것이다.
다시 도 1을 참조하면, 또한, 도포상태판단부(170)는 피도포체(160)에 약액이 비정상적으로 도포된 경우 이를 알리기 위한 신호를 도포장치제어부(105)로 전송할수 있다. 즉, 도포상태판단부(170)는 약액이 분사 개시되기 이전에 약액이 노즐부(110)에서 누설된 경우, 약액이 분사되어야 함에도 분사되지 않는 경우, 약액이 분사되나 비정상적으로 분사되는 경우(즉, 수직 방향이 아닌 다른 방향으로 분사되거나, 약액 내의 버블이 폭발한 경우 등), 약액의 용량이 부족하게 분사된 경우, 분사된 약액이 피도포체(160)에 비정상적으로 도포된 경우가 발생되면 이를 알리기 위한 신호(이하, '비정상도포알림신호'라 칭함)를 도포장치제어부(105)로 전송할 수 있다. 이후, 도포장치제어부(105)는 비정상도포알림신호가 수신되면 이를 약액도포장치(100)의 관리자에게 알리기 위한 알람(alarm) 등을 발생시킬 수 있을 것이다.
또한, 도포상태판단부(170)는 수신된 제1 영상데이터 및/또는 제2 영상데이터를 네트워크(180)를 통하여 연결된 외부장치(190-1, 190-2)(이하, '190'으로 통칭함)로 전송하여 외부장치(190)에서도 제1 영상데이터 및/또는 제2 영상데이터를 디스플레이할 수 있도록 할 수 있다. 또한, 도포상태판단부(170)는 제1 영상데이터 및/또는 제2 영상데이터를 분석하여 약액의 도포를 모니터링한 결과를 외부장치(190)로 전송하거나 알람을 발생시킬 수 있고, 이에 의하여 약액 도포 상태 모니터링 장치의 운영자가 시각적 및/또는 청각적으로 약액 도포의 비정상을 인식할 수 있을 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 약액 도포 상태 모니터링 장치는 구비된 카메라부(120-1, 120-2)를 이용하여 노즐부(110) 및/또는 피도포체(160)에 대한 영상데이터를 생성하고, 생성된 영상데이터를 분석하여 약액이 피도포체(160)에 도포되는 상태 및 도포가 완료된 상태를 자동으로 모니터링할 수 있다. 또한, 여기에서는 피도포체(160)의 상부 형상이 원형인 경우를 예시로 하여 설명하였으나, 피도포체(160)의 형상은 네모 또는 세모 등의 다각형일 수도 있으므로 본 발명의 권리범위를 제한할 수 없음은 자명하다. 또한, 본 발명에 따른 약액 도포 상태 모니터링 장치는 약액이 피도포체(160)에 도포되는 장치이면 그 종류에 무관하게 적용될 수 있으므로 반도체 제조 공정 외에 TFT LCD 제조 공정, PCB 제조 공정, LED 제조 공정 등 약액이 피도포체(160)에 분사되어 도포되는 모든 공정에 적용될 수 있음은 자명하다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 상태 모니터링 방법에 대한 순서도이다.
이하, 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 상태 모니터링 방법에 대하여 상세하게 설명한다. 이하에서 설명될 각 단계들은 도 1을 참조하여 설명한 도포상태판단부(170)에서 수행되는 단계일 수 있다. 따라서, 이하의 단계를 수행하는 주체는 생략될 수 있다.
단계 S400에서, 아암(140)의 동작이 개시되었다는 신호 등이 수신되면 제1 영상데이터를 순차적으로 수신한다. 즉, 아암(140)의 동작이 개시되었다는 신호 등에 의하여 제1 카메라부(120-1)는 미리 설정된 시간을 간격으로 제1 영상데이터를 순차적으로 생성하여 이를 도포상태판단부(170)로 전송하므로, 도포상태판단부(170)는 제1 영상데이터를 순차적으로 수신할 수 있다.
단계 S410에서, 수신된 제1 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석한다. 즉, 도포상태판단부(170)는 수신된 제1 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여, 펌프(미도시)가 동작 개시되기 전에 약액이 누설되는지 여부 및/또는 약액의 분사가 개시되었는지 여부 등을 판단할 수 있다.
단계 S420에서, 약액도포가 개시되면, 단계 S430에서, 수신된 제1 영상데이터와 미리 설정된 제1 기준데이터를 비교하여 약액이 피도포체(160)로 분사되고 있는지 여부 및 약액의 분사가 종료되었는지 여부를 판단한다. 여기서, 도포상태판단부(170)가 약액이 피도포체(160)로 분사되고 있는지 여부 및 약액의 분사가 종료되었는지 여부를 판단하는 동작은 도 1 등을 판단하여 설명한 상술한 방법과 동일 또는 유사하다. 따라서, 여기서는 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
단계 S440에서, 약액의 분사가 종료되었다고 판단되면, 미리 설정된 방법에 따라 약액분사시간정보를 생성하고(단계 S450), 단계 S460에서, 생성된 약액분사시간정보를 이용하여 미리 설정된 방법에 따라 약액분사용량정보를 생성한다. 약액분사시간정보는 약액이 분사된 시간 동안에 상응하는 정보이다. 또한, 약액 분사가 개시된 시점에 대한 정보는 약액을 도포하기 위한 펌프(미도시)의 동작 개시 시간 또는 제1 영상데이터에 약액이 촬상되기 시작한 시간을 이용하여 알 수 있고, 약액 분사가 종료된 시점은 제1 영상데이터를 분석하여 알 수 있다. 따라서, 약액분사시간정보는 약액 분사가 개시된 시점 및 종료된 시점을 이용하여 산출할 수 있다. 또한, 약액분사용량정보는 약액분사시간정보, 약액분사속도정보 및 약액지름정보 등을 이용하여 산출할 수 있음은 상술한 바와 같다.
단계 S470에서, 산출된 약액분사용량정보가 미리 설정된 용량임계값 이상인지 여부를 판단한다. 여기서, 용량임계값은 미리 설정된 용량에 대한 정보로서, 피도포체(160)에 약액이 정상적으로 도포되기 위하여 필요한 최소한의 약액 용량에 대한 정보일 수 있다.
단계 S480에서, 약액분사용량정보가 용량임계값 미만이면 피도포체(160)에 약액이 비정상적으로 도포 완료되었다고 판단할 수 있다. 용량임계값 미만의 약액이 분사된 경우에는 피도포체(160)에 고르게 약액이 도포될 수 없는 경우이기 때문이다.
단계 S490에서, 약액분사용량정보가 용량임계값 이상이면 피도포체(160)에 약액이 정상적으로 도포 완료되었다고 판단할 수 있다. 용량임계값 이상의 약액이 분사된 경우에는 피도포체(160)에 고르게 약액이 도포될 수 있는 경우이기 때문이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 도포상태판단부(170)은 약액이 정상적으로 분사되고 있는지 여부 및 분사된 약액의 용량을 자동으로 산출하여 피도포체(160)에 정상적으로 도포되었는지를 자동으로 판단할 수 있음은 자명하다.
도 5은 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 도포 상태 모니터링 방법에 대한 순서도이다.
이하, 도 5를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 도포 상태 모니터링 방법에 대하여 상세하게 설명한다. 이하에서 설명될 각 단계들은 도 1을 참조하여 설명한 도포상태판단부(170)에서 수행되는 단계일 수 있다. 따라서, 이하의 단계를 수행하는 주체는 생략될 수 있다. 또한, 이하에서 설명될 각 단계들은 도 4를 참조하여 설명한 단계 S410 내지 단계 S440이 수행된 이후에 수행되는 단계들일 수 있다.
단계 S510에서, 약액 분사가 종료되었다고 판단되면 제1 영상데이터에서 약액픽셀정보에 상응하는 픽셀의 개수를 추출한다. 즉, 도포상태판단부(170)는 약액 분사가 종료된 후 수신된 제1 영상데이터에서 미리 설정된 약액색상정보에 상응하는 픽셀의 개수를 추출할 수 있다.
단계 S520에서, 추출된 약액색상정보에 상응하는 픽셀의 개수와 미리 설정된 개수(즉, 픽셀임계값)를 비교한다.
단계 S530에서, 추출된 약액색상정보에 상응하는 픽셀의 개수가 픽셀임계값 미만이면 후방흡입이 정상인 것으로 판단할 수 있다.
단계 S540에서 추출된 약액색상정보에 상응하는 픽셀의 개수가 픽셀임계값 이상이면 후방흡입이 불량한 것으로 판단할 수 있다.
여기서, 도포상태판단부(170)가 약액 분사가 종료된 후 수신된 제1 영상데이터에서 약액색상정보에 상응하는 픽셀의 개수를 추출하는 동작은 도 1을 참조하여 상세히 설명한 동작과 동일 또는 유사할 수 있다. 따라서, 여기서는 이에 대한 상세한 설명을 생략한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 도포상태판단부(170)은 약액이 분사된 후에 수신된 제1 영상데이터를 분석하여 후방흡입이 정상적으로 이뤄지고 있는지 여부를 자동으로 판단할 수 있음은 자명하다. 또한, 도 5에서는 도포상태판단부(170)가 제1 영상데이터의 각 픽셀의 색상정보를 이용하여 후방흡입불량 여부를 판단하는 동작에 대해서만 도시되어 있으나, 도포상태판단부(170)는 제1 영상데이터에서 추출한 제1 노즐팁정보와 미리 설정된 제1 기준노즐팁정보를 상호 비교하여 후방흡입불량 여부를 판단할 수도 있음은 상술한 바와 같다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 약액 도포 상태 모니터링 방법에 대한 순서도이다.
이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 약액 도포 상태 모니터링 방법에 대하여 상세하게 설명한다. 이하에서 설명될 각 단계들은 도 1을 참조하여 설명한 도포상태판단부(170)에서 수행되는 단계일 수 있다. 따라서, 이하의 단계를 수행하는 주체는 생략될 수 있다. 또한, 이하에서 설명될 각 단계들은 도 4를 참조하여 설명한 단계 S410 내지 단계 S440이 수행된 이후에 수행되는 단계들일 수도 있다.
단계 S610에서, 약액도포가 종료되고, 제2 카메라부(120-2)에서 생성된 제2 영상데이터가 수신된다(단계 S620). 제2 영상데이터는 약액이 도포된 피도포체(160)가 촬상된 영상데이터일 수 있음은 상술한 바와 같다.
단계 S630에서, 제2 영상데이터와 미리 설정된 제2 기준데이터를 비교하고, 단계 S640에서, 비교 결과를 이용하여 피도포체(160)에 약액도포가 정상적으로 이뤄졌는지 여부를 판단한다. 여기서, 도포상태판단부(170)가 제2 영상데이터와 제2 기준데이터를 비교하여 약액이 정상적으로 피도포체(160)에 도포되었는지 여부를 판단하는 동작은 도 1 등을 판단하여 설명한 상술한 방법과 동일 또는 유사하다. 따라서, 여기서는 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
단계 S650에서, 약액이 정상적으로 피도포체(160)에 도포되지 않았다고 판단되면 약액이 비정상적으로 도포되었다고 판단하고, 단계 S660에서, 약액이 정상적으로 피도포체(160)에 도포되었다고 판단되면 약액이 정상적으로 도포 완료되었다고 판단한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 도포상태판단부(170)은 피도포체(160)가 촬상된 제2 영상데이터를 분석하여 피도포체(160)에 약액이 정상적으로 도포된 것인지 여부를 자동으로 판단할 수 있음은 자명하다. 또한, 도 6에서는 도포상태판단부(170)가 제2 영상데이터와 제2 기준데이터를 비교하여 피도포체(160)에 약액이 정상적으로 도포된 것인지 여부를 판단하는 동작에 대해서만 도시되었으나, 도포상태판단부(170)는 제2 영상데이터의 각 픽셀의 색상정보를 이용하여 (제2 기준데이터와의 비교 없이) 피도포체(160)에 약액이 정상적으로 도포된 것인지 여부를 판단할 수도 있음은 상술한 바와 같다.
상술한 본 발명에 따른 약액 도포 상태 모니터링 방법은 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현되는 것이 가능하다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체로는 컴퓨터 시스템에 의하여 해독될 수 있는 데이터가 저장된 모든 종류의 기록 매체를 포함한다. 예를 들어, ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory), 자기 테이프, 자기 디스크, 플래쉬 메모리, 광 데이터 저장장치 등이 있을 수 있다. 또한, 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 통신망으로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어, 분산방식으로 읽을 수 있는 코드로서 저장되고 실행될 수 있다.
또한, 상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 약액 도포 장치
105 : 도포장치제어부
110 : 노즐부
120-1 : 제1 카메라부
120-2 : 제2 카메라부
130 : 베이스부재
140 : 아암
150 : 척
160 : 피도포체
170 : 도포상태판단부
180 : 네트워크
190 : 외부 장치

Claims (15)

  1. 삭제
  2. 약액 도포 상태 모니터링 장치에서 약액의 도포 상태를 모니터링하는 방법에 있어서,
    약액도포공정이 개시되고, 구비된 제1 카메라부에 의하여 제1 영상데이터가 순차적으로 생성되는 단계; 및
    순차적으로 생성된 상기 제1 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계;
    를 포함하되,
    상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계는,
    상기 약액의 분사가 개시되기 전에 미리 설정된 방법에 의하여 상기 제1 영상데이터에 상기 약액에 상응하는 픽셀이 포함되었는지 여부를 판단하는 단계; 및
    상기 제1 영상데이터에 상기 약액에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이상 포함되어 있다면 상기 약액의 도포가 비정상적으로 이뤄지고 있다고 판단하는 단계;
    를 포함하는 약액 도포 상태 모니터링 방법.
  3. 약액 도포 상태 모니터링 장치에서 약액의 도포 상태를 모니터링하는 방법에 있어서,
    약액도포공정이 개시되고, 구비된 제1 카메라부에 의하여 제1 영상데이터가 순차적으로 생성되는 단계; 및
    순차적으로 생성된 상기 제1 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계;
    를 포함하되,
    상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계는,
    상기 약액의 분사가 개시된 후 n번째 생성된 상기 제1 영상데이터가 상기 약액의 분사가 개시되기 이전에 생성된 상기 제1 영상데이터와 동일하면 상기 약액의 도포가 비정상적으로 이뤄진 것으로 판단하는 단계;
    를 포함하고,
    상기 n은 자연수인 것을 특징으로 하는 약액 도포 상태 모니터링 방법.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 약액 도포 상태 모니터링 장치에서 약액의 도포 상태를 모니터링하는 방법에 있어서,
    약액도포공정이 개시되고, 구비된 제1 카메라부에 의하여 제1 영상데이터가 순차적으로 생성되는 단계; 및
    순차적으로 생성된 상기 제1 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계;
    를 포함하되,
    상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계는,
    상기 약액의 분사가 이루어진 후, 상기 제1 영상데이터와 미리 설정된 제1 기준데이터를 비교하는 단계; 및
    상기 제1 영상데이터와 상기 제1 기준데이터의 오차 범위가 미리 설정된 범위 이내이면 상기 약액의 분사가 종료되었다고 판단하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 상태 모니터링 방법.
  7. 약액 도포 상태 모니터링 장치에서 약액의 도포 상태를 모니터링하는 방법에 있어서,
    약액도포공정이 개시되고, 구비된 제1 카메라부에 의하여 제1 영상데이터가 순차적으로 생성되는 단계; 및
    순차적으로 생성된 상기 제1 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계;
    를 포함하되,
    상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계는,
    상기 약액의 분사가 이루어진 후, 상기 제1 영상데이터에 포함된 각 픽셀의 색상정보를 분석하는 단계; 및
    상기 제1 영상데이터에 포함된 픽셀 중 미리 설정된 약액색상정보에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이하로 검출되면 상기 약액의 분사가 종료되었다고 판단하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 상태 모니터링 방법.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계는,
    상기 약액의 분사가 종료되면, 상기 제1 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 노즐부에 잔여약액이 존재하는지 여부를 판단하는 단계; 및
    상기 잔여약액이 존재하면 상기 약액의 도포가 비정상적으로 이뤄지는 것으로 판단하는 단계;
    를 포함하는 약액 도포 상태 모니터링 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 노즐부에 잔여약액이 존재하는지 여부를 판단하는 단계는,
    상기 제1 영상데이터에서 제1 노즐팁정보를 추출하는 단계;
    상기 제1 노즐팁정보와 미리 설정된 제1 기준노즐팁정보를 비교하는 단계; 및
    상기 제1 노즐팁정보와 상기 제1 기준노즐팁정보의 오차 범위가 미리 설정된 범위 이내이면 상기 잔여약액이 존재한다고 판단하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 상태 모니터링 방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 노즐부에 잔여약액이 존재하는지 여부를 판단하는 단계는,
    상기 제1 영상데이터에 포함된 각 픽셀의 색상정보를 분석하는 단계; 및
    상기 제1 영상데이터에 포함된 픽셀 중 미리 설정된 약액색상정보에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이상으로 검출되면 상기 잔여약액이 존재한다고 판단하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 상태 모니터링 방법.
  11. 약액 도포 상태 모니터링 장치에서 약액의 도포 상태를 모니터링하는 방법에 있어서,
    약액도포공정이 개시되고, 구비된 제1 카메라부에 의하여 제1 영상데이터가 순차적으로 생성되는 단계; 및
    순차적으로 생성된 상기 제1 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계;
    를 포함하되,
    상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는지 여부를 판단하는 단계는,
    상기 약액의 분사가 개시된 시간과 상기 약액의 분사가 종료된 시간을 이용하여 약액분사시간정보를 생성하는 단계;
    상기 약액분사시간정보를 이용하여 미리 설정된 방법에 따라 약액분사용량정보를 생성하는 단계;
    상기 약액분사용량정보를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단하는 단계; 및
    상기 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었다고 판단되면 상기 약액의 도포가 정상적으로 이뤄지는 것으로 판단하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 상태 모니터링 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단하는 단계는,
    상기 약액분사용량정보와 미리 설정된 용량임계값을 비교하는 단계; 및
    상기 약액분사용량정보가 상기 용량임계값에 상응하면 상기 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었다고 판단하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 상태 모니터링 방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단하는 단계는,
    상기 약액의 도포가 종료되고, 구비된 제2 카메라부에 의하여 제2 영상데이터가 순차적으로 생성되는 단계; 및
    상기 제2 영상데이터를 미리 설정된 방법에 따라 분석하여 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 상태 모니터링 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단하는 단계는,
    상기 제2 영상데이터와 미리 설정된 제2 기준데이터를 비교하는 단계; 및
    상기 제2 영상데이터와 상기 제2 기준데이터의 오차 범위가 미리 설정된 범위 이내이면 상기 약액이 정상적으로 도포되었다고 판단하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 상태 모니터링 방법.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 피도포체에 상기 약액이 정상적으로 도포되었는지 여부를 판단하는 단계는,
    상기 제2 영상데이터에 포함된 각 픽셀의 색상정보를 분석하는 단계; 및
    상기 제2 영상데이터에 포함된 각 픽셀 중 미리 설정된 피도포체색상정보에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이상으로 검출되거나, 미리 설정된 약액색상정보에 상응하는 픽셀이 미리 설정된 개수 이하로 검출되면 상기 피도포체에 상기 약액이 비정상적으로 도포되었다고 판단하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 상태 모니터링 방법.
KR1020100038674A 2010-04-26 2010-04-26 약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치 KR100989857B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100038674A KR100989857B1 (ko) 2010-04-26 2010-04-26 약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100038674A KR100989857B1 (ko) 2010-04-26 2010-04-26 약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100989857B1 true KR100989857B1 (ko) 2010-10-29

Family

ID=43135821

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100038674A KR100989857B1 (ko) 2010-04-26 2010-04-26 약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100989857B1 (ko)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104851822A (zh) * 2014-02-17 2015-08-19 斯克林集团公司 位移检测单元及检测方法、基板处理装置及处理方法
CN112505035A (zh) * 2019-09-13 2021-03-16 株式会社斯库林集团 喷嘴内部的气液界面的检测方法及衬底处理装置
WO2021096601A1 (en) * 2019-11-14 2021-05-20 Tokyo Electron Limited Systems and methods for automated video analysis detection techniques for substrate process
US11624607B2 (en) 2020-01-06 2023-04-11 Tokyo Electron Limited Hardware improvements and methods for the analysis of a spinning reflective substrates
US11738363B2 (en) 2021-06-07 2023-08-29 Tokyo Electron Limited Bath systems and methods thereof
US12123778B2 (en) 2021-03-04 2024-10-22 Tokyo Electron Limited Thermal imaging sensor for integration into track system

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005040690A (ja) 2003-07-25 2005-02-17 Shibaura Mechatronics Corp 塗布装置および塗布方法
JP2007105663A (ja) * 2005-10-14 2007-04-26 Toshiba Components Co Ltd 液体塗布装置
KR100769646B1 (ko) * 2006-03-30 2007-10-23 나노에프에이 주식회사 노즐 모니터링부를 갖는 포토레지스트 도포 장치 및 이를이용한 포토레지스트 도포 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005040690A (ja) 2003-07-25 2005-02-17 Shibaura Mechatronics Corp 塗布装置および塗布方法
JP2007105663A (ja) * 2005-10-14 2007-04-26 Toshiba Components Co Ltd 液体塗布装置
KR100769646B1 (ko) * 2006-03-30 2007-10-23 나노에프에이 주식회사 노즐 모니터링부를 갖는 포토레지스트 도포 장치 및 이를이용한 포토레지스트 도포 방법

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104851822A (zh) * 2014-02-17 2015-08-19 斯克林集团公司 位移检测单元及检测方法、基板处理装置及处理方法
CN112505035A (zh) * 2019-09-13 2021-03-16 株式会社斯库林集团 喷嘴内部的气液界面的检测方法及衬底处理装置
WO2021096601A1 (en) * 2019-11-14 2021-05-20 Tokyo Electron Limited Systems and methods for automated video analysis detection techniques for substrate process
US11276157B2 (en) * 2019-11-14 2022-03-15 Tokyo Electron Limited Systems and methods for automated video analysis detection techniques for substrate process
US11624607B2 (en) 2020-01-06 2023-04-11 Tokyo Electron Limited Hardware improvements and methods for the analysis of a spinning reflective substrates
US12123778B2 (en) 2021-03-04 2024-10-22 Tokyo Electron Limited Thermal imaging sensor for integration into track system
US11738363B2 (en) 2021-06-07 2023-08-29 Tokyo Electron Limited Bath systems and methods thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100989857B1 (ko) 약액 도포 상태 모니터링 방법 및 그 장치
JP6830406B2 (ja) 分注装置
JP7331568B2 (ja) 液処理装置及び液処理装置の液検出方法
KR101619097B1 (ko) 반도체 제조 공정에서의 공정 모니터링 시스템
KR20190008496A (ko) 반도체 웨이퍼 가공 공정에서 오류를 검출하기 위한 장치 및 그 방법
KR20190060524A (ko) 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 장치 및 방법
EP1939631A2 (en) Sample dispensing apparatus
US20080240542A1 (en) Droplet detection system
KR101845675B1 (ko) 무선 컨트롤러를 이용한 데스크탑 로봇 디스펜서 시스템
US20210304383A1 (en) Abnormality detection apparatus and abnormality detection method
KR101392437B1 (ko) 액정의 이상 토출 감지 방법
JP4957820B2 (ja) 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体
JP2012206093A (ja) 塗布方法および塗布装置
CN104116505A (zh) 脉搏估计装置和脉搏估计程序
TW202013092A (zh) 半導體裝置
KR101228426B1 (ko) 마킹 검사 장치 및 방법
KR20100012182A (ko) 액정방울 토출여부 확인방법 및 이를 실행하는 액정디스펜서
KR20220088312A (ko) 표시 장치, 표시 방법 및 기억 매체
TW201839873A (zh) 塗佈機之雙液面偵測裝置
CN113506758A (zh) 芯片粘接质量检验方法、装置、设备及存储介质
KR101081518B1 (ko) 약액 유량 측정 장치 및 방법
KR100979757B1 (ko) 기판 처리 장치 및 방법
KR20080114424A (ko) 화학액 분배 스피너 장비
WO2018173830A1 (ja) 液滴流量測定装置
KR100940486B1 (ko) 약액 디스펜싱 상태 감시방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131021

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141017

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151013

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160926

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170825

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180802

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190926

Year of fee payment: 10