KR100977309B1 - 회전형 픽업 실린더 - Google Patents

회전형 픽업 실린더 Download PDF

Info

Publication number
KR100977309B1
KR100977309B1 KR1020080044081A KR20080044081A KR100977309B1 KR 100977309 B1 KR100977309 B1 KR 100977309B1 KR 1020080044081 A KR1020080044081 A KR 1020080044081A KR 20080044081 A KR20080044081 A KR 20080044081A KR 100977309 B1 KR100977309 B1 KR 100977309B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cylinder
lead screw
nut
screw shaft
rotary
Prior art date
Application number
KR1020080044081A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090118346A (ko
Inventor
윤경중
강성민
박상민
Original Assignee
주식회사 프로텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 프로텍 filed Critical 주식회사 프로텍
Priority to KR1020080044081A priority Critical patent/KR100977309B1/ko
Publication of KR20090118346A publication Critical patent/KR20090118346A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100977309B1 publication Critical patent/KR100977309B1/ko

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/02Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08Characterised by the construction of the motor unit
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/70Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor
    • F15B2211/705Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor characterised by the type of output members or actuators
    • F15B2211/7058Rotary output members
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 장비 관련 픽 앤드 플레이스 시스템(Pick & Place System)에 주로 사용되는 회전형 픽업 실린더에 관한 것으로써, 본 발명은 진공 흡착작동하는 진공흡착회전부와 상기 진공흡착회전부의 회전구동을 공기압 구동원에 의해 제어하는 회전구동실린더부를 동일 축 상에 집약 구성하되, 실린더 블록(10)의 실린더실(11) 내부에 중앙의 스크류부(41)에 나사 결합한 너트(45)와 상기 너트 상하로 피스톤(51)(52)이 결합한 리드스크류축(40)을 상하 베어링(55)으로 회전가능케 지지 설치하여, 상기 리드스크류축(40)의 중앙에는 진공흡착포트(101)에 연결되는 진공관로(42)를 관통 형성하여 하단에 결합한 흡착구(57)로 흡착 작동하도록 구성하고, 상기 실린더실(11)의 상 하부에는 회전입력포트(102)와 복귀회전입력포트(103)를 에어관로(12)(13)로 관통 연결되게 형성하여 상기 에에관로를 통해 공급되는 에어에 의해 상하 피스톤(51)(52)이 너트를 승강시켜 리드스크류축을 회전 및 복귀 회전작동함으로써, 콤팩트한 사이즈에 의해 공간활용성이 우수함은 물론 작동부하 절감으로 안정적 회전작동, 낮은 작업압력 소요 및 회전구동을 위한 피스톤의 확대 적용으로 작동력의 극대화 등을 제공하는데 그 특징이 있다.
회전, 픽업실린더, 동일 축, 리드스크류축, 실린더, 흡착

Description

회전형 픽업 실린더{PICK-UP CYLINDER OF ROTATION TYPE}
본 발명은 반도체 장비 관련 T&R(Tape & Reel), 비젼 인스펙션(Vision Inspection)시스템, 소잉 소터 시스템(Sawing Sortor System), 반도체 테스트 핸들러(Test Handler), 기타 디바이스(Device)의 픽업과 회전을 필요로 하는 픽 앤드 플레이스 시스템(Pick & Place System)에 주로 사용되는 회전형 픽업 실린더에 관한 것으로서,
보다 구체적으로는 진공흡착회전부와 상기 회전부를 회전작동을 제어하는 회전구동실린더부를 동일축 상에 집약 구성하므로 콤팩트한 사이즈에 의해 공간활용성이 우수함은 물론 작동부하 절감으로 안정적 회전작동, 낮은 작업압력 소요 및 회전구동을 위한 피스톤의 확대 적용으로 작동력의 극대화 등을 제공하는 회전형 픽업 실린더의 개선에 관한 것이다.
일반적으로 T&R(Tape & Reel)은 패킹(Packing) 방법의 하나로 대부분의 디바이스들은 포장할 때, 트레이(tray) 또는 튜브(tube)에 담아 포장을 하게 되어 있으 나, 최근에는 트레이나 튜브 상에 넣지 못할 정도로 작은 패키지들이 개발되었고, 부피도 덜 차지하기 때문에 릴(reel)의 포켓에 자재를 하나씩 넣고 테이프로 붙여 릴 형태로 포장하는 형태로 제품화되고 있다.
이러한 패키지 공정에는 반도체 디바이스를 흡착하여 이송하는 단계가 포함된다.
다시 말하여, 반도체 디바이스(device)를 트레이(tray)로부터 테이프 앤드 릴(T&R) 장비에 적용되는 캐리어 테이프의 포켓에 담거나, 케리어 테이프에 포장된 디바이스를 포켓으로부터 흡착하여 이송하는 단계 모두를 들 수 있고, 이러한 장비에 적용되는 기구로서 반드시 진공흡착 기능의 픽업실린더가 사용된다.
일 예를 들어, 케리어 테이프의 포켓에 라인 상을 흐르는 트레이 내의 디바이스를 포장하기 위한 프로세스를 예를 들어 설명하면, 라인 상을 흐르는 트레이에 수납된 반도체 디바이스의 방향은 이 디바이스를 수납하는 케리어 테이프의 포켓의 방향과 장비의 배치나 기타 수반되는 공정상에 따라서 90도 회전된 방향으로 배치되는 경우가 있다.
이러한 경우에는 반도체 디바이스를 이송하여 케리어 테이프의 포켓에 넣기 위해 90도 회전하여야 한다.
이 때문에 최근에는 픽업실린더가 디바이스를 흡착한 상태로 업다운 기능 및 회전 기능을 함께 구현하도록 제공되고 있다.
즉, 픽업실린더는 공기압 구동원과 연결되어 압축공기의 공급에 의해 소정의 거리를 업다운 하는 업다운 실린더부와, 상기 업다운 실린더부의 로드에 연결되어 연동하는 진공흡착회전부 및, 상기 진공흡착회전부의 회전구동을 공기압 구동원에 의해 제어하는 회전구동실린더부를 포함하여 이루어져 진공흡착회전부가 디바이스를 흡착하여 회전구동실린더부에 의한 회전작동과 업다운 실린더부에 의한 업다운 작동을 행하게 되는 것이다.
이러한 픽업실린더에서 상기 회전구동실린더부와 진공흡착회전부는 몸체상에 병렬 장착된 구조로 되어 있는데, 상기 진공흡착회전부는 볼스크류가 축 결합하고 상기 스크류에 결합한 너트를 회전구동실린더의 제어에 의해 직선운동시켜 스크류를 회전하도록 작동하게 되는 것이다.
그러나 상기한 종래 픽업실린더는 다음과 같은 문제점이 있었다.
첫째, 상기 회전구동실린더부와 진공흡착회전부가 병렬 장착된 구조를 갖기 때문에 몸체의 사이즈가 크게 되어 공간 활용성이 저하됨은 물론 무게가 많이 나가고 취부면에서 진공흡착부까지의 거리가 멀어 정밀도가 떨어지며 다수를 폭방향으로 병렬 설치함에 있어서도 여러 문제점을 유발하였다.
둘째, 상기 회전구동실린더부와 진공흡착회전부가 병렬 장착된 구조를 갖기 때문에 회전구동실린더부의 회전 구동에 따른 부하가 크게 작용하여 안정적인 회전작동이 곤란함은 물론 회전작동을 위한 작동압력이 크게 요구되는 문제점이 있었다.
셋째, 상기 회전구동실린더부와 진공흡착회전부가 병렬 장착된 구조를 갖기 때문에 회전구동실린더부를 확대 구성함에 한계를 갖기 때문에 회전 토오크 발생에도 한계를 갖는 문제점이 있었다.
넷째, 볼스크류를 이용함에 따라 각도 편차에 따른 작동 오류가 심하게 되고, 이를 방지하기 위해 고가의 고정밀도 볼스크류를 적용하는 경우 제조 비용이 고가로 소요되는 문제점이 있었다.
다섯째, 볼스트크류의 회전제한을 하는 스토퍼가 직선운동을 하는 피스톤을 제어하는 방식으로 회전 정도의 편차 관리가 매우 곤란하여 정밀한 조절이 곤란한 문제점이 있었다.
여섯째, 많은 부품으로 조립 구성되기 때문에 조립 생산성 저하는 물론 제조원가를 상승시키는 비경제적인 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 종래 기술이 갖는 제반 문제점을 근본적으로 해결하고자 발명된 것으로서,
본 발명은 진공흡착회전부와 상기 회전부를 회전작동을 제어하는 회전구동실린더부를 동일축 상에 집약 구성하므로 콤팩트한 사이즈에 의해 공간 활용성이 우수함은 물론 개별 피커의 무게를 줄여 사용자로 하여금 전체적인 시스템의 구성에 효율성을 극대화함은 물론 작동부하 절감으로 안정적 회전작동, 낮은 작업압력 소요 및 회전구동을 위한 피스톤의 확대 적용으로 작동력의 극대화 등을 제공하는데 그 목적이 있다.
또, 본 발명은 진공흡착회전부의 리드스크류축 회전각도 제한을 스토퍼볼트에 의한 직접방식에 의해 제어하므로 간단한 구조에 의해서 더욱 정밀한 제어가 가능하도록 제공하여 사용 신뢰도를 극대화하는데 그 목적이 있다.
또, 본 발명은 볼스크류가 아닌 저가의 리드스크류축을 사용함으로써 경제적이면서 작동 정밀도를 우수하게 제공할 수 있어 사용 신뢰도를 극대화하는데 그 목적이 있다.
또, 본 발명은 부품의 수효를 최소화하는 단순한 구조에 의해 제조생산성 향상은 물론 제조 원가를 절감하도록 제공하는데 그 목적이 있다.
이러한 본 발명은,
진공 흡착작동하는 진공흡착회전부와 상기 진공흡착회전부의 회전구동을 공기압 구동원에 의해 제어하는 회전구동실린더부를 동일축 상에 집약 구성함에 의해 달성된다.
이를 위해 본 발명의 진공흡착회전부와 회전구동실린더부는,
실린더 블록의 실린더실 내부에 중앙의 스크류부에 나사 결합한 너트와 상기 너트 상하로 피스톤이 결합한 리드스크류축을 상하 베어링으로 회전가능케 지지 설치하되, 상기 리드스크류축의 중앙에는 진공흡착포트에 연결되는 진공관로를 관통 형성하여 하단에 결합한 흡착구로 흡착 작동하도록 구성하고,
상기 실린더실의 상 하부에는 회전입력포트와 복귀회전입력포트를 에어관로로 관통 연결되게 형성하여 상기 에어 관로를 통해 공급되는 에어에 의해 상하 피스톤이 너트를 승강시켜 리드스크류축을 회전 및 복귀 회전 작동하도록 함에 그 특징이 있다.
또, 본 발명의 상기 너트의 일측에 형성된 상하 안내홈으로 너트 가이드의 가이드가 삽입되어 너트를 승강 안내 작동하도록 함에 그 특징이 있다.
또, 본 발명의 상기 너트 타측에 결합하는 마그네트가 실린더블록에 설치된 센서에 의해 감지되면서 공기압 구동원에 의한 회전입력포트와 복귀회전입력포트의 에어 공급을 제어하도록 함에 그 특징이 있다.
또, 본 발명의 상기 리드스크류축 상단에 고정 설치되는 작동캠의 측방 및 수직방향에서 결합하는 스토퍼볼트와 스토퍼핀에 걸림 작동되어 리드스크류축의 회 전각도를 제한하도록 함에 그 특징이 있다.
본 발명에 의한 회전형 픽업실린더는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 진공흡착회전부와 상기 회전부를 회전작동을 제어하는 회전구동실린더부를 동일축 상에 집약 구성함으로써, 콤팩트한 사이즈에 의해 공간활용성이 우수함은 물론, 개별 피커의 무게를 줄여 사용자로 하여금 전체적인 시스템의 구성에 효율성을 극대화하는 이점이 있다.
둘째, 작동부하 절감으로 안정적 회전작동, 낮은 작업압력 소요 및 회전구동을 위한 피스톤의 확대 적용으로 작동력의 극대화 이점이 있다.
셋째, 종래 볼 스크류가 아닌 저가의 리드스크류축을 사용하면서 작동 정밀도를 우수하게 제공하는 이점이 있다.
넷째, 진공흡착회전부의 리드스크류축 회전각도 제한을 스토퍼볼트에 의한 직접방식으로 간단한 구조에 의해서 더욱 정밀한 제어가 가능하도록 제공하여 사용 신뢰도를 극대화하는 이점이 있다.
이하, 첨부되는 도면과 관련하여 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성을 살펴보면 다음과 같다.
본 발명의 회전형 픽업실린더의 가장 큰 특징은 진공 흡착작동하는 진공흡착 회전부와 상기 진공흡착회전부의 회전구동을 공기압 구동원에 의해 제어하는 회전구동실린더부를 동일축 상에 집약 구성한 것에 있다.
즉, 본 발명의 회전형 픽업실린더는 도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 내부에 상하로 실린더실(11)을 갖는 실린더 블록(10)의 상하로 로터리커버(20)와 실린더 커버(30)를 결합 구성하고,
상기 실린더실(11) 내부에는 중앙의 스크류부(41)에 나사 결합한 너트(45)와 상기 너트 상하로 피스톤(51)(52)이 결합한 리드스크류축(40)을 상하 베어링(55)으로 회전가능케 지지 설치하되,
상기 리드스크류축(40)의 중앙에는 진공흡착포트(101)에 연결되는 진공관로(42)를 관통 형성하여 하단에 결합한 흡착구(57)로 흡착 작동하도록 구성하고,
상기 실린더실(11)의 상 하부에는 회전입력포트(102)와 복귀회전입력포트(103)를 에어관로(12)(13)로 관통 연결되게 형성하여 상기 에에관로를 통해 공급되는 에어에 의해 상하 피스톤(51)(52)이 너트를 승강시켜 리드스크류축을 회전 및 복귀 회전작동하도록 이루어진다.
이때, 상기 너트(45)의 일측에는 상하 안내홈(46)을 형성하여 실린더블록(10)에 결합하는 너트 가이드(60)의 가이드(62)가 삽입 결합하여 너트를 승강 안내 작동하도록 구성된다.
또한, 상기 너트(45)의 타측에는 마그네트(70)를 결합하고, 상기 실린더블록(10)에 마그네트를 감지하는 센서(82)를 갖는 센서블록(80)을 결합하여 공기압 구동원에 의한 회전입력포트(102)와 복귀회전입력포트(103)의 에어 공급을 제어하도록 구성된다.
또한, 상기 로터리커버(20)에는 리드스크류축(40)의 회전각도를 조절하는 조절수단(90)을 구비하여 이룬다.
상기 회전각도 조절수단(90)은 리드스크류축(40) 상단에 세트 스크류(91)로 고정 설치되는 작동캠(92)의 측방 및 수직방향에서 로터리커버(20)에 결합하는 스토퍼볼트(95)와 스토퍼핀(96)이 캠(92)의 양 지지면(93)에 걸림 작동되어 리드스크류축의 회전각도를 제한하도록 구성된다.
이때, 상기 작동캠(92)의 지지면(93) 형상에 따라 회전각도를 달리하게 되는데, 도 5 및 도 6에 서와 같이 양 지지면(93)이 90도 각도로 형성되는 경우에 리드스크류축을 90도 각도로 회전제한할 수 있고, 도 7 및 도 8에서와 같이 양 지지면(93)이 평행한 경우에 180도 각도로 회전제한할 수 있다.
그리고 본 발명은 별도 구성되는 구동원, 즉 상기 리드스크류축(40) 하단에는 업다운실린더부(200)의 로드(210)에 결합한 가이드 플레이트(250)를 결합하여 업다운 작동을 구현하게 된다.
도면 중 미설명 부호로서, 49는 리드스크류축(40) 상단부에 형성된 고정홈, 56은 리드스크류축(40) 상 하단을 지지하는 베어링(55)을 상 하부에 결합하는 커버, 58은 로드커버를 나타내는 것이다.
다음은 상기와 같이 구성되는 본 발명의 작동 및 작용에 대해 도 10 내지 도 13을 참조하여 살펴보기로 한다.
즉, 도 10에서와 같이, 본 발명의 회전형 픽업실린더는 이를 조립한 전체 승강수단인 상기 업다운실린더부(200)의 로드(210) 하강작동에 의해 가이드 플레이트(250)와 결합된 상태로 하강하게 된다.
이때, 리드스크류축(40) 하단의 흡착구(57)가 반도체 디바이스(D) 상면에 밀착 위치하게 된다.
이와 함께 공기압 구동원에서 진공흡착포트(101)를 통해 리드스크류축(40) 내부의 진공관로(42)를 통해 에어를 흡입구동함에 의해 흡착구(57)에 의한 반도체 디바이스(D)를 흡착하게 된다.
이러한 상태에서 도 11과 같이, 상기 업다운실린더부(200)의 로드(210) 상승 작동에 의해 가이드 플레이트(250)와 함께 본 발명의 회전형 픽업실린더를 원위치로 상승시키게 된다.
이러한 상태에서 도 12와 같이, 상기 반도체 디바이스(D)를 90도 회전 시에는 상기 공기압 구동원에서 회전입력포트(102)를 통해 압축공기를 공급함에 의해 리드스크류축(40)을 반 시계 방향으로 회전작동하게 되는 것이다.
이러한 작동을 도 5를 참조하여 보다 구체적으로 설명하면,
상기 회전입력포트(102)로 공급된 공기압은 에어관로(12)를 통해 실린더실(11)의 상부로 공급되어 상부 피스톤(51)을 하방으로 가압하게 된다.
이와 같이 상부 피스톤(51)의 가압력에 의해 리드스크류축(40) 중앙의 스크류에 나사 결합한 너트(45)는 너트가이드(60)에 의해 회전이 제한되고 하강 작동하 게 된다.
이와 같이 너트(45)의 하강작동과 동시에 리드스크류축(40)은 나사회동으로 반 시계 방향으로 회전하면서 하단 흡착구(57)에 흡착된 반도체 디바이스(D)를 반 시계 방향으로 회전시키게 되는 것이다.
이때, 상기 너트(45)의 하강작동시, 상기 너트(45)에 결합한 마그네트(70)를 센서(82)에 의해 감지하여 공기압 구동원에서 공급되는 공기압을 중지함으로 상기 피스톤(51)에 의한 너트(45)의 하강작동 정지, 이로 인해 리드스크류축(40)의 회전작동이 정지되도록 제어하게 되는 것이다.
또한, 상기 리드스크류축(40) 상단에 고정 설치되는 작동캠(92)이 리드스크류축과 함께 회전하면서 로터리 커버(20)의 측방 및 수직방향에서 결합하는 스토퍼볼트(95)와 스토퍼핀(96)에 의해 작동캠의 지지면(93)이 걸림 작동되어 리드스크류축의 회전각도를 제어하게 된다.
이때, 상기 작동캠(92)의 지지면(93) 형상에 따라 스토퍼볼트(95)와 스토퍼핀(96) 사이의 회전 각도량을 스토퍼볼트(95)를 통해 정밀 조절할 수 있게 되는 것이다.
즉, 도 5 및 도 6에 도시된 평단면도에서와 같이, 상기 작동캠(92)의 양 지지면(93)이 90도 각도로 형성되는 경우에 리드스크류축을 90도 각도로 회전제한하게 되는 것이고, 도 7 및 도 8에서와 같이 작동캠의 양 지지면(93) 평행한 경우에 180도 각도로 회전제한하게 되는 것이다.
이와 같이 리드스크류축(40)이 반도체 디바이스(D)를 방향 전환한 후에는 도 13에 도시된 바와 같이, 다시 상기 업다운실린더부(200)의 로드(210) 하강 작동에 의해 본 발명의 회전형 픽업실린더를 하강시키게 된다.
이와 함께 공기압 구동원에서 진공흡착포트(101)를 통해 리드스크류축(40) 내부의 진공관로(42)를 통한 에어를 흡입구동함을 정지(진공파기)함으로써, 상기 흡착구(57)가 반도체 디바이스(D)를 흡착 해제하여 포켓이나 장착위치에 놓게 되는 것이다.
이러한 상태에서 다시 상기 업다운실린더부(200)의 로드 상승에 의해 본 발명의 픽업실린더를 원위치 상승시키게 된다.
그리고 공기압 구동원에서 복귀회전입력포트(103)로 공기압을 공급함에 의해 리드스크류축(40)을 시계 방향으로 원위치 회전작동하게 되는 것이다.
이를 도 6을 참조하여 보다 구체적으로 설명하면,
상기 복귀회전입력포트(103)로 공급된 공기압은 에어관로(13)를 통해 실린더실(11)의 하부로 공급되어 하부 피스톤(52)을 상방으로 가압하게 된다.
이와 같이 하부 피스톤(52)의 가압력에 의해 리드스크류축(40) 중앙의 스크류에 나사 결합한 너트(45)는 너트가이드(60)에 의해 회전이 제한된 상태로 상승 작동하게 된다.
이러한 너트(45)의 상승작동으로 리드스크류축(40)은 시계 방향으로 원위치 회전하게 되는 것이다.
이때, 상기 너트(45)의 상승 작동시 상기 너트(45)에 결합한 마그네트(70)를 센서(82)가 감지하여 공기압 구동원에서 공급되는 압축공기의 공급을 중지함으로 상기 피스톤(51)에 의한 너트(45)의 상승 작동 정지, 이로 인해 리드스크류축(40)의 원위치 회전작동이 정지되도록 제어하게 되는 것이다.
물론, 이때에도 전술한 바와 같이 리드스크류축(40) 상단에 고정 설치되는 작동캠(92)이 리드스크류축과 함께 원위치 회전하면서 로터리 커버(20)의 측방 및 수직방향에서 결합하는 스토퍼볼트(95)와 스토퍼핀(96)에 의해 작동캠의 지지면(93)이 걸림 작동되고, 그 회전 각도량은 스토퍼볼트(95)를 통해 정밀 조절할 수 있게 되는 것이다.
이러한 본 발명은 업다운실린더부(200)와 결합한 구조가 아닌 단독 구조로 흡착 회전작동만을 위해 설치 사용할 수도 있음은 물론이다.
따라서, 상기한 본 발명은 진공흡착회전부와 상기 회전부를 회전작동을 제어하는 회전구동실린더부를 리드스크류축(40)의 동일축 상에 집약 구성한 콤팩트한 사이즈를 제공하기 때문에 공간활용성 우수, 작동부하 절감으로 인한 안정적 회전작동, 낮은 작업압력 소요 및 회전구동을 위한 피스톤의 확대 적용으로 작동력을 극대화 등의 이점을 제공하게 되는 것이다.
뿐만 아니라, 종래 볼스크류가 아닌 저가의 리드스크류축을 사용하면서 작동 정밀도를 우수하게 제공함과, 리드스크류축 회전각도 제한을 스토퍼볼트에 의한 직접방식에 의해 제어하는 간단한 구조에 의해 더욱 정밀한 제어작동을 제공함에 의해 사용 신뢰도를 극대화하는 이점을 제공하는 것이다.
그리고 전체적인 부품의 수효를 최소화하는 단순한 구조에 의해 제조생산성 향상은 물론 제조 원가 절감의 이점을 제공하게 되는 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 사시도.
도 3은 본 발명의 정면도.
도 4는 본 발명의 분해 사시도.
도 5 및 도 6은 본 발명의 평 단면도 및 정 단면도를 동시에 도시한 단면도로서,
도 5는 리드스크류축의 하강동작에 의한 반 시계방향의 회전상태도 이고,
도 6은 리드스크류축의 상승동작에 의한 시계방향의 회전상태도 이다.
도 7 및 도 8은 본 발명 회전각도 조절수단을 보여주는 평 단면도.
도 9는 본 발명 회전각도 조절수단의 구성 요부 발췌 분해 사시도.
도 10 내지 도 13은 본 발명의 단계별 작동 상태도.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
10: 실린더 블록 11: 실린더실
12, 13,: 에어관로 20: 로터리커버
30: 실린더 커버 40: 리드스크류축
41: 스크류부 45: 너트
51, 52: 피스톤 55: 베어링
57: 흡착구 42: 진공관로
60: 너트가이드 62: 가이드
46: 안내홈 70: 마그네트
80: 센서블록 82: 센서
90: 회전각도 조절수단
92: 작동캠 95: 스토퍼 볼트
93: 지지면 96: 스토퍼핀
101: 진공흡착포트 102: 회전입력포트
102: 복귀회전입력포트

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 진공 흡착작동하는 진공흡착회전부와 상기 진공흡착회전부의 회전구동을 공기압 구동원에 의해 제어하는 회전구동실린더부를 동일축 상에 집약 구성된 회전형 픽업 실린더에 있어서,
    상기 진공흡착회전부와 회전구동실린더부는,
    내부에 상하로 실린더실(11)을 갖는 실린더 블록(10)의 상하로 로터리커버(20)와 실린더 커버(30)를 결합 구성하고,
    상기 실린더실(11) 내부에는 중앙의 스크류부(41)에 나사 결합한 너트(45)와 상기 너트의 상하에 피스톤(51)(52)을 결합한 리드스크류축(40)이 상하 베어링(55)으로 회전가능케 지지 설치하되,
    상기 리드스크류축(40)의 중앙에는 진공흡착포트(101)에 연결되는 진공관로(42)를 관통 형성하여 하단에 결합한 흡착구(57)로 흡착 작동하도록 구성하고,
    상기 실린더실(11)의 상 하부에는 회전입력포트(102)와 복귀회전입력포트(103)를 각각의 에어관로(12)(13)로 관통 연결되게 형성하여 상기 에어관로를 통해 공급되는 압축공기에 의해 상하 피스톤(51)(52)이 너트(45)를 승강시킴과 동시에 상기 너트와 나사 결합한 상기 리드스크류축(40)의 회전 및 복귀 회전하도록 구성하여 이루어진 것을 특징으로 하는 회전형 픽업 실린더.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 너트(45)의 일측에는 상하 안내홈(46)을 형성하여 실린더블록(10)에 결합하는 너트 가이드(60)의 가이드(62)가 삽입 결합하여 상기 너트(45)의 회전이 방지된 상태로 승강 안내 작동하도록 구성하여 이루어진 것을 특징으로 하는 회전형 픽업 실린더.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 너트(45)의 타측에는 마그네트(70)를 결합하고, 상기 실린더블록(10)에 마그네트를 감지하는 센서(82)를 갖는 센서블록(80)을 결합하되,
    상기 마그네트(70)의 상승과 하강을 상기 센서(82)가 감지하여 상기 공기압 구동원의 제어에 의한 상기 회전입력포트(102)와 복귀회전입력포트(103)의 에어 공급을 제어하도록 구성하여 이루어진 것을 특징으로 하는 회전형 픽업 실린더.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 로터리커버(20)에는 양 지지면(93)을 구비한 작동캠(92)이 상기 리드스크류축(40)의 상단에 세트 스크류(91)로 고정 설치되고,
    상기 작동캠(92)의 측방 및 수직방향에서 결합하는 스토퍼볼트(95) 및 스토퍼핀(96)에 의해 상기 작동캠(92)이 양 지지면(93)이 걸림 되어 회전이 제한되되,
    상기 리드스크류축(40)의 회전 각도량은 상기 스토퍼볼트(95)를 통해 정밀 조절 가능케 하는 회전각도 조절수단(90)을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 회전형 픽업 실린더.
KR1020080044081A 2008-05-13 2008-05-13 회전형 픽업 실린더 KR100977309B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080044081A KR100977309B1 (ko) 2008-05-13 2008-05-13 회전형 픽업 실린더

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080044081A KR100977309B1 (ko) 2008-05-13 2008-05-13 회전형 픽업 실린더

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090118346A KR20090118346A (ko) 2009-11-18
KR100977309B1 true KR100977309B1 (ko) 2010-08-23

Family

ID=41602316

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080044081A KR100977309B1 (ko) 2008-05-13 2008-05-13 회전형 픽업 실린더

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100977309B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102016145B1 (ko) * 2018-05-21 2019-08-30 한국영상기술(주) 조립용 픽업 헤드

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0565907A (ja) * 1991-09-05 1993-03-19 Smc Corp 真空制御装置付シリンダ
JPH07241495A (ja) * 1994-03-02 1995-09-19 Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd 回転ヘッドの位置・回転検出装置
JP2000110942A (ja) 1998-10-05 2000-04-18 Kuroda Precision Ind Ltd シリンダ式ピックアップ装置
KR100362372B1 (ko) 1999-11-13 2002-11-23 삼성전자 주식회사 픽업장치용 공압실린더

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0565907A (ja) * 1991-09-05 1993-03-19 Smc Corp 真空制御装置付シリンダ
JPH07241495A (ja) * 1994-03-02 1995-09-19 Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd 回転ヘッドの位置・回転検出装置
JP2000110942A (ja) 1998-10-05 2000-04-18 Kuroda Precision Ind Ltd シリンダ式ピックアップ装置
KR100362372B1 (ko) 1999-11-13 2002-11-23 삼성전자 주식회사 픽업장치용 공압실린더

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102016145B1 (ko) * 2018-05-21 2019-08-30 한국영상기술(주) 조립용 픽업 헤드

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090118346A (ko) 2009-11-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100807106B1 (ko) 업다운과 회전구동 일체형 픽업 실린더
TWI581358B (zh) A cartridge positioning device and a semiconductor processing device
CN102173345B (zh) 一种气动直线驱动的芯片拾取与翻转装置
KR20190076824A (ko) 셀 턴오버 장치 및 셀 턴오버 방법
CN206341566U (zh) 一种自动fpc贴合机
CN106272497A (zh) 部件内部卡持装置
CN104640371A (zh) 一种贴片机正反螺旋式的变幅贴片头及其变幅方法
CN105070670A (zh) 一种键合头装置及芯片封装装置
CN106103011A (zh) 衬底运输设备
US20150151934A1 (en) Unloading and feeding device
KR100977309B1 (ko) 회전형 픽업 실린더
CN217361537U (zh) 一种晶圆用定位装置
CN202346406U (zh) 一种气动直线驱动的芯片拾取与翻转装置
CN210526993U (zh) 一种翻转取袋机构
CN209112956U (zh) 一种承载回转装置
CN208377820U (zh) 一种用于板状材料的翻转装置
CN113645761B (zh) 一种具有校准功能的贴片机
CN107364723B (zh) 一种包装盒全自动堆叠设备
CN203649903U (zh) 用于遥控器产品的多功能夹料装置
KR200463709Y1 (ko) 반도체 소자를 픽업하기 위한 장치
CN209133483U (zh) 一种晶圆类产品的翻转和水平搬运装置
CN106304674B (zh) 高速贴片头
CN210364126U (zh) 多足式移动机器人
CN208666507U (zh) 一种玻璃吸取装置
KR100630955B1 (ko) 기판 반송장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130809

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150811

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160817

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170811

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180816

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190808

Year of fee payment: 10