KR100956354B1 - Scribing apparatus - Google Patents

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    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

본 발명은 스크라이빙 장치를 개시한 것으로서, 공기에 의해 부유된 기판에 자기적 인력 또는 반발력을 작용시켜 부유된 기판이 이송 방향에 대해 기울어지는 것을 방지함으로써, 기판 반송 불량을 최소화할 수 있는 스크라이빙 장치를 제공할 수 있다.The present invention discloses a scribing apparatus, by applying magnetic attraction or repulsive force to a substrate suspended by air to prevent the suspended substrate from being inclined with respect to the conveying direction, thereby reducing substrate transfer defects. It is possible to provide a crushing device.

기판, 스크라이빙, 공기 분사, 비접촉, 자기 부재 Board, Scribing, Air Jet, Non-Contact, Magnetic Member

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}Scribing Device {SCRIBING APPARATUS}

본 발명은 평판 디스플레이 패널의 제조에 사용되는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수 개의 단위 기판들이 형성된 모 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus used for manufacturing a flat panel display panel, and more particularly, to a scribing apparatus for forming a scribe line on a mother substrate on which a plurality of unit substrates are formed.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 기기는 가동된 정보를 표시하는 디스플레이(Display)를 가진다. 종래에는 디스플레이로서 주로 브라운관(Cathode Ray Tube) 모니터가 사용되었으나, 최근에는 가볍고 공간을 작게 차지하는 박막 트랜지스터-액정 디스플레이(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display Panel)나 유기 다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diodes display)와 같은 평판 디스플레이의 사용이 크게 증대하고 있다. Recently, information processing devices have been rapidly developed to have various types of functions and faster information processing speeds. Such information processing apparatus has a display for displaying the activated information. Conventionally, a cathode ray tube monitor is mainly used as a display, but recently, a light and space-saving thin film transistor-liquid crystal display panel or organic light emitting diodes display The use of such flat panel displays is greatly increasing.

일반적으로, 평판 디스플레이 등에 사용되는 패널은 보통 취성 기판을 이용하여 제작되며, 패널은 한 장으로 구성된 단판 기판이나 2장의 기판이 접합된 접합 기판으로 대별된다.In general, a panel used for a flat panel display or the like is usually manufactured using a brittle substrate, and the panel is roughly classified into a single plate substrate composed of one sheet or a bonded substrate bonded to two substrates.

접합 기판은 휴대 전화의 액정 표시기용의 패널과 같이 소형인 것부터 TV나 디스플레이 등의 패널과 같은 대형의 다양한 크기로 가공되어 사용되기 때문에, 대형의 모 기판으로부터 소정 크기의 단위 기판으로 절단되어 각각의 패널로 이용된다.Since the bonded substrate is processed into small and various sizes, such as a panel for a liquid crystal display of a mobile phone, to a large size such as a panel such as a TV or a display, the bonded substrate is cut into a unit substrate having a predetermined size from a large parent substrate, Used as a panel.

모 기판을 절단하는 방법으로는, 레이저빔을 이용하여 절단하는 방법 또는 미세한 다이아몬드가 박혀있는 스크라이브 휠(Scribe Wheel)을 이용하여 절단하는 방법 등이 있다.As a method of cutting a mother substrate, there is a method of cutting using a laser beam or a method of cutting using a scribe wheel embedded with fine diamond.

레이저 빔을 이용하여 모 기판을 절단하는 방법은 모 기판의 절단 예정선을 따라 스크라이브용 레이저 빔을 조사하여 스크라이브 라인을 형성하고 가열된 스크라이브 라인을 급냉시키는 스크라이빙 공정과, 스크라이브 라인을 따라 브레이크용 레이저 빔을 조사하여 모 기판을 단위 기판으로 절단하는 브레이킹 공정으로 이루어진다.A method of cutting a mother substrate using a laser beam includes a scribing process of irradiating a scribe laser beam along a cutting line of the mother substrate to form a scribe line and quenching the heated scribe line, and a brake along the scribe line. It is made of a braking step of cutting the parent substrate into a unit substrate by irradiating a laser beam for.

스크라이브 휠을 이용하여 모 기판을 절단하는 방법은 스크라이브 휠을 모 기판의 절단 예정선에 접촉한 후 절단 예정선을 따라 소정 깊이의 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하는 스크라이빙 공정과, 모 기판에 물리적인 충격을 가하여 스크라이브 라인을 따라 크랙(Crack)이 전파되도록 함으로써 모 기판을 단위 기판으로 절단하는 브레이킹 공정으로 이루어진다.A method of cutting a mother substrate using a scribe wheel includes a scribing process of contacting a scribe wheel with a cutting target line of the mother substrate and forming a scribe line having a predetermined depth along the cutting target line, and a mother substrate. A cracking process propagates along a scribe line by applying a physical impact to the breaker to break the parent substrate into a unit substrate.

본 발명은 플로팅 방식에 의한 기판 이송시 기판이 이송 방향에 경사진 상태로 이송되는 기판 이송 불량을 방지할 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention is to provide a scribing apparatus that can prevent a substrate transfer failure that is transferred in a state in which the substrate is inclined in the transfer direction during the substrate transfer by the floating method.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited thereto, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에 의한 스크라이빙 장치는, 단위 기판들이 형성된 모 기판상에 단위 기판들의 배열 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 장치에 있어서, 상기 모 기판의 하면에 공기를 분사하여 상기 모 기판을 부유시키는 공기 분사 부재와; 상기 부유된 모 기판의 하부와 상부에 각각 배치되며, 상기 모 기판이 상호 간에 작용하는 반발력에 의해 고정되도록 자극이 배열된 제 1 및 제 2 자기 부재와; 상기 모 기판을 일 방향으로 이송하는 이송 부재와; 상기 모 기판상에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이버를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, in the scribing apparatus according to the present invention, in the apparatus for forming a scribe line along the arrangement direction of the unit substrates on the mother substrate on which the unit substrates are formed, injecting air to the lower surface of the mother substrate An air jetting member to float the mother substrate; First and second magnetic members disposed respectively on the lower and upper portions of the floating mother substrate, the magnetic poles being arranged so that the mother substrate is fixed by the repulsive force acting on each other; A transfer member for transferring the mother substrate in one direction; And a scriber for forming a scribe line on the mother substrate.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 스크라이빙 장치에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 자기 부재의 자극은 상호 간에 인력이 작용하도록 배열될 수 있다. 또한, 상기 제 1 및 제 2 자기 부재의 자극은 상호 간에 반발력이 작용하도록 배열될 수 있다.In the scribing apparatus according to the present invention having the configuration as described above, the magnetic poles of the first and second magnetic members may be arranged to act on each other. Further, the magnetic poles of the first and second magnetic members may be arranged such that the repulsive force acts on each other.

상기 공기 분사 부재는 상기 모 기판의 이송 방향을 따라 서로 이격 배치되는 제 1 공기 분사 부재와 제 2 공기 분사 부재를 포함하되, 상기 제 1 및 제 2 공기 분사 부재는 상기 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 서로 평행을 이루도록 나란하게 배치되며, 상기 모 기판의 하면으로 공기를 분사하는 다수의 분사 홀들이 형성된 복수 개의 분사 로드를 포함할 수 있다.The air jetting member includes a first air jetting member and a second air jetting member spaced apart from each other along a transporting direction of the parent substrate, wherein the first and second air jetting members are perpendicular to the transporting direction of the parent substrate. It may be arranged side by side parallel to each other in one direction, it may include a plurality of injection rods formed with a plurality of injection holes for injecting air to the lower surface of the parent substrate.

상기 제 1 자기 부재는 상기 분사 로드의 상면에 배치되며, 상기 제 2 자기 부재는 상기 분사 로드에 대응하는 로드 형상을 가질 수 있다.The first magnetic member may be disposed on an upper surface of the injection rod, and the second magnetic member may have a rod shape corresponding to the injection rod.

상기 이송 부재는 상기 분사 로드들의 사이에 상기 모 기판의 이송 방향을 따라 배치되는 가이드 레일들과; 상기 가이드 레일들 상에 직선 이동 가능하게 설치되며, 상기 모 기판의 일측을 파지하는 기판 파지부를 포함할 수 있다.The conveying member may include guide rails disposed along a conveying direction of the mother substrate between the injection rods; The guide rails may be installed to be linearly movable, and may include a substrate holding part for holding one side of the parent substrate.

상기 스크라이버는 상기 제 1 공기 분사 부재와 상기 제 2 공기 분사 부재의 사이에 배치되며, 상기 모 기판의 상부와 하부에 서로 마주보도록 각각 제공되는 상부 스크라이버와 하부 스크라이버를 포함하되, 상기 상부 및 하부 스크라이버는 상기 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 직선 이동하면서 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.The scriber may include an upper scriber and a lower scriber disposed between the first air jetting member and the second air jetting member and respectively provided to face each other on an upper side and a lower side of the parent substrate. And the lower scriber may form a scribe line while linearly moving in a direction perpendicular to the transfer direction of the mother substrate.

본 발명에 의하면, 플로팅 방식에 의한 기판 이송시 기판이 이송 방향에 경사진 상태로 이송되는 기판 이송 불량을 방지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent a substrate transfer failure in which the substrate is transferred in a state inclined in the transfer direction when transferring the substrate by the floating method.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 스크라이빙 장치를 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a scribing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals are assigned to the same components as much as possible, even if shown on different drawings. In addition, in describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related well-known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

( 실시 예 )(Example)

도 1은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 평면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 측단면도이다.1 is a plan view of a scribing apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a side cross-sectional view of the scribing apparatus according to the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 스크라이빙 장치는 단위 기판들이 형성된 모 기판상에 단위 기판들의 배열 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하기 위한 것으로, 공기 분사 부재(100), 이송 부재(200) 및 스크라이버(300)를 포함한다.1 and 2, the scribing apparatus according to the present invention is for forming a scribe line along an arrangement direction of unit substrates on a mother substrate on which unit substrates are formed. 200 and scriber 300.

공기 분사 부재(100)는 모 기판(S) 하면에 공기를 분사하여 모 기판을 부유(Floating)시키고, 이송 부재(200)는 부유된 모 기판을 일 방향으로 이송한다. 그리고 스크라이버(300)는 이송 부재(200)에 의해 일 방향으로 이동되는 모 기판상에 스크라이브 라인을 형성한다.The air jet member 100 floats air on the lower surface of the parent substrate S to float the parent substrate, and the transfer member 200 transfers the suspended parent substrate in one direction. The scriber 300 forms a scribe line on the mother substrate which is moved in one direction by the transfer member 200.

공기 분사 부재(100)는 모 기판(S)의 이송 방향을 따라 서로 이격 배치되는 제 1 공기 분사 부재(110)와 제 2 공기 분사 부재(120)를 포함한다. 제 1 및 제 2 공기 분사 부재(110,120) 각각은 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 서로 평행을 이루도록 나란하게 배치된 복수 개의 분사 로드들(112,122)을 가진다. 분사 로드들(112,122)에는 다수의 분사 홀들(112a,122a)이 형성되며, 분사 홀들(112a,122a)에는 공기 공급 부재(미도시)가 연결된다. 분사 로드들(112,122)의 분사 홀들(112a,122a)을 통해 모 기판(S)의 하면으로 공기가 분사되면, 모 기판(S) 은 분사된 공기에 의해 부유된 상태로 지지된다.The air jetting member 100 includes a first air jetting member 110 and a second air jetting member 120 spaced apart from each other along the transport direction of the parent substrate S. Each of the first and second air jetting members 110 and 120 has a plurality of jetting rods 112 and 122 arranged side by side to be parallel to each other in a direction perpendicular to the transfer direction of the parent substrate. A plurality of injection holes 112a and 122a are formed in the injection rods 112 and 122, and an air supply member (not shown) is connected to the injection holes 112a and 122a. When air is injected to the lower surface of the mother substrate S through the injection holes 112a and 122a of the injection rods 112 and 122, the mother substrate S is supported in a floating state by the injected air.

공기 분사 부재(100)에 의해 부유된 모 기판(S)의 하부에는 제 1 자기 부재(130)가 설치되고, 모 기판(S)의 상부에는 제 2 자기 부재(140)가 각각 설치된다. 제 1 자기 부재(130)는 분사 로드들(112,122)의 상면에 배치될 수 있다. 제 2 자기 부재(140)는 분사 로드들(112,122)에 대응하는 로드 형상을 가지며, 분사 로드들(112,122)에 대향하는 모 기판의 상부에 배치될 수 있다. 제 1 및 제 2 자기 부재(130,140)는 상호 간에 자력을 작용시키며, 부유된 모기판은 제 1 및 제 2 자기 부재(130,140) 간의 자력에 의해 위치가 고정되도록 자극이 배열된다. 제 1 및 제 2 자기 부재(130,140)의 자극은 상호 간에 인력이 작용하도록 배열될 수 있으며, 제 1 및 제 2 자기 부재(130,140)의 자극은 상호 간에 반발력이 작용하도록 배열될 수도 있다.The first magnetic member 130 is disposed below the mother substrate S suspended by the air jetting member 100, and the second magnetic member 140 is disposed above the mother substrate S, respectively. The first magnetic member 130 may be disposed on the top surfaces of the injection rods 112 and 122. The second magnetic member 140 may have a rod shape corresponding to the injection rods 112 and 122, and may be disposed on an upper portion of the mother substrate facing the injection rods 112 and 122. The magnetic poles are arranged such that the first and second magnetic members 130 and 140 exert magnetic force on each other, and the floating mother substrate is fixed by a magnetic force between the first and second magnetic members 130 and 140. The magnetic poles of the first and second magnetic members 130 and 140 may be arranged to attract each other, and the magnetic poles of the first and second magnetic members 130 and 140 may be arranged so that the repulsive force acts on each other.

이와 같이, 모 기판이 제 1 및 제 2 자기 부재(130,140)의 자력(인력 또는 반발력)에 의해 고정됨으로써, 모 기판이 공기 분사 부재(100)에 의해 부유될 때 모 기판이 이송 방향에 대해 기울어지는 것을 방지할 수 있게 된다.As such, the parent substrate is fixed by the magnetic force (gravity or repulsive force) of the first and second magnetic members 130 and 140 so that the parent substrate is inclined with respect to the conveying direction when the parent substrate is suspended by the air jetting member 100. It can prevent you from losing.

이송 부재(200)는 공기 분사 부재(100)에 의해 부유된 모 기판을 일 방향으로 이송하기 위한 것으로, 가이드 레일(210)과 기판 파지부(220)를 포함한다. 가이드 레일(210)은 분사 로드들(112,122)의 사이에 모 기판(S)의 이송 방향을 따라 배치되며, 가이드 레일(210)상에는 기판 파지부(220)가 직선 이동 가능하게 설치된 다. 기판 파지부(220)는 모 기판의 이송 방향에 수직한 모 기판의 일변을 파지한다. 모 기판(S)은 공기 분사 부재(100)에 의해 부유되고, 이 상태에서 기판 파지부(220)가 기판을 파지하며, 기판 파지부(220)가 가이드 레일(210)을 따라 직선 이동함에 따라 기판이 일 방향으로 이송된다. 이와 같은 구성에 의해 모 기판은 일 방향으로 이송되며, 후술할 스크라이버(300)에 의해 이송 기판의 상면과 하면에 스크라이브 라인이 형성된다.The transfer member 200 is for transferring the mother substrate suspended by the air jetting member 100 in one direction, and includes a guide rail 210 and a substrate holding part 220. The guide rail 210 is disposed along the conveying direction of the parent substrate S between the injection rods 112 and 122, and the substrate holding part 220 is installed on the guide rail 210 so as to linearly move. The substrate holding part 220 grips one side of the mother substrate perpendicular to the conveying direction of the mother substrate. As the parent substrate S is suspended by the air jetting member 100, in this state, the substrate holding part 220 grips the substrate, and the substrate holding part 220 linearly moves along the guide rail 210. The substrate is transferred in one direction. By such a configuration, the mother substrate is transferred in one direction, and scribe lines are formed on the upper and lower surfaces of the transfer substrate by the scriber 300 which will be described later.

스크라이버들(300)은 모 기판의 상면에 스크라이브 라인을 형성하는 상부 스크라이버(300a)와, 모 기판의 하면에 스크라이브 라인을 형성하는 하부 스크라이버(300b)를 포함한다. 상부 스크라이버(300a)와 하부 스크라이버(300b)는 제 1 공기 분사 부재(110)와 제 2 공기 분사 부재(120)의 사이에 위치하며, 상부 스크라이버(300a)의 스크라이빙 휠(310a) 원주 면과 하부 스크라이버(300b)의 스크라이빙 휠(310b) 원주 면이 서로 마주보도록 연직선상에 일렬로 정렬된다. 그리고, 상부 및 하부 스크라이버(300a,300b)는 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 배치된 겐츄리(320)를 따라 직선 이동하면서, 모 기판상에 스크라이브 라인을 형성한다. 본 실시 예에서는 스크라이빙 휠(310a,310b)을 이용한 스크라이버들이 예시되어 있으며, 이에 대한 사항은 관련 기술 분야의 당업자에게 자명한 사항이므로 상세한 설명은 생략한다. 스크라이버로는 스크라이빙 휠을 이용한 스크라이버 이외에도 레이저 빔을 이용한 스크라이버들이 사용될 수도 있다.The scribers 300 include an upper scriber 300a for forming a scribe line on the upper surface of the mother substrate, and a lower scriber 300b for forming a scribe line on the lower surface of the mother substrate. The upper scriber 300a and the lower scriber 300b are positioned between the first air jetting member 110 and the second air jetting member 120, and the scribing wheel 310a of the upper scriber 300a. ) The circumferential surface and the scribing wheel 310b of the lower scriber 300b are aligned in a vertical line so as to face each other. The upper and lower scribers 300a and 300b form a scribe line on the mother substrate while linearly moving along the centuries 320 disposed in a direction perpendicular to the transfer direction of the mother substrate. In the present embodiment, scribers using the scribing wheels 310a and 310b are illustrated, and details thereof are obvious to those skilled in the related art, and thus detailed descriptions thereof will be omitted. As a scriber, scribers using a laser beam may be used in addition to a scriber using a scribing wheel.

이상에서 설명한 바와 같은 구성에 의해, 본 발명에 따른 스크라이빙 장치는 모 기판을 부유시키는 비접촉 방식을 이용하여 기판을 이송할 수 있으며, 또한 공기에 의해 부유된 모 기판이 기판 이송 방향에 대해 기울어진 상태로 이송되는 것을 방지함으로써 기판 반송 불량을 최소화할 수 있다. With the above-described configuration, the scribing apparatus according to the present invention can transfer the substrate by using a non-contact method of floating the mother substrate, and the mother substrate suspended by air is inclined with respect to the substrate transfer direction. It is possible to minimize the substrate transfer failure by preventing the transfer in the true state.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and changes without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

이하에 설명된 도면들은 단지 예시의 목적을 위한 것이고, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것이 아니다.The drawings described below are for illustrative purposes only and are not intended to limit the scope of the invention.

도 1은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 평면도,1 is a plan view of a scribing apparatus according to the present invention,

도 2는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 측단면도이다.2 is a side cross-sectional view of a scribing apparatus according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

100 : 공기 분사 부재 130,140 : 자기 부재100: air injection member 130140: magnetic member

200 : 이송 부재 210 : 가이드 레일200: conveying member 210: guide rail

220 : 기판 파지부 300a, 300b : 스크라이버220: substrate holding part 300a, 300b: scriber

Claims (7)

단위 기판들이 형성된 모 기판상에 상기 단위 기판들의 배열 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 장치에 있어서,An apparatus for forming a scribe line along the arrangement direction of the unit substrate on the parent substrate on which the unit substrate is formed, 상기 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 서로 평행을 이루도록 나란하게 배치되며, 상기 모 기판의 하면으로 공기를 분사하는 다수의 분사 홀들이 형성된 복수 개의 분사 로드들을 각각 구비하고, 상기 모 기판의 이송 방향을 따라 서로 이격 배치되는 제 1 및 제 2 공기 분사 부재를 포함하여, 상기 분사 홀들로부터 상기 모 기판의 하면으로 공기를 분사하여 상기 모 기판을 부유시키는 공기 분사 부재와;A plurality of injection rods are arranged side by side to be parallel to each other in a direction perpendicular to the transfer direction of the mother substrate, each of the plurality of injection rods formed with a plurality of injection holes for injecting air to the lower surface of the mother substrate, the transfer of the mother substrate An air jetting member including first and second air jetting members spaced apart from each other along a direction to inject air from the jetting holes to the lower surface of the parent substrate to float the parent substrate; 상기 분사 로드에 대응하여 상기 부유된 모 기판의 하부와 상부에 각각 배치되며, 상기 모 기판이 상호 간에 작용하는 자력에 의해 고정되도록 자극이 배열된 제 1 및 제 2 자기 부재와;First and second magnetic members disposed on the lower and upper portions of the floating mother substrate corresponding to the spray rods, and the magnetic poles are arranged so that the mother substrate is fixed by mutually acting magnetic forces; 상기 분사 로드들의 사이에 배치되어 상기 모 기판을 일 방향으로 이송하는 이송 부재 및;A transfer member disposed between the injection rods and configured to transfer the mother substrate in one direction; 상기 모 기판상에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이버를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And a scriber for forming a scribe line on the mother substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 및 제 2 자기 부재의 자극은 상호 간에 인력이 작용하도록 배열되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And the magnetic poles of the first and second magnetic members are arranged to act on each other. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 및 제 2 자기 부재의 자극은 상호 간에 반발력이 작용하도록 배열되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And the magnetic poles of the first and second magnetic members are arranged to exert a reaction force on each other. 삭제delete 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,The method according to claim 2 or 3, 상기 제 1 자기 부재는 상기 분사 로드의 상면에 배치되며,The first magnetic member is disposed on the upper surface of the injection rod, 상기 제 2 자기 부재는 상기 분사 로드에 대응하는 로드 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And the second magnetic member has a rod shape corresponding to the injection rod. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 이송 부재는,The transfer member, 상기 분사 로드들의 사이에 상기 모 기판의 이송 방향을 따라 배치되는 가이드 레일들과;Guide rails disposed along the conveying direction of the mother substrate between the injection rods; 상기 가이드 레일들 상에 직선 이동 가능하게 설치되며, 상기 모 기판의 일측을 파지하는 기판 파지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The scribing apparatus is installed on the guide rails so as to be linearly movable, and includes a substrate holding part for holding one side of the mother substrate. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 스크라이버는 상기 제 1 공기 분사 부재와 상기 제 2 공기 분사 부재의 사이에 배치되며, 상기 모 기판의 상부와 하부에 서로 마주보도록 각각 제공되는 상부 스크라이버와 하부 스크라이버를 포함하되,The scriber includes an upper scriber and a lower scriber disposed between the first air jetting member and the second air jetting member and respectively provided to face each other on the upper and lower sides of the parent substrate. 상기 상부 및 하부 스크라이버는 상기 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 직선 이동하면서 스크라이브 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And the upper and lower scribers form a scribe line while linearly moving in a direction perpendicular to the transfer direction of the parent substrate.
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