KR100955895B1 - Apparatus for transferring a cassette - Google Patents

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황두모
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(주)에스엠텍
황두모
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Abstract

PURPOSE: A cassette transferring device is provided to discharge impurities or particles generated inside a space part and a housing by installing an exhaust line in the housing which includes a space part of a guide rail and a driving part. CONSTITUTION: A first transferring device(100) transfers a cassette in a linear direction. A second transferring device(200) is arranged in a vertical direction with the first transferring device. A cassette up/down unit(300) is installed in an orthogonal section where the first transferring device and the second transferring device are vertically contact with each other. The cassette up/down unit lifts the cassette in order to transfer a cassette(500) transferred to the first transferring device to the second transferring device. The first transferring device comprises a guide rail(20) which is installed in a linear transferring section, a cassette carrier(30), a driving unit which drives the carrier. The cassette carrier linearly moves along the guide rail.

Description

카세트 이송장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING A CASSETTE}Cassette transporter {APPARATUS FOR TRANSFERRING A CASSETTE}

본 발명은 웨이퍼 카세트를 이송시키는 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for transferring a wafer cassette.

일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 상에 사진, 식각, 확산, 이온주입, 화학기상증착, 금속증착 등의 공정을 선택적이고 반복적으로 수행함으로써 형성된다. 이러한 각 공정들을 수행함에 있어서, 동일한 공정에 투입되는 복수개의 웨이퍼는 카세트(cassette)에 수납되어 공정 설비로 이송되며, 통상적으로 일정 개수의 웨이퍼들이 카세트의 내부에 형성된 슬롯을 따라 수납되어 사용된다.In general, semiconductor devices are formed by selectively and repeatedly performing processes such as photographing, etching, diffusion, ion implantation, chemical vapor deposition, and metal deposition on a wafer. In performing each of these processes, a plurality of wafers that are put into the same process are stored in a cassette and transferred to a process facility. Typically, a predetermined number of wafers are stored and used along a slot formed in the cassette.

이러한 카세트를 해당 공정 설비로 이송시키고, 공정의 종료 시 후속 공정으로 카세트를 반송시키기 위하여 자동 반송 장치(AGV; Automatic Guided Vehicle, 이하 AGV)가 주로 이용되고 있다. 그런데, 공정이 진행되는 과정에서 작업자와 AGV의 상호간에 카세트가 이송되는 경우가 발생되며, 이를 위하여 인터페이스로 카세트 이송 컨베이어(MIC; Man machine Interface Conveyor)가 사용되고 있고, 다층간 리프트와 AGV 간 카세트 반송용 컨베이어가 사용되고 있다.Automatic conveying apparatus (AGV) (AGV) is mainly used to transfer such a cassette to the process equipment and to convey the cassette to a subsequent process at the end of the process. By the way, the cassette is transported between the operator and the AGV during the process, a cassette transport conveyor (MIC; Man machine Interface Conveyor) is used as an interface for this, the cassette transport between the multi-layer lift and AGV Conveyor is being used.

이러한 카세트 반송용 컨베이어는 웨이퍼로 이물질 등이 유입되는 차단하기 위해 크린룸에서 작업이 진행된다. 하지만, 컨베이어에는 카세트를 이송하기 위해 마찰되는 마찰부위가 존재하게 되고, 이 마찰부위에서 불순물 또는 파티컬(particle)이 발생하게 되고 또한, 구동부에서도 역시 회전운동에 따른 불순물이나 파티컬(particle)이 발생하게 된다. The conveyor for conveying such a cassette is processed in a clean room in order to block foreign matters from entering the wafer. However, there are frictional parts that are rubbed in the conveyor to transfer the cassette, and impurities or particles are generated at the frictional parts. Will occur.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이송시 발생되는 마찰을 최소화하고 구동부나 마찰부위를 밀폐시켜 마찰부위나 구동부에서 발생되는 파티컬(particle) 발생을 최소화할 수 있는 카세트 이송장치를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide a cassette transfer device that can minimize the friction generated during the transfer and to seal the drive unit or the friction part to minimize the generation of particles (particles) generated in the friction part or the drive unit.

또한, 직선방향 이송뿐만 아니라 직각방향 이송이 가능토록 하여 사용 범위를 증가시킬 수 있는 카세트 이송장치를 제공하는 것이다. In addition, it is to provide a cassette conveying apparatus that can increase the range of use by allowing not only linear conveyance but also perpendicular conveyance.

본 발명의 한 실시예에 따른 카세트 이송장치는 카세트를 직선방향으로 이송시키는 제1이송장치, 상기 제1이송장치와 직각방향으로 배치되는 제2이송장치, 상기 제1이송장치와 제2이송장치가 서로 직각으로 접하는 직교 구간(A)에 설치되어 상기 제1이송장치로 이송된 카세트를 제2이송장치로 이송하기 위해 들어올리는 카세트 업/다운 유닛을 포함하고, 상기 제2이송장치는 제1가이드 레일, 상기 제1가이드 레일에 직선 이동 가능하게 장착되고, 그 일측이 상기 직교 구간(A)까지 이동되는 제2가이드 레일, 상기 제2가이드 레일에 직선 이동 가능하게 장착되고 카세트를 얹혀지는 카세트 캐리어를 포함한다. According to an embodiment of the present invention, a cassette transport apparatus includes a first transport device for transporting a cassette in a linear direction, a second transport device disposed at a right angle with the first transport device, and the first transport device and the second transport device. Is installed in an orthogonal section (A) in contact with each other at a right angle to each other and comprises a cassette up / down unit for lifting to transfer the cassette transferred to the first transfer device to the second transfer device, the second transfer device comprises a first The cassette is mounted to the guide rail, the first guide rail to be linearly movable, the second guide rail, one side of which is moved to the orthogonal section A, and the cassette is mounted to the second guide rail to be linearly movable, and the cassette is mounted thereon. And a carrier.

상기 제1이송장치는 그 상측에 길이방향을 따라 개구부가 형성되며, 내부에 공간부가 구비되는 가이드 레일, 상기 개구부에 분리 가능하게 배치되어 상기 공간부를 밀폐시키는 덮개부재, 상기 가이드 레일에 직선 이동 가능하게 장착되고 카세트를 얹혀지며, 상기 가이드 레일을 따라 직선 이동될 때 상기 덮개부재가 통과하는 가이드홀이 구비되는 카세트 캐리어, 그리고 상기 카세트 캐리어를 직선 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.The first transfer device has an opening formed in a longitudinal direction on the upper side thereof, a guide rail having a space portion therein, a cover member detachably disposed in the opening portion to seal the space portion, and a linear movement to the guide rail. And a cassette carrier mounted with the cassette, the cassette carrier having a guide hole through which the cover member passes when the cassette is linearly moved along the guide rail, and a driving unit for linearly moving the cassette carrier.

상기 가이드 레일에는 영구자석이 장착되고, 상기 덮개부재는 상기 영구자석의 자력이 작용하도록 자성체 재질로 형성될 수 있다.The guide rail may be equipped with a permanent magnet, and the cover member may be formed of a magnetic material so that the magnetic force of the permanent magnet acts.

상기 영구자석은 상기 가이드 레일의 상단 양쪽에 각각 상기 가이드 레일의 길이방향을 따라 구비될 수 있다.The permanent magnets may be provided on both sides of the upper end of the guide rail along the longitudinal direction of the guide rail.

상기 덮개부재는 휘어짐이 가능하고 자성체 재질이 포함되는 필름 형태로 형성될 수 있다.The cover member may be formed in a film form capable of bending and including a magnetic material.

상기 가이드 레일에는 상기 공간부에서 발생되는 불순물 또는 파티컬(particle)을 외부로 배출시키는 배출라인이 연결되고, 상기 배출라인에는 흡입 구동부가 장착될 수 있다. A discharge line for discharging impurities or particles generated in the space portion to the outside may be connected to the guide rail, and the suction line may be mounted to the discharge line.

상기 카세트 캐리어는 상기 가이드 레일에 슬라이드 이동 가능하게 지지되는 슬라이딩 부재, 그리고 상기 슬라이딩 부재에 체결되고 카세트가 얹혀지는 카세트 지지대를 포함하고, 상기 슬라이딩 부재와 카세트 지지대 사이에는 덮개부재가 통과하는 가이드홀이 형성될 수 있다.The cassette carrier includes a sliding member that is slidably supported on the guide rail, and a cassette support fastened to the sliding member and on which the cassette is mounted, and a guide hole through which a cover member passes between the sliding member and the cassette support. Can be formed.

상기 슬라이딩 부재의 전/후방에는 상기 덮개부재가 가이드홀을 통과하도록 덮개부재를 가이드하는 가이드롤러가 장착될 수 있다.The front and rear of the sliding member may be equipped with a guide roller for guiding the cover member so that the cover member passes through the guide hole.

상기 구동부는 상기 베이스 프레임에 장착되는 구동모터, 상기 구동모터의 구동축과 연결되고 가이드 레일의 일단에 회전 가능하게 지지되는 구동풀리, 상기 가이드 레일의 타단에 회전 가능하게 지지되는 피동풀리, 그리고 상기 피동풀리와 구동풀리에 감겨지고 한쪽 끝부분이 상기 카세트 캐리어의 일측에 연결되고, 다른쪽 끝부분이 상기 카세트 캐리어의 타측에 연결되는 타이밍 벨트를 포함할 수 있다.The drive unit is a drive motor mounted to the base frame, a drive pulley connected to the drive shaft of the drive motor and rotatably supported at one end of the guide rail, driven pulley rotatably supported at the other end of the guide rail, and the driven It may include a timing belt wound around the pulley and the driving pulley, one end is connected to one side of the cassette carrier, the other end is connected to the other side of the cassette carrier.

상기 제1가이드 레일은 상기 제2가이드 레일이 슬라이드 이동되도록 결합되고, 내부에 공간부가 구비되며, 상기 공간부에는 상기 제2가이드 레일을 구동시키는 제1구동부가 구비될 수 있다.The first guide rail may be coupled to slide the second guide rail, and may include a space portion therein, and the space portion may include a first driving portion for driving the second guide rail.

상기 제2가이드 레일은 그 상측에 길이방향을 따라 개구부가 형성되며, 내부에 공간부가 구비되고, 상기 개구부에는 상기 공간부를 밀폐시키는 덮개부재가 장착되고, 상기 공간부에는 상기 카세트 캐리어를 직선 이동시키는 제2구동부가 장착될 수 있다.The second guide rail has an opening formed in the upper side thereof in a longitudinal direction, and has a space portion therein, and a cover member for sealing the space portion is mounted in the opening portion, and the space portion linearly moves the cassette carrier. The second driving unit may be mounted.

상기 카세트 캐리어에는 상기 덮개부재가 통과하는 가이드홀이 구비되고, 상기 가이드 레일에는 영구자석이 장착되고, 상기 덮개부재는 상기 영구자석의 자력이 작용하도록 자성체 재질로 형성될 수 있다.The cassette carrier may include a guide hole through which the cover member passes, a permanent magnet is mounted on the guide rail, and the cover member may be formed of a magnetic material so that the magnetic force of the permanent magnet may act.

상기 제1가이드 레일과, 제2가이드 레일 중 적어도 하나에는 상기 공간부에서 발생되는 불순물 또는 파티컬(particle)을 외부로 배출시키는 배출라인이 연결되고, 상기 배출라인에는 흡입 구동부가 장착될 수 있다.At least one of the first guide rail and the second guide rail may be connected to a discharge line for discharging impurities or particles generated in the space to the outside, and a suction driver may be mounted to the discharge line. .

상기 카세트 업/다운 유닛은 액추에이터와,상기 액추에이터의 구동 샤프트에 장착되어 상하방향으로 승강되면서 카세트를 업/다운시키는 승강부재를 포함할 수 있다. The cassette up / down unit may include an actuator and a lifting member mounted on the drive shaft of the actuator to move up and down while moving up and down.

본 발명의 실시예에 따른 카세트 이송장치는 가이드 레일의 개구부에 덮개부재를 배치하여 가이드 레일 내부의 마찰부위에서 발생되는 불순물 또는 파티컬(particle)이 크린룸 내부로 유출되는 것을 방지할 수 있다.The cassette conveying apparatus according to the embodiment of the present invention can prevent the impurities or particles (particles) generated in the friction portion inside the guide rail to be discharged into the clean room by arranging the cover member in the opening of the guide rail.

또한, 구동부를 하우징 내부에 설치될 수 있도록 하여 구동부에서 발생되는 불순물 또는 파티컬(particle)이 크린룸 내부로 유출되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the drive unit may be installed inside the housing to prevent impurities or particles generated from the drive unit from leaking into the clean room.

또한, 가이드 레일의 공간부와 구동부가 내장되는 하우징에 배출라인을 설치하여 공간부 및 하우징 내부에서 발생되는 불순물 또는 파티컬(particle)을 외부로 배출시킬 수 있다.In addition, by installing a discharge line in the housing in which the space portion and the driving portion of the guide rail are built, impurities or particles generated in the space portion and the housing may be discharged to the outside.

또한, 직각으로 배치되는 이송장치 사이에서 카세트 이송이 가능하도록 하여 사용범위를 확대할 수 있다. In addition, it is possible to extend the range of use by enabling the cassette transfer between the transfer devices disposed at a right angle.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification.

그러면 본 발명의 한 실시예에 따른 카세트 이송장치에 대하여 도 1 내지 도 16을 참고하여 설명한다. Then, a cassette transfer apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 16.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 카세트 이송장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a cassette transport apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 한 실시예에 따른 카세트 이송장치는 제1이송장치(100)와, 이 제1이송장치(100)와 직각방향으로 배치되는 제2이송장치(200)와, 제1이송장치(100)와 제2이송장치(200)가 상호 직각으로 접하는 직교 구간(A)에 설치되어 상기 제1이송장치(100)를 통해 이송된 카세트(500)를 제2이송장치(200)로 이송하기 위해 들어올리는 카세트 업/다운 유닛(300)을 포함한다. According to an embodiment of the present invention, a cassette transport apparatus includes a first transport apparatus 100, a second transport apparatus 200 disposed in a direction perpendicular to the first transport apparatus 100, and a first transport apparatus 100. ) And the second transfer device 200 are installed in an orthogonal section (A) in contact with each other at right angles to transfer the cassette 500 transferred through the first transfer device 100 to the second transfer device 200. Lifting cassette up / down unit 300 is included.

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 제1이송장치의 정면도이고, 도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 제1이송장치의 상면도이고, 도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 제1이송장치의 측면도이다.2 is a front view of a first transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a top view of the first transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is according to an embodiment of the present invention. It is a side view of a 1st conveying apparatus.

제1이송장치(100)는 직선 이송구간에 설치되는 가이드 레일(20), 가이드 레일(20)을 따라 직선 이동되고 카세트(100)가 놓여지는 카세트 캐리어(30), 카세트 케리어(30)를 구동시키는 구동부(40)를 포함한다.The first transfer device 100 drives the guide rail 20 installed in the linear transfer section, the cassette carrier 30 linearly moved along the guide rail 20, and the cassette carrier 30, on which the cassette 100 is placed, and the cassette carrier 30. It includes a drive unit 40 to.

가이드 레일(20)은 베이스 프레임(10)의 상면에 설치될 수 있고, 천정에 와이어를 매달고, 이 와이어에 의해 지지되어 설치될 수 있다. The guide rail 20 may be installed on the upper surface of the base frame 10, and may be suspended from the ceiling and supported by the wire.

베이스 프레임(10)은 그 하면에 높이 조절이 가능한 지지다리(12)가 일정 간격을 두고 장착되고, 그 상단 양쪽 측면에는 길이방향으로 가이드 레일(20)이 장착되는 가이드 레일 장착부(14)가 형성된다. 그리고, 베이스 프레임(10)의 상측에는 이송장치 내부를 크린룸으로 만들기 위한 크린룸 윈도우(16)가 장착된다.The base frame 10 is mounted on the lower surface of the support leg 12, which is adjustable in height at regular intervals, and on both sides of the upper end thereof, guide rail mounting portions 14 to which the guide rails 20 are mounted in the longitudinal direction are formed. do. And, the upper side of the base frame 10 is equipped with a clean room window 16 for making the interior of the conveying device into a clean room.

여기에서, 카세트(100)에는 복수의 슬롯들이 형성되어 웨이퍼들이 일정 개수 단위로 슬롯을 따라 수납된다. 이러한 카세트(100)는 웨이퍼뿐만 아니라 카세트에 수납되어 이송되는 어떠한 부품도 적용될 수 있다. Here, a plurality of slots are formed in the cassette 100 so that the wafers are accommodated along the slots in predetermined number units. The cassette 100 may be applied to any component that is stored in the cassette as well as the wafer.

도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 가이드 레일의 단면도이고, 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 가이드 레일에 카세트 캐리어가 장착된 상태를 나타낸 단면도이고, 도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 가이드 레일에 카세트 캐리어가 장착된 상태를 나타낸 측면도이다. 5 is a cross-sectional view of a guide rail according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a cross-sectional view showing a state in which the cassette carrier is mounted on the guide rail according to an embodiment of the present invention, Figure 7 is an embodiment of the present invention A side view showing a state in which a cassette carrier is mounted on a guide rail according to an example.

가이드 레일(20)은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 베이스 프레임(10)의 양쪽 상단에 평행하게 장착되는 한 쌍으로 구성되고, 그 상측에는 길이방향을 따라 개구부(22)가 형성되어 있고, 그 내부에는 비여있는 공간부(24)가 구비된다.5 and 6, the guide rail 20 is composed of a pair mounted in parallel to both upper ends of the base frame 10, the upper side is formed with an opening 22 along the longitudinal direction And an empty space 24 is provided therein.

여기에서, 가이드 레일(20)은 본 실시예에서는 한 쌍으로 구성되는 구조에 대해 설명하고 있는데, 이에 한정되는 것은 아니고 경우에 따라 모노레일방식으로 하나의 가이드 레일만 구비되어 하나의 가이드 레일에 카세트 캐리어가 이동 가능하게 장착되는 구조도 적용될 수 있고, 경우에 따라서는 한 쌍 이상으로 구성될 수도 있다.Here, the guide rail 20 has been described for the structure of a pair in the present embodiment, but is not limited to this, and in some cases, only one guide rail is provided in a monorail type cassette carrier on one guide rail The structure that is mounted to be movable can also be applied, and in some cases may be configured in a pair or more.

상기 가이드 레일(20)의 개구부(22)에는 개구부(22)를 밀폐시켜서 개구부(22)를 통해 불순물이나 파티컬(particle)이 크린룸 내부로 유출되는 것을 차단하는 덮개부재(60)가 분리 가능하게 장착된다. 즉, 가이드 레일(20)은 카세트 캐리어(30)가 직선 이동되므로 가이드 레일(20)과 카세트 캐리어(30) 사이의 마찰부위가 가이드 레일(20)의 공간부(24)에 배치되고, 마찰부위에서 발생되는 파티컬(particle) 등이 개구부(22)를 통해 크린룸 내부로 유출되는 것을 방지하기 위해 개구부(22)를 밀폐시키는 덮개부재(60)가 구비된다.The opening 22 of the guide rail 20 is sealed to cover the opening 22 so that the cover member 60 that blocks impurities or particles from flowing into the clean room through the opening 22 can be separated. Is mounted. That is, in the guide rail 20, since the cassette carrier 30 moves linearly, a friction portion between the guide rail 20 and the cassette carrier 30 is disposed in the space 24 of the guide rail 20, and the friction portion In order to prevent the particles (particles) generated in the outflow into the clean room through the opening 22 is provided with a cover member 60 for sealing the opening 22.

이러한 덮개부재(60)는 가이드 레일(20)에 슬라이드 이동되게 장착되는 카세트 캐리어(30)가 통과할 경우 덮개부재(60)는 개구부(22)에서 분리되어야한다. 즉, 카세트 캐리어(30)는 가이드 레일(20)의 공간부(24)에 장착되기 때문에 카세트 캐리어(30)가 위치되는 부분의 덮개부재(60)는 개구부(22)에서 분리되어 카세트 캐리어(30)를 통과하게 된다. When the cover member 60 passes through the cassette carrier 30 which is mounted to slide on the guide rail 20, the cover member 60 should be separated from the opening 22. That is, since the cassette carrier 30 is mounted in the space 24 of the guide rail 20, the cover member 60 at the portion where the cassette carrier 30 is located is separated from the opening 22 to release the cassette carrier 30. Will pass).

따라서, 덮개부재(60)는 가이드 레일(20)에 분리가능하게 장착되어야 하고, 이를 위해 가이드 레일(20)의 양쪽에는 영구자석(62)이 길이방향을 따라 장착되고, 덮개부재(60)는 영구자석(62)에서 발생되는 자력에 의해 가이드 레일(20)의 개구부(22)에 장착된 상태를 유지하는 자성체 재질로 구성된다. Therefore, the cover member 60 should be detachably mounted to the guide rail 20. For this purpose, permanent magnets 62 are mounted on both sides of the guide rail 20 along the length direction, and the cover member 60 is It is made of a magnetic material that is maintained in the state mounted to the opening 22 of the guide rail 20 by the magnetic force generated in the permanent magnet (62).

일예로, 덮개부재(60)는 휘어진 후 원상 복귀될 수 있는 변형이 가능한 필름형태이고, 영구자석(62)의 자력에 인력이 작용할 수 있는 자성체 성분을 갖는다. For example, the cover member 60 is in the form of a film that can be deformed and then returned to its original shape after bending, and has a magnetic component capable of attracting force to the magnetic force of the permanent magnet 62.

그리고, 가이드 레일(20)은 그 양쪽 끝부분이 막힌 상태로 형성되어 전체적으로 공간부(24)가 밀폐되고 이 공간부(24)에 설치된 마찰부위에서 발생되는 파티컬(particle) 등의 이물질이 유출되는 것을 방지한다. In addition, the guide rail 20 is formed in a state in which both ends thereof are clogged so that the foreign matter such as particles generated in the friction part installed in the space 24 is sealed and the space 24 is leaked out as a whole. Prevent it.

그리고, 가이드 레일(20)은 공간부(24)에서 발생되는 각종 불순물 및 파티컬(particle) 등을 외부로 배출시키는 배출라인(64)이 연결되고, 이 배출라인(64)은 흡입력을 발생시킬 수 있는 흡입 구동부(66)와 연결된다. 일예로, 흡입 구동부(66)는 진공펌프가 사용될 수 있다.In addition, the guide rail 20 is connected to the discharge line 64 for discharging various impurities and particles generated in the space 24 to the outside, the discharge line 64 is to generate a suction force Is connected to a suction drive 66. In one example, the suction drive 66 may be a vacuum pump.

가이드 레일(20)의 양쪽 내면은 내측방향으로 돌출되어 형성되는 걸림턱(26) 이 마련되어 카세트 캐리어(30)가 이 걸림턱(26)에 슬라이드 이동 가능하게 지지된다. Both inner surfaces of the guide rail 20 are provided with a locking jaw 26 formed to protrude inwardly so that the cassette carrier 30 is slidably supported by the locking jaw 26.

카세트 캐리어(30)는 가이드 레일(20)에 슬라이드 가능하게 장착되는 슬라이딩 부재(32)와, 상기 슬라이딩 부재(32)의 상면에 장착되어 카세트(100)가 올려 놓여지는 카세트 지지대(34)를 포함한다. The cassette carrier 30 includes a sliding member 32 slidably mounted to the guide rail 20, and a cassette support 34 mounted to an upper surface of the sliding member 32 and on which the cassette 100 is placed. do.

슬라이딩 부재(32)는 가이드 레일(20)의 공간부(24)에 위치되어 가이드 레일(20)의 걸림턱(26)에 끼워지는 슬라이드부(32a)와, 이 슬라이드부(32a)의 상측으로 형성되고 가이드 레일(20)의 상면에 위치되어 카세트 지지대(34)와 체결되는 고정부(32b)를 포함한다.The sliding member 32 is located in the space 24 of the guide rail 20 and is fitted to the engaging jaw 26 of the guide rail 20, and above the slide 32a. It is formed and is located on the upper surface of the guide rail 20 includes a fixing portion 32b for fastening with the cassette support 34.

여기에서, 슬라이드부(32a)와 걸림턱(26) 사이에는 베이링(36)이 설치되어 슬라이드부(32a)가 걸림턱(26)에 끼워진 상태로 부드럽게 슬라이드 이동될 수 있도록 한다. Here, the bearing 36 is installed between the slide portion 32a and the locking jaw 26 so that the slide portion 32a can be slid smoothly while being fitted to the locking jaw 26.

카세트 지지대(34)는 카세트(100)가 놓여지는 부분으로 카세트(100)의 크기에 따라 그 크기가 정해지며, 카세트(100)가 이탈되는 것을 것을 방지하기 위한 이탈 방지턱(38)이 양쪽에 각각 설치된다.The cassette support 34 is a portion in which the cassette 100 is placed. The size of the cassette support 34 is determined according to the size of the cassette 100, and the release prevention jaws 38 for preventing the cassette 100 from being separated from each other are provided on both sides. Is installed.

그리고, 슬라이딩 부재(32)와 카세트 지지대(34) 사이에 덮개부재(60)가 통과하는 가이드홀(68)이 형성된다. 여기에서 가이드홀(68)은 슬라이딩 부재(32)의 상면에 형성될 수 있고, 카세트 지지대(34)의 하면에 형성될 수 있고, 슬라이딩 부재(32)와 카세트 지지대(34) 사이에 간격을 두어 형성될 수 있다. In addition, a guide hole 68 through which the cover member 60 passes is formed between the sliding member 32 and the cassette support 34. Here, the guide hole 68 may be formed on the upper surface of the sliding member 32, may be formed on the lower surface of the cassette support 34, spaced between the sliding member 32 and the cassette support 34 Can be formed.

이와 같이, 카세트 캐리어(30)가 위치되는 부분에서는 덮개부재(60)가 개구 부(22)에서 분리되어 가이드홀(68)을 통과하게 된다. As such, the cover member 60 is separated from the opening 22 at the portion where the cassette carrier 30 is positioned to pass through the guide hole 68.

이때, 도 7에 도시된 바와 같이, 개구부(22)에서 분리된 덮개부재(60)를 가이드홀(68)로 안내하기 위하여 슬라이딩 부재(32)의 전방 및 후방에 각각 가이드 롤러(70)가 장착된다. 이 가이드 롤러(70)는 한 쌍으로 구성되는데, 덮개부재(60)가 개구부(22)에 덮어진 높이에 배치되는 제1롤러(70a)와, 가이드홀(68)과 동일한 높이에 배치되는 제2롤러(70b)로 구성된다. In this case, as shown in FIG. 7, the guide rollers 70 are mounted at the front and the rear of the sliding member 32 to guide the cover member 60 separated from the opening 22 to the guide hole 68, respectively. do. The guide roller 70 is composed of a pair, the first roller 70a is disposed at the height of the cover member 60 is covered with the opening 22, and the agent is disposed at the same height as the guide hole 68 It consists of two rollers 70b.

이와 같이, 슬라이딩 부재(32)가 슬라이드 이동되면 덮개부재(60)가 제1롤러(70a)와 제2롤러(70b)를 따라 안내되어 개구부(22)에서 분리되고 가이드홀(68)을 통과한다.As such, when the sliding member 32 slides, the lid member 60 is guided along the first roller 70a and the second roller 70b to be separated from the opening 22 and passes through the guide hole 68. .

도 8은 본 발명의 한 실시예에 따른 제1이송장치의 구동부를 나타낸 상면도이고, 도 9는 본 본 발명의 한 실시예에 따른 제1이송장치의 구동부를 나타낸 측면도이다. 8 is a top view showing a drive unit of the first transfer device according to an embodiment of the present invention, Figure 9 is a side view showing a drive unit of the first transfer device according to an embodiment of the present invention.

구동부(40)는 베이스 프레임(10)에 장착되는 구동모터(42)와, 이 구동모터(42)에 연결되어 구동력을 전달받는 구동축(44a,44b)과, 가이드 레일(20)의 일단에 회전 가능하게 장착되는 구동풀리(46)와, 가이드 레일(20)의 타단에 회전 가능하게 장착되는 피동풀리(48)와, 구동풀리(46)와 피동풀리(48)에 감겨지고 그 일단은 카세트 캐리어(30)의 일측에 고정되고 타단은 카세트 캐리어(30)의 타측에 고정되는 타이밍 벨트(80)를 포함한다. The driving unit 40 is rotated around the driving motor 42 mounted on the base frame 10, the driving shafts 44a and 44b connected to the driving motor 42 to receive the driving force, and one end of the guide rail 20. The drive pulley 46 is mounted so as to be possible, the driven pulley 48 is rotatably mounted at the other end of the guide rail 20, and the drive pulley 46 and the driven pulley 48 are wound around one end of the cassette carrier. The timing belt 80 is fixed to one side of the 30 and the other end is fixed to the other side of the cassette carrier 30.

여기에서, 구동모터(42)는 두 가이드 레일(20) 사이에 위치되고 제1구동축(44a)과 제2구동축(44b)이 각각 연결되어 두 구동축(44a,44b)을 동시에 구동시킨 다. 제1구동축(44a)은 서로 수평하게 배치되는 두 가이드 레일(20) 중 하나에 장착되는 구동풀리(46)에 연결되고, 제2구동축(44b)은 다른 하나의 가이드 레일에 장착되는 구동풀리에 연결된다.Here, the drive motor 42 is located between the two guide rails 20 and the first drive shaft 44a and the second drive shaft 44b are connected to drive the two drive shafts 44a and 44b simultaneously. The first drive shaft 44a is connected to a drive pulley 46 mounted to one of the two guide rails 20 arranged horizontally to each other, and the second drive shaft 44b is a drive pulley mounted to the other guide rail. Connected.

구동모터(42)와 구동축(44a,44b)은 하우징(82)에 내장되고, 이 하우징은 구동모터와 구동축을 외부로 노출되지 않도록 하여 구동모터와 구동축의 회전부위 및 마찰부위에서 발생되는 불순물이나 파티컬(particle)이 외부로 유출되는 것을 방지한다. 그리고, 하우징(82)에는 배출라인(84)이 연결되어 하우징(82) 내부에서 발생되는 불순물이나 파티컬(particle)을 외부로 배출시킨다.The drive motor 42 and the drive shafts 44a and 44b are embedded in the housing 82, and the housing prevents the drive motor and the drive shaft from being exposed to the outside so that impurities generated at the rotational and frictional portions of the drive motor and the drive shaft may be removed. Prevents particles from leaking out. In addition, the discharge line 84 is connected to the housing 82 to discharge impurities or particles generated inside the housing 82 to the outside.

본 실시예에 따른 구동부(40)는 하나의 구동모터(42)를 사용하여 두 개의 카세트 캐리어(30)를 구동시킬 수 있고 타이밍 벨트(80)에 의해 카세트 캐리어(30)가 직선 이동되므로 정밀도를 향상시킬 수 있고 구동시 소음 발생을 최소화할 수 있게 된다. The drive unit 40 according to the present exemplary embodiment may drive two cassette carriers 30 using one drive motor 42, and the cassette carrier 30 is linearly moved by the timing belt 80. It is possible to improve and minimize the generation of noise during operation.

카세트 업/다운 유닛(300)은 제1이송장치와 제2이송장치가 직각으로 접하는 직교구간에 설치되는 액추에이터(52)와, 이 액추에이터(52)의 구동 샤프트(56)에 장착되어 상하방향으로 승강되면서 카세트(100)를 업/다운시키는 승강부재(54)를 포함한다. 여기에서, 상기 액추에이터(52)는 에어 실린더가 사용될 수 있다.The cassette up / down unit 300 is mounted on an actuator 52 installed at an orthogonal section where the first transfer device and the second transfer device are in contact with each other at right angles, and are mounted to the drive shaft 56 of the actuator 52 in the vertical direction. It includes a lifting member 54 for lifting up and down the cassette 100 while lifting. Here, the actuator 52 may be an air cylinder.

도 10은 본 발명의 한 실시예에 따른 제2이송장치의 측면도이고, 도 11은 본 본 발명의 한 실시예에 따른 제2이송장치의 일부 단면도이고, 도 12는 본 발명의 한 실시예에 따른 제2이송장치의 제1구동부 및 제2구동부를 나타낸 구성도이다. 10 is a side view of a second transfer device according to an embodiment of the present invention, FIG. 11 is a partial cross-sectional view of a second transfer device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a view showing an embodiment of the present invention. Fig. 1 is a block diagram showing a first driving unit and a second driving unit of the second transfer device.

제2이송장치(200)는 제1이송장치(100)의 가이드 레일(20)과 직각방향으로 배 치되는 제1가이드 레일(220)과, 제1가이드 레일(220)의 상면에 직선 이동 가능하게 장착되고, 그 끝부분이 제1이송장치(100)와 제2이송장치(200)가 상호 직각으로 접하는 직교구간(A)까지 이동되는 제2가이드 레일(230)과, 이 제2가이드 레일(230)을 따라 직선 이동되고 카세트(500)가 놓여지는 카세트 캐리어(240)를 포함한다. The second transfer device 200 may linearly move on the first guide rail 220 and the upper surface of the first guide rail 220 which are disposed at right angles to the guide rail 20 of the first transfer device 100. The second guide rail 230 and the second guide rail is moved to the orthogonal section (A) where the end portion is in contact with the first transfer device 100 and the second transfer device 200 at right angles to each other, the second guide rail It comprises a cassette carrier 240 which is linearly moved along 230 and on which the cassette 500 is placed.

여기에서, 제2이송장치(220)는 제1이송장치(100)의 베이스 프레임(10)과 직각방향으로 배치되는 베이스 프레임(270)의 상면에 설치될 수 있고, 천정면에 와이어를 매달고, 이 와이어에 의해 지지되는 구조를 가질 수 있다. Here, the second transfer device 220 may be installed on the upper surface of the base frame 270 disposed in a direction perpendicular to the base frame 10 of the first transfer device 100, suspended wires on the ceiling surface, It may have a structure supported by this wire.

제1가이드 레일(220)은 제1이송장치의 가이드 레일(20)과 동일한 높이로 배치되고 상면이 개구되며, 그 내부에는 공간부(222)가 구비된다. 그리고, 제1가이드 레일(220)의 개구된 상면에는 제1이송장치(100)에서 설명한 덮개부재(60)가 장착될 수 있고, 공간부(222)에는 제2가이드 레일(230)을 직선 이동시키는 제1구동부(224)가 설치된다. The first guide rail 220 is disposed at the same height as the guide rail 20 of the first transporting device, and has an upper surface open therein, and a space 222 is provided therein. The cover member 60 described in the first transfer device 100 may be mounted on the opened upper surface of the first guide rail 220, and the second guide rail 230 is linearly moved in the space 222. The first driving unit 224 to be installed.

여기에서, 제1가이드 레일(220)과 제2가이드 레일(230)의 슬라이드 결합구조는 제2가이드 레일(230)이 제1가이드 레일(220)을 따라 슬라이드 이동되는 구조이면 어떠한 구조도 적용이 가능하다. 또한 이러한 슬라이드 결합구조는 일반적인 구조이므로 그 설명을 생략한다. Here, the slide coupling structure of the first guide rail 220 and the second guide rail 230 is applicable to any structure if the second guide rail 230 slides along the first guide rail 220. It is possible. In addition, since the slide coupling structure is a general structure, description thereof will be omitted.

제1구동부(224)는 위에서 설명한 제1이송장치(100)의 구동부(40)와 그 구조 및 작용이 동일하므로 그 설명을 생략한다. Since the first driving unit 224 has the same structure and operation as the driving unit 40 of the first transfer device 100 described above, description thereof will be omitted.

상기 제2가이드 레일(230)은 내부에 공간부(232)가 구비되고, 이 공간부(232)에는 카세트 캐리어(240)를 직선 이동시키는 제2구동부(234)가 설치된다. 이러한 제2가이드 레일(230), 카세트 캐리어(240) 및 제2구동부(234)는 위에서 설명한 제1이송장치(100)의 가이드 레일(20), 카세트 캐리어(30) 및 구동부(40)와 그 구조와 작용이 동일하므로 그 설명을 생략한다. The second guide rail 230 is provided with a space part 232 therein, and the space part 232 is provided with a second driving part 234 for linearly moving the cassette carrier 240. The second guide rail 230, the cassette carrier 240, and the second driving unit 234 may include the guide rail 20, the cassette carrier 30, and the driving unit 40 of the first transfer device 100 described above, and the same. Since the structure and operation are the same, the description is omitted.

다만, 제2가이드 레일(230)의 하면에는 제1구동부(224)와 연결되어 제1가이드 레일(220)을 따라 슬라이드 이동되는 슬라이드 이동부(236)가 구비된다.However, the lower surface of the second guide rail 230 is provided with a slide moving part 236 connected to the first driving part 224 and slides along the first guide rail 220.

이러한 제2가이드 레일(230)은 그 일측이 제1이송장치(100)와 제2이송장치(200)가 직각으로 접하는 직교구간(A)으로 이동될 수 있도록 제1이송장치(100)의 가이드 레일(20)보다 높게 위치된다. The second guide rail 230 is a guide of the first transfer device 100 so that one side thereof can be moved to the orthogonal section (A) where the first transfer device 100 and the second transfer device 200 are in contact with each other at a right angle. It is located higher than the rail 20.

즉, 제2가이드 레일(230)은 제1이송장치에 의해 직선 이동된 카세트(500)를 직각방향으로 이동시키기 위해 직교구간(A)으로 이동되어 카세트가 제2이송장치(200)의 카세트 캐리어(240)에 올려 놓여질 수 있도록 한다. That is, the second guide rail 230 is moved to the orthogonal section (A) in order to move the cassette 500 linearly moved by the first transfer device in the orthogonal direction so that the cassette is the cassette carrier of the second transfer device 200. To be placed on (240).

여기에서, 제1가이드 레일(220)과 제2가이드 레일(230)에는 공간부(222,232)에서 발생되는 각종 불순물 및 파티컬(particle) 등을 외부로 배출시키는 배출라인(250,260)이 연결되고, 이 배출라인(250,260)은 흡입력을 발생시킬 수 있는 흡입 구동부와 연결될 수 있다. 일예로, 흡입 구동부는 진공펌프가 사용될 수 있다. 상기한 바와 같이, 구성되는 본 발명의 한 실시예에 따른 카세트 이송장치의 작용을 다음에서 설명한다.Here, discharge lines 250 and 260 are connected to the first guide rail 220 and the second guide rail 230 to discharge various impurities and particles generated in the spaces 222 and 232 to the outside. The discharge lines 250 and 260 may be connected to a suction driver that may generate suction force. For example, a suction pump may use a vacuum pump. As described above, the operation of the cassette transport apparatus according to the embodiment of the present invention constituted will be described below.

도 13 내지 도 16은 본 발명의 한 실시예에 따른 카세트 이송장치의 작동 상태를 나타낸 작동 상태도이다.13 to 16 is an operating state diagram showing an operating state of the cassette transport apparatus according to an embodiment of the present invention.

먼저, 도 10에 도시된 바와 같이, 카세트(500)가 제1이송장치(100)에 의해 제1이송장치(100)의 끝부분 즉, 제1이송장치(100)와 제2이송장치(200)가 서로 직각으로 접하는 직교구간(A)으로 이송된다. First, as shown in FIG. 10, the cassette 500 is the end of the first transfer apparatus 100 by the first transfer apparatus 100, that is, the first transfer apparatus 100 and the second transfer apparatus 200. ) Is transferred to the orthogonal section (A) in contact with each other at right angles.

그리고, 도 13에 도시된 바와 같이, 카세트 업/다운 유닛(300)이 작동되어 카세트(500)를 들어 올린다. 그리고 제1이송장치(100)의 카세트 캐리어(30)가 직교구간(A)에서 빠져 나간다. Then, as shown in FIG. 13, the cassette up / down unit 300 is operated to lift the cassette 500. Then, the cassette carrier 30 of the first transfer device 100 exits from the orthogonal section A. FIG.

그런 후 도 14에 도시된 바와 같이, 제2가이드 레일(230)이 제1가이드 레일(220)을 따라 직선 이동되어 그 일측이 직교구간(A)으로 이동된다. 그러면, 제2가이드 레일(230)에 직선 이동 가능하게 설치되는 제2이송장치(200)의 카세트 캐리어(240)가 제1이송장치(100)의 카세트 캐리어(30)가 빠져나간 그 위치에 놓여지게 된다.Then, as shown in FIG. 14, the second guide rail 230 is linearly moved along the first guide rail 220, and one side thereof is moved to the orthogonal section A. FIG. Then, the cassette carrier 240 of the second transfer apparatus 200, which is installed to be linearly movable on the second guide rail 230, is positioned at the position where the cassette carrier 30 of the first transfer apparatus 100 has exited. You lose.

여기에서, 제2가이드 레일(230)은 제1이송장치(100)의 가이드 레일(20)보다 높게 설치되므로 가이드 레일(20) 위로 서로 직교한 상태로 배치될 수 있다.Here, since the second guide rail 230 is installed higher than the guide rail 20 of the first transfer device 100, the second guide rail 230 may be disposed orthogonal to each other on the guide rail 20.

그리고, 도 15에 도시된 바와 같이, 카세트 업/다운 유닛(300)이 작동되어 카세트(500)가 하강하면 카세트(500)는 제2이송장치(200)의 카세트 캐리어(240)에 놓여지게 된다.As shown in FIG. 15, when the cassette up / down unit 300 is operated to lower the cassette 500, the cassette 500 is placed on the cassette carrier 240 of the second transfer device 200. .

그리고, 도 16에 도시된 바와 같이, 제2가이드 레일(230)이 반대방향으로 직선 이동되면 카세트(240)가 제1이송장치(100)의 이송방향과 직각방향으로 이송된다. 그리고, 제2가이드 레일(230)의 이동이 완료되면 제2구동부(234)가 구동되어 제2가이드 레일(230)에 슬라이드 이동 가능하게 장착되는 제2이송장치(200)의 카세트 캐리어(240)가 직선 이동되면서 카세트(500)를 직선 이송시킨다. 이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다. As shown in FIG. 16, when the second guide rail 230 is linearly moved in the opposite direction, the cassette 240 is conveyed in a direction perpendicular to the conveying direction of the first conveying apparatus 100. In addition, when the movement of the second guide rail 230 is completed, the second driving unit 234 is driven so that the cassette carrier 240 of the second transfer device 200 is mounted to be slidably movable on the second guide rail 230. Moves linearly while the cassette 500 is linearly moved. Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of rights.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 카세트 이송장치의 일부 사시도이고, 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 제1이송장치의 정면도이고, 1 is a partial perspective view of a cassette transfer device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a front view of a first transfer device according to an embodiment of the present invention,

도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 제1이송장치의 상면도이고, 3 is a top view of the first transport apparatus according to an embodiment of the present invention,

도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 제1이송장치의 측면도이고, 4 is a side view of the first transport apparatus according to an embodiment of the present invention,

도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 제1이송장치의 가이드 레일의 단면도이고, 5 is a cross-sectional view of the guide rail of the first transfer apparatus according to an embodiment of the present invention,

도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 가이드 레일에 카세트 캐리어가 장착된 상태를 나타낸 단면도이고, 6 is a cross-sectional view illustrating a cassette carrier mounted on a guide rail according to one embodiment of the present invention;

도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 제1이송장치의 일부 단면도이고, 7 is a partial cross-sectional view of the first transfer device according to an embodiment of the present invention,

도 8은 본 발명의 한 실시예에 따른 제1이송장치의 구동부를 나타낸 단면도이고, 8 is a cross-sectional view showing a driving unit of the first transfer device according to an embodiment of the present invention;

도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 제1이송장치의 구동부를 나타낸 구성도이고, 9 is a block diagram showing a driving unit of the first transfer apparatus according to an embodiment of the present invention,

도 10은 본 발명의 한 실시예에 따른 제2이송장치의 측면도이고, 10 is a side view of a second transfer device according to an embodiment of the present invention,

도 11은 본 발명의 한 실시예에 따른 제2이송장치의 일부 단면도이고, 11 is a partial cross-sectional view of a second transfer device according to an embodiment of the present invention,

도 12는 본 발명의 한 실시예에 따른 제2이송장치의 제1 및 제2구동부를 나타낸 단면도이고, 12 is a cross-sectional view showing first and second driving units of a second transfer device according to an embodiment of the present invention;

도 13 내지 도 16은 본 발명의 한 실시예에 따른 카세트 이송장치의 작동 상태도이다. 13 to 16 are diagrams illustrating the operation of the cassette transport apparatus according to an embodiment of the present invention.

<도면 부호의 설명> &Lt; Description of reference numerals &

10: 베이스 프레임 16: 크린룸 윈도우10: Base frame 16: Clean room window

20: 가이드 레일 22: 개구부20: guide rail 22: opening

24: 공간부 30: 카세트 캐리어24: space portion 30: cassette carrier

32: 슬라이딩 부재 34: 카세트 지지대32: sliding member 34: cassette support

40 : 구동부 42 : 구동모터40: drive unit 42: drive motor

44a,40b : 구동축 50 : 카세트 업/다운 유닛44a, 40b: drive shaft 50: cassette up / down unit

60 : 덮객부재 64 : 배출라인 60: covering member 64: discharge line

68 : 가이드홀 82 : 하우징 68: guide hole 82: housing

Claims (14)

카세트를 직선방향으로 이송시키는 제1이송장치, A first transfer device for transferring the cassette in a linear direction, 상기 제1이송장치와 직각방향으로 배치되는 제2이송장치, A second transfer device disposed at right angles to the first transfer device, 상기 제1이송장치와 제2이송장치가 서로 직각으로 접하는 직교 구간(A)에 설치되어 상기 제1이송장치로 이송된 카세트를 제2이송장치로 이송하기 위해 들어올리는 카세트 업/다운 유닛을 포함하고, And a cassette up / down unit installed in an orthogonal section A in which the first transfer device and the second transfer device are in contact with each other at right angles to lift the cassette transferred to the first transfer device to the second transfer device. and, 상기 제2이송장치는 제1가이드 레일, The second transfer device is a first guide rail, 상기 제1가이드 레일에 직선 이동 가능하게 장착되고, 그 일측이 상기 직교 구간(A)까지 이동되는 제2가이드 레일,A second guide rail mounted on the first guide rail so as to be linearly movable, and having one side thereof moved to the orthogonal section A; 상기 제2가이드 레일에 직선 이동 가능하게 장착되고 카세트가 얹혀지는 카세트 캐리어를 포함하는 카세트 이송장치. And a cassette carrier mounted on the second guide rail so as to be linearly movable and on which the cassette is placed. 제1항에서,In claim 1, 상기 제1이송장치는 그 상측에 길이방향을 따라 개구부가 형성되며, 내부에 공간부가 구비되는 가이드 레일, The first transfer device has an opening formed in the longitudinal direction on the upper side, the guide rail having a space therein, 상기 개구부에 분리 가능하게 배치되어 상기 공간부를 밀폐시키는 덮개부재, 상기 가이드 레일에 직선 이동 가능하게 장착되고 카세트가 얹혀지며, 상기 가이드 레일을 따라 직선 이동될 때 상기 덮개부재가 통과하는 가이드홀이 구비되는 카세트 캐리어, 그리고 A cover member detachably disposed in the opening to seal the space, a guide member mounted on the guide rail so as to be linearly movable, and a cassette is mounted, and a guide hole through which the cover member passes when the cover member is linearly moved along the guide rail. Cassette carrier, and 상기 카세트 캐리어를 직선 이동시키는 구동부를 A drive unit for linearly moving the cassette carrier 포함하는 카세트 이송장치. Cassette transfer device comprising. 제2항에서, In claim 2, 상기 가이드 레일에는 영구자석이 장착되고, 상기 덮개부재는 상기 영구자석의 자력이 작용하도록 자성체 재질로 형성되는 카세트 이송장치.A permanent magnet is mounted to the guide rail, and the cover member is formed of a magnetic material such that the magnetic force of the permanent magnet is applied. 제3항에 있어서, The method of claim 3, 상기 영구자석은 상기 가이드 레일의 상단 양쪽에 각각 상기 가이드 레일의 길이방향을 따라 구비되는 카세트 이송장치. The permanent magnet is provided on both sides of the upper end of the guide rail cassette conveying apparatus provided along the longitudinal direction of the guide rail. 제3항에서,4. The method of claim 3, 상기 덮개부재는 휘어짐이 가능하고 자성체 재질이 포함되는 필름 형태로 형성되는 카세트 이송장치. The cover member is bent and the cassette transport apparatus is formed in the form of a film containing a magnetic material. 제2항에서,In claim 2, 상기 가이드 레일에는 상기 공간부에서 발생되는 불순물 또는 파티컬(particle)을 외부로 배출시키는 배출라인이 연결되고, 상기 배출라인에는 흡입 구동부가 장착되는 카세트 이송장치. The guide rail is connected to the discharge line for discharging impurities or particles generated in the space to the outside, the discharge line is a cassette transfer device equipped with a suction drive. 제2항에서, In claim 2, 상기 카세트 캐리어는 상기 가이드 레일에 슬라이드 이동 가능하게 지지되는 슬라이딩 부재, 그리고The cassette carrier is slidably supported on the guide rail in a slidable manner, and 상기 슬라이딩 부재에 체결되고 카세트가 얹혀지는 카세트 지지대를 포함하고, A cassette support fastened to the sliding member and on which a cassette is placed, 상기 슬라이딩 부재와 카세트 지지대 사이에는 덮개부재가 통과하는 가이드홀이 형성되는 카세트 이송장치. And a guide hole through which the cover member passes between the sliding member and the cassette support. 제7항에서,In claim 7, 상기 슬라이딩 부재의 전/후방에는 상기 덮개부재가 가이드홀을 통과하도록 덮개부재를 가이드하는 가이드롤러가 장착되는 카세트 이송장치. And a guide roller for guiding the cover member so that the cover member passes through the guide hole in front and rear of the sliding member. 제2항에서, In claim 2, 상기 구동부는 베이스 프레임에 장착되는 구동모터, The drive unit is a drive motor mounted to the base frame, 상기 구동모터의 구동축과 연결되고 가이드 레일의 일단에 회전 가능하게 지지되는 구동풀리, A drive pulley connected to the drive shaft of the drive motor and rotatably supported at one end of the guide rail; 상기 가이드 레일의 타단에 회전 가능하게 지지되는 피동풀리 그리고, A driven pulley rotatably supported at the other end of the guide rail, 상기 피동풀리와 구동풀리에 감겨지고 한쪽 끝부분이 상기 카세트 캐리어의 일측에 연결되고, 다른쪽 끝부분이 상기 카세트 캐리어의 타측에 연결되는 타이밍 벨트를 포함하는 카세트 이송장치. And a timing belt wound around the driven pulley and the driving pulley and having one end connected to one side of the cassette carrier and the other end connected to the other side of the cassette carrier. 제1항에서, In claim 1, 상기 제1가이드 레일은 상기 제2가이드 레일이 슬라이드 이동되도록 결합되고, 내부에 공간부가 구비되며, 상기 공간부에는 상기 제2가이드 레일을 구동시키는 제1구동부가 구비되는 카세트 이송장치. The first guide rail is coupled to the second guide rail slide-moving, there is provided a space portion therein, the space portion is provided with a cassette driving device for driving the second guide rail. 제1항에서, In claim 1, 상기 제2가이드 레일은 그 상측에 길이방향을 따라 개구부가 형성되며, 내부에 공간부가 구비되고, 상기 개구부에는 상기 공간부를 밀폐시키는 덮개부재가 장착되고, 상기 공간부에는 상기 카세트 캐리어를 직선 이동시키는 제2구동부가 장착되는 카세트 이송장치.The second guide rail has an opening formed in the upper side thereof in a longitudinal direction, and has a space portion therein, and a cover member for sealing the space portion is mounted in the opening portion, and the space portion linearly moves the cassette carrier. Cassette transfer device is equipped with a second drive. 제11항에서, In claim 11, 상기 카세트 캐리어에는 상기 덮개부재가 통과하는 가이드홀이 구비되고, The cassette carrier is provided with a guide hole through which the cover member passes, 상기 가이드 레일에는 영구자석이 장착되고, 상기 덮개부재는 상기 영구자석의 자력이 작용하도록 자성체 재질로 형성되는 카세트 이송장치.A permanent magnet is mounted to the guide rail, and the cover member is formed of a magnetic material such that the magnetic force of the permanent magnet is applied. 제11항에서, In claim 11, 상기 제2가이드 레일에는 상기 공간부 내부에서 발생되는 불순물 또는 파티컬(particle)을 외부로 배출시키는 배출라인이 연결되고, 상기 배출라인에는 흡입 구동부가 장착되는 카세트 이송장치. The second guide rail is connected to the discharge line for discharging impurities or particles generated inside the space portion to the outside, the discharge line is a cassette transfer device equipped with a suction drive. 제1항에서, In claim 1, 상기 카세트 업/다운 유닛은 액추에이터와,The cassette up / down unit includes an actuator, 상기 액추에이터의 구동 샤프트에 장착되어 상하방향으로 승강되면서 카세트를 업/다운시키는 승강부재를 포함하는 카세트 이송장치.And an elevating member mounted on the drive shaft of the actuator to move the cassette up and down while being moved up and down.
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