KR102706524B1 - A Transfer Robot Adopting Separating Cover and Linear Motor Technique - Google Patents
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Abstract
본 발명은 고하중 반송 시 처짐이 발생하지 않고 파티클도 발생하지 않는 안정성 및 내구성이 우수한 이송 로봇에 관한 것이다. 본 발명은 진공으로 유지되는 반도체 및 디스플레이 공정 챔버들 사이에서 상부 핸드 및 하부 핸드를 이용하여 대상물을 이송하는 이송 로봇에 있어서, 로봇 본체는 대기압으로 유지되는 내부가 비어 있는 수직 중공 구조가 수직으로 형성되고 승강 및 회전을 하고, 베이스는 로봇 본체의 상부에 연결되어 수평으로 형성되고 로봇 본체의 수직 중공 구조와 연통되어 대기압으로 유지되는 수평 중공 구조를 가지고 상부 핸드 및 상기 하부 핸드가 이동하는 경로를 제공하고, 제1 코일부는 베이스의 상면에 형성되고 제1 코일부는 베이스의 수평 중공 구조와 연통되어 대기압으로 유지되고 제1 코일부를 둘러싸도록 분리막이 형성되고 분리막은 제1 코일부를 밀폐하여 이송 챔버 내부의 진공 분위기와 제1 코일부의 대기압 분위기를 분리하고, 베이스의 상면에는 제1 레일이 형성되고 제1 레일에 대응되도록 하부 핸드의 하면에는 제1 슬라이더가 형성되고 제1 슬라이더는 제1 레일을 따라 슬라이딩 이동하고, 제1 코일부에 대응되도록 하부 핸드의 하면에 제1 자석부가 형성되어 제1 코일부와 제1 자석부가 제1 리니어 모터를 형성하여 상기 하부 핸드의 움직임을 구동할 수 있다.The present invention relates to a transport robot having excellent stability and durability that does not sag or generate particles when transporting a high load. The present invention relates to a transport robot that transports an object between semiconductor and display process chambers maintained in a vacuum using an upper hand and a lower hand, wherein the robot body is formed vertically as a vertical hollow structure with an interior that is maintained at atmospheric pressure and is lifted and rotated, a base is formed horizontally and connected to the upper part of the robot body and has a horizontal hollow structure that is maintained at atmospheric pressure and communicates with the vertical hollow structure of the robot body to provide a path for the upper hand and the lower hand to move, a first coil portion is formed on the upper surface of the base, the first coil portion is maintained at atmospheric pressure and communicates with the horizontal hollow structure of the base, a separator is formed to surround the first coil portion, and the separator seals the first coil portion to separate the vacuum atmosphere inside the transport chamber and the atmospheric pressure atmosphere of the first coil portion, a first rail is formed on the upper surface of the base, a first slider is formed on the lower surface of the lower hand to correspond to the first rail, and the first slider slides along the first rail, and a first magnet portion is formed on the lower surface of the lower hand to correspond to the first coil portion, so that the first coil portion and the first magnet portion form a first linear motor, thereby It can drive the movement of the lower hand.
Description
본 발명은 다수의 반도체 및 디스플레이 공정 챔버들 사이에서 대상물을 이송하는 이송 로봇에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고하중 반송 시 처짐이 발생하지 않고 파티클이 발생하지 않는 안정성 및 내구성이 우수한 리니어 모터를 적용한 이송 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a transport robot for transporting objects between a plurality of semiconductor and display process chambers, and more specifically, to a transport robot using a linear motor with excellent stability and durability that does not sag or generate particles when transporting a high load.
반도체, 디스플레이 라인에서는 일반적으로 링크암(link arm) 구조의 진공 로봇을 사용하며, 대형 기판이나 마스크 등 고하중의 반송시스템에서는 리니어 가이드와 타이밍벨트를 이용한 리니어 방식을 사용하고 있다. 링크암 구조는 파티클과 공간적 측면에서 장점이 있지만 고하중 반송 시 처짐이 발생하는 등 상대적으로 안정성이 낮다는 단점이 있다. 리니어 방식은 안정적 이송은 가능하지만 길고 복잡한 타이밍 벨트를 사용함으로 인하여 파티클이 발생하고 내구성이 취약하다는 등의 문제점이 있다.In semiconductor and display lines, vacuum robots with a link arm structure are generally used, and in high-load transport systems such as large substrates or masks, a linear method using a linear guide and timing belt is used. The link arm structure has advantages in terms of particles and space, but has the disadvantage of relatively low stability, such as sagging when transporting high loads. The linear method enables stable transport, but has problems such as generating particles and poor durability due to the use of a long and complex timing belt.
이에 고하중 반송 시 처짐 발생의 문제 및 타이밍벨트 사용으로 인한 파티클 발생 및 내구성 저하의 문제를 해결하기 위하여 연구를 거듭한 끝에 본 발명을 완성하였다.Accordingly, the present invention was completed after repeated research to solve the problems of sagging during high-load return and particle generation and reduced durability due to the use of a timing belt.
본 발명은 고하중 반송 시 처짐이 발생하지 않고 파티클도 발생하지 않는 안정성 및 내구성이 우수한 이송 로봇을 제공하고자 한다.The present invention aims to provide a transport robot with excellent stability and durability that does not sag or generate particles when transporting a high load.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 측면은, 진공으로 유지되는 반도체 및 디스플레이 공정 챔버들 사이에서 상부 핸드 및 하부 핸드를 이용하여 대상물을 이송하는 이송 로봇에 있어서, 로봇 본체는 대기압으로 유지되는 내부가 비어 있는 수직 중공 구조가 수직으로 형성되고 승강 및 회전을 하고, 베이스는 로봇 본체의 상부에 연결되어 수평으로 형성되고 로봇 본체의 수직 중공 구조와 연통되어 대기압으로 유지되는 수평 중공 구조를 가지고 상부 핸드 및 상기 하부 핸드가 이동하는 경로를 제공하고, 제1 코일부는 베이스의 상면에 형성되고 제1 코일부는 베이스의 수평 중공 구조와 연통되어 대기압으로 유지되고 제1 코일부를 둘러싸도록 분리막이 형성되고 분리막은 제1 코일부를 밀폐하여 이송 챔버 내부의 진공 분위기와 제1 코일부의 대기압 분위기를 분리하고, 베이스의 상면에는 제1 레일이 형성되고 제1 레일에 대응되도록 하부 핸드의 하면에는 제1 슬라이더가 형성되고 제1 슬라이더는 제1 레일을 따라 슬라이딩 이동하고, 제1 코일부에 대응되도록 하부 핸드의 하면에 제1 자석부가 형성되어 제1 코일부와 제1 자석부가 제1 리니어 모터를 형성하여 상기 하부 핸드의 움직임을 구동하는 이송 로봇일 수 있다.One aspect of the present invention for solving the above problem is a transport robot that transports an object between semiconductor and display process chambers maintained in a vacuum using an upper hand and a lower hand, wherein the robot body is formed vertically as a vertical hollow structure with an interior that is maintained at atmospheric pressure and is lifted and rotated, the base is formed horizontally and connected to the upper part of the robot body and has a horizontal hollow structure that is maintained at atmospheric pressure and communicates with the vertical hollow structure of the robot body, and provides a path for the upper hand and the lower hand to move, the first coil part is formed on the upper surface of the base, the first coil part is maintained at atmospheric pressure and communicates with the horizontal hollow structure of the base, a separator is formed to surround the first coil part, and the separator seals the first coil part to separate the vacuum atmosphere inside the transport chamber and the atmospheric pressure atmosphere of the first coil part, the first rail is formed on the upper surface of the base, the first slider is formed on the lower surface of the lower hand to correspond to the first rail, the first slider slides along the first rail, and the first magnet part is formed on the lower surface of the lower hand to correspond to the first coil part, the first coil part and the first magnet part It may be a transport robot that forms a first linear motor to drive the movement of the lower hand.
본 측면에서 상부 핸드는 하부 핸드의 위에 일정 간격 이격되어 위치하고, 제2 코일부는 베이스의 측면에 형성되고 베이스의 측면에는 제2 레일이 형성되고, 제1 레일에 대응되도록 상부 핸드의 측면에는 제2 슬라이더가 형성되고 제2 슬라이더는 제2 레일을 따라 슬라이딩 이동하고, 제2 코일부에 대응되도록 상부 핸드에 제2 자석부가 형성되어 제2 코일부와 제2 자석부가 제2 리니어 모터를 형성하여 상부 핸드의 움직임을 구동할 수 있다.In this aspect, the upper hand is positioned above the lower hand at a predetermined interval, the second coil portion is formed on the side of the base, a second rail is formed on the side of the base, a second slider is formed on the side of the upper hand to correspond to the first rail, the second slider slides along the second rail, and a second magnet portion is formed on the upper hand to correspond to the second coil portion, so that the second coil portion and the second magnet portion form a second linear motor to drive the movement of the upper hand.
본 측면에서, 베이스의 길이 방향에 수직 단면에서 상부 핸드는 좌우 끝단이 하측으로 제1 구간 동안 연장된 후 베이스 쪽으로 절곡되고 상부 핸드의 좌우 끝단 중 하나 이상이 베이스 쪽으로 제2 구간 동안 연장된 후 하측으로 절곡되어 제3 구간 동안 연장될 수 있다. In this aspect, in a vertical cross-section in the longitudinal direction of the base, the upper hand may extend with its left and right ends downward for a first section and then be bent toward the base, and at least one of the left and right ends of the upper hand may extend with its left and right ends downward for a second section and then be bent downward for a third section.
본 측면에서, 상부 핸드의 절곡 부위에는 보강재가 추가로 장착될 수 있다.In this aspect, the bending portion of the upper hand may be additionally equipped with reinforcement.
본 측면에서, 상부 핸드의 제2 자석부는 제3 구간에 형성될 수 있다.In this aspect, the second magnet portion of the upper hand can be formed in the third section.
본 발명에 의하면, 고하중 반송 시 처짐이 발생하지 않고 파티클이 발생하지 않는 안정성 및 내구성이 우수한 이송 로봇을 제공할 수 있다.According to the present invention, a transport robot with excellent stability and durability that does not sag or generate particles when transporting a high load can be provided.
도 1은 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇에서 상부 핸드 및 하부 핸드가 장착된 구조를 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 2는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇에서 상부 핸드 및 하부 핸드가 장착된 구조에 대한 길이 방향 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 하부 핸드의 구조를 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 4는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 하부 핸드의 길이 방향 정면도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 상부 핸드의 구조를 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 7은 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 상부 핸드의 길이 방향 정면도이다.
도 8은 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 로봇 본체와 베이스를 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 9는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 로봇 본체와 베이스에 대한 일부 절단면을 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 10은 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 베이스를 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 11은 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 베이스에 대한 일부 절단면을 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 12는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 베이스에 대한 일부 절단면을 확대하여 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 13은 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 베이스의 단면 구조를 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 14는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 제1 코일부가 분리막에 의하여 감싸여 있는 구조를 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 15는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 제1 코일부가 분리막에 의하여 감싸여 있는 구조를 일부 절단한 것을 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 16은 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 제1 코일부의 구조를 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 17은 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 분리막을 아래 방향에서 바라본 구조를 개략적으로 도시한 모식도이다.FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a structure in which an upper hand and a lower hand are mounted in a transport robot according to one aspect of the present invention.
FIG. 2 is a longitudinal front view of a structure equipped with an upper hand and a lower hand in a transport robot according to one aspect of the present invention.
FIG. 3 is a schematic diagram illustrating the structure of the lower hand of a transport robot according to one aspect of the present invention.
FIG. 4 is a longitudinal front view of the lower hand of a transport robot according to one aspect of the present invention.
FIGS. 5 and 6 are schematic diagrams illustrating the structure of an upper hand of a transport robot according to one aspect of the present invention.
FIG. 7 is a longitudinal front view of the upper hand of a transport robot according to one aspect of the present invention.
FIG. 8 is a schematic diagram illustrating a robot body and base of a transport robot according to one aspect of the present invention.
FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a partial cross-section of a robot body and a base of a transport robot according to one aspect of the present invention.
FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a base of a transport robot according to one aspect of the present invention.
FIG. 11 is a schematic diagram illustrating a partial cross-section of a base of a transport robot according to one aspect of the present invention.
FIG. 12 is a schematic diagram schematically illustrating an enlarged portion of a cross-section of a base of a transport robot according to one aspect of the present invention.
FIG. 13 is a schematic diagram illustrating a cross-sectional structure of a base of a transport robot according to one aspect of the present invention.
FIG. 14 is a schematic diagram illustrating a structure in which a first coil section of a transport robot according to one aspect of the present invention is wrapped by a separator.
FIG. 15 is a schematic diagram partially cut away showing a structure in which a first coil section of a transport robot according to one aspect of the present invention is wrapped by a separator.
FIG. 16 is a schematic diagram illustrating the structure of a first coil section of a transport robot according to one aspect of the present invention.
FIG. 17 is a schematic diagram illustrating the structure of a separation membrane of a transport robot according to one aspect of the present invention as viewed from below.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다. 본 발명의 실시 형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시 형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다. 본 발명에서, 제1 또는 제2 라는 표현은 순서, 중요도를 의미하는 것이 아니라 단순히 구성요소를 구분하기 위한 것이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the attached drawings. The embodiments of the present invention may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. The embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those with average knowledge in the art. Therefore, the shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated for clearer description, and elements indicated by the same symbols in the drawings are the same elements. In the present invention, the expressions first or second do not imply order or importance, but are simply used to distinguish components.
본 발명은 다수의 반도체 및 디스플레이 공정 챔버들 사이에서 대상물을 이송하는 이송 로봇에 관한 것으로, 고하중 반송 시 처짐이 발생하지 않고 파티클이 발생하지 않는 안정성 및 내구성이 우수한 이송 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a transport robot for transporting objects between a plurality of semiconductor and display process chambers, and to a transport robot having excellent stability and durability that does not sag or generate particles when transporting a high load.
도 1에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇에서 상부 핸드 및 하부 핸드가 장착된 구조를 개략적으로 도시하였다. 도 2에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇에서 상부 핸드 및 하부 핸드가 장착된 구조에 대한 길이 방향 정면도를 도시하였다. 도 3에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 하부 핸드의 구조를 개략적으로 도시하였다. 도 4에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 하부 핸드의 길이 방향 정면도를 도시하였다. 도 5 및 도 6에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 상부 핸드의 구조를 방향을 달리하여 개략적으로 도시하였다. 도 7에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 상부 핸드의 길이 방향 정면도를 도시하였다. 도 8에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 로봇 본체와 베이스를 개략적으로 도시하였다. 도 9에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 로봇 본체와 베이스에 대한 일부 절단면을 개략적으로 도시하였다. 도 10에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 베이스를 개략적으로 도시하였다. 도 11에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 베이스에 대한 일부 절단면을 개략적으로 도시하였다. 도 12에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 베이스에 대한 일부 절단면을 확대하여 개략적으로 도시하였다. 도 13에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 베이스의 단면 구조를 개략적으로 도시하였다. 도 14에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 제1 코일부가 분리막에 의하여 감싸여 있는 구조를 개략적으로 도시하였다. 도 15에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 제1 코일부가 분리막에 의하여 감싸여 있는 구조를 일부 절단한 것을 개략적으로 도시하였다. 도 16에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 제1 코일부의 구조를 개략적으로 도시하였다. 도 17에는 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇의 분리막을 아래 방향에서 바라본 구조를 개략적으로 도시하였다.FIG. 1 schematically illustrates a structure of an upper hand and a lower hand mounted in a transport robot according to one aspect of the present invention. FIG. 2 schematically illustrates a longitudinal front view of a structure of an upper hand and a lower hand mounted in a transport robot according to one aspect of the present invention. FIG. 3 schematically illustrates a structure of a lower hand of a transport robot according to one aspect of the present invention. FIG. 4 schematically illustrates a longitudinal front view of a lower hand of a transport robot according to one aspect of the present invention. FIGS. 5 and 6 schematically illustrate structures of an upper hand of a transport robot according to one aspect of the present invention in different directions. FIG. 7 schematically illustrates a longitudinal front view of an upper hand of a transport robot according to one aspect of the present invention. FIG. 8 schematically illustrates a robot body and a base of a transport robot according to one aspect of the present invention. FIG. 9 schematically illustrates a partial cross-section of a robot body and a base of a transport robot according to one aspect of the present invention. FIG. 10 schematically illustrates a base of a transport robot according to one aspect of the present invention. FIG. 11 schematically illustrates a partial cross-section of a base of a transport robot according to one aspect of the present invention. FIG. 12 is a schematic diagram showing an enlarged partial cross-section of a base of a transport robot according to an aspect of the present invention. FIG. 13 is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of a base of a transport robot according to an aspect of the present invention. FIG. 14 is a schematic diagram showing a structure in which a first coil portion of a transport robot according to an aspect of the present invention is wrapped by a separator. FIG. 15 is a schematic diagram showing a partial cross-section of a structure in which a first coil portion of a transport robot according to an aspect of the present invention is wrapped by a separator. FIG. 16 is a schematic diagram showing a structure of a first coil portion of a transport robot according to an aspect of the present invention. FIG. 17 is a schematic diagram showing a structure in which a separator of a transport robot according to an aspect of the present invention is viewed from below.
도면을 참고하면, 본 발명의 일 측면은, 진공으로 유지되는 반도체 및 디스플레이 공정 챔버들 사이에서 상부 핸드(10) 및 하부 핸드(20)를 이용하여 대상물을 이송하는 이송 로봇에 있어서, 로봇 본체(30)는 대기압으로 유지되는 내부가 비어 있는 수직 중공 구조(31)가 수직으로 형성되고 승강 및 회전을 하고, 베이스(40)는 로봇 본체(30)의 상부에 연결되어 수평으로 형성되고 로봇 본체(30)의 수직 중공 구조(31)와 연통되어 대기압으로 유지되는 수평 중공 구조를 가지고 상부 핸드(10) 및 하부 핸드(20)가 이동하는 경로를 제공하고, 제1 코일부(51)는 베이스(40)의 상면에 형성되고 제1 코일부(51)는 베이스(40)의 수평 중공 구조와 연통되어 대기압으로 유지되고 제1 코일부(51)를 둘러싸도록 분리막(70)이 형성되고 분리막(70)은 제1 코일부(51)를 밀폐하여 이송 챔버 내부의 진공 분위기와 제1 코일부(51)의 대기압 분위기를 분리하고, 베이스(40)의 상면에는 제1 레일(81)이 형성되고 제1 레일(81)에 대응되도록 하부 핸드(20)의 하면에는 제1 슬라이더(91)가 형성되고 제1 슬라이더(91)는 제1 레일(81)을 따라 슬라이딩 이동하고, 제1 코일부(51)에 대응되도록 하부 핸드(20)의 하면에 제1 자석부(61)가 형성되어 제1 코일부(51)와 제1 자석부(61)가 제1 리니어 모터를 형성하여 하부 핸드(20)의 움직임을 구동하는 이송 로봇일 수 있다.Referring to the drawings, one aspect of the present invention is a transport robot that transports an object between semiconductor and display process chambers maintained in a vacuum using an upper hand (10) and a lower hand (20), wherein the robot body (30) is formed vertically as a vertical hollow structure (31) with an interior that is maintained at atmospheric pressure and is lifted and rotated, the base (40) is connected to the upper portion of the robot body (30) and is formed horizontally and is in communication with the vertical hollow structure (31) of the robot body (30) and has a horizontal hollow structure maintained at atmospheric pressure, providing a path along which the upper hand (10) and the lower hand (20) move, and a first coil portion (51) is formed on the upper surface of the base (40), and the first coil portion (51) is in communication with the horizontal hollow structure of the base (40) and is maintained at atmospheric pressure, and a separator (70) is formed to surround the first coil portion (51), and the separator (70) seals the first coil portion (51) to separate the vacuum atmosphere inside the transport chamber from the A transport robot may be provided in which the atmospheric pressure of the first coil portion (51) is separated, a first rail (81) is formed on the upper surface of the base (40), a first slider (91) is formed on the lower surface of the lower hand (20) to correspond to the first rail (81), the first slider (91) slides along the first rail (81), and a first magnet portion (61) is formed on the lower surface of the lower hand (20) to correspond to the first coil portion (51), so that the first coil portion (51) and the first magnet portion (61) form a first linear motor to drive the movement of the lower hand (20).
반도체 공정이나 디스플레이 공정은 진공 상태의 챔버 내에서 이루어지는데, 웨이퍼나 글래스 기판 등의 대상물에 대하여 노광이나 시각 등 다양한 공정이 순서대로 이루어질 수 있다. 웨이퍼나 글래스 기판 등의 대상물을 각 공정 챔버에 인입 또는 인출하거나 다음 공정 챔버로 이송하기 위하여 사용되는 이송 로봇도 진공 상태의 이송 챔버 내에 설치되어 동작될 수 있다. Semiconductor processes and display processes are carried out in a vacuum chamber, and various processes such as exposure and visual processing can be carried out in sequence on objects such as wafers or glass substrates. A transport robot used to load or remove objects such as wafers or glass substrates into or from each process chamber or to transport them to the next process chamber can also be installed and operated in a vacuum transport chamber.
이송 로봇에는 핸드가 구비되어 있어, 핸드를 이용하여 웨이퍼나 글래스 기판 등의 대상물을 공정 챔버에 인입 또는 인출할 수 있다. 이송 로봇은 상부 핸드(10)와 하부 핸드(20)를 번갈아 사용하면서 로딩, 언로딩을 수행할 수 있다. 상대적으로 위에 배치되는 것을 상부 핸드(10), 아래에 배치되는 것을 하부 핸드(20)라고 할 수 있다. 예를 들어, 하부 핸드(20)를 이용하여 웨이퍼나 글래스 기판 등의 대상물을 공정 챔버에 인입함과 동시에 상부 핸드(10)를 이용하여는 처리 공정이 완료된 대상물을 공정 챔버로부터 인출할 수 있다. 즉 하부 핸드(20)의 전진과 동시에 상부 핸드(10)의 후진이 이루어짐으로써 인입 및 인출을 동시에 수행할 수 있다. The transport robot is equipped with a hand, and can use the hand to load or remove objects such as wafers or glass substrates into or out of the process chamber. The transport robot can perform loading and unloading by alternately using the upper hand (10) and the lower hand (20). The hand that is relatively positioned above may be referred to as the upper hand (10), and the hand that is relatively positioned below may be referred to as the lower hand (20). For example, an object such as a wafer or glass substrate may be loaded into the process chamber using the lower hand (20), and an object whose processing has been completed may be removed from the process chamber using the upper hand (10). In other words, the lower hand (20) moves forward and the upper hand (10) moves backward at the same time, so that the introduction and removal can be performed simultaneously.
핸드는 핸드 본체와 핸드 핑거를 포함할 수 있다. 핸드 핑거는 복수 개일 수 있으며, 복수 개의 핸드 핑거는 핸드의 진행 방향과 나란하게 핸드 본체에 결합되어 배치될 수 있다. 구체적으로, 하부 핸드(20)에는 복수 개의 하부 핑거들이 하부 핸드(20)의 진행 방향과 평행하게 배열되고, 상부 핸드(10)에는 복수 개의 상부 핑거(11)들이 상부 핸드(10)의 진행 방향과 평행하게 배열될 수 있다.The hand may include a hand body and hand fingers. The number of hand fingers may be plural, and the plurality of hand fingers may be arranged and coupled to the hand body in a direction parallel to the direction of movement of the hand. Specifically, the lower hand (20) may have a plurality of lower fingers arranged in a direction parallel to the direction of movement of the lower hand (20), and the upper hand (10) may have a plurality of upper fingers (11) arranged in a direction parallel to the direction of movement of the upper hand (10).
로봇 본체(30)는 승강 및 회전을 할 수 있다. 로봇 본체(30)의 승강 운동에 의하여 웨이퍼나 글래스 기판 등의 대상물을 공정 챔버에 인입하거나 또는 이로부터 인출할 때 대상물의 높이를 적절하게 조절할 수 있다. 이송 로봇의 주변에 다수의 공정 챔버가 배치된 경우 이송 로봇이 제1 공정 챔버에서 기판 등의 대상물을 꺼낸 후 다음 공정의 제2 공정 챔버 방향으로 회전한 후 기판 등 대상물을 제2 공정 챔버에 넣을 수 있다. 이송 로봇의 승강 운동과 회전 운동은 공정 챔버의 배치나 위치 등에 따라 동시에 그리고 정밀하게 조절될 수 있다. The robot body (30) can be lifted and rotated. By the lifting movement of the robot body (30), the height of the object, such as a wafer or a glass substrate, can be appropriately adjusted when the object is introduced into or taken out from the process chamber. When a plurality of process chambers are arranged around the transport robot, the transport robot can take the object, such as a substrate, out of the first process chamber and then rotate toward the second process chamber of the next process and then put the object, such as the substrate, into the second process chamber. The lifting movement and the rotating movement of the transport robot can be simultaneously and precisely adjusted according to the arrangement or position of the process chamber.
로봇 본체(30)는 내부가 비어 있는 수직 중공 구조(31)를 가질 수 있다. 로봇 본체(30)는 수직으로 형성될 수 있으며, 그 위에 큰 하중의 베이스(40)나 핸드 등을 지지할 수 있다. 로봇 본체(30)의 중공 구조 내부는 대기압으로 유지될 수 있다. 반면에 로봇 본체(30)의 외부는 진공 상태로 유지될 수 있다. 코일 등 전자부품을 대기압 하에 있도록 하여 파티클이나 고장을 줄일 수 있는데, 로봇 본체(30)의 내부 중공 구조를 통하여 코일 등 전자부품에 외부의 대기압이 전달되어 연결되도록 할 수 있다. 즉 대기압의 전달의 통로가 되는 셈이다.The robot body (30) may have a vertical hollow structure (31) with an empty interior. The robot body (30) may be formed vertically and may support a large load, such as a base (40) or a hand, thereon. The interior of the hollow structure of the robot body (30) may be maintained at atmospheric pressure. On the other hand, the exterior of the robot body (30) may be maintained in a vacuum state. By keeping electronic components such as coils under atmospheric pressure, particles or failures may be reduced. The external atmospheric pressure may be transmitted to and connected to electronic components such as coils through the internal hollow structure of the robot body (30). In other words, it serves as a passage for transmitting atmospheric pressure.
로봇 본체(30)의 위에는 베이스(40), 그 위에는 상부 핸드(10), 하부 핸드(20) 등이 장착되기 때문에 큰 하중이 인가될 수 있는데, 이러한 큰 하중에도 변형되지 않을 정도도 큰 강도를 가지는 금속 재질일 수 있다. 로봇 본체(30)의 바닥부에는 전도를 방지하기 위하여 플랜지 형태를 가지는 지지부(32)가 형성될 수 있다. 플랜지 형태의 지지부(32)에는 바닥에 고정시기키 위한 볼트 구멍이 형성될 수 있다.Since the robot body (30) is equipped with a base (40), an upper hand (10), a lower hand (20), etc., a large load can be applied thereon, and the metal material can be strong enough not to deform even under such a large load. A flange-shaped support member (32) can be formed on the bottom of the robot body (30) to prevent overturning. A bolt hole can be formed in the flange-shaped support member (32) for fixing it to the floor.
베이스(40)에는 상부 핸드(10)와 하부 핸드(20)가 연결되어 있으며, 상부 핸드(10)와 하부 핸드(20)는 베이스(40) 상을 움직일 수 있다. 즉 베이스(40)는 상부 핸드(10)와 하부 핸드(20)의 이동 경로를 제공할 수 있다. 베이스(40)는 로봇 본체(30)의 상부에 연결되어 수평으로 형성될 수 있다. 베이스(40)는 내부에 수평 중공 구조(41)를 가질 수 있다. 이 수평 중공 구조(41)는 로봇 본체(30)의 수직 중공 구조(31)와 연통될 수 있다. 이로써 베이스(40)의 수평 중공 구조(41)와 로봇 본체(30)의 수직 중공 구조(31)는 모두 대기압으로 유지될 수 있다. 즉 베이스(40)의 수평 중공 구조(41)는 로봇 본체(30)의 수직 중공 구조(31)를 통하여 대기압으로 유지될 수 있다.An upper hand (10) and a lower hand (20) are connected to the base (40), and the upper hand (10) and the lower hand (20) can move on the base (40). That is, the base (40) can provide a movement path for the upper hand (10) and the lower hand (20). The base (40) can be connected to the upper part of the robot body (30) and formed horizontally. The base (40) can have a horizontal hollow structure (41) inside. This horizontal hollow structure (41) can be communicated with the vertical hollow structure (31) of the robot body (30). As a result, both the horizontal hollow structure (41) of the base (40) and the vertical hollow structure (31) of the robot body (30) can be maintained at atmospheric pressure. That is, the horizontal hollow structure (41) of the base (40) can be maintained at atmospheric pressure through the vertical hollow structure (31) of the robot body (30).
제1 코일부(51)는 베이스(40)의 상면에 형성될 수 있다. 제1 코일부(51)는 베이스(40)의 수평 중공 구조(41)와 연통되어 대기압으로 유지될 수 있다. 즉 제1 코일부(51)를 둘러싸도록 분리막(70)을 형성하고, 이 분리막(70)은 제1 코일부(51)를 밀폐하여 이송 챔버 내부의 진공 분위기와 제1 코일부(51)의 대기압 분위기를 분리할 수 있다. The first coil portion (51) can be formed on the upper surface of the base (40). The first coil portion (51) can be maintained at atmospheric pressure by communicating with the horizontal hollow structure (41) of the base (40). That is, a separator (70) is formed to surround the first coil portion (51), and this separator (70) can seal the first coil portion (51) to separate the vacuum atmosphere inside the transport chamber and the atmospheric pressure atmosphere of the first coil portion (51).
제1 코일부(51)는 대기압 분위기에 두는 것이 바람직하다. 진공 상태의 이송 챔버 내부에 제1 코일부(51)를 설치할 경우 여기에 전원 공급용 케이블을 배선하기 위하여는 대기압과 진공 상태를 연결하는 고가의 부품(feed through)이 필요할 수 있다. 또한 진공 상태의 이송 챔버 내에 제1 코일부(51)를 설치할 경우 진공 상태이기 때문에 제1 코일부(51)에서 발생한 열을 외부로 방열하기 위한 방열 부품이 추가로 더 필요할 수 있다.It is preferable to place the first coil unit (51) in an atmospheric pressure atmosphere. When installing the first coil unit (51) inside a vacuum transport chamber, an expensive component (feed through) that connects the atmospheric pressure and the vacuum state may be required to wire a power supply cable therein. In addition, when installing the first coil unit (51) inside a vacuum transport chamber, since it is a vacuum state, an additional heat dissipation component may be required to dissipate heat generated from the first coil unit (51) to the outside.
제1 코일부(51)를 이송 챔버의 진공 분위기로부터 공간적으로 분리하여 차단할 수 있는 분리막(70)을 형성할 수 있다. 제1 코일부(51)에는 전원을 공급하는 케이블 등이 배설되어 있는데, 장시간 사용 시 발열과 기계적 마모 등에 의하여 케이블이 열화되어 케이블의 피복 등으로부터 분진 입자(파티클)가 발생할 수 있다. 이러한 분진 입자는 반도체 공정 등에 치명적 결함을 유발할 수 있어 분진 입자의 발생을 막을 필요가 있는데, 이를 위하여 웨이퍼나 글래스 기판 등이 이송되는 이송 챔버로부터 제1 코일부(51)만을 별도로 공간적으로 분리하여 진공 상태가 아닌 대기압 분위기에 두어 이를 차단할 수 있다. 또한 분리막(70)은 제1 코일부(51)와 제1 자석부(61) 사이를 공간적으로는 차단하지만 자기적으로는 차단하지 않아야 하기 때문에 분리막(70)은 자기장이 통과할 수 있는 소재로 이루어질 수 있다.A separation membrane (70) that can spatially separate and block the first coil portion (51) from the vacuum atmosphere of the transport chamber can be formed. A cable for supplying power, etc. is disposed in the first coil portion (51). When used for a long time, the cable may deteriorate due to heat generation and mechanical wear, etc., and dust particles may be generated from the covering of the cable. Such dust particles may cause fatal defects in semiconductor processes, etc., so it is necessary to prevent the generation of dust particles. To this end, only the first coil portion (51) may be spatially separated from the transport chamber through which wafers or glass substrates are transported and placed in an atmospheric pressure atmosphere instead of a vacuum state to block them. In addition, since the separation membrane (70) should spatially block the space between the first coil portion (51) and the first magnet portion (61) but not magnetically block it, the separation membrane (70) may be made of a material through which a magnetic field can pass.
분리막(70)은 캡(모자) 형상을 가질 수 있다. 캡의 내부에 제1 코일부(51)가 오도록 배치하고 캡의 주변 테 부분을 베이스(40)에 고정할 수 있다. 베이스(40)와 캡 형상의 분리막(70) 접하는 부분에는 오링(미도시) 등으로 완전하게 밀봉함으로써 제1 코일부(51)를 이송 챔버 내부의 진공 분위기로부터 완전하게 차단할 수 있다. 이로써 제1 코일부(51)에서 발생할 수도 있는 분진 입자(파티클)이 이송 챔버 내의 웨이퍼 등의 대상물을 오염시키는 것은 미연에 방지할 수 있다.The separator (70) may have a cap shape. The first coil portion (51) may be positioned inside the cap, and the peripheral edge of the cap may be fixed to the base (40). The portion where the base (40) and the cap-shaped separator (70) come into contact may be completely sealed with an O-ring (not shown), thereby completely blocking the first coil portion (51) from the vacuum atmosphere inside the transfer chamber. This prevents dust particles that may be generated from the first coil portion (51) from contaminating objects such as wafers inside the transfer chamber.
분리막(70)에 의하여 형성되는 제1 코일부(51)의 분위기는 대기 분위기를 형성할 수 있다. 대기 분위기의 경우에는 진공 분위기의 코일부에 전원을 공급함에 필요한 피드쓰루(feed through)를 사용하지 않아도 된다는 장점이 있다. 다만 기압 차이에 따라 변형이 발생하지 않도록 두께를 적절하게 조절할 필요가 있다. The atmosphere of the first coil section (51) formed by the separator (70) can form an atmospheric atmosphere. In the case of an atmospheric atmosphere, there is an advantage in that a feed through required for supplying power to the coil section in a vacuum atmosphere does not need to be used. However, it is necessary to appropriately adjust the thickness so that deformation does not occur due to the difference in air pressure.
베이스(40)의 상면에는 제1 레일(81)이 형성될 수 있다. 하부 핸드(20)의 하면에는 제1 레일(81)에 대응되도록 제1 슬라이더(91)가 형성될 수 있다. 제1 슬라이더(91)는 제1 레일(81)을 따라 슬라이딩 이동할 수 있다. 제1 레일(81)은 하부 핸드(20)의 이동 경로를 정확하고 안내하고 일정하게 움직일 수 있도록 도움을 준다.A first rail (81) may be formed on the upper surface of the base (40). A first slider (91) may be formed on the lower surface of the lower hand (20) to correspond to the first rail (81). The first slider (91) may slide along the first rail (81). The first rail (81) accurately guides the movement path of the lower hand (20) and helps it to move consistently.
하부 핸드(20)의 하면에 제1 코일부(51)에 대응되도록 제1 자석부(61)가 형성될 수 있다. 제1 코일부(51)와 제1 자석부(61)가 제1 리니어 모터를 형성할 수 있다. 제1 코일부(51)에서는 자장이 발생되고 자력에 의하여 제1 자석부(61)가 움직이게 되는 것이다. 제1 리니어 모터에 의하여 하부 핸드(20)가 움직일 수 있다. 즉 제1 리니어 모터가 하부 핸드(20)의 전진 및 후퇴 시 구동력을 부여할 수 있다.A first magnet part (61) may be formed on the lower surface of the lower hand (20) to correspond to the first coil part (51). The first coil part (51) and the first magnet part (61) may form a first linear motor. A magnetic field is generated in the first coil part (51) and the first magnet part (61) moves by the magnetic force. The lower hand (20) may be moved by the first linear motor. In other words, the first linear motor may provide a driving force when the lower hand (20) moves forward and backward.
제1 코일부(51)에는 외부에서 전원을 공급해야 하나 영구 자석을 가지는 제1 자석부(61)에는 외부에서 전원을 공급할 필요가 없으므로 제1 코일부(51)를 베이스(40)에 형성하고, 제1 자석부(61)를 하부 핸드(20)에 형성하는 것이 바람직하다. 움직이게 되는 하부 핸드(20)에 제1 코일부(51)를 형성하게 되면 움직이는 하부 핸드(20)에 전원을 공급하기 위하여 추가로 별도 설비가 필요하지만, 움직이지 않는 베이스(40)에 제1 코일부(51)를 형성하게 되면 이러한 추가 설비가 필요 없다.Since the first coil part (51) must be supplied with power from the outside, but the first magnet part (61) having a permanent magnet does not need to be supplied with power from the outside, it is preferable to form the first coil part (51) on the base (40) and to form the first magnet part (61) on the lower hand (20). If the first coil part (51) is formed on the lower hand (20) that moves, additional separate equipment is required to supply power to the moving lower hand (20), but if the first coil part (51) is formed on the base (40) that does not move, such additional equipment is not required.
본 측면에서 상부 핸드(10)는 하부 핸드(20)의 위에 일정 간격 이격되어 위치할 수 있다. 하부 핸드(20)는 베이스(40)의 상면에 인접하기 때문에 베이스(40)의 상면에 제1 리니어 모터를 구성하고 이를 통하여 하부 핸드(20)의 움직임을 구동할 수 있지만, 상부 핸드(10)의 경우 베이스(40)와의 사이에 하부 핸드(20)가 위치하고 있기 때문에 베이스(40)의 상면에 제2 리니어 모터를 구성할 수 없으며, 이러한 이유로 베이스(40)의 측면에 상부 핸드(10)를 구동하기 위한 제2 리니어 모터를 구성할 수 있다.In this aspect, the upper hand (10) can be positioned above the lower hand (20) at a certain distance. Since the lower hand (20) is adjacent to the upper surface of the base (40), a first linear motor can be configured on the upper surface of the base (40) and the movement of the lower hand (20) can be driven through this. However, in the case of the upper hand (10), since the lower hand (20) is positioned between the base (40), a second linear motor cannot be configured on the upper surface of the base (40), and for this reason, a second linear motor for driving the upper hand (10) can be configured on the side of the base (40).
제2 코일부(52)는 베이스(40)의 측면에 형성될 수 있다. 제2 코일부(52)에 대응되도록 상부 핸드(10)에 제2 자석부(62)가 형성되어 제2 코일부(52)와 제2 자석부(62)가 제2 리니어 모터를 형성할 수 있다. 제2 리니어 모터에 의하여 상부 핸드(10)의 움직임을 구동할 수 있다. 제2 코일부(52)는 진공 상태에 그대로 노출된 상태일 수 있다. 다만 제2 코일부(52)를 진공 상태에 노출시키지 않고 대기압 분위기에 둘 수도 있는데, 이는 제1 코일부(51)의 경우와 같이 제2 코일부(52)를 둘러싸도록 분리막(70)을 설치함으로써 도모할 수 있다.The second coil portion (52) may be formed on the side of the base (40). The second magnet portion (62) may be formed on the upper hand (10) to correspond to the second coil portion (52), so that the second coil portion (52) and the second magnet portion (62) may form a second linear motor. The movement of the upper hand (10) may be driven by the second linear motor. The second coil portion (52) may be exposed to a vacuum as it is. However, the second coil portion (52) may not be exposed to a vacuum but may be placed in an atmospheric pressure atmosphere. This may be achieved by installing a separator (70) to surround the second coil portion (52) as in the case of the first coil portion (51).
베이스(40)의 측면에는 제2 레일(82)이 형성될 수 있다. 제2 레일(82)에 대응되도록 상부 핸드(10)의 측면에는 제2 슬라이더(92)가 형성될 수 있다. 제2 슬라이더(92)는 제2 레일(82)을 따라 슬라이딩 이동할 수 있다. A second rail (82) may be formed on the side of the base (40). A second slider (92) may be formed on the side of the upper hand (10) to correspond to the second rail (82). The second slider (92) may slide along the second rail (82).
베이스(40)의 길이 방향에 수직 단면에서 보았을 때, 상부 핸드(10)는 좌우 끝단이 하측으로 제1 구간(a 구간) 동안 연장된 후 베이스(40) 쪽으로 절곡될 수 있다. 상부 핸드(10)의 좌우 끝단 중 하나 이상이 베이스(40) 쪽으로 제2 구간(b 구간) 동안 연장된 후 하측으로 절곡되어 제3 구간(c 구간) 동안 연장될 수 있다. 상부 핸드(10)의 좌측 끝단이나 또는 우측 끝단이 연장되어 제3 구간(c 구간)을 형성할 수 있으며, 또는 좌측 끝단과 우측 끝단 모두 연장되어 제3 구간(c 구간)을 형성할 수 있다. When viewed in a vertical cross-section in the longitudinal direction of the base (40), the upper hand (10) may have left and right ends extend downward for a first section (section a) and then be bent toward the base (40). At least one of the left and right ends of the upper hand (10) may extend toward the base (40) for a second section (section b) and then be bent downward and extended for a third section (section c). The left end or the right end of the upper hand (10) may be extended to form the third section (section c), or both the left end and the right end may be extended to form the third section (section c).
상부 핸드(10)의 연장된 제3 구간(c 구간) 에는 제2 자석부(62)가 형성될 수 있다. 제2 자석부(62)에 대응되도록 베이스(40)의 측면에 제2 코일부(52)가 형성될 수 있다.A second magnet section (62) may be formed in the extended third section (section c) of the upper hand (10). A second coil section (52) may be formed on the side of the base (40) to correspond to the second magnet section (62).
상부 핸드(10)의 절곡 부위에는 보강재(15)가 추가로 장착될 수 있다. 상부 핸드(10)의 연장된 제3 구간(c 구간)에 제2 자석부(62)가 형성되기 때문에 제2 코일부(52)와의 상호 작용에 의하여 상부 핸드(10)의 절곡부에 특히 큰 응력이 가해질 수 있고, 이로 인하여 상부 핸드(10)의 구조에 변형을 초래할 수도 있다. 이러한 문제점을 미리 방지하고자 변형이 발생할 여지가 있는 부위인 절곡부에 보강재(15)를 추가로 장착할 수 있다.A reinforcing member (15) may be additionally mounted on the bending portion of the upper hand (10). Since the second magnet portion (62) is formed on the extended third section (section c) of the upper hand (10), a particularly large stress may be applied to the bending portion of the upper hand (10) due to interaction with the second coil portion (52), which may cause deformation of the structure of the upper hand (10). In order to prevent such a problem in advance, a reinforcing member (15) may be additionally mounted on the bending portion, which is a section where deformation is likely to occur.
본 발명에서 사용하는 용어는 특정한 실시형태를 설명하기 위한 것으로 본 발명을 한정하고자 하는 것이 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하지 않는 한, 복수의 의미를 포함한다고 보아야 할 것이다. "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재한다는 것을 의미하는 것이지, 이를 배제하기 위한 것이 아니다. The terminology used in the present invention is for the purpose of describing specific embodiments and is not intended to limit the present invention. The singular expression should be construed to include plural meanings unless the context clearly indicates otherwise. The terms "comprises" or "has", etc., mean that a feature, number, step, operation, component, or combination thereof described in the specification is present, but are not intended to exclude the same.
본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부한 도면에 의하여 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 따라서 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 보아야 할 것이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments and the attached drawings, but is intended to be limited by the appended claims. Accordingly, various forms of substitution, modification, and change may be made by those skilled in the art within the scope that does not depart from the technical idea of the present invention described in the claims, and this should also be considered to fall within the scope of the present invention.
10: 상부 핸드 11: 상부 핑거
12: 제1 구간 13: 제2 구간
14: 제3 구간 15: 보강재
20: 하부 핸드 21: 하부 핑거
30: 로봇 본체 31: 수직 중공 구조
32: 지지부(플랜지) 40: 베이스
41: 수평 중공 구조 51: 제1 코일부
52: 제2 코일부 53: 홀센서
61: 제1 자석부 62: 제2 자석부
70: 분리막 81: 제1 레일
82: 제2 레일 91: 제1 슬라이더
92: 제2 슬라이더10: Upper hand 11: Upper finger
12: Section 1 13: Section 2
14: Section 3 15: Reinforcement
20: Lower hand 21: Lower finger
30: Robot body 31: Vertical hollow structure
32: Support (Flange) 40: Base
41: Horizontal hollow structure 51: First coil section
52: Second coil section 53: Hall sensor
61: First magnet section 62: Second magnet section
70: Separator 81: First rail
82: 2nd rail 91: 1st slider
92: 2nd slider
Claims (5)
로봇 본체는 대기압으로 유지되는 내부가 비어 있는 수직 중공 구조가 수직으로 형성되고, 승강 및 회전을 하고,
베이스는 상기 로봇 본체의 상부에 연결되어 수평으로 형성되고, 상기 로봇 본체의 수직 중공 구조와 연통되어 대기압으로 유지되는 수평 중공 구조를 가지고, 상기 상부 핸드 및 상기 하부 핸드가 이동하는 경로를 제공하고,
제1 코일부는 상기 베이스의 상면에 형성되고, 상기 제1 코일부는 상기 베이스의 수평 중공 구조와 연통되어 대기압으로 유지되고, 상기 제1 코일부를 둘러싸도록 분리막이 형성되고, 상기 분리막은 상기 제1 코일부를 밀폐하여 이송 챔버 내부의 진공 분위기와 상기 제1 코일부의 대기압 분위기를 분리하고,
상기 베이스의 상면에는 제1 레일이 형성되고, 상기 제1 레일에 대응되도록 상기 하부 핸드의 하면에는 제1 슬라이더가 형성되고, 상기 제1 슬라이더는 상기 제1 레일을 따라 슬라이딩 이동하고,
상기 제1 코일부에 대응되도록 상기 하부 핸드의 하면에 제1 자석부가 형성되어, 상기 제1 코일부와 상기 제1 자석부가 제1 리니어 모터를 형성하여 상기 하부 핸드의 움직임을 구동하고,
상기 상부 핸드는 상기 하부 핸드의 위에 일정 간격 이격되어 위치하고,
제2 코일부는 상기 베이스의 측면에 형성되고, 상기 베이스의 측면에는 제2 레일이 형성되고, 상기 제2 레일에 대응되도록 상기 상부 핸드의 측면에는 제2 슬라이더가 형성되고, 상기 제2 슬라이더는 상기 제2 레일을 따라 슬라이딩 이동하고,
상기 제2 코일부에 대응되도록 상기 상부 핸드에 제2 자석부가 형성되어, 상기 제2 코일부와 상기 제2 자석부가 제2 리니어 모터를 형성하여 상기 상부 핸드의 움직임을 구동하고,
상기 베이스의 길이 방향에 수직인 단면에서, 상기 상부 핸드는 좌우 끝단이 하측으로 제1 구간 동안 연장된 후 상기 베이스 쪽으로 절곡되고, 상기 상부 핸드의 좌우 끝단 중 하나 이상이 상기 베이스 쪽으로 제2 구간 동안 연장된 후 하측으로 절곡되어 제3 구간 동안 연장되는, 이송 로봇.In a transport robot that transports objects between semiconductor and display process chambers maintained under vacuum using upper and lower hands,
The robot body is formed vertically as a vertical hollow structure with an interior that is maintained at atmospheric pressure, and can rise, fall, and rotate.
The base is formed horizontally and connected to the upper part of the robot body, and has a horizontal hollow structure that is maintained at atmospheric pressure by communicating with the vertical hollow structure of the robot body, and provides a path for the upper hand and the lower hand to move.
The first coil portion is formed on the upper surface of the base, the first coil portion is connected to the horizontal hollow structure of the base and maintained at atmospheric pressure, a separator is formed to surround the first coil portion, and the separator seals the first coil portion to separate the vacuum atmosphere inside the transfer chamber and the atmospheric pressure atmosphere of the first coil portion.
A first rail is formed on the upper surface of the base, a first slider is formed on the lower surface of the lower hand to correspond to the first rail, and the first slider slides along the first rail.
A first magnet part is formed on the lower surface of the lower hand to correspond to the first coil part, and the first coil part and the first magnet part form a first linear motor to drive the movement of the lower hand.
The upper hand is positioned at a certain distance above the lower hand,
A second coil section is formed on a side of the base, a second rail is formed on a side of the base, a second slider is formed on a side of the upper hand to correspond to the second rail, and the second slider slides along the second rail.
A second magnet part is formed on the upper hand to correspond to the second coil part, so that the second coil part and the second magnet part form a second linear motor to drive the movement of the upper hand.
A transport robot, wherein, in a cross-section perpendicular to the longitudinal direction of the base, the upper hand has left and right ends extending downward for a first section and then bent toward the base, and at least one of the left and right ends of the upper hand extends toward the base for a second section and then bent downward and extended for a third section.
상기 상부 핸드의 절곡 부위에는 보강재가 추가로 장착되는, 이송 로봇.In the first paragraph,
A transport robot in which a reinforcing material is additionally installed at the bending portion of the upper hand.
상기 상부 핸드의 제2 자석부는 상기 제3 구간에 형성되는, 이송 로봇.In the first paragraph,
A transport robot, wherein the second magnet section of the upper hand is formed in the third section.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020220158807A KR102706524B1 (en) | 2022-11-23 | 2022-11-23 | A Transfer Robot Adopting Separating Cover and Linear Motor Technique |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020220158807A KR102706524B1 (en) | 2022-11-23 | 2022-11-23 | A Transfer Robot Adopting Separating Cover and Linear Motor Technique |
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Family
ID=91276015
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2022
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
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