JP3895676B2

JP3895676B2 - Substrate processing equipment

Info

Publication number: JP3895676B2
Application number: JP2002351910A
Authority: JP
Inventors: 芳弘小山; 純渡辺
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2002-12-04
Filing date: 2002-12-04
Publication date: 2007-03-22
Anticipated expiration: 2022-12-04
Also published as: JP2004186447A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）用ガラス基板等の基板に対して各種の処理を施す基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板処理部において基板、例えば半導体ウエハを１枚ずつ処理する基板処理装置では、複数枚のウエハを整列して収容したカセットからウエハを１枚ずつ順次取り出して基板処理部へ搬送し、基板処理部においてウエハを枚葉式で処理した後、基板処理部から搬送される処理済みのウエハを１枚ずつカセットに収容する、といった一連の流れで作業が行われる。図９は、このような基板処理装置の概略構成、特にローダ・アンローダ部の概略構成の１例を示す部分断面側面図である。
【０００３】
図９に示した基板処理装置は、複数枚の半導体ウエハＷを整列して収容したカセットＣや空のカセットを複数、横方向（紙面に対し垂直な方向）に並列して載置することができるカセット載置台２を有するカセット載置部１と、基板搬送ロボット４が設置された基板搬送部３と、ウエハＷを枚葉式で処理する各種の基板処理部５とを備えて構成されている。図中の符号６は、クリーンエアーをダウンフローさせる空調装置である。
【０００４】
カセットＣは、矩形の一辺を台形状とした平面形状を有する箱体であり、一側面（前面）が全面開口し、その反対側の細幅になった側面（後面）にも開口部が形成された外観を有し、内側面には水平保持溝が複数本、上下方向に並列して形設されている。そして、カセットＣには、複数枚のウエハＷが互いに平行に上下方向に整列して収容され、カセットＣからのウエハＷの取り出しおよびカセットＣへの処理済みウエハの挿入は、前面の開口を通して行われる。このカセットＣは、カセット載置台２上に、前面の開口を奥側（基板搬送部３側）に向けて載置される。
【０００５】
基板搬送ロボット４は、カセット載置台２上に載置されたカセットＣの内部に対して進退自在のウエハ支持アーム７を有し、その支持アーム７を上下方向へ移動させる上下移動機構８、および、カセット載置台２上に載置される複数のカセットＣの配列方向（紙面に対し垂直な方向）に沿って全体を往復移動させる自走式移動機構９を具備している。そして、この基板搬送ロボット４は、カセット載置台２上に載置される複数のカセットＣに順次アクセスし、カセットＣ内からウエハＷを１枚ずつ取り出して基板処理部５へ搬送し、基板処理部５での処理を終えた処理済みウエハを１枚ずつカセットＣ内へ挿入して収容する。
【０００６】
ところで、カセット載置台２上へのカセットＣの搬入やカセット載置台２上からのカセットＣの搬出は、人手やロボットによって行われるが、カセット載置台２上のカセットＣに対し基板搬送ロボット４がウエハＷを出し入れしているときに、例えば、作業者が別のカセットＣをカセット載置台２上に置いたりカセット載置台２上から持ち上げたりしていると、作業者の手が基板搬送ロボット４のウエハ支持アーム７と接触する恐れがあり、危険である。また、カセットＣは、上記したように前・後面がそれぞれ開口した構造であるため、基板搬送ロボット４がカセットＣに対しウエハＷを出し入れしているときに、カセットＣの開口部を通して基板搬送ロボット４のウエハ支持アーム７と作業者の手指とが接触する可能性もあり、危険である。
【０００７】
このような危険を少しでも回避するために、カセット載置部１と基板搬送部３との間に設置される隔壁に形成されたウエハ受け渡し用の開口にシャッタを設け、カセット載置台２上にカセットＣが載置されているときだけシャッタを開いて開口を開放し、カセット載置台２上からカセットＣが取り去られるとシャッタを閉じて開口を閉塞する、といったことが行われている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００８】
また、カセット載置部１の、基板搬送部３と反対の側にシャッタを設置し、作業工程に応じてシャッタを開閉させる、といったことも考えられる。さらに、カセット載置部１と基板搬送部３との間、および、カセット載置部１の、基板搬送部３と反対の側にそれぞれシャッタを設置することも考えられる。
【０００９】
【特許文献１】
特開平１１−２５１３９２号公報（第４頁、第５頁、図２）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、カセット載置部と基板搬送部との間に設置される隔壁の開口にシャッタを設ける構成では、基板搬送ロボットがカセット載置台上のカセットに対しウエハを出し入れしているときに、そのカセットの隣の位置で作業者が別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりする可能性があるので、カセット載置台のカセット載置区画数だけシャッタを設ける必要がある。そして、それぞれのシャッタを作業状況に応じて各別にタイミング良く開閉させる必要がある。このため、構成が複雑になり、制御も複雑になる、といった問題点がある。また、この構成だけでは、シャッタを開いて基板搬送ロボットがカセットに対しウエハを出し入れしているときに、カセットの開口部を通して基板搬送ロボットのウエハ支持アームと作業者の手指とが接触する、といった問題は依然として解決されない。
【００１１】
また、カセット載置部の、基板搬送部と反対の側にシャッタを設置する構成でも、基板搬送ロボットがカセット載置台上のカセットに対しウエハを出し入れしている隣の位置で作業者が別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりする可能性があるので、カセット載置台のカセット載置区画数だけシャッタを設ける必要があり、また、それぞれのシャッタを作業状況に応じて各別にタイミング良く開閉させる必要がある。このため、構成が複雑になり、制御も複雑になる、といった問題点がある。また、作業者がカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりするときには、シャッタを開かないといけないので、その際の危険性は依然として残る。さらに、カセット載置部と基板搬送部との間、および、カセット載置部の、基板搬送部と反対の側にそれぞれシャッタを設置する構成では、上述したことから分かるように、カセット載置台のカセット載置区画数の２倍の数のシャッタを設ける必要があり、また、それぞれのシャッタを作業状況に応じて各別に開閉させる必要がある。このため、構成がさらに複雑になり、制御も一層複雑になる、といった問題点がある。
【００１２】
また、カセット載置部にシャッタを設置する構成において、シャッタ開放時に基板搬送ロボットを停止させることも考えられるが、一旦停止させた基板搬送ロボットの復帰には時間を要するし、シャッタ開放時における基板の搬送停止により基板の搬送タクトが著しく悪くなる、といった問題点がある。
【００１３】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、構成が比較的簡単で、制御も比較的容易であって、カセット載置部に対するカセットの搬入・搬出の作業における安全性を確保することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、複数枚の基板を収容するカセットを複数、横方向に並列して載置するためのカセット載置部と、基板の処理が行われる基板処理部と、この基板処理部と前記カセット載置部との間に介在して設けられ、カセット載置部に載置される複数のカセットの配列方向に沿って移動自在に配置され、各カセットに順次アクセスしてカセット内から基板を１枚ずつ取り出し基板処理部へ搬送する基板搬送手段と、を備えた基板処理装置において、前記カセット載置部を、横方向に並列して配置され、それぞれカセットを１台ずつ載置することが可能で、相互に独立してカセット搬入・搬出高さ位置とその上方の基板受け渡し高さ位置との間でそれぞれ上下方向へ往復移動自在に保持された複数のカセット載置台と、この各カセット載置台を上下方向へそれぞれ往復移動させる上下駆動手段とで構成し、前記カセット載置部の、前記基板搬送手段と反対の側の前記基板受け渡し高さ位置に、前記カセット載置台上に載置されたカセットを隠蔽する前面上部カバーを配設したことを特徴とする。ここで、カセットを隠蔽するとは、カセット載置台に対してカセットの搬入・搬出を行う作業者からカセットを隠蔽することを意味する。
【００１５】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の基板処理装置において、前記各カセット載置台の前面側に、カセット載置面の前端縁から下方向に前面遮蔽板をそれぞれ延設したことを特徴とする。ここで、カセット載置台の前面側とは、カセット載置台に対してカセットの搬入・搬出を行う作業者の側から見た前面側を意味する。以下、前面あるいは前端縁または後端縁と言う場合も、これに準じる。
【００１７】
請求項３に係る発明は、複数枚の基板を収容するカセットを複数、横方向に並列して載置するためのカセット載置部と、基板の処理が行われる基板処理部と、この基板処理部と前記カセット載置部との間に介在して設けられ、カセット載置部に載置される複数のカセットの配列方向に沿って移動自在に配置され、各カセットに順次アクセスしてカセット内から基板を１枚ずつ取り出し基板処理部へ搬送する基板搬送手段と、前記カセット載置部の、前記基板搬送手段と反対の側に、カセット載置部のカセット載置面より下方の部分を隠蔽するように配設された前面下部カバーと、を備えた基板処理装置において、前記カセット載置部を、横方向に並列して配置され、それぞれカセットを１台ずつ載置することが可能で、相互に独立してカセット搬入・搬出高さ位置とその下方であって前記前面下部カバーによってカセットが隠蔽される基板受け渡し高さ位置との間でそれぞれ上下方向へ往復移動自在に保持された複数のカセット載置台と、この各カセット載置台を上下方向へそれぞれ往復移動させる上下駆動手段とで構成したことを特徴とする。
【００１８】
請求項４に係る発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、前記カセット載置部と前記基板搬送手段との間に、前記基板受け渡し高さ位置に相当する部分に基板搬送手段によるカセットからの基板の取り出しを許容する開口部を有する隔壁を介設したことを特徴とする。
【００１９】
請求項５に係る発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置において、前記各カセット載置台に、そのカセット載置台上に載置されるカセットの上方を覆う侵入防止部材をそれぞれ取着したことを特徴とする。
【００２０】
請求項６に係る発明は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の基板処理装置において、前記カセット載置部の、前記基板搬送手段と反対の側に、カセット載置部のカセット搬入・搬出高さ位置に相当する部分を遮蔽してカセット載置部への侵入を阻止するシャッタを開閉自在に配設し、前記カセット載置部へのカセットの搬入・搬出時に前記シャッタをスイッチ操作によって開放するようにしたことを特徴とする。
【００２１】
請求項１に係る発明の基板処理装置においては、カセット載置部が、横方向に並列して配置され相互に独立して上下方向へ往復移動する複数のカセット載置台で構成されており、基板の取り出しを行おうとするカセットが載置されたカセット載置台は、上下駆動手段により上方向へ移動させられて基板受け渡し高さ位置に保持され、このカセット載置台上に載置されたカセットに基板搬送手段がアクセスして、そのカセットから基板の取り出しが行われる。一方、別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりする作業は、カセット搬入・搬出高さ位置に保持されているカセット載置台に対して行われる。したがって、基板受け渡し高さ位置において基板搬送手段がカセットから基板を取り出しているときに、カセット搬入・搬出高さ位置において作業者が別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりしても、作業者の手が基板搬送手段と接触する恐れがない。また、基板受け渡し高さ位置において基板搬送手段がカセットから基板を取り出しているときに、カセットの開口部を通して基板搬送手段の一部と作業者の手指とが接触する可能性も無い。
さらに、カセット載置部の、基板搬送手段と反対の側の基板受け渡し高さ位置に前面上部カバーが配設されており、カセット載置台が上方向へ移動して基板受け渡し高さ位置に保持されたときに、そのカセット載置台上に載置されたカセットが前面上部カバーによって隠蔽されるので、基板受け渡し高さ位置において基板搬送手段による基板の取り出しが行われているカセットに作業者の身体の一部が接触する可能性が無くなる。
【００２２】
請求項２に係る発明の基板処理装置では、カセット載置台の前面側には、カセット載置面の前端縁から下方向に前面遮蔽板が延設されているので、カセット載置台が上方向へ移動して基板受け渡し高さ位置に保持されたときに、そのカセット載置台のカセット載置面より下方の位置から基板搬送手段側へ作業者の手などが侵入することが妨げられ、安全が確保される。
【００２４】
請求項３に係る発明の基板処理装置においては、カセット載置部が、横方向に並列して配置され相互に独立して上下方向へ往復移動する複数のカセット載置台で構成されており、基板の取り出しを行おうとするカセットが載置されたカセット載置台は、上下駆動手段により下方向へ移動させられて基板受け渡し高さ位置に保持され、前面下部カバーによってカセット載置台上のカセットが隠蔽される。このように隠蔽されたカセットに基板搬送手段がアクセスして、そのカセットから基板の取り出しが行われる。一方、別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりする作業は、カセット搬入・搬出高さ位置に保持されているカセット載置台に対して行われる。したがって、基板受け渡し高さ位置において基板搬送手段がカセットから基板を取り出しているときに、カセット搬入・搬出高さ位置において作業者が別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりしても、作業者の手が基板搬送手段と接触する恐れがない。また、基板受け渡し高さ位置において基板搬送手段がカセットから基板を取り出しているときに、カセットの開口部を通して基板搬送手段の一部と作業者の手指とが接触する可能性も無い。
【００２５】
請求項４に係る発明の基板処理装置では、カセット載置部と基板搬送手段との間に介設された隔壁により、カセット載置部側から基板搬送手段側へ作業者の手などが侵入することが妨げられる。そして、基板搬送手段によるカセットからの基板の取り出しは、隔壁の、基板受け渡し高さ位置に相当する部分に設けられた開口部を通して支障無く行われる。
【００２６】
請求項５に係る発明によると、請求項１に係る発明のようにカセット搬入・搬出高さ位置の上方に基板受け渡し高さ位置が設定された基板処理装置では、作業者が別のカセットを置いたり持ち上げたりしているカセット載置台の上方空間を通して、その隣のカセット載置台上に載置されて上方向へ移動し基板受け渡し高さ位置で基板搬送手段による基板の取り出しが行われているカセットの方へ作業者の手が侵入することが、作業者による作業が行われているカセット載置台に取着された侵入防止部材によって妨げられる。また、請求項３に係る発明のようにカセット搬入・搬出高さ位置の下方に基板受け渡し高さ位置が設定された基板処理装置では、作業者が別のカセットを置いたり持ち上げたりしているカセット載置台側から、その隣の、下方向へ移動したカセット載置台の上方空間を通して、基板受け渡し高さ位置で基板搬送手段による基板の取り出しが行われているカセットの方へ作業者の手が侵入することが、基板の取り出しが行われているカセットが載置されたカセット載置台に取着された侵入防止部材によって妨げられる。
【００２７】
請求項６に係る発明の基板処理装置では、カセット載置部の、基板搬送手段と反対の側に配設されたシャッタによってカセット載置部のカセット搬入・搬出高さ位置に相当する部分が遮蔽されることにより、カセット載置部へ作業者の身体の一部が侵入することが完全に阻止される。一方、カセット載置部へのカセットの搬入・搬出時には、スイッチ操作によってシャッタが開放されるので、カセット載置部へのカセットの搬入や搬出は支障無く行われる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態について図１ないし図８を参照しながら説明する。
【００２９】
図１ないし図４は、この発明の実施形態の１例を示し、図１は、基板処理装置を正面から（カセットの搬入・搬出を行う作業者側から）見た図であり、図２ないし図４はそれぞれ、図１に示した装置のローダ・アンローダ部（インデクサ部）の概略構成を示す部分断面側面図であって、各段階の動作状態をそれぞれ示す図である。この基板処理装置は、カセット載置部１０と基板搬送部１２と基板処理部１４とを備えて構成されている。基板処理部１４では、基板、例えば半導体ウエハＷが枚葉式で処理される。図中の符号１６は、クリーンエアーをダウンフローさせる空調装置である。
【００３０】
カセット載置部１０には、複数、図示例では３つのカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃが横方向に並列して配置されている。各カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃには、それぞれカセットＣを１台ずつ載置することができるようになっている。カセットＣは、前述したような形状および構造を有し、複数枚のウエハＷを整列して収容することが可能である。各カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃは、相互に独立してそれぞれ上下方向へ往復移動自在に保持されている。また、カセット載置部１０には、各カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃをそれぞれ上下方向へ移動させるためのカセットエレベータ２０ａ、２０ｂ、２０ｃが設置されている。カセットエレベータ２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、どのような駆動機構のものであってもよく、例えばスピードコントローラを備えたエアーシリンダや電動モータによって駆動される直動機構などで構成される。このカセットエレベータ２０ａ、２０ｂ、２０ｃによりカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃは、下方のカセット搬入・搬出高さ位置Ａと上方の基板受け渡し高さ位置Ｂとの間をそれぞれ上下方向へ往復移動させられるようになっている。
【００３１】
カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃの前面側（図１の正面側）には、カセット載置面の前端縁から下方向に前面遮蔽板２２ａ、２２ｂ、２２ｃが延設されている。前面遮蔽板２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、図２および図４に示すように、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃがカセット搬入・搬出高さ位置Ａに保持されているとき、カセット載置部１０の前面下部カバー２４によって隠蔽される。また、前面遮蔽板２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、図３に示すように、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃが基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されているときに下端が前面下部カバー２４の上端縁の近傍で上端縁より下方に位置するような長さ寸法に形成されている。
【００３２】
また、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃの背面側には、カセット載置面の後端縁から上方向に背面板２６ａ、２６ｂ、２６ｃが延設されている。背面板２６ａ、２６ｂ、２６ｃには、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃ上に載置されたカセットＣの全面開口した前面形状（基板搬送部１２側に向いた一側面の形状）に対応する矩形状の透孔２８ａ、２８ｂ、２８ｃが形成されている。カセットＣからのウエハＷの出し入れは、その透孔２８ａ、２８ｂ、２８ｃを通して行われる。また、背面板２６ａ、２６ｂ、２６ｃの上端縁から前方に突き出すように、斜め上方に傾斜した侵入防止板３０ａ、３０ｂ、３０ｃが延設されている。この侵入防止板３０ａ、３０ｂ、３０ｃにより、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃ上に載置されるカセットＣの上方が覆われるようになっている。
【００３３】
さらに、カセット載置部１０の前面側（基板搬送部１２と反対の側）の上部には、前面上部カバー３２が配設されている。この前面上部カバー３２により、上方向へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されるカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃ上に載置されたカセットＣが隠蔽されるようになっている。
【００３４】
カセット載置部１０と基板搬送部１２との間には、隔壁３４が介設されており、この隔壁３４には、基板受け渡し高さ位置Ｂに相当する部分、すなわち、図３に示すようにカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃが上方向へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されたときに背面板２６ａ、２６ｂ、２６ｃの透孔２８ａ、２８ｂ、２８ｃの全部と重なる部分に、縦方向の寸法が透孔２８ａ、２８ｂ、２８ｃと同等で横方向に長い矩形状の開口部３６が形成されている。この隔壁３４は、カセット載置部１０側から基板搬送部１２側へ作業者の手などが侵入することを阻止するために設置されている。そして、カセットＣからのウエハＷの出し入れの際には、隔壁３４に設けられた開口部３６を通してウエハＷの受け渡しが行われる。
【００３５】
基板搬送部１２には、基板搬送ロボット３８が設置されている。基板搬送ロボット３８の構成は、図９に示した装置と同様である。すなわち、基板搬送ロボット３８は、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃ上に載置されたカセットＣの内部に対して進退自在のウエハ支持アーム４０を有し、その支持アーム４０を上下方向へ移動させる上下移動機構４２、および、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃの配列方向（紙面に対し垂直な方向）に沿って全体を往復移動させる自走式移動機構４４を具備している。基板搬送ロボット３８は、ウエハ支持アーム４０が隔壁３４の開口部３６に対向するように配置される。そして、この基板搬送ロボット３８は、上方向へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されるカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃ上に載置されたカセットＣに順次アクセスし、カセットＣ内からウエハＷを１枚ずつ取り出して基板処理部１４へ搬送し、基板処理部１４での処理を終えた処理済みウエハを１枚ずつカセットＣ内へ挿入して収容する。
【００３６】
上記した構成を備えた基板処理装置においては、３つのカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃが横方向に並列して配置されており、各カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃは、相互に独立してそれぞれ上下方向へ往復移動するようになっている。そして、図３に示すように、ウエハＷの取り出しを行おうとするカセットＣが載置されたカセット載置台１８ｂは、カセットエレベータ２０ｂにより上方向へ移動させられて基板受け渡し高さ位置Ｂに保持される。この基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されるカセット載置台１８ｂ上に載置されたカセットＣに基板搬送ロボット３８がアクセスして、そのカセットＣからウエハＷの取り出しが行われる。一方、別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりする作業は、図２に示すように、カセット搬入・搬出高さ位置Ａに保持されているカセット載置台１８ａに対して行われる。したがって、基板受け渡し高さ位置Ｂにおいて基板搬送ロボット３８がカセット載置台１８ｂ上のカセットＣからウエハＷを取り出しているときに、カセット搬入・搬出高さ位置Ａにおいて作業者が別のカセットＣをカセット載置台１８ａ上に置いたりカセット載置台１８ａ上から持ち上げたりしても、作業者の手が基板搬送ロボット３８のウエハ支持アーム４０と接触する恐れがない。また、基板受け渡し高さ位置Ｂにおいて基板搬送ロボット３８がカセット載置台１８ｂ上のカセットＣからウエハＷを取り出しているときに、カセットＣの開口部を通して基板搬送ロボット３８のウエハ支持アーム４０と作業者の手指とが接触する可能性も無い。
【００３７】
また、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃの前面側には前面遮蔽板２２ａ、２２ｂ、２２ｃが設けられているので、図３に示したようにカセット載置台１８ｂが上方向へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されたときに、そのカセット載置台１８ｂのカセット載置面より下方の位置から基板搬送部部１２側へ作業者の手などが侵入することが妨げられる。さらに、カセット載置部１０の前面側上部には前面上部カバー３２が設けられているので、図３に示したように、カセット載置台１８ｂが上方向へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されたときに、そのカセット載置台１８ｂ上に載置されたカセットＣが前面上部カバー３２によって隠蔽される。したがって、基板受け渡し高さ位置Ｂにおいて基板搬送ロボット３８によるウエハＷの取り出しが行われているカセットＣに作業者の身体の一部が接触する可能性が無くなる。
【００３８】
また、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃには、その上に載置されるカセットＣの上方を覆うように侵入防止板３０ａ、３０ｂ、３０ｃが取着されている。このため、図２に示したように、カセット搬入・搬出高さ位置Ａに保持されたカセット載置台１８ａに対して作業者がカセットＣを置いたり持ち上げたりしている際に、そのカセット載置台１８ａの上方空間を通して、その隣の位置で図３に示したようにカセット載置台１８ｂ上に載置されて上方向へ移動し基板受け渡し高さ位置Ｂで基板ロボット３８によるウエハＷの取り出しが行われているカセット１８ｂの方へ作業者の手が侵入することは、カセット載置台１８ａに取着された侵入防止板３０ａによって妨げられる。
【００３９】
次に、図５および図６は、この発明の別の実施形態を示し、図５は、基板処理装置を正面から見た図であり、図６は、図５に示した装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図である。図５および図６において、図１ないし図４で用いた符号と同一の符号を付した各構成部材は、図１ないし図４に関して説明した上記各部材と同一機能を有するものであり、それらについての説明を省略する。
【００４０】
図５および図６に示す基板処理装置には、カセット載置部１０の前面下部カバー２４の手前側に、前面下部カバー２４と間隔を設けて外面下部カバー４６が配設され、カセット載置部１０のカセット搬入・搬出高さ位置Ａに相当する部分に、外面下部カバー４６と前面上部カバー３２とで区画される開口４８が形成されるようにしている。カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃに対するカセットＣの搬入・搬出は、その開口４８を通して行われる。そして、前面下部カバー２４と外面下部カバー４６との間の空間に、シャッタ５０が配設されるとともに、シャッタ５０を駆動させるエアーシリンダ等のシャッタ駆動機構５２が設置されている。シャッタ５０は、開口４８を完全に閉塞してカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃへの侵入を阻止する高さ位置と、開口４８を完全に開放して外面下部カバー４６に隠蔽される高さ位置との間で、上下方向へ往復移動自在に支持されている。シャッタ５０を駆動させるシャッタ駆動機構５２は、図示していないがスイッチにより操作され、シャッタ５０は、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃへのカセットＣの搬入・搬出時に、作業者がスイッチ操作することによって随時開放される。
【００４１】
図５および図６に示した構成を備えた基板処理装置では、シャッタ５０によってカセット載置部１０のカセット搬入・搬出高さ位置Ａに相当する部分の開口４８が閉塞されることにより、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃ側へ作業者の身体の一部が侵入することが完全に阻止される。一方、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃへカセットＣを搬入しカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃからカセットＣを搬出する際には、作業者のスイッチ操作によってシャッタ５０が開かれ開口４８が開放されるので、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃへのカセットＣの搬入や搬出の作業を支障無く行うことができる。
【００４２】
次に、図７および図８は、上記とは異なる発明の１実施形態を示し、基板処理装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図であって、各段階の動作状態をそれぞれ示す図である。図７および図８においても、既に説明した部材と同一機能を有する構成部材については、図１ないし図４で用いた符号と同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００４３】
この基板処理装置にも、カセット載置部１０に複数のカセット載置台５４が横方向に並列して配置されている。各カセット載置台５４は、それぞれカセットＣを１台ずつ載置することができ、相互に独立してそれぞれ上下方向へ往復移動自在に保持されている。また、カセット載置部１０には、各カセット載置台５４をそれぞれ上下方向へ移動させるためのカセットエレベータ５６が設置されている。このカセットエレベータ５６によりカセット載置台５４は、上方のカセット搬入・搬出高さ位置Ａと下方の基板受け渡し高さ位置Ｂとの間をそれぞれ上下方向へ往復移動させられるようになっている。そして、カセット載置台５４が下方へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されたとき、カセット載置台５４上に載置されたカセットＣが前面下部カバー２４によって隠蔽されるようになっている。
【００４４】
カセット載置台５４の背面側には、カセット載置面の後端縁から上方向に背面板５８が延設されている。背面板５８には、カセット載置台５４上に載置されたカセットＣの全面開口した前面形状に対応する矩形状の透孔６０が形成されており、この透孔６０を通してカセットＣからのウエハＷの出し入れが行われる。また、背面板５８の上端縁から水平方向へ前方に突き出すように侵入防止板６２が延設されており、この侵入防止板６２により、カセット載置台５４上に載置されるカセットＣの上方が覆われるようになっている。
【００４５】
カセット載置部１０と基板搬送部１２との間には、カセット載置部１０側から基板搬送部１２側へ作業者の手などが侵入することを阻止するための隔壁６４が介設されている。この隔壁６４に、下方の基板受け渡し高さ位置Ｂに相当する部分、すなわち、図８に実線で示すようにカセット載置台５４が下方向へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されたときに背面板５８の透孔６０の全部と重なる部分に、縦方向の寸法が透孔６０と同等で横方向に長い矩形状の開口部６６が形成されており、この開口部６６を通してウエハＷの受け渡しが行われる。
【００４６】
基板搬送部１２の構成は、図１ないし図４に示した装置と同様であり、基板搬送部１２に基板搬送ロボット３８が設置されている。この基板搬送ロボット３８は、ウエハ支持アーム４０が隔壁６４の開口部６６に対向するように配置される。そして、この基板搬送ロボット３８は、下方向へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されるカセット載置台５４上に載置されたカセットＣに順次アクセスし、カセットＣ内からウエハＷを１枚ずつ取り出して基板処理部１４へ搬送し、基板処理部１４での処理を終えた処理済みウエハを１枚ずつカセットＣ内へ挿入して収容する。
【００４７】
上記した構成を備えた基板処理装置においては、図８に実線で示すように、ウエハＷの取り出しを行おうとするカセットＣが載置されたカセット載置台５４が、カセットエレベータ５６により下方向へ移動させられて基板受け渡し高さ位置Ｂに保持される。この基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されるカセット載置台５４上に載置されたカセットＣに基板搬送ロボット３８がアクセスして、そのカセットＣからウエハＷの取り出しが行われる。一方、別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりする作業は、図７に示すように、また、図８に二点鎖線で示すように、カセット搬入・搬出高さ位置Ａに保持されているカセット載置台５４に対して行われる。したがって、下方の基板受け渡し高さ位置Ｂにおいて基板搬送ロボット３８がカセット載置台５４上のカセットＣからウエハＷを取り出しているときに、カセット搬入・搬出高さ位置Ａにおいて作業者が別のカセットＣを別のカセット載置台５４上に置いたり別のカセット載置台５４上から持ち上げたりしても、作業者の手が基板搬送ロボット３８のウエハ支持アーム４０と接触する恐れがない。また、下方へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されるカセット載置台５４上に載置されたカセットＣは、図８に実線で示すように前面下部カバー２４によって隠蔽されているので、基板受け渡し高さ位置Ｂにおいて基板搬送ロボット３８がカセット載置台５４上のカセットＣからウエハＷを取り出しているときに、カセットＣの開口部を通して基板搬送ロボット３８のウエハ支持アーム４０と作業者の身体の一部とが接触する可能性も無い。
【００４８】
また、カセット載置台５４には、その上に載置されるカセットＣの上方を覆うように侵入防止板６２が取着されている。このため、図７に示したように、カセット搬入・搬出高さ位置Ａに保持されたカセット載置台５４に対して作業者がカセットＣを置いたり持ち上げたりしている際に、そのカセット載置台５４側から、その隣の、下方向へ移動したカセット載置台５４の上方空間を通して、基板受け渡し高さ位置Ｂで基板搬送ロボット３８によるウエハＷの取り出しが行われているカセットＣの方へ作業者の手が侵入することは、カセットＣからのウエハＷの取り出しが行われているカセット載置台５４に取着された侵入防止板６２によって妨げられる。
【００４９】
図７および図８に示した装置構成においても、図５および図６に示したように、カセット載置部１０に前面上部カバー３２および外面下部カバー４６を配設するとともに、前面上部カバー３２と外面下部カバー４６とで区画されカセット搬入・搬出高さ位置Ａに相当する部分に形成される開口４８に、スイッチ操作によって動作するシャッタ５０を配設するようにしてもよい。
【００５０】
【発明の効果】
請求項１および請求項３に係る各発明によると、構成が比較的簡単で、制御も比較的容易であって、カセット載置部に対するカセットの搬入・搬出の作業における安全性を確保することができる基板処理装置を提供することができる。
【００５１】
請求項２および請求項４ないし請求項６に係る各発明の基板処理装置では、それぞれ安全性をより高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施形態の１例を示し、基板処理装置を正面から見た図である。
【図２】図１に示した装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図である。
【図３】同じく図１に示した装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図であって、図２とは異なる段階の動作状態を示す図である。
【図４】同じく図１に示した装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図であって、図２および図３とは異なる段階の動作状態を示す図である。
【図５】この発明の別の実施形態を示し、基板処理装置を正面から見た図である。
【図６】図５に示した装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図である。
【図７】図１に示した発明とは異なる発明の１実施形態を示し、基板処理装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図である。
【図８】同じく、基板処理装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図であって、図７とは異なる段階の動作状態を示す図である。
【図９】従来の基板処理装置のローダ・アンローダ部の概略構成の１例を示す部分断面側面図である。
【符号の説明】
１０カセット載置部
１２基板搬送部
１４基板処理部
１６空調装置
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、５４カセット載置台
２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、５６カセットエレベータ
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ前面遮蔽板
２４前面下部カバー
２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、５８カセット載置台の背面板
２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、６０透孔
３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、６２侵入防止板
３２前面上部カバー
３４、６４隔壁
３６、６６開口部
３８基板搬送ロボット
４０ウエハ支持アーム
４２上下移動機構
４４自走式移動機構
４６外面下部カバー
４８開口
５０シャッタ
５２シャッタ駆動機構
Ｗ半導体ウエハ
Ｃカセット
Ａカセット搬入・搬出高さ位置
Ｂ基板受け渡し高さ位置[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate processing apparatus for performing various types of processing on a substrate such as a semiconductor wafer, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a plasma display panel (PDP).
[0002]
[Prior art]
In a substrate processing apparatus that processes substrates, for example, semiconductor wafers, one by one in the substrate processing unit, the wafers are sequentially taken out one by one from a cassette in which a plurality of wafers are aligned and stored, and transferred to the substrate processing unit. After the wafers are processed in a single-wafer type, the processing is performed in a series of steps such as storing the processed wafers transferred from the substrate processing unit one by one in the cassette. FIG. 9 is a partial cross-sectional side view showing an example of a schematic configuration of such a substrate processing apparatus, particularly a schematic configuration of a loader / unloader unit.
[0003]
The substrate processing apparatus shown in FIG. 9 can mount a plurality of cassettes C and empty cassettes in which a plurality of semiconductor wafers W are aligned and accommodated in parallel in the lateral direction (perpendicular to the paper surface). A cassette mounting unit 1 having a cassette mounting table 2 that can be formed, a substrate transfer unit 3 on which a substrate transfer robot 4 is installed, and various substrate processing units 5 that process wafers W in a single wafer manner. Yes. The code | symbol 6 in a figure is an air conditioner which makes a clean air flow down.
[0004]
The cassette C is a box having a planar shape with one side of a rectangle as a trapezoid, and one side (front surface) is opened on the entire surface, and an opening is also formed on the narrow side (rear surface) on the opposite side. The inner surface has a plurality of horizontal holding grooves formed in parallel in the vertical direction. A plurality of wafers W are accommodated in the cassette C so as to be aligned in the vertical direction in parallel with each other. The removal of the wafers W from the cassette C and the insertion of the processed wafers into the cassette C are performed through the opening on the front surface. Is called. The cassette C is placed on the cassette mounting table 2 with the front opening facing the back side (substrate transport unit 3 side).
[0005]
The substrate transfer robot 4 has a wafer support arm 7 that can move forward and backward with respect to the inside of the cassette C mounted on the cassette mounting table 2, and a vertical movement mechanism 8 that moves the support arm 7 in the vertical direction. A self-propelled moving mechanism 9 is provided for reciprocating the whole along the arrangement direction (a direction perpendicular to the paper surface) of the plurality of cassettes C mounted on the cassette mounting table 2. The substrate transfer robot 4 sequentially accesses a plurality of cassettes C placed on the cassette mounting table 2, takes out the wafers W one by one from the cassette C and transfers them to the substrate processing unit 5, and performs substrate processing. The processed wafers that have been processed in the unit 5 are inserted into the cassette C and stored one by one.
[0006]
By the way, loading of the cassette C onto the cassette mounting table 2 and unloading of the cassette C from the cassette mounting table 2 are performed manually or by a robot, but the substrate transfer robot 4 moves against the cassette C on the cassette mounting table 2. When the wafer W is being put in and out, for example, when an operator places another cassette C on the cassette mounting table 2 or lifts it from the cassette mounting table 2, the operator's hand moves the substrate transfer robot 4. There is a risk that it may come into contact with the wafer support arm 7, which is dangerous. Further, since the cassette C has a structure in which the front and rear surfaces are opened as described above, the substrate transfer robot passes through the opening of the cassette C when the substrate transfer robot 4 puts the wafer W in and out of the cassette C. There is a possibility that the wafer support arm 7 and the fingers of the operator may come into contact with each other, which is dangerous.
[0007]
In order to avoid such a danger as much as possible, a shutter is provided at a wafer transfer opening formed in a partition wall installed between the cassette mounting unit 1 and the substrate transfer unit 3, and the shutter is placed on the cassette mounting table 2. Only when the cassette C is mounted, the shutter is opened to open the opening, and when the cassette C is removed from the cassette mounting table 2, the shutter is closed to close the opening (for example, (See Patent Document 1).
[0008]
It is also conceivable that a shutter is installed on the side opposite to the substrate transport unit 3 of the cassette mounting unit 1 and the shutter is opened and closed according to the work process. Further, it is conceivable to install shutters between the cassette placing unit 1 and the substrate transport unit 3 and on the opposite side of the cassette placing unit 1 from the substrate transport unit 3.
[0009]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 11-251392 (page 4, page 5, FIG. 2)
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the configuration in which the shutter is provided in the opening of the partition wall installed between the cassette mounting unit and the substrate transfer unit, when the substrate transfer robot puts and removes the wafer with respect to the cassette on the cassette mounting table, the cassette Since there is a possibility that an operator may place another cassette on the cassette mounting table or lift it from the cassette mounting table at a position adjacent to the cassette mounting table, it is necessary to provide shutters by the number of cassette mounting sections of the cassette mounting table. Then, it is necessary to open and close each shutter with good timing according to the work situation. For this reason, there exists a problem that a structure becomes complicated and control also becomes complicated. Further, with this configuration alone, when the substrate transfer robot is taking in and out the wafer with respect to the cassette with the shutter open, the wafer support arm of the substrate transfer robot and the operator's fingers come into contact with each other through the opening of the cassette. The problem is still not solved.
[0011]
Further, even in a configuration in which a shutter is installed on the side opposite to the substrate transfer unit of the cassette mounting unit, an operator can change the position next to the substrate transfer robot next to the cassette on the cassette mounting table. Since there is a possibility that the cassette may be placed on the cassette mounting table or lifted from the cassette mounting table, it is necessary to provide as many shutters as the number of cassette mounting sections of the cassette mounting table. It is necessary to open and close each with good timing. For this reason, there exists a problem that a structure becomes complicated and control also becomes complicated. Further, when the operator places the cassette on the cassette mounting table or lifts the cassette from the cassette mounting table, the shutter still has to be opened, so the danger still remains. Furthermore, in the configuration in which the shutter is installed between the cassette placing unit and the substrate transport unit and on the opposite side of the cassette placing unit from the substrate transport unit, as described above, It is necessary to provide twice as many shutters as the number of cassette mounting sections, and it is necessary to open and close each shutter according to the work situation. For this reason, there exists a problem that a structure becomes still more complicated and control becomes still more complicated.
[0012]
In addition, in the configuration in which the shutter is installed on the cassette mounting portion, it may be possible to stop the substrate transfer robot when the shutter is opened, but it takes time to return the substrate transfer robot once stopped, and the substrate when the shutter is opened. There is a problem that the transport tact of the substrate is remarkably deteriorated due to the stop of the transport.
[0013]
The present invention has been made in view of the circumstances as described above, has a relatively simple configuration, is relatively easy to control, and has a safety in carrying in / out the cassette with respect to the cassette mounting portion. It is an object to provide a substrate processing apparatus that can be secured.
[0014]
[Means for Solving the Problems]
  The invention according to claim 1 is a cassette mounting unit for mounting a plurality of cassettes for storing a plurality of substrates in parallel in the horizontal direction, a substrate processing unit for processing the substrate, and the substrate processing. Between the cassette mounting portion and the cassette mounting portion, and is arranged so as to be movable along the arrangement direction of the plurality of cassettes mounted on the cassette mounting portion. And a substrate transfer means for picking up the substrates one by one and transferring them to the substrate processing section. The cassette mounting portions are arranged in parallel in the horizontal direction, and each cassette is mounted one by one. A plurality of cassette mounting tables that are held in a vertically reciprocating manner between a cassette loading / unloading height position and a substrate transfer height position above the cassette loading / unloading height position independently of each other; Each cassette Composed of a vertical drive means for reciprocating each of the table in the vertical directionA front upper cover for concealing the cassette placed on the cassette placing table is disposed at the substrate delivery height position on the opposite side of the cassette placing portion from the substrate carrying means.It is characterized by that.Here, concealing the cassette means concealing the cassette from an operator who carries the cassette in and out of the cassette mounting table.
[0015]
According to a second aspect of the present invention, in the substrate processing apparatus according to the first aspect, a front shielding plate extends downward from the front edge of the cassette mounting surface on the front side of each cassette mounting table. And Here, the front side of the cassette mounting table means the front side viewed from the side of the operator who carries in / out the cassette with respect to the cassette mounting table. Hereinafter, the same applies to the front surface, the front edge, or the rear edge.
[0017]
  Claim 3The invention according to the present invention includes a cassette mounting unit for mounting a plurality of cassettes that store a plurality of substrates in parallel in a horizontal direction, a substrate processing unit that performs substrate processing, the substrate processing unit, It is provided between the cassette mounting unit and is arranged to be movable along the arrangement direction of the plurality of cassettes mounted on the cassette mounting unit. A portion of the cassette placement portion below the cassette placement surface is concealed on the opposite side of the substrate placement means and the substrate placement means for picking out the substrates one by one to the substrate processing portion. In the substrate processing apparatus provided with the front lower cover disposed, the cassette placing portions are arranged in parallel in the horizontal direction, and each cassette can be placed one by one and independent from each other. Cassette loading A plurality of cassette mounting tables that are held so as to be reciprocally movable in a vertical direction between a protruding height position and a substrate transfer height position below the protruding height position and the cassette is concealed by the front lower cover, and each cassette It is characterized by comprising a vertical driving means for reciprocating the mounting table in the vertical direction.
[0018]
  Claim 4The invention according to claim 1 to claim 1Claim 3In the substrate processing apparatus according to any one of the above, the substrate transfer means allows the substrate transfer means to take out the substrate from the cassette at a portion corresponding to the substrate transfer height position between the cassette mounting portion and the substrate transfer means. It is characterized by interposing a partition wall having an opening.
[0019]
  Claim 5The invention according to claim 1 to claim 1Claim 4In the substrate processing apparatus according to any one of the above, an intrusion prevention member that covers an upper portion of the cassette placed on the cassette placement table is attached to each cassette placement table.
[0020]
  Claim 6The invention according to claim 1 to claim 1Claim 5In the substrate processing apparatus according to any one of the above, the cassette mounting portion is shielded on the opposite side of the cassette mounting portion from the substrate carrying means by shielding a portion corresponding to the cassette loading / unloading height position of the cassette mounting portion. A shutter for preventing entry into the mounting portion is provided so as to be openable and closable, and the shutter is opened by a switch operation when the cassette is loaded into and unloaded from the cassette mounting portion.
[0021]
  In the substrate processing apparatus according to the first aspect of the present invention, the cassette mounting portion is composed of a plurality of cassette mounting tables that are arranged in parallel in the horizontal direction and reciprocate in the vertical direction independently of each other. The cassette mounting table on which the cassette to be taken out is mounted is moved upward by the vertical drive means and held at the substrate transfer height position, and the substrate is placed on the cassette mounted on the cassette mounting table. The conveying means accesses to take out the substrate from the cassette. On the other hand, the operation of placing another cassette on the cassette mounting table or lifting it from the cassette mounting table is performed on the cassette mounting table held at the cassette loading / unloading height position. Therefore, when the substrate transfer means is taking out the substrate from the cassette at the substrate transfer height position, the operator places another cassette on the cassette mounting table or lifts it from the cassette mounting table at the cassette loading / unloading height position. In such a case, there is no possibility that the operator's hand will come into contact with the substrate transfer means. Further, when the substrate transfer means is taking out the substrate from the cassette at the substrate transfer height position, there is no possibility that a part of the substrate transfer means and the operator's finger come into contact through the opening of the cassette.
In addition, a front upper cover is disposed at the substrate transfer height position on the opposite side of the cassette loading portion from the substrate transfer means, and the cassette table is moved upward to be held at the substrate transfer height position. Since the cassette placed on the cassette placing table is concealed by the front upper cover, the operator's body is placed on the cassette where the substrate is taken out by the substrate transfer means at the substrate transfer height position. There is no possibility of some contact.
[0022]
In the substrate processing apparatus according to the second aspect of the present invention, since the front shielding plate extends downward from the front edge of the cassette mounting surface on the front side of the cassette mounting table, the cassette mounting table moves upward. When moved and held at the substrate transfer height position, it prevents the operator's hand from entering the substrate transfer means side from a position below the cassette mounting surface of the cassette mounting table, ensuring safety. Is done.
[0024]
  Claim 3In the substrate processing apparatus according to the present invention, the cassette mounting portion is composed of a plurality of cassette mounting tables that are arranged in parallel in the horizontal direction and reciprocate in the vertical direction independently of each other. The cassette placing table on which the cassette to be carried is placed is moved downward by the vertical driving means and held at the substrate transfer height position, and the cassette on the cassette placing table is concealed by the front lower cover. The substrate carrying means accesses the cassette thus concealed, and the substrate is taken out from the cassette. On the other hand, the operation of placing another cassette on the cassette mounting table or lifting it from the cassette mounting table is performed on the cassette mounting table held at the cassette loading / unloading height position. Therefore, when the substrate transfer means is taking out the substrate from the cassette at the substrate transfer height position, the operator places another cassette on the cassette mounting table or lifts it from the cassette mounting table at the cassette loading / unloading height position. In such a case, there is no possibility that the operator's hand will come into contact with the substrate transfer means. Further, when the substrate transfer means is taking out the substrate from the cassette at the substrate transfer height position, there is no possibility that a part of the substrate transfer means and the operator's finger come into contact through the opening of the cassette.
[0025]
  Claim 4In the substrate processing apparatus according to the present invention, the partition wall interposed between the cassette placement unit and the substrate transfer unit prevents an operator's hand from entering the substrate transfer unit side from the cassette placement unit side. It is done. Then, the substrate is taken out from the cassette by the substrate transfer means without any trouble through an opening provided in a portion of the partition wall corresponding to the substrate transfer height position.
[0026]
  Claim 5In the substrate processing apparatus in which the substrate transfer height position is set above the cassette loading / unloading height position as in the invention according to claim 1, the operator places or lifts another cassette. Through the upper space of the cassette mounting table being moved to the cassette which is mounted on the adjacent cassette mounting table and moves upward and the substrate is taken out by the substrate transfer means at the substrate transfer height position. The entry of the operator's hand is hindered by the intrusion prevention member attached to the cassette mounting table on which the operator is performing work. Also,Claim 3In the substrate processing apparatus in which the substrate transfer height position is set below the cassette loading / unloading height position as in the invention according to the invention, from the cassette mounting table side where the operator places or lifts another cassette, It is possible for the operator's hand to enter the cassette in which the substrate is taken out by the substrate transfer means at the substrate transfer height position through the upper space of the cassette mounting table moved downward next to the substrate. Is prevented by the intrusion prevention member attached to the cassette mounting table on which the cassette on which the cassette is being taken out is placed.
[0027]
  Claim 6In the substrate processing apparatus according to the invention, a portion corresponding to the cassette loading / unloading height position of the cassette mounting portion is shielded by a shutter disposed on the opposite side of the cassette mounting portion from the substrate carrying means. This completely prevents a part of the worker's body from entering the cassette mounting portion. On the other hand, at the time of loading / unloading the cassette to / from the cassette mounting portion, the shutter is opened by a switch operation, so that loading / unloading of the cassette to / from the cassette mounting portion is performed without any trouble.
[0028]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
[0029]
1 to 4 show an example of an embodiment of the present invention, and FIG. 1 is a view of the substrate processing apparatus as viewed from the front (from the side of an operator who carries in / out a cassette). FIG. 4 is a partial cross-sectional side view showing a schematic configuration of a loader / unloader section (indexer section) of the apparatus shown in FIG. 1, and shows an operation state at each stage. The substrate processing apparatus includes a cassette mounting unit 10, a substrate transport unit 12, and a substrate processing unit 14. In the substrate processing unit 14, a substrate, for example, a semiconductor wafer W is processed in a single wafer type. The code | symbol 16 in a figure is an air conditioner which makes a clean air flow down.
[0030]
In the cassette mounting portion 10, a plurality of, in the illustrated example, three cassette mounting tables 18a, 18b, and 18c are arranged in parallel in the horizontal direction. One cassette C can be mounted on each cassette mounting table 18a, 18b, 18c. The cassette C has the shape and structure as described above, and can accommodate a plurality of wafers W in alignment. Each cassette mounting table 18a, 18b, 18c is held independently of each other so as to be reciprocally movable in the vertical direction. The cassette mounting unit 10 is provided with cassette elevators 20a, 20b, and 20c for moving the cassette mounting tables 18a, 18b, and 18c in the vertical direction. The cassette elevators 20a, 20b, and 20c may be of any drive mechanism, and include, for example, an air cylinder that includes a speed controller, a linear motion mechanism that is driven by an electric motor, or the like. These cassette elevators 20a, 20b, and 20c allow the cassette mounting bases 18a, 18b, and 18c to reciprocate vertically between the lower cassette loading / unloading height position A and the upper substrate transfer height position B, respectively. It is like that.
[0031]
Front shielding plates 22a, 22b, and 22c are extended downward from the front edge of the cassette mounting surface on the front side of the cassette mounting tables 18a, 18b, and 18c (front side in FIG. 1). As shown in FIG. 2 and FIG. 4, the front shielding plates 22a, 22b, and 22c are arranged at the cassette loading unit 10 when the cassette loading tables 18a, 18b, and 18c are held at the cassette loading / unloading height position A. It is concealed by the front lower cover 24. Further, as shown in FIG. 3, the front shielding plates 22a, 22b, and 22c have lower ends at the upper edge of the front lower cover 24 when the cassette mounting bases 18a, 18b, and 18c are held at the substrate transfer height position B. Is formed in a length dimension so as to be positioned below the upper end edge in the vicinity of.
[0032]
Further, rear plates 26a, 26b, and 26c extend upward from the rear edge of the cassette mounting surface on the back side of the cassette mounting tables 18a, 18b, and 18c. The back plates 26a, 26b, and 26c have a rectangular shape corresponding to the front surface shape (the shape of one side surface facing the substrate transport unit 12) of the entire surface of the cassette C mounted on the cassette mounting tables 18a, 18b, and 18c. Shaped through holes 28a, 28b, and 28c are formed. The wafer W is taken in and out of the cassette C through the through holes 28a, 28b and 28c. Further, intrusion prevention plates 30a, 30b, and 30c that are inclined obliquely upward are provided so as to protrude forward from the upper end edges of the rear plates 26a, 26b, and 26c. The intrusion prevention plates 30a, 30b, and 30c cover the upper portion of the cassette C that is placed on the cassette placement tables 18a, 18b, and 18c.
[0033]
Furthermore, a front upper cover 32 is disposed on the front side of the cassette placement unit 10 (on the side opposite to the substrate transport unit 12). The front upper cover 32 conceals the cassette C mounted on the cassette mounting tables 18a, 18b, and 18c that are moved upward and held at the substrate transfer height position B.
[0034]
A partition wall 34 is interposed between the cassette mounting unit 10 and the substrate transport unit 12, and the partition wall 34 has a portion corresponding to the substrate transfer height position B, that is, as shown in FIG. When the cassette mounting bases 18a, 18b, 18c are moved upward and are held at the substrate transfer height position B, they are vertically aligned with the portions that overlap all the through holes 28a, 28b, 28c of the back plates 26a, 26b, 26c. A rectangular opening 36 having a dimension in the direction equivalent to the through holes 28a, 28b, 28c and extending in the lateral direction is formed. The partition wall 34 is installed to prevent an operator's hand or the like from entering from the cassette placement unit 10 side to the substrate transport unit 12 side. When the wafer W is taken in and out of the cassette C, the wafer W is delivered through the opening 36 provided in the partition wall 34.
[0035]
A substrate transfer robot 38 is installed in the substrate transfer unit 12. The configuration of the substrate transfer robot 38 is the same as that of the apparatus shown in FIG. That is, the substrate transfer robot 38 has a wafer support arm 40 that can move forward and backward with respect to the inside of the cassette C mounted on the cassette mounting tables 18a, 18b, and 18c, and moves the support arm 40 in the vertical direction. A vertical movement mechanism 42 and a self-propelled movement mechanism 44 that reciprocally moves the whole along the arrangement direction of the cassette mounting tables 18a, 18b, and 18c (direction perpendicular to the paper surface) are provided. The substrate transfer robot 38 is disposed so that the wafer support arm 40 faces the opening 36 of the partition wall 34. Then, the substrate transport robot 38 sequentially accesses the cassette C placed on the cassette placement tables 18a, 18b, and 18c held in the substrate transfer height position B by moving upward, and from within the cassette C. The wafers W are taken out one by one and transferred to the substrate processing unit 14, and the processed wafers that have been processed in the substrate processing unit 14 are inserted into the cassette C and stored one by one.
[0036]
In the substrate processing apparatus having the above-described configuration, the three cassette mounting tables 18a, 18b, and 18c are arranged in parallel in the horizontal direction, and the cassette mounting tables 18a, 18b, and 18c are independent of each other. Each reciprocates vertically. As shown in FIG. 3, the cassette mounting table 18b on which the cassette C from which the wafer W is to be taken out is mounted is moved upward by the cassette elevator 20b and held at the substrate transfer height position B. The The substrate transfer robot 38 accesses the cassette C mounted on the cassette mounting table 18b held at the substrate transfer height position B, and the wafer W is taken out from the cassette C. On the other hand, as shown in FIG. 2, the operation of placing another cassette on the cassette mounting table or lifting it from the cassette mounting table is performed on the cassette mounting table 18a held at the cassette loading / unloading height position A. Done. Therefore, when the substrate transfer robot 38 is taking out the wafer W from the cassette C on the cassette mounting table 18b at the substrate transfer height position B, the operator inserts another cassette C at the cassette loading / unloading height position A. Even if it is placed on the mounting table 18a or lifted from the cassette mounting table 18a, there is no possibility that the operator's hand will come into contact with the wafer support arm 40 of the substrate transfer robot 38. Further, when the substrate transfer robot 38 takes out the wafer W from the cassette C on the cassette mounting table 18b at the substrate transfer height position B, the wafer support arm 40 of the substrate transfer robot 38 and the operator through the opening of the cassette C. There is no possibility of contact with other fingers.
[0037]
Further, since the front shielding plates 22a, 22b, and 22c are provided on the front side of the cassette mounting tables 18a, 18b, and 18c, the cassette mounting table 18b moves upward as shown in FIG. When held at the height position B, an operator's hand or the like is prevented from entering the substrate transport section 12 side from a position below the cassette placement surface of the cassette placement table 18b. Further, since the front upper cover 32 is provided at the upper part on the front side of the cassette mounting portion 10, as shown in FIG. 3, the cassette mounting table 18b is moved upward to the substrate transfer height position B. When held, the cassette C placed on the cassette placement table 18 b is concealed by the front upper cover 32. Therefore, there is no possibility that a part of the operator's body contacts the cassette C in which the wafer W is taken out by the substrate transfer robot 38 at the substrate transfer height position B.
[0038]
Further, intrusion prevention plates 30a, 30b, and 30c are attached to the cassette mounting tables 18a, 18b, and 18c so as to cover the upper side of the cassette C mounted thereon. Therefore, as shown in FIG. 2, when an operator places or lifts the cassette C with respect to the cassette mounting table 18a held at the cassette loading / unloading height position A, the cassette mounting table As shown in FIG. 3, through the space above 18a, the wafer W is mounted on the cassette mounting table 18b and moved upward, and the wafer W is taken out by the substrate robot 38 at the substrate transfer height position B. The entry of the operator's hand into the cassette 18b is prevented by the intrusion prevention plate 30a attached to the cassette mounting table 18a.
[0039]
5 and 6 show another embodiment of the present invention. FIG. 5 is a front view of the substrate processing apparatus, and FIG. 6 is a loader / unloader of the apparatus shown in FIG. It is a fragmentary sectional side view which shows schematic structure of a part. 5 and 6, the constituent members having the same reference numerals as those used in FIGS. 1 to 4 have the same functions as those described above with reference to FIGS. 1 to 4. The description of is omitted.
[0040]
In the substrate processing apparatus shown in FIGS. 5 and 6, an outer lower cover 46 is disposed on the front side of the front lower cover 24 of the cassette mounting unit 10 with a space from the front lower cover 24. An opening 48 defined by the outer lower cover 46 and the front upper cover 32 is formed in a portion corresponding to the ten cassette loading / unloading height positions A. The loading and unloading of the cassette C with respect to the cassette mounting tables 18a, 18b, and 18c is performed through the opening 48. A shutter 50 is disposed in a space between the front lower cover 24 and the outer lower cover 46, and a shutter drive mechanism 52 such as an air cylinder that drives the shutter 50 is installed. The shutter 50 has a height position at which the opening 48 is completely closed to prevent entry into the cassette mounting bases 18a, 18b, 18c, and a height position at which the opening 48 is completely opened to be hidden by the outer lower cover 46. Are supported so as to be reciprocally movable in the vertical direction. A shutter drive mechanism 52 for driving the shutter 50 is operated by a switch (not shown), and the shutter 50 is operated by a worker when loading / unloading the cassette C to / from the cassette mounting tables 18a, 18b, 18c. Is released at any time.
[0041]
In the substrate processing apparatus having the configuration shown in FIGS. 5 and 6, the opening 50 of the portion corresponding to the cassette loading / unloading height position A of the cassette loading unit 10 is closed by the shutter 50, thereby loading the cassette. It is completely prevented that a part of the worker's body enters the mounting tables 18a, 18b, 18c. On the other hand, when the cassette C is loaded into the cassette mounting tables 18a, 18b, 18c and the cassette C is unloaded from the cassette mounting tables 18a, 18b, 18c, the shutter 50 is opened and the opening 48 is opened by the operator's switch operation. Therefore, the operation of loading and unloading the cassette C to and from the cassette mounting tables 18a, 18b, and 18c can be performed without any trouble.
[0042]
Next, FIG. 7 and FIG. 8 show one embodiment of the invention different from the above, and are partial cross-sectional side views showing a schematic configuration of a loader / unloader part of a substrate processing apparatus. FIG. 7 and 8, components having the same functions as those already described are denoted by the same reference numerals as those used in FIGS. 1 to 4, and description thereof is omitted.
[0043]
Also in this substrate processing apparatus, a plurality of cassette mounting tables 54 are arranged in parallel in the horizontal direction on the cassette mounting unit 10. Each cassette mounting table 54 is capable of mounting one cassette C at a time, and is held independently of each other so as to be reciprocally movable in the vertical direction. The cassette mounting unit 10 is provided with a cassette elevator 56 for moving each cassette mounting table 54 in the vertical direction. With this cassette elevator 56, the cassette mounting table 54 can be reciprocated vertically between the upper cassette loading / unloading height position A and the lower substrate transfer height position B. When the cassette mounting table 54 moves downward and is held at the substrate transfer height position B, the cassette C mounted on the cassette mounting table 54 is hidden by the front lower cover 24. .
[0044]
On the back side of the cassette mounting table 54, a back plate 58 extends upward from the rear edge of the cassette mounting surface. The rear plate 58 is formed with a rectangular through hole 60 corresponding to the front surface shape of the entire surface of the cassette C mounted on the cassette mounting table 54, and the wafer W from the cassette C is passed through the through hole 60. In and out. Further, an intrusion prevention plate 62 extends so as to protrude forward from the upper end edge of the back plate 58 in the horizontal direction, and the upper portion of the cassette C placed on the cassette placement table 54 is extended by the intrusion prevention plate 62. It is supposed to be covered.
[0045]
A partition wall 64 is interposed between the cassette mounting unit 10 and the substrate transport unit 12 to prevent an operator's hand or the like from entering from the cassette mounting unit 10 side to the substrate transport unit 12 side. Yes. When the cassette mounting table 54 moves downward and is held at the substrate transfer height position B as shown by the solid line in FIG. A rectangular opening 66 having a longitudinal dimension equal to that of the through hole 60 and extending in the lateral direction is formed in a portion overlapping the entire through hole 60 of the back plate 58, and the wafer W is formed through the opening 66. Delivery takes place.
[0046]
The configuration of the substrate transfer unit 12 is the same as that of the apparatus shown in FIGS. 1 to 4, and a substrate transfer robot 38 is installed in the substrate transfer unit 12. The substrate transfer robot 38 is disposed such that the wafer support arm 40 faces the opening 66 of the partition wall 64. Then, the substrate transfer robot 38 sequentially accesses the cassette C mounted on the cassette mounting table 54 that moves downward and is held at the substrate transfer height position B. The wafers are taken out one by one and transferred to the substrate processing unit 14, and processed wafers that have been processed in the substrate processing unit 14 are inserted into the cassette C one by one and accommodated.
[0047]
In the substrate processing apparatus having the above-described configuration, as indicated by a solid line in FIG. 8, the cassette mounting table 54 on which the cassette C from which the wafer W is to be taken out is moved downward by the cassette elevator 56. And is held at the board transfer height position B. The substrate transfer robot 38 accesses the cassette C mounted on the cassette mounting table 54 held at the substrate transfer height position B, and the wafer W is taken out from the cassette C. On the other hand, the operation of placing another cassette on the cassette mounting table or lifting it from the cassette mounting table is performed as shown in FIG. 7 and as shown by a two-dot chain line in FIG. This is performed on the cassette mounting table 54 held at the position A. Therefore, when the substrate transfer robot 38 is taking out the wafer W from the cassette C on the cassette mounting table 54 at the lower substrate transfer height position B, the operator can move another cassette C at the cassette loading / unloading height position A. Even if it is placed on another cassette mounting table 54 or lifted from another cassette mounting table 54, there is no possibility that the operator's hand will come into contact with the wafer support arm 40 of the substrate transfer robot 38. Further, since the cassette C placed on the cassette placing table 54 that moves downward and is held at the substrate transfer height position B is concealed by the front lower cover 24 as shown by the solid line in FIG. When the substrate transfer robot 38 takes out the wafer W from the cassette C on the cassette mounting table 54 at the substrate transfer height position B, the wafer support arm 40 of the substrate transfer robot 38 and the operator's body through the opening of the cassette C. There is no possibility of contact with a part of.
[0048]
Further, an intrusion prevention plate 62 is attached to the cassette mounting table 54 so as to cover the upper side of the cassette C mounted thereon. For this reason, as shown in FIG. 7, when an operator places or lifts the cassette C with respect to the cassette mounting table 54 held at the cassette loading / unloading height position A, the cassette mounting table. From the side of 54, through the upper space of the cassette mounting table 54 that has moved downward, the worker moves toward the cassette C in which the wafer transfer robot 38 takes out the wafer W at the substrate transfer height position B. Is prevented by the intrusion prevention plate 62 attached to the cassette mounting table 54 on which the wafer W is being taken out from the cassette C.
[0049]
Also in the apparatus configuration shown in FIGS. 7 and 8, as shown in FIGS. 5 and 6, the front upper cover 32 and the outer lower cover 46 are provided on the cassette mounting portion 10, and the front upper cover 32 and A shutter 50 that is operated by a switch operation may be disposed in an opening 48 that is defined by the outer surface lower cover 46 and formed in a portion corresponding to the cassette loading / unloading height position A.
[0050]
【The invention's effect】
  Claim 1 andClaim 3According to each of the inventions, there is provided a substrate processing apparatus that is relatively simple in configuration and relatively easy to control, and that can ensure safety in the operation of loading and unloading the cassette with respect to the cassette mounting portion. be able to.
[0051]
  Claim2AndClaim 4OrClaim 6In the substrate processing apparatus according to each of the inventions, safety can be further improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 shows an example of an embodiment of the present invention, and is a view of a substrate processing apparatus as viewed from the front.
2 is a partial cross-sectional side view showing a schematic configuration of a loader / unloader section of the apparatus shown in FIG. 1;
3 is a partial cross-sectional side view showing a schematic configuration of a loader / unloader unit of the apparatus shown in FIG. 1 and showing an operating state at a stage different from FIG. 2;
4 is a partial cross-sectional side view showing a schematic configuration of a loader / unloader unit of the apparatus shown in FIG. 1 and showing an operating state at a stage different from FIGS. 2 and 3. FIG.
FIG. 5 shows another embodiment of the present invention and is a view of the substrate processing apparatus as viewed from the front.
6 is a partial sectional side view showing a schematic configuration of a loader / unloader unit of the apparatus shown in FIG. 5;
7 is a partial cross-sectional side view showing a schematic configuration of a loader / unloader part of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the invention different from the invention shown in FIG. 1; FIG.
8 is a partial cross-sectional side view showing a schematic configuration of a loader / unloader unit of the substrate processing apparatus, and shows an operation state at a stage different from FIG. 7. FIG.
FIG. 9 is a partial cross-sectional side view showing an example of a schematic configuration of a loader / unloader section of a conventional substrate processing apparatus.
[Explanation of symbols]
10 Cassette mounting part
12 Board transfer section
14 Substrate processing section
16 Air conditioner
18a, 18b, 18c, 54 Cassette mounting table
20a, 20b, 20c, 56 Cassette elevator
22a, 22b, 22c Front shielding plate
24 Front lower cover
26a, 26b, 26c, 58 Back plate of cassette mounting table
28a, 28b, 28c, 60 Through hole
30a, 30b, 30c, 62 Intrusion prevention plate
32 Front top cover
34, 64 Bulkhead
36, 66 opening
38 Substrate transfer robot
40 Wafer support arm
42 Vertical movement mechanism
44 Self-propelled movement mechanism
46 outer bottom cover
48 opening
50 shutter
52 Shutter drive mechanism
W Semiconductor wafer
C cassette
A cassette loading / unloading height position
B Board delivery height position

Claims

A plurality of cassettes for accommodating a plurality of substrates, a cassette placement unit for placing the cassettes in parallel in the lateral direction;
A substrate processing unit for processing the substrate;
It is provided between the substrate processing unit and the cassette mounting unit, and is arranged so as to be movable along the arrangement direction of the plurality of cassettes mounted on the cassette mounting unit, and sequentially accesses each cassette. Substrate transport means for taking out the substrates one by one from the cassette and transporting them to the substrate processing section;
In a substrate processing apparatus comprising:
The cassette mounting portion;
It is arranged in parallel in the horizontal direction, and it is possible to place one cassette at a time, and it is vertically independent between the cassette loading / unloading height position and the substrate delivery height position above it. A plurality of cassette mounting tables held so as to be freely reciprocated in the direction, and vertical drive means for reciprocating each cassette mounting table in the vertical direction ,
A front upper cover for concealing the cassette placed on the cassette placing table is disposed at the substrate delivery height position on the opposite side of the cassette placing portion from the substrate carrying means. Substrate processing equipment.

2. The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein a front shielding plate extends downward from a front end edge of the cassette mounting surface on the front side of each cassette mounting table.

A plurality of cassettes for accommodating a plurality of substrates, a cassette placement unit for placing the cassettes in parallel in the lateral direction;
A substrate processing unit for processing the substrate;
It is provided between the substrate processing unit and the cassette mounting unit, and is arranged so as to be movable along the arrangement direction of the plurality of cassettes mounted on the cassette mounting unit, and sequentially accesses each cassette. Substrate transport means for taking out the substrates one by one from the cassette and transporting them to the substrate processing section;
A lower front cover disposed on the opposite side of the cassette mounting portion from the substrate carrying means so as to conceal a portion below the cassette mounting surface of the cassette mounting portion;
In a substrate processing apparatus comprising:
The cassette mounting portion;
It is arranged in parallel in the horizontal direction, and it is possible to place one cassette at a time, and the cassette is concealed by the front lower cover at and below the cassette loading / unloading height position independently of each other. A plurality of cassette mounting tables that are held so as to be reciprocally movable in the vertical direction, respectively, and vertical drive means for reciprocating the cassette mounting tables in the vertical direction. A substrate processing apparatus.

The partition which has the opening part which accept | permits pick_out | removing of the board | substrate from a cassette by the board | substrate conveyance means in the part corresponded to the said board | substrate delivery height position was interposed between the said cassette mounting part and the said board | substrate conveyance means. The substrate processing apparatus according to claim 1 .

5. The substrate processing apparatus according to claim 1 , wherein an intrusion prevention member that covers an upper portion of the cassette placed on the cassette placement table is attached to each cassette placement table.

On the opposite side of the cassette mounting portion from the substrate transfer means, a shutter that blocks the portion corresponding to the cassette loading / unloading height position of the cassette mounting portion and prevents entry into the cassette mounting portion is opened and closed. 6. The substrate processing apparatus according to claim 1 , wherein the substrate processing apparatus is freely arranged, and the shutter is opened by a switch operation when the cassette is loaded into or unloaded from the cassette mounting portion .