KR100937147B1 - 기판건조용 건조가스 제조장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 습식 기판세정공정후 기판의 건조를 위하여 사용되는 유기용매의 건조가스를 제조하기 위한 기판건조용 건조가스 제조장치에 관한 것이다. 본 발명은 유기용매가 담기는 용기(10), 상기 용기(10)의 내부에서 하측 위치에 배치되고 각각 다수의 미세통공(22)이 형성된 원형의 상판(14)과 하판(16) 및 이들을 둘러싸고 있는 원통벽(18)으로 구성된 기포발생기(12), 상기 용기(10)에 유기용매를 공급하기 위한 유기용매공급관(24), 상기 용기(10)내에 불활성가스를 공급하기 위하여 하측단부(30)가 상기 기포발생기(12)의 내부중앙에 배치되도록 연장된 불활성가스공급관(26)과, 상기 용기(10)의 상부에서 유기용매 미스트가 기판건조장치측으로 공급될 수 있도록 하는 건조가스공급관(32)으로 구성된다.
기판건조장치, 유기용매 미스트, 기포발생기.
Description
본 발명은 기판건조용 건조가스 제조장치에 관한 것으로, 특히 습식 기판세정공정후 기판의 건조를 위하여 사용되는 유기용매의 건조가스를 제조하기 위한 기판건조용 건조가스 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정, LCD 제조공정 및 웨이퍼 제조공정에서는 기판의 습식 세정공정이 다수 회에 걸쳐 이루어진다. 이러한 기판의 습식 세정공정이 완료된 후에는 기판은 건조되어야 한다. 기판의 건조는 다양한 장비를 이용하여 수행되고 있으며, 최근에 주로 사용되고 있는 건조장치로서는 이소프로필알코올(IPA)을 기판에 뿌려서 건조하는 스프레이 건조기, 이소프로필알코올과 순수(純水)와의 표면장력을 이용하여 건조시키는 마랑고니(Marangoni) 건조기가 있다.
이들 건조기 또는 건조장치는 기판의 건조를 위하여 이소프로필알코올을 포함하는 유기용매를 사용함에 있어 액체상태의 유기용매를 미스트(mist)상태의 건조가스화 하여 기판에 공급될 수 있도록 한다. 종래 이러한 미스트상태의 건조가스를 제조하는 제조장치에 있어서는 유기용매에 대하여 예를 들어 N2와 같은 불활성가스를 기포상태로 공급함으로서 유기용매가 미스트상태의 건조가스로 제조될 수 있도록 한다. 종래 불활성기체를 기포상태로 공급하기 위하여서는 압력하에 공급되는 불활성가스를 미세기포로 만들기 위하여 다수의 미세입자를 성형하여 구성한 필터판을 통과시킨다. 그러나, 종래기술에 있어서는 불활성가스가 유기용매내에서 필터판을 통과하여 미세기포로 만들어지고 이러한 기포내에 유기용매가 함유되어 유기용매의 미스트로 만들어져 기판을 건조하기 위한 건조장치로 공급될 때 필터판을 구성하고 있는 미세입자물질의 일부가 분리되고 이물질로서 기판측에 공급되어 기판을 불량화하는 문제점이 발생될 수 있다. 또한 미세입자물질로 성형되어 구성되는 필터판을 통과하는 기포는 그 크기가 균일하지 않아 결국 불균일한 유기용매 미스트가 공급되어 기판의 건조품질도 저하될 수밖에 없다.
본 발명에 있어서는 종래기술의 이러한 문제점을 감안하여 창안한 것으로, 습식 기판세정공정후 기판의 건조에 좋지 않은 영향을 주지 않는 균일한 유기용매 가스 또는 미스트로 이루어지는 건조가스를 제조하기 위한 기판건조용 건조가스 제조장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
이를 위하여, 본 발명에 있어서는 기판의 습식세정후 이를 건조시키기 위한 건조가스로서 유기용매 미스트를 제조하는 기판건조용 건조가스 제조장치를 제공하는 바, 본 발명 장치는 유기용매가 담기는 용기, 상기 용기의 내부에서 하측 위치에 배치되고 각각 다수의 미세통공이 형성된 원형의 상판과 하판 및 이들을 둘러싸고 있는 원통벽으로 구성된 기포발생기, 상기 용기에 유기용매를 공급하기 위한 유기용매공급관, 상기 용기내에 불활성가스를 공급하기 위하여 하측단부가 상기 기포발생기의 내부중앙에 배치되도록 연장된 불활성가스공급관과, 상기 용기의 상부에서 유기용매 미스트가 기판건조장치측으로 공급될 수 있도록 하는 건조가스공급관으로 구성됨을 특징으로 한다.
본 발명에 따라서, 상기 용기를 포함하여 각 구성요소 전부는 쿼츠(quartz)로 구성되는 것이 좋다.
상기 기포발생기의 상판과 하판에 형성된 다수의 상기 미세통공은 예를 들어 레이저가공으로 형성되며, 이들 미세통공의 직경은 0.4~0.6 mm 의 범위인 것이 좋 다.
본 발명을 첨부도면에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명 기판건조용 건조가스 제조장치의 전체 단면을 보인 것이다. 본 발명 장치는 도시된 바와 같이 상하 폐쇄형의 용기(10)로 구성된다. 이러한 용기(10)의 내부에는 하측 위치에 기포발생기(12)가 배치된다. 이 기포발생기(12)는 원형의 상판(14), 이에 대응하는 원형의 하판(16)과 이를 둘러싸고 있는 원통벽(18)으로 이루어진다. 이러한 기포발생기(12)는 원통벽(18)에 부착된 지지돌기(20)를 통하여 용기(10)의 내면에 고정적으로 부착된다.
기포발생기(12)에서, 상판(14)과 하판(16)에는 미세통공(22)이 다수 형성되어 있다.
한편, 이러한 용기(10)내에는 상측으로부터 유기용매공급관(24)과 불활성가스공급관(26)이 연장되어 배치된다. 유기용매공급관(24)은 그 하측단부(28)가 용기(10)의 중간위치에 이르러 있으며, 불활성가스공급관(26)은 용기(10)의 중앙에 배치되고 그 확개형 하측단부(30)가 기포발생기(12)의 상판(14)을 지나 기포발생기(12)의 내부중앙에 위치하도록 배치된다.
또한 용기(10)의 상부에는 유기용매 미스트가 기판건조장치측으로 공급될 수 있도록 하는 건조가스공급관(32)이 배치되어 있으며, 용기(10)의 하측에는 평상시 폐쇄되는 드레인관(34)이 배치된다.
본 발명에서는 상기 언급된 용기(10)의 전체 구조, 즉, 용기(10), 기포발생 기(12), 유기용매공급관(24), 불활성가스공급관(26), 건조가스공급관(32) 및 드레인관(34)이 모두 유기용매에 대하여 불활성인 쿼츠(quartz)로 구성되는 것이 바람직하다.
구체적인 실시형태에서, 기포발생기(12)의 상판(14)과 하판(16)에 형성되는 다수의 미세통공(22)은 예를 들어 레이저가공으로 형성되며, 이들 미세통공(22)의 직경은 예를 들어 0.4~0.6 mm 의 범위이다.
이와 같은 본 발명은 용기(10)내에 유기용매공급관(24)을 통하여 정량의 유기용매가 공급된다. 그리고 용기(10)의 내부하측에 고정적으로 배치된 기포발생기(12)의 내부에 확개형의 하측단부(30)가 배치된 불활성가스공급관(26)을 통하여 압력하의 불활성가스(예를 들어, N2)가 공급된다. 원형의 상판(14), 원형의 하판(16)과 이들을 둘러싸는 원통벽(18)으로 구성되는 기포발생기(12)의 내부로 압력하에 공급되는 불활성가스는 유기용매내에서 기포발생기(12)의 상판(14)과 하판(16)에 형성된 다수의 미세통공(22)을 통과하면서 미세기포를 발생하고 이러한 미세기포는 유기용매를 미스트화하여 유기용매 미스트를 건조가스공급관(32)을 통하여 기판건조장치측으로 공급될 수 있도록 한다.
이와 같이, 본 발명의 용기(10)로부터 건조가스공급관(32)을 통하여 기판건조장치측으로 공급되는 건조가스로서의 유기용매 미스트는 불활성가스가 기포발생기(12)의 균일한 미세통공(22)을 통과하면서 균일한 분산상 또는 분포상으로 공급될 수 있어 기판의 습식세정후 기판의 건조과정에서 기판의 효율적이고 균일한 건 조가 이루어질 수 있도록 하고 기판에 악영향을 주지 않는 잇점을 제공한다.
도 1은 본 발명의 기판건조용 건조가스 제조장치를 보인 단면도.
도 2는 도 1의 II-II선 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호설명>
10; 용기, 12; 기포발생기, 14; 상판, 16; 하판, 22; 미세통공, 24; 유기용매공급관, 26; 불활성가스공급관, 32; 건조가스공급관.
Claims (4)
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- 유기용매가 담기는 용기(10), 상기 용기(10)의 내부에서 하측 위치에 배치되고 각각 다수의 미세통공(22)이 형성된 원형의 상판(14)과 하판(16) 및 이들을 둘러싸고 있는 원통벽(18)으로 구성된 기포발생기(12), 상기 용기(10)에 유기용매를 공급하기 위한 유기용매공급관(24), 상기 용기(10)내에 불활성가스를 공급하기 위하여 하측단부(30)가 상기 기포발생기(12)의 내부중앙에 배치되도록 연장된 불활성가스공급관(26)과, 상기 용기(10)의 상부에서 유기용매 미스트가 기판건조장치측으로 공급될 수 있도록 하는 건조가스공급관(32)으로 구성되는 기판건조용 건조가스 제조장치에 있어서,상기 기포발생기(12)의 상판(14)과 하판(16)에 형성된 다수의 상기 미세통공(22)이 레이저가공으로 형성됨을 특징으로 하는 기판건조용 건조가스 제조장치.
- 제3항에 있어서, 상기 기포발생기(12)의 상판(14)과 하판(16)에 형성되는 미세통공(22)의 직경이 0.4~0.6 mm 의 범위임을 특징으로 하는 기판건조용 건조가스 제조장치.
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