KR100928481B1 - 액정표시장치의 제조방법 - Google Patents

액정표시장치의 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100928481B1
KR100928481B1 KR1020020079241A KR20020079241A KR100928481B1 KR 100928481 B1 KR100928481 B1 KR 100928481B1 KR 1020020079241 A KR1020020079241 A KR 1020020079241A KR 20020079241 A KR20020079241 A KR 20020079241A KR 100928481 B1 KR100928481 B1 KR 100928481B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
main substrate
liquid crystal
auxiliary
main
Prior art date
Application number
KR1020020079241A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040051330A (ko
Inventor
이혜선
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020020079241A priority Critical patent/KR100928481B1/ko
Publication of KR20040051330A publication Critical patent/KR20040051330A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100928481B1 publication Critical patent/KR100928481B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/38Removing material by boring or cutting
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit

Abstract

본 발명은 보조 기판과 제 1 메인 기판의 외곽부를 가열하여 상기 보조 기판과 상기 제 1 메인 기판을 합착하는 단계와, 상기 제 1 메인 기판 상에 게이트 라인 및 데이터 라인을 구비한 박막트랜지스터 어레이를 형성하는 단계와, 상기 보조 기판과 상기 제 1 메인 기판을 분리하는 단계와, 분리된 상기 보조 기판과 제 2 메인 기판의 외곽부를 가열하여 상기 보조 기판과 상기 제 2 메인 기판을 합착하는 단계와, 상기 제 2 메인 기판 상에 블랙 매트릭스층 및 칼라 필터층을 구비한 칼라필터 어레이를 형성하는 단계와, 상기 보조 기판과 상기 제 2 메인 기판을 분리하는 단계 및 상기 제 1 메인 기판과 상기 제 2 메인 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
액정표시장치, 기판, 가열, 합착, 분리

Description

액정표시장치의 제조방법{method for manufacturing of liquid crystal display device}
도 1은 일반적인 액정표시장치의 일부를 나타낸 분해 사시도
도 2a는 종래의 상부기판 또는 하부기판을 카세트에 탑재한 상태를 나타낸 정면도
도 2b는 종래의 기판의 깨짐 상태를 나타낸 도면
도 3a 내지 도 3g는 본 발명에 의한 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 공정단면도
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
101 : 보조 유리 기판 102 : 제 1 메인 유리 기판
103 : 프로판 토치 104 : 게이트 전극
105 : 게이트 절연막 106 : 액티브층
107 : 소오스 전극 108 : 드레인 전극
109 : 보호막 110 : 콘택홀
111 : 화소전극 112 : 제 2 메인 유리 기판
113 : 블랙 매트릭스층 114 : 칼라 필터층
115 : 오버 코트층 116 : 공통전극
본 발명은 액정표시장치(Liquid Crystal Display device)의 제조방법에 관한 것으로, 특히 기판의 휨 또는 깨짐을 방지하는데 적당한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치는 저전압 구동, 저소비 전력, 풀 칼라 구현, 경박 단소 등의 특징을 갖고 있으므로, 시계, 계산기, PC용 모니터, 노트북 등에서 TV, 항공용 모니터, 개인 휴대 단말기, 휴대 전화 등으로 그 용도가 다양해지고 있다.
이와 같은 액정표시소자는 화상을 표시하는 액정표시패널과 상기 액정표시패널을 구동하기 위한 회로부로 크게 구분된다.
상기 액정표시패널은 박막트랜지스터 어레이가 형성된 제 1 기판과 칼라필터 어레이가 형성된 제 2 기판 및 상기 두 기판 사이에 형성된 액정층으로 구성된다.
상기 박막트랜지스터 어레이가 형성된 제 1 기판에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 화소 영역을 정의하기 위하여 상기 각 게이트 라인에 수직한 방향으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 화소영역에 형성되어 화상을 표시하는 복수개의 화소 전극과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되는 부분의 화소 영역에 형성되어 상기 게이트 라인의 구동신호에 의해 온/오프되어 상기 데이터 라인의 화상 신호를 각 화소전극에 전달하는 복수개의 박막트랜지스터가 구비된다.
또한, 상기 칼라필터 어레이가 형성된 제 2 기판에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분에서는 빛을 차단하는 블랙 매트릭스층과, 상기 각 화소 영역에 상응하는 부분에 형성되어 색상을 구현하는 R, G, B 칼라 필터층과, 상기 칼라 필터층을 포함한 전면에 형성되는 공통전극이 구비된다. 물론 IPS(In Plane Switching) 모드의 액정표시소자에서는 공통전극이 제 1 기판에 형성되기도 한다.
상기에서 언급한 제 1, 제 2 기판이 일정 공간을 갖도록 합착되고 상기 제 1, 제 2 기판 사이에 액정층이 형성된다.
상기와 같은 기판으로는 유리 기판을 이용하고 있으며, 액정표시패널의 무게는 상기 유리 기판이 많은 비중을 차지한다. 따라서, 액정표시패널의 중량을 줄이기 위해서는 유리 기판의 무게를 줄여야 하고, 결국 얇은 유리 기판을 사용하여야 한다.
이와 같이 구성된 액정표시장치의 제조공정은 기판 제작공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나눌 수 있다.
먼저, 기판 제작공정은 세정된 유리 기판을 사용하여 각각 박막트랜지스터 제작과 칼라필터 제작 공정으로 나눈다. 따라서, 상기 박막트랜지스터 제작공정은 하부 기판 상에 복수의 박막트랜지스터와 화소전극을 제작하는 공정을 말하는 것이며, 칼라필터 제조공정은 차광막이 형성된 상부 기판 상에 염료나 안료를 사용하여 R. G. B 색상의 칼라 필터층을 형성하고 공통전극(ITO)을 형성하는 공정을 일컫는다.
또한, 셀 공정은 박막트랜지스터 공정이 완료된 상기 하부 기판과 칼라필터 공정이 완료된 상기 상부 기판의 두 기판 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하여 합착하고 액정을 주입하여 액정표시장치의 셀을 제조하는 공정이며, 마지막으로 모듈 공정은 신호처리를 위한 회로부를 제작하고 액정표시장치 패널과 신호처리 회로부를 연결시켜 모듈을 제작하는 공정이다.
이와 같은 공정을 거치면서 기판의 크기와 두께 및 강도에 따라 차이가 있겠지만, 기판이 휘는 현상 또는 깨짐 현상이 발생되게 된다.
이와 같은 액정표시소자 제조공정은 상기 기판 제작공정, 셀 공정 및 모듈 공정과정을 거치기 위해 상기 기판을 각각의 공정에 사용되는 제조 장비로 순차적으로나 그룹형태로 반송 또는 이송되어야 한다.
또한, 제조 공정 상 일부의 제조장치에 고장 또는 수리를 위해 모든 제조 공정 라인(Line)을 중지시킬 수 없으므로 상기 제조장치에 상기 기판을 일시 저장할 수 있는 방법이 필요하다.
이에, 부합하기 위해 카세트(Cassette)를 사용한다. 즉, 상기 카세트에 다수의 기판을 저장하여, 상기 카세트를 이송하므로 한꺼번에 다수의 기판을 이송 가능하게 한다. 이와 같이 카세트에 다수의 기판을 저장하면 기판의 크기와 두께 및 강도에 따라 차이가 있겠지만 기판이 휘는 현상 또는 깨짐 현상이 발생하게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 종래의 액정표시장치의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.
도 1은 일반적인 액정표시장치의 일부를 나타낸 분해 사시도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 일정 공간을 갖고 합착된 하부기판(1) 및 상부기 판(2)과, 상기 하부기판(1)과 상부기판(2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성되어 있다.
보다 구체적으로 설명하면, 상기 하부기판(1)은 화소영역(P)을 정의하기 위하여 일정한 간격을 갖고 일방향으로 복수개의 게이트 라인(4)이 배열되고, 상기 게이트 라인(4)에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 복수개의 데이터 라인(5)이 배열되며, 상기 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차하는 각 화소영역(P)에는 화소전극(6)이 형성되고, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차하는 부분에 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.
그리고 상기 상부기판(2)은 상기 화소영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층(8)과, 화상을 구현하기 위한 공통전극(9)이 형성되어 있다.
여기서, 상기 박막 트랜지스터(T)는 상기 게이트 라인(4)으로부터 돌출된 게이트 전극과, 전면에 형성된 게이트 절연막(도면에는 도시되지 않음)과 상기 게이트 전극 상측의 게이트 절연막위에 형성된 액티브층과, 상기 데이터 라인(5)으로부터 돌출된 소오스 전극과, 상기 소오스 전극에 대향되도록 드레인 전극을 구비하여 구성된다.
상기 화소전극(6)은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide : ITO)와 같이 빛의 투과율이 비교적 뛰어난 투명 도전성 금속을 사용한다.
전술한 바와 같이 구성되는 액정표시장치는 상기 화소전극(6)상에 위치한 액정층(3)이 상기 박막 트랜지스터(T)로부터 인가된 신호에 의해 배향되고, 상기 액 정층(3)의 배향 정도에 따라 액정층(3)을 투과하는 빛의 양을 조절하여 화상을 표현할 수 있다.
전술한 바와 같은 액정패널은 상-하로 걸리는 전기장에 의해 액정을 구동하는 방식으로, 투과율과 개구율 등의 특성이 우수하며, 상부기판(2)의 공통전극(9)이 접지역할을 하게 되어 정전기로 인한 액정 셀의 파괴를 방지할 수 있다.
도 2a는 종래의 상부기판 또는 하부기판을 카세트에 탑재한 상태를 나타낸 정면도이다.
도 2a에 도시한 바와 같이, 복수개의 기판(51)을 평면으로 저장하기 위해 육면체 형상의 몸통(52)을 갖도록 형성된다. 그리고 상기 몸통(52)의 적어도 마주보는 두 개의 면에 각각 지면에 수직한 방향으로 수직 프레임(52a)이 형성되고, 상기 수직 프레임(52a)에 상기 기판(51)의 가장자리 부분을 지지하기 위한 복수개의 슬롯(Slot)(53)이 형성되며, 상기 카세트 내로 삽입되는 기판(51)을 정지시키기 위한 스토퍼(54)가 상기 카세트의 입구 반대쪽 면에 형성된다.
여기서, 상기 슬롯(53)이 형성된 상기 수직 프레임(52a)은 상기 육면체의 4면 뿐만 아니라, 상기 카세트의 모서리 부분에도 더 형성될 수도 있다.
또한, 상기 슬롯(53)은 각각의 상기 각 수직 프레임(52a)에 약 20개 정도가 형성되어 일정한 길이와 넓이를 갖고 상기 기판(51)의 모서리 부분 또는 측면을 지지한다.
이때, 상술한 바와 같이, 상기 기판(51)은 액정표시장치의 무게를 감소시키기 위하여 박형(0.7㎜미만)의 유리 기판이 사용되고 있으며, 박형의 유리 기판은 쉽게 휘어지는 단점을 가지고 있다.
따라서 상기와 같이 박형의 유리 기판을 이용하여 액정표시장치를 제조하는 경우 도 2b에서와 같이, 유리 기판(51)이 휘거나 깨짐(A) 현상이 발생하여 제작하는데 한계가 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 박형의 유리 기판 2장을 합착하여 기판의 두께 및 강도를 외부적으로 증가시켜 액정표시장치의 제조공정을 진행한 후 필요없는 한 장의 기판을 분리함으로써 공정 및 반송 중 기판의 휨 현상 및 파손을 방지하여 생산 수율을 향상시키도록 한 액정표시장치의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 액정표시장치의 제조방법은 보조 기판과 제 1 메인 기판의 외곽부를 가열하여 상기 보조 기판과 상기 제 1 메인 기판을 합착하는 단계와, 상기 제 1 메인 기판 상에 게이트 라인 및 데이터 라인을 구비한 박막트랜지스터 어레이를 형성하는 단계와, 상기 보조 기판과 상기 제 1 메인 기판을 분리하는 단계와, 분리된 상기 보조 기판과 제 2 메인 기판의 외곽부를 가열하여 상기 보조 기판과 상기 제 2 메인 기판을 합착하는 단계와, 상기 제 2 메인 기판 상에 블랙 매트릭스층 및 칼라 필터층을 구비한 칼라필터 어레이를 형성하는 단계와, 상기 보조 기판과 상기 제 2 메인 기판을 분리하는 단계 및 상기 제 1 메인 기판과 상기 제 2 메인 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
삭제
여기서, 상기 보조 기판과 제 1 메인 기판 및 제 2 메인 기판은 절단기 또는 레이저를 이용하여 분리할 수 있다.
또한, 상기 제 1 메인 기판상에는 화소전극을 형성하고, 상기 제 2 메인 기판상에는 공통전극을 형성할 수 있다.
또한, 상기 제 1 메인 기판상에 화소전극과 공통전극을 형성할 수 있다.
본 발명에 의한 다른 액정표시장치의 제조방법은 제 1 보조 기판과 제 1 메인 기판을 합착하는 단계와, 상기 제 1 메인 기판 상에 게이트 라인 및 데이터 라인을 구비한 박막트랜지스터 어레이를 형성하는 단계와, 제 2 보조 기판과 제 2 메인 기판을 합착하는 단계와, 상기 제 2 메인 기판 상에 블랙 매트릭스층 및 칼라 필터층을 구비한 칼라필터 어레이를 형성하는 단계 및 상기 제 1 메인 기판과 상기 제 2 메인 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제 1 보조 기판과 상기 제 1 메인 기판을 합착하는 단계 및 상기 제 2 보조 기판과 상기 제 2 메인 기판을 합착하는 단계는 기판들의 외곽부를 가열하여 합착하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 액정표시장치의 제조방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3a 내지 도 3g는 본 발명에 의한 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 공정단면도이다.
도 3a에 도시한 바와 같이, 보조 유리 기판(101)과 제 1 메인 유리 기판(박막트랜지스터 어레이 기판)(102)을 합착한다.
즉, 상기 보조 유리 기판(101)과 제 1 메인 유리 기판(102)을 합착한 후 외곽부를 프로판 토치(propane torch)(103) 등으로 가열하여 접합한다.
일반적으로 액정표시장치용 기판의 경우 워킹 포인트(working point)가 1312℃이므로, 프로판 토치 등으로도 쉽게 녹여 가공할 수 있다.
또한, 열 전도율이 낮아 기판 외곽의 합착시킬 부분만을 가열하여 변형시킬 수 있고, 합착시 두 기판 사이의 공기(air)를 제거할 수 있다.
또한, 상기 보조 유리 기판(101)과 제 1 메인 유리 기판(102)을 접착 테이프(도시되지 않음)를 이용하여 접합할 수도 있다.
도 3b에 도시한 바와 같이, 상기 합착된 제 1 메인 유리 기판(102)상에 도전성 금속을 증착하고, 포토 및 식각 공정을 이용하여 도전성 금속을 패터닝하여 게이트 라인(도시되지 않음)과 상기 게이트 라인에서 일 방향으로 돌출되는 게이트 전극(104)을 형성한다.
여기서 상기 도전성 금속은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W) 등의 금속을 사용할 수 있다.
도 3c에 도시한 바와 같이, 상기 게이트 전극(104)이 형성된 제 1 메인 유리 기판(102)의 전면에 게이트 절연막(105)을 형성한다.
여기서 상기 게이트 절연막(105)은 실리콘 질화막(SiNx) 또는 실리콘 산화막(SiO2)을 사용할 수 있다.
이어, 상기 게이트 절연막(105)상에 반도체층(아몰퍼스실리콘 + 불순물 아몰퍼스실리콘)을 형성한다.
이어, 상기 반도체층을 포토 및 식각 공정으로 패터닝하여, 상기 게이트 전 극(104) 상부에 아일랜드(island) 형태를 갖는 액티브층(106)을 형성한다.
도 3d에 도시한 바와 같이, 상기 액티브층(106)을 포함한 제 1 메인 유리 기판(102)의 전면에 도전성 금속을 증착하고, 포토 및 식각 공정을 통해 상기 액티브층(106)의 양측에 소정간격으로 이격된 소오스 전극(107) 및 드레인 전극(108)을 각각 형성한다.
여기서, 상기 소오스 전극(107)은 게이트 라인과 직교하는 데이터 라인에 돌출된 부분이다.
도 3e에 도시한 바와 같이, 상기 제 1 메인 유리 기판(102)의 전면에 실리콘 산화막(SiOx)과 실리콘 질화막(SiNx)의 무기막이나 BCB(Benzo Cyclo Butene), 아크릴, 폴리이미드 등의 유기 절연 물질을 증착하여 보호막(109)을 형성하고, 상기 드레인 전극(108)의 표면이 소정부분 노출되도록 상기 보호막(109)을 선택적으로 제거하여 콘택홀(110)을 형성한다.
여기서 상기 보호막(109)은 상기 액티브층(106)을 외부의 습기나 이물질로부터 보호하기 위한 목적으로 형성한다.
도 3f에 도시한 바와 같이, 상기 콘택홀(110)을 포함한 제 1 메인 유리 기판(102)의 전면에 ITO(Indium Tin Oxide)나 IZO(Indium Zinc Oxide) 등의 투명 금속을 형성하고, 포토 및 식각 공정을 통해 상기 투명 금속을 선택적으로 제거하여 상기 드레인 전극(108)에 연결되는 화소전극(111)을 형성한다.
그리고 상기 화소전극(111)을 포함한 제 1 메인 유리 기판(102)의 전면에 배향막(도시되지 않음)을 형성한다.
도 3g에 도시한 바와 같이, 상기 보조 유리 기판(101)과 제 1 메인 유리 기판(102)을 절단기(cutter) 또는 레이저를 이용하여 분리한다.
이어, 상기 분리된 보조 유리 기판(101)상에 제 2 메인 유리 기판(칼라 필터 기판)(112)을 접합하고, 상기 제 2 메인 유리 기판(112)상에 빛의 누설을 방지하기 위한 블랙 매트릭스층(113) 및 색을 구현하기 위한 R,G,B의 컬러 필터 소자로 이루어진 컬러 필터층(114) 및 오버 코트층(115)을 차례로 적층하여 형성한다.
그리고 상기 오버코트층(115)을 포함한 제 2 메인 유리 기판(112)의 전면에 공통전극(116)을 형성하고, 상기 공통전극(116)상에 폴리이미드(polyimide)나 광배향성 물질로 이루어진 배향막(도시되지 않음)을 형성한다.
여기서 폴리이미드로 이루어진 배향막은 기계적인 러빙에 의해 배향방향이 결정되며, PVCN계 물질(polyvinylcinnamate based material)이나 폴리실록산계물질(polysiloxane based material)로 이루어진 광반응성 물질은 자외선과 같은 광의 조사에 의해 배향방향이 결정된다. 이때, 배향방향은 광의 조사방향이나 조사되는 광의 성질, 즉 편광방향 등에 의해 결정된다.
이어, 상기 보조 유리 기판(101)과 제 2 메인 유리 기판(112)을 분리하고, 상기 제 1 메인 유리 기판(102)과 제 2 메인 유리 기판(112)을 합착한 후 그 사이에 액정층을 형성한다. 이때 상기 보조 유리기판(101)은 다른 메인 유리기판에 접합시켜 재사용할 수 있다.
한편, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 공통전극(115)과 화소전극(111)을 제 1 메인 유리기판(102)상에 형성하는 것에도 적용 가능하다.
상기 공통전극(115)과 화소전극(111)은 상기 게이트 라인이나 데이터 라인과 동일층에 형성할 수 있으며, 상기 공통전극(115)은 데이터 라인과 동일층에 형성하고 상기 화소전극(111)은 상기 보호막(109)위에 형성할 수도 있다.
또한, 본 발명에서는 하나의 보조 유리기판(101)에 제 1 메인 유리기판(102) 또는 제 2 메인 유리기판(112)을 합착한 후 공정을 진행하였으나, 두 장의 보조 유리기판을 사용하여 한 장의 보조 유리기판은 제 1 메인 유리기판과 합착하고, 다른 한 장의 보조 유리기판은 제 2 메인 유리기판과 합착하여 공정을 진행할 수도 있다.
그리고 상기 두 장의 보조 유리기판을 사용하여 복수개의 패널하고, 제 1, 제 2 메인 유리기판 사이에 액정층을 형성한 후 각 패널을 절단할 때 보조 유리기판도 각 패널별로 같은 크기로 절단하고, 상기 제 1 메인 유리기판 및 제 2 메인 유리기판과 분리하여 폐기 처리를 할 수 있다.
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의한 액정표시장치의 제조방법은 다음과 같은 효과가 있다.
즉, 2장의 박형 유리 기판을 결합한 상태에서 공정을 진행함으로써 공정진행 중이나 카세트 등에서 기판의 휨 현상이나 깨짐 현상을 방지하여 전체적인 수율을 향상시킬 수 있다.

Claims (11)

  1. 보조 기판과 제 1 메인 기판의 외곽부를 가열하여 상기 보조 기판과 상기 제 1 메인 기판을 합착하는 단계;
    상기 제 1 메인 기판 상에 게이트 라인 및 데이터 라인을 구비한 박막트랜지스터 어레이를 형성하는 단계;
    상기 보조 기판과 상기 제 1 메인 기판을 분리하는 단계;
    분리된 상기 보조 기판과 제 2 메인 기판의 외곽부를 가열하여 상기 보조 기판과 상기 제 2 메인 기판을 합착하는 단계;
    상기 제 2 메인 기판 상에 블랙 매트릭스층 및 칼라 필터층을 구비한 칼라필터 어레이를 형성하는 단계;
    상기 보조 기판과 상기 제 2 메인 기판을 분리하는 단계; 및
    상기 제 1 메인 기판과 상기 제 2 메인 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 보조 기판과 상기 제 1 메인 기판 또는 상기 제 2 메인 기판을 접합하는 단계는 프로판 토치를 이용하는 것을 특징으로 액정표시장치의 제조방법.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 보조 기판과 상기 제 1 메인 기판 또는 상기 제 2 메인 기판을 분리하는 단계는 절단기를 이용하여 분리하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 보조 기판과 상기 제 1 메인 기판 또는 상기 제 2 메인 기판을 분리하는 단계는 레이저를 이용하여 분리하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 메인 기판 상에는 화소전극을 형성하고, 상기 제 2 메인 기판 상에는 공통전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 메인 기판 상에 화소전극과 공통전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  8. 제 1 보조 기판과 제 1 메인 기판을 합착하는 단계;
    상기 제 1 메인 기판 상에 게이트 라인 및 데이터 라인을 구비한 박막트랜지스터 어레이를 형성하는 단계;
    제 2 보조 기판과 제 2 메인 기판을 합착하는 단계;
    상기 제 2 메인 기판 상에 블랙 매트릭스층 및 칼라 필터층을 구비한 칼라필터 어레이를 형성하는 단계; 및
    상기 제 1 메인 기판과 상기 제 2 메인 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 제 1 보조 기판과 상기 제 1 메인 기판을 합착하는 단계 및 상기 제 2 보조 기판과 상기 제 2 메인 기판을 합착하는 단계는 기판들의 외곽부를 가열하여 합착하는 것을 특징으로 액정표시장치의 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 제 1 보조 기판과 상기 제 1 메인 기판을 합착하는 단계 및 상기 제 2 보조 기판과 상기 제 2 메인 기판을 합착하는 단계는 프로판 토치를 이용하여 기판들의 외곽부를 가열하는 것을 특징으로 액정표시장치의 제조방법.
  10. 삭제
  11. 제 8 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 보조 기판이 부착된 상기 제 1 메인 기판 및 상기 제 2 메인 기판을 각 패널단위로 절단한 후 상기 제 1, 제 2 보조기판을 분리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
KR1020020079241A 2002-12-12 2002-12-12 액정표시장치의 제조방법 KR100928481B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020079241A KR100928481B1 (ko) 2002-12-12 2002-12-12 액정표시장치의 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020079241A KR100928481B1 (ko) 2002-12-12 2002-12-12 액정표시장치의 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040051330A KR20040051330A (ko) 2004-06-18
KR100928481B1 true KR100928481B1 (ko) 2009-11-26

Family

ID=37345301

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020079241A KR100928481B1 (ko) 2002-12-12 2002-12-12 액정표시장치의 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100928481B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990085228A (ko) * 1998-05-15 1999-12-06 윤종용 초박형 기판 및 그 제조 방법
KR20000008338A (ko) * 1998-07-13 2000-02-07 윤종용 액정 표시 장치의 제조 방법
KR20000008808A (ko) * 1998-07-16 2000-02-15 윤종용 액정 표시 장치용 초박형 기판의 제조 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990085228A (ko) * 1998-05-15 1999-12-06 윤종용 초박형 기판 및 그 제조 방법
KR20000008338A (ko) * 1998-07-13 2000-02-07 윤종용 액정 표시 장치의 제조 방법
KR20000008808A (ko) * 1998-07-16 2000-02-15 윤종용 액정 표시 장치용 초박형 기판의 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20040051330A (ko) 2004-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101201304B1 (ko) 액정표시장치 및 그의 제조방법
JP4925030B2 (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
KR20050004236A (ko) 액정 표시 장치의 제조 방법
US10459265B2 (en) Display device
US8828758B2 (en) Method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device
US8446558B2 (en) Liquid crystal display panel and method for fabricating the same
JP2010072529A (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
WO2012114687A1 (ja) 電子機器及びその製造方法
JP2014157311A (ja) 表示装置および表示装置の製造方法
KR20070028307A (ko) 액정 표시 장치 및 액정 표시 장치의 제조 방법
KR100763169B1 (ko) 기판 흡착용 진공 척 구조
JP2017107158A (ja) 液晶表示パネル及びその製造方法
JP4648422B2 (ja) 表示素子の製造方法
WO2010097855A1 (ja) 表示パネルの製造方法
KR101980752B1 (ko) 박막트랜지스터, 액정표시소자 및 그 제조방법
KR100928481B1 (ko) 액정표시장치의 제조방법
JP2005084228A (ja) 液晶表示装置
JP4738097B2 (ja) 液晶表示装置およびその製造方法
JP2007052367A5 (ko)
JP3889487B2 (ja) 液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法
KR101641356B1 (ko) 액정 표시 패널의 제조 방법
US10551650B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal display device
KR100469976B1 (ko) 액정패널 및 그 제조방법
KR101830439B1 (ko) 액정표시장치 및 그의 제조방법
US20110043720A1 (en) Method for manufacturing display device and display device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120928

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130930

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141021

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151028

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161012

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171016

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181015

Year of fee payment: 10