KR100917570B1

KR100917570B1 - 이송제어장치

Info

Publication number: KR100917570B1
Application number: KR1020070104987A
Authority: KR
Inventors: 지용식
Original assignee: 주식회사 케이씨텍
Priority date: 2007-10-18
Filing date: 2007-10-18
Publication date: 2009-09-15
Also published as: KR20090039377A

Abstract

본 발명은 연속적인 이송작업이 이루어지는 다수의 컨베이어 이송장치들과, 이들을 구동시키기 위한 다수의 구동모터들과, 상기 구동모터들에 공급되는 구동전압을 제어하기 위한 D/A 유닛을 갖는 이송제어장치로서, 상기 D/A 유닛과 직렬 연결되고, 상기 D/A 유닛에서 출력되는 모터 구동용 아날로그 전압을 입력 받아, 이와 동일한 전압을 다수개의 출력 채널로 출력되도록 하는 아날로그 확장보드를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 아날로그 확장보드에 의하면, 수개의 출력 채널을 가지는 하나의 D/A 유닛 만을 준비하고, 여기에 필요한 만큼의 아날로그 확장보드를 직렬적으로 연결함으로써, 컨베이어와 같은 이송장치에 사용되는 다수의 모터를 안정적으로 구동할 수 있게 되는 효과를 갖는다.

컨베이어, 이송장치, 구동모터, D/A유닛

Description

이송제어장치{APPARATUS FOR MOVING CONTROL}

본 발명은 D/A 유닛에서 출력되는 모터 구동용 아날로그 전압을 입력 받아, 이와 동일한 전압을 다수개의 출력 채널로 분기시켜 출력하는 아날로그 확장보드에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이(FPD; flat panel display) 기판을 제조하기 위한 각 제조공정 간에 기판을 이송시키기 위한 컨베이어와 같은 이송장치가 사용된다.

이러한, 이송장치는 다수의 구동 모터가 사용되는데, 각각의 구동 모터는 별도의 모터 제어부에 연결되어 안정적인 구동전원을 공급받게 된다.

상기한 모터 제어부로서 도 1에서 보는 바와 같은 D/A 유닛(10)이 사용되고 있다. 상기한 D/A유닛(10)은 산업용 교류전기를 각종 회로 및 구동모터에 적합한 직류전기로 변환시키기 위한 D/A 변환기(11)가 탑재되며, 상기 D/A 변환기(11)를 통해 변환된 모터 구동용 아날로그 전압을 출력하기 위한 다수의 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4)을 구비하게 된다.

도 1에서는 4개의 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4)을 갖는 D/A 유닛(10)을 도 시하고 있는데, 상기 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4)은 보통 2~8개로 형성될 수도 있다.

상기 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4) 각각은 1개씩의 구동 모터(M1, M2, M3, M4)와 연결되어 모터 구동용 아날로그 전압을 공급시키게 된다. 즉 4개의 출력 채널을 갖는 D/A유닛(10)을 이용해 4개의 구동 모터(M1, M2, M3, M4)를 제어할 수 있게 되는 것이다.

상기 D/A 유닛(10)은 PLC(Programmable Logic Controller)(1)에 연결되어 제어신호를 입력받게 된다.

그러나, 2~8개 이상의 구동 모터를 사용하는 이송장치의 경우에는 필요에 따라 다수의 D/A 유닛(10)을 계속해서 늘려가야 하는데, 각각의 D/A 유닛(10)을 PLC(1)에 개별 연결하기 때문에 구조가 복잡해지는 문제가 있었고, 고가인 D/A 유닛(10)의 사용수량을 늘리는데 따른 비용 부담의 문제가 있었다.

종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 수개의 출력 채널을 가지는 하나의 D/A 유닛에 필요한 만큼의 아날로그 확장보드가 직렬적으로 연결되도록 하는 이송제어장치를 제공하는데 있다.

여기서, 상기 D/A 유닛은 교류를 직류로 변환시키기 위한 D/A 변환기가 탑재되고, 상기 D/A 변환기를 통해 변환된 모터 구동용 아날로그 전압을 각 모터에 출력하기 위한 다수의 출력 채널을 구비하며, 상기 D/A 변환기에 교류전기를 입력하기 위한 입력단자 및 D/A 변환기로부터의 모터 구동용 아날로그 전압을 아날로그 확장보드로 공급시키기 위한 출력단자를 구비하는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 아날로그 확장보드는 D/A 유닛으로부터 아날로그 전압을 입력 받는 입력단자; 상기 입력단자를 통해 공급받은 아날로그 전압을 증폭시키기 위한 증폭부; 상기 증폭부를 통해 증폭된 아날로그 전압을 출력하기 위한 다수의 출력 채널; 및 상기 아날로그 전압을 또 다른 아날로그 확장보드로 공급시키기 위한 출력단자를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이때, 상기 아날로그 확장보드의 출력 채널마다 증폭부를 설치하는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 아날로그 확장보드는 또 다른 아날로그 확장보드와 연속적으로 직렬 연결됨으로써 출력 채널이 확장되도록 한다.

그리고, 상기 모터 구동용 아날로그 전압은 1∼5볼트인 것이 바람직하다.

상기 D/A 유닛 및 아날로그 확장보드에 연결된 구동 모터들이 동일한 구동전압과 동일한 회전속도로 제어되도록 하는 것이 바람직하다.

그리고, 본 발명은 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이 기판을 제조함에 있어 각 제조공정 간에 기판을 이송시키기 위한 기판 이송장치를 구비하고, 상기 기판이송장치들을 구동시키기 위한 다수의 구동모터들에 공급되는 구동전압을 제어하기 위한 D/A 유닛을 갖는 이송제어장치로서, 상기 D/A유닛과 직렬 연결되고, 상기 D/A유닛에서 출력되는 모터구동용 아날로그 전압을 입력받아, 이와 동일한 전압을 다수개의 출력 채널로 출력시키는 아날로그 확장보드를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 기판이 재치되는 로딩부; 상기 기판 표면을 습식처리하는 처리부; 상기 습식처리된 기판을 건조시키는 건조부; 상기 건조된 기판을 외부로 반출하는 언로딩부; 상기 각 공정 간에 기판을 이송시키는 이송장치들로 이루어진 이송부; 상기 이송장치들을 구동시키기 위한 다수의 구동모터들에 공급되는 구동전압을 제어하기 위한 D/A 유닛을 갖는 이송제어부; 및상기 D/A유닛과 직렬 연결되고, 상기 D/A유닛에서 출력되는 모터구동용 아날로그 전압을 입력받아, 이와 동일한 전압을 다수개의 출력 채널로 출력시키는 아날로그 확장보드; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 아날로그 확장보드는 하나의 D/A 유닛 만으로도 컨베이어와 같은 이송장치에 사용되는 다수의 모터를 안정적으로 제어하거나 구동시킬 수 있게 되어 구조가 간편하고, 제어장치의 설비비용이 저렴한 효과를 갖는다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 자세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 따른 아날로그 확장보드를 이용한 이송제어장치의 구조가도시된 개략도이다.

동 도면에서 보는 바와 같은 본 발명의 이송제어장치는 크게 D/A 유닛(100)과 아날로그 확장보드(200)를 포함한다.

상기 D/A 유닛(100)은 산업용 전력 즉 교류전기를 입력 받아 회로 및 모터 구동에 적합한 1~5볼트의 직류전기로 출력하게 된다.

상기 D/A 유닛(100)은 교류를 직류로 변환시키기 위한 D/A 변환기(130)가 탑재되고, 상기 D/A 변환기(130)를 통해 변환된 모터 구동용 아날로그 전압을 각 모터(M1, M2, M3, M4)에 출력하기 위한 다수의 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4)을 구비하며, 상기 D/A 변환기(130)에 교류전기를 입력하기 위한 입력단자(110) 및 D/A 변환기(130)로부터의 모터 구동용 아날로그 전압을 아날로그 확장보드(200)로 공급시키기 위한 출력단자(120)를 구비한다.

이때, 상기 D/A 유닛(100)의 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4) 개수를 2~32개로 구성할 수 있는데, 도 2는 4출력 채널 D/A 유닛(100)의 예를 도시하고 있다.

동 도면에서의 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4)은 구동용 모터(M1, M2, M3, M4)와 1대1로 대응되어 연결되고, 각각의 모터(M1, M2, M3, M4)는 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4)을 통해 1~5볼트의 직류를 공급받게 된다.

상기 아날로그 확장보드(200)는 D/A 유닛(100)과 직렬 연결되어 상기 D/A 유닛(100)에서 출력되는 모터 구동용 아날로그 전압을 입력 받아 다수개의 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4....CHn)로 분기시켜 구동용 모터(M1, M2, M3, M4….Mn)에 동일한 전압으로 공급하게 된다.

도 2에서 보는 바와 같은, 아날로그 확장보드(200)는 D/A 유닛(100)의 출력단자(120)에 접속하여 아날로그 전압(1~5볼트)을 입력 받는 입력단자(210)를 형성하고, 상기 입력단자(210)를 통해 공급받은 아날로그 전압을 증폭시키기 위한 증폭부(230)를 형성하며, 상기 증폭부(230)를 통해 증폭된 아날로그 전압을 출력하기 위한 다수의 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4....CHn)을 형성한다.

또한, 상기 아날로그 전압을 또 다른 아날로그 확장보드(200)로 공급시키기 위한 출력단자(220)를 형성하는데, 이러한 출력단자(220)는 증폭부(230)를 거치지 않고 입력단자(210)로부터 직접 아날로그 전압을 공급받도록 할 수도 있다.

상기 증폭부(230)는 입력단자(210)를 통해 공급된 아날로그 전압을 증폭시켜 전압강하 없이 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4....CHn)을 통해 구동용 모터(M1, M2, M3, M4….Mn)에 공급되도록 한다. 이러한 증폭부(230)는 각 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4....CHn) 마다 하나씩을 설치할 수 있다. 또한, 각각의 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4....CHn)에는 전력 공급상태를 확인하기 위한 LED를 설치할 수 있다.

이러한, 아날로그 확장보드(200)는 또 다른 아날로그 확장보드(200)와 연속적으로 직렬 연결됨으로써, 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4....CHn)을 무수히 확장시켜갈 수 있다.

이와 같은 본 발명의 이송제어장치는 D/A 유닛(100) 및 아날로그 확장보드(200)에 연결된 다수의 구동 모터(M1, M2, M3, M4….Mn)들을 동일한 구동전압과 동일한 회전속도로 제어할 수 있다.

또한, 본 발명의 이송제어장치를 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이(FPD; flat panel display) 기판을 제조하기 위한 각 제조공정 간에 기판을 이송시키기 위한 기판이송장치에 적용할 경우, 다수의 모터를 안정적으로 제어하거나 구동시킬 수 있게 되어 생산품질을 향상시키는 한편, 저렴한 비용으로 제어장치를 설비할 수 있게 된다.

이때, 상기 기판을 제조장치는 도면으로 도시되지는 않았지만 공정순서에 따라, 기판이 재치되는 로딩부(미도시)와, 상기 기판 표면을 습식처리하는 처리부(미도시)와, 상기 습식처리된 기판을 건조시키는 건조부(미도시)와, 상기 건조된 기판을 외부로 반출하는 언로딩부(미도시)를 포함하게 된다.

상기한 바와 같은 구성으로 이루어지는 본 발명에 따른 이송제어장치는 PLC(Programmable Logic Controller)(1)에 1개의 D/A 유닛(100)이 연결되어 구동신호를 입력 받는다.

이때, 상기 D/A 유닛(100)은 D/A 변환기(130)에서 산업용 교류를 1~5볼트의 직류로 변환시켜 다수의 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4)을 통해 구동 모터(M1, M2, M3, M4)에 공급되도록 한다.

상기한 D/A 유닛(100)의 출력단자(120)에는 아날로그 확장보드(200)가 직렬 연결되어 1~5볼트의 아날로그 전압을 입력 받아 이를 다수의 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4)로 분기시켜 공급함으로써, 보다 많은 구동 모터(M1, M2, M3, M4)를 제어할 수 있도록 한다.

이때, 상기 아날로그 확장보드(200)에 입력되는 아날로그 전압은 여러 가지 회로 및 전기부품을 거치면서 전압 강하가 이루어지게 되는데, 이때의 전압을 다시 승압시키기 위한 증폭부(230)를 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4….CHn) 앞쪽에 형성시켜 구동 모터(M1, M2, M3, M4….Mn)에 D/A 유닛(100)에서와 동일한 1~5볼트의 직류 전원이 공급되도록 한다.

상기 아날로그 확장보드(200)에 형성되는 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4….CHn)은 2~32개가 형성될 수 있는데, 상기 출력 채널(CH1, CH2, CH3, CH4….CHn)의 수보다 많은 구동 모터(M1, M2, M3, M4….Mn)를 제어하기 위해서는 상기 아날로그 확장보드(200)의 출력단자(220)에 또 다른 아날로그 확장보드(200)를 직렬 연결시키게 된다.

상기와 같은 본 발명은 저렴한 가격으로 공급할 수 있는 아날로그 확장보드(200)를 D/A 유닛(100)에 직렬 연결시켜 컨베이어와 같은 이송장치에 설치되는 다수의 구동 모터(M1, M2, M3, M4….Mn)를 안정적으로 구동 및 제어시키게 된다.

도 1은 종래기술에 따른 이송제어장치 구조가 도시된 개략도.

도 2는 본 발명에 따른 아날로그 확장보드를 이용한 이송제어장치 구조가 도시된 개략도.

Claims

연속적인 이송작업이 이루어지는 다수의 컨베이어 이송장치들과, 이들을 구동시키기 위한 다수의 구동모터들과, 상기 구동모터들에 공급되는 구동전압을 제어하기 위한 D/A 유닛을 갖는 이송제어장치로서,

상기 D/A 유닛과 직렬 연결되고, 상기 D/A 유닛에서 출력되는 모터 구동용 아날로그 전압을 입력 받아, 이와 동일한 전압을 다수개의 출력 채널로 출력되도록 하는 아날로그 확장보드를 구비하는 것을 특징으로 이송제어장치.
제 1항에 있어서,

상기 D/A 유닛은 교류를 직류로 변환시키기 위한 D/A 변환기가 탑재되고, 상기 D/A 변환기를 통해 변환된 모터 구동용 아날로그 전압을 각 모터에 출력하기 위한 다수의 출력 채널을 구비하며, 상기 D/A 변환기에 교류전기를 입력하기 위한 입력단자 및 D/A 변환기로부터의 모터 구동용 아날로그 전압을 아날로그 확장보드로 공급시키기 위한 출력단자를 구비하는 것을 특징으로 하는 이송제어장치.
제 1항에 있어서,

상기 아날로그 확장보드는,

D/A 유닛으로부터 아날로그 전압을 입력 받는 입력단자;

상기 입력단자를 통해 공급받은 아날로그 전압을 증폭시키기 위한 증폭부;

상기 증폭부를 통해 증폭된 아날로그 전압을 출력하기 위한 다수의 출력 채널; 및

상기 아날로그 전압을 또 다른 아날로그 확장보드로 공급시키기 위한 출력단자;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송제어장치.
제 1항에 있어서,

상기 아날로그 확장보드의 출력 채널마다 증폭부를 설치하는 것을 특징으로 하는 이송제어장치.
제 1항에 있어서,

상기 아날로그 확장보드에 출력 채널의 작동상태를 확인하기 위한 LED를 설치하는 것을 특징으로 하는 이송제어장치.
제 1항에 있어서,

상기 아날로그 확장보드는 또 다른 아날로그 확장보드와 연속적으로 직렬 연결됨으로써 출력 채널이 확장되도록 하는 것을 특징으로 하는 이송제어장치.
제 1항에 있어서,

상기 모터 구동용 아날로그 전압이 1∼5볼트인 것을 특징으로 하는 이송제어장치.
제 1항에 있어서,

상기 D/A 유닛 및 아날로그 확장보드에 연결된 구동 모터들이 동일한 구동전압과 동일한 회전속도로 제어되는 것을 특징으로 하는 이송제어장치.
반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이 기판을 제조함에 있어 각 제조공정 간에 기판을 이송시키기 위한 기판 이송장치를 구비하고, 상기 기판이송장치들을 구동시키기 위한 다수의 구동모터들에 공급되는 구동전압을 제어하기 위한 D/A 유닛을 갖는 이송제어장치로서,

상기 D/A유닛과 직렬 연결되고, 상기 D/A유닛에서 출력되는 모터구동용 아날로그 전압을 입력받아, 이와 동일한 전압을 다수개의 출력 채널로 출력시키는 아날로그 확장보드를 구비하는 것을 특징으로 하는 이송제어장치.
기판이 재치되는 로딩부;

상기 기판 표면을 습식처리하는 처리부;

상기 습식처리된 기판을 건조시키는 건조부;

상기 건조된 기판을 외부로 반출하는 언로딩부;

상기 각 공정 간에 기판을 이송시키는 이송장치들로 이루어진 이송부;

상기 이송장치들을 구동시키기 위한 다수의 구동모터들에 공급되는 구동전압을 제어하기 위한 D/A 유닛을 갖는 이송제어부; 및상기 D/A유닛과 직렬 연결되고, 상기 D/A유닛에서 출력되는 모터구동용 아날로그 전압을 입력받아, 이와 동일한 전압을 다수개의 출력 채널로 출력시키는 아날로그 확장보드;

를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송제어장치.