KR100916986B1 - 알카리 현상액의 농도측정방법 및 현상액 조제방법 - Google Patents
알카리 현상액의 농도측정방법 및 현상액 조제방법 Download PDFInfo
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Abstract
알카리 현상성분을 함유하는 현상액의 농도를 정확하게 컨트롤하여, 정확하고 또한 효율적인 현상공정을 달성하기 위한 현상액의 농도측정기술을 제공한다.
알카리 현상성분을 함유하는 현상액의 농도측정시에, 현상액중의 유리 알카리 현상성분 농도를 측정하게 한다.
Description
본 발명은, 반도체 디바이스, 액정디스플레이, 프린트기판 등의 전자부품 등의 제조공정 등에서 사용하는 포토레지스트용 알카리 현상액, 그 현상폐액 또는 그 재생액의 농도측정, 농도관리, 회수 혹은 재생방법, 및 농도측정장치 등에 관한 것이다.
반도체 디바이스, 액정디스플레이, 프린트기판 등의 전자부품 등의 제조공정에 있어서는, 포토리소그래피공정이 실시되는 것이 일반적이다. 포토리소그래피공정은, 웨이퍼나 유리기판 등의 기판상에 포토레지스트의 피막을 형성하고, 마스터패턴 등을 사용하여 그 소정 부분에 빛 등을 조사하여, 현상액으로 현상함으로써 미세한 패턴을 형성하는 공정이다. 여기서, 포토레지스트류는, 노광부분이 현상액에 대하여 가용화되는 포지티브 포토레지스트와, 역으로 노광부분이 현상액에 대하여 불용화되는 네가티브 포토레지스트로 크게 구별된다. 반도체 디바이스나 액정디스플레이 등의 전자부품의 제조분야에서는 주로 포지티브 포토레지스트가 사용되 고, 그 포지티브 포토레지스트용 현상액으로서는 알카리 현상액이 사용되고 있다. 또, 네가티브 포토레지스트에 있어서도 알카리 현상액이 사용되고 있는 경우도 있다.
알카리 현상액의 알카리 현상성분으로서는, 무기알카리, 유기알카리 모두가 사용되지만, 상기 반도체, 액정, 프린트기판 등의 전자부품의 제조공정 등에서는, 수산화 테트라알킬암모늄(테트라알킬암모늄히드록시드) 등의 유기알카리를 사용한 알카리 현상액이 통상 사용되고 있다.
또, 알카리 현상액은, 공기와 접촉함으로써 탄산가스가 융합되면, 상기 알카리 현상성분을 구성하는 수산화물 이온(히드록시드이온)이 소모되고, 예를 들면, 그 상대이온인 알카리 양이온은 탄산수소염이나 탄산염(이하, 탄산계 염류라고도 함)을 형성한다. 알카리 현상성분은, 수산화물 이온과 알카리 양이온이 상대이온을 형성하여 현상액중에서 유리되어 있는 상태(히드로옥사이드의 상태)에서 현상활성을 갖고 있다. 이 때문에, 탄산가스의 융합에 의한 탄산계 염류의 생성에 의해, 현상활성은 감소하게 된다. 알카리 현상액은, 반도체 제조공정에 공급된 시점에서 이미 약간량의 탄산계 염류를 함유하고 있는 것이 많다. 또, 알카리 현상액은 반복사용을 거침에 따라, 서서히 탄산가스가 용해되어 가기 때문에, 탄산계 염류의 농도가 증가하는 경향이 있다.
근래, LSI나 LCD는 미세화, 고집적화가 진행되고 있음과 아울러, 가공정밀도와 생산효율의 관점에서, 현상공정에서 사용하는 포토레지스트의 현상액 농도를 정확하게 제어하여, 미세패턴을 안정되고 또한 효율적으로 현상하는 것에 대한 요구 가 높아지고 있다.
반도체 디바이스나 액정디스플레이 등의 제조공정에서 사용되는 현상액은 알카리 현상성분이 2.38wt%의 농도로 사용하면 가장 효율적으로 현상되는 것을 알고 있다. 이 때문에, 이 농도의 ±0.002wt%정도의 범위에서 고정밀도로 희석조정되어 사용하는 것이 시도되고 있다.
통상, 현상공정에 공급하는 알카리 현상액, 알카리 현상폐액 및 재생 알카리 현상액중의 현상성분, 예컨대 TAAH 등의 알카리성분은, 그 농도 조제공정에 있어서, pH적정장치, 전위차 적정장치, 도전율계, 초음파 농도계 등의 측정수단에 의해서 측정된다. 그중에서도, 도전율계나 초음파 농도계는 연속계측에 바람직하기 때문에 널리 사용되고 있다.
그러나, 고성능인 농도측정수단을 사용하였다고 해도, 알카리 현상액의 농도제어는 현실적으로는 곤란하였다.
즉, 탄산계 염류를 함유한 알카리 현상액에 대하여, 적정 등에 의해 모든 현상성분 농도를 측정하고, 그 농도에 기초하여 농도관리에 사용하는 도전율계나 초음파 농도계를 교정하면, 현상공정에는 목적으로 하는 농도보다 낮은 농도의 히드록시드 농도의 알카리 현상액이 공급되는 경향이 있었다.
또, 번잡한 적정방법에 의해 유리의 현상성분(히드록시드) 농도를 측정하고, 이 농도에 기초하여 도전율계를 교정하여도, 결과적으로 이 도전율로 공정을 컨트롤하는 결과, 높은 히드록시드 농도로 현상되는 경향이 있었다.
그래서, 본 발명에서는, 알카리 현상성분을 함유하는 현상액의 농도를 정확하게 컨트롤하여, 정확하고 또한 효율적인 현상공정을 달성하기 위한 현상액의 농도측정기술을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그리고, 알카리 현상성분을 함유하는 현상액의 농도관리, 회수 혹은 재생기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명자들은, 알카리 현상액의 농도제어의 곤란성에 대하여 검토하여 보았다.
그 결과, 알카리 현상액의 농도측정에 있어서는, 종래 탄산계 염류의 존재에 대해서는 허용범위 내이고 계측상 문제없는 것으로 되어 있었지만, 금회의 기술 채용에 의해 처음으로, 이들 탄산계 염류가 현상활성을 갖는 유리 알카리 현상성분의 정확한 농도측정을 의외로 크게 방해하고 있는 점을 발견하였다.
즉, 알카리 현상액의 농도제어의 곤란성의 원인이, 알카리 현상액이 입수의 시점에서 이미 알카리 현상성분의 일부가 탄산계 염류로 변화되어 있는 점, 그리고 사용의 경과에 의해 탄산계 염류가 증가하는 점, 또한 이들 탄산계 염류를 함유하는 모든 현상성분 농도를 유효한 현상성분 농도로서 측정하고 있던 점에 있는 것을 알았다.
그리고, 현상공정으로의 공급에 이르기까지의 현상액의 농도조정공정, 회수공정(농축공정을 포함함), 재생공정(희석공정) 등의 각 공정에 있어서, 현상액중의 히드록시드 등의 유리 현상성분 농도를 측정하는 것, 그리고 그 방법에 대하여 검토한 결과, 각종 피검액중의 모든 현상성분 농도를 측정함과 아울러, 탄산계 염류 농도를 측정함으로써, 탄산계 염류의 영향을 배제하여, 정확하게 유리 현상성분 농도를 측정할 수 있는 것을 발견하고, 이것에 의해 상기한 과제를 해결할 수 있는 것을 찾아내어 본 발명을 완성하였다.
즉, 본 발명에 의하면, 이하의 수단이 제공된다.
(1) 알카리 현상성분을 함유하는 현상액의 농도측정방법으로서, 현상액중의 유리 알카리 현상성분 농도를 측정하는 공정을 구비하는 방법.
(2) 알카리 현상성분을 함유하는 현상액의 농도측정방법으로서, 현상액중의 모든 알카리 현상성분의 농도를 측정하는 공정과, 현상액중의 탄산계 염류의 농도를 측정하는 공정을 구비하는 방법.
(3) 상기 모든 알카리 현상성분 농도를, 중화적정, 전위차 적정, 도전율 측정수단, 위상차 측정수단, 및 초음파 전파속도 측정수단중 어느 하나를 사용해서 측정하는 (2)기재의 방법.
(4) 상기 탄산계 염류 농도를 이산화탄소 측정수단을 사용하여 측정하는, (2) 또는 (3)에 기재의 방법.
(5) 상기 이산화탄소 측정수단은, 적외선 탄산가스 검출수단을 포함하는, (4)기재의 방법.
(6) (1)∼(5)중 어느 하나에 기재된 현상액의 농도측정방법을 실시하는 공정을 구비한 현상액의 조제방법.
(7) (1)∼(5)중 어느 하나에 기재된 현상액의 농도측정방법을 실시하는 공정을 구비한 현상폐액의 회수방법.
(8) (1)∼(5)중 어느 하나에 기재된 현상액의 농도측정방법을 실시하는 공정을 구비한 현상폐액의 재생방법.
(9) 알카리 현상성분을 함유하는 현상액의 농도관리방법으로서, 유리 알카리 현상성분 농도를 유효알카리 현상성분 농도로 하는 방법.
(10) 알카리 현상성분을 함유하는 알카리액의 농도관리방법으로서, 이하의 식(1)에 의해서 구해지는 유효알카리 현상성분 농도를 사용하여 현상액을 농도관리하는 방법.
유효알카리 현상성분 농도=모든 알카리 현상성분 농도-탄산계 염류를 구성하는 알카리 현상성분 농도 ……식(1)
(11) 알카리 현상성분을 함유하는 현상액의 농도측정장치로서, 현상액중의 유리 알카리 현상성분 농도를 측정하는 수단, 또는 현상액중의 모든 알카리 현상성분의 농도를 측정하는 수단 및 현상액중의 탄산계 염류의 농도를 측정하는 수단을 구비하는 장치.
(12) 알카리 현상성분을 함유하는 현상폐액의 재생장치로서, 현상액중의 유리 알카리 현상성분 농도를 측정하는 수단, 또는 현상액중의 모든 알카리 현상성분의 농도를 측정하는 수단 및 현상액중의 탄산계 염류의 농도를 측정하는 수단을 구비하는 장치.
이들 발명에 의하면, 유리 현상성분 농도, 혹은 모든 현상성분 농도와 탄산계 염류 농도를 측정함으로써, 현상활성을 발휘할 수 있는 현상성분을 소정의 농도로 함유한 현상액을 조제할 수 있다. 이때문에, 현상공정에 정확하게 농도 컨트롤된 알카리 현상액을 공급할 수 있게 된다. 그 결과, 정확하고 또한 효율이 좋은 현상공정을 실시할 수 있다.
또, 이들 발명에 의하면, 유리 현상성분 농도, 혹은 모든 현상성분 농도와 탄산계 염류 농도를 측정함으로써, 알카리 현상성분을 함유하는 현상액이 갖는 현상활성을 검출할 수 있게 된다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 상세하게 설명한다.
본 발명에 관한 알카리 현상성분을 함유하는 현상액의 농도 측정기술은, 현상액중의 유리 알카리 현상성분 농도를 측정하는 것, 혹은 현상액중의 모든 알카리 현상성분의 농도 및 현상액중의 탄산계 염류의 농도를 측정하는 것에 있다.
그리고, 이 농도측정기술, 즉 농도측정방법 및 농도측정장치를 사용함으로써 현상액의 농도조정(희석) 혹은 조제, 현상폐액의 회수 또는 재생기술을 달성할 수 있다.
(알카리 현상성분)
알카리 현상성분은, 각종 전자부품의 제조 등의 때에 사용되는 유기알카리이면 특별히 한정하지 않지만, 바람직하게는, 테트라알킬암모늄하이드로옥사이드(TAAH)이다. TAAH로서는, 예컨대 수산화 테트라메틸암모늄(TMAH), 수산화 테트라에틸암모늄, 수산화 테트라프로필암모늄, 수산화 테트라부틸암모늄, 수산화 메틸트리에틸암모늄, 수산화 트리메틸에틸암모늄, 수산화 디메틸디에틸암모늄, 수산화 트리메틸(2-히드록시에틸)암모늄(즉, 콜린), 수산화 트리에틸(2-히드록시에틸)암모늄, 수산화 디메틸디(2-히드록시에틸)암모늄, 수산화 디에틸디(2-히드록시에틸)암모늄, 수산화 메틸트리(2-히드록시에틸)암모늄, 수산화 에틸트리(2-히드록시에틸)암모늄, 수산화 테트라(2-히드록시에틸)암모늄 등을 열거할 수 있다. 특히, 수산화 테트라메틸알킬암모늄이나 수산화 테트라에틸알킬암모늄이다.
이들 알카리 현상성분은 하이드로옥사이드, 즉 수산화물 이온과 상대이온을 이루고, 현상액중에 있어서 대부분이 유리된 상태로 함유되어 있다. 이와 같은 하이드로옥사이드 혹은 유리상태가, 알카리 현상성분이 현상활성을 갖는 상태이다. 한편, 탄산이온 혹은 탄산수소이온과 같은 약산과 염을 만들고 있는 상태에서는, 동시에 수산화물 이온이 소비되어 있어, 본래의 현상활성을 발휘할 수 없다. 그러나, 이러한 염이라도, 중화적정에 있어서 반응하고, 도전율을 가지며, 또 초음파 전파속도 등에도 기여하고 있다.
본 명세서에 있어서는, 유리 알카리 현상성분이란, 현상액중에서 유리된 상태로 함유되는 알카리 현상성분 혹은 하이드로옥사이드로서 함유되는 알카리 현상성분을 말한다. 모든 알카리 현상성분이란, 현상액중에서 하이드로옥사이드 이온이나 다른 음이온과 쌍을 이룰 수 있고, 유리된 상태에 있어서는 현상활성을 갖는 성분을 말하는 것으로 한다. 구체적으로는, 모든 알카리 현상성분은 유리 알카리 현상성분과 하이드로옥사이드 이온 이외의 음이온과 쌍을 이루는 알카리 현상성분(전형적으로는 탄산계 염류의 형태이다)으로 구성된다. 모든 알카리 현상성분의 양은, 이들 알카리 현상성분의 총합이다.
특히, 현상원액을 희석하여 소정 농도의 현상액을 조제하는 공정, 현상폐액을 재생사용하기 전의 희석 등의 농도조정공정에 있어서는, 하이드로옥사이드 이온 이외에 존재할 수 있는 주요 음이온은 탄산이온이나 탄산수소이온 등의 탄산계 이온이다. 따라서, 모든 알카리 현상성분량은, 유리 알카리 현상성분과 탄산계 염류 를 구성하는 알카리 현상성분의 총합으로서 구할 수 있다.
(유리 알카리 현상성분)
유리 알카리 현상성분의 농도는 직접적으로 측정하는 것은 곤란하다.
유리 알카리 현상성분은 모든 알카리 현상성분과 탄산계 염류의 농도를 각각 측정함으로써 얻을 수 있게 된다. 이 경우, 모든 알카리 현상성분의 농도는, 예를 들면 pH(중화)적정장치, 전위차 적정장치, 도전율계, 위상차 농도계, 초음파 농도계의 각종 농도측정수단에 의해 측정할 수 있다. 절대적 정량법이고, 일반적으로 시험방법으로서 확립되어 있는 점, 그리고 정밀도의 점에서 pH(중화)적정, 전위차 적정 등의 적정수단을 사용하는 것이 바람직하다.
종래, 모든 알카리 현상성분 및 유리 알카리 현상성분은, 중화적정에 의해 동시에 구하고 있었다. 즉, 통상의 중화적정에 의해 모든 알카리 현상성분을, 또 염화바륨을 첨가하여 탄산바륨으로서 탄산계 이온을 제거함으로써, 유리 알카리 현상성분만을 각각 염산으로 적정하는 것으로 정량할 수 있다.
이 모든 알카리 현상성분과 유리 알카리 현상성분의 적정은 동일 용액으로 연속하여서도 별개의 용액으로 나누어서라도 어느 것이라도 가능하다.
그런데, 이 방법에서는, 공기중의 탄산가스가 적정 조작중에 알카리 현상성분과 결합하여, 유리 알카리성분 농도가 실제보다 낮게 나오는 경향이 있고, 엄밀한 측정에서는 무시할 수 없게 된다.
그래서, 본 발명에서는 보다 정밀도가 높은 정량을 하기 위하여, 모든 알카리 현상성분은 적정법 등으로 구하는 한편, 공기중의 이산화탄소의 영향을 받지 않 는(혹은 받기 어려운) 수단 혹은 공기중의 이산화탄소의 영향을 받지 않는(혹은 받기 어려운) 상태에서의 측정에 의해 탄산성분의 농도를 구하고, 모든 알카리 현상성분으로부터 따로 구한 탄산염 성분의 농도를 빼서 유리 알카리성분을 구하는 것으로 하여, 종래의 문제를 해결하고 있다. 또한, 적정의 종점결정에는, pH, 전위차, 지시약 등이 있지만, 본 발명에 있어서는 탄산염의 당량점에 맞는 종점을 전위차 적정으로 결정하는 방법을 사용하는 것이 바람직하다.
또, 라인상에서의 연속계측이 용이하다는 관점에서는, 도전율계, 초음파 농도계 및 위상차 농도계를 사용하는 것도 가능하다. 도전율계, 위상차 농도계, 초음파 농도계 등의 측정수단을 사용하는 경우에는, 다른 중화적정, 전위차 적정 등의 농도측정수단에 의해 측정된 유리 알카리 현상성분의 표준액에 의한 교정과 탄산계 염류로서의 알카리 현상성분의 표준액에 의한 교정을 행하여 둘 필요가 있다. 이와 같은 교정에 의해, 적어도 제어하고자 하는 모든 알카리 현상성분의 농도영역 내에서, 도전율계나 초음파 농도계에 의해서 계측되는 데이터와, 각각의 농도와의 관계를 정하고, 계측데이터를 모든 알카리 현상성분(유리 알카리 현상성분과 탄산계 염류의 알카리 현상성분의 합)의 농도에 대응시킬 수 있다.
본 발명자들에 의하면, 예를 들면 모든 알카리 현상성분 혹은 유리 알카리 현상성분 농도가 2.38wt% 근방의 도전율에 관해서는, 탄산계 염류는 유리 알카리 현상성분이 갖는 도전율 감도의 대략 그 절반의 감도를 갖고 있는 것을 알았다. 즉, 농도 A의 유리 알카리 현상성분과 농도 B의 탄산계 염류 알카리 현상성분을 함유하고 있는 경우, 도전율은 농도 A와 농도 0.5B의 합에 비례하는 것을 알았다.
한편, 탄산계 염류의 농도는, 상술한 바와 같이, 공기중의 이산화탄소의 영향을 받지 않는(받기 어려운) 수단, 혹은 공기중의 이산화탄소의 영향을 받지 않은(받기 어려운) 상태에서 측정하는 것이 바람직하다. 공기중의 이산화탄소의 영향을 받지 않는(받기 어려운) 수단으로서는, 현상액중의 무기탄소량 혹은 이산화탄소량을 직접 측정하는 방법을 들 수 있다. 이들 수단은, 일반적으로 측정시간이 짧거나 혹은 측정분위기가 제한되어 있기 때문에, 측정시점에서의 현상액중의 이산화탄소량을 정확하게 측정할 수 있다. 무기탄소 혹은 이산화탄소의 측정수단으로서는, 각종 공지의 수단을 채용할 수 있지만, 그중에서도, 일반적으로 시판되고 있는 탄산가스센서(비분산 적외탄산가스 농도계) 등을 사용하는 것이 바람직하다. 그 센서는, 피검액에 대하여 산을 첨가한 CO2를 발생시키는 수단과, 발생한 CO2를 적외선으로 검출하는 수단을 구비하고 있다.
CO2 발생수단은, 인산 등의 무기강산 용액이 수용된 가스발생셀과, 피검액을 셀에 공급하는 수단과, 셀 내의 무기강산에 아르곤 등의 불활성가스나 공기 등의 캐리어가스를 도입하는 수단과, 셀의 헤드스페이스가스를 적외선 검출수단으로 이송하는 수단을 구비하고 있다.
이 CO2 발생수단에 있어서, 피검액이 셀 내에 도입되면, 무기강산 용액중에 있어서 탄산계 염류는 이온으로부터 분자상의 CO2로 되어 셀의 헤드스페이스로 이동한다. 또한 캐리어가스와 함께, 이송수단을 통하여 적외선 검출수단으로 이송된다. 적외선 검출수단에는 CO2의 특성흡수파수 영역에 따른 적외선이 조사되어, 흡수강도로부터 CO2 농도가 측정된다.
현상액중의 무기탄산 혹은 CO2의 농도가, 무기탄산염류에 유래하는 것이라 생각할 수 있기 때문에, 이들 농도로부터 알카리 현상성분의 탄산계 염류의 농도를 측정할 수 있다.
모든 알카리 현상성분의 농도와 탄산계 염류의 농도가 구해지면, 유리 알카리 현상성분의 농도를 구할 수 있다. 상술한 바와 같이, 모든 알카리 현상성분의 농도로부터 탄산계 염류의 농도를 뺌으로써, 유리 알카리 현상성분의 농도를 구할 수 있다. 또, 도전율계, 위상차 농도계, 초음파 농도계 등에 의한 경우에는, 미리 구하여 둔 유리 알카리 현상성분 농도와 탄산계 염류의 농도와 모든 알카리 현상성분에 상당하는 계측데이터의 관계식에, 탄산계 염류의 농도와 이들 계측값을 도입함으로써, 유리 알카리 현상성분 농도를 얻을 수 있다.
이러한 농도측정공정 혹은 농도측정수단을 구비함으로써, 첫째로, 현상액의 공급라인에 정확한 현상활성을 갖는 알카리 현상액을 제공하는 것이 가능하게 된다. 이 때문에 정밀도가 높은 현상공정을 용이하게 실현할 수 있게 된다.
그리고, 이러한 농도측정공정 혹은 농도측정수단에 의해, 현상공정, 현상폐액의 반송라인, 회수공정, 농축공정, 재생공정, 및 최종 희석공정에 있어서, 현상활성을 갖는 알카리 현상성분(유리 알카리 현상성분)의 농도를 정확하게 측정할 수 있게 된다. 이 농도에 기초하여, 이들 각종 공정에 있어서의 농도관리를 실시함으 로써, 소정의 현상활성을 갖는 현상액을 현상공정에 공급할 수 있는 외, 현상폐액의 회수공정, 농축공정, 재생공정 등의 각 공정의 농도관리를 적확하게 행할 수 있고, 효율적으로 회수·재생을 실시할 수 있다. 또, 액정이나 반도체 기판의 포토공정에서의 불량요인을 삭감할 수 있다.
표 1에, 알카리 현상액(TMAH)이 공기중에 방치된 경과시간에 다른 중화적정법에 의한 모든 알카리 현상액 성분과 탄산염의 농도측정 결과와, 이산화탄소 측정수단(적외선 탄산가스 검출수단, 이하 본법이라 함)에 의한 탄산염 농도측정 결과를 비교한 결과를 나타낸다.
| 방치시간 | 중화적정법 | 본법 | |
| TMAHwt% | 탄산염wt% | 탄산염wt% | |
| 0 | 2.379 | 0.013 | 0.003 |
| 30분 | 2.379 | 0.019 | 0.014 |
표 1에 나타낸 바와 같이, 방치시간이 경과하여도 모든 알카리 현상성분은 일정하였다. 또, 본법에 의한 탄산염 농도가 크게 변화하는데 대하여, 중화적정법에 의한 탄산염 농도는 그다지 크게 변화하지 않고, 또 당초(방치시간 0)의 시점에서 본법의 결과에 비교하여 큰 값(차 0.10wt%)를 나타내는 한편, 30분 경과하였을 때에도, 본법보다 약간 높은 결과(차 0.005wt%)를 나타내고 있었다. 이것에 의하면, 중화적정시의 계측시간중에 CO2가 시료액중에 융합된 것이라 생각된다. 따라서, 이 결과에 의해서, 측정조작중에 이산화탄소를 흡수함으로써 생성한 탄산염을 적정하고 있다는 현상이 뒷받침된다.
본 발명에 의하면, 알카리 현상성분을 함유하는 현상액의 농도를 정확하게 컨트롤하여, 정확하고 또한 효율적인 현상공정을 달성하기 위한 현상액의 농도측정기술을 제공할 수 있다. 또, 이 농도측정기술에 기초하여, 효율적인 알카리 현상액의 농도관리, 알카리 현상폐액의 회수 혹은 재생기술을 제공할 수 있다. 또, 이 관리방법을 사용함으로써 액정, 반도체 제조에 있어서의 포토공정에서의 수율향상, 품질향상을 도모할 수 있다.
Claims (12)
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- 알카리 현상성분을 함유하는 현상액의 농도측정방법으로서,현상액중의 모든 알카리 현상성분의 농도를 측정하는 공정; 및현상액중의 탄산계 염류의 농도를 측정하는 공정을 포함하고,상기 모든 알카리 현상성분의 농도로부터 탄산계 염류의 농도를 뺌으로써 현상액중의 유리알카리 현상성분 농도를 구하는 것을 특징으로 하는 알카리 현상액의 농도측정방법.
- 제2항에 있어서, 상기 모든 알카리 현상성분 농도를 측정하는 공정이, 중화적정수단, 전위차 적정수단, 도전율 측정수단, 위상차 측정수단 및 초음파 전파속도 측정수단으로 이루어지는 군에서 선택되는 수단을 사용하여 행해지는 것을 특징으로 하는 알카리 현상액의 농도측정방법.
- 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 탄산계 염류 농도를 측정하는 공정이, 이산화탄소 측정수단을 사용하여 행해지는 것을 특징으로 하는 알카리 현상액의 농도측정방법.
- 제4항에 있어서, 상기 이산화탄소 측정수단은 적외선 탄산가스 검출수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 알카리 현상액의 농도측정방법.
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