JPH04109166A - シリカの定量方法 - Google Patents

シリカの定量方法

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JPH04109166A
JPH04109166A JP22719590A JP22719590A JPH04109166A JP H04109166 A JPH04109166 A JP H04109166A JP 22719590 A JP22719590 A JP 22719590A JP 22719590 A JP22719590 A JP 22719590A JP H04109166 A JPH04109166 A JP H04109166A
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silica
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absorbance
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sample water
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Tsutomu Sakamoto
勉 坂本
Toshikazu Kushima
久島 俊和
Makoto Satoda
誠 里田
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Organo Corp
DKK Corp
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Organo Corp
DKK Corp
Japan Organo Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、モリブデン青吸光光度法によって試料水中の
シリカを定量する方法に関する。
[従来の技術] 超LSI製造用、ボイラー用等の超純水や純水、或いは
水道水などに含まれるシリカ(SiOよ)を定量し、そ
の濃度を管理することが行なわれている。
この場合、シリカの定量は、JIS B−8224−1
986のモリブデン青吸光光度法では下記(a)〜(g
)の操作によプて行なわれる。
(a)試料を濾過しその501を有栓メスシリンダー5
01にとり、液温を約20℃に調節する。
(b)塩素(1す1)11とモリブデン酸アンモニウム
溶液(10’/v$)2mlを加えて振り混ぜ、 5分
間放置する。
(c)シψう酸溶液1.5■lを加えて振り混ぜ、1分
間放置する。
(d)4−アミノ−3−ヒドロキシ−1−ナフタレンス
ルホン酸溶液2mlを加えて振り混ぜ、 10分間放置
する。
(e)溶液の一部を吸収セルに移し、波長81Sn■付
近の吸光度を測定する。
(f)空試験として水50m1をとり (a)〜(e)
の操作を行なって吸光度を求め、試料について得た吸光
度を補正する。
(g)検量線からシリカの量を求め、試料中のシリカの
濃度Cmg sio□/1)を算出する。
上記JIS法においては、塩酸によって酸性にした試料
水中でシリカとモリブデン酸アンモニヴムとを反応させ
ることによりドデカモリブドけい酸を生成させ、次いで
しゅう厳によって同時に生成する妨害物質であるドデカ
モリブドりん酸を分解し、更に4−アミノ−3−ヒドロ
キシ−1−ナフタレンスルホン酸てドデカモリブドけい
酸をモリブデン青に還元した後、その吸光度を測定する
ものである。なお、しφう酸はドデカモリブドりん酸の
分解剤としての作用のほか、モリブデン青の安定化剤と
しての作用も有しており、従ってこのシリカの定量法で
は試料水中にりん酸イオンか存在しなくてもしψう酸を
添加する。
また、プロセス測定用のシリカ自動定量装置においては
1発色液としてモリブデン酸アンモニウム溶液に硫酸を
加えた酸性モリブデン酸アンモニウム溶液を試料水に添
加することによりドデカモリブドけい酸を生成させ、次
いで分解・安定化液として酒石酸溶液を添加してドデカ
モリブドりん酸を分解し、更に還元液としてL−アスコ
ルビン酸溶液を加えてドデカモリブドけい酸をモリブデ
ン青に還元した後、この試料水を比色計に圧送して86
0nmの吸光度を測定し、予め求めておいた検量線によ
ってシリカ濃度を自動演算する方法が一般に採られてい
る。
とこ−ろで、上記JIS法ては、シリカを含まない水を
用いてモリブデン酸アンモニウム溶液等の試薬を調製す
るものであるか、シリカを全く含まない水を得ることは
非常に困難であり、従フて実際の測定では、試薬中に共
存するシリカによる吸光度の補正を行なっている。この
補正は1例えば次のように行なう(JIS B−822
4−1986の解説参照)。
即ち、シリカを含まない水50■1をとって前記(a)
〜(e)の操作を行ない、この水を対照液として吸光度
を測定し、この吸光度をE、とする(試薬中のシリカと
水中のシリカによる吸光度)、別に、この本釣4711
をとり、モリブデン酸アンモニウム溶液4■l、塩酸(
1”l)2mlを加え、 5分間放置した後、しψう酸
溶液1.5mlを加える。1分間経過後に4−アミノ−
3−ヒドロキシ−1−ナフタレンスルホン酸溶液2dを
添加し、10分間経過後にこの溶液を吸収セルに移し、
この水を対照液として吸光度を測定する。この吸光度を
EI、とする、試薬中(主としてモリブデン酸アンモニ
ウム溶液)及び水のシリカによる吸光度E、及びE=は
、下記式によって求める。
Et、−E、= E。
E、−E、= E、  又は2E、−Eb−Ewここに
、Eb:モリブデン酸アンモニウム溶液41を用いたと
きの吸光度(−1og t)El:空試験の吸光度(−
1og t)E、:モリブデン酸アンモニウム溶液中の
シソ力による吸光度(−Jog t) Ew:水のシリカによる吸光度(−1og t)従って
、空試験の溶液を対照液として試料水の吸光度を測定し
、その吸光度をE8とすれば、試料水中のシリカによる
吸光度は(El◆E、)になる、即ち、この方法におい
ては、モリブデン酸アンモニウム溶液を規定量添加した
ときと2倍量添加したときの吸光度の差を求め、これを
規定量のそりブデン酸アンモニウム溶液中のシソ力によ
る調光度(試薬の空試験値)として補正を行なうもので
ある。
一方、シリカ自動定量装置においては、試料水への発色
液及び分解・安定化液の添加順序を前記と逆にして測定
した吸光度を試薬の空試験値とし、この値に基づいて試
薬のシリカに起因する誤差を補正している。
[発明か解決しようとするWR] 前述したJIS法における空試験値の測定は、水に発色
液を規定量添加したときと 2倍量添加したときの吸光
度の差を求めている。しかし、発色液を規定量添加して
吸光度を測定する場合と 2倍量添加して吸光度を測定
する場合とを比較すると、実際には後者の場合試料液か
極端に黄色に着色し、青色の領域で吸光度を測定してい
る場合ても黄色による吸光度か僅かであるか検出される
従って、この方法では試薬の空試験値を正確に測定でき
ないことを本発明者らは知見した。即ち、青色の極大吸
収波長は800〜a60na付近にあり、黄色の極大吸
収波長は400〜410r+s付近にあるか、発色液を
規定量添加したときには発色液に起因する黄色か青色の
波長領域にそれほど重ならないのに対し、2倍量添加し
たときには発色液に起因する黄色か青色の波長領域にか
なり(2倍分以上)重なってしまうことを見い出した。
これは、理由は必ずしも明らかではないか、 2倍量と
いう過剰のモリブデン酸アンモニウムを使用した場合に
はモリブデン酸アンモニウムと還元液との反応によって
試料水か極端に黄色に着色するためであると思われる。
このため、発色液を2倍量添加したときには吸光度の測
定値か発色液を規定量添加したときの2倍以上になり、
従つてこれらを単に差し引きした場合には、試薬の空試
験値が本来の値より大きくなり、この空試験値によって
吸光度の実lll値を補正しても正確なシリカS度を求
めることかできない、この場合、高浦度にシリカを含有
する試料水を測定するときには、上述した倍量法によっ
て求めた試薬の空試験値で補正を行なっても特に問題は
生じない。しかし、微量域(0,5〜lppb(gg/
l)程度)のシリカを定量する場合には、上述した倍量
法による空試験値の誤差はシリカ濃度に大きな誤差を与
えることになる。
また、前述したシリカ自動定量装置における空試験値の
測定方法は、試薬調製水としてシリカ濃度が極めて微量
な水を用いる必要かある。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、モリブデ
ン青法によって試料水中のシリカを定量する場合におい
て1発色液中のシリカによる吸光度(試薬の空試験値)
を正確に求めて試料水中の微量のシリカを正しく定量す
ることが可能なシリカの定量方法を提供することを目的
とする。
[課題を解決するための手段] 本発明は、上記目的を達成するため、シリカを含む試料
水にモリブデン酸アンモニウを含む発色液を酸性下にお
いて所定量混合することによりドデカモリブドけい酸を
生成させ、次いで分解・安定化液を添加してドデカモリ
ブドりん酸を分解した後、還元液を添加してドデカモリ
ブドけい酸をモリブデン青に還元し、このときの試料水
の吸光度を測定することにより試料水中のシリカ濃度を
求めるシリカの定量方法において、下記A〜Dの吸光度 A:水に所定量の2倍量の発色液1分解・安定化液及び
還元液を順次添加2反応させたときの吸光度 B:水に分解・安定化液、所定量の2倍量の発色液及び
還元液を順次添加2反応させたときの吸光度 C:水に所定量の発色液、分解・安定化液及び還元液を
順次添加1反応させたときの吸光度り二本に分解・安定
化液、所定量の発色液及び還元液を順次添加1反応させ
たときの吸光度をそれぞれ計測すると共に、これらの吸
光度A〜Dから下記式(1) %式%(1) により得られる試薬の空試験値BLKを発色液中のシリ
カによる吸光度として前記試料水の吸光度の実測値を補
正することを特徴とするシリカの定置方法を提供する。
即ち、本発明で測定する吸光度A〜Dは、それぞれ下記
のものによる吸光度である。
A・水中のシリカ 2倍量の発色液中のシリカ 2倍量の発色液に起因する黄色 B・ 2倍量の発色液に起因する黄色 C・水中のシリカ ・規定量の発色液中のシリカ ・規定量の発色液に起因する黄色 D・規定量の発色液に起因する黄色 この場合、B、Dに8いては分解・安定化液の次に発色
液を添加している。これは、しゅう酸や酒石酸などの分
解・安定化液はシリカとモリブデン酸アンモニウムとか
らドデカモリブドけい酸か生成する反応を阻害する作用
を有するため、このように発色液と分解・安定化液の添
加順序を逆にすることによってドデカモリブドけい酸の
生成を防止し、発色液に起因する黄色による吸光度のみ
を検出するためである。
従って、JIS法のようにAからCを引くたけては2倍
量の発色液に起因する黄色と規定量の発色液に起因する
黄色の吸光度の差(この差は規定量の発色液による黄色
の吸光度以上となる〉か試薬の空試験値に含まれるのに
対し、本発明の(1)式ではA−B及びC−Dの各項に
3いてそれぞれ発色液に起因する黄色による吸光度を消
去しているのて、規定量の発色液中のシリカによる吸光
度のみを正確に検出してこれを試薬の空試験値とするこ
とかてき、従ってこの空試験値を用いることによって試
料水中のシリカを正確に定量することかてきるものであ
る。
以下、本発明につき更に詳しく説明する。
本発明においては、シリカを含む試料水に所定量の発色
液、分解・安定化液及び還元液を順次添加して反応させ
た後、試料水の吸光度を測定し。
この実測値を(1)式で求めた試薬の空試験値によフて
補正することにより試料水中のシリカ濃度を算出する。
この場合、発色液としてはモリブデン酸アンモニウム溶
液の他に、モリブデン酸アンモニウム溶液に硫酸、塩酸
等を加えて酸性にした酸性モリブデン酸アンモニウム溶
液も使用できる。また、分解・安定化液としては酒石酸
溶液、しゅう酸溶液等、還元液としてはL−アスコルビ
ン酸溶液。
4−アミノ−3−ヒドロキシ−1−ナフタレンスルホン
酸溶液等をそれぞれ便用てきる。なお、試薬の空試験値
の測定に用いる水の種類に限定はなく、本発明によれば
水のシリカ濃度にかかわりなく空試験値を正確に測定す
ることがてきる。突ってこの水としては、標準水、試料
水その他の任意の水を用いることができる。
また、吸光度の実測値Xから試薬の空試験値BLKを用
いてシリカ濃度Sを求める場合、具体的には下記式(2
)によってシリカ濃度Sを算出する。
S−(X−BLK)         −(2)K:校
正係数(mABs/Ppb) なお、本発明の実施に用いる装置の構成に限定はないが
、例えば第1図に示すシリカ自動定量装置を挙げること
がてきる。即ち、11図の装置においてlは反応セル、
2は攪拌翼、3は試料水導入管、4は発色液導入管、5
は分解・安定化液導入管、6は還元液導入管、7は比色
計であり1本装置において反応セル1への試料水及び試
薬の導入、試料水の比色計7への送液等は制御部(図示
せず)の制御によって行なわれるようになっている。
[実施例] 次に、実施例及び比較例により本発明を具体的に示すが
1本発明は下記実施例に限定されるものてはない。
なお、下記実施例、比較例において試薬調製水、試薬、
標準液、装置としては以下のものを用いた。
試薬調製水:実質的にシリカを含まない水(以下81水
という) 発色液I:Bl水にモリブデン酸アンモニウム及び硫酸
を溶解した酸性モリブデン酸溶液 発色液■:発色液工にシリカ標準水を加えてシリカ帽f
 17ppb(u、 g/Hに調製したもの分解・安定
化電工B1水に酒石酸を溶解したもの還元液二Bl水に
L−アスコルビン酸を溶解したもの 標準液:BL水に所定量のシリカを加えたもの定量装置
:第1図の装置 丸1璽ユ (i)試薬の空試験値の測定 発色電工を用い、前記(1)式によって試薬の空試験値
を求めた。なお、空試験値を求めるときの水としてはB
1水を用いた。
この場合、吸光度A〜Dは下記の通りてあった。
A −+0.715■AR3 B  = −1,779園へBS (: =−0,830醜ABS D = −2,482mABs 従って、試薬の空試験値BLKは次のようになりた。
11LK−0,842薯ABS (ii)校正係数にの算出 シリカ10ppb標準液の吸光度(111,60)から
BL水の吸光度(−0□830)を引き、これをlOて
割って算出した。
に−(18,60)−(−〇、830)/10=1.9
43  (mABs/ppb)(iii)試料水中のシ
リカの定量 81水(実際には0.3〜0.4ppb程度のシリカか
含まれている) 、 1.0ppb標準液、 z、5p
pb標準液及びS、0ppb標準液のシリカ濃度を前記
式(2)を用いて求めた結果を第1表に示す。
第1表 (i)試薬の空試験値の測定 発色液■を用い、実施例1と同様にして求めた。この場
合、吸光度A〜Dは下記の通りであった。
A =+9.015  思人BS B  = −0,955膳^BS C= +4.125  ■ABS D = −1,809mABs 従って、試薬の空試験値BLには次のようになった。
BLに−4,036璽ABS (ii)校正係数にの算出 実施例1と同様に算出したところ、次のようになりだ。
K−1,897(謬ABS/pph) (iii)試料の空試験値の確認 BLK糠4.036騰ABS、に−1,897鳳^BS
を用い1次の方法によつて定量装置で測定したBLにと
計算によフて求めたBLにとを比較した。即ちBLKの
測定においては、 Bl水25+ml、発色液1醜19
分解・安定化液31、還元液3mlを用いるため1発色
液■は3734倍に稀釈される(3/(25◆3X3)
)、従9て、発色液■のシリカ(17ppb)はB1水
中では1.51pPbとなる(17x 3/34) 、
 1.51ppbのシリカに対応する吸光度は1.51
X 1.897−2.865 mABsとなるから、こ
れに発色液Iの空試験値を加えると、 z、sas◆0
.842−3.707 mABsとなる。従って1発色
液Hの計算上の空試験値は3.707 mABsである
から、定量装置て測定した空試験値4.0:16 mA
Bsとほぼ等しく2本発明によれば発色液調製水がシリ
カを含有するものてあっても試薬の空試験値を正確に測
定できることかわかる。
(iv)試料水中のシリカの定量 81水、1.0ppb標準液及び2.5ppb標準液の
シリカ濃度を式(2)を用いて求めた結果を第2表に示
す。
第2表 比JL糎」2JIS法による試薬の空試験値の測定実施
例1の測定値を用いてJIS法によって試薬の空試験値
を求めた。即ち、JIS法てはBLK−^−Cであるか
ら、(0,715)−(−0,830)−1,545鵬
ABSか空試験値となり、本発明法に比べて0.70:
l■ABS高くなる。このためJIS法での空試験値を
用いると測定値は0.36ppb低くなる(0.703
/1.943−0.36)。
皮艶勇ユ  従来のシリカ自動定量装置に3ける試薬の
空試験値の測定 (i)試薬の空試験値の測定 発色漆工を用い、従来のシリカ自動定量装置における試
薬の空試験値測定法、即ち分解・安定化液を添加した後
規定量の発色液を添加する方法によって空試験値を求め
た。その結果、 BLK−2,355mABsてあった
・ (ii)校正係数にの算出 10ppb標準液を用い、実施例1と同様の方法で校正
係数を求めたところ、に−2,067■ABS/ppb
であった。
(fit)試料水中のシリカの定量 Bl水、1.0ppb標準液、 2.59pb標準液及
び5.0ppb標準液のシリカ濃度を式(2)を用いて
求めた結果を第3表に示す。
第3表 比較例3 従来のシリカ自動定量装置における試薬の空
試験値の測定 (1)試薬の空試験値の測定 発色液■を用い、比較例2と同様にして空試験値を測定
した。その結果、BLに−1,424mABsてあった
(ii)校正係数にの算出 比較例2と同様の方法で校正係数を求めたところ、K冒
2.361■ABS/I)I)bであった。
(tit)試料水中のシリカの定量 81水、1.0ρpb標準液、 2.5ppb標準液及
び5.0ppb標準液のシリカ濃度を式(2)を用いて
求めた結果を第4表に示す。
第4表 従来のシリカ自動定量装置における試薬の空試験値は、
分解・安定化液を添加した後、規定量の発色液及び還元
液を順次添加したときの吸光度を用いているが、最初に
分解・安定化液を添加しているため、発色液中にシリカ
が含まれていても発色液中のシリカは発色しない、従っ
て、従来のシリカ自動定量装置における空試験値は、実
際の値より小さくなる。第4表は、シリカが多量に含ま
れている発色液を用いたときの結果であるが、試薬中の
シリカが正しく補正されておらず、試料の分析値は高く
なワてしまう。
上記実施例及び比較例の結果より、本発明によれば発色
液中のシリカ濃度に関わりなく適切な試薬中のシリカに
よる空試験値を得ることができることがわかる。これに
対し、JIS法では空試験値か大きくなり、また従来の
シリカ自動定量装置の空試験値測定法ては特に発色液中
のシリカ濃度か高くなると適切な空試験値を得られなく
なるものてあった。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば発色液中のシリカ
による吸光度(試薬の空試験値)を正確に求めることか
てき、従って試料水中のシリカをモリブデン青吸光光度
法によって精度良く定量することかてきる。
【図面の簡単な説明】
第1因は本発明の実施に用いるシリカ自動定量装置の一
例を示す概略図である。 l:反応セル 3:試料水導入管 4:発色液導入管 5:分解・安定化液導入管 6 : 還元液導入管 7 : 比色計

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)シリカを含む試料水にモリブデン酸アンモニウを
    含む発色液を酸性下において所定量混合することにより
    ドデカモリブドけい酸を生成させ、次いで分解・安定化
    液を添加してドデカモリブドりん酸を分解した後、還元
    液を添加してドデカモリブドけい酸をモリブデン青に還
    元し、このときの試料水の吸光度を測定することにより
    試料水中のシリカ濃度を求めるシリカの定量方法におい
    て、下記A〜Dの吸光度 A:水に所定量の2倍量の発色液、分解・安定化液及び
    還元液を順次添加、反応させたときの吸光度 B:水に分解・安定化液、所定量の2倍量の発色液及び
    還元液を順次添加、反応させたときの吸光度 C:水に所定量の発色液、分解・安定化液及び還元液を
    順次添加、反応させたときの吸光度 D:水に分解・安定化液、所定量の発色液及び還元液を
    順次添加、反応させたときの吸光度 をそれぞれ計測すると共に、これらの吸光度A〜Dから
    下記式(1) BLK=(A−B)−(C−D)・・・(1)により得
    られる試薬の空試験値BLKを発色液中のシリカによる
    吸光度として前記試料水の吸光度の実測値を補正するこ
    とを特徴とするシリカの定量方法。
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