KR100910224B1 - 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트, 트레이 및반도체 소자 테스트 핸들링 장치 - Google Patents

반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트, 트레이 및반도체 소자 테스트 핸들링 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트, 트레이 및 반도체 소자 테스트 핸들링 장치는, 내부에 테스트 될 반도체 소자가 안착되는 로딩부를 가지는 포켓과, 상기 포켓의 상부에 위치하고 중앙에 상기 반도체 소자가 로딩되는 로딩부가 형성된 본체와, 상기 본체의 상부에 위치하여 인서트 전체를 덮는 커버와, 상기 커버와 상기 본체 간을 체결시키는 래치(latch) 및 상기 포켓 및 포켓 내에 안치되어 테스트 될 상기 반도체 소자를 상기 본체에 체결시키는 후크를 포함하며, 상기 후크는 상기 본체에 요동 가능하게 부착되어 테스트 될 반도체 소자가 조립 및 분리될 때, 상기 인서트 본체로부터 퇴피 및 인출되는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트, 트레이 및 반도체 소자 테스트 핸들링 장치{Insert for semiconductor device test handling apparatus, tray and semiconductor device handling apparatus}
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트를 도시한 단면도.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자 테스트 핸들링 장치의 트레이 및 반도체 소자 테스트 핸들링 장치를 도시한 단면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자 테스트 핸들링 장치의 포켓 보관함을 도시한 단면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 인서트본체 102 : 래치(latch)
104 : 커버 106 : 후크
108, 408 : 포켓 110 : 인서트
312, 412 : 후크 회전용 핀
314, 414 : 인서트 고정용 가이드 핀
316, 416 : 포켓 분리용 어셈블리
318, 418 : 지그 420 : 테스트 트레이
본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트, 트레이 및 반도체 소자 테스트 핸들링 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는, 반도체 크기에 따라 인서트 전체가 아닌 일부분만을 교체하여 테스트 비용을 절감할 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트, 트레이 및 반도체 소자 테스트 핸들링 장치에 관한 것이다.
반도체 소자의 제조 과정에서 주지된 바와 같이 조립 공정까지 거쳐 제조된 반도체 소자는 특정 기능을 발휘하는지 여부를 체크하는 테스트 공정을 최종적으로 거치게 된다.
완성된 반도체 소자의 테스트에는 직류 전압 특성 테스트와 기능(Function) 테스트가 있다. 직류 전압 특성 테스트는 메모리의 직류 적인 특성을 측정하는 것으로 전원 전류 측정, 출력 전압 측정 등이 있다. 기능 테스트는 메모리의 모든 셀이 정상적으로 동작하는가를 테스트하며, 어떤 조건으로 셀에 테이터를 써넣고 읽어낼 수 있는가를 테스트하는 것이다.
이를 위해 사용되는 테스트 핸들러(Test Handler)는, 패키징된 반도체 소자를 자동 이송하여 테스터로 테스트한 후 그 결과에 따라 등급을 분류하는 반도체 장비이다. 이러한 테스트 핸들러를 이용하여 소자의 테스트를 수행하는 공정은 반도체 제조 공정 중 최종 공정에 속한다.
상기와 같은 테스트 핸들러는 테스터와 서로 유기적인 관계로 연결되어 동작되며, 상기 테스터는 반도체 소자를 시험하기 위한 전기적인 신호를 반도체 소자에 공급하고, 그 결과를 입력받아서 불량의 여부를 파악하여 테스트 핸들러에 보내준다. 그러면, 테스트 핸들러는 상기 결과를 받아서 반도체 소자를 등급별로 분류하게 된다.
이러한 테스트 핸들러는 32개 내지는 64개의 소자를 동시에 테스트할 수 있도록 소자들을 테스트 트레이로 반송하여 주고, 또 특수한 온도환경, 즉 저온 또는 고온의 환경에서 테스트를 진행할 수 있도록 한다.
한편, 테스트 핸들러는 각각의 반도체에 따른 무수히 많은 키트로 구성되며, 상기 키트는 반도체 소자가 부착되는 인서트(Insert)라는 핵심 부품으로 구성된다.
그러나, 상기와 같은 종래의 테스트 핸들러는, 반도체 소자를 테스트시에 인서트 전체를 매번 각각의 반도체 소자 제품의 크기 및 입, 출력되는 핀의 갯수에 따라서 제조하여 교체해야 함에 따라, 인서트의 교체에 따른 2 ~ 8 시간 정도의 불필요한 교체시간이 소요되고 있다.
또한, 각각의 반도체 소자의 크기에 따라 인서트 전체를 교체해야 하므로 반도체 소자를 테스트 시에 그에 따른 많은 인서트의 교체 비용이 지출된다.
따라서, 본 발명은 반도체 소자를 테스트시에 인서트 교체 비용을 감소시킨 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트, 트레이 및 반도체 소자 테스트 핸들링 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 인서트의 교체를 부분적으로만 교체함에 따라 반도체 소자의 전체 테스트 소요시간을 감소시킨 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트, 트레이 및 반도체 소자 테스트 핸들링 장치를 제공한다.
일 실시예에 있어서, 본 발명의 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트, 트레이 및 반도체 소자 테스트 핸들링 장치는, 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트에 있어서, 내부에 테스트 될 반도체 소자가 안착되는 로딩부를 가지는 포켓; 상기 포켓의 상부에 위치하고 중앙에 상기 반도체 소자가 로딩되는 로딩부가 형성된 본체; 상기 본체의 상부에 위치하여 인서트 전체를 덮는 커버; 상기 커버와 상기 본체 간을 체결시키는 래치(latch); 및 상기 포켓 및 포켓 내에 안치되어 테스트 될 상기 반도체 소자를 상기 본체에 체결시키는 후크;를 포함하며, 상기 후크는 상기 본체에 요동 가능하게 부착되어 테스트 될 반도체 소자가 조립 및 분리될 때, 상기 인서트 본체로부터 퇴피 및 인출되는 것을 특징으로 한다.
상기 후크는 상기 본체에 요동 가능하게 부착되어 테스트 될 반도체 소자가 조립 및 분리될 때, 상기 인서트 본체로부터 퇴피 및 인출한다.
상기 포켓은 상기 반도체 소자의 크기에 따라 각각 다른 크기의 로딩부를 갖는다.
다른 실시예에 있어서, 본 발명의 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트, 트레이 및 반도체 소자 테스트 핸들링 장치는, 반도체 소자 테스트 핸들링 장치의 테스트 될 반도체 소자를 반송하는 트레이로써, 상기 인서트를 다수 개 구비한다.
또 다른 실시예에 있어서, 본 발명의 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인 서트, 트레이 및 반도체 소자 테스트 핸들링 장치는, 반도체 소자를 테스트하기 위한 반도체 소자 테스트 핸들링 장치로서, 상기 인서트를 다수 개 구비한 트레이를 구비한다.
상기 트레이에 구비된 인서트에 포함된 다수 개의 포켓을 동시에 조립 및 분리시킨다.
(실시예)
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자 및 그의 제조방법을 설명하도록 한다.
본 발명은, 반도체 소자 테스트 핸들링 장치의 인서트를 본체와 포켓으로 분리하여 형성하고, 상기 인서트 본체와 포켓을 물리적으로 연결하는 후크를 형성하여 본체와 포켓 간이 조립 및 분리가 가능하도록 하여 테스트될 반도체 소자의 크기 및 종류에 부합하도록 상기 포켓만을 교체하여 반도체 소자의 테스트 공정을 수행한다.
또한, 상기 포켓과 인서트 본체 간의 분리 및 조립이 용이하도록 반도체 소자 테스트 핸들링 장치로서 별도의 지그를 제조하여 상기 포켓과 인서트 본체간의 조립 및 분리가 용이하도록 한다.
이 경우, 본 발명은 반도체 소자의 테스트 공정시 각각의 반도체 크기 및 입/출력 되는 핀의 수에 따라서 반도체 소자용 테스트 핸들링 장치의 인서트를 전부 교체해야 하는 종래의 반도체 소자 테스트 핸들링 장치의 인서트와 달리, 인서트의 본체와 포켓 간을 조립 및 분리가 가능하도록 형성하고, 상기 포켓만을 반도체 크 기 및 입/출력되는 핀의 수에 따라 교체함으로써, 반도체 소자의 테스트 공정을 수행할 시에 그에 따른 테스트의 비용을 절감할 수 있다.
또한, 반도체 소자의 테스트 공정을 수행할 시에 포켓만을 교체하여 교체 시간을 단축함으로써, 그에 따른 반도체 소자의 테스트 전체 공정시간을 단축할 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트를 도시한 단면도로서, 이를 설명하면 다음과 같다.
도 1을 참조하면, 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트(110)는, 중앙에 테스트될 반도체 소자가 로딩되는 로딩부를 갖는 인서트 본체(100)와, 상기 인서트 본체(100)의 하면에 배치되며 테스트 공정을 수행할 반도체 소자가 내부에 형성된 로딩부에 안치되는 포켓(108)과, 상기 인서트(100) 본체의 전체를 덮는 커버(104)와, 상기 인서트 본체(100) 상에 배치되어 상기 인서트 본체(100)와 커버(104) 간을 체결시키는 래치(latch : 102)로 구성된다.
여기서, 상기 인서트 본체(100)와 포켓(108)은 도 2에 도시된 바와 같이 2mm 도금의 금속 재질로 이루어진 후크(106)라는 매개체를 통하여 물리적으로 체결되며, 상기 후크(106)의 형성은 인서트 본체(100)의 후크(106)가 장착될 자리를 설계하여 인서트 본체(100)에 장착되도록 제작된다.
또한, 도시하지는 않았지만, 상기 후크(106)를 조립하고 고정할 수 있는 핀(도시안됨)을 형성해 인서트 본체(100)와 포켓(108) 간을 조립시에 상기 핀을 장착하여 인서트 본체(100)와 후크(108)가 일체형이 된다.
한편, 전술한 본 발명의 조립 및 분리 가능한 인서트를 이용함에 있어서, 별도의 지그를 이용한다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 상기 인서트의 포켓과 인서트 본체 간을 조립 및 분리시 사용되는 지그를 도시한 단면도로서, 이를 설명하면 다음과 같다.
도 3을 참조하면, 상기 인서트(100)와 포켓(108) 간을 조립 및 분리시 사용하는 지그(318)는 플레이트 상에 128개의 후크 회전용 핀(312) 및 인서트 고정용 가이드 핀(314)이 구비되며, 64개의 포켓 분리용 어셈블리(316)가 구비된다.
도 4를 참조하면, 지그(418)를 이용한 인서트(410)와 포켓(408) 간의 분리는, 128개의 인서트 고정용 가이드 핀(414)으로 테스트 트레이(420) 상의 테스트될 반도체 소자가 안착된 포켓(408)을 구비한 다수의 인서트(410)를 고정시켜줌과 아울러, 상기 인서트(410) 내에 후크 회전용 핀(412)이 삽입되면서 후크가 열리게 되면 포켓 분리용 어셈블리(416)가 상승하면서 이루어진다. 이때, 다수의 인서트(410)가 배치된 테스트 트레이(420)는 상기 인서트(410)가 반도체 소자 테스트 핸들러의 반대방향을 향하도록 외부로 노출된 구조를 갖도록 배치된다.
한편, 도시하지는 않았지만, 상기 인서트(410)와 포켓(408) 간의 조립은 앞서 주지한 분리 방법의 역순으로 진행되며, 이때, 테스트 트레이(420)는 상기 분리 방법과 반대로 인서트(410)가 지그(418)를 향하는 구조를 갖도록 배치된다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 포켓 보관함을 도시한 단면도로서, 상기 지그의 플레이트 상에 64개가 배치되어, 상기 포켓을 조립 및 분리를 용이하게 하기 위해 포켓을 보관하는 기능을 갖는다.
여기서, 상기 포켓 보관함은 내부에 15개의 포켓을 보관할 수 있고, 하단 부위에 스프링이 장착되어 인서트에 장착시 외부로 분출이 용이하며 사면이 노출된 구조를 갖음으로써 포켓의 수량을 눈으로 확인할 수 있다.
이와 같이, 본 발명은 반도체 소자의 테스트 공정시 각각의 반도체 크기 및 입/출력 되는 핀의 수에 따라서 반도체 소자 테스트 핸들링 장치의 인서트를 전부 교체해야 하는 종래의 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트와 달리, 인서트의 본체와 포켓 간을 조립 및 분리가 가능하도록 형성하고, 상기 포켓만을 반도체 크기 및 입/출력되는 핀의 수에 따라 교체함으로써, 반도체 소자의 테스트 공정을 수행할 시에 그에 따른 테스트의 비용을 절감할 수 있다.
또한, 반도체 소자의 테스트 공정을 수행할시에 포켓만을 교체하여 인서트의 교체 시간을 단축함으로써, 그에 따른 테스트 전체의 공정시간을 단축할 수 있다.
이상, 전술한 본 발명의 실시예들에서는 특정 실시예에 관련하고 도시하고 설명하였지만, 본 발명이 그에 한정되는 것은 아니며, 이하의 특허청구의 범위는 본 발명의 정신과 분야를 이탈하지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변형될 수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 알 수 있다.
이상에서와 같이, 본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트, 트레이 및 반도체 소자 테스트 핸들링 장치를 이용하여 반도체 소자를 테스트함에 있어서, 인서트의 본체와 포켓 간을 조립 및 분리가 가능하도록 형성하고 포켓만을 반도체 크기 및 입/출력되는 핀의 수에 따라 교체함으로써, 그에 따른 반도체 소자의 테스트 비용을 절감할 수 있다.
또한, 본 발명은 반도체 소자의 테스트 공정을 수행할시에 포켓만을 교체하여 인서트의 교체 시간을 단축함으로써 그에 따른 반도체 소자 테스트 전체의 공정시간을 단축할 수 있다.

Claims (6)

  1. 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트에 있어서,
    내부에 테스트 될 반도체 소자가 안착되는 로딩부를 가지는 포켓;
    상기 포켓의 상부에 위치하고 중앙에 상기 반도체 소자가 로딩되는 로딩부가 형성된 본체;
    상기 본체의 상부에 위치하여 인서트 전체를 덮는 커버;
    상기 커버와 상기 본체 간을 체결시키는 래치(latch); 및
    상기 포켓 및 포켓 내에 안치되어 테스트 될 상기 반도체 소자를 상기 본체에 체결시키는 후크;
    를 포함하며,
    상기 후크는 상기 본체에 요동 가능하게 부착되어 테스트 될 반도체 소자가 조립 및 분리될 때, 상기 인서트 본체로부터 퇴피 및 인출되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 포켓은 상기 반도체 소자의 크기에 따라 각각 다른 크기의 로딩부를 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들링 장치용 인서트.
  4. 반도체 소자 테스트 핸들링 장치의 테스트 될 반도체 소자를 반송하는 트레이로써,
    청구항 1항 내지 청구항 3항 중 어느 한 항에 기재된 인서트를 다수 개 구비한 것을 특징으로 하는 트레이.
  5. 반도체 소자를 테스트하기 위한 반도체 소자 테스트 핸들링 장치로서,
    청구항 4항에 기재된 트레이를 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들링 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 트레이에 구비된 인서트에 포함된 다수 개의 포켓을 동시에 조립 및 분리시키는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들링 장치.
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