KR100907815B1 - Gate valve - Google Patents

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KR100907815B1
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Abstract

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로, 그 구성은 진공챔버에 구비되어 기판의 입출입을 단속하는 게이트 밸브에 있어서, 진공챔버 개폐구 주변을 따라 구비되되 가이드 레일이 개폐구 양측에 수직하게 마련된 브라켓; 상기 가이드 레일을 따라 승하강하는 고정판과, 상기 고정판과 실링판을 서로 연결하는 적어도 하나 이상의 축핀과, 상기 고정판에 내설되되, 상기 축핀의 사이 위치하여 팽창력을 이용해 실링판이 개폐구를 단속하게 하는 튜브가 구비된 가압부재; 상기 브라켓의 일측에 마련되어 상기 가압부재를 승하강시키는 실린더; 및 상기 가압부재의 양단부를 서로 연결하되 상기 실린더에 의해 가압부재의 승하강시 가압부재 양단부가 서로 동기 동작이 가능하게 하는 가이드 부재;를 포함하여 이루어진다.The present invention relates to a gate valve, the configuration of the gate valve is provided in the vacuum chamber for intermittent entry and exit of the substrate, comprising a bracket provided along the periphery of the vacuum chamber opening and closing guide rail is provided perpendicular to both sides of the opening and closing opening; A fixed plate that moves up and down along the guide rail, at least one shaft pin connecting the fixing plate and the sealing plate to each other, and a tube installed in the fixing plate and positioned between the shaft pins so that the sealing plate can control the opening and closing opening by using the expansion force. Pressure member provided; A cylinder provided at one side of the bracket to move the pressure member up and down; And a guide member connecting both ends of the pressing member to each other, and allowing the both ends of the pressing member to be synchronized with each other when the pressing member is moved up and down by the cylinder.

본 발명에 따르면, 기밀성을 균일하게 유지시킴과 동시에 실린더 의존성을 최소화하며 압력을 균일하게 분산시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to maintain the airtightness uniformly and at the same time minimize the cylinder dependence and evenly distribute the pressure.

Description

게이트 밸브{Gate valve of vacuum processing apparatus}Gate valve {Gate valve of vacuum processing apparatus}

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기밀성을 균일하게 유지시킴과 동시에 실린더 의존성을 최소화하며 압력을 균일하게 분산시킬 수 있는 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve, and more particularly, to a gate valve capable of uniformly dispersing pressure while minimizing cylinder dependence while maintaining airtight uniformity.

통상적으로 반도체 웨이퍼 또는 액정기판을 처리하기 위한 장치에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정기판은 진공챔버에 구비되는 기판 이송통로를 통하여 여러 처리실로부터 삽입 또는 반출되는데, 이러한 기판 이송통로에는 이 통로를 개폐하는 게이트 밸브가 구비된다.In general, in an apparatus for processing a semiconductor wafer or liquid crystal substrate, the semiconductor wafer or liquid crystal substrate is inserted or taken out from various processing chambers through a substrate transfer passage provided in a vacuum chamber, and the substrate transfer passage includes a gate for opening and closing the passage. A valve is provided.

이러한 게이트 밸브의 대표적인 종래기술로써 도 1에 도시된 바와 같이, 진공챔버(1) 일측에 마련된 개폐구(2)상에 상기 개폐구와 대응되는 크기를 갖는 실링판(33)을 마련하고, 상기 실링판(33)을 수평 및 수직 이동시킬 수 있게 하는 수직실린더(31)와 수평실린더(35)를 다수개 구비하여 상기 수직실린더(31)는 수직로드(33)와 브라겟(34)에 의해 수평실린더(35)를 연결하고 있으며, 상기 수평실린더(35)는 실링판(33)와 연결되어 실링판(35)을 수평 수직 이동시켜 진공챔버를 개폐하게 되는 것이다.As a representative conventional technique of such a gate valve, as shown in FIG. 1, a sealing plate 33 having a size corresponding to the opening and closing port is provided on the opening and closing hole 2 provided at one side of the vacuum chamber 1, and the sealing plate is provided. The vertical cylinder 31 is provided with a plurality of vertical cylinders 31 and horizontal cylinders 35 for horizontally and vertically moving the vertical cylinders 31 by horizontal rods 33 and brackets 34. 35 is connected, and the horizontal cylinder 35 is connected to the sealing plate 33 to move the sealing plate 35 horizontally and vertically to open and close the vacuum chamber.

그러나 이러한 종래기술의 경우 진공챔버 내부에서 발생하는 진공압에 의해 수평실린더(35)가 강한 압력을 받게 되는데, 이때 받게 되는 압력이 각각의 수평실린더에 대해 균일하게 대응되어야 하는데 각각의 수평실린더에 따라 압력차가 발생하여 일부분에서 압력 불균형에 의해 진공이 깨지는 문제점이 있었다.However, in the prior art, the horizontal cylinder 35 is subjected to a strong pressure by the vacuum pressure generated in the vacuum chamber, and the pressure received must correspond uniformly to each horizontal cylinder. There was a problem in that the vacuum is broken due to pressure imbalance in a portion due to the pressure difference occurs.

또한 상기 게이트 밸브의 경우 실링판을 수평 및 수직 이동시킴으로 인해 구조가 복잡해지고 실린더를 이중으로 제어해야 하는 문제점이 있었다.In addition, the gate valve has a problem in that the structure is complicated by the horizontal and vertical movement of the sealing plate to control the cylinder double.

그리고, 도 2에 도시된 게이트 밸브(40)의 경우 실링판(45)을 로드(42)를 이용해 직접 연결하고, 상기 로드(42)와 연결되는 캠축(43)을 마련하여 상기 캠축(43)이 실린더 하우징(46)에 마련된 캠(44)을 따라 이동할 수 있게 하고 있다. 이는 상기 로드(42)의 수직 이동을 캠축(43)이 캠(44)의 경사면을 따라 이동하며 실링판(45)을 경사 이동할 수 있게 함으로써 개폐구를 차폐할 수 있게 하고 것이다. In the case of the gate valve 40 shown in FIG. 2, the sealing plate 45 is directly connected using the rod 42, and a cam shaft 43 connected to the rod 42 is provided to provide the cam shaft 43. It is possible to move along the cam 44 provided in this cylinder housing 46. This allows the cam shaft 43 to move along the inclined surface of the cam 44 and to tilt the sealing plate 45 to vertically move the rod 42 to shield the opening and closing port.

그러나 이 경우 실린더에 의해 실링판을 지지하고 있어 상기 실린더가 진공압과 대응되는 힘을 갖고 있어야하므로 상대적으로 실린더의 부피가 커지는 문제점이 있었으며, 또한 상기 로드의 수직 이동을 캠에 의해 경사 이동으로 전환함으로 인해 실린더의 가압력 분산으로 인해 실린더가 더욱 커져야 하는 문제점이 있었다.However, in this case, since the cylinder is supported by the cylinder and the cylinder must have a force corresponding to the vacuum pressure, there is a problem that the volume of the cylinder is relatively large, and also the vertical movement of the rod is converted to the inclined movement by the cam. Therefore, there is a problem that the cylinder should be larger due to the pressure distribution of the cylinder.

그리고 계속적인 반복 운동으로 발생하는 오차로 인해 기밀성이 떨어지는 문제점이 있었다.And there was a problem that the air tightness is lowered due to the error caused by the continuous repetitive motion.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기밀성을 균일하게 유지시킴과 동시에 실린더 의존성을 최소화하며 압력을 균일하게 분산시킬 수 있는 게이트 밸브를 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a gate valve that can uniformly distribute pressure while maintaining the airtight uniformity while minimizing cylinder dependence.

본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 가진다.The present invention has the following configuration to achieve the above object.

본 발명의 게이트 밸브는, 진공챔버에 구비되어 기판의 입출입을 단속하는 게이트 밸브에 있어서, 진공챔버 개폐구 주변을 따라 구비되되 가이드 레일이 개폐구 양측에 수직하게 마련된 브라켓; 상기 가이드 레일을 따라 승하강하는 고정판과, 상기 고정판과 실링판을 서로 연결하는 적어도 하나 이상의 축핀과, 상기 고정판에 내설되되, 상기 축핀의 사이 위치하여 팽창력을 이용해 실링판이 개폐구를 단속하게 하는 튜브가 구비된 가압부재; 상기 브라켓의 일측에 마련되어 상기 가압부재를 승하강시키는 실린더; 및 상기 가압부재의 양단부를 서로 연결하되 상기 실린더에 의해 가압부재의 승하강시 가압부재 양단부가 서로 동기 동작이 가능하게 하는 가이드 부재;를 포함하여 이루어진다.In the gate valve of the present invention, the gate valve is provided in the vacuum chamber for intermittent entry and exit of the substrate, comprising: a bracket provided along the periphery of the vacuum chamber opening and closing guide rail is provided perpendicular to both sides of the opening and closing opening; A fixed plate that moves up and down along the guide rail, at least one shaft pin connecting the fixing plate and the sealing plate to each other, and a tube installed in the fixing plate and positioned between the shaft pins so that the sealing plate can control the opening and closing opening by using the expansion force. Pressure member provided; A cylinder provided at one side of the bracket to move the pressure member up and down; And a guide member connecting both ends of the pressing member to each other, and allowing the both ends of the pressing member to be synchronized with each other when the pressing member is moved up and down by the cylinder.

또한 상기 축핀에는 상기 고정판과 실링판의 사이에서 탄성력을 유지하며 서로 지지하게 하는 스프링;을 더 구비하도록 하며, 상기 축핀은 상기 튜브를 사이에 두고 상하 대칭적으로 위치하도록 하는 것이 바람직하다.In addition, the shaft pin further comprises a spring to maintain the elastic force between the fixing plate and the sealing plate to support each other; The shaft pin is preferably positioned so as to be symmetrically positioned up and down the tube.

그리고 상기 튜브는 그 단면의 형상이 다각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지며, 상기 튜브는 그 상기 단면의 일측이 주름진 형태를 갖도록 하고, 상기 튜브는 상기 고정판에서 무한궤도 형태를 갖고 내설되도록 하는 것이 바람직하다.The tube has a cross-sectional shape of any one selected from a polygonal, circular or elliptical shape, and the tube has one side of the cross section having a corrugated shape, and the tube has a crawler shape in the fixed plate. It is desirable to.

또한 상기 고정판에는 상기 실린더와 동기동작하는 인장 스프링;을 더 구비하는 것이 바람직하며, 상기 가이드 부재는 체인 스프로켓 또는 와이어 중 선택된 어느 하나에 의해 상기 고정판 양단을 서로 연결하도록 하는 것이 바람직하다.In addition, the fixing plate is preferably further provided with a tension spring synchronous with the cylinder, the guide member is preferably connected to both ends of the fixing plate by any one selected from the chain sprocket or wire.

본 발명에 따르면, 기밀성을 균일하게 유지시킴과 동시에 실린더 의존성을 최소화하며 압력을 균일하게 분산시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to maintain the airtightness uniformly and at the same time minimize the cylinder dependence and evenly distribute the pressure.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3 또는 도 4에 도시된 바에 의하면, 상기 게이트 밸브(100)는 브라켓(110), 가압부재(120), 가이드 부재(130), 실린더(140) 및 실링판(160)으로 이루어진다.3 or 4, the gate valve 100 includes a bracket 110, a pressing member 120, a guide member 130, a cylinder 140, and a sealing plate 160.

상기 브라켓(110)은 "ㄷ"자 형상으로 이루어져 양측에 가이드 레일(112) 수직하게 마련되어 있다. 여기서 상기 가이드 레일(112)은 일반적인 공지 기술인 L/M 가이드 이용하고 있으므로 그 구성의 구체적인 설명은 생략하기로 한다.The bracket 110 is formed in a "c" shape and is provided with guide rails 112 perpendicular to both sides. Here, since the guide rail 112 uses the L / M guide which is a general known technology, a detailed description of the configuration will be omitted.

상기 가압부재(120)는 고정판(121), 축핀(122), 스프링(123), 튜브(124) 및 공기주입관(125)으로 이루어진다.The pressing member 120 is composed of a fixing plate 121, the shaft pin 122, the spring 123, the tube 124 and the air injection pipe (125).

상기 고정판(121)은 상기 브라켓(110)의 수평 길이 방향으로 마련되어 상기 가이드 레일(112)과 연결되어 상하 수직 이동을 할 수 있게 하는 있으며, 일측에 실링판(160)이 인접하게 위치하고 있다. 또한 상기 고정판(121)은 상기 실링판(160)과 인접된 일측에 길이 방향으로 튜브 삽입홈(124a)을 마련하여 튜브(124)를 안치할 수 있게 하고 있다.The fixing plate 121 is provided in the horizontal length direction of the bracket 110 to be connected to the guide rail 112 to move vertically up and down, the sealing plate 160 is located adjacent to one side. In addition, the fixing plate 121 is provided with a tube insertion groove 124a in the longitudinal direction on one side adjacent to the sealing plate 160 to allow the tube 124 to be placed.

상기 축핀(122)은 상기 고정판(121)을 관통하여 결합되며 길이방향을 따라 일정한 간격을 갖고 다수개가 마련되어 양단에 돌출편(미도시)을 마련하여 상기 고정판(121)과 실링판(160)이 서로 결합될 수 있게 하고 있다. 여기서 상기 각각의 축핀(122)과 고정판의 사이에 스프링(123)을 마련하여 상기 고정판(121)과 축핀(122)이 서로 탄성지지되게 하여 상기 스프링(123)에 의해 실링판(160)이 고정판 측으로 밀착될 수 있게 한다.The shaft pin 122 is coupled through the fixing plate 121 and provided with a plurality of predetermined intervals along the longitudinal direction to provide protrusions (not shown) at both ends, so that the fixing plate 121 and the sealing plate 160 are provided. It can be combined with each other. Here, a spring 123 is provided between each of the shaft pins 122 and the fixing plate so that the fixing plate 121 and the shaft pin 122 are elastically supported to each other so that the sealing plate 160 is fixed by the spring 123. Make it possible to stick to the side.

여기서 상기 축핀(122)은 상기 튜브(124)를 사이에 두고 상하고 대칭되게 배치되는 것이 바람직하다. 이는 상기 튜브가 팽창하여 실링판을 가압할 때 상기 실링판이 균일한 가압력을 인가받아 이동할 수 있게 하기 위함이다.In this case, the shaft pin 122 is preferably disposed symmetrically with the tube 124 interposed therebetween. This is to allow the sealing plate to move under a uniform pressing force when the tube is expanded to press the sealing plate.

그리고 상기 축핀(122)이 삽입되는 상기 고정판(121)의 홀 내주면에 상기 축핀(122)의 왕복 이동시 상기 홀의 마모를 방지하도록 볼 부쉬(Ball Bush: B)가 각각 개재된다.A ball bush (B) is interposed between the hole inner circumferential surface of the fixing plate 121 into which the shaft pin 122 is inserted to prevent wear of the hole during the reciprocating movement of the shaft pin 122.

상기 튜브(124)는 속이 빈 관 형태를 하고 있으며, 상기 고정판(121)의 길이 방향으로 형성된 튜브 삽입홈(124a)에 내설된다. 이때 상기 튜브(124)는 그 단면의 형상이 다각, 원형, 타원형의 형상 중 선택된 어느 하나로 이루어지며, 상기 단면 일측에는 주름이 형성되는 것이 바람직하다. 이는 상기 튜브 삽입홈(124a)에 삽입되어 상기 실링판(160)과 밀착되어 있을 때 외부에서 주입되는 공기에 의해 튜브를 팽착시켜 실링판(160)이 일측 방향 즉, 진공챔버(미도시)의 개폐구(미도시) 방향으로 이동할 수 있게 하기 위함이다.The tube 124 has a hollow tube shape and is installed in the tube insertion groove 124a formed in the longitudinal direction of the fixing plate 121. At this time, the tube 124 is formed in any one selected from the shape of the polygonal, circular, elliptical cross-section, it is preferable that one side of the cross-section is formed wrinkles. It is inserted into the tube insertion groove 124a and when the tube is in close contact with the sealing plate 160, the tube is squeezed by the air injected from the outside so that the sealing plate 160 of one side, that is, of the vacuum chamber (not shown) In order to be able to move in the direction of opening and closing (not shown).

여기서 상기 튜브(124)의 바람직한 실시예로써 하나의 직선의 관(PiPe) 형태로 도시하고 있지만 도 5에 도시된 바와 같이 상기 고정판(221)에 튜브 삽입홈(224a)을 링 형상으로 마련하고, 상기 튜브(224)를 튜브 삽입홈과 대응되는 링 형상의 무한궤도로 형성시켜 안치하여 구비시킬는 것도 가능하다. 이는 상기 튜브를 상하도 배치되는 형상을 갖게 함으로써 실링판에 가해지는 팽창력의 균일성을 증대시킬 수 있게 때문이다.Here, as a preferred embodiment of the tube 124 is shown in the form of a single straight pipe (PiPe), as shown in Figure 5 is provided with a tube insertion groove 224a in the fixed plate 221 in a ring shape, It is also possible to form the tube 224 is formed in a ring-shaped endless track corresponding to the tube insertion groove and settled. This is because the uniformity of the expansion force applied to the sealing plate can be increased by giving the tube a shape arranged up and down.

상기 공기 주입관(125)은 상기 고장판(121) 일측을 관통하여 내설되며, 그 일측 끝단은 외부에 마련된 별도의 공기 주입수단(미도시)과 연결되게 하고, 타측은 상기 튜브(124)와 연결시켜 튜브측으로 공기를 공급할 수 있게 하고 있다.The air injection pipe 125 is installed through one side of the fault plate 121, one end thereof is connected to a separate air injection means (not shown) provided on the outside, the other side is the tube 124 and It is connected so that air can be supplied to the tube side.

상기 가이드 부재(130)는 풀리(134a,134b,134c) 및 와이어(132)로 이루어진다. 상기 풀리(134a,134b,134c)는 상기 고정판(121) 3곳의 모서리에 축(미도시)에 의해 회전 가능하게 결합되어 있다. 상기 와이어(132)는 상기 풀리의 외부를 감싸며 일측 끝단은 상기 고정판(121) 일측 측부에 고정되고, 타측은 고정판 일측 상부에 연결되게 하여 상기 가이드 레일을 따라 이동시 고정판의 양단이 동기 동작할 수 있게 하고 있다.The guide member 130 includes pulleys 134a, 134b and 134c and a wire 132. The pulleys 134a, 134b, and 134c are rotatably coupled to shafts (not shown) at three corners of the fixing plate 121. The wire 132 surrounds the outside of the pulley and one end is fixed to one side of the fixing plate 121, and the other side is connected to the upper side of the fixing plate so that both ends of the fixing plate may move synchronously when moving along the guide rail. Doing.

여기서 상기 가이드 부재(130)의 바람직한 실시예로서 상기 풀리 및 와이어 로 설명하였지만 상기 가이드 부재(130)는 체인 스프로켓을 이용하는 것도 가능하다. 이는 상기 풀리 및 와이어을 이용해 상시 고정판 일측을 하나의 실린더에 의해 승하강하는 고정판을 동기 동작시켜 균일하게 승하강시킬 수 있게 하기 위한 수단이기 때문이다. 따라서 체인 스프로켓을 이용해 동일한 효과를 기대할 수 있게 되는 것이다.Although described as the pulley and the wire as a preferred embodiment of the guide member 130 here, the guide member 130 may use a chain sprocket. This is because the pulley and the wire is a means for uniformly raising and lowering by synchronously operating a fixed plate that is raised and lowered by one cylinder on one side of the fixed plate at all times. Therefore, the same effect can be expected using a chain sprocket.

상기 실린더(140)는 상기 고정판(121) 일측 하부에 마련되어 로드(142)에 의해 고정판이 승하강시키는 역할을 수행한다. 여기서 상기 실린더가 위치한 고정판 타측 끝단에 인장 스프링(150)을 더 마련하는 것이 바람직하다. 이는 상기 인장 스프링(150)을 이용해 실린더에서 가해는 가압력이 와이어와 연동하여 고정판이 균일하게 승하강할 수 있게 하기 위함이며, 상기 실린더의 오작동시 인장 스프링을 이용해 하강시킬 수 있게 하기 위함이다. 상기 실린더는 일반적인 공지의 기술임으로 그 구성의 구체적인 설명은 생략하기로 한다.The cylinder 140 is provided below one side of the fixing plate 121 and serves to raise and lower the fixing plate by the rod 142. In this case, it is preferable to further provide a tension spring 150 at the other end of the fixed plate where the cylinder is located. This is to allow the pressing force applied from the cylinder using the tension spring 150 to move up and down the fixed plate uniformly in conjunction with the wire, and to allow the cylinder to descend by using the tension spring when the cylinder malfunctions. Since the cylinder is a generally known technique, a detailed description of the configuration will be omitted.

상기 실링판(160)은 진공챔버에 마련된 개폐구(미도시)의 크기와 대응되는 크기를 하고 있으며, 상기 개폐구와 밀착시 기밀을 유지할 수 있게 실링 패드(미도시)를 구비하고 있다.The sealing plate 160 has a size corresponding to the size of the opening and closing hole (not shown) provided in the vacuum chamber, and has a sealing pad (not shown) to maintain the airtightness in close contact with the opening and closing hole.

본 발명의 게이트 밸브의 결함관계를 살펴 보면, 상기 브라켓(110)의 양측에 가이드 레일(112)을 고정하고, 상기 브라켓을 진공챔버(미도시)에 마련된 개폐구(미도시) 측에 고정되게 한 후 상기 가압부재(120)가 가이드 레일과 연결되어 승하강할 수 있게 하고 있다. 이때 상기 실린더(140)를 상기 가압부재(120)의 하측 일단에 마련하여 상기 가압부재를 승하강시키도록 하며, 상기 실린더의 타측에는 인 장 스프링(150)을 마련하여 상기 실린더와 동기 동작할 수 있게 한다.Looking at the defect relationship of the gate valve of the present invention, the guide rail 112 is fixed to both sides of the bracket 110, the bracket is fixed to the opening and closing (not shown) side provided in the vacuum chamber (not shown) After the pressing member 120 is connected to the guide rail to enable the lifting. At this time, the cylinder 140 is provided at one end of the lower side of the pressing member 120 to raise and lower the pressing member, and a tension spring 150 is provided at the other side of the cylinder to operate synchronously with the cylinder. To be.

또한 상기 가압부재(120)의 일측부에 와이어(132)를 연결하고, 타측 상부 끝단에는 와이어의 타측 끝단이 연결되게 결합한 후 상기 브라켓(110)의 3곳 모서리에 마련된 풀리(134a,134b,134c)를 따라 와이어로 하여금 감싸게 구성함으로써 상기 실린더의 동작에 의해 상기 풀리(134a,134b,134c)를 따라 와이어가 연동할 수 있게 하고 있다. 그리고 상기 가압부재(120)와 실링판(160)의 사이에 튜브(124)를 마련하고, 상기 튜브(124)를 사이에 두고 상하 대칭되게 축핀(122)을 마련하여 상기 축핀으로 하여금 실링판과 고장판(121)이 연결될 수 있게 함과 동시에 튜브의 팽창력이 실링판에 균일하게 전달될 수 있게 하고 있다. 이때 상기 축핀과 고정판의 사이에 스프링(123)을 구비하여 상기 스프링의 탄성력에 의해 고정판과 축핀이 탄성지지되며 실링판을 고정판 측으로 밀착되게 하고 있다.In addition, the wire 132 is connected to one side of the pressing member 120, and the other end of the wire is coupled to the other end of the wire to be connected to each other, and then pulleys 134a, 134b, and 134c provided at three corners of the bracket 110. By enclosing the wire around the wire, the wire can be interlocked along the pulleys 134a, 134b and 134c by the operation of the cylinder. In addition, a tube 124 is provided between the pressing member 120 and the sealing plate 160, and the shaft pin 122 is provided to be symmetrically up and down with the tube 124 interposed therebetween to allow the shaft pin and the sealing plate. The fault plate 121 can be connected and at the same time the expansion force of the tube can be uniformly transmitted to the sealing plate. In this case, a spring 123 is provided between the shaft pin and the fixing plate to support the fixing plate and the shaft pin elastically by the elastic force of the spring, and to seal the sealing plate to the fixing plate side.

한편 상기 튜브(124)와 연결되는 공기 주입관(125)을 고정판 일측을 관통시켜 연결함으로써 상기 튜브에 공기를 주입할 수 있게 하여 실링판을 개폐구 측으로 이동할 수 있게 한다.Meanwhile, the air inlet tube 125 connected to the tube 124 penetrates through one side of the fixed plate to allow air to be injected into the tube, thereby allowing the sealing plate to move toward the opening and closing side.

예컨대 상기 가압부재 일측에 마련되 하나의 실린더와 상기 고정판과 연결된 와이어를 이용해 상기 가압부재가 균일한 힘을 받게 하여 상기 실린더는 실링판의 승하강만을 승하강하게 하는 역할만을 수행하며, 상기 가압부재와 실링판의 사이에 마련된 튜브를 이용해 실링판을 가압시켜 수평이동할 수 있게 함으로써 진공챔버에서 발생된 진공압과 대응되는 균일한 가압력을 발생시키며 개폐구를 단속할 수 있게 되는 것이다. For example, the cylinder is provided on one side of the pressing member and the wire is connected to the fixing plate so that the pressing member receives a uniform force so that the cylinder serves only to raise and lower the raising and lowering of the sealing plate. By pressing the sealing plate to move horizontally by using a tube provided between the sealing plate to generate a uniform pressing force corresponding to the vacuum pressure generated in the vacuum chamber and to control the opening and closing port.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 작동상태를 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the operating state of the present invention.

도 6에 도시된 바에 의하면, 먼저 상기 실린더(140)를 이용해 상기 가압부재(120)를 상승시킨다. 이때 상기 가압부재(120)에는 와이어가 연결되어 있어서, 상기 풀리(134a,134b,134c)를 따라 와이어가 이동하며 가압부재 양단을 지지하며 동기 동작시키게 된다. 예컨대 상기 가압부재 일측에 마련된 풀리(134a)는 하측으로 힘을 받으려 회전하고, 상기 타측의 풀리(134c)는 상측으로 힘을 받으면 회전하여 상기 가압부재(120)로 하여금 일측 실린더에 의해 상승하는 힘을 받고, 타측은 와이어에 의해 상승하는 힘을 받음으로써 하나의 실린더에 의해 가압부재가 균일한 상승을 가능하게 하는 것이다. 그리고, 도 7에서와 같이 개폐구(미도시)와 실링판(160)이 수평하게 배치되고, 도 8에서와 같이 공기 주입공(125)을 통해 공기를 주입하여 튜브(124)를 팽창시키면, 상기 튜브(124)는 실링판(160)을 가압하여 개폐구 측으로 이동하게 되어 개폐구를 차단하게 된다. 이때 상기 튜브의 상하에 배치된 스프링(123)을 이용해 상기 튜브의 팽창력이 실링판에 균일하게 전달될 수 있게 하고 있다. 그리고 상기 진공챔버에서 소정의 공정을 수행하게 되는 것이다.As shown in FIG. 6, first, the pressing member 120 is raised using the cylinder 140. At this time, the wire is connected to the pressing member 120, the wire is moved along the pulleys (134a, 134b, 134c) to support both ends of the pressing member and to operate synchronously. For example, the pulley 134a provided on one side of the pressing member rotates to receive a force downward, and the other pulley 134c rotates upon receiving a force upward to force the pressing member 120 to rise by one cylinder. On the other side, the pressing member is allowed to rise evenly by one cylinder by receiving a force to be lifted by the wire. Then, as shown in FIG. 7, the opening and closing port (not shown) and the sealing plate 160 are horizontally disposed, and when the air is injected through the air injection hole 125 to expand the tube 124 as shown in FIG. 8, the The tube 124 presses the sealing plate 160 to move toward the opening and closing side to block the opening and closing opening. At this time, the expansion force of the tube can be uniformly transmitted to the sealing plate by using the spring 123 disposed above and below the tube. And a predetermined process is to be performed in the vacuum chamber.

한편 상기 진공챔버(미도시)에서 소정의 공정을 수행이 끝난 후 개폐구를 개방시 튜브에 주입된 공기를 공기 주입관을 통해 제거하게 되면 튜브는 가압부재 측으로 수축하게 되고, 상기 실링판은 상기 스프링에 이해 가압부재 측으로 이동하여 밀착되게 되어 개폐구가 개방되는 것이다.On the other hand, when the air chamber is removed through the air injection tube when opening and closing the opening after the predetermined process in the vacuum chamber (not shown), the tube is contracted to the pressure member side, the sealing plate is the spring The pressure member is moved to the side to be in close contact with the opening and closing the opening.

이처럼 튜브를 이용해 개폐구를 단속할 경우 튜브를 통해 실링판 전체면적에 대해 균일하게 가압할 수 있을 뿐만 아니라 진공챔버에서 발생하는 진공압을 실링 판으로 하여금 균일하게 분산시킴으로써 공정을 단순화하며 동시에 구성의 슬림화 및 간소화가 가능하게 되는 것이다.In the case of opening and closing the opening and closing using the tube, not only can the pressure be uniformly applied to the entire area of the sealing plate through the tube, but also the process of simplifying the process by simplifying the process by uniformly distributing the vacuum pressure generated in the vacuum chamber to the sealing plate. And it will be possible to simplify.

본 발명의 다른 실시 예에 따른 게이트 밸브(200)는 도 9 내지 도 11에 도시된 바와 같이 브라켓(210), 가압부재(220), 실린더(240) 및 실링판(260)으로 이루어지며, 상기 브라켓(210), 가압부재(220), 실린더(240) 및 실링판(260)은 앞선 실시 예의 그것과 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.Gate valve 200 according to another embodiment of the present invention is made of a bracket 210, the pressing member 220, the cylinder 240 and the sealing plate 260 as shown in Figure 9 to 11, Since the bracket 210, the pressing member 220, the cylinder 240 and the sealing plate 260 have the same structure and function as those of the foregoing embodiment, detailed description thereof will be omitted.

특히, 본 실시 예에서는 앞선 실시 예와는 다르게 상기 가압부재(220)를 그 하측에서 하나 이상으로 구비되는 실린더(240)가 승강시키는 것이다.In particular, in the present embodiment, unlike the previous embodiment, the cylinder 240, which is provided with at least one of the pressing members 220, is lifted.

상기 브라켓(210)은 "ㄷ"자 형상으로 이루어져 양측에 가이드 레일(212) 수직하게 마련되어 있다. 여기서 상기 가이드 레일(212)은 일반적인 공지 기술인 L/M 가이드 이용하고 있다.The bracket 210 is formed in a "c" shape and is provided with guide rails 212 perpendicular to both sides. Here, the guide rail 212 uses a L / M guide which is a general known technique.

상기 가압부재(220)는 후면에 튜브 삽입홈(224a)가 형성되는 고정판(221'), 축핀(222), 스프링(223), 튜브(224') 및 공기주입관(225)으로 이루어진다.The pressing member 220 includes a fixing plate 221 ', a shaft pin 222, a spring 223, a tube 224', and an air injection tube 225 having a tube insertion groove 224a formed at a rear surface thereof.

그리고 상기 축핀(222)이 삽입되는 상기 고정판(221')의 홀 내주면에 상기 축핀(222)의 왕복 이동시 상기 홀의 마모를 방지하도록 볼 부쉬(Ball Bush: B)가 각각 개재된다.A ball bush (B) is interposed on the inner circumferential surface of the fixing plate 221 ′ in which the shaft pins 222 are inserted to prevent wear of the holes during the reciprocating movement of the shaft pins 222.

상기 실린더(240)는 상기 브라켓(210)의 하부에 하나 이상 구비되어 상기 실링판(260)을 최초 위치에서 상기 진공챔버의 개폐구(미도시)의 높이까지 상승시키며, 본 실시 예에서는 상기 브라켓(210)의 양단에 구비되는 것으로 예시한다.One or more cylinders 240 are provided below the bracket 210 to raise the sealing plate 260 from the initial position to the height of the opening and closing hole (not shown) of the vacuum chamber. In this embodiment, the bracket ( It is illustrated as being provided at both ends of the 210.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 작동상태를 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the operating state of the present invention.

도 10 및 도 11에 도시된 바에 의하면, 먼저 상기 실린더(240)를 이용해 상기 가압부재(220)를 상승시킨다. 그리고 상기 개폐구와 실링판(260)이 수평하게 배치되고, 상기 공기 주입공(225)을 통해 공기를 주입하여 튜브(224')를 팽창시키면, 상기 튜브(224')는 실링판(260)을 가압하여 개폐구 측으로 이동하게 되어 상기 개폐구를 차단하게 된다. 이때 상기 튜브(224')의 상하에 배치된 스프링(223)을 이용해 상기 튜브(224')의 팽창력이 실링판(260)에 균일하게 전달될 수 있게 하고 있다. 그리고 상기 진공챔버에서 소정의 공정을 수행하게 되는 것이다.10 and 11, first, the pressing member 220 is raised by using the cylinder 240. In addition, when the opening and closing port and the sealing plate 260 are horizontally disposed and the air is injected through the air injection hole 225 to expand the tube 224 ′, the tube 224 ′ opens the sealing plate 260. Pressurized to move to the opening and closing side to block the opening and closing. At this time, the expansion force of the tube 224 ′ is uniformly transmitted to the sealing plate 260 by using the spring 223 disposed above and below the tube 224 ′. And a predetermined process is to be performed in the vacuum chamber.

한편, 상기 진공챔버(미도시)에서 소정의 공정을 수행이 끝난 후 개폐구를 개방시 튜브(224')에 주입된 공기를 공기 주입관을 통해 제거하게 되면 튜브(224')는 가압부재(220) 측으로 수축하게 되고, 상기 실링판(260)은 상기 스프링(223)에 이해 가압부재(220) 측으로 이동하여 밀착되게 되어 개폐구가 개방되는 것이다.On the other hand, when the vacuum chamber (not shown) after the predetermined process is completed when opening and closing the opening air in the tube 224 'is removed through the air inlet tube 224' the pressure member 220 ) And the sealing plate 260 is moved to the pressing member 220 side to the sealing plate 260 to be in close contact with the spring 223 to open and close the opening.

이처럼 튜브(224')를 이용해 개폐구를 단속할 경우 튜브(224')를 통해 실링판(260) 전체면적에 대해 균일하게 가압할 수 있을 뿐만 아니라 진공챔버에서 발생하는 진공압을 실링판(260)으로 하여금 균일하게 분산시킴으로써 공정을 단순화하며 동시에 구성의 슬림화 및 간소화가 가능하게 되는 것이다.As such, when the opening and closing hole is interrupted using the tube 224 ', the sealing plate 260 can not only press the entire surface of the sealing plate 260 uniformly through the tube 224', but also the vacuum pressure generated in the vacuum chamber. By making it uniformly distributed, the process is simplified, and at the same time, the structure can be slimmed and simplified.

이상의 본 발명은 상기에 기술된 실시 예들에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 정의되 는 본 발명의 취지와 범위에 포함된다.The present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications and changes can be made by those skilled in the art, which are included in the spirit and scope of the present invention as defined in the appended claims.

도 1은 종래의 게이트 밸브를 나타내는 개략도.1 is a schematic view showing a conventional gate valve.

도 2는 종래의 다른 게이트 밸브를 나타내는 개략도.2 is a schematic view showing another conventional gate valve.

도 3은 본 발명의 게이트 밸브를 나타내는 사시도.3 is a perspective view showing a gate valve of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 게이트 밸브를 나타내는 종단면도.4 is a longitudinal sectional view showing the gate valve shown in FIG.

도 5는 도 4에 도시된 가압부재의 다른 실시예를 나타내는 부분 사시도.5 is a partial perspective view showing another embodiment of the pressing member shown in FIG.

도 6 내지 도 8은 본 발명에 따른 게이트 밸브의 작동상태를 나타내는 예시도.6 to 8 are exemplary views showing the operating state of the gate valve according to the present invention.

도 9는 본 발명의 다른 게이트 밸브를 나타내는 사시도.9 is a perspective view showing another gate valve of the present invention.

도 10 및 도 11은 도 9의 게이트 밸브의 작동상태를 나타내는 예시도.10 and 11 are exemplary views illustrating an operating state of the gate valve of FIG. 9.

<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100 : 일 실시 예의 게이트 밸브 110 : 브라켓100: gate valve 110 of one embodiment: bracket

112 : 가이드 레일 120 : 가압부재112: guide rail 120: pressure member

121,221 : 고정판 122 : 축핀121,221: fixing plate 122: shaft pin

123 : 스프링 124,224 : 튜브123: spring 124,224: tube

124a,224a : 튜브 삽입홈 125 : 공기 주입관124a, 224a: tube insertion groove 125: air injection tube

130 : 가이드 부재 132 : 와이어130: guide member 132: wire

134a,134b,134c : 풀리 140 : 실린더134a, 134b, 134c: Pulley 140: Cylinder

142 : 로드 150 : 인장 스프링142: rod 150: tension spring

160 : 실링판160: sealing plate

200 : 다른 실시 예의 게이트 밸브 210 : 브라켓200: gate valve 210 of another embodiment: bracket

212 : 가이드 레일 220 : 가압부재212: guide rail 220: pressure member

221' : 고정판 222 : 축핀221 ': fixing plate 222: shaft pin

223 : 스프링 224' : 튜브223: spring 224 ': tube

224a : 튜브 삽입홈 225 : 공기 주입관224a: tube insertion groove 225: air injection tube

240 : 실린더 242 : 로드240: cylinder 242: rod

260 : 실링판260: sealing plate

Claims (14)

진공챔버에 구비되어 기판의 입출입을 단속하는 게이트 밸브에 있어서,In the gate valve provided in the vacuum chamber to control the entry and exit of the substrate, 진공챔버 개폐구 주변을 따라 구비되되 가이드 레일이 개폐구 양측에 수직하게 마련된 브라켓;Brackets provided along the vacuum chamber opening and closing periphery, the guide rail is provided perpendicular to both sides of the opening and closing opening; 상기 브라켓에 결합되어 상기 진공 챔버의 게이트를 단속하는 가압부재;A pressing member coupled to the bracket to control the gate of the vacuum chamber; 상기 브라켓의 일측에 마련되어 상기 가압부재를 승하강시키는 실린더; 및A cylinder provided at one side of the bracket to move the pressure member up and down; And 상기 가압부재의 양단부를 서로 연결하되 상기 실린더에 의해 가압부재의 승하강시 가압부재 양단부가 서로 동기 동작이 가능하게 하는 가이드 부재;를 포함하여 이루어지며, And a guide member which connects both ends of the pressing member to each other and allows the both ends of the pressing member to be synchronized with each other when the pressing member is moved up and down by the cylinder. 상기 가압부재는, The pressing member, 상기 가이드 레일을 따라 승하강하도록 상기 브라켓과 결합되는 고정판;A fixed plate coupled to the bracket to move up and down along the guide rail; 상기 고정판을 두께 방향으로 관통하여 형성되는 홀에 위치이동이 가능하도록 삽입되어 설치되는 축핀;An axial pin inserted and installed to move a position in a hole formed through the fixing plate in a thickness direction; 상기 축핀의 타단에 결합되며, 상기 축핀의 위치 이동에 의하여 수평 방향으로 이동하면서 상기 진공 챔버의 게이트를 단속하는 실링판;A sealing plate coupled to the other end of the shaft pin and intermittently controlling the gate of the vacuum chamber while moving in the horizontal direction by the position movement of the shaft pin; 상기 고정판에 형성되는 튜브 삽입홈에 설치되며, 상기 고정판과 실링판 사이에서 팽창 수축하여 상기 실링판을 수평 이동시키는 튜브;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.And a tube installed in the tube insertion groove formed in the fixing plate and expanding and contracting between the fixing plate and the sealing plate to horizontally move the sealing plate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 축핀에는 상기 고정판과 실링판의 사이에서 탄성력을 유지하며 서로 지지하게 하는 스프링;을 더 구비하도록 하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The shaft pin further comprises a spring to maintain the elastic force between the fixing plate and the sealing plate to support each other; gate valve characterized in that it further comprises. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 축핀은 상기 튜브를 사이에 두고 상하 대칭적으로 위치하도록 하는 것 을 특징으로 하는 게이트 밸브.The shaft pin is characterized in that the gate valve is positioned up and down symmetrical with the tube in between. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 튜브는 그 단면의 형상이 다각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The tube is a gate valve, characterized in that the cross-sectional shape is made of any one of a polygonal, circular or elliptical shape. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 튜브는 그 단면의 일측이 주름진 형태를 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The tube is a gate valve, characterized in that one side of the cross section to have a corrugated form. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,The method according to claim 4 or 5, 상기 튜브는 상기 고정판에서 무한궤도 형태를 갖고 내설되도록 하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The tube is a gate valve, characterized in that the inner plate has a crawler shape in the fixed plate. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가이드 부재는 체인 스프로켓 또는 와이어 중 선택된 어느 하나에 의해 상기 고정판 양단을 서로 연결하도록 하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The guide member is a gate valve, characterized in that for connecting the both ends of the fixed plate by any one selected from the chain sprocket or wire. 진공챔버에 구비되어 기판의 입출입을 단속하는 게이트 밸브에 있어서,In the gate valve provided in the vacuum chamber to control the entry and exit of the substrate, 진공챔버 개폐구 주변을 따라 구비되되 가이드 레일이 개폐구 양측에 수직하게 마련된 브라켓;Brackets provided along the vacuum chamber opening and closing periphery, the guide rail is provided perpendicular to both sides of the opening and closing opening; 상기 브라켓에 결합되어 상기 진공 챔버의 게이트를 단속하는 가압부재;A pressing member coupled to the bracket to control the gate of the vacuum chamber; 상기 브라켓의 일측에 하나 이상 마련되어 상기 가압부재를 승하강시키는 실린더; 를 포함하여 이루어지며, One or more cylinders provided on one side of the bracket to raise and lower the pressure member; It is made, including 상기 가압부재는, The pressing member, 상기 가이드 레일을 따라 승하강하도록 상기 브라켓과 결합되는 고정판;A fixed plate coupled to the bracket to move up and down along the guide rail; 상기 고정판을 두께 방향으로 관통하여 형성되는 홀에 위치이동이 가능하도록 삽입되어 설치되는 축핀;An axial pin inserted and installed to move a position in a hole formed through the fixing plate in a thickness direction; 상기 축핀의 타단에 결합되며, 상기 축핀의 위치 이동에 의하여 수평 방향으로 이동하면서 상기 진공 챔버의 게이트를 단속하는 실링판;A sealing plate coupled to the other end of the shaft pin and intermittently controlling the gate of the vacuum chamber while moving in the horizontal direction by the position movement of the shaft pin; 상기 고정판에 형성되는 튜브 삽입홈에 설치되며, 상기 고정판과 실링판 사이에서 팽창 수축하여 상기 실링판을 수평 이동시키는 튜브;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.And a tube installed in the tube insertion groove formed in the fixing plate and expanding and contracting between the fixing plate and the sealing plate to horizontally move the sealing plate. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 축핀에는 상기 고정판과 실링판의 사이에서 탄성력을 유지하며 서로 지지하게 하는 스프링;을 더 구비하도록 하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The shaft pin further comprises a spring to maintain the elastic force between the fixing plate and the sealing plate to support each other; gate valve characterized in that it further comprises. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 축핀은 상기 튜브를 사이에 두고 상하 대칭적으로 위치하도록 하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The shaft pin is characterized in that the gate valve positioned so as to be symmetrically positioned between the tube. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 튜브는 그 단면의 형상이 다각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The tube is a gate valve, characterized in that the cross-sectional shape is made of any one of a polygonal, circular or elliptical shape. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 튜브는 그 단면의 일측이 주름진 형태를 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The tube is a gate valve, characterized in that one side of the cross section to have a corrugated form. 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서,The method according to claim 12 or 13, 상기 튜브는 상기 고정판에서 무한궤도 형태를 갖고 내설되도록 하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The tube is a gate valve, characterized in that the inner plate has a crawler shape in the fixed plate.
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