KR100606567B1 - Apparatus for manufacturing flat panel display - Google Patents
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Abstract
본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대형 평판표시소자의 제조에 적합하도록 로드락 챔버 또는 공정 챔버 등을 상하로 적층하여 구비시킨 적층형 챔버를 가지는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flat panel display device manufacturing apparatus, and more particularly, to a flat panel display device manufacturing apparatus having a stacked chamber in which a load lock chamber or a process chamber is stacked up and down so as to be suitable for manufacturing a large flat panel display device. will be.
본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는, 로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성되는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 각 챔버는 독립적으로 진공 분위기를 형성할 수 있으며, 독자적으로 구동되는 복수개의 챔버가 상하로 적층되어 형성되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a flat panel display device manufacturing apparatus including a load lock chamber, a transfer chamber, and a process chamber, wherein each chamber may independently form a vacuum atmosphere, and may be independently driven. Chambers are stacked on top of each other.
평판표시소자, 평판표시소자 제조장치, 로드락 챔버, 적층형 로드락 챔버Flat Panel Display, Flat Panel Display Manufacturing Device, Load Lock Chamber, Stacked Load Lock Chamber
Description
도 1은 일반적인 평판표시소자 제조장치에 있어서 각 챔버의 배열상태를 도시한 모식 단면도이다. 1 is a schematic cross-sectional view showing the arrangement of each chamber in a general flat panel display device manufacturing apparatus.
도 2는 본 발명에 따른 적층형 로드락 챔버 및 공정 챔버가 반송챔버에 결합되는 모습을 모식적으로 나타낸 단면도이다. 2 is a cross-sectional view schematically showing a state in which a stacked load lock chamber and a process chamber according to the present invention are coupled to a transfer chamber.
도 3은 본 발명에 따른 적층형 로드락 챔버의 내부 구조를 나타내는 단면도이다. 3 is a cross-sectional view showing the internal structure of the stacked load lock chamber according to the present invention.
도 4는 적층형 로드락 챔버의 상부 개폐부 및 제1 개폐부 구동수단의 결합 모습을 나타내는 부분 사시도이다. Figure 4 is a partial perspective view showing a coupling state of the upper opening and closing portion and the first opening and closing drive means of the stacked load lock chamber.
도 5는 적층형 로드락 챔버의 제1 개폐부 구동수단의 구동 모습을 나타내는 단면도이다. 5 is a cross-sectional view showing a driving state of the first opening and closing unit driving means of the stacked load lock chamber.
도 6은 적층형 로드락 챔버의 제1 기판지지봉의 구동 모습을 나타내는 단면도이다. 6 is a cross-sectional view illustrating a driving state of a first substrate supporting rod of the stacked load lock chamber.
도 7a,7b는 적층형 로드락 챔버의 제1 기판지지봉의 다른 실시예의 구동 모습을 나타내는 단면도이다. 7A and 7B are sectional views showing a driving state of another embodiment of the first substrate supporting rod of the stacked load lock chamber.
도 8은 본 발명에 따른 로드락 챔버의 상부 개폐부와 하부 개폐부가 열린 구조를 나타내는 단면도이다. 8 is a cross-sectional view illustrating a structure in which an upper opening portion and a lower opening portion of the load lock chamber according to the present invention are opened.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>
100 : 로드락 챔버 200 : 반송챔버 100: load lock chamber 200: conveying chamber
210 : 반송로봇 300 : 공정챔버210: carrier robot 300: process chamber
400 : 제1 로드락 챔버 410 : 제1 개구부400: first load lock chamber 410: first opening
420 : 상부 개폐부 430 : 제1 개폐부 구동수단420: upper opening portion 430: first opening portion driving means
440 : 제1 기판지지봉 450 : 제1 밀봉부재440: first substrate support rod 450: first sealing member
460 : 하부판 500 : 제2 로드락 챔버 460: lower plate 500: second load lock chamber
510 : 제2 개구부 520 : 하부 개폐부 510: second opening 520: lower opening and closing portion
530 : 제2 개폐부 구동수단 540 : 제2 기판지지봉 530: second opening and closing drive means 540: second substrate support rod
550 : 제2 지그 560 : 하부 프레임550: second jig 560: lower frame
600 : 외부 프레임 610 : 제1 지그600: outer frame 610: first jig
본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대형 평판표시소자의 제조에 적합하도록 로드락 챔버 또는 공정 챔버 등을 상하로 적층하여 구비시킨 적층형 챔버를 가지는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다. The present invention relates to a flat panel display device manufacturing apparatus, and more particularly, to a flat panel display device manufacturing apparatus having a stacked chamber in which a load lock chamber or a process chamber is stacked up and down so as to be suitable for manufacturing a large flat panel display device. will be.
일반적으로 액정표시장치(Liquid Crystal Display) 등의 평판표시소자 제조장치는 로드락챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성된다. In general, a flat panel display device manufacturing apparatus such as a liquid crystal display (Liquid Crystal Display) is composed of a load lock chamber, a transfer chamber, a process chamber.
상기 로드락챔버(100), 반송챔버(200), 공정챔버(300)는 도 1에 도시된 바와 같이, 병렬적으로 나란하게 연결되어 구비되며, 각 챔버 간에는 기밀을 유지할 수 있는 게이트가 구비되어, 각 챔버간의 진공 분위기 등을 독립적으로 유지할 수 있도록 한다. As shown in FIG. 1, the
이러한 평판표시소자 제조장치는 공정의 완벽을 기하기 위하여 클린룸 내에 설치되기 때문에 평판표시소자 제조장치가 클린룸내에서 차지하는 면적이 좁을수록 장비의 설치 단가가 낮아지는 것이며, 결과적으로 생산되는 평판표시소자의 제조 단가가 낮아지는 것이다. 따라서, 클린룸내에서 좁은 면적을 차지하면서도 높은 생산 효율을 얻어내는 것이 평판표시소자 제조장치에 있어서 매우 중요하다.Since the flat panel display device manufacturing apparatus is installed in a clean room to complete the process, the narrower the area occupied by the flat panel display device manufacturing apparatus in the clean room, the lower the installation cost of the equipment. The manufacturing cost of the will be lowered. Therefore, obtaining a high production efficiency while occupying a small area in a clean room is very important for a flat panel display device manufacturing apparatus.
특히, 최근에는 생산되는 평판표시소자의 크기가 대형화되면서, 평판표시소자 제조장치도 대형화되고 있다. 따라서 동일한 설치 면적을 차지하면서도 평판표시소자 생산 효율성이 높은 평판표시소자 제조장치의 개발이 강하게 요구된다. 그러므로 하나의 로드락 챔버로는 펌핑시간이 오래 소요되므로 상술한 요구에 대응할 수 없다는 문제점이 있다. In particular, as the size of flat panel display devices produced in recent years has increased, the flat panel display device manufacturing apparatus has also increased in size. Therefore, it is strongly required to develop a flat panel display device manufacturing apparatus that occupies the same installation area and has high flat panel display device production efficiency. Therefore, there is a problem in that one load lock chamber takes a long pumping time and thus cannot meet the above-described requirements.
또한 종래의 로드락 챔버는 챔버 자체를 개방할 수 없는 구조이므로, 기판이 로드락 챔버내에서 파손되는 경우 또는 로드락 챔버 내에 손상이 발생하거나 부품의 교체 필요성이 있을때 상기 로드락 챔버에 구비되어 있는 게이트를 통하여 파손된 기판을 제거하거나, 로드락 챔버 내부의 보수작업을 수행할 수 밖에 없었다. 그러나, 로드락 챔버가 대형화되면서 더이상 좁은 게이트를 통하여 파손된 기판을 제거하거나 챔버 내부의 유지 보수 작업을 하는 것이 불가능해지는 심각한 문제점이 있다. In addition, the conventional load lock chamber is a structure that can not open the chamber itself, so that when the substrate is broken in the load lock chamber or when damage occurs in the load lock chamber or when there is a need to replace parts are provided in the load lock chamber The damaged substrate was removed through the gate, or repair work in the load lock chamber was performed. However, as the load lock chamber is enlarged, there is a serious problem that it is no longer possible to remove the damaged substrate through the narrow gate or perform maintenance work inside the chamber.
또한 공정 챔버에서도 동일한 문제점이 발생하며, 이를 해결하기 위한 공정 챔버의 구조가 요구된다. In addition, the same problem occurs in the process chamber, the structure of the process chamber is required to solve this problem.
본 발명의 목적은 독자적으로 진공 형성이 가능한 로드락 챔버 또는 진공 챔버를 적층형으로 구비하는 적층형 챔버를 구비하여 평판표시소자 생산의 효율성이 높은 평판표시소자 제조장치의 제공에 있다. Disclosure of Invention An object of the present invention is to provide a flat panel display device manufacturing apparatus having a high efficiency of flat panel display device production by providing a load lock chamber or a vacuum chamber in which a vacuum chamber can be independently formed.
본 발명의 다른 목적은 로드락 챔버 또는 진공챔버를 적층형으로 구비하면서도 챔버 내부의 유지 보수 작업이 용이한 구조의 챔버를 구비한 평판표시소자 제조장치의 제공에 있다. Another object of the present invention is to provide a flat panel display device manufacturing apparatus having a load lock chamber or a vacuum chamber in a stacked structure, but having a chamber having a structure in which maintenance work inside the chamber is easy.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는, 로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성되는 평판표시소자 제조장치에 있어서, In the flat panel display device manufacturing apparatus according to the present invention for achieving the above object is a flat panel display device manufacturing apparatus consisting of a load lock chamber, a transfer chamber, a process chamber,
상기 각 챔버는 독립적으로 진공 분위기를 형성할 수 있으며, 독자적으로 구동되는 복수개의 챔버가 상하로 적층되어 형성되는 것을 특징으로 한다. Each of the chambers may independently form a vacuum atmosphere, and a plurality of independently driven chambers may be formed by being stacked up and down.
또한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는, 로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성되는 평판표시소자 제조장치에 있어서, In addition, the flat panel display device manufacturing apparatus according to the present invention, in the flat panel display device manufacturing apparatus consisting of a load lock chamber, a transfer chamber, a process chamber,
상기 로드락 챔버 또는 공정 챔버는 독립적으로 진공 분위기를 형성할 수 있으며, 독자적으로 구동되는 복수개의 로드락 챔버 또는 공정챔버가 상하로 적층되어 형성되는 적층형 챔버인 것을 특징으로 한다. The load lock chamber or process chamber may independently form a vacuum atmosphere, and a plurality of load lock chambers or process chambers that are independently driven may be stacked chambers formed by being stacked up and down.
또한 본 발명에 따른 로드락 챔버에는,In addition, the load lock chamber according to the present invention,
- 상부에 위치되는 제1 로드락 챔버;A first load lock chamber located at the top;
·상기 제1 로드락 챔버의 상부면 소정 부분에 형성된 제1 개구부; A first opening formed in a predetermined portion of an upper surface of the first load lock chamber;
·상기 제1 개구부를 밀폐할 수 있도록 제1 개구부보다 큰 면적으로 구비되는 상부 개폐부; An upper opening / closing portion provided with a larger area than the first opening so as to seal the first opening;
·상기 상부 개폐부의 상부에 상기 상부 개폐부와 연결되며, 상기 상부 개폐부를 상하로 구동시킬 수 있도록 구비되는 제1 개폐부 구동수단; A first opening / closing part driving means connected to the upper opening / closing part on the upper opening / closing part and provided to drive the upper opening / closing part up and down;
·상기 상부 개폐부의 하부에 상기 상부 개폐부와 연결되며, 그 소정 부분에 제1 기판지지부재가 구비되는 제1 기판지지봉; A first substrate supporting rod connected to the upper opening and closing portion below the upper opening and closing portion, the first substrate supporting member being provided at a predetermined portion thereof;
- 하부에 위치되는 제2 로드락 챔버;A second load lock chamber located below;
·상기 제2 로드락 챔버의 하부면 소정 부분에 형성된 제2 개구부; A second opening formed in a predetermined portion of a lower surface of the second load lock chamber;
·상기 제2 개구부를 밀폐할 수 있도록 제2 개구부보다 큰 면적으로 구비되는 하부 개폐부; A lower opening / closing portion provided with a larger area than the second opening so as to seal the second opening;
·상기 하부 개폐부의 하부에 상기 하부 개폐부와 연결되며, 상기 하부 개폐부를 상하로 구동시킬 수 있도록 구비되는 제2 개폐부 구동수단; A second opening / closing part driving means connected to the lower opening / closing part under the lower opening / closing part and provided to drive the lower opening / closing part up and down;
·상기 하부 개폐부의 상부에 상기 하부 개폐부와 연결되며, 그 소정 부분에 제2 기판지지부재가 구비되는 제2 기판지지봉; A second substrate supporting rod connected to the lower opening and closing portion at an upper portion of the lower opening and closing portion, and having a second substrate supporting member at a predetermined portion thereof;
이 구비된 평판표시소자 제조장치를 개시한다.Disclosed is a flat panel display device manufacturing apparatus.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration and operation of the present invention.
본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치에는 로드락 챔버(100), 반송챔버(200), 공정챔버(300)가 구비된다. The flat panel display device manufacturing apparatus according to the present invention is provided with a
이때 상기 로드락 챔버(100) 또는 공정 챔버(300)는 적층형 챔버로 구비된다. 상기 적층형 로드락 챔버 또는 공정 챔버는 각각 독립적으로 진공 분위기를 형성할 수 있으며, 독립적으로 구동되는 복수개의 로드락 챔버 또는 공정 챔버가 상하로 적층되는 구조의 챔버를 말한다. At this time, the
따라서 상기 로드락 챔버(100) 또는 공정 챔버(300)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상부에 위치되는 제1 로드락 챔버(400)와 하부에 위치되는 제2 로드락 챔버(500) 또는 상부에 위치되는 제1 공정 챔버(700)와 하부에 위치되는 제2 공정 챔버(800)로 구성된다. 이때 상부에 위치되는 제1 로드락 챔버(400) 또는 제1 공정 챔버(700)는 그 상부면의 소정 부분에 열릴 수 있는 개구부(도면에 미도시)가 형성되어 상부 방향으로 열리는 구조이며, 하부에 위치되는 제2 로드락 챔버(500)와 제2 공정 챔버(800)는 그 하부면의 소정 부분에 열릴 수 있는 개구부(도면에 미도시)가 형성되어 하부 방향으로 열리는 구조로 구비되는 것이 바람직하다. 개구부가 열리는 방식은 개구부 자체가 상방 또는 하방으로 이동되어서 열릴 수도 있고, 개구부가 슬라이딩 방식으로 좌우로 이동하여 열리는 구조일 수도 있다. Accordingly, as shown in FIG. 2, the
그리고 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제1 로드락 챔버(400)에는 제1 개구 부(410), 상부 개폐부(420), 제1 개폐부 구동수단(430), 제1 기판지지봉(440)이 구비되고, 상기 제2 로드락 챔버(500)에는 제2 개구부(510), 하부 개폐부(520), 제2 개폐부 구동수단(530), 제2 기판지지봉(440)이 구비되는데, As shown in FIG. 3, the first
이하에서는 상기 적층형 로드락 챔버의 구조를 각 구성요소 별로 상세하게 설명한다.Hereinafter, the structure of the stacked load lock chamber will be described in detail for each component.
먼저 상기 제1 개구부(410)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1 로드락 챔버(400)의 상부면 소정 부분에 형성된다. 이때 상기 제1 개구부(410)는 상기 제1 로드락 챔버(400)의 벽면 중 상부면이 뚫려서 소정 크기의 구멍이 형성된 것을 말한다. 상기 제1 개구부(410)는 상기 제1 로드락 챔버(400) 내부에서 기판이 파손되거나, 장비에 손상이 있을 경우, 이를 제거하거나 보수하기 위하여 작업자가 직접 들어가거나 여러가지 장비를 사용할 수 있어야 하므로 상기 제1 로드락 챔버(400) 상부면의 대부분을 차지하도록 형성되는 것이 바람직하다. First, as shown in FIG. 4, the
다음으로 상기 상부 개폐부(420)는 상기 제1 로드락 챔버(400)에 형성되어 있는 제1 개구부(410)를 밀폐할 수 있도록 제1 개구부(410)보다 큰 면적으로 구비된다. 즉, 상기 제1 개구부(410)를 완전히 막아서 상기 제1 로드락 챔버(400)의 외부와 내부를 격리시키는 역할을 한다. 따라서 상기 상부 개폐부(420)는 상기 제1 개구부(410)가 형성된 상기 제1 로드락 챔버(400)의 상부면과 겹치도록 상기 제1 개구부(410)보다 넓은 면적으로 형성되며, 상기 제1 로드락 챔버(400)의 상부면과 겹치는 부분에는 밀봉부재 삽입홈(도면에 미도시)이 형성되고, 상기 밀봉부재 삽 입홈에는 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 밀봉부재(450)가 구비된다. 이는 상기 상부 개폐부(420)가 상기 제1 로드락 챔버(400)와 분리되는 구조임에도 불구하고 상기 제1 로드락 챔버(400)의 내부에 진공이 형성될 수 있도록 밀봉시키기 위한 것이다. Next, the upper opening /
다음으로 상기 상부 개폐부(420)의 상부에는 제1 개폐부 구동수단(430)이 구비된다. 상기 제1 개폐부 구동수단(430)은 상기 상부 개폐부(420)를 상하로 구동시켜 개폐시키는 역할을 한다. 이때 상기 제1 개폐부 구동수단(430)은 상기 상부 개폐부(420)의 상부에 1개가 구비될 수도 있고, 다수개가 구비될 수도 있다. Next, the first opening and closing part driving means 430 is provided on the upper opening and
본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는 대형 기판의 제조를 위한 것으로 그 면적이 크므로, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1 개폐부 구동수단(430)이 상기 상부 개폐부(420)의 각 모서리 근처에 1개씩 4개가 구비되는 것이 무게 중심을 잡기 쉽고, 각 제1 개폐부 구동수단(430)에 가해지는 하중을 분산시킬 수 있어서 바람직하다. Since the flat panel display device manufacturing apparatus according to the present invention is for manufacturing a large substrate and its area is large, as shown in FIG. 4, the first opening / closing driving means 430 is formed at each corner of the upper opening /
또한, 상기 제1, 2 로드락 챔버(400, 500)의 외부에는 도 3에 도시된 바와 같이, 외부 프레임(600)이 더 구비되고, 상기 제1 개폐부 구동수단(430)은 상기 상부 개폐부(420)와 상기 외부 프레임(600)에 각각 연결되며, 상기 외부 프레임(600)에 결합되어 지지된다. In addition, as illustrated in FIG. 3, an
그리고 상기 제1 개폐부 구동수단(430)은 상하로 구동될 수 있도록 구비되어 있어서, 자신에 결합되어 있는 상부 개폐부(420)를 개폐하는데, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 외부 프레임(600)에 구비된 제1 지그(610)에 의하여 연결되며, 상기 외부 프레임(600)의 상부로 돌출되면서 상승하고 하강된다. The first opening and closing part driving means 430 is provided to be driven up and down, and opens and closes the upper opening and closing
다음으로 상기 제1 기판지지봉(440)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 상부 개폐부(420)의 하부에서 상기 상부 개폐부(420)와 연결되며, 그 소정 부분에 제1 기판지지부재(442)가 구비된다. 즉, 상기 제1 기판지지봉(440)은 상기 제1 로드락 챔버(400) 내부에 기판(444)을 위치시킬 수 있도록 구비되는 것이며, 상기 제1 기판지지부재(442)는 실제로 기판(444)과 접촉되는 부분이다. Next, as shown in FIG. 3, the first
또한 상기 제1 기판지지부재(442)는 각 제1 기판지지봉(440)에 하나가 형성될 수도 있지만, 하나의 로드락 챔버에 여러개의 기판을 동시에 지지하기 위하여 다수개가 형성될 수도 있다. In addition, one first
또한 상기 제1 기판지지봉(440)은 도 6에 도시된 바와 같이, 상하방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다. 이는 상기 제1 기판 지지봉(440)에 위치한 기판(444)를 반송챔버(200)에 구비되어 있는 반송로봇(210)에 인계하거나 상기 반송로봇(210)으로 인계받는 경우 등 그 높이를 조절할 필요가 있을때 높이를 조절함으로써 기판의 전달을 효율적으로 하기 위함이며, 더 나아가서는 상기 상부 개폐부(420)를 개방하고 제1 로드락 챔버(400)의 내부를 보수하는 경우에 상기 제1 기판지지봉(440)을 상부로 이동시킴으로써 보수작업이 보다 용이하게 이루어지게 하기 위함이다. In addition, the first
또한 상기 제1 기판지지봉(440)을 상하로 구동시키면 상기 상부 개폐부(420)를 개방하는 경우 상부 개폐부(420)를 상승시키는 높이를 낮출 수 있어서, 본 발명의 평판표시소자 제조장치가 설치되는 클린룸의 높이를 낮출 수 있는 장점이 있다. In addition, when the first
또한 상기 제1 기판지지봉(440)은 도 7a, 7b에 도시된 바와 같이, 상기 상부 개폐부(420) 중 상기 제1 개폐부 구동수단(430)과 연결되는 부분에 제1 기판지지봉 통과홈(422)을 형성시키고, 상기 제1 기판지지봉 통과홈(422)을 관통하도록 구비되되, 상기 제1 기판지지봉 통과홈(422)의 외주부분과 상기 제1 기판지지봉(440)의 소정부분을 밀봉시키는 제1 벨로우즈 모듈(446)이 더 구비되며, 상기 제1 개폐부 구동수단(430)의 내부로 중첩되어 상하로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 더욱 바람직하다. In addition, as shown in FIGS. 7A and 7B, the first
즉, 상기 제1 기판지지봉(440)이 상승하는 경우 그 상승하는 부분이 상기 제1 개폐부 구동수단(430)의 내부에 형성된 홈을 통해서 삽입되도록 하여 도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 제1 개폐부 구동수단(430)과 제1 기판지지봉(440)이 동시에 상승하는 경우에 상기 제1 개폐부 구동수단(430)과 제1 기판지지봉(440)이 중첩되도록 하여 상승되는 전체 높이가 더욱 낮아져서 본 발명의 평판표시소자가 설치되는 클린룸의 높이를 더욱 낮출 수 있으며, 상기 상부 개폐부(420)를 들어올리는 높이가 낮으므로 개폐 동작 자체도 짧은 시간에 용이하게 이루어지는 장점이 있다. That is, when the first
그리고 상기 제1 기판 지지봉(440)의 말단에는 도 3에 도시된 바와 같이, 하부판(460)이 구비된다. 하부판(460)은 넓은 판상의 형상이며, 그 크기는 제1 기판 지지봉(440)에 의하여 지지되는 기판보다 넓은 크기이어야 한다. 하부판(460)은 제1 기판 지지봉(440)의 가장 말단에 형성되어 상기 제1 기판 지지봉(440)에 지지된 기판이 파손되는 경우 그 파편이 하부판(460)에 떨어지도록 하는 것이다. A
따라서 파손된 기판의 제거작업시 상기 제1 개구부(410)를 상승시킨 후 상기 하부판(460) 상부면에 떨어져 있는 기판의 파편을 제거하면 되는 것이다. 그러므로 제1 로드락 챔버로 기판의 제거를 위해 작업자가 들어갈 필요가 없다. Therefore, when removing the damaged substrate, the
다음으로 상기 제2 개구부(510)는 제2 로드락 챔버(500)의 하부면 소정 부분에 형성되며, 그 형상이나 크기는 상기 제1 개구부(410)와 동일하게 형성되는 것이 바람직하다. Next, the
또한, 상기 하부 개폐부(520)는 상기 제2 개구부(510)를 밀폐할 수 있도록 제2 개구부(510)보다 큰 면적으로 구비되는데, 그 구조나 역할은 상기 상부 개폐부(420)와 동일하다. 다만, 상기 하부 개폐부(520)는 상부 개폐부(420)와 달리 하측 방향으로 개폐된다. In addition, the lower opening and
또한 상기 제2 개폐부 구동수단(530)은 상기 하부 개폐부(520)의 하부에서 상기 하부 개폐부(520)와 연결되며, 상기 하부 개폐부(520)를 상하로 구동시킬 수 있도록 구비된다. 이때 상기 제2 개폐부 구동수단(530)은 제1 개폐부 구동수단(430)과 동일한 구조이며, 동일한 역할을 한다. 다만, 그 구동 방향이 상기 제1 개폐부 구동수단(430)과 반대이고, 상기 외부 프레임(600)에 결합된 하부 프레임(560)에 제2 지그(550)에 결합되어 지지될 수도 있고, 지면에 설치된 지지대(도면에 미도시)에 결합되어 지지될 수도 있는 점은 상이하다. In addition, the second opening and closing unit driving means 530 is connected to the lower opening and
다음으로 상기 제2 기판지지봉(540)도 상기 제1 기판지지봉(440)과 동일한 구조이므로, 상기 하부 개폐부(520)의 상부에서 상기 하부 개폐부(520)와 연결되며, 그 소정 부분에 제2 기판지지부재(542)가 구비된다. 또한 상기 제2 기판지지봉(540)도 상하 방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다. Next, since the second
또한 상기 제2 기판지지봉(540)도 상기 제1 기판지지봉(440)과 마찬가지로, 상기 하부 개폐부(520) 중 상기 제2 개폐부 구동수단(530)과 연결되는 부분에 제2 기판지지봉 통과홈(도면에 미도시)을 형성시키고, 상기 제2 기판지지봉 통과홈을 관통하도록 구비되되, 상기 제2 기판지지봉 통과홈의 외주부분과 상기 제2 기판지지봉(540)의 소정부분을 밀봉시키는 제2 벨로우즈 모듈(도면에 미도시)이 더 구비되며, 상기 제2 개폐부 구동수단(530)의 내부로 중첩되어 상하로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다. In addition, similar to the first
그리고 상기 상부 개폐부(420)와 하부 개폐부(520)는 도 8에 도시된 바와 같이, 상부 개폐부(420)는 상부 방향으로 상승하여 열리고, 하부 개폐부(520)는 하부 방향으로 하강하여 열린다. And the upper opening and
또한 상기 반송챔버(200)에 구비되는 반송로봇(210)은 상기 적층형 로드락 챔버(100) 또는 적층형 공정 챔버(300) 사이 에서 기판을 반송하기 위하여는 상하로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다. 즉, 상부에 설치된 제1 로드락 챔버(400)와 제1 공정 챔버(700) 및 하부에 설치된 제2 로드락 챔버(500)와 제2 공정 챔버(800) 모두에서 기판을 반출하거나 반입하기 위해서는 상기 반송로봇(210)이 상하로 구동하면서 기판을 반송하여야 하기 때문이다. In addition, the conveying
본 발명에 의하면 로드락 챔버의 진공분위기 형성을 위한 펌핑시간 때문에 기판의 반송에 많은 시간이 소요되고, 기판의 처리 효율이 낮아지는 문제점이 해결된다. 즉, 상부에 설치된 제1 로드락 챔버를 한번 이용하여 기판을 반송하고, 제1 로드락 챔버가 다음 기판 반송을 위한 세팅이 진행되는 동안에는 하부에 설치된 제2 로드락 챔버를 이용하여 기판을 반송하면 펌핑시간에 의한 공정 지연을 방지할 수 있는 것이다. According to the present invention, a pumping time for forming the vacuum atmosphere of the load lock chamber takes a long time to transport the substrate, and the problem of lowering the processing efficiency of the substrate is solved. That is, when the substrate is conveyed by using the first load lock chamber installed in the upper portion, and the substrate is conveyed by using the second load lock chamber installed in the lower portion while the first load lock chamber is set for the next substrate conveyance. Process delay due to pumping time can be prevented.
또한 공정 챔버를 상하로 적층한 구조로 구비시킴으로써 하나의 평판표시소자 제조장치에서 2가지 공정을 수행하거나, 2개의 기판에 대한 공정을 처리할 수 있어서 기판의 처리 효율이 높아지는 장점이 있다. In addition, by providing a process chamber having a structure stacked up and down, it is possible to perform two processes in one flat panel display device manufacturing apparatus or process two substrates, thereby increasing the processing efficiency of the substrate.
더구나 로드락 챔버 또는 공정 챔버가 대형화 되더라도 그 내부를 용이하게 유지 보수할 수 있도록 각 로드락 챔버 또는 공정 챔버가 개방되는 구조로 구성되어 유지 보수작업이 용이해지는 장점이 있다. Moreover, even if the load lock chamber or the process chamber is enlarged, the load lock chamber or the process chamber is configured to be open so that the inside can be easily maintained.
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