KR100861019B1 - vacuum chuck's make use of packing and cylinder - Google Patents

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KR100861019B1 KR1020060078629A KR20060078629A KR100861019B1 KR 100861019 B1 KR100861019 B1 KR 100861019B1 KR 1020060078629 A KR1020060078629 A KR 1020060078629A KR 20060078629 A KR20060078629 A KR 20060078629A KR 100861019 B1 KR100861019 B1 KR 100861019B1
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Abstract

본 발명은 진공을 이용하여 소재를 고정하는 진공 척의 진공을 단속하는 패킹과 실린더에 관한 것이다. 진공 척의 본체에는 다수개의 실린더를 형성하고, 실린더 내부에는 탄성을 가진 패킹을 조립하여서, 진공 척 또는 진공 Table위에 올려진 다양한 형태와 크기의 소재를 고정하는 것을 패킹이 능동적으로 진공을 단속하여서 실시하는 것에 특징이 있다.The present invention relates to a packing and a cylinder for interrupting the vacuum of a vacuum chuck for fixing a material by using a vacuum. The main body of the vacuum chuck is formed with a plurality of cylinders, and an elastic packing is assembled inside the cylinder, and the packing actively controls the vacuum to fix materials of various shapes and sizes mounted on the vacuum chuck or the vacuum table. It is characterized by

진공 척, 본체, 밸브, 실린더, 패킹.  Vacuum Chuck, Body, Valve, Cylinder, Packing.

Description

패킹과 실린더를 이용하여 진공을 단속하는 진공 척{vacuum chuck's make use of packing and cylinder}Vacuum chuck's make use of packing and cylinder

도 1은 본 발명에 따른 진공 척의 사시도 1 is a perspective view of a vacuum chuck according to the present invention

도 2는 본 발명에 따른 진공 척의 평면 구성도 Figure 2 is a plan view of a vacuum chuck according to the present invention

도 3은 본 발명에 따른 패킹의 평면도와 정 단면도 3 is a plan view and a cross-sectional view of the packing according to the present invention

도 4는 도 1의 A- A선 단면도 4 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 5는 본 발명에 따른 패킹이 밸브를 개시할 때의 상태를 나타낸 정 단면도 Figure 5 is a front cross-sectional view showing a state when the packing according to the invention starts the valve

도 6은 본 발명에 따른 패킹이 밸브를 개방한 후의 상태를 나타낸 정 단면도 Figure 6 is a front sectional view showing a state after the packing according to the invention the valve opening

도 7은 본 발명에 따른 패킹이 진공을 단속 실시하는 상태를 나타낸 정 단면도 7 is a front sectional view showing a state in which the packing according to the present invention to interrupt the vacuum;

도 8은 본 발명에 따른 다른 실시 예를 나타낸 정 단면도 8 is a cross-sectional view showing another embodiment according to the present invention

▣ 도면의 주요 부분에 사용된 부호의 설명 ▣▣ Explanation of symbols used in main part of drawing

10: 실린더 12: 구멍
13: 실린더 공간 14: 가이드 홈
18: 실린더 상면 19: 실린더 하면10: cylinder 12: hole
13: cylinder space 14: guide groove
18: Cylinder top surface 19: Cylinder bottom surface

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20: 진공 척 21: 연결구
25: 본체 26: 블록
27: 통로 30: 패킹20: vacuum chuck 21: connector
25: main body 26: block
27: passage 30: packing

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32: 피스톤 33: 가이드
34: 패킹 상부 홈 35: 피스톤 외면
36: 피스톤 내부공간 37: 피스톤 하면32: piston 33: guide
34: packing upper groove 35: piston outer surface
36: internal space of the piston 37: lower surface of the piston

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38: 홈통 39: 테두리
51: 볼트 52: 볼트 구멍38: gutter 39: border
51: bolt 52: bolt hole

63: 밸브 65: 연결관
66: 진공 펌프 72: 소재
88: 실린더 몸체 96: 실린더 몸체 구멍63: valve 65: connector
66: vacuum pump 72: material
88: cylinder body 96: cylinder body hole

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본 발명은 진공을 이용하여 액정 스크린과 평판 유리, 웨이퍼 또는 진공을 이용하여 제품을 부착하고자 하는 목적을 가진 장치로서, 형태와 크기에 상관없이 고정할 수 있도록 하는 진공 척의 진공을 단속하는 패킹과 실린더에 관한 것이다.The present invention is a device for the purpose of attaching a product using a liquid crystal screen and a flat glass, a wafer or a vacuum by using a vacuum, the packing and the cylinder to interrupt the vacuum of the vacuum chuck to be fixed regardless of the shape and size It is about.

종래에 사용하고 있는 진공 척은 구조는 소재의 형태와 크기에 알맞게 본체가 종류별로 제작되어야 하였다,The vacuum chuck used in the prior art had to be manufactured according to the type of body according to the shape and size of the material.

기존의 방법은 소재의 형태나 크기에 맞춰 다수개의 구멍을 형성하고, 본체와 결합 되는 블록 내부에 소재의 형태나 크기에 부합하는 여러 개의 통로를 형성한다,The existing method forms a plurality of holes in accordance with the shape and size of the material, and forms a plurality of passages corresponding to the shape or size of the material inside the block to be combined with the main body,

그리고 각기 통로마다 진공 밸브를 개별적으로 설치하며, 본체 위에 올려지는 다양한 형태와 크기의 소재를 고정하기 위해서는, 해당하는 통로의 설치된 진공 밸브를 일일이 열고 닫는 조작을 하였다.In addition, vacuum valves are individually installed in each passage, and in order to fix materials of various shapes and sizes placed on the main body, the vacuum valves of the corresponding passages are opened and closed.

본 발명은 상기한 문제점들을 해결하기 위해 창출된 것으로, 진공 척의 본체에 다수개의 실린더를 형성하고, 실린더 내부에는 가이드와 피스톤을 구성하고 있는 패킹을 조립하여 여러 개의 통로를 단속하는 밸브를 일일이 열고 닫는 조작을 하지않으면서 본체 위에 올려지는 다양한 형태와 크기의 소재를 고정하는 작용을 패킹이 진공을 능동적으로 단속하여 실시할 수 있도록 함에 기술적 과제의 주안점을 두고 완성하였다.The present invention has been made to solve the above problems, forming a plurality of cylinders in the main body of the vacuum chuck, the inside of the cylinder to assemble the packing constituting the guide and the piston to open and close the valve to control several passages one by one The function of fixing materials of various shapes and sizes to be mounted on the main body without the operation was completed with the focus of the technical problem that the packing can be carried out by actively controlling the vacuum.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 바람직한 실시 예를 첨부한 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.In order to achieve the above object, a preferred embodiment will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 진공 척(20)의 사시도이고 도 2는 본 발명에 따른 진공 척의 평면 구성도로서, 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 진공 척(20)은, 진공 펌프(66)에서 발생하여지는 진공을 개폐하는 밸브(63)를 설치하고, 밸브(63)와 본체(25)의 연결구(21)를 연결관(65)으로 연결하며, 내부에는 통로(27)를 구성하고 상부에는 다수개의 실린더(10)를 형성한 본체(25)를 체결 판(26)과 결합하고, 각 실린더(10)에는 패킹(30)들을 조립하여서 구성한 것이다.1 is a perspective view of a vacuum chuck 20 according to the present invention and FIG. 2 is a plan view of the vacuum chuck according to the present invention. As shown, the vacuum chuck 20 according to the present invention is a vacuum pump 66. A valve 63 for opening and closing the generated vacuum is provided, and the valve 63 and the connection port 21 of the main body 25 are connected with the connecting pipe 65. The main body 25 having a plurality of cylinders 10 formed therein is coupled to the fastening plate 26, and each cylinder 10 is constructed by assembling the packings 30.

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도 3은 본 발명에 따른 패킹의 평면도와 정단면도이고 도 4는 도 1에 표시하고 있는 A- A선 측단면도로서, 패킹(30)은 탄성을 가진 고무 또는 실리콘 등의 재질로 성형되는 것으로, 패킹(30)의 상부에는 방사형으로 분할되는 가이드(33)를 형성하여 가이드(33) 사이로 공기가 원활하게 통과할 수 있도록 하고, 가이드(33)의 중심에는 하방으로 함몰되는 상부 홈(34)을 형성하여 가이드(33)의 신축성과 복원력을 향상시켜 줄 수 있도록 하며, 가이드(33)의 외주연에는 가이드 홈(14)에 꼭 끼워지는 테두리(39)를 형성하여 패킹(30)의 임의유실을 방지할 수 있도록 한다.
상기 가이드(33)의 저부에 가이드(33)와 일체를 이루는 피스톤(32)을 형성하되, 가이드(33)와 피스톤(32)이 접하는 영역에 홈통(38)을 형성하여 가이드(33)가 쉽고 부드럽게 휘어지도록 하며, 피스톤(32) 내측에는 가이드(33) 방향이 닫혀 있는 내부공간(36)을 형성하여 진공흡입작용을 최적화하도록 한다.
본체(25)는, 연결관(65)을 장착하는 연결구(21)를 구성하고, 하단 가장자리 둘레에는 볼트 구멍(52)들을 형성하며, 가장자리를 제외한 상부에는 다수 개의 실린더(10)를 배열하여 형성하고, 내부에는 한 개의 통로(27)를 가지고서 상부에 형성되어있는 다수개의 실린더(10) 전체에 진공작용을 수행할 수 있는 넓은 부피로 구성하고 있다.3 is a plan view and a front sectional view of the packing according to the present invention and Figure 4 is a side cross-sectional view taken along line A-A shown in Figure 1, the packing 30 is formed of a material such as rubber or silicone having elasticity, The upper part of the packing 30 is formed with a radially divided guide 33 to allow air to pass smoothly between the guides 33, and the upper groove 34 recessed downward in the center of the guide 33. It is formed to improve the elasticity and the restoring force of the guide 33, the outer periphery of the guide 33 to form a border 39 that fits tightly in the guide groove 14 to form a random loss of the packing 30 To prevent it.
At the bottom of the guide 33, a piston 32 is formed integrally with the guide 33, and the guide 33 is easy by forming the trough 38 in an area where the guide 33 and the piston 32 contact each other. It smoothly bends, and forms an inner space 36 in which the guide 33 direction is closed inside the piston 32 to optimize the vacuum suction action.
The main body 25 is configured by forming a connector 21 for mounting the connector 65, forming bolt holes 52 around the lower edge, and arranged by arranging a plurality of cylinders 10 on the upper side except the edge. And, it has a large volume capable of performing a vacuum operation to the entire number of the cylinders 10 formed on the top with one passage 27 inside.

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체결 판(26)은, 가장자리 둘레에 형성되어있는 볼트 구멍(52)에 끼워지는 볼트(51)들로 본체(25)를 체결하여서 결합한다.
실린더(10)는, 패킹(30)이 조립되는 공간이며, 위쪽에서부터 가이드 홈(14)과, 실린더 상면(18)과 실린더 공간(13)과 실린더 하면(19)과, 구멍(12)을 순차적으로 구성하고 있다.The fastening plate 26 couples the main body 25 with the bolts 51 fitted in the bolt hole 52 formed around the edge.
The cylinder 10 is a space in which the packing 30 is assembled, and the guide groove 14, the cylinder upper surface 18, the cylinder space 13, the cylinder lower surface 19, and the hole 12 are sequentially formed from above. Consists of.

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패킹(30)을 실린더(10)에 조립하면, 테두리(39) 바깥지름은 가이드 홈(14)의 지름에 꼭 끼어 들어맞게 되고, 가이드(33) 밑 부분들은 실린더 상면(18)과 접촉하고, 피스톤 외면(35)의 지름은 실린더 공간(13)의 지름보다 작고, 피스톤(32)의 길이는 실린더 상면(18)에서 실린더 하면(19)의 길이보다 짧고, 피스톤 내부공간(36)의 지름은 구멍(12)의 지름과 같다.When the packing 30 is assembled to the cylinder 10, the outside diameter of the rim 39 fits snugly to the diameter of the guide groove 14, and the lower portions of the guide 33 contact the upper surface 18 of the cylinder, The diameter of the piston outer surface 35 is smaller than the diameter of the cylinder space 13, the length of the piston 32 is shorter than the length of the cylinder lower surface 19 on the cylinder upper surface 18, the diameter of the piston inner space 36 is It is equal to the diameter of the hole 12.

도 5는 본 발명에 따른 패킹이 밸브를 개시할 때의 상태를 나타낸 정 단면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 패킹이 밸브를 개방한 후의 상태를 나타낸 정 단면도이며,FIG. 5 is a front sectional view showing a state when the packing according to the present invention starts the valve, and FIG. 6 is a front sectional view showing a state after the packing according to the present invention opens the valve,

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도 7은 본 발명에 따른 패킹이 진공을 단속 실시하는 상태를 나타낸 정 단면도로서, 밸브(63)를 개방하면 진공 펌프(66)에서 생성한 진공은 연결관(65)과 연결구(21)를 통하여 유입되어서 본체(25)의 통로(27)와 구멍(12)을 거쳐 패킹(30)의 피스톤(32)에 진공 상태로 작용을 하고, 한편으로 가이드 홈(14) 상부에 작용하는 대기압은 방사형으로 분할되어있는 가이드(33)의 사이를 통과하여 피스톤 외면(35) 둘레와 실린더 공간(13) 사이를 통과한 다음 피스톤 하면(37)과 실린더 하면(19) 사이를 통과하도록 한다.7 is a front sectional view showing a state in which the packing according to the present invention to interrupt the vacuum, when the valve 63 is opened, the vacuum generated by the vacuum pump 66 passes through the connecting pipe 65 and the connecting port 21. It flows in and acts in a vacuum state on the piston 32 of the packing 30 via the passage 27 and the hole 12 of the main body 25, while the atmospheric pressure acting on the upper portion of the guide groove 14 is radial. It passes between the divided guide 33 and passes around the piston outer surface 35 and between the cylinder space 13, and then passes between the piston lower surface 37 and the cylinder lower surface 19.

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밸브(63)를 완전히 개방하면, 가이드 홈(14)의 상부에 작용하는 대기압과 피스톤 내부공간(36)에 작용하는 진공과의 압력 차이로 인하여 실린더 공간(23)에 위치하고 있는 피스톤(32)은 진공이 작용하는 구멍(12) 쪽으로 움직이게 되며, 분할되어있는 가이드(33)와 가이드(33) 중심에 위치한 패킹 상부 홈(34)과 두께를 얇게 한 홈통(38)이 가이드(33)를 구멍(12) 방향으로 쉽게 휘어지게 하여 홈통(38)은 실린더 상면(18) 쪽으로 이동을 하고, 피스톤 하면(37)은 실린더 하면(19)과 밀착을 하게 된다.
이때 구멍(12)을 통한 진공은 피스톤 내부공간(36)에만 흡입 작용을 하게 되므로 패킹(30)은 계속 닫혀 있게 되고, 실린더 공간(23)과 가이드 홈(14)의 상부에는 진공이 차단된다.When the valve 63 is fully open, the piston 32 located in the cylinder space 23 is due to the pressure difference between the atmospheric pressure acting on the upper portion of the guide groove 14 and the vacuum acting on the piston inner space 36. The vacuum is moved toward the hole 12, and the divided guide 33, the packing upper groove 34 located at the center of the guide 33, and the thin-walled groove 38 are used to guide the guide 33 to the hole ( The trough 38 moves toward the upper surface of the cylinder 18 so as to be easily bent in the 12) direction, and the lower surface of the piston 37 is in close contact with the lower surface of the cylinder 19.
At this time, since the vacuum through the hole 12 acts only on the piston inner space 36, the packing 30 is kept closed, and the vacuum is blocked at the upper portion of the cylinder space 23 and the guide groove 14.

밸브(63)를 닫으면, 피스톤 내부공간(36)에는 진공이 해제되고, 탄성을 가지고 휘어져 있던 가이드(33)는 복원을 하면서, 실린더 상면(18) 쪽으로 이동을 했던 홈통(38)과, 실린더 하면(19)과 밀착을 했던 피스톤(32)을, 원상태로 복귀를 하게 한다.When the valve 63 is closed, the vacuum is released to the piston internal space 36, and the guide 33, which has been bent with elasticity, is restored, and the trough 38, which has moved toward the upper cylinder 18, and the lower cylinder The piston 32 in close contact with (19) is returned to its original state.

소재(72)를 가이드 홈(14) 위에 올려놓고 밸브(63)를 개방하면 구멍(12)과 피스톤 외면(35)과 가이드(33) 사이를 흡입하는 진공은, 구멍(12) 지름의 단-면적과 실린더 공간(13) 지름 단-면적에서 피스톤 외면(35) 지름 단-면적을 제외한 면적보다 가이드 홈(14) 지름의 단-면적이 크기 때문에 가이드 홈(14) 위에 올려진 소재(72)의 밑 부분에는 진공이 많이 유입되어서, 소재(72)에 대한 흡입 작용을 하여 고정된다.
이때 실린더 공간(13) 속에 있는 피스톤(32)과 가이드 홈(14)의 공간 속에 있는 가이드(33)에는 진공상태가 유지되므로, 패킹(30)은 계속 열려있게 된다.When the material 72 is placed on the guide groove 14 and the valve 63 is opened, the vacuum for sucking between the hole 12 and the piston outer surface 35 and the guide 33 is shortened to the diameter of the hole 12. The material 72 placed on the guide groove 14 because the cross-sectional area of the guide groove 14 is larger than the area except the piston outer surface 35 diameter in the area and the cylinder space (13) diameter short-area. A lot of vacuum flows into the lower part of the, and is fixed by the suction action on the material (72).
At this time, since the vacuum state is maintained in the piston 32 in the cylinder space 13 and the guide 33 in the space of the guide groove 14, the packing 30 remains open.

그러므로 다수개의 실린더(10)가 배열되어있는 전체의 본체(25) 위에, 소재(72)를 일부분에만 올려놓은 상태에서도 밸브(63)를 개방하면, 가이드 홈(14) 위에 소재(72)가 올려져 있는 부분과 올려져 있지 않은 부분의 대기압과 진공의 압력 차이로 인하여, 탄성을 가진 패킹(30)은 진공을 열고 닫음을 능동적으로 실시하여서, 다양한 형태와 크기의 소재(72)가 올려져 있는 부분만 진공을 작용하게 하여 고정할 수 있다.Therefore, when the valve 63 is opened even when the raw material 72 is placed on only a part of the whole main body 25 on which the plurality of cylinders 10 are arranged, the raw material 72 is placed on the guide groove 14. Due to the pressure difference between the atmospheric pressure and the vacuum of the raised and non-raised portions, the elastic packing 30 actively opens and closes the vacuum, so that materials 72 of various shapes and sizes are loaded. Only part can be fixed by applying a vacuum.

도 8은 본 발명에 따른 다른 실시 예를 나타낸 정 단면도로서, 내부에 실린더(10)를 구성하고 있는 실린더 몸체(88)를 성형하여 본체(25)에 삽입하는데, 본체(25)에는 실린더 몸체(88)가 꼭 들어맞는 실린더 몸체 구멍(96)을 형성한다. 실린더 몸체(88) 내부의 실린더(10)에는 패킹(30)을 조립하여, 실린더 몸체 구멍(96)에 삽입한다.8 is a front cross-sectional view showing another embodiment according to the present invention. The cylinder body 88 constituting the cylinder 10 therein is molded and inserted into the main body 25. The main body 25 has a cylinder body ( 88 forms a cylinder body bore 96 that fits snugly. The packing 30 is assembled to the cylinder 10 inside the cylinder body 88 and inserted into the cylinder body hole 96.

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이와 같은 구성을 이용할 경우 종래에 사용하고 있는 진공 척의 본체에 형성되어있는 임의의 구멍들을 실린더 몸체 구멍(96)으로 교정을 하여서 실린더 몸체(88)를 삽입하고 패킹(30)을 조립하면 본 발명에 버금가는 진공 척으로 개조하여 사용할 수 있다.In the case of using such a configuration, by inserting the cylinder body 88 and assembling the packing 30 by calibrating arbitrary holes formed in the body of the vacuum chuck used in the prior art with the cylinder body hole 96, It can be converted into a vacuum chuck as well.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은, 본체에 실린더를 형성하여서, 실린더에는 탄성을 가진 패킹을 조립하여 본체 위에 올려지는 다양한 형태와 크기의 소재를 능동적으로 고정하여 작업 능률 향상이 이루어지는 진공 척의 진공을 단속하는 패킹과 실린더를 제공하는 효과가 있다.As described above, the present invention, by forming a cylinder in the main body, by assembling an elastic packing to the cylinder to actively fix the material of various shapes and sizes mounted on the main body to interrupt the vacuum of the vacuum chuck to improve work efficiency It is effective to provide packing and cylinder.

Claims (5)

본체(25)에 설치되는 실린더(20)와 실린더(20)에 조립되는 패킹(30)을 이용하여 소재에 대한 진공흡착을 단속하는 진공 척에 있어서;In the vacuum chuck to intermittent vacuum adsorption on the material by using the cylinder 20 installed on the main body 25 and the packing 30 assembled to the cylinder 20; 상기 패킹(30)의 상부에는 방사형으로 분할되는 가이드(33)를 형성하여 가이드(33) 사이로 공기가 원활하게 통과할 수 있도록 하고, 가이드(33)의 중심에는 하방으로 함몰되는 상부 홈(34)을 형성하여 가이드(33)의 신축성과 복원력을 향상시켜 줄 수 있도록 하며, 가이드(33)의 외주연에는 가이드 홈(14)에 꼭 끼워지는 테두리(39)를 형성하고, 가이드(33)의 저부에 가이드(33)와 일체를 이루는 피스톤(32)을 형성하되, 가이드(33)와 피스톤(32)이 접하는 영역에 홈통(38)을 형성하여 가이드(33)가 쉽고 부드럽게 휘어지도록 하며, 피스톤(32) 내측에는 가이드(33) 방향이 닫혀 있는 내부공간(36)을 형성하여 구성한 것을 특징으로 하는 패킹과 실린더를 이용하여 진공을 단속하는 진공 척.An upper groove 34 recessed downward in the center of the guide 33 is formed in the upper portion of the packing 30 to form a guide 33 which is radially divided to allow the air to pass smoothly between the guides 33. It is formed to improve the elasticity and resilience of the guide 33, the outer periphery of the guide 33 to form a rim 39 fitted to the guide groove 14, the bottom of the guide 33 To form a piston 32 integrally with the guide 33, the groove 33 is formed in a region where the guide 33 and the piston 32 contact, so that the guide 33 is easily and smoothly bent, the piston ( 32) A vacuum chuck for intermittent vacuum by using a packing and a cylinder, characterized in that the inner space 36 is formed by forming a guide 33 in the inner direction is closed. 제1항에 있어서;The method of claim 1; 상기 패킹(30)이 조립하여지는 실린더(10)는 패킹(30)의 테두리(39)가 들어맞는 가이드 홈(24)과, 피스톤 외면(35)보다 지름이 큰 실린더 공간(13)과, 피스톤(32) 길이보다 긴 실린더 상면(18) 및 실린더 하면(19)과, 피스톤 내부공간(36)과 지름이 같은 구멍(12)을 포함하며, 실린더(10)는 본체(25)에 다수 개가 배열형성되는 것임을 특징으로 하는 패킹과 실린더를 이용하여 진공을 단속하는 진공 척.The cylinder 10 to which the packing 30 is assembled includes a guide groove 24 to which the edge 39 of the packing 30 fits, a cylinder space 13 having a diameter larger than that of the piston outer surface 35, and a piston. (32) a cylinder upper surface 18 and a cylinder lower surface 19 longer than a length, and a hole 12 having the same diameter as the piston inner space 36, and a plurality of cylinders 10 are arranged in the main body 25. Vacuum chuck to intercept the vacuum by using the packing and the cylinder, characterized in that formed. 삭제delete 삭제delete 제2항에 있어서;The method of claim 2; 본체(25)에 다수 개의 실린더 몸체 구멍(96)을 배열하여 형성하고, 각 실린더 몸체 구멍(96)에 실린더(10)를 구성하는 실린더 몸체(88)가 삽입되는 것을 특징으로 하는 패킹과 실린더를 이용하여 진공을 단속하는 진공 척Packing and cylinders, characterized in that formed by arranging a plurality of cylinder body holes 96 in the body 25, the cylinder body 88 constituting the cylinder 10 is inserted into each cylinder body hole 96 Vacuum chuck to control vacuum
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